KR200162284Y1

KR200162284Y1 - 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치

Info

Publication number: KR200162284Y1
Application number: KR2019970025862U
Authority: KR
Inventors: 김교선
Original assignee: 김영환; 현대반도체주식회사
Priority date: 1997-09-12
Filing date: 1997-09-12
Publication date: 2000-04-01
Also published as: KR19990012735U

Abstract

본 고안은 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치에 관한 것으로, 종래에는 순간정전이 발생했을 때, 로봇트와 공정기기가 충돌하여 파손될 우려가 있고, 위험부담이 따르는 문제점이 있었다. 이와같은 문제점을 감안한 본 고안은 주전원을 적정전압으로 분배하는 전압분배부와; 그 전압분배부에 접속되어 순간정전시 구동차단신호를 출력하는 전원처리부와; 그 구동차단신호를 입력받아 각 공정기기를 제어하는 공정기기제어부와; 상기 전압분배부에 접속되어 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시 일정한 전압을 출력하는 무정전전원공급부와; 그 무정전전원공급부의 일정한 전압을 전원처리부를 통해 입력받아 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시에도 각 공정을 제어하는 입출력부와; 상기 무정전전원공급부의 일정한 전압을 전원처리부를 통해 입력받아 로봇트의 웨이퍼이송을 제어하는 로봇트제어부로 구성되는 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치에 있어서, 상기 무정전전원공급부에 접속되어 순간정전시 제어신호를 로봇트제어부로 출력하여 로봇트의 구동을 정지시키는 순간정전제어부를 더 포함하는 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 제공하여 순간정전시 로봇트의 구동을 정지시킴으로써, 로봇트와 공정기기의 충돌을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치

본 고안은 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치에 관한 것으로, 특히 순간정전이 발생하였을 때 웨이퍼이송로봇트의 구동을 정지시키기에 적당하도록 한 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼를 이송할 때 위치설정과 오염문제에 있어서 로봇트는 수작업에 비해 매우 뛰어난 성능을 발휘하지만, 순간정전과 같은 불규칙한 전원공급시 오동작을 유발하는 단점이 있었다. 따라서, 순간정전과 같은 불규칙한 전원이 공급되더라도, 이를 일정한 전압으로 공급해 주는 무정전전원공급부(UPS)를 설치하여 상기 단점을 보완하였다. 이와같은 종래 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도1은 종래 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 도시한 블록도로서, 이에 도시한 바와같이 주전원부(1)의 내부에 설치되어 주전원(main power)을 각각의 기기에 필요한 적정전압으로 분배하는 전압분배부(2),(3)와; 전압분배부(2)에 접속되어 순간정전시 구동차단신호를 출력하는 전원처리부(4)와; 그 전원처리부(4)의 구동차단신호를 입력받아 제어신호를 출력하여 각 공정기기(미도시)를 중지시킨 후, 초기상태로 되돌리는 공정기기제어부(5)와; 상기 전압분배부(3)에 접속되어 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시 일정한 전압을 출력하는 무정전전원공급부(6)와; 그 무정전전원공급부(6)의 일정한 전압을 전원처리부(7)를 통해 입력받아 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시에도 내부의 호스트컴퓨터를 통해 각 공정을 제어하는 입출력부(8)와; 상기 무정전전원공급부(6)의 일정한 전압을 전원처리부(7)를 통해 입력받아 로봇트의 웨이퍼이송을 제어하는 로봇트제어부(9)로 구성된다. 이하, 상기한 바와같이 구성된 종래 장치의 동작을 설명한다.

공정기기제어부(5)가 전압분배부(2) 및 전원처리부(4)를 통해 전원을 입력받아 각 공정기기를 제어하여 구동시키고, 아울러 로봇트제어부(9)가 전압분배부(3), 무정전전원공급부(6) 및 전원처리부(7)를 통해 전원을 입력받아 해당 공정기기로 웨이퍼를 이송하도록 로봇트를 제어하며, 또한 입출력부(8)는 전압분배부(3), 무정전전원공급부(6) 및 전원처리부(7)를 통해 전원을 입력받아 내부의 호스트컴퓨터를 통해 각 공정의 입출력을 제어함으로써, 웨이퍼상에 반도체공정이 행해진다.

이때, 공정이 진행되는 도중에 주전원부(1)에 순간정전이 발생하면, 전원처리부(4)는 구동차단신호를 공정기기제어부(5)로 출력하므로, 이에 따라 공정기기제어부(5)는 각 공정기기를 중지시킨 후, 초기상태로 되돌리고, 무정전전원공급부(6)로부터 일정한 전압을 입력받는 전원처리부(7)는 입출력부(8) 및 로봇트제어부(9)가 순간정전에 상관없이 구동되도록 한다.

그러나, 상기한 바와같이 구동되는 종래 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치는 순간정전이 발생했을 때, 각 공정기기는 초기상태로 설정되지만, 공정을 제어하는 입출력부나 로봇트는 순간정전에 상관없이 구동되므로, 로봇트와 공정기기가 충돌하여 파손될 우려가 있고, 위험부담이 따르는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 바와같은 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 고안의 목적은 순간정전이 발생했을 때, 로봇트의 구동을 제어하여 로봇트와 공정기기의 충돌을 방지할 수 있는 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 제공하는데 있다.

도1은 종래 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 도시한 블록도.

도2는 본 고안에 의한 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 도시한 블록도.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***

1:주전원부 2,3:전압분배부

4,7:전원처리부 5:공정기기제어부

6:무정전전원공급부 8:입출력부

9:로봇트제어부 10:순간정전제어부

상기한 바와같은 본 고안의 목적은 주전원을 적정전압으로 분배하는 전압분배부와; 그 전압분배부에 접속되어 순간정전시 구동차단신호를 출력하는 전원처리부와; 그 구동차단신호를 입력받아 각 공정기기를 제어하는 공정기기제어부와; 상기 전압분배부에 접속되어 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시 일정한 전압을 출력하는 무정전전원공급부와; 그 무정전전원공급부의 일정한 전압을 전원처리부를 통해 입력받아 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시에도 각 공정을 제어하는 입출력부와; 상기 무정전전원공급부의 일정한 전압을 전원처리부를 통해 입력받아 로봇트의 웨이퍼이송을 제어하는 로봇트제어부로 구성되는 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치에 있어서, 상기 무정전전원공급부에 접속되어 순간정전시 제어신호를 로봇트제어부로 출력하여 로봇트의 구동을 정지시키는 순간정전제어부를 더 포함하여 구성함으로써 달성되는 것으로, 본 고안에 의한 로봇트이송로봇트의 구동제어장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도2는 본 고안에 의한 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치를 도시한 블록도로서, 이에 도시한 바와같이 주전원부(1)의 내부에 설치되어 주전원을 각각의 기기에 필요한 적정전압으로 분배하는 전압분배부(2),(3)와; 전압분배부(2)에 접속되어 순간정전시 구동차단신호를 출력하는 전원처리부(4)와; 그 전원처리부(4)의 구동차단신호를 입력받아 제어신호를 출력하여 각 공정기기(미도시)를 중지시킨 후, 초기상태로 되돌리는 공정기기제어부(5)와; 상기 전압분배부(3)에 접속되어 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시 일정한 전압을 출력하는 무정전전원공급부(6)와; 그 무정전전원공급부(6)의 일정한 전압을 전원처리부(7)를 통해 입력받아 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시에도 내부의 호스트컴퓨터를 통해 각 공정을 제어하는 입출력부(8)와; 상기 무정전전원공급부(6)의 일정한 전압을 전원처리부(7)를 통해 입력받아 로봇트의 웨이퍼이송을 제어하는 로봇트제어부(9)와; 순간정전시 상기 무정전전원공급부(6)로부터 알람신호를 입력받아 로봇트제어부(9)로 제어신호를 출력하여 로봇트의 구동을 정지시키는 순간정전제어부(10)로 구성된다. 이하, 상기한 바와같이 구성된 본 고안에 의한 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치의 동작을 설명한다.

공정기기제어부(5)가 전압분배부(2) 및 전원처리부(4)를 통해 전원을 입력받아 각 공정기기를 제어하여 구동시키고, 아울러 로봇트제어부(9)가 전압분배부(3), 무정전전원공급부(6) 및 전원처리부(7)를 통해 전원을 입력받아 해당 공정기기로 웨이퍼를 이송하도록 로봇트를 제어하며, 또한 입출력부(8)는 전압분배부(3), 무정전전원공급부(6) 및 전원처리부(7)를 통해 전원을 입력받아 내부의 호스트컴퓨터를 통해 각 공정의 입출력을 제어함으로써, 웨이퍼상에 반도체공정이 행해지는데, 공정이 진행되는 도중에 주전원부(1)에 순간정전이 발생하면, 전원처리부(4)는 구동차단신호를 공정기기제어부(5)로 출력하므로, 이에 따라 공정기기제어부(5)는 각 공정기기를 중지시킨 후, 초기상태로 되돌리고, 무정전전원공급부(6)로부터 일정한 전압을 입력받는 전원처리부(7)는 입출력부(8)가 순간정전에 상관없이 구동되도록 한다. 이때, 로봇트제어부(9)는 순간정전제어부(10)로부터 제어신호를 입력받아 로봇트의 구동을 정지시킨다.

상기한 바와같이 동작되는 본 고안에 의한 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치는 순간정전시 로봇트의 구동을 정지시킴으로써, 로봇트와 공정기기의 충돌을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

주전원을 적정전압으로 분배하는 전압분배부와; 그 전압분배부에 접속되어 순간정전시 구동차단신호를 출력하는 전원처리부와; 그 구동차단신호를 입력받아 각 공정기기를 제어하는 공정기기제어부와; 상기 전압분배부에 접속되어 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시 일정한 전압을 출력하는 무정전전원공급부와; 그 무정전전원공급부의 일정한 전압을 전원처리부를 통해 입력받아 순간정전 또는 불규칙한 전원공급시에도 각 공정을 제어하는 입출력부와; 상기 무정전전원공급부의 일정한 전압을 전원처리부를 통해 입력받아 로봇트의 웨이퍼이송을 제어하는 로봇트제어부로 구성되는 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치에 있어서, 상기 무정전전원공급부에 접속되어 순간정전시 제어신호를 로봇트제어부로 출력하여 로봇트의 구동을 정지시키는 순간정전제어부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송로봇트의 구동제어장치.