JPH03245446A - Ｘ線管 - Google Patents
Ｘ線管Info
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- JPH03245446A JPH03245446A JP3986790A JP3986790A JPH03245446A JP H03245446 A JPH03245446 A JP H03245446A JP 3986790 A JP3986790 A JP 3986790A JP 3986790 A JP3986790 A JP 3986790A JP H03245446 A JPH03245446 A JP H03245446A
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- Japan
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- vacuum container
- crystallized glass
- ring
- sealing
- container
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- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はｘｌ管に係り、特にその真空容器の改良に関
する。
する。
（従来の技術）
従来、Ｘ線透過検査用に使用される工業用Ｘ線管は、第
２図に示すように構成されている。即ち、陰極構体６の
陰極フィラメント７から放出された熱電子が、陰極−陽
極間に印加された高電圧により加速されて陽極構体１４
の陽極ターゲット１に衝突し、その際に発生したＸ線は
Ｘ線放射窓５を通して取出される。
２図に示すように構成されている。即ち、陰極構体６の
陰極フィラメント７から放出された熱電子が、陰極−陽
極間に印加された高電圧により加速されて陽極構体１４
の陽極ターゲット１に衝突し、その際に発生したＸ線は
Ｘ線放射窓５を通して取出される。
通常、陰極−陽極間には２００〜３００ＫＶの高電圧が
印加されるため、真空容器８には高絶縁耐力が要求され
、９０％アルミナ等のセラミックスが使用されている。
印加されるため、真空容器８には高絶縁耐力が要求され
、９０％アルミナ等のセラミックスが使用されている。
このようなＸ線管は、組立てに当たっては、陽極構体１
４、陽極フランジ３、封着リング４、真空容器８がろう
接等の方法で真空気密を保持するように固着される。
４、陽極フランジ３、封着リング４、真空容器８がろう
接等の方法で真空気密を保持するように固着される。
この場合、真空容器８のろう接部はメタライズ処理が施
されている。しかる後、陰極構体６が封着リング９を介
して溶接等の方法により固着される。
されている。しかる後、陰極構体６が封着リング９を介
して溶接等の方法により固着される。
尚、第２図中の符号２は陽極基体、１５は陽極フードで
ある。
ある。
（発明が解決しようとする課題）
上記のような従来の構造では、真空容器８と封着リング
４．９をろう接した際に蒸発した少量のろう材が、真空
容器８のセラミックス表面に付着し、Ｘ線管に高電圧が
印加された時に電界分布を乱し、耐電圧を劣化させると
いう問題があった。
４．９をろう接した際に蒸発した少量のろう材が、真空
容器８のセラミックス表面に付着し、Ｘ線管に高電圧が
印加された時に電界分布を乱し、耐電圧を劣化させると
いう問題があった。
この発明は、以上のような不都合を解決するものであり
、耐電圧が良好にして、真空容器の表面の汚染がないＸ
線管を提供することを目的とする。
、耐電圧が良好にして、真空容器の表面の汚染がないＸ
線管を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明は、真空容器が結晶化ガラスからなり、この結
晶化ガラスに埋め込まれた封着金属リングが他の金属製
真空容器部材に溶接により気密接合されてなるＸＩＩ管
である。
晶化ガラスに埋め込まれた封着金属リングが他の金属製
真空容器部材に溶接により気密接合されてなるＸＩＩ管
である。
（作用）
この発明によれば、真空容器をろう接の手段によらず封
着することが可能となるため、従来のようにろう材によ
る真空容器の表面汚染はない。又、従来に比べて高温で
のガス出し処理が可能となり、安定な耐電圧が得られる
。
着することが可能となるため、従来のようにろう材によ
る真空容器の表面汚染はない。又、従来に比べて高温で
のガス出し処理が可能となり、安定な耐電圧が得られる
。
（実施例）
以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。
明する。
この発明によるＸ線管は第１図に示すように構成され、
従来例（第２図）と同一箇所には同一符号を付すことに
する。
従来例（第２図）と同一箇所には同一符号を付すことに
する。
即ち、陰極構体６と陽極構体１４とが所定間隔で配設さ
れ、真空容器１２により絶縁固定されている。この場合
、真空容器１２は結晶化ガラスからなり、その具体例に
ついては詳しく後述する。
れ、真空容器１２により絶縁固定されている。この場合
、真空容器１２は結晶化ガラスからなり、その具体例に
ついては詳しく後述する。
この真空容器１２の両端には、それぞれ第１の封着金属
リング１０と第２の封着金属リング１１が埋め込まれて
いる。そして、一方の封着金属リング１０には、陽極フ
ランジ３にろう接された封着金属リング１３が溶接部Ｂ
で気密接合されている。又、到着金属リング１１には、
陰極構体６の封着金属リング１６が溶接部Ｂで気密接合
されている。
リング１０と第２の封着金属リング１１が埋め込まれて
いる。そして、一方の封着金属リング１０には、陽極フ
ランジ３にろう接された封着金属リング１３が溶接部Ｂ
で気密接合されている。又、到着金属リング１１には、
陰極構体６の封着金属リング１６が溶接部Ｂで気密接合
されている。
真空容器１２と封着金属リング１０．１１との接合は、
予備加熱した真空容器１２に、高周波により灼熱させた
封着金属リング１０．１１を圧力をかけながら挿入する
ことにより可能である。
予備加熱した真空容器１２に、高周波により灼熱させた
封着金属リング１０．１１を圧力をかけながら挿入する
ことにより可能である。
尚、第１図中の符号７は陰極フィラメントである。又、
１は陽極ターゲット、２は陽極基体、１５はＸ線放射窓
５を有する陽極フード、１７はコロナリングであり、こ
れらは陽極構体１４を構成している。
１は陽極ターゲット、２は陽極基体、１５はＸ線放射窓
５を有する陽極フード、１７はコロナリングであり、こ
れらは陽極構体１４を構成している。
さて、古空容２Ａ１２を形成する結晶化ガラスの一例と
しては、５ｉ０２が約７４％、Ａｌｌ ２０ｓが約６％
、Ｌｉ２Ｏが約１３％、Ｎａ２Ｑが約０．４％、Ｋ２Ｏ
が約４．５％、Ｂ ２０３が約０．６％、Ｐ２Ｏ，が約
２％の成分比のものが適する。この結晶化ガラスの場合
、熱処理温度は８００℃まで可能である。
しては、５ｉ０２が約７４％、Ａｌｌ ２０ｓが約６％
、Ｌｉ２Ｏが約１３％、Ｎａ２Ｑが約０．４％、Ｋ２Ｏ
が約４．５％、Ｂ ２０３が約０．６％、Ｐ２Ｏ，が約
２％の成分比のものが適する。この結晶化ガラスの場合
、熱処理温度は８００℃まで可能である。
そして、従来のＸ線管に使用されている硼珪酸ガラスの
場合は、熱処理温度が５００”Ｃ程度に抑えられるのに
対し、例えば排気時のベーキング温度を上記の温度近く
まで高く出来るため、より十分なガス出し、排気が可能
となる。
場合は、熱処理温度が５００”Ｃ程度に抑えられるのに
対し、例えば排気時のベーキング温度を上記の温度近く
まで高く出来るため、より十分なガス出し、排気が可能
となる。
又、従来のセラミックスの場合に比べて比重が小さい（
従来が３．７、上記結晶化ガラスが２．４）ため、より
Ｘ線管の軽量化が実現出来る。
従来が３．７、上記結晶化ガラスが２．４）ため、より
Ｘ線管の軽量化が実現出来る。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、真空容器が結
晶化ガラスからなり、この結晶化ガラスに埋め込まれた
封着金属リングが他の金属製真空容器部材に溶接により
気密接合され、従来のように真空容器をろう接により気
密封止するのではないため、真空容器のろう材による汚
染もなく、軽量化出来る。
晶化ガラスからなり、この結晶化ガラスに埋め込まれた
封着金属リングが他の金属製真空容器部材に溶接により
気密接合され、従来のように真空容器をろう接により気
密封止するのではないため、真空容器のろう材による汚
染もなく、軽量化出来る。
その結果、安定な高耐電圧のＸ線管を提供することが出
来る。
来る。
第１図はこの発明の一実施例に係るＸ線管を示す縦断面
図、第２図は従来のＸ線管を示す縦断面図である。 ６・・・陰極構体、１０．１１・・・封着金属リング、
１２・・・真空容器、１４・・・陽極構体。
図、第２図は従来のＸ線管を示す縦断面図である。 ６・・・陰極構体、１０．１１・・・封着金属リング、
１２・・・真空容器、１４・・・陽極構体。
Claims (1)
- 対向して配設された陰極構体と陽極構体とが真空容器に
より絶縁固定されてなるＸ線管において、上記真空容器
は結晶化ガラスからなり、この結晶化ガラスに埋め込ま
れた封着金属リングが他の金属製真空容器部材に溶接に
より気密接合されてなることを特徴とするＸ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3986790A JPH03245446A (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | Ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3986790A JPH03245446A (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | Ｘ線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03245446A true JPH03245446A (ja) | 1991-11-01 |
Family
ID=12564924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3986790A Pending JPH03245446A (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | Ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03245446A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007179866A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線管及びｘ線撮影装置 |
| WO2017109981A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 株式会社ニコン | 荷電粒子装置、構造物の製造方法および構造物製造システム |
| EP4060713A4 (en) * | 2019-11-11 | 2023-12-13 | Canon Electron Tubes & Devices Co., Ltd. | X-RAY TUBE AND METHOD FOR MANUFACTURING X-RAY TUBE |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP3986790A patent/JPH03245446A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007179866A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Hitachi Medical Corp | Ｘ線管及びｘ線撮影装置 |
| WO2017109981A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 株式会社ニコン | 荷電粒子装置、構造物の製造方法および構造物製造システム |
| JPWO2017109981A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2018-10-18 | 株式会社ニコン | 荷電粒子装置、構造物の製造方法および構造物製造システム |
| EP4060713A4 (en) * | 2019-11-11 | 2023-12-13 | Canon Electron Tubes & Devices Co., Ltd. | X-RAY TUBE AND METHOD FOR MANUFACTURING X-RAY TUBE |
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