JP3514568B2 - Ｘ線管の製造方法 - Google Patents
Ｘ線管の製造方法Info
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- H01J35/165—Vessels; Containers; Shields associated therewith joining connectors to the tube
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線管の製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管は、加熱したコイルから放出され
た電子が、高真空のバルブ内で集束電極とターゲットの
間に加えられた高電圧により加速され、ターゲット面に
衝突しＸ線を発生させるものであり、ＣＴスキャン用等
の医用Ｘ線管、非破壊検査用、厚み計測用等の工業用Ｘ
線管等が存在する。
た電子が、高真空のバルブ内で集束電極とターゲットの
間に加えられた高電圧により加速され、ターゲット面に
衝突しＸ線を発生させるものであり、ＣＴスキャン用等
の医用Ｘ線管、非破壊検査用、厚み計測用等の工業用Ｘ
線管等が存在する。
【０００３】従来、このＸ線管を製造する際には、電子
を放出するコイルに電流を供給するためのカソードピン
及びバルブ内のガスを排出するための排気バルブをステ
ム部の底板体にロウ付けすると共に、ステム部に集束電
極、バルブ及びターゲットを備える出射窓等をそれぞれ
ロウ付けするために、それぞれの部品間にロウ材を挟み
込み、治具等で固定しロウ付け温度まで加熱しロウ付け
を行なっている。
を放出するコイルに電流を供給するためのカソードピン
及びバルブ内のガスを排出するための排気バルブをステ
ム部の底板体にロウ付けすると共に、ステム部に集束電
極、バルブ及びターゲットを備える出射窓等をそれぞれ
ロウ付けするために、それぞれの部品間にロウ材を挟み
込み、治具等で固定しロウ付け温度まで加熱しロウ付け
を行なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造方法によれば、Ｘ線管を構成する各部品の全てをそ
れぞれ治具等により固定し、ロウ付けを行なわなければ
ならないことから、多くの部品を同時に固定しなければ
ならず、部品の固定作業が煩雑化するだけでなく、各部
品間の位置関係を正確に保持した状態でロウ付けを行な
うことが困難となる場合があった。
製造方法によれば、Ｘ線管を構成する各部品の全てをそ
れぞれ治具等により固定し、ロウ付けを行なわなければ
ならないことから、多くの部品を同時に固定しなければ
ならず、部品の固定作業が煩雑化するだけでなく、各部
品間の位置関係を正確に保持した状態でロウ付けを行な
うことが困難となる場合があった。
【０００５】この発明の課題は、製造の容易化を可能と
するＸ線管の製造方法を提供することである。
するＸ線管の製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のＸ線管の
製造方法は、ステム部の底板体に設けられたカソードピ
ン孔に高温用ロウ材を介してカソードピンを差し込むス
テム部組み立て工程と、このステム部組み立て工程によ
り組み立てられたステム部を高温用ロウ材のロウ付け温
度まで加熱しロウ付けを行なう高温用ロウ材ロウ付け工
程と、ステム部の上に集束電極、セラミック製バルブ及
び出射窓を、それぞれの間に低温用ロウ材を介して積み
上げるＸ線管組み立て工程と、このＸ線管組み立て工程
により組み立てられたＸ線管を低温用ロウ材のロウ付け
温度まで加熱しロウ付けを行なう低温用ロウ材ロウ付け
工程とを備えることを特徴とする。
製造方法は、ステム部の底板体に設けられたカソードピ
ン孔に高温用ロウ材を介してカソードピンを差し込むス
テム部組み立て工程と、このステム部組み立て工程によ
り組み立てられたステム部を高温用ロウ材のロウ付け温
度まで加熱しロウ付けを行なう高温用ロウ材ロウ付け工
程と、ステム部の上に集束電極、セラミック製バルブ及
び出射窓を、それぞれの間に低温用ロウ材を介して積み
上げるＸ線管組み立て工程と、このＸ線管組み立て工程
により組み立てられたＸ線管を低温用ロウ材のロウ付け
温度まで加熱しロウ付けを行なう低温用ロウ材ロウ付け
工程とを備えることを特徴とする。
【０００７】従って、ステム部組み立て工程及び高温用
ロウ材ロウ付け工程において、まず、ステム部の製造を
行ない、その後、Ｘ線管組み立て工程及び低温用ロウ材
ロウ付け工程によりＸ線管の製造を行なうことができ、
Ｘ線管の製造作業を容易化することができる。即ち、低
温用ロウ材は、ステム部組み立て工程において用いた高
温用ロウ材よりも低い温度でロウ付けが行なえることか
ら、低温用ロウ材により各部品をロウ付けする際に高温
用ロウ材が溶融することがなく、ステム部組み立ての際
に位置決めし、高温用ロウ材によりロウ付けした排気バ
ルブ及びカソードピンの位置ずれが生じることがない。
ロウ材ロウ付け工程において、まず、ステム部の製造を
行ない、その後、Ｘ線管組み立て工程及び低温用ロウ材
ロウ付け工程によりＸ線管の製造を行なうことができ、
Ｘ線管の製造作業を容易化することができる。即ち、低
温用ロウ材は、ステム部組み立て工程において用いた高
温用ロウ材よりも低い温度でロウ付けが行なえることか
ら、低温用ロウ材により各部品をロウ付けする際に高温
用ロウ材が溶融することがなく、ステム部組み立ての際
に位置決めし、高温用ロウ材によりロウ付けした排気バ
ルブ及びカソードピンの位置ずれが生じることがない。
【０００８】また、請求項２記載のＸ線管の製造方法
は、請求項１記載のＸ線管の製造方法の高温用ロウ材を
銀ロウとしたことを特徴とする。
は、請求項１記載のＸ線管の製造方法の高温用ロウ材を
銀ロウとしたことを特徴とする。
【０００９】更に、請求項３記載のＸ線管の製造方法
は、請求項１記載のＸ線管の製造方法の低温用ロウ材を
Ａｇ、Ｃｕ及びＴｉにより構成されるロウ材としたこと
を特徴とする。
は、請求項１記載のＸ線管の製造方法の低温用ロウ材を
Ａｇ、Ｃｕ及びＴｉにより構成されるロウ材としたこと
を特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態を説明する。
の実施の形態を説明する。
【００１１】図１は、この発明の実施の形態にかかる透
過型Ｘ線管の断面図であり、図２及び図３はその製造工
程を説明するための図である。はじめに、図２及び図３
を参照して、図１に示す透過型Ｘ線管の製造方法を説明
する。
過型Ｘ線管の断面図であり、図２及び図３はその製造工
程を説明するための図である。はじめに、図２及び図３
を参照して、図１に示す透過型Ｘ線管の製造方法を説明
する。
【００１２】まず、ステム部１０を構成する円盤状の底
板体１２を製造する。この底板体１２は、アルミナ粉末
を焼結したものであり、底板体１２の中心部には、排気
バルブ１４を接続する排気バルブ孔１２ａが設けられて
いるとともに、この排気バルブ孔１２ａの両側にカソー
ドピン１６を差し込むカソードピン孔１２ｂが設けられ
ている（図２ａ参照）。
板体１２を製造する。この底板体１２は、アルミナ粉末
を焼結したものであり、底板体１２の中心部には、排気
バルブ１４を接続する排気バルブ孔１２ａが設けられて
いるとともに、この排気バルブ孔１２ａの両側にカソー
ドピン１６を差し込むカソードピン孔１２ｂが設けられ
ている（図２ａ参照）。
【００１３】次に、底板体１２の排気バルブ孔１２ａに
排気バルブ１４の一端を高温用ロウ材１８によりロウ付
けする共に、カソードピン１６のフランジ部１６ａが底
板体１２に接するまでカソードピン１６をカソードピン
孔１２ｂに差し込み、高温用ロウ材１８によりロウ付け
する（図２ｂ参照）。即ち、底板体１２と排気バルブ１
４の一端との間及び、底板体１２とカソードピン１６の
フランジ部１６ａとの間に高温用ロウ材１８をはさみス
テム部１０を組み立てる（ステム部組み立て工程）。こ
の組み立てたステム部１０の各部品を治具で固定し真空
又は水素雰囲気中で高温用ロウ材１８のロウ付け温度ま
で加熱しロウ付けを行ない（高温用ロウ材ロウ付け工
程）、その後冷却することにより、ステム部１０の製造
を行なう。
排気バルブ１４の一端を高温用ロウ材１８によりロウ付
けする共に、カソードピン１６のフランジ部１６ａが底
板体１２に接するまでカソードピン１６をカソードピン
孔１２ｂに差し込み、高温用ロウ材１８によりロウ付け
する（図２ｂ参照）。即ち、底板体１２と排気バルブ１
４の一端との間及び、底板体１２とカソードピン１６の
フランジ部１６ａとの間に高温用ロウ材１８をはさみス
テム部１０を組み立てる（ステム部組み立て工程）。こ
の組み立てたステム部１０の各部品を治具で固定し真空
又は水素雰囲気中で高温用ロウ材１８のロウ付け温度ま
で加熱しロウ付けを行ない（高温用ロウ材ロウ付け工
程）、その後冷却することにより、ステム部１０の製造
を行なう。
【００１４】なお、高温用ロウ材１８には、９６１℃の
ロウ付け温度を有するＡｇ（９９．９％）の銀ロウを用
いる。また、底板体１２の排気バルブ孔１２ａ及びカソ
ードピン孔１２ｂの周囲のロウ付け箇所には、予め、ロ
ウ付けを確実に行なえるように、Ｃｕ，Ｍｎ等をバイン
ダーで溶かした液を印刷しメタライズしておく。
ロウ付け温度を有するＡｇ（９９．９％）の銀ロウを用
いる。また、底板体１２の排気バルブ孔１２ａ及びカソ
ードピン孔１２ｂの周囲のロウ付け箇所には、予め、ロ
ウ付けを確実に行なえるように、Ｃｕ，Ｍｎ等をバイン
ダーで溶かした液を印刷しメタライズしておく。
【００１５】次に、各カソードピン１６の先端部分にＷ
コイル２０のそれぞれの端を溶接する。その後、図３に
示すように、ステム部１０の上に集束電極２４、セラミ
ック製バルブ２６、出射窓２８及びターゲット電圧印加
用導電性キャップ３０を順次積み上げ、透過型Ｘ線管の
組み立てを行なう（Ｘ線管組み立て工程）。
コイル２０のそれぞれの端を溶接する。その後、図３に
示すように、ステム部１０の上に集束電極２４、セラミ
ック製バルブ２６、出射窓２８及びターゲット電圧印加
用導電性キャップ３０を順次積み上げ、透過型Ｘ線管の
組み立てを行なう（Ｘ線管組み立て工程）。
【００１６】図４は、集束電極２４の垂直断面形状を示
す断面図である。この集束電極２４は、コバール金属の
板をプレス加工すると共に、その表面を研磨、脱脂する
ことにより形成されたものであり、上円筒部２４ａ、下
円筒部２４ｂ、上円筒部２４ａと下円筒部２４ｂとの間
に周方向に設けられている傾斜部２４ｃ（離間手段）及
びこの傾斜部２４ｃから外側に向かって張出し、下円筒
部２４ｂに接続されている張出し部２４ｄにより構成さ
れている。ここで、下円筒部２４ｂの内径はステム部１
０の底板体１２の外径と略等しく形成されている。従っ
て、ステム部１０上に集束電極２４が積み上げられたと
きには、ステム部１０の底板体１２の外周面が集束電極
２４の下円筒部２４ｂの内周面に略接した状態になる。
す断面図である。この集束電極２４は、コバール金属の
板をプレス加工すると共に、その表面を研磨、脱脂する
ことにより形成されたものであり、上円筒部２４ａ、下
円筒部２４ｂ、上円筒部２４ａと下円筒部２４ｂとの間
に周方向に設けられている傾斜部２４ｃ（離間手段）及
びこの傾斜部２４ｃから外側に向かって張出し、下円筒
部２４ｂに接続されている張出し部２４ｄにより構成さ
れている。ここで、下円筒部２４ｂの内径はステム部１
０の底板体１２の外径と略等しく形成されている。従っ
て、ステム部１０上に集束電極２４が積み上げられたと
きには、ステム部１０の底板体１２の外周面が集束電極
２４の下円筒部２４ｂの内周面に略接した状態になる。
【００１７】また、セラミック製バルブ２６は、アルミ
ナ粉末を円筒状に焼結して形成したものであり、ステム
部１０の底板体１２の外径と略等しい外径を有しまた、
集束電極２４の上円筒部２４ａの外径よりも僅かに大き
い内径を有するものである。従って、集束電極２４の上
にセラミック製バルブ２６を積み上げたときには、集束
電極２４の上円筒部２４ａの外周面とセラミック製バル
ブ２６の内周面との間に隙間が形成されることになる。
なお、この隙間は、集束電極２４の傾斜部２４ｃにより
確実に形成される。即ち、セラミック製バルブ２６を集
束電極２４上に積み上げる際に、セラミック製バルブ２
６の下端が集束電極２４の傾斜部２４ｃ上に位置づけら
れた場合には、セラミック製バルブ２６の下端が傾斜部
２４ｃの傾斜面を張出し部２４ｄの位置まで滑り落ち、
張出し部２４ｄ上に位置づけれることにより上円筒部２
４ａの外周面とセラミック製バルブ２６の内周面との間
に確実に隙間が形成される。
ナ粉末を円筒状に焼結して形成したものであり、ステム
部１０の底板体１２の外径と略等しい外径を有しまた、
集束電極２４の上円筒部２４ａの外径よりも僅かに大き
い内径を有するものである。従って、集束電極２４の上
にセラミック製バルブ２６を積み上げたときには、集束
電極２４の上円筒部２４ａの外周面とセラミック製バル
ブ２６の内周面との間に隙間が形成されることになる。
なお、この隙間は、集束電極２４の傾斜部２４ｃにより
確実に形成される。即ち、セラミック製バルブ２６を集
束電極２４上に積み上げる際に、セラミック製バルブ２
６の下端が集束電極２４の傾斜部２４ｃ上に位置づけら
れた場合には、セラミック製バルブ２６の下端が傾斜部
２４ｃの傾斜面を張出し部２４ｄの位置まで滑り落ち、
張出し部２４ｄ上に位置づけれることにより上円筒部２
４ａの外周面とセラミック製バルブ２６の内周面との間
に確実に隙間が形成される。
【００１８】また、出射窓２８は、厚さ０．２ｍｍのア
モルファスカーボンの表面をサンブラ加工した後に、円
形に切断し出射窓２８の裏面２８ａにＷ，Ｔｉ等のター
ゲット金属を蒸着したものである。
モルファスカーボンの表面をサンブラ加工した後に、円
形に切断し出射窓２８の裏面２８ａにＷ，Ｔｉ等のター
ゲット金属を蒸着したものである。
【００１９】更に、ターゲット電圧印加用導電性キャッ
プ３０は、コバール金属の板をプレス加工した後に、研
磨、脱脂を行なうことにより形成したものであり、図５
に示すように上部に出射窓２８を露出させるための円形
窓３０ａを有すると共に下部にフランジ部３０ｂを有す
る。このターゲット電圧印加用導電性キャップ３０を出
射窓２８を覆うようにセラミック製バルブ２６上に位置
づけることにより出射窓２８を保護することができ、出
射窓２８に割れ等が生じるのを防ぐことができる。
プ３０は、コバール金属の板をプレス加工した後に、研
磨、脱脂を行なうことにより形成したものであり、図５
に示すように上部に出射窓２８を露出させるための円形
窓３０ａを有すると共に下部にフランジ部３０ｂを有す
る。このターゲット電圧印加用導電性キャップ３０を出
射窓２８を覆うようにセラミック製バルブ２６上に位置
づけることにより出射窓２８を保護することができ、出
射窓２８に割れ等が生じるのを防ぐことができる。
【００２０】上述の各部品の積み上げの際には、ステム
部１０の底板体１２の上面と集束電極２４の張出し部２
４ｄの裏面との間、集束電極２４の張出し部２４ｄの表
面とセラミック製バルブ２６の下端との間、セラミック
製バルブ２６の上端と出射窓２８の裏面との間及び出射
窓２８の表面とターゲット電圧印加用導電性キャップ３
０の間に、それぞれの部品をロウ付けするための低温用
ロウ材２２を挟み込む。
部１０の底板体１２の上面と集束電極２４の張出し部２
４ｄの裏面との間、集束電極２４の張出し部２４ｄの表
面とセラミック製バルブ２６の下端との間、セラミック
製バルブ２６の上端と出射窓２８の裏面との間及び出射
窓２８の表面とターゲット電圧印加用導電性キャップ３
０の間に、それぞれの部品をロウ付けするための低温用
ロウ材２２を挟み込む。
【００２１】なお、ここで用いる低温用ロウ材２２は、
Ａｇ（７２％），Ｃｕ（２６％），Ｔｉ（２％）から構
成されるものであり、７８０℃〜８００℃のロウ付け温
度を有するものである。
Ａｇ（７２％），Ｃｕ（２６％），Ｔｉ（２％）から構
成されるものであり、７８０℃〜８００℃のロウ付け温
度を有するものである。
【００２２】次に、各部品が積み上げられた状態のまま
治具で固定し、真空ロウ付け炉の中に搬入し、炉内を１
ｘ１０-6Ｔｏｒｒ台まで排気した後に８００℃〜８５０
℃で１０分間保持することにより、ロウ付けを行なう
（低温用ロウ材ロウ付け工程）。
治具で固定し、真空ロウ付け炉の中に搬入し、炉内を１
ｘ１０-6Ｔｏｒｒ台まで排気した後に８００℃〜８５０
℃で１０分間保持することにより、ロウ付けを行なう
（低温用ロウ材ロウ付け工程）。
【００２３】従って、この低温用ロウ材２２は、上述し
たステム部１０の製造の際に用いた高温用ロウ材１８よ
りも低い温度でロウ付けが行なえることから、ステム部
１０の製造の際に位置決めし、高温用ロウ材１８により
ロウ付けした排気バルブ１４及びカソードピン１６の位
置ずれが生じることがない。
たステム部１０の製造の際に用いた高温用ロウ材１８よ
りも低い温度でロウ付けが行なえることから、ステム部
１０の製造の際に位置決めし、高温用ロウ材１８により
ロウ付けした排気バルブ１４及びカソードピン１６の位
置ずれが生じることがない。
【００２４】次に、真空ロウ付け炉内の温度を２００℃
まで冷却し、Ｘ線管を真空ロウ付け炉から取り出す。そ
の後、この取り出したＸ線管の排気バルブ１４を排気台
に接続し、Ｘ線管内のガスを排気した後に、排気バルブ
１４を圧着することにより、Ｘ線管の製造が終了する。
まで冷却し、Ｘ線管を真空ロウ付け炉から取り出す。そ
の後、この取り出したＸ線管の排気バルブ１４を排気台
に接続し、Ｘ線管内のガスを排気した後に、排気バルブ
１４を圧着することにより、Ｘ線管の製造が終了する。
【００２５】図１は、このようにして製造されたこの発
明の実施の形態にかかる透過型Ｘ線管の垂直断面図であ
る。この透過型Ｘ線管は、ステム部１０を製造する際に
は、高温用ロウ材１８を用い、その後、ステム部１０に
集束電極２４、セラミック製バルブ２６及び出射窓２８
等をロウ付けする際には、高温用ロウ材２２を用いるた
め、ステム部１０の組立てを行なった後にＸ線管の組み
立てを行なうことができ、組み立て作業の容易化を図る
ことができる。
明の実施の形態にかかる透過型Ｘ線管の垂直断面図であ
る。この透過型Ｘ線管は、ステム部１０を製造する際に
は、高温用ロウ材１８を用い、その後、ステム部１０に
集束電極２４、セラミック製バルブ２６及び出射窓２８
等をロウ付けする際には、高温用ロウ材２２を用いるた
め、ステム部１０の組立てを行なった後にＸ線管の組み
立てを行なうことができ、組み立て作業の容易化を図る
ことができる。
【００２６】また、この透過型Ｘ線管は、セラミック製
バルブ２６の内周面と集束電極２４の外周面とを離間さ
せるため、集束電極２４に傾斜部２４ｃを有する。従っ
て、この傾斜部２４ｃによりセラミック製バルブ２６の
内周面と集束電極２４の外周面との間に隙間を形成し、
出射窓２８がセラミック製バルブ２６に接する位置と集
束電極２４がセラミック製バルブ２６と接する位置との
間隔を広くすることができ、耐電圧性を確保することが
できる。
バルブ２６の内周面と集束電極２４の外周面とを離間さ
せるため、集束電極２４に傾斜部２４ｃを有する。従っ
て、この傾斜部２４ｃによりセラミック製バルブ２６の
内周面と集束電極２４の外周面との間に隙間を形成し、
出射窓２８がセラミック製バルブ２６に接する位置と集
束電極２４がセラミック製バルブ２６と接する位置との
間隔を広くすることができ、耐電圧性を確保することが
できる。
【００２７】更に、この透過型Ｘ線管は、出射窓２８に
ターゲット電圧を印加するためのターゲット電圧印加用
導電性キャップ３０を備えている。従って、ターゲット
電圧印加用導電性キャップ３０により、出射窓２８を保
護することができ、出射窓２８に割れ等が生じるのを防
止することができる。また、ターゲット電圧印加用導電
性キャップ３０のフランジ部３０ｂによりターゲット電
圧を印加するための電源との接続も確実に行なうことが
できる。
ターゲット電圧を印加するためのターゲット電圧印加用
導電性キャップ３０を備えている。従って、ターゲット
電圧印加用導電性キャップ３０により、出射窓２８を保
護することができ、出射窓２８に割れ等が生じるのを防
止することができる。また、ターゲット電圧印加用導電
性キャップ３０のフランジ部３０ｂによりターゲット電
圧を印加するための電源との接続も確実に行なうことが
できる。
【００２８】なお、上述の実施の形態においては、離間
手段として集束電極２４に傾斜部２４ｃを設けたが、こ
れに限らず、図６に示すように集束電極２４に段差部４
０を設けてもよい。この場合には、この段差部４０によ
りセラミック製バルブ２６の内周面と集束電極２４の外
周面との間に隙間を設けることができると共に、集束電
極のがたつきを防止することもできる。
手段として集束電極２４に傾斜部２４ｃを設けたが、こ
れに限らず、図６に示すように集束電極２４に段差部４
０を設けてもよい。この場合には、この段差部４０によ
りセラミック製バルブ２６の内周面と集束電極２４の外
周面との間に隙間を設けることができると共に、集束電
極のがたつきを防止することもできる。
【００２９】また、離間手段として図７に示すようにセ
ラミック製バルブ２６に突起部４２を設けてもよい。こ
の場合には、この突起部４２により上述の集束電極２４
に段差部４０を設けた場合と同様の効果を得ることがで
きる。
ラミック製バルブ２６に突起部４２を設けてもよい。こ
の場合には、この突起部４２により上述の集束電極２４
に段差部４０を設けた場合と同様の効果を得ることがで
きる。
【００３０】また、離間手段として図８に示すように、
セラミック又は金属により形成されたリング形状のスペ
ーサ４４を用いてもよい。この場合には、セラミック製
バルブ２６と集束電極２４のいずれの形状も複雑化させ
ることなく、セラミック製バルブ２６の内周面と集束電
極２４の外周面との間に隙間を設けることができる。
セラミック又は金属により形成されたリング形状のスペ
ーサ４４を用いてもよい。この場合には、セラミック製
バルブ２６と集束電極２４のいずれの形状も複雑化させ
ることなく、セラミック製バルブ２６の内周面と集束電
極２４の外周面との間に隙間を設けることができる。
【００３１】更に、離間手段として図９に示すように、
セラミック製バルブ２６の下端面に複数の凸状の固定凸
部４６を設けると共に、この固定凸部４６に対応する位
置の集束電極２４に、この固定凸部４６を通すための固
定孔４８を設け、更にステム部１０の底板体１２の対応
する位置に固定凸部４６が嵌合する固定凹部５０を設け
てもよい。
セラミック製バルブ２６の下端面に複数の凸状の固定凸
部４６を設けると共に、この固定凸部４６に対応する位
置の集束電極２４に、この固定凸部４６を通すための固
定孔４８を設け、更にステム部１０の底板体１２の対応
する位置に固定凸部４６が嵌合する固定凹部５０を設け
てもよい。
【００３２】また、上述の実施の形態においては、集束
電極２４の下円筒部２４ｂの内周面がステム部１０の底
板体１２の外周面と接することにより、集束電極２４と
ステム部１０の固定を行なっているが、これに限らず集
束電極２４に設けられた爪部５２により固定するように
してもよい。
電極２４の下円筒部２４ｂの内周面がステム部１０の底
板体１２の外周面と接することにより、集束電極２４と
ステム部１０の固定を行なっているが、これに限らず集
束電極２４に設けられた爪部５２により固定するように
してもよい。
【００３３】また、上述の実施の形態においては、集束
電極２４の上円筒部２４ａは、コバール金属の円筒壁に
より形成されているが、このコバール金属の円筒壁をメ
ッシュ状のものにすることも可能である。この場合に
は、セラミック製バルブ２６内の排気を効率良く行なう
ことができる。
電極２４の上円筒部２４ａは、コバール金属の円筒壁に
より形成されているが、このコバール金属の円筒壁をメ
ッシュ状のものにすることも可能である。この場合に
は、セラミック製バルブ２６内の排気を効率良く行なう
ことができる。
【００３４】また、上述の実施の形態においては、図５
に示す形状のターゲット電圧印加用導電性キャップ３０
を用いたが、これに限らず、図１１、図１２及び図１４
に示す形状のものを用いることも可能である。なお、図
１３に示すターゲット電圧印加用導電性キャップ３０
は、図１２に示す形状のものと同一であるが、出射窓２
８がターゲット電圧印加用導電性キャップ３０の下に位
置づけられている点が図１２と異なる。
に示す形状のターゲット電圧印加用導電性キャップ３０
を用いたが、これに限らず、図１１、図１２及び図１４
に示す形状のものを用いることも可能である。なお、図
１３に示すターゲット電圧印加用導電性キャップ３０
は、図１２に示す形状のものと同一であるが、出射窓２
８がターゲット電圧印加用導電性キャップ３０の下に位
置づけられている点が図１２と異なる。
【００３５】また、上述の実施の形態においては、高温
用ロウ材１８としてＡｇ（９９．９％）の銀ロウを用
い、低温用ロウ材２２としてＡｇ（７２％），Ｃｕ（２
６％），Ｔｉ（２％）から構成されるロウ材を用いたが
これに限らず、高温用ロウ材１８は、低温用ロウ材２２
よりも高いロウ付け温度を有するロウ材であればよく、
また、低温用ロウ材２２は、高温用ロウ材１８よりも低
いロウ付け温度を有するロウ材であればよい。従って、
高温用ロウ材１８としては、銀銅ロウ（ロウ付け温度７
８０〜９００℃）、黄銅ロウ（ロウ付け温度８００〜９
３５℃）、銅ロウ（ロウ付け温度１０８３℃）、ニッケ
ルロウ（ロウ付け温度９７５〜１０７０℃）及び金ロウ
（ロウ付け温度１０６４℃）等を用いることが可能であ
る。
用ロウ材１８としてＡｇ（９９．９％）の銀ロウを用
い、低温用ロウ材２２としてＡｇ（７２％），Ｃｕ（２
６％），Ｔｉ（２％）から構成されるロウ材を用いたが
これに限らず、高温用ロウ材１８は、低温用ロウ材２２
よりも高いロウ付け温度を有するロウ材であればよく、
また、低温用ロウ材２２は、高温用ロウ材１８よりも低
いロウ付け温度を有するロウ材であればよい。従って、
高温用ロウ材１８としては、銀銅ロウ（ロウ付け温度７
８０〜９００℃）、黄銅ロウ（ロウ付け温度８００〜９
３５℃）、銅ロウ（ロウ付け温度１０８３℃）、ニッケ
ルロウ（ロウ付け温度９７５〜１０７０℃）及び金ロウ
（ロウ付け温度１０６４℃）等を用いることが可能であ
る。
【００３６】一方、低温用ロウ材２２としては、高温用
ロウ材１８よりもロウ付け温度が低いことを条件とし
て、Ａｇ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ｔｉから構成されるロウ材（ロ
ウ付け温度６２０〜７５０℃）又は、Ａｇ，Ｃｕ，Ｉ
ｎ，Ｔｉから構成されるロウ材（ロウ付け温度６２０〜
７１０℃）等を用いることが可能である。
ロウ材１８よりもロウ付け温度が低いことを条件とし
て、Ａｇ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ｔｉから構成されるロウ材（ロ
ウ付け温度６２０〜７５０℃）又は、Ａｇ，Ｃｕ，Ｉ
ｎ，Ｔｉから構成されるロウ材（ロウ付け温度６２０〜
７１０℃）等を用いることが可能である。
【００３７】
【発明の効果】この発明によれば、ステム部組み立て工
程及び高温用ロウ材ロウ付け工程において、まず、ステ
ム部の製造を行ない、その後、Ｘ線管組み立て工程及び
低温用ロウ材ロウ付け工程によりＸ線管の製造を行なう
ことができ、Ｘ線管の製造作業を容易化することができ
る。
程及び高温用ロウ材ロウ付け工程において、まず、ステ
ム部の製造を行ない、その後、Ｘ線管組み立て工程及び
低温用ロウ材ロウ付け工程によりＸ線管の製造を行なう
ことができ、Ｘ線管の製造作業を容易化することができ
る。
【図１】本願の実施の形態の透過型Ｘ線管の垂直断面図
である。
である。
【図２】実施の形態の透過型Ｘ線管の製造工程を説明す
るための図である。
るための図である。
【図３】実施の形態の透過型Ｘ線管の製造工程を説明す
るための図である。
るための図である。
【図４】集束電極の垂直段面形状を示す断面図である。
【図５】ターゲット電圧印加用導電性キャップの垂直段
面形状を示す断面図である。
面形状を示す断面図である。
【図６】離間手段の他の実施の形態を説明するための図
である。
である。
【図７】離間手段の他の実施の形態を説明するための図
である。
である。
【図８】離間手段の他の実施の形態を説明するための図
である。
である。
【図９】離間手段の他の実施の形態を説明するための図
である。
である。
【図１０】集束電極の他の実施の形態を説明するための
図である。
図である。
【図１１】ターゲット電圧印加用導電性キャップの他の
実施の形態を説明するための図である。
実施の形態を説明するための図である。
【図１２】ターゲット電圧印加用導電性キャップの他の
実施の形態を説明するための図である。
実施の形態を説明するための図である。
【図１３】ターゲット電圧印加用導電性キャップの他の
実施の形態を説明するための図である。
実施の形態を説明するための図である。
【図１４】ターゲット電圧印加用導電性キャップの他の
実施の形態を説明するための図である。
実施の形態を説明するための図である。
１０…ステム部、１２…底板体、１２ａ…排気バルブ
孔、１２ｂ…カソードピン孔、１４…排気バルブ、１６
…カソードピン、１８…高温用ロウ材、２０…Ｗコイ
ル、２２…低温用ロウ材、２４…集束電極、２４ａ…上
円筒部、２４ｂ…下円筒部、２４ｃ…傾斜部、２４ｄ…
張出し部、２６…セラミック製バルブ、２８…出射窓、
３０…ターゲット電圧印加用導電性キャップ、３０ａ…
円形窓、３０ｂ…フランジ部、４０…段差部、４２…突
起部、４４…スペーサ。
孔、１２ｂ…カソードピン孔、１４…排気バルブ、１６
…カソードピン、１８…高温用ロウ材、２０…Ｗコイ
ル、２２…低温用ロウ材、２４…集束電極、２４ａ…上
円筒部、２４ｂ…下円筒部、２４ｃ…傾斜部、２４ｄ…
張出し部、２６…セラミック製バルブ、２８…出射窓、
３０…ターゲット電圧印加用導電性キャップ、３０ａ…
円形窓、３０ｂ…フランジ部、４０…段差部、４２…突
起部、４４…スペーサ。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−180660（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−314894（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−196114（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−14515（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−45223（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 9/18
H01J 35/14
H01J 35/08
Claims (3)
- 【請求項１】 ステム部の底板体に設けられたカソード
ピン孔に高温用ロウ材を介してカソードピンを差し込む
ステム部組み立て工程と、 このステム部組み立て工程により組み立てられたステム
部を高温用ロウ材のロウ付け温度まで加熱しロウ付けを
行なう高温用ロウ材ロウ付け工程と、 前記ステム部の上に集束電極、セラミック製バルブ及び
出射窓を、それぞれの間に低温用ロウ材を介して積み上
げるＸ線管組み立て工程と、 このＸ線管組み立て工程により組み立てられたＸ線管を
低温用ロウ材のロウ付け温度まで加熱しロウ付けを行な
う低温用ロウ材ロウ付け工程と、 を備えることを特徴とするＸ線管の製造方法。 - 【請求項２】 前記高温用ロウ材は、銀ロウであること
を特徴とする請求項１記載のＸ線管の製造方法。 - 【請求項３】 前記低温用ロウ材は、Ａｇ、Ｃｕ及びＴ
ｉにより構成されるロウ材であることを特徴とする請求
項１記載のＸ線管の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP33693695A JP3514568B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | Ｘ線管の製造方法 |
| US09/113,372 US6015325A (en) | 1995-12-25 | 1998-07-10 | Method for manufacturing transmission type X-ray tube |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33693695A JP3514568B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | Ｘ線管の製造方法 |
| US09/113,372 US6015325A (en) | 1995-12-25 | 1998-07-10 | Method for manufacturing transmission type X-ray tube |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09180630A JPH09180630A (ja) | 1997-07-11 |
| JP3514568B2 true JP3514568B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=26575624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33693695A Expired - Fee Related JP3514568B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | Ｘ線管の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6015325A (ja) |
| JP (1) | JP3514568B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4043571B2 (ja) * | 1997-12-04 | 2008-02-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
| JP2002025446A (ja) * | 1997-12-04 | 2002-01-25 | Hamamatsu Photonics Kk | Ｘ線管の製造方法 |
| US7180981B2 (en) * | 2002-04-08 | 2007-02-20 | Nanodynamics-88, Inc. | High quantum energy efficiency X-ray tube and targets |
| CN102693888A (zh) * | 2011-03-24 | 2012-09-26 | 方钢群 | 一种陶瓷软x射线管的制备方法 |
| JP5921153B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2016-05-24 | キヤノン株式会社 | 放射線発生管および放射線発生装置 |
| US9831058B2 (en) * | 2015-01-21 | 2017-11-28 | Varex Imaging Corporation | Vacuum assemblies and methods of formation |
| JP2016173926A (ja) * | 2015-03-17 | 2016-09-29 | 東芝電子管デバイス株式会社 | Ｘ線管 |
| KR101966794B1 (ko) * | 2017-07-12 | 2019-08-27 | (주)선재하이테크 | 전자 집속 개선용 엑스선관 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2751514A (en) * | 1952-04-15 | 1956-06-19 | Dunlee Corp | Hooded anode X-ray tube |
| JPS4852390A (ja) * | 1971-11-02 | 1973-07-23 | ||
| JPS57187848A (en) * | 1981-05-13 | 1982-11-18 | Hitachi Ltd | X-ray tube |
| US4872606A (en) * | 1985-12-11 | 1989-10-10 | Hitachi, Ltd. | Sealed structure and production method thereof |
| JP3839528B2 (ja) * | 1996-09-27 | 2006-11-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置 |
-
1995
- 1995-12-25 JP JP33693695A patent/JP3514568B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-10 US US09/113,372 patent/US6015325A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09180630A (ja) | 1997-07-11 |
| US6015325A (en) | 2000-01-18 |
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