JP3523694B2 - 電荷転送方法及び固体撮像装置 - Google Patents
電荷転送方法及び固体撮像装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電荷転送方法及び固体
撮像装置に関し、特に多線ＣＣＤレジスタ構造を有する
固体撮像装置における画像むらの防止に好適なものであ
る。
撮像装置に関し、特に多線ＣＣＤレジスタ構造を有する
固体撮像装置における画像むらの防止に好適なものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体撮
像装置は、高解像度や高速動作を得る上で有利であるた
め、多画素・高速のＣＣＤ形固体撮像装置での使用が今
後増加すると予想される。多線ＣＣＤレジスタ構造を有
する固体撮像装置の構成を、感光画素が直線状に配設さ
れた２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の例につい
て説明する。
像装置は、高解像度や高速動作を得る上で有利であるた
め、多画素・高速のＣＣＤ形固体撮像装置での使用が今
後増加すると予想される。多線ＣＣＤレジスタ構造を有
する固体撮像装置の構成を、感光画素が直線状に配設さ
れた２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の例につい
て説明する。
【０００３】図５は、２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮
像装置の略平面図である。ここでは図面の簡略化のため
に少数のフォトダイオード等からなる感光画素２１ａ及
び２１ｂが直線状に配設された感光画素列２１の１列分
の構成部分のみを示している。ただし、図５中右端の感
光画素２１ａから数えて奇数番目の感光画素を２１ａ、
偶数番目の感光画素を２１ｂとする。感光画素列２１で
は、感光画素２１ａ及び２１ｂへ入射した光に応じて信
号電荷が発生する。感光画素列２１に対して平行に、１
本の移送電極２２からなる移送部と、２本のＣＣＤレジ
スタ２３及び２５が互いに並列に配設されている。ＣＣ
Ｄレジスタ２３及び２５内の各電極も図５中右端から数
えて奇数番目及び偶数番目の電極をそれぞれ奇数番電極
２３ａ及び２３ｂ、偶数番電極２５ａ及び２５ｂとす
る。また、ＣＣＤレジスタ２３とＣＣＤレジスタ２５と
の間には、それぞれの奇数番電極２３ａと２５ａとの間
にのみ配設されたレジスタ間転送電極２４からなるレジ
スタ間転送部が設けられている。
像装置の略平面図である。ここでは図面の簡略化のため
に少数のフォトダイオード等からなる感光画素２１ａ及
び２１ｂが直線状に配設された感光画素列２１の１列分
の構成部分のみを示している。ただし、図５中右端の感
光画素２１ａから数えて奇数番目の感光画素を２１ａ、
偶数番目の感光画素を２１ｂとする。感光画素列２１で
は、感光画素２１ａ及び２１ｂへ入射した光に応じて信
号電荷が発生する。感光画素列２１に対して平行に、１
本の移送電極２２からなる移送部と、２本のＣＣＤレジ
スタ２３及び２５が互いに並列に配設されている。ＣＣ
Ｄレジスタ２３及び２５内の各電極も図５中右端から数
えて奇数番目及び偶数番目の電極をそれぞれ奇数番電極
２３ａ及び２３ｂ、偶数番電極２５ａ及び２５ｂとす
る。また、ＣＣＤレジスタ２３とＣＣＤレジスタ２５と
の間には、それぞれの奇数番電極２３ａと２５ａとの間
にのみ配設されたレジスタ間転送電極２４からなるレジ
スタ間転送部が設けられている。
【０００４】奇数番感光画素２１ａで発生した信号電荷
は、移送電極２２によりＣＣＤレジスタ２３の奇数番電
極２３ａへ移送され、さらに、レジスタ間転送電極２４
を介してＣＣＤレジスタ２５の奇数番電極２５ａへ転送
される。一方、偶数番感光画素２１ｂで発生した信号電
荷は、移送電極２２によりＣＣＤレジスタ２３の偶数番
電極２３ｂへ移送される。その後、ＣＣＤレジスタ２３
及び２５内の信号電荷はそれぞれ出力部２６、２７へ転
送されて行き、適当な信号に変換されて順次出力信号と
して出力される。
は、移送電極２２によりＣＣＤレジスタ２３の奇数番電
極２３ａへ移送され、さらに、レジスタ間転送電極２４
を介してＣＣＤレジスタ２５の奇数番電極２５ａへ転送
される。一方、偶数番感光画素２１ｂで発生した信号電
荷は、移送電極２２によりＣＣＤレジスタ２３の偶数番
電極２３ｂへ移送される。その後、ＣＣＤレジスタ２３
及び２５内の信号電荷はそれぞれ出力部２６、２７へ転
送されて行き、適当な信号に変換されて順次出力信号と
して出力される。
【０００５】２線ＣＣＤレジスタ構造では、ＣＣＤレジ
スタが１本の場合と比較すると、２倍の信号電荷を転送
することができるので多画素化が可能であり、また、２
出力並列に出力できるので高速化において有利であり、
ＣＣＤレジスタを２本以上の多数有する多線ＣＣＤレジ
スタ構造は、高解像度や高速動作を得る上でさらに有利
である。
スタが１本の場合と比較すると、２倍の信号電荷を転送
することができるので多画素化が可能であり、また、２
出力並列に出力できるので高速化において有利であり、
ＣＣＤレジスタを２本以上の多数有する多線ＣＣＤレジ
スタ構造は、高解像度や高速動作を得る上でさらに有利
である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＣＣＤ
形固体撮像装置においては、暗電流や光漏れにより偽信
号電荷が発生するという問題点がある。偽信号電荷は、
通常、ＣＣＤレジスタ中一様に発生するので、１線ＣＣ
Ｄレジスタ構造の場合は、図１４の１線ＣＣＤレジスタ
構造の固体撮像装置の出力信号電荷量Ｅ1 に占める偽信
号電荷量ｅ1 の割合を示すグラフのように各信号電荷に
一様に加重され、画像むらの原因とはならない。ところ
が、多線ＣＣＤレジスタ構造、例えば前述した２線ＣＣ
Ｄレジスタ構造では、レジスタ間電荷転送時、ＣＣＤレ
ジスタ２３の偽信号電荷を信号電荷と共にＣＣＤレジス
タ２５へ転送してしまうので、ＣＣＤレジスタ２３の偽
信号電荷量とＣＣＤレジスタ２５の偽信号電荷量との間
に不均衡が生ずる。その結果、図１５の２線ＣＣＤレジ
スタ構造の固体撮像装置の出力信号電荷量Ｅ21´及びＥ
22´に占める偽信号電荷量ｅ21´及びｅ22´の割合を示
すグラフのような出力パターンとなり、画素位置及び出
力部により偽信号電荷量が異なって画像むらが生ずる。
ただし、図５における出力部２６及び２７からの出力パ
ターンがそれぞれＯＰＳ１´及びＯＰＳ２´である。
形固体撮像装置においては、暗電流や光漏れにより偽信
号電荷が発生するという問題点がある。偽信号電荷は、
通常、ＣＣＤレジスタ中一様に発生するので、１線ＣＣ
Ｄレジスタ構造の場合は、図１４の１線ＣＣＤレジスタ
構造の固体撮像装置の出力信号電荷量Ｅ1 に占める偽信
号電荷量ｅ1 の割合を示すグラフのように各信号電荷に
一様に加重され、画像むらの原因とはならない。ところ
が、多線ＣＣＤレジスタ構造、例えば前述した２線ＣＣ
Ｄレジスタ構造では、レジスタ間電荷転送時、ＣＣＤレ
ジスタ２３の偽信号電荷を信号電荷と共にＣＣＤレジス
タ２５へ転送してしまうので、ＣＣＤレジスタ２３の偽
信号電荷量とＣＣＤレジスタ２５の偽信号電荷量との間
に不均衡が生ずる。その結果、図１５の２線ＣＣＤレジ
スタ構造の固体撮像装置の出力信号電荷量Ｅ21´及びＥ
22´に占める偽信号電荷量ｅ21´及びｅ22´の割合を示
すグラフのような出力パターンとなり、画素位置及び出
力部により偽信号電荷量が異なって画像むらが生ずる。
ただし、図５における出力部２６及び２７からの出力パ
ターンがそれぞれＯＰＳ１´及びＯＰＳ２´である。
【０００７】多線ＣＣＤレジスタ構造においては、駆動
方式に関係なくこの問題が発生する。ここでは、２相駆
動方式及び４相駆動方式それぞれの場合について、２線
ＣＣＤレジスタ構造におけるレジスタ間電荷転送時の偽
信号電荷による画像むら発生の機構を説明する。
方式に関係なくこの問題が発生する。ここでは、２相駆
動方式及び４相駆動方式それぞれの場合について、２線
ＣＣＤレジスタ構造におけるレジスタ間電荷転送時の偽
信号電荷による画像むら発生の機構を説明する。
【０００８】以下、２線ＣＣＤレジスタ構造におけるレ
ジスタ間電荷転送の機構を、レジスタが埋め込みチャネ
ル２層電極構造で、２相駆動方式の場合について説明す
る。
ジスタ間電荷転送の機構を、レジスタが埋め込みチャネ
ル２層電極構造で、２相駆動方式の場合について説明す
る。
【０００９】図１０は、図５の線Ａに沿った断面におけ
る電位分布図、図１１は、図５の線Ｂに沿った断面にお
ける電位分布図、図１２は、駆動パルスタイミング図で
ある。図１２におけるＳＦＴ２´、ＣＬＫ２１´、ＣＬ
Ｋ２２´、ＴＳＧ２´は、それぞれ図５、１０、１１に
おける移送部の移送電極２２、ＣＣＤレジスタ２３の奇
数番電極２３ａ及びＣＣＤレジスタ２５の奇数番電極２
５ａ、ＣＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂ及びＣＣ
Ｄレジスタ２５の偶数番電極２５ｂ、レジスタ間転送電
極２４へ印加されるパルス信号である。
る電位分布図、図１１は、図５の線Ｂに沿った断面にお
ける電位分布図、図１２は、駆動パルスタイミング図で
ある。図１２におけるＳＦＴ２´、ＣＬＫ２１´、ＣＬ
Ｋ２２´、ＴＳＧ２´は、それぞれ図５、１０、１１に
おける移送部の移送電極２２、ＣＣＤレジスタ２３の奇
数番電極２３ａ及びＣＣＤレジスタ２５の奇数番電極２
５ａ、ＣＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂ及びＣＣ
Ｄレジスタ２５の偶数番電極２５ｂ、レジスタ間転送電
極２４へ印加されるパルス信号である。
【００１０】時刻ｔ20´において、１相目パルス信号Ｃ
ＬＫ２１´の立上がりの際、暗電流や光漏れにより発生
した偽信号電荷が奇数番電極２３ａ及び２５ａへ移動す
る。図１１は、ＣＣＤレジスタ２３における偽信号電荷
ｑが奇数番電極２３ａに保持されている様子を示してい
る。
ＬＫ２１´の立上がりの際、暗電流や光漏れにより発生
した偽信号電荷が奇数番電極２３ａ及び２５ａへ移動す
る。図１１は、ＣＣＤレジスタ２３における偽信号電荷
ｑが奇数番電極２３ａに保持されている様子を示してい
る。
【００１１】ここから図１０及び図１２を参照し、時刻
ｔ21´において、移送電極２２へのパルス信号ＳＦＴ２
´の立上がりにより、奇数番感光画素２１ａの信号電荷
ＱがＣＣＤレジスタ２３の１相目パルスＣＬＫ２１´が
印加される奇数番電極２３ａへ移される。ここで、図１
１の断面図で、奇数番電極２３ａに保持されていた偽信
号電荷ｑと真の信号電荷Ｑが混合されてしまう。
ｔ21´において、移送電極２２へのパルス信号ＳＦＴ２
´の立上がりにより、奇数番感光画素２１ａの信号電荷
ＱがＣＣＤレジスタ２３の１相目パルスＣＬＫ２１´が
印加される奇数番電極２３ａへ移される。ここで、図１
１の断面図で、奇数番電極２３ａに保持されていた偽信
号電荷ｑと真の信号電荷Ｑが混合されてしまう。
【００１２】時刻ｔ22´において、１相目パルスＣＬＫ
２１´の立下がりにより、真の信号電荷Ｑは偽信号電荷
ｑと共に図１０の断面において、電極２３ａへ近づく方
向へ移動する。
２１´の立下がりにより、真の信号電荷Ｑは偽信号電荷
ｑと共に図１０の断面において、電極２３ａへ近づく方
向へ移動する。
【００１３】時刻ｔ23´において、パルス信号ＴＳＧ２
´の立上がりにより、奇数番電極２３ａに保持されてい
た信号電荷Ｑ及び偽信号電荷ｑは、奇数番電極２３ａに
接続するレジスタ間転送電極２４へ転送され、さらに、
時刻ｔ24´においてパルス信号ＴＳＧ２´の立下がりに
より、レジスタ間転送電極２４からＣＣＤレジスタ２５
の奇数番電極２５ａへ移される。
´の立上がりにより、奇数番電極２３ａに保持されてい
た信号電荷Ｑ及び偽信号電荷ｑは、奇数番電極２３ａに
接続するレジスタ間転送電極２４へ転送され、さらに、
時刻ｔ24´においてパルス信号ＴＳＧ２´の立下がりに
より、レジスタ間転送電極２４からＣＣＤレジスタ２５
の奇数番電極２５ａへ移される。
【００１４】時刻ｔ25´において、パルス信号ＳＦＴ２
´の立上がりにより偶数番感光画素２１ｂの信号電荷
が、移送電極２２を介して２相目パルスＣＬＫ２２´が
印加されているＣＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂ
へ移される。
´の立上がりにより偶数番感光画素２１ｂの信号電荷
が、移送電極２２を介して２相目パルスＣＬＫ２２´が
印加されているＣＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂ
へ移される。
【００１５】最後にＣＣＤレジスタ２３及び２５に２相
パルス信号ＣＬＫ２１´、ＣＬＫ２２´を印加し、ＣＣ
Ｄレジスタ２３は偶数番感光画素２１ｂの信号電荷を、
ＣＣＤレジスタ２５は奇数番感光画素２１ａの信号電荷
を、出力部２６、２７へそれぞれ転送する。
パルス信号ＣＬＫ２１´、ＣＬＫ２２´を印加し、ＣＣ
Ｄレジスタ２３は偶数番感光画素２１ｂの信号電荷を、
ＣＣＤレジスタ２５は奇数番感光画素２１ａの信号電荷
を、出力部２６、２７へそれぞれ転送する。
【００１６】以上のように、信号電荷ＱをＣＣＤレジス
タ２３からＣＣＤレジスタ２５へ転送する際に、偽信号
電荷ｑも一緒に転送してしまうので、偽信号電荷ｑの蓄
積が起こりＣＣＤレジスタ２３とＣＣＤレジスタ２５と
の間に偽信号電荷量の不均衡が生ずる。
タ２３からＣＣＤレジスタ２５へ転送する際に、偽信号
電荷ｑも一緒に転送してしまうので、偽信号電荷ｑの蓄
積が起こりＣＣＤレジスタ２３とＣＣＤレジスタ２５と
の間に偽信号電荷量の不均衡が生ずる。
【００１７】次に、４相駆動方式の場合についても、２
線ＣＣＤレジスタ構造におけるレジスタ間電荷転送の機
構を説明する。
線ＣＣＤレジスタ構造におけるレジスタ間電荷転送の機
構を説明する。
【００１８】図９は、４相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の略平面図である。この場合も、レジス
タは埋め込みチャネル２層電極構造とする。図１５は、
図９の線Ｃに沿った断面における電位分布図、図１６
は、図９の線Ｄに沿った断面における電位分布図、図１
７は、駆動パルスタイミング図である。図１７における
ＳＦＴ４´、ＴＳＧ４´は、それぞれ図９及び１５にお
ける移送部の移送電極４２、ＣＣＤレジスタ間転送部の
レジスタ間転送電極４４へ印加されるパルス信号であ
る。また、ＣＣＤレジスタ４３及び４５の電極のうち、
図９中右端から数えた番数をそれぞれ４で割った時の余
りが１、２、３、０となる電極を、それぞれ電極４３
ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ及び電極４５ａ、４５ｂ、
４５ｃ、４５ｄとし、これらの電極４３ａと４５ａ、４
３ｂと４５ｂ、４３ｃと４５ｃ、４３ｄと４５ｄにそれ
ぞれ印加されるパルス信号が、図１７におけるＣＬＫ４
１´、ＣＬＫ４２´、ＣＬＫ４３´、ＣＬＫ４４´であ
る。
の固体撮像装置の略平面図である。この場合も、レジス
タは埋め込みチャネル２層電極構造とする。図１５は、
図９の線Ｃに沿った断面における電位分布図、図１６
は、図９の線Ｄに沿った断面における電位分布図、図１
７は、駆動パルスタイミング図である。図１７における
ＳＦＴ４´、ＴＳＧ４´は、それぞれ図９及び１５にお
ける移送部の移送電極４２、ＣＣＤレジスタ間転送部の
レジスタ間転送電極４４へ印加されるパルス信号であ
る。また、ＣＣＤレジスタ４３及び４５の電極のうち、
図９中右端から数えた番数をそれぞれ４で割った時の余
りが１、２、３、０となる電極を、それぞれ電極４３
ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ及び電極４５ａ、４５ｂ、
４５ｃ、４５ｄとし、これらの電極４３ａと４５ａ、４
３ｂと４５ｂ、４３ｃと４５ｃ、４３ｄと４５ｄにそれ
ぞれ印加されるパルス信号が、図１７におけるＣＬＫ４
１´、ＣＬＫ４２´、ＣＬＫ４３´、ＣＬＫ４４´であ
る。
【００１９】時刻ｔ40´において、パルス信号ＣＬＫ４
４´が立下がると、パルス信号ＣＬＫ４１´〜４４´の
うちＣＬＫ４１´のみが印加された状態となるので、Ｃ
ＣＤレジスタ４３及び４５中において暗電流や光漏れに
より発生した偽信号電荷ｑが、電極４３ａ及び４５ａへ
移動する。図１６では、パルス信号ＣＬＫ４４´により
電極４３ｄに保持されていた偽信号電荷ｑが、電極４３
ｄの図中左側に隣接する電極４３ａへ移動する様子を示
している。
４´が立下がると、パルス信号ＣＬＫ４１´〜４４´の
うちＣＬＫ４１´のみが印加された状態となるので、Ｃ
ＣＤレジスタ４３及び４５中において暗電流や光漏れに
より発生した偽信号電荷ｑが、電極４３ａ及び４５ａへ
移動する。図１６では、パルス信号ＣＬＫ４４´により
電極４３ｄに保持されていた偽信号電荷ｑが、電極４３
ｄの図中左側に隣接する電極４３ａへ移動する様子を示
している。
【００２０】時刻ｔ41´において、電極４３ａへパルス
信号ＣＬＫ４１´が印加された状態で、パルス信号ＳＦ
Ｔ４´が立上がると、移送電極４２を介して奇数番感光
画素４１ａから電極４３ａへ信号電荷Ｑが移動される。
この際、既に偽信号電荷ｑが電極４３ａに保持されてお
り、真の信号電荷Ｑと混合される。
信号ＣＬＫ４１´が印加された状態で、パルス信号ＳＦ
Ｔ４´が立上がると、移送電極４２を介して奇数番感光
画素４１ａから電極４３ａへ信号電荷Ｑが移動される。
この際、既に偽信号電荷ｑが電極４３ａに保持されてお
り、真の信号電荷Ｑと混合される。
【００２１】時刻ｔ42´において、パルス信号ＣＬＫ４
１´が立下がると真の信号電荷Ｑは偽信号電荷ｑと共
に、図１５の断面図中において電極４３ａへ近づく方向
へ移動する。
１´が立下がると真の信号電荷Ｑは偽信号電荷ｑと共
に、図１５の断面図中において電極４３ａへ近づく方向
へ移動する。
【００２２】時刻ｔ43´において、パルス信号ＴＳＧ４
´の立上がりにより、真の信号電荷Ｑ及び偽信号電荷ｑ
は電極４３ａからレジスタ間転送電極４４へ移動され
る。
´の立上がりにより、真の信号電荷Ｑ及び偽信号電荷ｑ
は電極４３ａからレジスタ間転送電極４４へ移動され
る。
【００２３】時刻ｔ44´において、パルス信号ＴＳＧ４
´の立下がりにより、真の信号電荷Ｑ及び偽信号電荷ｑ
はレジスタ間転送電極４４から電極４５ａへ移動され
る。
´の立下がりにより、真の信号電荷Ｑ及び偽信号電荷ｑ
はレジスタ間転送電極４４から電極４５ａへ移動され
る。
【００２４】したがって、時刻ｔ43´〜ｔ44´の動作
で、ＣＣＤレジスタ４３の偽信号電荷ｑがＣＣＤレジス
タ４５へ移動されてしまう。
で、ＣＣＤレジスタ４３の偽信号電荷ｑがＣＣＤレジス
タ４５へ移動されてしまう。
【００２５】時刻ｔ45´において、電極４３ｃへパルス
信号ＣＬＫ４３´が印加された状態で、パルス信号ＳＦ
Ｔ４´が立上がると、移送電極４２を介して偶数番感光
画素４１ｂから電極４３ｃへ信号電荷が移動される。
信号ＣＬＫ４３´が印加された状態で、パルス信号ＳＦ
Ｔ４´が立上がると、移送電極４２を介して偶数番感光
画素４１ｂから電極４３ｃへ信号電荷が移動される。
【００２６】最後にＣＣＤレジスタ４３及び４５の各電
極に４相パルス信号ＣＬＫ４１´、ＣＬＫ４２´、ＣＬ
Ｋ４３´、ＣＬＫ４４´を印加し、ＣＣＤレジスタ４３
及び４５は、保持している真の信号電荷及び偽信号電荷
を出力部２６及び２７へそれぞれ転送する。
極に４相パルス信号ＣＬＫ４１´、ＣＬＫ４２´、ＣＬ
Ｋ４３´、ＣＬＫ４４´を印加し、ＣＣＤレジスタ４３
及び４５は、保持している真の信号電荷及び偽信号電荷
を出力部２６及び２７へそれぞれ転送する。
【００２７】以上のように４相駆動の場合も、ＣＣＤレ
ジスタ間において偽信号電荷量の不均衡が生じ、図１３
のグラフに示した真の出力信号電荷量Ｅ21´及びＥ22´
への偽信号電荷量ｅ21´及びｅ22´の不均一な加重によ
り、画像むらが生ずる。
ジスタ間において偽信号電荷量の不均衡が生じ、図１３
のグラフに示した真の出力信号電荷量Ｅ21´及びＥ22´
への偽信号電荷量ｅ21´及びｅ22´の不均一な加重によ
り、画像むらが生ずる。
【００２８】上述したように、多線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置においては、駆動方式や電極構造等に関
係なく、暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷が各
ＣＣＤレジスタの真の出力信号電荷へ不均一に加重され
ることによる画像むらが生ずる。
の固体撮像装置においては、駆動方式や電極構造等に関
係なく、暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷が各
ＣＣＤレジスタの真の出力信号電荷へ不均一に加重され
ることによる画像むらが生ずる。
【００２９】本発明は上記問題点に鑑みて成されたもの
で、その目的は、多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体
撮像装置において、暗電流や光漏れにより発生した偽信
号電荷を真の信号電荷へ均一に加重することにより、画
像むらを防止する電荷転送方法を提供することである。
で、その目的は、多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体
撮像装置において、暗電流や光漏れにより発生した偽信
号電荷を真の信号電荷へ均一に加重することにより、画
像むらを防止する電荷転送方法を提供することである。
【００３０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電荷転送装
置の電荷転送方法によれば、並列に配設された複数本の
ＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレジスタ間に配設された
レジスタ間転送部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を
有する電荷転送装置の電荷転送方法において、Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番
目のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジス
タへ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番
目のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記
Ｎ番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏
れにより発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレ
ジスタが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷
がその下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持し
ておき、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送
することを特徴とする。
置の電荷転送方法によれば、並列に配設された複数本の
ＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレジスタ間に配設された
レジスタ間転送部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を
有する電荷転送装置の電荷転送方法において、Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番
目のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジス
タへ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番
目のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記
Ｎ番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏
れにより発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレ
ジスタが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷
がその下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持し
ておき、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送
することを特徴とする。
【００３１】本発明に係る固体撮像装置の電荷転送方法
の第１の観点によれば、並列に配設された複数本のＣＣ
Ｄレジスタと、上記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジ
スタ間転送部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を有す
る固体撮像装置の電荷転送方法において、Ｎ番目のＣＣ
Ｄレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ
上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ番
目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れに
より発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジス
タが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷がそ
の下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持してお
き、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送する
ことを特徴とする。
の第１の観点によれば、並列に配設された複数本のＣＣ
Ｄレジスタと、上記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジ
スタ間転送部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を有す
る固体撮像装置の電荷転送方法において、Ｎ番目のＣＣ
Ｄレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ
上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ番
目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れに
より発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジス
タが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷がそ
の下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持してお
き、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送する
ことを特徴とする。
【００３２】本発明に係る固体撮像装置の電荷転送方法
の第２の観点によれば、複数個の感光画素からなる感光
画素部と、並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタ
と、上記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送
部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体撮像
装置の電荷転送方法において、感光画素部から第一のＣ
ＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一の
ＣＣＤレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電
荷を転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジス
タが上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジ
スタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽
信号電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷
を受け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予
定の電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電
荷を除外した信号電荷のみを転送することを特徴とす
る。
の第２の観点によれば、複数個の感光画素からなる感光
画素部と、並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタ
と、上記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送
部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体撮像
装置の電荷転送方法において、感光画素部から第一のＣ
ＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一の
ＣＣＤレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電
荷を転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジス
タが上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジ
スタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽
信号電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷
を受け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予
定の電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電
荷を除外した信号電荷のみを転送することを特徴とす
る。
【００３３】
【００３４】ＣＣＤレジスタの駆動方式は、２相駆動方
式または４相駆動方式であるものとすると良い。
式または４相駆動方式であるものとすると良い。
【００３５】レジスタ間転送部の電極に印加されるパル
ス信号電圧は、ＣＣＤレジスタの電極に印加されるパル
ス信号電圧より大きいものとすると良い。
ス信号電圧は、ＣＣＤレジスタの電極に印加されるパル
ス信号電圧より大きいものとすると良い。
【００３６】本発明に係る電荷転送装置によれば、並列
に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレ
ジスタ間に配設されたレジスタ間転送部と、Ｎ番目のＣ
ＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタ
へ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ
番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れ
により発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷が
その下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持して
おき、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送す
るための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手段
と、を備えたことを特徴とする。
に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレ
ジスタ間に配設されたレジスタ間転送部と、Ｎ番目のＣ
ＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタ
へ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ
番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れ
により発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷が
その下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持して
おき、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送す
るための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手段
と、を備えたことを特徴とする。
【００３７】本発明に係る固体撮像装置の第１の観点に
よれば、複数個の感光画素からなる感光画素部と、並列
に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレ
ジスタ間に配設されたレジスタ間転送部と、Ｎ番目のＣ
ＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタ
へ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ
番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れ
により発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷が
その下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持して
おき、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送す
るための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手段
と、を備えたことを特徴とする。
よれば、複数個の感光画素からなる感光画素部と、並列
に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレ
ジスタ間に配設されたレジスタ間転送部と、Ｎ番目のＣ
ＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタ
へ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目
のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ
番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れ
により発生した偽信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタが上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷が
その下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持して
おき、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送す
るための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手段
と、を備えたことを特徴とする。
【００３８】本発明に係る固体撮像装置の第２の観点に
よれば、複数個の感光画素からなる感光画素部と、並列
に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレ
ジスタ間に配設されたレジスタ間転送部と、感光画素部
から第一のＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作
と、上記第一のＣＣＤレジスタから第二のＣＣＤレジス
タへ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記第一
のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記第
一のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れに
より発生した偽信号電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタ
が上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷がその
下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持してお
き、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送する
ための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手段
と、を備えたことを特徴とする。
よれば、複数個の感光画素からなる感光画素部と、並列
に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、上記ＣＣＤレ
ジスタ間に配設されたレジスタ間転送部と、感光画素部
から第一のＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作
と、上記第一のＣＣＤレジスタから第二のＣＣＤレジス
タへ上記信号電荷を転送する動作とを行う間、上記第一
のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け取る前に上記第
一のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や光漏れに
より発生した偽信号電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタ
が上記信号電荷を受け取ったときに上記信号電荷がその
下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持してお
き、上記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送する
ための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手段
と、を備えたことを特徴とする。
【００３９】
【００４０】
【作用】電荷転送装置におけるＣＣＤレジスタ・ＣＣＤ
レジスタ間転送は、各ＣＣＤレジスタ内において暗電流
や光漏れにより発生した偽信号電荷を除外した信号電荷
のみを転送するものとしたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
レジスタ間転送は、各ＣＣＤレジスタ内において暗電流
や光漏れにより発生した偽信号電荷を除外した信号電荷
のみを転送するものとしたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
【００４１】具体的には、Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信
号電荷を受け取る動作と、Ｎ番目のＣＣＤレジスタから
（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ信号電荷を転送する
動作とを行う間、Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信号電荷を
受け取る前にＮ番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた
暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷を、Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取ったときに信号電荷
がその下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持し
ておき、偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送する
こととしたので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合され
てＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることが
なく、各ＣＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信
号電荷量の割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むら
を防止することができる。
号電荷を受け取る動作と、Ｎ番目のＣＣＤレジスタから
（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ信号電荷を転送する
動作とを行う間、Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信号電荷を
受け取る前にＮ番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた
暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷を、Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取ったときに信号電荷
がその下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持し
ておき、偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送する
こととしたので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合され
てＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることが
なく、各ＣＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信
号電荷量の割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むら
を防止することができる。
【００４２】固体撮像装置におけるＣＣＤレジスタ・Ｃ
ＣＤレジスタ間転送は、偽信号電荷を除外した信号電荷
のみを転送するものとしたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
ＣＤレジスタ間転送は、偽信号電荷を除外した信号電荷
のみを転送するものとしたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
【００４３】具体的には、感光画素部から第一のＣＣＤ
レジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一のＣＣ
Ｄレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジスタが
上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジスタ
中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号
電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受
け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の
電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を
除外した信号電荷のみを転送することとしたので、偽信
号電荷が真の信号電荷と混合されてＣＣＤレジスタ・Ｃ
ＣＤレジスタ間転送されることがなく、各ＣＣＤレジス
タの出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の割合はそれ
ぞれ互いに等しくなり、画像むらを防止することができ
る。
レジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一のＣＣ
Ｄレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジスタが
上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジスタ
中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号
電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受
け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の
電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を
除外した信号電荷のみを転送することとしたので、偽信
号電荷が真の信号電荷と混合されてＣＣＤレジスタ・Ｃ
ＣＤレジスタ間転送されることがなく、各ＣＣＤレジス
タの出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の割合はそれ
ぞれ互いに等しくなり、画像むらを防止することができ
る。
【００４４】レジスタ間転送部の電極に印加されるパル
ス信号電圧は、ＣＣＤレジスタの電極に印加されるパル
ス信号電圧より大きいものとしたので、ＣＣＤレジスタ
の電極にパルス信号電圧が印加された状態でも、信号電
荷のレジスタ間転送を行うことができる。
ス信号電圧は、ＣＣＤレジスタの電極に印加されるパル
ス信号電圧より大きいものとしたので、ＣＣＤレジスタ
の電極にパルス信号電圧が印加された状態でも、信号電
荷のレジスタ間転送を行うことができる。
【００４５】偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送
するための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手
段を固体撮像装置に備えたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
するための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手
段を固体撮像装置に備えたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
【００４６】具体的には、Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信
号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
から（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
が上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽
信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号電
荷を受け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する
予定の電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号
電荷を除外した信号電荷のみを転送するための駆動パル
ス信号を発生するパルス信号発生手段を、電荷転送装置
または固体撮像装置に備えたので、偽信号電荷が真の信
号電荷と混合されてＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間
転送されることがなく、各ＣＣＤレジスタの出力信号電
荷量に占める偽信号電荷量の割合はそれぞれ互いに等し
くなり、画像むらを防止することができる。
号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
から（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
が上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽
信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号電
荷を受け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する
予定の電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号
電荷を除外した信号電荷のみを転送するための駆動パル
ス信号を発生するパルス信号発生手段を、電荷転送装置
または固体撮像装置に備えたので、偽信号電荷が真の信
号電荷と混合されてＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間
転送されることがなく、各ＣＣＤレジスタの出力信号電
荷量に占める偽信号電荷量の割合はそれぞれ互いに等し
くなり、画像むらを防止することができる。
【００４７】具体的には、感光画素部から第一のＣＣＤ
レジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一のＣＣ
Ｄレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジスタが
上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジスタ
中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号
電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受
け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の
電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を
除外した信号電荷のみを転送するための駆動パルス信号
を発生するパルス信号発生手段を固体撮像装置に備えた
ので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合されてＣＣＤレ
ジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることがなく、各Ｃ
ＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の
割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むらを防止する
ことができる。
レジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一のＣＣ
Ｄレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジスタが
上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジスタ
中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号
電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受
け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の
電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を
除外した信号電荷のみを転送するための駆動パルス信号
を発生するパルス信号発生手段を固体撮像装置に備えた
ので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合されてＣＣＤレ
ジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることがなく、各Ｃ
ＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の
割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むらを防止する
ことができる。
【００４８】
【実施例】以下、本発明に係る固体撮像装置の電荷転送
方法の実施例について、図面を参照しながら説明する。
方法の実施例について、図面を参照しながら説明する。
【００４９】２線ＣＣＤレジスタ構造固体撮像装置を例
にとり、偽信号電荷をレジスタ間転送せずに真の信号電
荷をレジスタ間電荷転送する機構を、レジスタが埋め込
みチャネル２層電極構造で２相駆動方式の場合につい
て、最初に説明する。
にとり、偽信号電荷をレジスタ間転送せずに真の信号電
荷をレジスタ間電荷転送する機構を、レジスタが埋め込
みチャネル２層電極構造で２相駆動方式の場合につい
て、最初に説明する。
【００５０】固体撮像装置の構造自体は従来と同様のも
のであるので、図５の略平面図を用いる。
のであるので、図５の略平面図を用いる。
【００５１】図１は、図５の線Ａに沿った断面における
電位分布図、図２は、図５の線Ｂに沿った断面における
電位分布図、図３は、駆動パルスタイミング図である。
電位分布図、図２は、図５の線Ｂに沿った断面における
電位分布図、図３は、駆動パルスタイミング図である。
【００５２】図３におけるＳＦＴ２、ＣＬＫ２１、ＣＬ
Ｋ２２、ＴＳＧ２は、それぞれ図５、１、２における移
送部の移送電極２２、ＣＣＤレジスタ２３の奇数番電極
２３ａ及びＣＣＤレジスタ２５の奇数番電極２５ａ、Ｃ
ＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂ及びＣＣＤレジス
タ２５の偶数番電極２５ｂ、レジスタ間転送電極２４へ
印加されるパルス信号である。
Ｋ２２、ＴＳＧ２は、それぞれ図５、１、２における移
送部の移送電極２２、ＣＣＤレジスタ２３の奇数番電極
２３ａ及びＣＣＤレジスタ２５の奇数番電極２５ａ、Ｃ
ＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂ及びＣＣＤレジス
タ２５の偶数番電極２５ｂ、レジスタ間転送電極２４へ
印加されるパルス信号である。
【００５３】時刻ｔ20において、奇数番電極２３ａへの
パルス信号ＣＬＫ２１が立下がり、偶数番電極２３ｂへ
のパルス信号ＣＬＫ２２が立上がると、図２に示すよう
に、奇数番電極２３ａに保持されていた偽信号電荷ｑは
偶数番電極２３ｂへ移動される。
パルス信号ＣＬＫ２１が立下がり、偶数番電極２３ｂへ
のパルス信号ＣＬＫ２２が立上がると、図２に示すよう
に、奇数番電極２３ａに保持されていた偽信号電荷ｑは
偶数番電極２３ｂへ移動される。
【００５４】時刻ｔ21において、ＣＣＤレジスタ２３の
奇数番電極２３ａ及び偶数番電極２３ｂへそれぞれパル
ス信号ＣＬＫ２１及びＣＬＫ２２が印加された状態で移
送電極２２へのパルス信号ＳＦＴ２が立上がると、移送
電極２２を介して奇数番感光画素２１ａからＣＣＤレジ
スタ２３の奇数番電極２３ａへ、偶数番感光画素２１ｂ
からＣＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂへ、それぞ
れ信号電荷が移送される。この時、奇数番電極２３ａの
偽信号電荷は既に偶数番電極２３ｂへ移動されているの
で、奇数番電極２３ａにおいては真の信号電荷Ｑと偽信
号電荷ｑとの混合が回避される。
奇数番電極２３ａ及び偶数番電極２３ｂへそれぞれパル
ス信号ＣＬＫ２１及びＣＬＫ２２が印加された状態で移
送電極２２へのパルス信号ＳＦＴ２が立上がると、移送
電極２２を介して奇数番感光画素２１ａからＣＣＤレジ
スタ２３の奇数番電極２３ａへ、偶数番感光画素２１ｂ
からＣＣＤレジスタ２３の偶数番電極２３ｂへ、それぞ
れ信号電荷が移送される。この時、奇数番電極２３ａの
偽信号電荷は既に偶数番電極２３ｂへ移動されているの
で、奇数番電極２３ａにおいては真の信号電荷Ｑと偽信
号電荷ｑとの混合が回避される。
【００５５】時刻ｔ22において、レジスタ間転送電極２
４へのパルス信号ＴＳＧ２が立上がると、真の信号電荷
Ｑのみが、ＣＣＤレジスタ２３の奇数番電極２３ａから
レジスタ間転送電極２４へ移動される。この時、信号電
荷Ｑは奇数番電極２３ａの深いレベルからレジスタ間転
送電極２４へ転送されるので、パルス信号ＴＳＧ２の振
幅を従来例より大きくしている。
４へのパルス信号ＴＳＧ２が立上がると、真の信号電荷
Ｑのみが、ＣＣＤレジスタ２３の奇数番電極２３ａから
レジスタ間転送電極２４へ移動される。この時、信号電
荷Ｑは奇数番電極２３ａの深いレベルからレジスタ間転
送電極２４へ転送されるので、パルス信号ＴＳＧ２の振
幅を従来例より大きくしている。
【００５６】時刻ｔ23において、レジスタ間転送電極２
４へのパルス信号ＴＳＧ２が立下がると、真の信号電荷
Ｑのみが、レジスタ間転送電極２４からＣＣＤレジスタ
２５の奇数番電極２５ａへ転送される。
４へのパルス信号ＴＳＧ２が立下がると、真の信号電荷
Ｑのみが、レジスタ間転送電極２４からＣＣＤレジスタ
２５の奇数番電極２５ａへ転送される。
【００５７】最後にＣＣＤレジスタ２３及び２５に２相
パルス信号ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２を印加し、ＣＣＤレ
ジスタ２３は偶数番感光画素２１ｂの信号電荷を、ＣＣ
Ｄレジスタ２５は奇数番感光画素２１ａの信号電荷を、
出力部２６、２７へそれぞれ転送する。
パルス信号ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２２を印加し、ＣＣＤレ
ジスタ２３は偶数番感光画素２１ｂの信号電荷を、ＣＣ
Ｄレジスタ２５は奇数番感光画素２１ａの信号電荷を、
出力部２６、２７へそれぞれ転送する。
【００５８】以上のように、本発明に係る固体撮像装置
の電荷転送方法によれば、偽信号電荷ｑがＣＣＤレジス
タ・ＣＣＤレジスタ間転送されないので、図４の２線Ｃ
ＣＤレジスタ構造の出力信号電荷量Ｅ21及びＥ22に占め
る偽信号電荷量ｅ21及びｅ22の割合を示すグラフのよう
な出力パターンとなり、すなわち、出力信号電荷量に占
める偽信号電荷量の割合は各ＣＣＤレジスタ間で等しく
なり、画像むらを防止することができる。
の電荷転送方法によれば、偽信号電荷ｑがＣＣＤレジス
タ・ＣＣＤレジスタ間転送されないので、図４の２線Ｃ
ＣＤレジスタ構造の出力信号電荷量Ｅ21及びＥ22に占め
る偽信号電荷量ｅ21及びｅ22の割合を示すグラフのよう
な出力パターンとなり、すなわち、出力信号電荷量に占
める偽信号電荷量の割合は各ＣＣＤレジスタ間で等しく
なり、画像むらを防止することができる。
【００５９】次に、２線ＣＣＤレジスタ構造固体撮像装
置において、偽信号電荷をレジスタ間転送せずに真の信
号電荷をレジスタ間電荷転送する機構を、レジスタが埋
め込みチャネル２層電極構造で、４相駆動方式の場合に
ついて説明する。
置において、偽信号電荷をレジスタ間転送せずに真の信
号電荷をレジスタ間電荷転送する機構を、レジスタが埋
め込みチャネル２層電極構造で、４相駆動方式の場合に
ついて説明する。
【００６０】この場合も、固体撮像装置の構造自体は従
来と同様のものであるので、図９の略平面図を用いる。
来と同様のものであるので、図９の略平面図を用いる。
【００６１】図６は、図９の線Ｃに沿った断面における
電位分布図、図７は、図９の線Ｄに沿った断面における
電位分布図、図８は、駆動パルスタイミング図である。
図８におけるＳＦＴ４、ＴＳＧ４は、それぞれ図９及び
６における移送部の移送電極４２、ＣＣＤレジスタ間転
送部のレジスタ間転送電極４４へ印加されるパルス信号
である。また、従来例と同様にＣＣＤレジスタ４３及び
４５の電極のうち、図９中右端から数えた番数をそれぞ
れ４で割った時の余りが１、２、３、０となる電極を、
それぞれ電極４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ及び電極
４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄとし、これらの電極４
３ａと４５ａ、４３ｂと４５ｂ、４３ｃと４５ｃ、４３
ｄと４５ｄにそれぞれ印加されるパルス信号が、図８に
おけるＣＬＫ４１、ＣＬＫ４２、ＣＬＫ４３、ＣＬＫ４
４である。
電位分布図、図７は、図９の線Ｄに沿った断面における
電位分布図、図８は、駆動パルスタイミング図である。
図８におけるＳＦＴ４、ＴＳＧ４は、それぞれ図９及び
６における移送部の移送電極４２、ＣＣＤレジスタ間転
送部のレジスタ間転送電極４４へ印加されるパルス信号
である。また、従来例と同様にＣＣＤレジスタ４３及び
４５の電極のうち、図９中右端から数えた番数をそれぞ
れ４で割った時の余りが１、２、３、０となる電極を、
それぞれ電極４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ及び電極
４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄとし、これらの電極４
３ａと４５ａ、４３ｂと４５ｂ、４３ｃと４５ｃ、４３
ｄと４５ｄにそれぞれ印加されるパルス信号が、図８に
おけるＣＬＫ４１、ＣＬＫ４２、ＣＬＫ４３、ＣＬＫ４
４である。
【００６２】時刻ｔ40において、電極４３ｂ及び４５ｂ
へのパルス信号ＣＬＫ４２が立下がると、ＣＣＤレジス
タ４３の電極４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄのうち、
電極４３ｃにのみパルス信号が印加された状態となり、
ＣＣＤレジスタ４３内の偽信号電荷ｑは電極４３ｃに保
持される（図７の偽信号電荷ｑ）。
へのパルス信号ＣＬＫ４２が立下がると、ＣＣＤレジス
タ４３の電極４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄのうち、
電極４３ｃにのみパルス信号が印加された状態となり、
ＣＣＤレジスタ４３内の偽信号電荷ｑは電極４３ｃに保
持される（図７の偽信号電荷ｑ）。
【００６３】時刻ｔ41において、電極４３ａ及び４３ｃ
へそれぞれパルス信号ＣＬＫ４１及びＣＬＫ４３が印加
された状態で、移送電極４２へのパルス信号ＳＦＴ４が
立上がると、奇数番感光画素４１ａからは電極４３ａ
へ、偶数番感光画素ｂからは電極４３ｃへそれぞれ信号
電荷Ｑが移送される。この時、電極４３ａの偽信号電荷
ｑは既に電極ｃへ移動されているので、電極４３ａにお
いては真の信号電荷Ｑと偽信号電荷ｑとの混合が回避さ
れる。
へそれぞれパルス信号ＣＬＫ４１及びＣＬＫ４３が印加
された状態で、移送電極４２へのパルス信号ＳＦＴ４が
立上がると、奇数番感光画素４１ａからは電極４３ａ
へ、偶数番感光画素ｂからは電極４３ｃへそれぞれ信号
電荷Ｑが移送される。この時、電極４３ａの偽信号電荷
ｑは既に電極ｃへ移動されているので、電極４３ａにお
いては真の信号電荷Ｑと偽信号電荷ｑとの混合が回避さ
れる。
【００６４】時刻ｔ42において、パルス信号ＣＬＫ４１
が立下がると、信号電荷Ｑは、図６の断面図中において
電極４３ａへ近づく方向へ移動する。
が立下がると、信号電荷Ｑは、図６の断面図中において
電極４３ａへ近づく方向へ移動する。
【００６５】時刻ｔ43において、レジスタ間転送電極４
４へのパルス信号ＴＳＧ４が立上がると、電極４３ａに
保持されていた信号電荷Ｑは、レジスタ間転送電極４４
へ移動される。
４へのパルス信号ＴＳＧ４が立上がると、電極４３ａに
保持されていた信号電荷Ｑは、レジスタ間転送電極４４
へ移動される。
【００６６】時刻ｔ44において、レジスタ間転送電極４
４へのパルス信号ＴＳＧ４が立下がると、信号電荷Ｑは
レジスタ間転送電極４４から電極４５ａへ転送される。
４へのパルス信号ＴＳＧ４が立下がると、信号電荷Ｑは
レジスタ間転送電極４４から電極４５ａへ転送される。
【００６７】最後にＣＣＤレジスタ４３及び４５の各電
極に４相パルス信号ＣＬＫ４１、ＣＬＫ４２、ＣＬＫ４
３、ＣＬＫ４４を印加し、ＣＣＤレジスタ４３及び４５
は、保持している真の信号電荷及び偽信号電荷を出力部
２６及び２７へそれぞれ転送する。
極に４相パルス信号ＣＬＫ４１、ＣＬＫ４２、ＣＬＫ４
３、ＣＬＫ４４を印加し、ＣＣＤレジスタ４３及び４５
は、保持している真の信号電荷及び偽信号電荷を出力部
２６及び２７へそれぞれ転送する。
【００６８】以上のように、本発明に係る固体撮像装置
の電荷転送方法によれば、４相駆動方式の場合において
も、偽信号電荷ｑがＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間
転送されないので、２相駆動方式の場合と同様に、図４
の２線ＣＣＤレジスタ構造の出力信号電荷量Ｅ21及びＥ
22に占める偽信号電荷量ｅ21及びｅ22の割合を示すグラ
フのような出力パターンとなり、すなわち、出力信号電
荷量に占める偽信号電荷量の割合は各ＣＣＤレジスタ間
で等しくなり、画像むらを防止することができる。
の電荷転送方法によれば、４相駆動方式の場合において
も、偽信号電荷ｑがＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間
転送されないので、２相駆動方式の場合と同様に、図４
の２線ＣＣＤレジスタ構造の出力信号電荷量Ｅ21及びＥ
22に占める偽信号電荷量ｅ21及びｅ22の割合を示すグラ
フのような出力パターンとなり、すなわち、出力信号電
荷量に占める偽信号電荷量の割合は各ＣＣＤレジスタ間
で等しくなり、画像むらを防止することができる。
【００６９】なお、上記実施例では、２線ＣＣＤレジス
タ構造の場合について説明したが、ＣＣＤレジスタを３
本以上有する多線ＣＣＤレジスタ構造においても同様の
電荷転送方法を適用することが可能である。
タ構造の場合について説明したが、ＣＣＤレジスタを３
本以上有する多線ＣＣＤレジスタ構造においても同様の
電荷転送方法を適用することが可能である。
【００７０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電荷
転送装置の電荷転送方法によれば、偽信号電荷はＣＣＤ
レジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されないので、出力信
号電荷量に占める偽信号電荷量の割合は各ＣＣＤレジス
タ間で等しくなり、画像むらを防止することができる。
転送装置の電荷転送方法によれば、偽信号電荷はＣＣＤ
レジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されないので、出力信
号電荷量に占める偽信号電荷量の割合は各ＣＣＤレジス
タ間で等しくなり、画像むらを防止することができる。
【００７１】また、Ｎ番目のＣＣＤレジスタを信号電荷
が通過する際、信号電荷がその下に存在する予定の電極
とは別の電極に偽信号電荷を保持したので、偽信号電荷
はレジスタ間転送されない。
が通過する際、信号電荷がその下に存在する予定の電極
とは別の電極に偽信号電荷を保持したので、偽信号電荷
はレジスタ間転送されない。
【００７２】固体撮像装置の場合の電荷転送方法におい
ても、偽信号電荷はＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間
転送されないので、出力信号電荷量に占める偽信号電荷
量の割合は各ＣＣＤレジスタ間で等しくなり、画像むら
を防止することができる。
ても、偽信号電荷はＣＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間
転送されないので、出力信号電荷量に占める偽信号電荷
量の割合は各ＣＣＤレジスタ間で等しくなり、画像むら
を防止することができる。
【００７３】また、感光画素からの信号電荷が第一のＣ
ＣＤレジスタを信号電荷が通過する際、信号電荷がその
下に存在する予定の電極とは別の電極に偽信号電荷を保
持したので、偽信号電荷はレジスタ間転送されない。
ＣＤレジスタを信号電荷が通過する際、信号電荷がその
下に存在する予定の電極とは別の電極に偽信号電荷を保
持したので、偽信号電荷はレジスタ間転送されない。
【００７４】レジスタ間転送時のパルス信号電圧は、Ｃ
ＣＤレジスタの電極に印加されるパルス信号電圧より大
きいものとしたので、ＣＣＤレジスタの電極にパルス信
号電圧が印加された状態でも、信号電荷のレジスタ間転
送を行うことができる。
ＣＤレジスタの電極に印加されるパルス信号電圧より大
きいものとしたので、ＣＣＤレジスタの電極にパルス信
号電圧が印加された状態でも、信号電荷のレジスタ間転
送を行うことができる。
【００７５】Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信号電荷を受け
取る動作と、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋
１）番目のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を転送する動
作とを行う間、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号
電荷を受け取る前に上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ中に存
在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷
を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け
取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の電
極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を除
外した信号電荷のみを転送するための駆動パルス信号を
発生するパルス信号発生手段を電荷転送装置に備えたの
で、出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の割合は各Ｃ
ＣＤレジスタ間で等しくなり、画像むらを防止すること
ができる。
取る動作と、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋
１）番目のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を転送する動
作とを行う間、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号
電荷を受け取る前に上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ中に存
在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷
を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受け
取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の電
極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を除
外した信号電荷のみを転送するための駆動パルス信号を
発生するパルス信号発生手段を電荷転送装置に備えたの
で、出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の割合は各Ｃ
ＣＤレジスタ間で等しくなり、画像むらを防止すること
ができる。
【００７６】偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転送
するための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手
段を固体撮像装置に備えたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
するための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生手
段を固体撮像装置に備えたので、各ＣＣＤレジスタから
出力される出力信号電荷量に加重される偽信号電荷量
は、各ＣＣＤレジスタ間において均一となり、画像むら
を防止することができる。
【００７７】具体的には、Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信
号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
から（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
が上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽
信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号電
荷を受け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する
予定の電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号
電荷を除外した信号電荷のみを転送するための駆動パル
ス信号を発生するパルス信号発生手段を固体撮像装置に
備えたので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合されてＣ
ＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることがな
く、各ＣＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信号
電荷量の割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むらを
防止することができる。
号電荷を受け取る動作と、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
から（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
が上記信号電荷を受け取る前に上記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽
信号電荷を、上記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが上記信号電
荷を受け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する
予定の電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号
電荷を除外した信号電荷のみを転送するための駆動パル
ス信号を発生するパルス信号発生手段を固体撮像装置に
備えたので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合されてＣ
ＣＤレジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることがな
く、各ＣＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信号
電荷量の割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むらを
防止することができる。
【００７８】具体的には、感光画素部から第一のＣＣＤ
レジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一のＣＣ
Ｄレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジスタが
上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジスタ
中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号
電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受
け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の
電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を
除外した信号電荷のみを転送するための駆動パルス信号
を発生するパルス信号発生手段を固体撮像装置に備えた
ので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合されてＣＣＤレ
ジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることがなく、各Ｃ
ＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の
割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むらを防止する
ことができる。
レジスタが信号電荷を受け取る動作と、上記第一のＣＣ
Ｄレジスタから第二のＣＣＤレジスタへ上記信号電荷を
転送する動作とを行う間、上記第一のＣＣＤレジスタが
上記信号電荷を受け取る前に上記第一のＣＣＤレジスタ
中に存在していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号
電荷を、上記第一のＣＣＤレジスタが上記信号電荷を受
け取ったときに上記信号電荷がその下に存在する予定の
電極とは別の電極下に保持しておき、上記偽信号電荷を
除外した信号電荷のみを転送するための駆動パルス信号
を発生するパルス信号発生手段を固体撮像装置に備えた
ので、偽信号電荷が真の信号電荷と混合されてＣＣＤレ
ジスタ・ＣＣＤレジスタ間転送されることがなく、各Ｃ
ＣＤレジスタの出力信号電荷量に占める偽信号電荷量の
割合はそれぞれ互いに等しくなり、画像むらを防止する
ことができる。
【図１】本発明に係る２相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図５の線Ａに沿った断面における電位分布図。
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図５の線Ａに沿った断面における電位分布図。
【図２】本発明に係る２相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図５の線Ｂに沿った断面における電位分布図。
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図５の線Ｂに沿った断面における電位分布図。
【図３】本発明に係る２相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例における駆動パ
ルスタイミング図。
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例における駆動パ
ルスタイミング図。
【図４】本発明に係る２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮
像装置の電荷転送方法の実施例における出力信号電荷量
に占める偽信号電荷量の割合を示すグラフ。
像装置の電荷転送方法の実施例における出力信号電荷量
に占める偽信号電荷量の割合を示すグラフ。
【図５】２相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装
置の略平面図。
置の略平面図。
【図６】本発明に係る４相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図９の線Ｃに沿った断面における電位分布図。
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図９の線Ｃに沿った断面における電位分布図。
【図７】本発明に係る４相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図９の線Ｄに沿った断面における電位分布図。
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例による電荷転送
時の図９の線Ｄに沿った断面における電位分布図。
【図８】本発明に係る４相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例における駆動パ
ルスタイミング図。
の固体撮像装置の電荷転送方法の実施例における駆動パ
ルスタイミング図。
【図９】４相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装
置の略平面図。
置の略平面図。
【図１０】２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の従
来方法による電荷転送時の図５の線Ａに沿った断面にお
ける電位分布図。
来方法による電荷転送時の図５の線Ａに沿った断面にお
ける電位分布図。
【図１１】２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の従
来方法による電荷転送時の図５の線Ｂに沿った断面にお
ける電位分布図。
来方法による電荷転送時の図５の線Ｂに沿った断面にお
ける電位分布図。
【図１２】２相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像
装置の従来方法における駆動パルスタイミング図。
装置の従来方法における駆動パルスタイミング図。
【図１３】２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の従
来の電荷転送方法における出力信号電荷量に占める偽信
号電荷量の割合を示すグラフ。
来の電荷転送方法における出力信号電荷量に占める偽信
号電荷量の割合を示すグラフ。
【図１４】１線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の出
力信号電荷量に占める偽信号電荷量の割合を示すグラ
フ。
力信号電荷量に占める偽信号電荷量の割合を示すグラ
フ。
【図１５】４線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の従
来方法による電荷転送時の図９の線Ｃに沿った断面にお
ける電位分布図。
来方法による電荷転送時の図９の線Ｃに沿った断面にお
ける電位分布図。
【図１６】４線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像装置の従
来方法による電荷転送時の図９の線Ｄに沿った断面にお
ける電位分布図。
来方法による電荷転送時の図９の線Ｄに沿った断面にお
ける電位分布図。
【図１７】４相駆動２線ＣＣＤレジスタ構造の固体撮像
装置の従来方法における駆動パルスタイミング図。
装置の従来方法における駆動パルスタイミング図。
２１、４１ 感光画素列
２１ａ 奇数番感光画素
２１ｂ 偶数番感光画素
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ 感光画素
２２、４２ 移送電極
２３、２５、４３、４５ ＣＣＤレジスタ
２３ａ、２５ａ 奇数番電極
２３ｂ、２５ｂ 偶数番電極
４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ 電極
４５ａ、５４ｂ、４５ｃ、４５ｄ 電極
２４、４４ レジスタ間転送電極
Ｑ 信号電荷
ｑ 偽信号電荷
ｅ21、ｅ22、ｅ21´、ｅ22´、ｅ1 信号電荷量
Ｅ21、Ｅ22、Ｅ21´、Ｅ22´、Ｅ1 偽信号電荷量
ＳＦＴ２、ＳＦＴ２´ 移送電極２２
ＴＳＧ２、ＴＳＧ２´ レジスタ間転送電極２４へ印加
されるパルス信号 ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２１´ 奇数番電極２３ａ及び奇数
番電極２５ａへ印加されるパルス信号 ＣＬＫ２２、ＣＬＫ２２´ 偶数番電極２３ｂ及び偶数
番電極２５ｂへ印加されるパルス信号 ＳＦＴ４、ＳＦＴ４´ 移送電極４２へ印加されるパル
ス信号 ＴＳＧ４、ＴＳＧ４´ レジスタ間転送電極４４へ印加
されるパルス信号 ＣＬＫ４１〜４４、ＣＬＫ４１´〜４４´ ＣＣＤレジ
スタ４３、４５の各電極へ印加されるパルス信号
されるパルス信号 ＣＬＫ２１、ＣＬＫ２１´ 奇数番電極２３ａ及び奇数
番電極２５ａへ印加されるパルス信号 ＣＬＫ２２、ＣＬＫ２２´ 偶数番電極２３ｂ及び偶数
番電極２５ｂへ印加されるパルス信号 ＳＦＴ４、ＳＦＴ４´ 移送電極４２へ印加されるパル
ス信号 ＴＳＧ４、ＴＳＧ４´ レジスタ間転送電極４４へ印加
されるパルス信号 ＣＬＫ４１〜４４、ＣＬＫ４１´〜４４´ ＣＣＤレジ
スタ４３、４５の各電極へ印加されるパルス信号
Claims (8)
- 【請求項１】並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタ
と、前記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送
部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を有する電荷転送
装置の電荷転送方法において、Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
が信号電荷を受け取る動作と、前記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ前記信号電
荷を転送する動作とを行う間、前記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタが前記信号電荷を受け取る前に前記Ｎ番目のＣＣＤ
レジスタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生し
た偽信号電荷を、前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが前記信
号電荷を受け取ったときに前記信号電荷がその下に存在
する予定の電極とは別の電極下に保持しておき、前記偽
信号電荷を除外した信号電荷のみを転送することを特徴
とする電荷転送装置の電荷転送方法。 - 【請求項２】並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタ
と、前記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送
部とを備えた多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体撮像
装置の電荷転送方法において、Ｎ番目のＣＣＤレジスタ
が信号電荷を受け取る動作と、前記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタから（Ｎ＋１）番目のＣＣＤレジスタへ前記信号電
荷を転送する動作とを行う間、前記Ｎ番目のＣＣＤレジ
スタが前記信号電荷を受け取る前に前記Ｎ番目のＣＣＤ
レジスタ中に存在していた暗電流や光漏れにより発生し
た偽信号電荷を、前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが前記信
号電荷を受け取ったときに前記信号電荷がその下に存在
する予定の電極とは別の電極下に保持しておき、前記偽
信号電荷を除外した信号電荷のみを転送することを特徴
とする固体撮像装置の電荷転送方法。 - 【請求項３】複数個の感光画素からなる感光画素部と、
並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、前記ＣＣ
Ｄレジスタ間に配設されたレジスタ間転送部とを備えた
多線ＣＣＤレジスタ構造を有する固体撮像装置の電荷転
送方法において、感光画素部から第一のＣＣＤレジスタ
が信号電荷を受け取る動作と、前記第一のＣＣＤレジス
タから第二のＣＣＤレジスタへ前記信号電荷を転送する
動作とを行う間、前記第一のＣＣＤレジスタが前記信号
電荷を受け取る前に前記第一のＣＣＤレジスタ中に存在
していた暗電流や光漏れにより発生した偽信号電荷を、
前記第一のＣＣＤレジスタが前記信号電荷を受け取った
ときに前記信号電荷がその下に存在する予定の電極とは
別の電極下に保持しておき、前記偽信号電荷を除外した
信号電荷のみを転送することを特徴とする固体撮像装置
の電荷転送方法。 - 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の電荷
転送装置または固体撮像装置の電荷転送方法において、
前記ＣＣＤレジスタの駆動方式は、２相駆動方式または
４相駆動方式であることを特徴とする電荷転送装置また
は固体撮像装置の電荷転送方法。 - 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかに記載の電荷
転送装置または固体撮像装置の電荷転送方法において、
前記レジスタ間転送部の電極に印加されるパルス信号電
圧は、前記ＣＣＤレジスタの電極に印加されるパルス信
号電圧より大きいことを特徴とする電荷転送装置または
固体撮像装置の電荷転送方法。 - 【請求項６】並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタ
と、 前記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送部
と、 Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、
前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣ
Ｄレジスタへ前記信号電荷を転送する動作とを行う間、
前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが前記信号電荷を受け取る
前に前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電
流や光漏れにより発生した偽信号電荷を、前記Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが前記信号電荷を受け取ったときに前記
信号電荷がその下に存在する予定の電極とは別の電極下
に保持しておき、前記偽信号電荷を除外した信号電荷の
みを転送するための駆動パルス信号を発生するパルス信
号発生手段と、 を備えたことを特徴とする電荷転送装置。 - 【請求項７】複数個の感光画素からなる感光画素部と、 並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、 前記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送部
と、 Ｎ番目のＣＣＤレジスタが信号電荷を受け取る動作と、
前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタから（Ｎ＋１）番目のＣＣ
Ｄレジスタへ前記信号電荷を転送する動作とを行う間、
前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタが前記信号電荷を受け取る
前に前記Ｎ番目のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電
流や光漏れにより発生した偽信号電荷を、前記Ｎ番目の
ＣＣＤレジスタが前記信号電荷を受け取ったときに前記
信号電荷がその下に存在する予定の電極とは別の電極下
に保持しておき、前記偽信号電荷を除外した信号電荷の
みを転送するための駆動パルス信号を発生するパルス信
号発生手段と、 を備えたことを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項８】複数個の感光画素からなる感光画素部と、 並列に配設された複数本のＣＣＤレジスタと、 前記ＣＣＤレジスタ間に配設されたレジスタ間転送部
と、 感光画素部から第一のＣＣＤレジスタが信号電荷を受け
取る動作と、前記第一のＣＣＤレジスタから第二のＣＣ
Ｄレジスタへ前記信号電荷を転送する動作とを行う間、
前記第一のＣＣＤレジスタが前記信号電荷を受け取る前
に前記第一のＣＣＤレジスタ中に存在していた暗電流や
光漏れにより発生した偽信号電荷を、前記第一のＣＣＤ
レジスタが前記信号電荷を受け取ったときに前記信号電
荷がその下に存在する予定の電極とは別の電極下に保持
しておき、前記偽信号電荷を除外した信号電荷のみを転
送するための駆動パルス信号を発生するパルス信号発生
手段と、 を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25368794A JP3523694B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 電荷転送方法及び固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25368794A JP3523694B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 電荷転送方法及び固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08125932A JPH08125932A (ja) | 1996-05-17 |
| JP3523694B2 true JP3523694B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=17254756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25368794A Expired - Fee Related JP3523694B2 (ja) | 1994-10-19 | 1994-10-19 | 電荷転送方法及び固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3523694B2 (ja) |
-
1994
- 1994-10-19 JP JP25368794A patent/JP3523694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08125932A (ja) | 1996-05-17 |
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