JP3505029B2 - 電力供給装置およびそれを備えた基板処理装置 - Google Patents
電力供給装置およびそれを備えた基板処理装置Info
- Publication number
- JP3505029B2 JP3505029B2 JP06406396A JP6406396A JP3505029B2 JP 3505029 B2 JP3505029 B2 JP 3505029B2 JP 06406396 A JP06406396 A JP 06406396A JP 6406396 A JP6406396 A JP 6406396A JP 3505029 B2 JP3505029 B2 JP 3505029B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- power
- substrate processing
- switch means
- switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M5/00—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases
- H02M5/02—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc
- H02M5/04—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc by static converters
- H02M5/22—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
- H02M5/275—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
- H02M5/293—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Stand-By Power Supply Arrangements (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電力供給装置およ
びそれを備えた基板処理装置に関する。
びそれを備えた基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基
板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板に処理を行うために基板処理装置が用いられてい
る。例えば、半導体ウエハに処理を行う基板処理装置
は、半導体製造装置として半導体デバイスの製造に用い
られる。
板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板に処理を行うために基板処理装置が用いられてい
る。例えば、半導体ウエハに処理を行う基板処理装置
は、半導体製造装置として半導体デバイスの製造に用い
られる。
【０００３】図３は従来の基板処理装置の構成の一例を
示すブロック図である。図３の基板処理装置２００は、
負荷部（機械部）１、メインコントローラ２および無停
電電源装置（ＵＰＳ；Uninterruptible Power System）
３ａを備える。
示すブロック図である。図３の基板処理装置２００は、
負荷部（機械部）１、メインコントローラ２および無停
電電源装置（ＵＰＳ；Uninterruptible Power System）
３ａを備える。
【０００４】負荷部１は、複数のモジュール１０および
ブロックコントローラ１１を含む。各モジュール１０
は、たとえばレジストの塗布処理、現像処理、加熱処
理、冷却処理、洗浄処理等の所定の処理を行う処理ユニ
ットからなり、モータ、電磁弁、センサ等の負荷を含
む。ブロックコントーラ１１は、複数のモジュール１０
に対応する複数の負荷制御基板１２を備える。各負荷制
御基板１２は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）を有し、対
応するモジュール１０内の負荷を制御する。
ブロックコントローラ１１を含む。各モジュール１０
は、たとえばレジストの塗布処理、現像処理、加熱処
理、冷却処理、洗浄処理等の所定の処理を行う処理ユニ
ットからなり、モータ、電磁弁、センサ等の負荷を含
む。ブロックコントーラ１１は、複数のモジュール１０
に対応する複数の負荷制御基板１２を備える。各負荷制
御基板１２は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）を有し、対
応するモジュール１０内の負荷を制御する。
【０００５】メインコントローラ２は処理手順および処
理情報を保存する固定ディスク装置２０を備える。この
メインコントローラ２は、固定ディスク装置２０に保存
された処理手順に従ってブロックコントローラ１１に各
種指令を与えるとともに、基板処理装置２００全体の制
御を行う。メインコントローラ２からの指令およびブロ
ックコントローラ１１からの処理情報は装置内通信線を
介してメインコントローラ２とブロックコントローラ１
１との間で送受信される。
理情報を保存する固定ディスク装置２０を備える。この
メインコントローラ２は、固定ディスク装置２０に保存
された処理手順に従ってブロックコントローラ１１に各
種指令を与えるとともに、基板処理装置２００全体の制
御を行う。メインコントローラ２からの指令およびブロ
ックコントローラ１１からの処理情報は装置内通信線を
介してメインコントローラ２とブロックコントローラ１
１との間で送受信される。
【０００６】無停電電源装置３ａは例えば１００Ｖの交
流電源４に接続される。この無停電電源装置３ａはバッ
クアップ用電源を含み、通常は交流電源４から供給され
る１次電力ＡＣ１を２次電力ＡＣ２としてメインコント
ローラ２に供給し、停電時にバックアップ用電源からの
電力を２次電力ＡＣ２としてメインコントローラ２に供
給する。バックアップ用電源は、通常１〜２分間メイン
コントローラ２に電力を供給可能な容量を有する。一
方、負荷部１のブロックコントローラ１１は交流電源４
に直接接続されている。
流電源４に接続される。この無停電電源装置３ａはバッ
クアップ用電源を含み、通常は交流電源４から供給され
る１次電力ＡＣ１を２次電力ＡＣ２としてメインコント
ローラ２に供給し、停電時にバックアップ用電源からの
電力を２次電力ＡＣ２としてメインコントローラ２に供
給する。バックアップ用電源は、通常１〜２分間メイン
コントローラ２に電力を供給可能な容量を有する。一
方、負荷部１のブロックコントローラ１１は交流電源４
に直接接続されている。
【０００７】メインコントローラ２の固定ディスク装置
２には、ブロックコントローラ１１から与えられる処理
情報等の各種データが随時書き込まれている。したがっ
て、停電時に固定ディスク装置２０内のデータが破壊さ
れることを防止する必要がある。図３の基板処理装置２
００においては、停電時には、無停電電源装置３ａ内の
バックアップ用電源からメインコントローラ２に２次電
力ＡＣ２が供給されるため、固定ディスク装置２０内の
データの破壊が回避される。
２には、ブロックコントローラ１１から与えられる処理
情報等の各種データが随時書き込まれている。したがっ
て、停電時に固定ディスク装置２０内のデータが破壊さ
れることを防止する必要がある。図３の基板処理装置２
００においては、停電時には、無停電電源装置３ａ内の
バックアップ用電源からメインコントローラ２に２次電
力ＡＣ２が供給されるため、固定ディスク装置２０内の
データの破壊が回避される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の基板処理装置２００においては、停電時に、負荷
部１に電力が供給されなくなり、負荷部１の動作が停止
してしまう。そこで、図３に点線で示すように、５００
ｍ秒程度の瞬時停電保障時間を有する瞬時停電保障ユニ
ット５を用いることにより、瞬時停電時に負荷部１の動
作を保障することが可能となる。なお、瞬時停電のほと
んどは５００ｍ秒以下であると言われている。しかしな
がら、瞬時停電保障ユニット６は高価であり、かつ設置
のために広いスペースが必要となる。
従来の基板処理装置２００においては、停電時に、負荷
部１に電力が供給されなくなり、負荷部１の動作が停止
してしまう。そこで、図３に点線で示すように、５００
ｍ秒程度の瞬時停電保障時間を有する瞬時停電保障ユニ
ット５を用いることにより、瞬時停電時に負荷部１の動
作を保障することが可能となる。なお、瞬時停電のほと
んどは５００ｍ秒以下であると言われている。しかしな
がら、瞬時停電保障ユニット６は高価であり、かつ設置
のために広いスペースが必要となる。
【０００９】そのため、通常、工場用無停電電源装置６
がある場合には、負荷部１を工場用無停電電源装置６に
接続することにより瞬時停電時の負荷部１の停止を回避
している。しかしながら、工場用無停電電源装置６がな
い場合には、瞬時停電時における負荷部１の停止を回避
することができない。工場用無停電電源装置６を設ける
と、工場設備が非常に高価になるという問題がある。
がある場合には、負荷部１を工場用無停電電源装置６に
接続することにより瞬時停電時の負荷部１の停止を回避
している。しかしながら、工場用無停電電源装置６がな
い場合には、瞬時停電時における負荷部１の停止を回避
することができない。工場用無停電電源装置６を設ける
と、工場設備が非常に高価になるという問題がある。
【００１０】本発明の目的は、高価で広い設置面積を必
要とする設備を用いることなく、瞬時停電時にデータ保
存手段のデータの破壊を防止しつつ処理部の動作を保障
することができる電力供給装置およびそれを備えた基板
処理装置を提供することである。
要とする設備を用いることなく、瞬時停電時にデータ保
存手段のデータの破壊を防止しつつ処理部の動作を保障
することができる電力供給装置およびそれを備えた基板
処理装置を提供することである。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板処理装置は、基板を処理する基板処理部
と、基板処理部に関するデータを保存するデータ保存手
段と、交流電源に接続されかつ基板処理部およびデータ
保存手段に電力を供給する電力供給装置とを備える。電
力供給装置は、無停電電源装置および供給経路切換手段
を含む。無停電電源装置は、バックアップ用電源を含
み、定常時に交流電源からの電力をデータ保存手段に供
給し、停電発生時にバックアップ用電源からの電力をデ
ータ保存手段に供給する。供給経路切換手段は、定常時
に交流電源からの電力を基板処理部に供給し、所定時間
内の停電発生時に、無停電電源装置からの電力を基板処
理部に供給し、無停電電源装置が停電の復旧を検知する
と交流電源からの電力を基板処理部に供給し、所定時間
を超える停電発生時に、無停電電源装置からの電力を基
板処理部に所定時間供給し、所定時間の経過後、無停電
電源装置から基板処理部への電力の供給を遮断し、無停
電電源装置が停電の復旧を検知すると交流電源からの電
力を基板処理部に供給する。
発明に係る基板処理装置は、基板を処理する基板処理部
と、基板処理部に関するデータを保存するデータ保存手
段と、交流電源に接続されかつ基板処理部およびデータ
保存手段に電力を供給する電力供給装置とを備える。電
力供給装置は、無停電電源装置および供給経路切換手段
を含む。無停電電源装置は、バックアップ用電源を含
み、定常時に交流電源からの電力をデータ保存手段に供
給し、停電発生時にバックアップ用電源からの電力をデ
ータ保存手段に供給する。供給経路切換手段は、定常時
に交流電源からの電力を基板処理部に供給し、所定時間
内の停電発生時に、無停電電源装置からの電力を基板処
理部に供給し、無停電電源装置が停電の復旧を検知する
と交流電源からの電力を基板処理部に供給し、所定時間
を超える停電発生時に、無停電電源装置からの電力を基
板処理部に所定時間供給し、所定時間の経過後、無停電
電源装置から基板処理部への電力の供給を遮断し、無停
電電源装置が停電の復旧を検知すると交流電源からの電
力を基板処理部に供給する。
【００１６】 第２の発明に係る基板処理装置は、第１
の発明に係る基板処理装置の構成において、供給経路切
換手段が、第１のスイッチ手段、第２のスイッチ手段お
よび切換制御手段を含むものである。第１のスイッチ手
段は、交流電源と基板処理部との間に接続される。第２
のスイッチ手段は、無停電電源装置の出力端子と基板処
理部との間に接続される。切換制御手段は、定常時に第
１のスイッチ手段を導通状態にしかつ第２のスイッチ手
段を非導通状態にし、所定時間内の停電発生時に、第１
のスイッチ手段を非導通状態にしかつ第２のスイッチ手
段を導通状態にし、無停電電源装置が停電の復旧を検知
した後、第１のスイッチ手段を導通状態にしかつ第２の
スイッチ手段を非導通状態にし、所定時間を超える停電
発生時に、所定時間の間、第１のスイッチ手段を非導通
状態にしかつ第２のスイッチ手段を導通状態にし、所定
時間の経過後、第１のスイッチ手段を導通状態にしかつ
第２のスイッチ手段を非導通状態にする。
の発明に係る基板処理装置の構成において、供給経路切
換手段が、第１のスイッチ手段、第２のスイッチ手段お
よび切換制御手段を含むものである。第１のスイッチ手
段は、交流電源と基板処理部との間に接続される。第２
のスイッチ手段は、無停電電源装置の出力端子と基板処
理部との間に接続される。切換制御手段は、定常時に第
１のスイッチ手段を導通状態にしかつ第２のスイッチ手
段を非導通状態にし、所定時間内の停電発生時に、第１
のスイッチ手段を非導通状態にしかつ第２のスイッチ手
段を導通状態にし、無停電電源装置が停電の復旧を検知
した後、第１のスイッチ手段を導通状態にしかつ第２の
スイッチ手段を非導通状態にし、所定時間を超える停電
発生時に、所定時間の間、第１のスイッチ手段を非導通
状態にしかつ第２のスイッチ手段を導通状態にし、所定
時間の経過後、第１のスイッチ手段を導通状態にしかつ
第２のスイッチ手段を非導通状態にする。
【００１７】 第３の発明に係る基板処理装置は、第１
または第２の発明に係る基板処理装置の構成において、
無停電電源装置が、データ保存手段および基板処理部の
消費電力の合計よりも大きい瞬時電力容量を有するもの
である。
または第２の発明に係る基板処理装置の構成において、
無停電電源装置が、データ保存手段および基板処理部の
消費電力の合計よりも大きい瞬時電力容量を有するもの
である。
【００１８】 第１〜第３の発明に係る基板処理装置に
おいては、定常時には、交流電源からの電力が無停電電
源装置を介してデータ保存手段に供給されるとともに、
交流電源からの電力が供給経路切換手段により基板処理
部に供給される。停電発生時には、無停電電源装置のバ
ックアップ用電源からの電力がデータ保存手段に供給さ
れる。また、所定時間内の停電発生時に、無停電電源装
置からの電力が基板処理部に供給され、無停電電源装置
が停電の復旧を検知すると交流電源からの電力が基板処
理部に供給される。一方、所定時間を超える停電発生時
に、無停電電源装置からの電力が基板処理部に所定時間
供給され、所定時間の経過後、無停電電源装置から基板
処理部への電力の供給が遮断され、無停電電源装置が停
電の復旧を検知すると交流電源からの電力が基板処理部
に供給される。
おいては、定常時には、交流電源からの電力が無停電電
源装置を介してデータ保存手段に供給されるとともに、
交流電源からの電力が供給経路切換手段により基板処理
部に供給される。停電発生時には、無停電電源装置のバ
ックアップ用電源からの電力がデータ保存手段に供給さ
れる。また、所定時間内の停電発生時に、無停電電源装
置からの電力が基板処理部に供給され、無停電電源装置
が停電の復旧を検知すると交流電源からの電力が基板処
理部に供給される。一方、所定時間を超える停電発生時
に、無停電電源装置からの電力が基板処理部に所定時間
供給され、所定時間の経過後、無停電電源装置から基板
処理部への電力の供給が遮断され、無停電電源装置が停
電の復旧を検知すると交流電源からの電力が基板処理部
に供給される。
【００１９】このように、停電発生時に、無停電電源装
置のバックアップ用電源によりデータ保存手段に電力が
供給され、かつ所定時間の間のみ無停電電源装置のバッ
クアップ用電源からの電力が基板処理部に供給される。
したがって、瞬時停電時に、データ保存手段のデータの
破壊が防止されるとともに、基板処理部の動作が保障さ
れる。
置のバックアップ用電源によりデータ保存手段に電力が
供給され、かつ所定時間の間のみ無停電電源装置のバッ
クアップ用電源からの電力が基板処理部に供給される。
したがって、瞬時停電時に、データ保存手段のデータの
破壊が防止されるとともに、基板処理部の動作が保障さ
れる。
【００２０】また、電力供給装置はデータ保存手段に電
力を供給するための無停電電源装置に加えて供給経路切
換手段を備えるだけであるので、安価であり、かつ設置
のために広いスペースを必要としない。
力を供給するための無停電電源装置に加えて供給経路切
換手段を備えるだけであるので、安価であり、かつ設置
のために広いスペースを必要としない。
【００２１】 特に、第２の発明に係る基板処理装置に
おいては、定常時には第１のスイッチ手段が導通状態に
なりかつ第２のスイッチ手段が非導通状態となるので、
無停電電源装置の出力端子からの電力がデータ保存手段
に供給されるとともに、交流電源からの電力が第１のス
イッチ手段を介して基板処理部に供給される。停電発生
時には、所定時間第１のスイッチ手段が非導通状態にな
りかつ第２のスイッチ手段が導通状態になるので、無停
電電源装置の出力端子からの電力がデータ保存手段およ
び基板処理部に供給される。その後、第１のスイッチ手
段が導通状態となりかつ第２のスイッチ手段が非導通状
態となるので、無停電電源装置の出力端子からの電力が
データ保存手段のみに供給される。これにより、瞬時停
電時にデータ保存手段のデータの破壊が防止されるとと
もに、基板処理部の動作が保障される。
おいては、定常時には第１のスイッチ手段が導通状態に
なりかつ第２のスイッチ手段が非導通状態となるので、
無停電電源装置の出力端子からの電力がデータ保存手段
に供給されるとともに、交流電源からの電力が第１のス
イッチ手段を介して基板処理部に供給される。停電発生
時には、所定時間第１のスイッチ手段が非導通状態にな
りかつ第２のスイッチ手段が導通状態になるので、無停
電電源装置の出力端子からの電力がデータ保存手段およ
び基板処理部に供給される。その後、第１のスイッチ手
段が導通状態となりかつ第２のスイッチ手段が非導通状
態となるので、無停電電源装置の出力端子からの電力が
データ保存手段のみに供給される。これにより、瞬時停
電時にデータ保存手段のデータの破壊が防止されるとと
もに、基板処理部の動作が保障される。
【００２２】 また、第３の発明に係る基板処理装置に
おいては、無停電電源装置がデータ保存手段および基板
処理部の消費電力の合計よりも大きい瞬時電力容量を有
するので、瞬時停電時にデータ保存手段および基板処理
部の動作を十分に保障することができる。
おいては、無停電電源装置がデータ保存手段および基板
処理部の消費電力の合計よりも大きい瞬時電力容量を有
するので、瞬時停電時にデータ保存手段および基板処理
部の動作を十分に保障することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例による基
板処理装置の構成を示すブロック図である。図１の基板
処理装置１００は、負荷部１、メインコントローラ２お
よび電力供給装置３を備える。
板処理装置の構成を示すブロック図である。図１の基板
処理装置１００は、負荷部１、メインコントローラ２お
よび電力供給装置３を備える。
【００２４】負荷部１は、図３の基板処理装置２００に
おける負荷部１と同様に、複数のモジュール１０および
ブロックコントローラ１１を含む。各モジュール１０
は、例えばレジストの塗布処理、現像処理、加熱処理、
冷却処理、洗浄処理等の所定の処理を行う処理ユニット
からなり、モータ、電磁弁、センサ等の負荷を含む。ブ
ロックコントローラ１１は、複数のモジュール１０に対
応する複数の負荷制御基板１２を備える。各負荷制御基
板１２は、ＣＰＵを有し、対応するモジュール内の負荷
を制御する。
おける負荷部１と同様に、複数のモジュール１０および
ブロックコントローラ１１を含む。各モジュール１０
は、例えばレジストの塗布処理、現像処理、加熱処理、
冷却処理、洗浄処理等の所定の処理を行う処理ユニット
からなり、モータ、電磁弁、センサ等の負荷を含む。ブ
ロックコントローラ１１は、複数のモジュール１０に対
応する複数の負荷制御基板１２を備える。各負荷制御基
板１２は、ＣＰＵを有し、対応するモジュール内の負荷
を制御する。
【００２５】メインコントローラ２は処理手順および処
理情報を保存する固定ディスク装置２０を備える。この
メインコントローラ２は、固定ディスク装置２０に保存
された処理手順に従ってブロックコントローラ１１に各
種指令を与えるとともに、基板処理装置１００全体の制
御を行う。メインコントローラ２からの指令およびブロ
ックコントローラ１１からの処理情報は、装置内通信線
を介してメインコントローラ２とブロックコントローラ
１１との間で送受信される。
理情報を保存する固定ディスク装置２０を備える。この
メインコントローラ２は、固定ディスク装置２０に保存
された処理手順に従ってブロックコントローラ１１に各
種指令を与えるとともに、基板処理装置１００全体の制
御を行う。メインコントローラ２からの指令およびブロ
ックコントローラ１１からの処理情報は、装置内通信線
を介してメインコントローラ２とブロックコントローラ
１１との間で送受信される。
【００２６】電力供給装置３は例えば１００Ｖの交流電
源４に接続される。この電力供給装置３は、無停電電源
装置３０、切換制御部３１、第１のスイッチ３２および
第２のスイッチ３３を含む。
源４に接続される。この電力供給装置３は、無停電電源
装置３０、切換制御部３１、第１のスイッチ３２および
第２のスイッチ３３を含む。
【００２７】無停電電源装置３０の入力端子（１次端
子）Ｎ１は交流電源４に接続され、出力端子（２次端
子）Ｎ２はメインコントローラ２に接続されている。無
停電電源装置３０は、例えば定格電力容量５００Ｗを有
するバックアップ用電源を含む。バックアップ用電源の
突入時の電力容量（瞬時電力容量）は定格電力容量の約
２倍であり、本例では１ＫＷとなる。この無停電電源装
置３０は、停電を検出する機能を有し、通常は交流電源
４から供給される１次電力ＡＣ１を２次電力ＡＣ２とし
てメインコントローラ２に供給し、停電検出時にバック
アップ用電源からの電力を２次電力ＡＣ２としてメイン
コントローラ２に供給する。
子）Ｎ１は交流電源４に接続され、出力端子（２次端
子）Ｎ２はメインコントローラ２に接続されている。無
停電電源装置３０は、例えば定格電力容量５００Ｗを有
するバックアップ用電源を含む。バックアップ用電源の
突入時の電力容量（瞬時電力容量）は定格電力容量の約
２倍であり、本例では１ＫＷとなる。この無停電電源装
置３０は、停電を検出する機能を有し、通常は交流電源
４から供給される１次電力ＡＣ１を２次電力ＡＣ２とし
てメインコントローラ２に供給し、停電検出時にバック
アップ用電源からの電力を２次電力ＡＣ２としてメイン
コントローラ２に供給する。
【００２８】第１のスイッチ３２は無停電電源装置３０
の入力端子Ｎ１とブロックコントローラ１１との間に接
続され、第２のスイッチ３３は無停電電源装置３０の出
力端子Ｎ２とブロックコントローラ１１との間に接続さ
れている。切換制御部３１は、無停電電源装置３０の停
電検出時に第１のスイッチ３２および第２のスイッチ３
３をオン・オフさせる。
の入力端子Ｎ１とブロックコントローラ１１との間に接
続され、第２のスイッチ３３は無停電電源装置３０の出
力端子Ｎ２とブロックコントローラ１１との間に接続さ
れている。切換制御部３１は、無停電電源装置３０の停
電検出時に第１のスイッチ３２および第２のスイッチ３
３をオン・オフさせる。
【００２９】本実施例では、負荷部１が処理部または基
板処理部を構成し、メインコントローラ２がデータ保存
手段を構成する。また、第１のスイッチ３２、第２のス
イッチ３３および切換制御部３１が供給経路切換手段を
構成する。特に、第１のスイッチ３２が第１のスイッチ
手段を構成し、第２のスイッチ３３が第２のスイッチ手
段を構成し、切換制御部３１が切換制御手段を構成す
る。
板処理部を構成し、メインコントローラ２がデータ保存
手段を構成する。また、第１のスイッチ３２、第２のス
イッチ３３および切換制御部３１が供給経路切換手段を
構成する。特に、第１のスイッチ３２が第１のスイッチ
手段を構成し、第２のスイッチ３３が第２のスイッチ手
段を構成し、切換制御部３１が切換制御手段を構成す
る。
【００３０】次に、図１の基板処理装置１００における
電力供給装置３の動作を図２の波形図を参照しながら説
明する。ここで、負荷部１のブロックコントローラ１１
の消費電力を例えば５００Ｗとし、メインコントローラ
２の消費電力も例えば５００Ｗとする。
電力供給装置３の動作を図２の波形図を参照しながら説
明する。ここで、負荷部１のブロックコントローラ１１
の消費電力を例えば５００Ｗとし、メインコントローラ
２の消費電力も例えば５００Ｗとする。
【００３１】定常時には、第１のスイッチ３２がオン
し、第２のスイッチ３３がオフしている。無停電電源装
置３０は、交流電源４から与えられる１次電力ＡＣ１を
メインコントローラ２に２次電力ＡＣ２として供給す
る。また、負荷部１には、交流電源４からの電力ＡＣ１
が電力供給装置３の第１のスイッチ３２を介して供給さ
れる。
し、第２のスイッチ３３がオフしている。無停電電源装
置３０は、交流電源４から与えられる１次電力ＡＣ１を
メインコントローラ２に２次電力ＡＣ２として供給す
る。また、負荷部１には、交流電源４からの電力ＡＣ１
が電力供給装置３の第１のスイッチ３２を介して供給さ
れる。
【００３２】図２に示すように、５００ｍ秒以内の期間
Ｔ１の瞬時停電が発生すると、無停電電源装置３０がそ
の停電を検出する。それにより、切換制御部３１が第１
のスイッチ３２をオフに切り換え、第２のスイッチ３３
をオンに切り換える。このときの切り換え時間ｔ１は１
０ｍ秒程度である。その結果、バックアップ期間Ｔ２の
間、無停電電源装置３０のバックアップ電源からメイン
コントローラ２に５００Ｗの２次電力ＡＣ２が供給され
るとともに、無停電電源装置３０のバックアップ電源か
ら第２のスイッチ３３を介して負荷部１のブロックコン
トローラ１１に５００Ｗの２次電力ＡＣ３が供給され
る。
Ｔ１の瞬時停電が発生すると、無停電電源装置３０がそ
の停電を検出する。それにより、切換制御部３１が第１
のスイッチ３２をオフに切り換え、第２のスイッチ３３
をオンに切り換える。このときの切り換え時間ｔ１は１
０ｍ秒程度である。その結果、バックアップ期間Ｔ２の
間、無停電電源装置３０のバックアップ電源からメイン
コントローラ２に５００Ｗの２次電力ＡＣ２が供給され
るとともに、無停電電源装置３０のバックアップ電源か
ら第２のスイッチ３３を介して負荷部１のブロックコン
トローラ１１に５００Ｗの２次電力ＡＣ３が供給され
る。
【００３３】無停電電源装置３０が停電の復旧を検知す
ると、切換制御部３１が第１のスイッチ３２をオンに切
り換え、第２のスイッチ３３をオフに切り換える。この
場合の切り換え時間ｔ２も１０ｍ秒程度である。それに
より、無停電電源装置３０は交流電源４からの１次電力
ＡＣ１を２次電力ＡＣ２としてメインコントローラ２に
供給する。負荷部１のブロックコントローラ１１には、
交流電源４からの１次電力ＡＣ１が電力供給装置３の第
１のスイッチ３２を介して２次電力ＡＣ３として供給さ
れる。
ると、切換制御部３１が第１のスイッチ３２をオンに切
り換え、第２のスイッチ３３をオフに切り換える。この
場合の切り換え時間ｔ２も１０ｍ秒程度である。それに
より、無停電電源装置３０は交流電源４からの１次電力
ＡＣ１を２次電力ＡＣ２としてメインコントローラ２に
供給する。負荷部１のブロックコントローラ１１には、
交流電源４からの１次電力ＡＣ１が電力供給装置３の第
１のスイッチ３２を介して２次電力ＡＣ３として供給さ
れる。
【００３４】５００ｍ秒以上の停電が発生した場合に
は、無停電電源装置３０が停電を検知すると、切換制御
部３１が第１のスイッチ３２をオフに切り換え、第２の
スイッチ３３をオンに切り換える。このときの切換時間
ｔ３も１０ｍ秒程度である。切換制御部３１は、５００
ｍ秒のバックアップ期間Ｔ３の経過後、第１のスイッチ
３２をオンに切り換え、第２のスイッチ３３をオフに切
り換える。これにより、無停電電源装置３０のバックア
ップ電源からメインコントローラ２に２次電力ＡＣ２が
供給されるとともに、５００ｍ秒のバックアップ期間Ｔ
３だけ負荷部１のブロックコントローラ１１に２次電力
ＡＣ３が供給される。その後は、メインコントローラ２
にのみ無停電電源装置３０のバックアップ電源から２次
電力ＡＣ２が供給される。
は、無停電電源装置３０が停電を検知すると、切換制御
部３１が第１のスイッチ３２をオフに切り換え、第２の
スイッチ３３をオンに切り換える。このときの切換時間
ｔ３も１０ｍ秒程度である。切換制御部３１は、５００
ｍ秒のバックアップ期間Ｔ３の経過後、第１のスイッチ
３２をオンに切り換え、第２のスイッチ３３をオフに切
り換える。これにより、無停電電源装置３０のバックア
ップ電源からメインコントローラ２に２次電力ＡＣ２が
供給されるとともに、５００ｍ秒のバックアップ期間Ｔ
３だけ負荷部１のブロックコントローラ１１に２次電力
ＡＣ３が供給される。その後は、メインコントローラ２
にのみ無停電電源装置３０のバックアップ電源から２次
電力ＡＣ２が供給される。
【００３５】このように、瞬時停電時に、無停電電源装
置３０によりメインコントローラ２および負荷部１のブ
ロックコントローラ１１の両方に電力が供給され、メイ
ンコントローラ２内の固定ディスク装置２０内のデータ
の破壊が防止されるとともに負荷部１の動作が保障され
る。
置３０によりメインコントローラ２および負荷部１のブ
ロックコントローラ１１の両方に電力が供給され、メイ
ンコントローラ２内の固定ディスク装置２０内のデータ
の破壊が防止されるとともに負荷部１の動作が保障され
る。
【００３６】その結果、基板処理装置が停止する時間が
削減され、生産性の向上および不良品の低減が図られ
る。また、基板処理装置の信頼性が向上する。電力供給
装置３は、メインコントローラ２に電力を供給するため
の無停電電源装置３０に加えて切換制御部３１、第１の
スイッチ３２および第２のスイッチ３３を含むだけであ
るので、安価であり、かつ設置のために広いスペースを
必要としない。
削減され、生産性の向上および不良品の低減が図られ
る。また、基板処理装置の信頼性が向上する。電力供給
装置３は、メインコントローラ２に電力を供給するため
の無停電電源装置３０に加えて切換制御部３１、第１の
スイッチ３２および第２のスイッチ３３を含むだけであ
るので、安価であり、かつ設置のために広いスペースを
必要としない。
【００３７】本実施例の基板処理装置では、図３に示し
た瞬時停電保障ユニット５を追加する場合に比べて、省
スペース化および低コスト化が図られる。また、２つの
ユニット（無停電電源装置３ａおよび瞬時停電保障ユニ
ット５）を１つのユニット（電力供給装置３）に削減す
ることができるので、保守が容易になる。
た瞬時停電保障ユニット５を追加する場合に比べて、省
スペース化および低コスト化が図られる。また、２つの
ユニット（無停電電源装置３ａおよび瞬時停電保障ユニ
ット５）を１つのユニット（電力供給装置３）に削減す
ることができるので、保守が容易になる。
【００３８】本発明の電力供給装置は、半導体ウエハに
処理を行う基板処理装置に限らず、フォトマスク用ガラ
ス基板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用基板
等の基板に処理を行う種々の基板処理装置に用いること
ができる。
処理を行う基板処理装置に限らず、フォトマスク用ガラ
ス基板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用基板
等の基板に処理を行う種々の基板処理装置に用いること
ができる。
【図１】本発明の一実施例による基板処理装置の構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２】図１の基板処理装置の電力供給装置における瞬
時停電時の動作を示す波形図である。
時停電時の動作を示す波形図である。
【図３】従来の基板処理装置の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
１００ 基板処理装置
１ 負荷部
２ メインコントローラ
３ 電力供給装置
１１ ブロックコントローラ
２０ 固定ディスク装置
３０ 無停電電源装置
３１ 切換制御部
３２ 第１のスイッチ
３３ 第２のスイッチ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H02J 9/00 - 11/00
H01L 21/02
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を処理する基板処理部と、 前記基板処理部に関するデータを保存するデータ保存手
段と、 交流電源に接続され、前記基板処理部および前記データ
保存手段に電力を供給する電力供給装置とを備え、 前記電力供給装置は、 バックアップ用電源を含み、定常時に前記交流電源から
の電力を前記データ保存手段に供給し、停電発生時に前
記バックアップ用電源からの電力を前記データ保存手段
に供給する無停電電源装置と、 定常時に前記交流電源からの電力を前記基板処理部に供
給し、所定時間内の停電発生時に、前記無停電電源装置
からの電力を前記基板処理部に供給し、前記無停電電源
装置が停電の復旧を検知すると前記交流電源からの電力
を前記基板処理部に供給し、前記所定時間を超える停電
発生時に、前記無停電電源装置からの電力を前記基板処
理部に前記所定時間供給し、前記所定時間の経過後、前
記無停電電源装置から前記基板処理部への電力の供給を
遮断し、前記無停電電源装置が停電の復旧を検知すると
前記交流電源からの電力を前記基板処理部に供給する供
給経路切換手段とを含むことを特徴とする基板処理装
置。 - 【請求項２】 前記供給経路切換手段は、 前記交流電源と前記基板処理部との間に接続される第１
のスイッチ手段と、 前記無停電電源装置の出力端子と前記基板処理部との間
に接続される第２のスイッチ手段と、 定常時に前記第１のスイッチ手段を導通状態にしかつ前
記第２のスイッチ手段を非導通状態にし、所定時間内の
停電発生時に、前記第１のスイッチ手段を非導通状態に
しかつ前記第２のスイッチ手段を導通状態にし、前記無
停電電源装置が停電の復旧を検知した後、前記第１のス
イッチ手段を導通状態にしかつ前記第２のスイッチ手段
を非導通状態にし、前記所定時間を超える停電発生時
に、前記所定時間の間、前記第１のスイッチ手段を非導
通状態にしかつ前記第２のスイッチ手段を導通状態に
し、前記所定時間の経過後、前記第１のスイッチ手段を
導通状態にしかつ前記第２のスイッチ手段を非導通状態
にする切換制御手段とを含むことを特徴とする請求項１
記載の基板処理装置。 - 【請求項３】 前記無停電電源装置は、前記データ保存
手段および前記基板処理部の消費電力の合計よりも大き
い瞬時電力容量を有することを特徴とする請求項１また
は２記載の基板処理装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06406396A JP3505029B2 (ja) | 1996-03-21 | 1996-03-21 | 電力供給装置およびそれを備えた基板処理装置 |
| KR1019970005031A KR970067677A (ko) | 1996-03-21 | 1997-02-19 | 전력공급장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06406396A JP3505029B2 (ja) | 1996-03-21 | 1996-03-21 | 電力供給装置およびそれを備えた基板処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09261889A JPH09261889A (ja) | 1997-10-03 |
| JP3505029B2 true JP3505029B2 (ja) | 2004-03-08 |
Family
ID=13247270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06406396A Expired - Fee Related JP3505029B2 (ja) | 1996-03-21 | 1996-03-21 | 電力供給装置およびそれを備えた基板処理装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3505029B2 (ja) |
| KR (1) | KR970067677A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7259665B2 (en) * | 2004-10-27 | 2007-08-21 | International Business Machines Corporation | Battery backed service indicator aids for field maintenance |
-
1996
- 1996-03-21 JP JP06406396A patent/JP3505029B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-02-19 KR KR1019970005031A patent/KR970067677A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09261889A (ja) | 1997-10-03 |
| KR970067677A (ko) | 1997-10-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6691248B1 (en) | Method and apparatus for controlling supply of power, and storage medium | |
| US7982338B2 (en) | Continuous power supply control system and method | |
| CN1245931A (zh) | 使用局域网唤醒信号控制计算机系统供电的方法和装置 | |
| KR20090089378A (ko) | Ｄｃ 전력 시스템 | |
| JP3505029B2 (ja) | 電力供給装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
| JPH11168424A (ja) | 簡易型の携帯電話基地局装置 | |
| US5679985A (en) | Power supply with automatic recovery system | |
| JP2000201440A (ja) | 無停電電源システム及びその給電方法 | |
| JPH0739088A (ja) | 無停電電源装置 | |
| JPH10304598A (ja) | 電源切替装置 | |
| JP3263036B2 (ja) | 電源切換装置および無停電電源装置 | |
| JPH04165930A (ja) | 電源系統切替方式 | |
| JPH0612154A (ja) | バッテリーバックアップ方式 | |
| JP2907198B1 (ja) | プライベートｌａｎを利用した無停電電源装置における電源制御方式 | |
| JPS63217455A (ja) | Ｒａｍバツクアツプシステム | |
| WO2024065075A1 (zh) | 供电装置、方法和系统 | |
| JP2001178020A (ja) | 電源バックアップ装置 | |
| JPH07295688A (ja) | コンピュータ装置 | |
| JPH0540649A (ja) | 冗長切り換え方式 | |
| JPH11136880A (ja) | 無停電電源供給装置 | |
| JPH0711854U (ja) | インテリジェント電源ユニット | |
| JPH0512925U (ja) | 無停電電源装置 | |
| JP3475542B2 (ja) | 給電システム | |
| JPH01231622A (ja) | 電源制御方式 | |
| KR200162284Y1 (ko) | 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031209 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031212 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071219 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081219 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081219 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091219 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091219 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091219 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101219 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101219 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131219 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |