JP3557599B2

JP3557599B2 - 蒸気処理装置

Info

Publication number: JP3557599B2
Application number: JP22426498A
Authority: JP
Inventors: 幸二田中; 健坂本; 裕二上川
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1998-08-07
Filing date: 1998-08-07
Publication date: 2004-08-25
Anticipated expiration: 2018-08-07
Also published as: JP2000055543A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、蒸気処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
蒸気処理に関する技術として、例えば、被蒸気液例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を蒸発し、その蒸気ガスを被処理体例えば半導体ウエハ（以下にウエハという）に接触させて乾燥する乾燥技術が知られている。そして、このＩＰＡ乾燥技術において、蒸気生成部によって生成された乾燥ガスや材料ガスを所定温度に設定し、処理室内に配設されたウエハに接触させて、乾燥処理する蒸気処理装置が使用されている。
【０００３】
また、この種の蒸気処理技術においては、処理に供した蒸気中の有機排気は、一般に無処理で工場側に排出している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、被蒸気液例えばＩＰＡの供給量の増減によって完全な蒸気が得難く、例えばウエハの処理に応じてＩＰＡの量を増加させた場合、加熱部の負荷が多くなってしまい、完全な蒸気を得ることができない。また、蒸気を濾過する際に放熱が発生し、完全な蒸気が得られないこともある。このような不完全な状態の蒸気を処理室内に供給すると、処理効率が低下するばかりか、被処理体の処理が不十分となり、製品歩留まりが低下するという問題があった。つまり、被蒸気液の量に応じて蒸気温度を変える必要がある場合には、蒸気中に含有される被蒸気液の量と蒸気の温度を好適状態に調整する必要がある。
【０００５】
また、処理に供された蒸気中の有機排気濃度が多くなった場合には、環境・衛生上、排気濃度を降下させて工場側に排出する必要がある。そのために、従来では排気濃度を降下させるための特殊な装置を、処理装置の他に別途設置する必要があった。
【０００６】
この発明は上記事情に鑑みなされたもので、被蒸気液の量に応じて蒸気の温度を適宜調整して処理に最適な蒸気を生成し、その蒸気を用いて最適な蒸気処理を行えるようにする蒸気処理装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、蒸気媒体用の気体と被蒸気液とを適宜混合すると共に、加熱して蒸気を生成する蒸気生成手段と、前記蒸気生成手段により生成された蒸気を濾過するフィルタエレメントと、前記蒸気を所定温度に加熱すべく前記フィルタエレメントの外周を囲繞する有底筒状ヒータとを具備する濾過・加熱手段と、前記濾過・加熱手段により所定の温度に設定された蒸気を処理室内に導入し、処理室内に配設された被処理体に接触して適宜処理を施す処理手段と、を有することを特徴とする。この場合、前記蒸気生成手段は、蒸気媒体用の気体の流入口と流出口を有する中細ノズルと、この中細ノズルの流出口に連通する導入管とを具備し、前記中細ノズルは、前記蒸気媒体用の気体の流れ方向に沿って漸次狭小となる先細ノズル部と、この先細ノズル部の狭小部から流れ方向に沿って徐々に拡開する末広ノズル部とからなり、狭小部近傍の流出口側に衝撃波形成部が形成され、かつ、前記狭小部近傍の前記末広ノズル部に被蒸気液の供給口が開設され、前記導入管に、前記衝撃波形成部に発生する衝撃波のエネルギによって霧状となった前記被蒸気液を加熱するヒータを配設する構造とする方がよい（請求項２）。
【０００８】
このように構成することにより、被蒸気液の量に応じて蒸気の温度を適宜調整して処理に最適な蒸気を生成し、その蒸気を用いて処理を行うことができる。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の蒸気処理装置において、前記濾過・加熱手段を通過した蒸気を、所定温度に再加熱する再加熱手段を更に設けた、ことを特徴とする。
【００１０】
このように構成することにより、生成された蒸気が処理手段に供給されるまでに温度変化を生じるのを防止して、所定の温度状態を維持することができる。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の蒸気処理装置において、前記蒸気生成手段を互いに並列に複数個設けた、ことを特徴とする。この場合、前記蒸気生成手段を選択的に使用可能に形成する方が好ましい（請求項５）。
【００１２】
このように構成することにより、被蒸気液の量が変化した場合に蒸気の生成を各蒸気生成手段毎に分担させることができると共に、各蒸気生成手段における加熱の負荷及び濾過・加熱手段における濾過・加熱の負荷を低減することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を図面に基いて詳細に説明する。この実施形態では、この発明に係る蒸気処理装置を半導体ウエハの洗浄処理システムに適用した場合について説明する。
【００２０】
図１はこの発明に係る蒸気処理装置を乾燥処理装置に適用した洗浄処理システムの一例を示す概略平面図である。
【００２１】
上記洗浄処理システムは、被処理体である半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）を水平状態に収納する容器例えばキャリア１を搬入、搬出するための搬入・搬出部２と、ウエハＷを薬液、洗浄液等の液処理すると共に乾燥処理する処理部３と、搬入・搬出部２と処理部３との間に位置してウエハＷの受渡し、位置調整、姿勢変換及び間隔調整等を行うウエハＷの受渡し部例えばインターフェース部４とで主に構成されている。
【００２２】
上記搬入・搬出部２は、洗浄処理システムの一側端部にはキャリア搬入部５ａとキャリア搬出部５ｂが併設されると共に、ウエハ搬出入部６が設けられている。この場合、キャリア搬入部５ａとウエハ搬出入部６との間には図示しない搬送機構が配設されており、この搬送機構によってキャリア１がキャリア搬入部５ａからウエハ搬出入部６へ搬送されるように構成されている。
【００２３】
また、キャリア搬出部５ｂとウエハ搬出入部６には、それぞれキャリアリフタ（図示せず）が配設され、このキャリアリフタによって空のキャリア１を搬入・搬出部２上方に設けられたキャリア待機部（図示せず）への受け渡し及びキャリア待機部からの受け取りを行うことができるように構成されている。この場合、キャリア待機部には、水平方向（Ｘ，Ｙ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動可能なキャリア搬送ロボット（図示せず）が配設されており、このキャリア搬送ロボットによってウエハ搬出入部６から搬送された空のキャリア１を整列すると共に、キャリア搬出部５ｂへ搬出し得るようになっている。また、キャリア待機部には、空キャリアだけでなく、ウエハＷが収納された状態のキャリア１を待機させておくことも可能である。
【００２４】
上記キャリア１は、一側に開口部を有し内壁に複数枚例えば２５枚のウエハＷを適宜間隔をおいて水平状態に保持する保持溝（図示せず）を有する容器本体１ａと、この容器本体１ａの開口部を開閉する蓋体１ｂとで構成されており、蓋体１ｂ内に組み込まれた係脱機構（図示せず）を後述する蓋開閉装置８によって操作することにより、蓋体１ｂが開閉されるように構成されている。
【００２５】
上記ウエハ搬出入部６は、上記インターフェース部４に開口しており、その開口部には蓋開閉装置８が配設されている。この蓋開閉装置８によってキャリア１の蓋体１ｂが開放あるいは閉塞されるようになっている。したがって、ウエハ搬出入部６に搬送された未処理のウエハＷを収納するキャリア１の蓋体１ｂを蓋開閉装置８によって取り外してキャリア１内のウエハＷを搬出可能にし、全てのウエハＷが搬出された後、再び蓋開閉装置８によって蓋体１ｂを閉塞することができる。また、キャリア待機部からウエハ搬出入部６に搬送された空のキャリア１の蓋体１ｂを蓋開閉装置８によって取り外してキャリア１内へのウエハＷを搬入可能にし、全てのウエハＷが搬入された後、再び蓋開閉装置８によって蓋体１ｂを閉塞することができる。なお、ウエハ搬出入部６の開口部近傍には、キャリア１内に収納されたウエハＷの枚数を検出するマッピングセンサ９が配設されている。
【００２６】
上記インターフェース部４には、複数枚例えば２５枚のウエハＷを水平状態に保持すると共に、ウエハ搬出入部６のキャリア１との間で、水平状態でウエハＷを受け渡すウエハ搬送アーム１０と、複数枚例えば５２枚のウエハＷを所定間隔をおいて垂直状態に保持する間隔調整手段例えばピッチチェンジャ（図示せず）と、ウエハ搬送アーム１０とピッチチェンジャとの間に位置して、複数枚例えば２５枚のウエハＷを水平状態と垂直状態とに変換する姿勢変換装置１２と、垂直状態に姿勢変換されたウエハＷに設けられたノッチを検知してウエハＷの位置合わせを行うノッチアライナ１３が配設されている。また、インターフェース部４には、処理部３と連なる搬送路１４が設けられており、この搬送路１４にウエハ搬送手段例えばウエハ搬送チャック１５が移動自在に配設されている。
【００２７】
この場合、上記ウエハ搬送アーム１０は、ウエハ搬出入部６のキャリア１から複数枚のウエハＷを取り出して搬送すると共に、キャリア１内に複数枚のウエハＷを収納する２つの保持部例えばアーム体１０ａ，１０ｂを併設してなる。これらアーム体１０ａ，１０ｂは、水平方向（Ｘ，Ｙ方向），垂直方向（Ｚ方向）及び回転方向（θ方向）へ移動可能な駆動台１１の上部に搭載されてそれぞれ独立してウエハＷを水平状態に保持すると共に、ウエハ搬出入部６に載置されたキャリア１と姿勢変換装置１２との間でウエハＷの受渡しを行うように構成されている。したがって、一方のアーム体１０ａによって未処理のウエハＷを保持し、他方のアーム体１０ｂによって処理済みのウエハＷを保持することができる。
【００２８】
一方、上記処理部３には、ウエハＷに付着するパーティクルや有機物汚染を除去する第１の処理ユニット１６と、ウエハＷに付着する金属汚染を除去する第２の処理ユニット１７と、ウエハＷに付着する酸化膜を除去すると共に乾燥処理するこの発明に係る蒸気処理装置２０を具備する洗浄・乾燥処理ユニット１８及びチャック洗浄ユニット１９が直線状に配列されており、これら各ユニット１６〜１９と対向する位置に設けられた搬送路１４に、Ｘ，Ｙ方向（水平方向）、Ｚ方向（垂直方向）及び回転方向（θ方向）へ移動可能なウエハ搬送チャック１５が配設されている。なお、チャック洗浄ユニット１９は、必ずしも処理部３とインターフェース部４との間に配設する必要はなく、処理部３の端部側に配設してもよく、あるいは第１ないし第３処理ユニット１６〜１８の間に配設してもよい。
【００２９】
前記洗浄・乾燥処理ユニット１８に使用される蒸気処理装置２０は、図２に示すように、蒸気媒体用の気体例えば窒素（Ｎ2）ガスの供給源２１に供給路２２ａを介して接続するＮ2ガス加熱器２３（以下に単に加熱器という）と、この加熱器２３に供給路２２ｂを介して接続する一方、乾燥ガス用液体（被蒸気液）例えばＩＰＡの供給源２４に供給路２２ｃを介して接続する互いに並列に配設された複数例えば２個の蒸気生成手段例えば蒸気生成装置２５と、この蒸気生成装置２５と処理手段３０の乾燥処理室３１（以下に乾燥室という）とを接続する供給路２２ｄに介設されて蒸気生成装置２５にて生成された蒸気例えばＩＰＡガスを濾過すると共に、加熱する濾過・加熱手段例えばメタルフィルタ２６と、このメタルフィルタ２６によって濾過及び加熱されたＩＰＡガスを所定温度例えば１８０℃に維持する再加熱手段例えば再加熱器２７とを具備してなる。
【００３０】
また、Ｎ2ガス供給源２１と加熱器２３とを接続する供給路２２ａには開閉弁２８ａが介設されている。また、ＩＰＡ供給源２４と蒸気生成装置２５とを接続する供給路２２ｃには開閉弁２８ｂが介設されている。なおこの場合、図２に示すように、供給路２ｃに例えばポンプ等の流量調整手段２９を介設してもよい。このように構成することにより、流量調整手段２９によってＩＰＡ供給源２４から蒸気生成装置２５へ供給されるＩＰＡ流量を必要に応じて調節することができ
る。
【００３１】
前記蒸気生成装置２５は、図３に示すように、蒸気媒体用の気体としてのキャリアガスの供給路２２ｂに接続する流入口４０ａと流出口４０ｂを有する例えばステンレス鋼製のパイプ状の中細ノズル４０を具備している。この中細ノズル４０は、内周面にキャリアガスの流れ方向に沿って漸次狭小となる先細ノズル部４１ａと、この先細ノズル部４１ａの狭小部（スロート部）４１ｂから流れ方向に沿って徐々に拡開する末広ノズル部４１ｃとからなり、スロート部４１ｂ近傍の流出口側（二次側）に衝撃波形成部４２が形成されている。
【００３２】
また、中細ノズル４０のスロート部４１ｂ近傍の末広ノズル部４１ｃには、被蒸気液としてのＩＰＡの供給口４３が開設されており、この供給口４３にＩＰＡ供給管すなわち供給路２２ｃを介して被蒸気液供給源としてのＩＰＡ供給源２４が接続されている。
【００３３】
また、衝撃波形成部４２に連通する導入管４４内には、導入管４４の内周面との間に隙間４５をおいて２つに分割された筒状のカートリッジヒータ４６ａ，４６ｂが直列に挿入されており、これらカートリッジヒータ４６ａ，４６ｂの外周側の隙間４５内にはコイル状の線材４７が配設されて、隙間４５内に螺旋状流路４８が形成されている。ここで、カートリッジヒータを４６ａ，４６ｂの２つに分割した理由は、１つのカートリッジヒータでは流入側と流出側でのガスの温度差が大きくなり過ぎ、温度調整が困難であるため、２つに分割して温度調整を容易に行えるようにしたためである。
【００３４】
上記のように、衝撃波形成部４２に接続する導入管４４内にカートリッジヒータ４６ａ，４６ｂを挿入し、導入管４４とカートリッジヒータ４６ａ，４６ｂとの間に螺旋状流路４８を形成することにより、ＩＰＡガスの流路とカートリッジヒータ４６ａ，４６ｂとの接触する流路長さを長くすると共に、螺旋状の流れを形成して、それがない場合に比べ流速を早めることができ、その結果、レイノルズ数（Ｒｅ数）及びヌッセルト数（Ｎｕ数）を増大して、境界層を乱流領域に入れ、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂの伝熱効率の向上を図ることができる。したがって、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂの熱（例えば３００℃）で加熱することができ、効率よく霧状のＩＰＡを蒸気状態にすることができる。なお、加熱温度を更に高める必要がある場合は、導入管４４の外側に外筒ヒータを配設すればよい。
【００３５】
また、中細ノズル４０の流入口４０ａ側と流出口４０ｂ側には分岐路４９が接続され、この分岐路４９に圧力調整弁５０が介設されており、この圧力調整弁５０の調節によって中細ノズル４０に供給されるキャリアガスの供給圧力の変動に対応し得るように構成されている。つまり、中細ノズル４０のオリフィス径は可変ではなく固定されているため、中細ノズル４０の一次側（流入口側）圧力に上限値を設けた場合、中細ノズル４０を通るキャリアガスの流量にもおのずと上限値が設定されることになる。しかし、プロセス条件により更に大きなキャリアガス流量が要求された場合、このような分岐路４９を設け、中細ノズル４０下流側（流出口側）にキャリアガスを導入することにより、広範囲の流量を供給することができる。この場合、分岐路４９中に介設された圧力調整弁５０によってキャリアガスの補充流量を調整することができる。また、圧力調整弁５０の調節によって衝撃波の発生条件が適宜設定することができる。
【００３６】
なお、流入側圧力（一次側圧力）を高めることが可能であれば、キャリアガス流量はそれに比例して増加するので、特に分岐路４９にてキャリアガスを補充する必要はなくなる。
【００３７】
また、前記ＩＰＡの供給口４３に接続するＩＰＡ供給路２２ｃには冷却手段５１が配設されている。この冷却手段５１は、例えば供給路２２ｃを包囲するジャケットに冷媒を循環供給するなどして供給路２２ｃ内を流れるＩＰＡを沸点以下に冷却し得るように構成されている。このように、冷却手段５１によってＩＰＡの温度を沸点温度以下に冷却することによって、例えば微小量のＩＰＡを供給する場合に、前記カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂからの熱影響によってＩＰＡが蒸発するのを防止することができ、ＩＰＡを液体状態のまま確実に中細ノズル４０の供給口４３から供給することができる。
【００３８】
上記のように構成することにより、蒸気媒体用の気体であるキャリアガス（Ｎ2ガス）が中細ノズル４０の流入口から流出口に向かって流れると、キャリアガスは先細ノズル部４１ａによって加速され、スロート部４１ｂで音速に到達した後、末広ノズル部４１ｃに入ってからも大きな圧力差によって更に膨脹増速されて超音速の流れとなり、音速以上の流速で噴出して衝撃波が発生する。このような状態下において供給口４３からＩＰＡを供給すると、突発的な衝撃波が発生し、この衝撃波のエネルギを利用してＩＰＡが霧化される。この霧状となったＩＰＡをカートリッジヒータ４６ａ，４６ｂにより加熱することにより、ＩＰＡガス（蒸気）が生成される。この際、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂを別個に温度調整することにより、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂの温度バランスを是正することができ、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂの寿命の増大を図ることができる。また、過剰加熱を防止しＩＰＡガスの分解炭化を防止することができる。
【００３９】
なおこの場合、前記圧力調整弁５０を調節、例えば一次圧力（Kgf/cm2G）とＮ2ガスの通過流量（Nl/min）を適宜選択することによって衝撃波を形成することができる。
【００４０】
例えば、スロート部４１ｃの内径を１．４（mm），１．７（mm），２．０（mm）とした場合、Ｎ2ガス通過流量が４０（Nl/min），６０（Nl/min），８０（Nl/min）のとき衝撃波が発生する。なお、上記のようにして生成されるＩＰＡ濃度は、例えば、Ｎ2ガス流量１００（Nl/min）の場合、ＩＰＡ供給量が１（cc/sec），２（cc/sec），３（cc/sec）ではそれぞれＩＰＡ濃度は約２０（％），約３０（％），約４０（％）となる。
【００４１】
前記メタルフィルタ２６は、図４に示すように、例えばステンレス鋼製の繊維状体あるいは焼結金属等にて形成されるフィルタエレメント２６ａと、このフィルタエレメント２６ａの外周を囲繞する有底筒状ヒータ２６ｂとで構成されている。このように構成されるメタルフィルタ２６のフィルタエレメント２６ａ内を、蒸気すなわちＩＰＡガスが通過することによってＩＰＡガスは濾過すなわちＩＰＡガス中に混入するパーティクル等が除去されると同時に、ヒータ２６ｂからの熱によって所定の温度１８０℃に加熱される。
【００４２】
また、前記再加熱器２７は、図５に示すように、前記蒸気生成装置２５及びメタルフィルタ２６側に接続する流入口６１を有する上部ヒータ体６０ａと、処理手段３０の乾燥室３１側に接続する流出口６２を有する下部ヒータ体６０ｂとで略偏平円形状の加熱室６３を形成してなり、加熱室６３内の流入口６１部に蒸気すなわちＩＰＡガスを分散する分散体６４を具備してなる。なお、流入口６１と流出口６２は、それぞれ加熱室６３内に向かって拡開する略ラッパ状に形成されている。
【００４３】
この場合、加熱室６３は側面６３ａが外向き円弧状に形成されている。また、分散体６４は、加熱室側に向かって狭小となる截頭円錐状の胴部６４ａと、この胴部６４ａの側壁の等間隔位置から突出する複数（図面では、４個の場合を示す。）のガス噴射ノズル６４ｂとで構成されており、ガス噴射ノズル６４ｂから噴射されるＩＰＡガスが加熱室６３の側面下部側に当たるように構成されている。このように構成することにより、図５に破線で示すように、分散体６４のガス噴射ノズル６４ｂから噴射されるＩＰＡガスが加熱室６３の側面下部側に衝突した後、加熱室６３の円弧状の側面６３ａに沿って上方に流れ、この際、下部及び上部ヒータ体６０ｂ，６０ａからの熱によって加熱されて、下方の流出口６２側へ流れることで、再加熱器２７を通過するＩＰＡガスが所定の温度に加熱（保温）される。
【００４４】
一方、前記処理手段３０は、図２に示すように、ウエハＷを浸漬処理する処理液｛薬液，リンス液（例えば純水）｝を収容する処理槽３３を具備する洗浄室３２の上方に乾燥室３１を配置してなり、洗浄室３２と乾燥室３１との間には、洗浄室３２と乾燥室３１とを遮断するシャッタ３４が図示しない移動手段によって開閉可能に配設されている。また、乾燥室３１と洗浄室３２との間でウエハＷを搬送する図示しないウエハボートが配設されている。
【００４５】
また、乾燥室３１内には、供給管２２ｄに接続するガス供給ノズル３５が配設されており、このガス供給ノズル３５から乾燥室３１内に収容された複数枚例えば５０枚のウエハＷに向かってＩＰＡガスが供給されて、ウエハＷの乾燥、すなわちウエハＷに付着した水分を除去するように構成されている。
【００４６】
このようにして乾燥処理に供されたＩＰＡガスは、乾燥室３１の下部に設けられた排出口３１ａに接続する排出管３６を介して工場側に排出されるようになっている。この場合、図６に示すように、排出管３６には、気液分離手段例えば気液分離器７０が介設されている。
【００４７】
この気液分離器７０は、図７に示すように、上部に排出管３６に接続するガス導入口７１ａを有し、下部にはＩＰＡガス中の水分（液）を排出する排液口７１ｂと、排気口７１ｃとを有する箱状の容器７１と、この容器７１の上端から下部側方に貫通され、容器７１内にコイル状に配設される熱伝導性の良好な材質例えばアルミニウム製部材にて形成される熱交換管７２と、容器７１内の熱交換管７２以外の空間部に充填される繊維状のガス拡散材７３とを具備する熱交換器にて形成されている。
【００４８】
このように構成される気液分離器７０において、熱交換管７２に接続される冷媒供給源７４から熱交換管７２内に、ＩＰＡの凝縮する温度、例えば５℃以下の温度の冷媒例えばＲ２２等が流入される一方、乾燥室３１から使用済みのＩＰＡガスがガス導入口７１ａから容器７１内に導入されると、ＩＰＡガスはガス拡散材７３によって拡散されつつ熱交換管７２と接触あるいは熱交換管７２からの冷気と接触して凝縮し、凝縮された液は下端の排液口７１ｂから排出され、残りの濃度が低下したＩＰＡガスは排気口７１ｃから排出される。
【００４９】
したがって、乾燥室３１にてウエハＷの乾燥に供されたＩＰＡガスは、気液分離器７０によって気液分離されて濃度が低下された状態で工場側に排出される。
【００５０】
なお、上記説明では、気液分離器７０が、ＩＰＡガスを流す容器７１と、冷媒を流すコイル状の熱交換管７２とで構成される場合について説明したが、気液分離器７０は必ずしもこのような構造のものに限定されるものではない。例えば、コイル状の熱交換管７２に代えて多数の熱交換チューブを容器内に貫通させるようにしてもよい。また、容器７１と熱交換管７２とを逆にしてもよい。すなわち、容器７１内に冷媒を流し、熱交換管７２内にＩＰＡガスを流すようにしてもよい。
【００５１】
なお、洗浄室３２内に配設される処理槽３３は、ウエハＷを収容する内槽３３ａと、この内槽３３ａの開口部外方を包囲する外槽３３ｂとで構成されており、内槽３３ａの下部側に配設された洗浄液供給ノズル３７から内槽３３ａ内に供給されて、外槽３３ｂにオーバーフローする洗浄液（例えば薬液、純水等）によってウエハＷを洗浄処理するように構成されている（図６参照）。
【００５２】
一方、前記処理手段３０の乾燥室３１と洗浄室３２とを遮断するシャッタ３４には、気水密性を維持するためにＯリング３８が装着されている（図６参照）。この場合、シャッタ３４は、図示しない移動手段によって乾燥室３１と洗浄室３２との間に移動された後、乾燥室３１を有するチャンバ３１Ａの下面にＯリング３８を押圧して乾燥室３１を密封するようになっている。なおこの場合、Ｏリング３８は材質上、ある程度硬度の高いものが使用される。したがって、弾性変形が少ないため、平面度の低いチャンバ３１Ａの下面への密着性が悪くなり、乾燥室３１の密封性が低下する虞がある。この問題を解決するために、図８（ａ），（ｂ）に示すように、シャッタ３４におけるチャンバ３１Ａと対向する面にＯリング３８の直径と略等しい幅の凹溝３９ａの底部に逃げ用の小溝３９ｂを設けた段付溝３９ｃを周設し、この段付溝３９ｃ内にＯリング３８を嵌挿している。
【００５３】
このように、段付溝３９ｃ内にＯリング３８を嵌挿することにより、上述のように、シャッタ３４をチャンバ３１Ａ側に押圧すると、Ｏリング３８の一部が小溝３９ｂ内に移動するので、Ｏリング３８はチャンバ３１Ａの下面に密着する、すなわちＯリング３８はチャンバ３１Ａの下面に均一に線接触して乾燥室３１を密封することができる。
【００５４】
なおこの場合、段付溝３９ｃに代えて図８（ｃ）に示すように、凹溝３９ａの底部に軟質性の弾性体３９ｄを配設してもよい。また、弾性体３９ｄをばね部材にて形成してもよい。
【００５５】
また、図９（ａ），（ｂ）に示すように、シャッタ３４に周設された例えば狭隘開口状のあり溝３９内に嵌挿されるＯリング３８Ａを、Ｏリング本体３８ａと、Ｏリング本体３８ａの外周面から外方側に向かって放物線状に突出すると共に、先端が狭小となる舌片３８ｂとで構成したものとしてもよい。なおこの場合、舌片３８ｂは圧力の高い乾燥室３１内に向かって傾斜している。このように構成されるＯリング３８Ａを用いて、上述と同様に、シャッタ３４をチャンバ３１Ａ側に押圧すると、舌片３８ｂがＯリング本体３８ａ側に変形して密着する。なおこの場合、図９（ｃ）に示すように、舌片３８ｂの外側面に複数のフィン３８ｃを設けることにより、更に密着性の向上を図ることができる。
【００５６】
上記説明では、シャッタ３４にＯリング３８，３８Ａを装着する場合について説明したが、必ずしもこのような構造とする必要はなく、Ｏリング３８，３８Ａをチャンバ３１Ａに装着してもよい。
【００５７】
次に、ウエハＷの洗浄・乾燥処理の手順について説明する。まず、ウエハ搬送チャック１５によってインターフェース部４から複数枚例えば５０枚のウエハＷを受け取って処理部３に搬送する。そして、処理部３の洗浄・乾燥処理ユニット１８に搬送されたウエハＷは、洗浄室３２内のウエハボート（図示せず）に受け取られて処理槽３３内に搬入され、処理液（薬液，純水等）に浸漬されて洗浄処理が行われる。
【００５８】
洗浄処理が行われたウエハＷは、ウエハボートによって処理槽３３から引き上げられると共に、乾燥室３１内に保持される。この状態で、シャッタ３４が閉じて乾燥室３１が密閉される。一方、蒸気生成装置２５にＮ2ガス供給源２１から蒸気媒体用の気体であるＮ2ガスが供給されると共に、ＩＰＡ供給源２４から被蒸気液であるＩＰＡが供給されて、蒸気生成装置２５の衝撃波形成部４２で発生する衝撃波のエネルギを利用してＩＰＡを霧化し、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂにより加熱することにより、蒸気すなわちＩＰＡガスを生成する。このとき、並列に配置された各蒸気生成装置２５には、それぞれ同量例えば１．５ｃｃのＩＰＡが供給され、カートリッジヒータ４６ａ，４６ｂによって加熱されることによって、ＩＰＡガスが生成される。
【００５９】
蒸気生成装置２５で生成されたＩＰＡガスは、メタルフィルタ２６によって、濾過されてＩＰＡガス中のパーティクル等が除去されると共に、例えば１８０℃に加熱されて、供給路２２ｄを流れる。メタルフィルタ２６によって濾過・加熱されたＩＰＡガスは、更に再加熱器２７の分散体６４と略偏平円形状の加熱室６３によって効率よく加熱（保温）例えば１８０℃に加熱（保温）されてＩＰＡガス供給ノズル３５から処理手段３０の乾燥室３１内に噴射（供給）され、乾燥室３１内のウエハＷと接触して、ウエハＷに付着する水分が除去（乾燥）される。
【００６０】
この場合、蒸気中のＩＰＡ量や温度を適宜設定することにより、被処理体であるウエハＷの乾燥を効率よく行うことができる。例えば乾燥されるウエハＷが、洗浄によって酸化膜が除去された後である場合には、ウオーターマークの発生が問題となるので、熱による水の乾燥を無くし、完全に水とＩＰＡを置換させるため、例えば２個の蒸気生成装置２５を同時に使用して、ＩＰＡ量を多くし、蒸気の温度を低くした状態でウエハＷの乾燥を行う。また、酸化膜が除去される前で、ウオーターマークの発生が比較的問題とならない乾燥の場合には、水とＩＰＡとの置換による乾燥の他、熱による乾燥も利用するため、１個の蒸気生成装置２５を使用して、ＩＰＡ量を少なくすると共に、蒸気の温度を高くしてウエハＷの乾燥を行う。
【００６１】
上記のようにして乾燥処理が終了したウエハＷは、再びウエハ搬送チャック１５によって受け取られて、インターフェース部４に搬送される。
【００６２】
また、乾燥処理に供したＩＰＡガスは、排出口３１ａから排出管３６を介して気液分離器７０内に導入され、気液分離器７０の熱交換管７２内を流れる冷媒によって冷却されて、凝縮液とガスとに分離される。そして、凝縮されたＩＰＡは排液口７１ｂから排出され、ガスは排気口７１ｃから排出される。
【００６３】
なお、前記蒸気処理装置の一部を利用して、蒸気処理の他に、前記メタルフィルタ２６の洗浄装置にも使用することができる。メタルフィルタ洗浄装置１００は、図１０に示すように、前記と同様に形成された蒸気生成装置２５と、ＩＰＡリサイクル装置８０とを具備してなり、蒸気生成装置２５とＩＰＡリサイクル装置８０とを接続する配管８１の途中に、被洗浄物であるメタルフィルタ２６を着脱可能に接続して、蒸気生成装置２５によって生成された高温（例えば１５０〜２００℃）のＩＰＡガスを、配管８１に接続されたメタルフィルタ２６のフィルタエレメント２６ａ内を通過させて、フィルタエレメント２６ａに残留するフィルタエレメント２６ａの構成物質である金属を洗い流して、ＩＰＡリサイクル装置８０の回収タンク８２内に回収するように構成されている。
【００６４】
この場合、蒸気生成装置２５におけるＩＰＡ供給源２４に接続する供給路２２ｃには、前記ＩＰＡリサイクル装置８０に回収されたＩＰＡを貯留するＩＰＡタンク８３が介設されると共に、このＩＰＡタンク８３内のＩＰＡを蒸気生成装置２５側に供給するためのＩＰＡ供給ポンプ８４が介設されている。また、供給路２２ｃには流量調整弁８５が介設されており、この流量調整弁８５によって、所定量例えば１ｃｃ／ｓｅｃ〜３ｃｃ／ｓｅｃのＩＰＡが蒸気生成装置２５に供給されるようになっている。なお、ＩＰＡタンク８３の側部には、このＩＰＡタンク８３内のＩＰＡ量の上限と下限を検知する上限及び下限センサ８６ａ，８６ｂが配設されている。
【００６５】
また、ＩＰＡリサイクル装置８０には、回収タンク８２内に回収されたＩＰＡを所定温度に冷却する冷却器８７が具備されている。この冷却器８７は、回収タンク８２の外方側部に配置される水ジャケット内に冷却水を循環供給する構造となっている。なお、回収タンク８２の側部には、この回収タンク８２内のＩＰＡ量の上限と下限を検知する上限及び下限センサ８８ａ，８８ｂが配設されている。
【００６６】
また、回収タンク８２と前記ＩＰＡタンク８３とが配管８９によって接続されており、この配管８９に介設されるポンプ９０の駆動によって回収タンク８２内に回収されたＩＰＡをＩＰＡタンク８３に供給することができるようになっている。これにより、メタルフィルタ２６の洗浄に供したＩＰＡを再利用することができる。なお、回収タンク８２に回収されたＩＰＡの純度（汚染度）を図示しないセンサ等で常時監視して、ＩＰＡの汚染度が所定以上に達した際には、回収タンク８２内のＩＰＡを廃棄した後、ＩＰＡタンク８３に新しいＩＰＡを補給すればよい。
【００６７】
上記のように構成されるメタルフィルタ洗浄装置１００を用いて、前記蒸気処理装置２０に装着される前のメタルフィルタ２６を洗浄することにより、メタルフィルタ２６に残留する金属を除去することができる。したがって、蒸気処理装置２０に使用されるメタルフィルタ２６により濾過された蒸気のメタルコンタミネーションを防止することができ、蒸気処理を好適な状態で行うことができる。
【００６８】
また、このメタルフィルタ洗浄装置１００は、従来のＩＰＡを使用する超音波洗浄等では除去できなかった残留金属を除去することができるので、好適である。
【００６９】
なお、上記実施形態では、この発明に係る蒸気処理装置を半導体ウエハの洗浄処理システムに適用した場合について説明したが、洗浄処理以外の処理システム例えば、薄膜材料を構成する元素からなる化合ガスをウエハ上に供給して、気相又はウエハ表面での化学反応により所望の薄膜を形成させるＣＶＤ薄膜成形処理システムにも適用できる。また、半導体ウエハ以外のＬＣＤ用ガラス基板等にも適用できることは勿論である。
【００７０】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明によれば、以下のような優れた効果が得られる。
【００７１】
１）請求項１，２記載の発明によれば、被蒸気液の量に応じて蒸気の温度を適宜調整して処理に最適な蒸気を生成し、その蒸気を用いて処理を行うことができるので、蒸気処理を効率よく行うことができる。
【００７２】
２）請求項３記載の発明によれば、生成された蒸気が処理手段に供給されるまでに温度変化を生じるのを防止して、所定の温度状態を維持することができるので、上記１）に加えて更に処理効率の向上を図ることができる。
【００７３】
３）請求項４，５記載の発明によれば、蒸気の生成を各蒸気生成手段毎に分担させることができると共に、濾過・加熱手段における濾過・加熱の負荷を低減することができるので、効率よく蒸気を生成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る蒸気処理装置を適用した洗浄処理システムの概略平面図である。
【図２】この発明に係る蒸気処理装置を示す概略構成図である。
【図３】この発明における蒸気生成装置を示す概略断面図である。
【図４】この発明におけるメタルフィルタを示す概略断面図である。
【図５】この発明における再加熱器を示す概略断面図である。
【図６】この発明における処理手段と気液分離器を示す概略断面図である。
【図７】前記気液分離器を示す断面図である。
【図８】前記処理手段の乾燥室とシャッタとの密封構造を示す概略断面図（ａ）、（ａ）のＡ部拡大断面図（ｂ）及び変形例の拡大断面図（ｃ）である。
【図９】前記乾燥室とシャッタとの別の密封構造を示す概略断面図（ａ）、（ａ）のＢ部拡大断面図（ｂ）及び変形例の拡大断面図（ｃ）である。
【図１０】この発明における蒸気生成装置をメタルフィルタ洗浄装置に使用した場合の概略構成図である。
【符号の説明】
２０蒸気処理装置
２１Ｎ2ガス供給源
２４ＩＰＡ供給源
２５蒸気生成装置（蒸気生成手段）
２６メタルフィルタ（濾過・加熱手段）
２７再加熱器（再加熱手段）
３０処理手段
３１乾燥室（処理室）
７０気液分離器（気液分離手段）
７１容器
７２熱交換管
７４冷媒供給源

Claims

蒸気媒体用の気体と被蒸気液とを適宜混合すると共に、加熱して蒸気を生成する蒸気生成手段と、
前記蒸気生成手段により生成された蒸気を濾過するフィルタエレメントと、前記蒸気を所定温度に加熱すべく前記フィルタエレメントの外周を囲繞する有底筒状ヒータとを具備する濾過・加熱手段と、
前記濾過・加熱手段により所定の温度に設定された蒸気を処理室内に導入し、処理室内に配設された被処理体に接触して適宜処理を施す処理手段と、
を有することを特徴とする蒸気処理装置。
請求項１記載の蒸気処理装置において、
前記蒸気生成手段は、蒸気媒体用の気体の流入口と流出口を有する中細ノズルと、この中細ノズルの流出口に連通する導入管とを具備し、
前記中細ノズルは、前記蒸気媒体用の気体の流れ方向に沿って漸次狭小となる先細ノズル部と、この先細ノズル部の狭小部から流れ方向に沿って徐々に拡開する末広ノズル部とからなり、狭小部近傍の流出口側に衝撃波形成部が形成され、かつ、前記狭小部近傍の前記末広ノズル部に被蒸気液の供給口が開設され、
前記導入管に、前記衝撃波形成部に発生する衝撃波のエネルギによって霧状となった前記被蒸気液を加熱するヒータを配設してなる、ことを特徴とする蒸気処理装置。
請求項１又は２記載の蒸気処理装置において、
前記濾過・加熱手段を通過した蒸気を、所定温度に再加熱する再加熱手段を更に設けた、ことを特徴とする蒸気処理装置。
請求項１ないし３のいずれかに記載の蒸気処理装置において、
前記蒸気生成手段を互いに並列に複数個設けた、ことを特徴とする蒸気処理装置。
請求項４記載の蒸気処理装置において、
前記複数個の蒸気生成手段を選択的に使用可能に形成してなる、ことを特徴とする蒸気処理装置。