KR970067677A - 전력공급장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 - Google Patents

전력공급장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 Download PDF

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KR970067677A
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switch
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KR1019970005031A
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테쯔야 하마다
Original Assignee
이시다 아키라
다이닛뽕 스크린 세이조오 가부시키가이샤
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M5/00—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases
    • H02M5/02—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc
    • H02M5/04—Conversion of ac power input into ac power output, e.g. for change of voltage, for change of frequency, for change of number of phases without intermediate conversion into dc by static converters
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere

Abstract

본 발명은 고가이고 넓은 설치면적을 필요로 하는 설비를 사용하지 않고, 순시정전시에 데이터보존수단의 데이터의 파괴를 방지하면서, 처리부의 동작을 보장할 수 있는 전력공급장치 및 그것을 구비한 기판처리장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 전력공급장치(3)의 무정전 전원장치(30)는 백업용 전원을 포함하고, 정상시에 교류전원(40)에서의 전력을 메인 콘트롤러(2)에 공급하고, 정전시에 백업용 전원에서의 전력을 메인 콘트롤러(2)에 공급한다. 제1 스위치(32)는 교류 전원(4)과 블록 콘트롤러(11)와의 사이에 접속되고, 제2 스위치(33)는 무정전 전원장치(30)의 출력단자(N2)와 블록 콘트롤러(11)와의 사이에 접속되어 있다. 전환제어부(31)는 정상시에 제1 스위치(32)를 '온'으로 하고 또 제2스위치(33)를 '오프'로 하고, 순시정전시에 소정시간 제1 스위치(32)를 '오프'로 하고 또 제2스위치(33)를 '온'으로 한다,

Description

전력공급장치 및 그것을 구비한 기판처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 기판처리장치의 구성을 나타내는 블록도; 제2도는 제1도의 기판처리장치의 전력공급장치에서 순시정전시의 동작을 나타내는 파형도.

Claims (4)

  1. 교류전원에 접속되고, 소정의 처리를 행하는 처리부 및 상기 처리부에 관한 데이터를 보존하는 데이터보존수단에 전력을 공급하는 전력공급장치에 있어서, 백업용 전원을 포함하고, 정상시에 상기 교류전원에서의 전력을 상기 데이터보존수단에 공급하고, 정전발생시에 상기 백업용 전원에서의 전력을 상기 데이터보존수단에 공급하는 무정전 전원장치와, 정상시에 상기 교류전원에서의 전력을 상기 처리부에 공급하고, 정전발생시에 상기 무정전 전원장치에서의 전력을 상기 처리부에 소정시간 공급하는 공급경로 전환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 전력공급장치.
  2. 기관을 처리하는 기판처리부와, 상기 기판처리부에 관한 데이터를 보존하는 데이터보존수단과, 교류전원에 접속되고, 상기 기판처리부 및 상기 데이터보존수단에 전력을 공급하는 전력공급장치를 구비하고, 상기 전력공급장치는 백업용 전원을 포함하고, 정상시에 상기 교류전원에서의 전력을 상기 데이터보존수단에 공급하고, 정전발생시에 상기 백업용 전원에서의 전력을 상기 데이터보존수단에 공급하는 무정전 전원장치와, 정상시에 상기 교류전원에서의 전력을 상기 기판처리부에 공급하고, 정전발생시에 상기 무정전 전원장치에서의 전력을 상기 기판처리부에 소정시간 공급하는 공급 경로 전환수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 공급경로 전환수단은, 상기 교류전원과 상기 기판처리부의 사이에 접속되는 제1스위치수단과, 상기 무정전 전원장치의 출력단자와 상기 기판처리부의 사이에 접속되는 제2스위치수단과, 정상시에 상기 제1 스위치수단을 도통상태로 하고 또 상기 제2 수위치수단을 비도통 상태로 하고, 정전 발생시에 소정시간 상기 제1 스위치수단을 비도통상태로 하고 또 상기 제2 스위치수단을 도통상태로 한 후, 상기 제1 스위치수단을 도통상태로 하고 또 상기 제2 스위치수단을 비도통 상태로 하는 전환제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 무정전 전원장치는 상기 데이터보존수단 및 상기 기판처리부의 소비전력의 합계보다 큰 순시전력용량을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
KR1019970005031A 1996-03-21 1997-02-19 전력공급장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 KR970067677A (ko)

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