JP3555625B2 - 銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法 - Google Patents

銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3555625B2
JP3555625B2 JP20393694A JP20393694A JP3555625B2 JP 3555625 B2 JP3555625 B2 JP 3555625B2 JP 20393694 A JP20393694 A JP 20393694A JP 20393694 A JP20393694 A JP 20393694A JP 3555625 B2 JP3555625 B2 JP 3555625B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electropolishing
tanks
lead frame
tank
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20393694A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0866830A (ja
Inventor
良麿 手塚
靖 神月
正 中野
武 横山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority to JP20393694A priority Critical patent/JP3555625B2/ja
Publication of JPH0866830A publication Critical patent/JPH0866830A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3555625B2 publication Critical patent/JP3555625B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明はリードフレームに銀めっきを施す方法に関し、特に銅ストライクめっきを不要とするリードフレームの銀めっき方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子部品材料であるリードフレームは、一般に圧延材料を加工して製造されている。例えば、圧延材料を型抜きして基材を得、この基材を化学研磨や電解研磨して基材表面に付着している有機物などの汚れ、酸化被膜そして凸状突起物、ヒゲ状突起物といった異形物の除去などを行い、その後リード部等の必要部に銅ストライクめっきを施し、その上に銀めっきを施して製造している。
【0003】
リードフレームに銀めっきをする具体的な方法を示すと以下のようになる。
【0004】
まず、リードフレームを脱脂液に浸漬し(溶剤浸漬工程)て表面の油脂を除去する。次に電解研磨液中でアノード溶解(電解研磨工程)し、リードフレーム表面の凹凸部を研磨し、凹部に含まれていた油脂を除去する。次に、電解研磨後のリードフレーム表面に存在する酸化膜を硫酸を用いて溶解除去(酸処理工程)し、中和処理(中和工程)し、銅ストライクめっき(銅ストライクめっき工程)をする。そして、えられた銅層の上に銀めっき(銀めっき工程)を施し、後処理を行う。
【0005】
従来の電解研磨工程ではリードフレーム表面の凹凸の除去は不完全であり、このような表面に直接銀めっきを施すと良好な銀めっきは得られない。このため上記銅ストライクめっき工程は不可欠なものとなっている。しかし、この銅ストライクめっき工程には以下のような問題点がある。
【0006】
(1) 液の持ち出しや液加熱により生産中に浴組成変動を来し易い。
【0007】
(2) 浴組成変動によりストライクめっき層の厚さが変動し易い。
【0008】
(3) めっき前処理工程の影響を完全に抑えることができず、フクレ、ムラを完 全になくすことができず、銀めっき不良をなくすことはできない。
【0009】
よって、銅ストライクめっき工程を省略できれば、これら問題点の解消ができるばかりでなく、大幅なコストダウンが達成できるため、種々の検討が試みられている。この一つに無接点式電解研磨装置を用いた電解研磨方法がある。この方法は、電解液中を通過するリードフレーム自身が無接触式で電極となる。この無接点式電解研磨装置では、リードフレームが非接触で電解研磨されるため、リードフレームが変形することなく、かつ結果的に良好な研磨面が得られるとされている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
確かに、上記無接点式電解研磨装置を用いると、研磨後のリードフレームの表面は従来と比較にならないほど改善される。しかし、このようなリードフレームですら銅ストライクめっきを省略することはできない。
【0011】
本発明は上記状況に鑑みてなされたものであり、銅ストライクめっきを必要とせず、直接リードフレーム表面に銀めっきを施すことが可能となるリードフレームの電解研磨方法の提供を課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の方法は、銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨法において、単位電解研磨槽がリードフレームの導入方向より、素材供給ロール部、電解研磨部、素材排出ロール部の順に配置された装置であり、上記電解研磨部には、リードフレームの導入方向より第1電極配置槽、第1処理液排出槽、第2電極配置槽、第2処理液排出槽、第3電極配置槽、第3処理液排出槽、第4電極配置槽の順に配置され、さらに、上記の各層は電解研磨処理に供されるリードフレームを通過させるための開口部を有する隔壁によって仕切られ、また、第1及び第4の電極配置層には、開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陰極または陽極に連なる電極板が配置され、さらに、第2および第3の電極配置槽には開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陽極または陰極に連なる電極板が配置され、また、第1および第4の電極配置槽並びに第2および第3の電極配置槽の底部にはそれぞれに電解研磨液の注入口が設けられてあり、そのうえ、素材供給ロール部、第1ないし第3の処理液排出槽、素材排出ロール部の底部にはそれぞれに研磨処理に供された電解研磨液の排出口がもうけられてあり、さらに、上記注入口から第1および第4の電極配置槽または第2および第3の電極配置槽に向けて個別に注入された電解研磨液は、それぞれの第1および第4の電極配置槽、または第2および第3の電極配置槽に隣接する素材供給ロール部、第1ないし第3の処理液排出槽、素材排出ロール部の底部に設けられた排出口より電解研磨液電解研磨液循環部に向けて排出されるように構成された無接点式電解研磨装置を用い、以下に示す電解研磨液を用い、以下に示す条件で電解研磨を行うものである。
【0013】
Figure 0003555625
【0014】
電流密度 1.0〜3.0 A/dm
【0015】
【作用】
本発明の特徴は、無接点式電解研磨装置を用い、特定の電解研磨液を用い、特徴ある波形を持った電流を印加する点である。
【0016】
まず、本発明に使用するのに好適な無接点式電解研磨装置について図1を用いて説明する。
【0017】
図1の装置はリードフレームの導入方向より、素材供給ロール部1、電解研磨部2、素材排出ロール部3の順に配置された装置である。上記電解研磨部2には、リードフレームの導入方向より第1陰極配置槽4、第1処理液排出槽5、第1陽極配置槽6、第2処理液排出槽7、第2陽極配置槽8、第3処理液排出槽9、第2陰極配置槽10がこの順に配置されている。
【0018】
さらに、上記の各層は電解研磨処理に供されるリードフレームを通過させるための開口部11を有する隔壁12によって仕切られている。
【0019】
また、第1及び第2の陰極配置層4,10には、開口部11を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陰極に連なる陰極板13が配置され、さらに、第1および第2の陽極配置槽6,8には開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陽極に連なる陽極板14が配置されてい。
【0020】
また、第1および第2の陰極配置槽4,10並びに第1および第2の陽極配置槽6,8の底部にはそれぞれに電解研磨液の注入口15が設けられてあり、そのうえ、素材供給ロール部1、第1ないし第3の処理液排出槽5,7,8、素材排出ロール部3の底部には祖それぞれに研磨処理に供された電解研磨液の排出口16がもうけられてある。
【0021】
さらに、上記注入口15から第1および第2の陰極配置槽4,10または第1および第2の陽極配置槽6,8に向けて個別に注入された電解研磨液は、、それぞれの第1および第2の陰極配置槽4,10、または第1および第2の陽極配置槽6,8に隣接する第1ないし第3のいずれかの処理液排出槽5,7,9の底部に設けられた排出口16より電解研磨液循環部に向けて排出される。
【0022】
そして、電解研磨液循環部にて一体にして回収された電解研磨液は電解研磨液循環部にて電解研磨液の性状を調整した後、上記電解研磨液循環部よりそれぞれの第1および第2の陰極配置槽4,10または第1および第2の陽極配置槽6,8に循環して供給されるものである。
【0023】
次に本発明で用いる電解研磨液について説明する。
【0024】
従来よりもっとも多用される電解研磨液はピロリン酸カリウム50g/リットル、クエン酸ナトリウム30g/リットルのようなリン酸系電解研磨液を用いている。この電解研磨液はリードフレームとして用いられ鉄系部材の電解研磨液として長い実績があり、かつ安価である。しかし、この電解研磨液を本発明の方法のように用いた場合には、表面が確実に平坦となるように電解研磨を行えなかった。
【0025】
本発明で用いる電解研磨液の基本組成を硫酸浴としたのは以下の理由による。
【0026】
アルカリ浴を用いると、比較的良好な研磨面は得られるものの、泡立ちが多い等の問題があり、排水処理にかなりな負担をかけることになる。中性浴では十分な電解研磨は得られない。塩酸浴では良好な研磨面は得られるものの、臭気や腐食などの問題があり、経済性を損なう。リン酸は排水処理に負担がかかる。これらに対し、硫酸浴は、硫酸単味では塩酸浴ほど良好な研磨面は得られないものの、添加剤を併用することにより塩酸浴とより優れた平滑性を持つ研磨面が得られる。また、硫酸浴であれば安価であり、かつ取扱いも容易である。
【0027】
本発明で用いる添加剤の一つは塩化アンモニウムである。塩化アンモニウムの役割は銅及び銅合金製性リードフレーム表面を腐食させることが主となっていると思われる。
【0028】
また、他の添加剤としてノニオン系海面活性剤を用いるが、これは銅及び銅合金製性リードフレーム表面の油脂類を浴中に容易に溶解させる目的と、リードフレーム表面に気泡が付着しにくくする目的からである。用いることのできるノニオン系界面活性材としては、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリドなどがある。
【0029】
界面活性材の濃度が低すぎると電極面への発生ガスの付着を防止できず、高すぎると界面活性剤自体が十分に溶解しないばかりでなく、電解液の粘度が多角なりすぎ、同様に電極面へのガスの付着を防止できなくなる。このため、ノニオン系界面活性剤の濃度は0.08〜0.25g/リットルとすることが必要である。
【0030】
本発明の電解液の組成は幾多の試験の結果求めたものであり、この範囲をはずれると銅ストライクめっきが不要になるほど良好な電解研磨面は得られない。
【0031】
次に、電解研磨に用いる電流波形について説明する。
【0032】
図2は陽極側または陰極側に印加する、電流発生装置(図示せず)によって発生される電流の基本波形を示すグラフであり、図3は、電流発生装置によって発生した電流を切り替えて陽極側および陰極側に交互に印加する態様を示すグラフである。
【0033】
図2から明らかなように、印加する電流は、直流電流にリップル(脈動部)を重畳した電流であり(以下「リップルを有する直流電流」と呼ぶ)、このような波形の電流は交流を整流し、平滑装置により平滑にすることにより得ることができる。なお、このような電流波形を得る装置は本発明の部分を構成しないので、詳細な説明は省略する。
【0034】
図3は、図2で示す電流波形を発生する装置(図示せず)を用いて電解研磨を行う際の電流を印加する態様を示す例であり、図示した例では陽極側に5個のリップル(リップルの幅:10ms)を有する直流電流を印加し、その後陰極側に1個のリップルを有する直流電流を印加し、これを1サイクルとし、以下同様に電流を印加することを示している。
【0035】
図3で示すようなリップルを有する直流電流を用いることにより十分な電解研磨面が得られ、直接リードフレームの表面に銀めっきを施すことができる。また、電解研磨でこのようなリップルを有する直流電流を用いる際、リップルの幅、言い替えるとリップルリップルの周波数と、陽極側および陰極側への電流の印加時間の割合とが平滑な電解研磨面を得るのに重要である。具体的には、リップルの周波数を40〜120Hzの範囲内に選び、リードフレームが陽極として機能する時間が陰極として機能する時間の3.3倍以上となるようにする。
【0036】
本発明の方法において、なぜ平滑な電解研磨面が得られるのかの理論的解析は、現在のところ不明である。無接点式電解研磨装置と、本発明の電解液とを用い、リップルを有する直流電流を用いることにより、直流電流に重畳されたリップル部分の電流の物理化学的効果が従来より一層大きくなったためと本発明者らは思っている。
【0037】
なお、本発明の方法で得られたリードフレームにX方向、Y方向を問わず直接ワイヤーボンディングすることが可能である。
【0038】
【実施例】
次に本発明の実施例について述べる。
【0039】
(実施例1)
幅23cm、長さ45cm、深さ15cmの2基の電極配置槽を陰極槽とし、幅23cm、長さ15cm、深さ15cmmの2基の電極配置槽を陽極槽とし、これらの電極配置槽と幅23cm、長さ15cm、深さ15cmの4基の処理廃液槽と幅23cm、長さ10cm、深さ15cmの1基の処理廃を組み合わせて図1に示した無接点式電解研磨装置を組立以下の電解研磨に使用した。なお、用いた陽極板は厚さ5mm、幅10cm、長さ10cmの銅板であり、陰極板は厚さ3mm、幅10cm、長さ40cmの硬鉛板である。
【0040】
銅材をプレス加工して得た、厚さ0.18mm、幅10cmmの長尺のリードフレームを上村工業株式会社製SK−7を50g/リットルの50℃の脱脂液に20秒間浸漬し、次いで、上記無接点式電解研磨装置と下記組成の電解液を用い、リードフレームの陽極側への印加時間と陰極への印加時間とを変え電解研磨を行った。
【0041】
<電解液>
硫酸 30g/リットル
塩化アンモニウム 60g/リットル
AU−150(上村工業株式会社社製界面活性剤) 0.17g/リットル
液温度 45℃
なお、リードフレームの搬送速度は3m/分とし、平均電流密度が2.0A/dmとなるようにし、リップルを構成する1つの波のサイクルが10mS(ミリ秒)のリップルを有する直流電流を図3に示すようなパターンでリードフレームに印加し電解研磨を行った。なお、10mSのリップルの周波数は50Hzである。
【0042】
電解研磨後、リードフレームを水洗し、表面を目視観察した。その結果、素材表面全体の水塗れ性は均一であり、水をはじいた部分は見あたらず、かつリードフレームのパッド部分においても同様であった。ちなみに、このリードフレームの表面の粗さを東京精密株式会社社製の粗さ計サーフコム 554Aを用いて測定したところ、処理前の凹部の平均値が0.55μm、凸部の平均値が0.35μmで有ったものが、処理後には凹部の平均値は0.2、凸部の平均値が0.07となっており、極めて平滑になっていることがわかった。
【0043】
次にリードフレームの表面を25g/リットルのエンゲル置換防止材溶液に10秒間浸漬し、中和処理を行い、60℃、銀濃度60g/リットルのエンゲルS−910Agめっき液を20秒間吹き当て、電流密度50A/dmで銀めっきを行った。得られた銀めっき被膜の状態を観察し、その結果を表1に示した。表1は図3のパターンに示される1サイクルの間に陽極として作用する時間を縦軸に採り、陰極として作用する時間を横軸に採ったものである。
【0044】
Figure 0003555625
表1において○は良好なめっき被膜が得られたものであり、△は焼けが発生しているものであり、不良品である。
【0045】
(実施例2)
硫酸濃度を20g/リットル、40g/リットルとした以外は実施例1と同様にして電解研磨を行い、引き続き銀めっきを施した。
【0046】
得られた銀めっき被膜の状態を観察し、1サイクルの間に陽極として作用する時間と、陰極として作用する時間と銀めっき被膜の外観との関係を求めたところ実施例1と同様であった。
【0047】
(実施例3)
塩化アンモニウム濃度を40g/リットル、80g/リットルとした以外は実施例1と同様にして電解研磨を行い、銀めっきを施した。
【0048】
得られた銀めっき被膜の状態を観察し、1サイクルの間に陽極として作用する時間と、陰極として作用する時間と銀めっき被膜の外観との関係を求めたところ実施例1と同様であった。
【0049】
(実施例4)
界面活性剤濃度を0.08g/リットル、0.2g/リットルとした以外は実施例1と同様にして電解研磨を行い、銀めっきを施した。
【0050】
得られた銀めっき被膜の状態を観察し、1サイクルの間に陽極として作用する時間と、陰極として作用する時間と銀めっき被膜の外観との関係を求めたところ実施例1と同様であった。
【0051】
(比較例)
電解液を温度50度、濃度50g/リットルのEC−56(ディプソール株式会社製)溶液を電解液とした以外は実施例1と同様にして電解研磨を行い、銀めっきを施した。
【0052】
得られた銀めっき被膜の状態を観察し、1サイクルの間に陽極として作用する時間と、陰極として作用する時間と銀めっき被膜の外観との関係を求めたところ何れの条件でも良好なものは得られなかった。
【0053】
そこで、電解研磨後、リードフレームを水洗し、表面を目視観察したが、素材表面全体の水塗れ性は均一であり、水をはじいた部分は見あたらず、かつリードフレームのパッド部分においても同様であった。次に、このリードフレームの表面粗さを用いて測定したところ、処理後の凹部の平均値は0.5、凸部の平均値が0.23となっており、本実施例ほと平滑でないことがわかった。
【0054】
また、電解研磨後のリードフレームを従来法に従い銅ストライクめっきを施し、次いで銀めっきを施したところ良好なめっき被膜が得られていることがわかった。
【0055】
【発明の効果】
本発明の方法を用いれば、得られるリードフレームの表面は極めて平滑であり、直接銀めっきを施すことができる。このため、銅ストライクめっきが不要となるので極めて経済的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に使用した無接点式電解研磨装置を示したものである。
【図2】陽極側または陰極側に印加する電流の基本波形を示すグラフである。
【図3】電流発生装置によって発生した電流を切り替えて陽極側および陰極側に交互に印加する態様を示すグラフである。
【符号の説明】
1−−−素材供給ロール部 2−−−電解研磨部
3−−−素材排出ロール部 4−−−第1陰極配置槽
5−−−第1処理液排出槽 6−−−第1陽極配置槽
7−−−第2処理液排出槽 8−−−第2陽極配置槽
9−−−第3処理液排出槽 10−−−第2陰極配置槽
11−−−開口部 12−−−隔壁
13−−−陰極板 14−−−陽極板
15−−−注入口 16−−−排出口

Claims (1)

  1. 単位電解研磨槽がリードフレームの導入方向より、素材供給ロール部、電解研磨部、素材排出ロール部の順に配置された装置であり、上記電解研磨部には、リードフレームの導入方向より第1電極配置槽、第1処理液排出槽、第2電極配置槽、第2処理液排出槽、第3電極配置槽、第3処理液排出槽、第4電極配置槽の順に配置され、さらに、上記の各層は電解研磨処理に供されるリードフレームを通過させるための開講部を有する隔壁によって仕切られ、また、第1及び第4の電極配置層には、開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陰極または陽極に連なる電極板が配置され、さらに、第2および第3の電極配置槽には開口部を結ぶ平面を境にして、その上下もしくはその上下のいずれかの位置で、かつ、電解研磨液に浸された位置に、電源の陽極または陰極に連なる電極板が配置され、また、第1および第4の電極配置槽並びに第2および第3の電極配置槽の底部にはそれぞれに電解研磨液の注入口が設けられてあり、そのうえ、素材供給ロール部、第1ないし第3の処理液排出槽、素材排出ロール部の底部にはそれぞれに研磨処理に供された電解研磨液の排出口がもうけられてあり、さらに、上記注入口から第1および第4の電極配置槽または第2および第3の電極配置槽に向けて個別に注入された電解研磨液は、それぞれの第1および第4の電極配置槽、または第2および第3の電極配置槽に隣接する素材供給ロール部、第1ないし第3の処理液排出槽、素材排出ロール部の底部に設けられた排出口より電解研磨液電解研磨液循環部に向けて排出されるように構成された無接点式電解研磨装置を用い、以下に示す電解研磨液を用い、以下に示す条件で電解研磨を行うことを特徴とする銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法。
    Figure 0003555625
JP20393694A 1994-08-29 1994-08-29 銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法 Expired - Fee Related JP3555625B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20393694A JP3555625B2 (ja) 1994-08-29 1994-08-29 銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20393694A JP3555625B2 (ja) 1994-08-29 1994-08-29 銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0866830A JPH0866830A (ja) 1996-03-12
JP3555625B2 true JP3555625B2 (ja) 2004-08-18

Family

ID=16482143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20393694A Expired - Fee Related JP3555625B2 (ja) 1994-08-29 1994-08-29 銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3555625B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100378485B1 (ko) * 2000-08-17 2003-03-29 삼성테크윈 주식회사 리드 프레임과 이의 제조방법
SG87194A1 (en) * 2000-08-17 2002-03-19 Samsung Techwin Co Ltd Lead frame and method of manufacturing the lead frame

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0866830A (ja) 1996-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5843290A (en) Electrolytic polishing apparatus
CA2384244A1 (en) Method and device for the electrolytic treatment of electrolytically conducting structures which are insulated from each other
JP3555625B2 (ja) 銅及び銅合金製リードフレームの電解研磨方法
JP3355813B2 (ja) 鉄合金製リードフレームの電解研磨方法
JP3738940B2 (ja) 校正用平版印刷版用アルミニウム支持体の製造方法
JP4216718B2 (ja) 基板への銅エッチング方法、デバイスおよびこれに用いる電解液
JP3748295B2 (ja) 平版印刷版用アルミニウム支持体の粗面化方法
JPH08141844A (ja) 電解研磨装置及びこれを用いた電解研磨方法
JPH09235698A (ja) 電気分解用表面被覆電極およびそれを用いた金属帯の連続電気めっき方法
KR20090132733A (ko) 프리즘시트용 마스터롤의 제작방법
JPH057474B2 (ja)
JP3463772B2 (ja) 電解研磨法及びこれを用いたリードフレームの製造方法
JPH11115340A (ja) 平版印刷版用アルミニウム支持体の製造方法
CN212451698U (zh) 一种铬基针布专用镀槽
JP2001121837A (ja) 平版印刷版用アルミニウム支持体の製造方法
JP4143123B2 (ja) アルミニウム加工品の処理
JPS63235500A (ja) 電解粗面化処理のための前処理方法
JP3162115B2 (ja) オフセット印刷版用アルミニウム支持体の連続電解粗面化方法
JP3787735B2 (ja) 平版印刷版用アルミニウム支持体の製造方法および支持体
EP0520354A1 (en) Apparatus and method for anodizing supports for lithographic printing plate
JP2005226139A (ja) 表面平滑化銅箔及びその製造方法
JP2001064797A (ja) 金属板電解処理装置
WO2024049377A1 (en) A portable electroplating plant
JP2945502B2 (ja) オフセット印刷版用アルミニウム支持体の連続電解粗面化方法
JPH03247800A (ja) アルミニウム板の表面の粗面化方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040213

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040421

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040504

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080521

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees