JP3560137B2 - ウェーハボート - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はウェーハボート、詳しくはシリコンウェーハの熱処理に用いられる組立式のウェーハボートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、シリコンウェーハに、その表面をシリコン酸化膜により覆う熱酸化処理を施すときは、多数枚のウェーハを一括して処理するウェーハボートが用いられている。
汎用タイプのウェーハボートは、互いに離間された一対の端板（保持部材）に、複数本の支持ロッドが平行に架け渡されている。なお、各支持ロッドの内側面には、一定ピッチのウェーハ挿填溝が、ロッド軸線方向へ向かって多数配設されている。シリコンウェーハは、これらのウェーハ挿填溝に挿填されることになる。
【０００３】
ところで、支持ロッドと端板との素材の組み合わせには、溶接による両者の連結に不都合が生じてしまう組み合わせが何種類かある。例えば、ポリシリコン−ポリシリコン、シリコン−シリコン、シリコン−ポリシリコンなどがそれである。
これらの組み合わせでは、ウェーハボートは必然的に組み立て式となる。なお、この組み立て式とすることで、ボート使用後の洗浄および補修などが容易になるなどの利点も生じる。
従来、この組み立て式のウェーハボートにおける支持ロッドの端板への掛止は、掛止具などを用いた、端板の支持ロッドより内側という一方向だけからの掛止であった。具体的には、端板の支持ロッドより中央側に、この端板に対して平行に回動自在なキーを設ける一方、支持ロッドの両端部にキー溝を形成させる。その後のボート組み立て時に、キーを支持ロッド側へ回動させて、キー先端部を支持ロッドの対応するキー溝に掛止して、この支持ロッドを端板から外れないように保持する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来技術の組み立て式のウェーハボートにあっては、前述したように、支持ロッドの端板への保持が、端板の中央側という一方向からだけの保持であった。
これにより、支持ロッドの端板に対する保持力が比較的小さく、ガタつきが発生して、例えばボート取り扱い時に外部からわずかな衝撃力が加わっても、支持ロッドがゆがむおそれがあった。なお、このウェーハボートの各ウェーハ挿填孔に挿填された多数枚のシリコンウェーハは、そのウェーハ外周近傍が複数箇所で各支持ロッドに支持されている。このため、支持ロッドがゆがんだままで、所定の熱処理炉でウェーハの熱処理を行うと、ウェーハ外周の支持部分からウェーハの内部へ向かってスリップが発生するおそれがあった。
よって、ウェーハの品質の低下を招いたり、デバイスの品質低下および歩留りの低下が生じたりする懸念があった。
【０００５】
また、前述したようにウェーハの素材と、ウェーハボートを構成する端板および支持ロッドの素材とが異なれば、その熱伝導率も異なる。この結果、例えば１２００℃前後の高温でウェーハの熱処理を行えば、同様にスリップが発生するおそれがあった。しかも、これらの問題は、ウェーハが横置き状態でウェーハ挿填溝に挿填される縦型のウェーハボートの場合にさらに顕著となっていた。
【０００６】
そこで、この発明者らは、鋭意研究の結果、支持ロッドを保持部材にボート内外の２方向から掛止すれば、支持ロッドを確実かつ堅固に保持することができ、しかも挿填されるウェーハと同じ素材でウェーハボートを作製すれば、ウェーハにスリップが発生するのを未然に防ぐことができることを突き止め、この発明を完成させた。
【０００７】
【発明の目的】
この発明は、ボートの洗浄や補修が容易で、しかも支持ロッドを保持部材に堅固に保持することができるウェーハボートを提供することを、その目的としている。
また、この発明は、ウェーハにスリップが発生しにくいウェーハボートを提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、この支持ロッドを保持部材に掛止する際、ロッド軸線方向およびそれに垂直な方向に対する支持ロッドの押しつけ力を高めることができる。
そして、この発明は、第１の掛止部材および／または第２の掛止部材から支持ロッドに加えられる外力の一部を、支持ロッドの軸線に作用する軸力に簡単かつ確実に変換することができ、かつ変換手段の作製が容易になって、ボートの低コスト化を図ることができる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ウェーハを支持する複数本の支持ロッドと、それぞれの支持ロッドの両端部を保持する一対の保持部材とを備え、上記各支持ロッドは、この支持ロッドより内側に配置された第１の掛止部材と、上記支持ロッドより外側に配置された第２の掛止部材とにより、互いに対峙する２方向から、上記保持部材に着脱自在に掛止されるウェーハボートであって、上記第１の掛止部材および第２の掛止部材は、上記支持ロッドの軸線に対して直交方向の外力を発生させることにより、上記保持部材に向かって支持ロッドをそれぞれ押しつけるとともに、この外力の一部を上記支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換する変換手段を第２の掛止部材に設け、この変換手段は、互いに当接するテーパ 面を第２の掛止部材および支持ロッドにそれぞれ有し、これらのテーパ面は上記支持ロッドの軸線に対して傾斜する面で構成されたウェーハボートである。
【０００９】
ウェーハの品種は限定されない。例えば、シリコンウェーハ，ガリウム砒素ウェーハ（化合物半導体ウェーハ）などが挙げられる。
ウェーハボート側の支持ロッドおよび保持部材の素材は限定されない。例えば、支持ロッドおよび保持部材の素材をウェーハと同じ素材としてもよいし、異なる素材としてもよい。また、支持ロッドと保持部材との関係にあっても、両者を同じ素材で作製してもよし、異なる素材で作製してもよい。
ウェーハボートの用途は限定されない。例えば、ウェーハの熱酸化処理用のボートでも、張り合わせウェーハにおけるウェーハ張り合わせ熱処理時に用いられるボートでもよい。ただし、支持ロッドと保持部材とが分離可能な組み立て式のボートでなければならない。
【００１０】
第１の掛止部材および第２の掛止部材の素材は限定されない。例えば、ウェーハ、支持ロッド、保持部材の何れかの素材と同じとしてもよい。または、これらとは別素材としてもよい。
この保持部材上での第１の掛止部材の取り付け位置は限定されない。ただし、支持ロッドの保持位置より内側（中央側）に配置されていなければならない。
一方、保持部材上での第２の掛止部材の取り付け位置も限定されない。ただし、支持ロッドの保持位置より外側に配置されていなければならない。
この第１の掛止部材による支持ロッドの掛止構造、および、第２の掛止部材による支持ロッドの掛止構造は限定されない。例えば、第１の掛止部材および／または第２の掛止部材をキーとし、それを支持ロッドに形成されたキー溝に着脱自在に圧入するキー掛止構造でもよい。また、第１の掛止部材および／または第２の掛止部材をコッタとし、これを支持ロッド側のテーパ溝に着脱可能に圧入するコッタ掛止構造としてもよい。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、ウェーハを支持するためウェーハ挿填溝が形成された複数本の支持ロッドと、それぞれの支持ロッドの両端部を保持する一対の保持部材とを備え、上記各支持ロッドの端部は上記保持部材の孔に挿入され、軸部を中心として保持部材に回動自在に支持されたキーの先端がキー溝の円弧面に押し当てられることにより、支持ロッドの内側から保持部材に固定されるとともに、支持ロッドの外側からテーパ状のコッタを押し込むことにより、支持ロッドは保持部材に固定されるウェーハボートであって、上記軸部と上記円弧面の中間点との距離は、上記軸部とキー先端との距離よりも短いウェーハボートである。
ウェーハ熱処理時の加熱温度は限定されない。このように、支持ロッドおよび保持部材がウェーハと同じ素材になるので、どのような加熱温度であっても、これら３つの部材の熱伝導率は同じになる。よって、温度の高低に関係なく、常に上述したこの発明の効果が得られる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、上記ウェーハの素材と、上記支持ロッドおよび両保持部材の素材とを同じにした請求項１または請求項２に記載のウェーハボートである。
ウェーハ、支持ロッドおよび保持部材の素材は限定されない。例えば、シリコン、ポリシリコン、ガリウム砒素（化合物半導体）などが挙げられる。ただし、これらの３者が同じ素材でなければならい。
支持ロッドの軸線に対して直交方向の外力を発生させるのは、第１の掛止部材でも、第２の掛止部材でも、その両者でもよい。
【００１３】
また、上記変換手段は、支持ロッドの軸線に対して直交方向の外力の一部を支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換することができれば限定されない。この変換手段を設ける位 置は限定されない。
これらのテーパ面の形成位置は限定されない。例えば、第１の掛止部材と支持ロッドおよび／または保持部材との間、もしくは、第２の掛止部材と支持ロッドおよび／または保持部材との間などが挙げられる。
【００１４】
【作用】
この発明によれば、ボート組み立て時、支持ロッドは保持部材の内側から第１の掛止部材により保持される一方、第２の掛止部材により保持部材の外側から保持される。支持ロッドは互いに対峙する２方向から保持部材に掛止される。第１の掛止部材および第２の掛止部材は、支持ロッドの軸線に対して直交方向の外力を発生させることにより、保持部材に向かって支持ロッドをそれぞれ押しつけるとともに、この外力の一部を上記支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換する。このように、支持ロッドが、第１の掛止部材および第２の掛止部材を利用して、ボート取り扱い時に外力が加わりやすい方向となる、保持部材の内側，外側の２方向から保持されるので、通常の取り扱い中、多少の外力がボートに加わっても、支持ロッドを保持部材に堅固に保持しておくことができる。この結果、支持ロッドにたわみや倒れ（傾き）が生じず、ウェーハを水平に保持することができる。また、これにより、ウェーハを高温で熱処理する際に、熱膨張によるウェーハボートの全体の変形量が低減される。よって、このウェーハ熱処理時に、支持されたウェーハの、ボートの変形にともなう動きが抑えられる。その結果、ウェーハにスリップが発生することを防ぐことができる。
なお、このウェーハボートは組み立て式である。そのため、ウェーハボートの洗浄時および補修時にはボートの分解を行うことができる。よって、このボートの洗浄作業および補修作業が容易になる。
【００１５】
特に、請求項３に記載の発明によれば、各支持ロッドおよび保持部材の素材を、ウェーハと同じ素材としたので、これらの３者の熱伝導率が同じになる。そのため、例えば１２００℃などの高い温度でウェーハを熱処理しても、熱膨張によるウェーハボートの全体の変形量が同じとなる。その結果、ウェーハ熱処理時のスリップの発生を抑えることができる。
【００１６】
また、支持ロッドを保持部材に掛止する際には、第１の掛止部材および／または第２の掛止部材によって、支持ロッドの軸線に直交する方向からこの支持ロッドに外力を加える。これにより、支持ロッドが保持部材に向かって押しつけられる。その際、外力の一部は、変換手段により支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換される。この結果、支持ロッドの軸線、および、これに直交する方向に対する支持ロッドの保持部材への押しつけ力が高まる。よって、従来のように、支持ロッドに直交する方向だけのガタつきだけでなく、支持ロッドの軸線方向に対するガタつきも抑えることができる。
【００１７】
さらに、変換手段が、支持ロッドの軸線に対して傾斜するテーパ面であることから、その外力の一部を支持ロッドの軸線に作用する軸力に簡単かつ確実に変換することができる。しかも、この変換手段の作製が容易になり、ウェーハボートの低コスト化を図ることもできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。なお、ここではシリコン製の支持ロッドおよび保持部材を有する縦型のウェーハボートを例にとる。まず、第１の実施例を説明する。
図１は、この発明の第１の実施例に係るウェーハボートの全体斜視図である。図２は、この発明の第１の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大縦断面図である。図３は、この発明の第１の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大平面図である。
【００１９】
図１において、１０はこの発明の第１の実施例に係る縦型のウェーハボートであり、このウェーハボート１０は、図示しないシリコンウェーハが支持される互いに垂直状態で配置される３本の支持ロッド１１と、各支持ロッド１１の両端部が着脱自在に保持される、平面視して円形の一対の端板（保持部材）１２と、を備えた組み立て式のウェーハボートである。
各支持ロッド１１は、シリコンウェーハと同じシリコン製の長尺な支柱であり、両端板１２の外縁部において、対応する端板１２の中心点を中心とした同心円上に１２０度間隔で配置されている。これらの端板１２の素材もウェーハと同じシリコンである。
各支持ロッド１１の内側面には、一定ピッチのウェーハ挿填溝１１ａが、ロッド軸線方向へ多数形成されている。また、各支持ロッド１１の両端部には、このロッド内側面へ向かってコの字形に湾曲した鉤状掛合部１１ｂが一体的に形成されている。各支持ロッド１１の端板１２への保持には、キー掛止構造と、コッタ掛止構造とが採用されている。両掛止構造は、支持ロッド１１に対する掛止方向が対峙している。まず、前者のキー掛止構造を説明する。
【００２０】
図１〜図３に示すように、このキー掛止構造は、主に、両端板１２の外縁部に軸支されたシリコン製のキー（第１の掛止部材）１３と、各支持ロッド１１の両鉤状掛合部１１ｂに刻設されたキー溝１４とを有している。
キー１３は、舌片状のキー本体１３ａと、キー本体１３ａの元部裏面に直交配置された軸部１３ｂとからなる。この軸部１３ｂは、端板１２の外縁部付近に穿設された軸孔１２ａに挿入されている。なお、キー本体１３ａの先端面は、平面視して丸くなっている。
キー溝１４は、鉤状掛合部１１ｂの外方へコの字形に突出した奥部分のウェーハ挿填孔１１ａ側の端部に刻設されており、このウェーハ挿填孔１１ａと平行な平面視して円弧状（三日月状）の溝である（図３参照）。端板１２の各軸孔１２ａより半径方向の外側には、平面視して矩形状をした比較的口径が大きな合計３つの矩形穴１２ｂが形成されている。この矩形穴１２ｂは、鉤状掛合部１１ｂが掛合される穴である。各矩形穴１２ｂの、軸孔１２ａ側とは反対側にある２つの角部には、一対の掛止片１２ｃが配設されている。両掛止片１２ｃが形成されるのは端板１２の内面側である。また、これらの掛止片１２ｃには、上記コの字形の鉤状掛合部１１ｂが掛止される。
【００２１】
次に、上記コッタ構造を説明する。
このコッタ構造は、主に、鉤状掛合部１１ｂの内部空間に圧入されるコッタ（第２の掛止部材）１５と、このコッタ１５を端板１２の外縁部に固定するテーパピン１６とを有している。
コッタ１５は、長さ方向の一端部にテーパ孔１５ａが穿設され、しかも片面がテーパ面（変換手段）１５ｂである平面視して長方形のシリコン板片である。このコッタ１５は、端板１２の各穴部１２ｂより外周部の内面に陥没形成されたコッタ溝１２ｄに抜き差し自在に挿着される。コッタ溝１２ｄは、コッタ１５の先部を上記鉤状掛合部１１ｂの内部空間に案内するための溝であり、端板１２の半径方向に沿って、端板１２の外周面から穴部１２ｂの中間位置まで、端板１２の厚さの略半分の深さで刻設されている。このコッタ溝１２ｄは、その底面が溝奥へ向かって徐々に溝厚が狭くなるテーパ面（変換手段）となっている。なお、上記鉤状掛合部１１ｂの折り返えされた先端部の内面も、コッタ溝１２ｄの底面と傾斜の度合いが合致したテーパ面（変換手段）となっている。また、コッタ溝１２ｄの底面の外側部には、上記テーパ孔１５ａに連通されるテーパ孔１２ｅが穿設されている。
【００２２】
次に、この第１の実施例のウェーハボート１０の組み立て方を説明する。
図１〜図３に示すように、上下に離間配置された一方の端板１２と、他方の端板１２との間に、各端板１２の周方向へ向けて、１２０度ごとに３本の支持ロッド１１を垂直に架け渡す。
まず、上記キー掛止構造による、これらの支持ロッド１１の端板１２への掛止作業を説明する。すなわち、各端板１２の穴部１２ｂに、各対応する支持ロッド１１の鉤状掛合部１１ｂを、そのコの字形の開口部側を端板１２の外方へ向けて挿入する。次いで、それぞれの支持ロッド１１を、端板１２の外方へ平行に移動させる。これにより、各鉤状掛合部１１ｂがそれぞれの掛止片１２ｃに掛止される。なお、端板１２の外面と、鉤状掛合部１１ｂの折り返された先端部の外面とは面が揃えられる。
【００２３】
その後、各キー１３を、対応する支持ロッド１１側へ回動させて、各キー本体１３ａの先端を対応するキー溝１４に強く押し当てる。すなわち、このときのキー溝１４の円弧面の中間点から軸部１２ｂの回動中心点までの距離は、キー１３の先端から軸部１２ｂの回動中心点までの距離より短くなっている。したがって、キー１３にはくさび作用が発生し、これにより支持ロッド１１が所定の位置決め位置にしっかりと固定されることになる。その結果、それぞれの鉤状掛合部１１ｂが、端板１２の内側から一対の掛止片１２ｃにしっかりと掛止され、支持ロッド１１の保持状態が維持される。
【００２４】
続いて、コッタ掛止構造による支持ロッド１１の端板１２への掛止作業を行う。具体的には、まずテーパ面１５ｂを有する各コッタ１５を、これに対応するテーパ面を有するコッタ溝１２ｄに沿って、支持ロッド１１側へ押し込む。これにより、上記端板１２の掛止片１２ｃに掛止された鉤状掛合部１１ｂの内部空間の中間部に、コッタ１５の先部が圧入される。よって、キー掛止構造で固定されていた支持ロッド１１は、その対峙する端板１２の外側から、このコッタ構造により２重に掛止される。
その後、テーパピン１６を、互いに合致されたテーパ孔１２ｅ，１５ａに差し込むことで、コッタ１５の抜け止めが行われる。
なお、このウェーハボート１０の分解時には、上述した組み立て作業が逆の順序で行われる。
【００２５】
このように、ウェーハボート１０を組み立て式としたので、ウェーハボート１０の洗浄時および補修時に、このボート１０を扱いやすい大きさに分解することができる。これにより、その洗浄作業および補修作業を比較的容易にすることができる。
また、各支持ロッド１１の端板１２への保持を、支持ロッド１１より内側に配置されたキー１３を有するキー掛止構造と、支持ロッド１１より外側に配置されたコッタ１５を有するコッタ掛止構造という、互いに対峙する２方向からの保持としたので、仮にボート搬送時などのボート取り扱い中、外設の部材に接触したりして、このウェーハボート１０に多少の外力が加わった場合でも、支持ロッド１１をしっかりと端板１２に保持しておくことができる。これにより、支持ロッド１１がゆがんだままで、所定の熱処理炉内でシリコンウェーハの熱処理を行った場合に、ウェーハ外周の支持部分からウェーハの内部へ向かって発生するスリップを押さえることができる。よって、ウェーハの品質が高められ、デバイスの品質および歩留りを高めることができる。
【００２６】
さらに、支持ロッド１１および端板１２の素材をウェーハと同じシリコンとしたので、このシリコンウェーハと、これを支える支持ロッド１１および端板１２との熱伝導率が同じになる。その結果、これらの３者は、ウェーハ熱処理炉の炉内温度の変化にともない、常に同じ変化量で、熱膨張および冷却時の収縮が行われる。これにより、ウェーハと異なる素材によってウェーハボートが作製されることで生じる、ウェーハ熱処理時のスリップなどの発生を低減させることができる。
さらにまた、コッタ溝１２ｄのテーパ面と、これに接するコッタ１５のテーパ面１５ｂという変換手段により、コッタ１５から支持ロッド１１に加えられる外力の一部を支持ロッド１１の軸線に作用する軸力に変換するようにしたので、支持ロッド１１の軸線、および、これに直交する方向に対する支持ロッド１１の端板１２への押しつけ力が高まる。これにより、従来のように、支持ロッド１１に直交する方向だけのガタつきだけでなく、支持ロッド１１の軸線方向に対するガタつきも抑えることができる。
そして、このように、変換手段として、支持ロッド１１の軸線に対して傾斜するテーパ面を採用したので、その外力の一部を支持ロッド１１の軸線に作用する軸力に簡単かつ確実に変換することができる。しかも、この変換手段、ひいてはウェーハボート１０の作製が容易になり、このボート１０の低コスト化を図ることもできる。
【００２７】
次に、図４および図５に基づいて、この発明の第２の実施例を説明する。
図４は、この発明の第２の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大縦断面図である。図５は、この発明の第２の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大平面図である。
図４および図５において、２０はこの発明の第２の実施例に係るウェーハボートである。このウェーハボート２０の特長は、支持ロッド１１Ａを端板１２Ａに掛止するキー掛止構造を、比較的短尺なＬ字形に折れ曲がった屈曲掛合部２１と、ロッド軸線に沿って外方へ延びる突起状の突起掛合部２２とにより構成し、また、コッタ掛止構造のコッタ１５Ａを比較的小片とし、その抜け止め構造として、端板１２Ａの外縁部に形成されたテーパ孔１２ｆに嵌入されるテーパピン１６により、このコッタ１５Ａの外端面を外方から押さえる構造を採用した点である。
【００２８】
すなわち、屈曲掛止部２１は、支持ロッド１１Ａの両端部のロッド内側面に一体形成されている。なお、この屈曲掛合部２１の外方へＬ字形に突出した先部分には、上記キー溝１４が刻設されている。また、屈曲掛合部２１の短尺な先端部２１ａはロッド軸線方向の外側へ折れ曲がっている。この先端部２１ａは、端板１２Ａの軸孔１２ａ付近に刻設された掛止溝１２ｇに抜き差し自在に挿入されている。掛止溝１２ｇは、平面視して端板１２Ａの半径方向に直交する方向へ長い細溝である。そして、この端板１２Ａの掛止溝１２ｇより外周部には、上記突起掛合部２２が掛合される平面視して矩形状の掛合孔１２ｈが穿設されている。この突起掛合部２２の長さ方向の中間部には、そのロッド内，外面を貫通して、上記コッタ１５Ａが抜き差しされるコッタ孔２２ａが穿設されている。なお、コッタ孔２２ａのロッド軸線方向外側の面がテーパ面（変換手段）２２ｂとなっている。また、コッタ１５Ａは、このテーパ面２２ｂに接する面がテーパ面１５ｂとなっている。
なお、端板１２Ａの外縁部の外面側の、テーパ孔１２ｆおよび掛合孔１２ｈの形成部一帯には、このコッタ１５Ａが収められる平面視して矩形状のコッタ溝１２ｉが形成されている。
【００２９】
この第２の実施例のウェーハボート２０の組み立て方は、まず突起掛合部２２を対応する掛合孔１２ｈに挿通すると共に、屈曲掛合部２１の先端部２１ａを端板１２の掛止溝１２ｇに掛止する。この際、突起掛合部２２の先端部が、端板１２Ａの外面から外方へ突出している。それから、キー１３を回動させて、そのキー先端部をキー溝１４に強く押し当てる。その結果、支持ロッド１１Ａが端板１２Ａの内側からしっかりと固定される。
続いて、コッタ１５Ａを、コッタ溝１２ｉに沿って、突起掛合部２２のコッタ孔２２ａに圧入する。この際、コッタ１５Ａのテーパ面１５ｂと、突起掛合部２２のテーパ面２２ｂとがガイドになって、コッタ１５Ａが圧入される。
その後、テーパピン１６をテーパ孔１２ｆに圧入すれば、テーパピン１６の周面がコッタ１５Ａの後端面に圧接される。その結果、このコッタ１５Ａの圧入状態が保持される。
その他の構成、作用、効果は、第１の実施例と略同様であるので説明を省略する。
【００３０】
【発明の効果】
この発明によれば、支持ロッドの保持部材への保持を、支持ロッドより内側に配置された第１の掛止部材を有する掛止構造と、支持ロッドより外側に配置された第２の掛止部材を有する掛止構造とにより行うようにしたので、仮に取り扱い中に多少の外力がボートに加わっても、支持ロッドを保持部材に堅固に保持しておくことができる。
【００３１】
特に、請求項３に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効果に加えて、各支持ロッドおよび保持部材の素材を、ウェーハと同じ素材としたので、これらの熱伝導率が同じになり、ウェーハの熱処理時において、スリップの発生を抑えることができる。
【００３２】
また、第１の掛止部材および／または第２の掛止部材による、支持ロッドの保持部材への押しつけ力を、変換手段によりロッド軸線に対して垂直方向の外力を発生することにより、上記保持部材に向かって支持ロッドを押しつけるとともに、この外力の一部を上記支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換するようにしたので、この支持ロッドを保持部材に掛止する際、ロッド軸線方向およびそれに垂直な方向に対する支持ロッドの押しつけ力を高めることができる。
【００３３】
さらに、変換手段として支持ロッドの軸線に対して傾斜するテーパ面を採用したので、第１の掛止部材および／または第２の掛止部材から支持ロッドに加えられる外力の一部を、この支持ロッドの軸線に作用する軸力に簡単かつ確実に変換することができる。しかも、この変換手段、ひいてはウェーハボートの作製が容易となり、このウェーハボートの低コスト化を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施例に係るウェーハボートの全体斜視図である。
【図２】この発明の第１の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大縦断面図である。
【図３】この発明の第１の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大平面図である。
【図４】この発明の第２の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大縦断面図である。
【図５】この発明の第２の実施例に係るウェーハボートの支持ロッドの保持構造を示す要部拡大平面図である。
【符号の説明】
１０，２０ ウェーハボート、
１１，１１Ａ 支持ロッド、
１２，１２Ａ 端板（保持部材）、
１３ キー（第１の掛止部材）、
１５，１５Ａ コッタ（第２の掛止部材）。

Claims (3)

1. ウェーハを支持する複数本の支持ロッドと、それぞれの支持ロッドの両端部を保持する一対の保持部材とを備え、
   上記各支持ロッドは、この支持ロッドより内側に配置された第１の掛止部材と、上記支持ロッドより外側に配置された第２の掛止部材とにより、互いに対峙する２方向から、上記保持部材に着脱自在に掛止されるウェーハボートであって、
   上記第１の掛止部材および第２の掛止部材は、上記支持ロッドの軸線に対して直交方向の外力を発生させることにより、上記保持部材に向かって支持ロッドをそれぞれ押しつけるとともに、
   この外力の一部を上記支持ロッドの軸線に作用する軸力に変換する変換手段を第２の掛止部材に設け、
   この変換手段は、互いに当接するテーパ面を第２の掛止部材および支持ロッドにそれぞれ有し、これらのテーパ面は上記支持ロッドの軸線に対して傾斜する面で構成されたウェーハボート。
2. ウェーハを支持するためウェーハ挿填溝が形成された複数本の支持ロッドと、それぞれの支持ロッドの両端部を保持する一対の保持部材とを備え、
   上記各支持ロッドの端部は上記保持部材の孔に挿入され、軸部を中心として保持部材に回動自在に支持されたキーの先端がキー溝の円弧面に押し当てられることにより、支持ロッドの内側から保持部材に固定されるとともに、
   支持ロッドの外側からテーパ状のコッタを押し込むことにより、支持ロッドは保持部材に固定されるウェーハボートであって、
   上記軸部と上記円弧面の中間点との距離は、上記軸部とキー先端との距離よりも短いウェーハボート。
3. 上記ウェーハの素材と、上記支持ロッドおよび両保持部材の素材とを同じにした請求項１または請求項２に記載のウェーハボート。

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