JP3495627B2 - Build-up multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents

Build-up multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same

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JP3495627B2
JP3495627B2 JP01065099A JP1065099A JP3495627B2 JP 3495627 B2 JP3495627 B2 JP 3495627B2 JP 01065099 A JP01065099 A JP 01065099A JP 1065099 A JP1065099 A JP 1065099A JP 3495627 B2 JP3495627 B2 JP 3495627B2
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JP
Japan
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ink layer
layer
wiring board
printed wiring
character
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義範 脇原
俊彦 横幕
賢治 清水
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Ibiden Co Ltd
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Ibiden Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ソルダーレジス
ト層上に製造番号等の文字印刷がなされたプリント配線
板とその製造方法を提案する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention proposes a printed wiring board in which characters such as a serial number are printed on a solder resist layer and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にプリント配線板の表層には、IC
チップなどを実装するために、ハンダバンプなどを形成
し、これらハンダバンプが互いに融着しないようにソル
ダーレジスト層を設けてある。このソルダーレジスト層
上には、製品を識別するための表示文字、認識文字など
の様々な文字や記号などが形成されている。
2. Description of the Related Art Generally, an IC is provided on the surface of a printed wiring board.
In order to mount a chip or the like, solder bumps or the like are formed, and a solder resist layer is provided so that these solder bumps do not fuse with each other. Various characters and symbols such as display characters and recognition characters for identifying the product are formed on the solder resist layer.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ソルダ
ーレジスト層の表面は濡れ特性が低く、文字印字用のイ
ンクをはじきやすいという問題がある。そのため、表面
に形成される文字がかすんだりする。その対策として文
字印字用インクの粘度を下げると、形成された文字がに
じんで、ソルダーレジスト層を汚したりソルダーレジス
ト層上に設けられたハンダバンプを汚染したりして、I
Cチップとの接続が取れなくなることがある。
However, there is a problem that the surface of the solder resist layer has a low wetting property and the ink for character printing is easily repelled. Therefore, the characters formed on the surface are faint. If the viscosity of the character printing ink is reduced as a countermeasure against this, the formed characters will bleed and stain the solder resist layer or the solder bumps provided on the solder resist layer.
The connection with the C chip may be lost.

【0004】ところで、このようなプリント配線板に設
けられる文字には、プリント配線板を実装する際の目印
となる工程認識用ターゲットマークが含まれる。このタ
ーゲットマークは画像認識装置により主として光学的に
認識されるため、かかる印字文字でソルダーレジスト層
上にマークを形成すると、前述したにじみやかすれによ
り、正確な画像認識ができなかったり、認識に時間がか
かるという問題があった。さらに、ソルダーレジスト層
の色が半透明である場合、特に、導体回路を多層に積層
してなるビルトアップ配線板では、ソルダーレジスト下
層の導体回路が透けて見えて、印字文字の判別ができな
くなることもある。
By the way, the characters provided on such a printed wiring board include a process recognition target mark which serves as a mark when the printed wiring board is mounted. Since this target mark is mainly optically recognized by the image recognition device, if a mark is formed on the solder resist layer with such printed characters, accurate image recognition may not be possible due to the above-mentioned bleeding or blurring, and it may take time for recognition. There was a problem that it took. Further, when the color of the solder resist layer is semi-transparent, especially in a built-up wiring board in which conductor circuits are laminated in multiple layers, the conductor circuits under the solder resist layer can be seen through and the printed characters cannot be discriminated. Sometimes.

【0005】本発明は、文字のかすれ、にじみがなく、
ソルダーレジスト層の色や導体回路の位置などに関わら
ず工程認識における画像認識を正しく行うことができ、
しかも、接続性、信頼性に優れるプリント配線板とその
製造方法を提供することにある。
According to the present invention, there is no blurring or blurring of characters,
It is possible to correctly perform image recognition in process recognition regardless of the color of the solder resist layer and the position of the conductor circuit.
Moreover, it is to provide a printed wiring board having excellent connectivity and reliability, and a method for manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意検討し
た結果、文字印刷に関して次のような事実を知見した。
すなわち、ソルダーレジスト層上に文字印字用インクで
文字印字を行うに際して、文字印字の文字を2層のイン
ク層で形成させると、にじみ、かすれが生ぜず、工程認
識用文字の画像認識が正確に行えることが分かった。
As a result of intensive studies, the present inventors have found the following facts regarding character printing.
That is, when characters are printed on the solder resist layer with the ink for printing characters, if the characters for printing characters are formed by two ink layers, bleeding and blurring do not occur, and image recognition of the characters for process recognition is accurate. I knew I could do it.

【0007】使用される文字印字用インクは、下層イン
ク層、上層インク層ともに、ポリイミド系樹脂、フェノ
ール系樹脂、エポキシ系樹脂といった公知の熱硬化性樹
脂を用いることができる。特に、この下層インク層と上
層インク層とをほぼ同一の材質、組成とすると、上層に
形成される文字のインク厚みが所望の均一な厚みになる
ことが分かった。当該熱硬化性樹脂は、ガラス転移温度
が100〜180℃の範囲であることが望ましい。これ
は、ソルダーレジスト層のガラス転移温度に近いため
に、熱履歴による剥離、欠落などを防止できるからであ
る。
The character printing ink used may be a known thermosetting resin such as a polyimide resin, a phenol resin, or an epoxy resin for both the lower ink layer and the upper ink layer. In particular, it has been found that when the lower ink layer and the upper ink layer have substantially the same material and composition, the ink thickness of characters formed on the upper layer has a desired uniform thickness. The thermosetting resin preferably has a glass transition temperature in the range of 100 to 180 ° C. This is because it is close to the glass transition temperature of the solder resist layer, so that peeling and chipping due to thermal history can be prevented.

【0008】本発明の文字印字で形成される文字は、製
品認識文字、製造認識文字、工程認識文字の中から選ば
れる少なくとも1つまたはそれ以上である。
The characters formed by the character printing of the present invention are at least one or more selected from product recognition characters, manufacturing recognition characters, and process recognition characters.

【0009】ここで、製品認識文字とは、ひらがな、カ
タカナ、漢字、数字、アルファベット、トレードマーク
などによって、会社名、製品名、製品特性などを判定、
区別することができる文字を指す。
Here, the product recognition characters are hiragana, katakana, kanji, numbers, alphabets, trademarks, etc. to determine the company name, product name, product characteristics, etc.
A character that can be distinguished.

【0010】製造認識文字とは、製造日、管理番号、ロ
ットナンバー、(文字印字前までの工程)検査結果など
による製造に関するデータ、結果を判定、区別すること
ができる文字を意味する。
The manufacturing recognition character means a manufacturing date, a control number, a lot number, data related to manufacturing based on an inspection result (process before printing characters), and a character capable of determining and distinguishing the result.

【0011】工程認識文字とは、ターゲットマーク、バ
ーコードなど、実装、検査工程の製品認識、アライメン
ト用ターゲットなどの工程に関わる認識用の文字であ
る。
The process recognition character is a character such as a target mark, a bar code, etc., which is related to a process such as product recognition in the mounting and inspection processes and a target for alignment.

【0012】文字を形成する2層のインク層は少なくと
も、(a)下層インク層形成工程と、(b)前記下層イ
ンク層の乾燥工程と、(c)上層インク層形成工程(マ
スクを用いた文字印刷工程を含む)と、(d)前記上層
インク層の乾燥工程とを含む文字印字工程によって形成
される。以下、各インク層について工程とともに説明す
る。
At least two ink layers for forming characters are (a) a lower ink layer forming step, (b) a lower ink layer drying step, and (c) an upper ink layer forming step (using a mask). It is formed by a character printing process including a character printing process) and (d) a drying process of the upper ink layer. Hereinafter, each ink layer will be described together with steps.

【0013】下層インク層は、上層インク層の下地とな
り、しかも上層インク層によって形成される文字印字を
鮮明にし、かつにじみやかすれの発生を防ぐためのもの
で、(a)下層インク層形成工程によってソルダーレジ
スト層上に形成される。その厚みは、10〜50μmで
ある。特に、好ましくは15〜40μmである。その理
由は、後で形成される上層インク層の厚みの均一性を保
ちやすいからである。下層インク層の色に特に限定はな
いが、上層インク層の色に近似していない方が画像認識
の精度が高まる。特に、印字文字が、ターゲットマーク
などの工程認識文字である場合には、前述したように、
画像認識装置により光学的に読みとられるために、上層
インク層との色の対比すなわちコントラストの高い組み
合わせとするのが望ましい。この下層インク層の形成範
囲は、ハンダバンプの形成エリアを除くソルダーレジス
ト層表面であれば特に定めはなく、ソルダーレジスト層
上の一部分でも、全面でもよい。
The lower ink layer serves as a base of the upper ink layer, and also serves to clarify the character printing formed by the upper ink layer and prevent the occurrence of bleeding and blurring. (A) Lower ink layer forming step Is formed on the solder resist layer. Its thickness is 10 to 50 μm. Particularly, it is preferably 15 to 40 μm. The reason is that it is easy to maintain the thickness uniformity of the upper ink layer formed later. The color of the lower ink layer is not particularly limited, but the accuracy of image recognition is improved when the color is not close to the color of the upper ink layer. In particular, when the print character is a process recognition character such as a target mark, as described above,
In order to be optically read by the image recognition device, it is desirable to use a combination having a high color contrast with the upper ink layer, that is, a high contrast. The formation range of the lower ink layer is not particularly limited as long as it is the surface of the solder resist layer excluding the area where the solder bumps are formed, and may be a part or the entire surface of the solder resist layer.

【0014】この下層インク層は、(b)下層インク層
乾燥工程により乾燥される。その乾燥温度は、インクに
使用される熱硬化性樹脂が硬化可能な温度であれば特に
限定はなく、50〜250℃で行うのがよい。さらに、
低温から徐々に温度を上げていくステップ硬化も好まし
い。また、その乾燥の程度は、下層インク層に用いられ
る熱硬化性樹脂が完全に硬化するまで乾燥させても、半
硬化状態のままとして上層インク層を設けた後に2層と
もに完全硬化を行ってもよい。なお、下層インク層中に
気泡が存在した状態で文字印刷の上にアンダーフィルが
配設された際には、該気泡からクラックが発生して信頼
性を低下させることがあるため、減圧,真空脱泡を行っ
て泡の除去を行うことが望ましい。
This lower ink layer is dried in the step (b) lower ink layer drying step. The drying temperature is not particularly limited as long as it is a temperature at which the thermosetting resin used in the ink can be cured, and is preferably 50 to 250 ° C. further,
Step curing in which the temperature is gradually raised from a low temperature is also preferable. Further, the degree of drying is such that even if the thermosetting resin used for the lower ink layer is completely cured, the two layers are completely cured after the upper ink layer is provided while remaining in a semi-cured state. Good. When the underfill is placed on the character print with air bubbles in the lower ink layer, cracks may be generated from the air bubbles to reduce reliability. It is desirable to perform defoaming to remove bubbles.

【0015】一方、上層インク層は、プリント配線板に
おいて、下層インク層上に積層されて文字を表すための
もので、(c)上層インク層形成工程により形成され
る。この工程では、文字記号などが形成されたマスキン
グ材を下層インク層上に配置密着させ、下層インク層の
表面に上層インク層を形成することで文字印字を行う、
いわゆるスクリーン印刷により、効果的に文字印字がな
される。この上層インク層の厚みは10〜50μmが好
適で、かつ下層インク層の厚みと合算して100μmを
超えない厚みとすることが好ましい。特に、15〜40
μmが好ましい。その理由としては、均一な厚みのイン
ク層を得やすい上に、文字印字される際の印字性、作業
性に優れはっきりした印字文字が得られるからである。
特に、ターゲットマークなどの工程認識文字を、前述の
厚みに形成することにより、認識用の画像検出装置で精
度良く読み込むことができる。
On the other hand, the upper ink layer is for forming characters by being laminated on the lower ink layer in the printed wiring board, and is formed by the step (c) of forming the upper ink layer. In this step, a masking material on which a character symbol or the like is formed is arranged and brought into close contact with the lower ink layer, and character printing is performed by forming an upper ink layer on the surface of the lower ink layer.
Character printing is effectively performed by so-called screen printing. The thickness of the upper ink layer is preferably 10 to 50 μm, and the total thickness of the lower ink layer is preferably not more than 100 μm. Especially 15-40
μm is preferred. The reason for this is that it is easy to obtain an ink layer having a uniform thickness, and it is possible to obtain clear printed characters with excellent printability and workability when printing characters.
In particular, by forming process recognition characters such as a target mark to have the above-mentioned thickness, the image can be accurately read by the image detecting device for recognition.

【0016】上層インク層の厚みが10μm未満である
場合、文字の厚みが薄くなり画像認識装置により認識さ
れないことがある。一方、上層インク層の厚みを、下層
インク層の厚みと合算して100μmを超える厚みとす
ると、ハンダバンプの高さよりも高くなるため、ICチ
ップなどの外部電子部品を実装する際に干渉することが
ある。
If the thickness of the upper ink layer is less than 10 μm, the characters may be too thin to be recognized by the image recognition device. On the other hand, if the thickness of the upper ink layer and the thickness of the lower ink layer are more than 100 μm, the height is higher than the height of the solder bumps, which may interfere with the mounting of external electronic components such as IC chips. is there.

【0017】この上層インク層のインクの色は、先に述
べたように、下層インク層のインクの色と同一または近
似(例:下層インク層が緑色の時、上層インク層が黄緑
色など)していないことが望ましく、例えば、下層イン
ク層が黒色である場合上層インク層は白色などの対照色
とする。即ち、コントラストを異ならしめることで、画
像検出装置で精度良く読み込むことができる。
As described above, the color of the ink in the upper ink layer is the same as or similar to the color of the ink in the lower ink layer (eg, when the lower ink layer is green, the upper ink layer is yellow-green, etc.). It is desirable not to do so, for example, when the lower ink layer is black, the upper ink layer is a reference color such as white. That is, by making the contrasts different from each other, the image can be read with high accuracy by the image detection device.

【0018】また、上層インク層を、下層インク層と略
同じ大きさ(面積)となるように形成した後その上層イ
ンク層を文字形状に除去し、下層インク層の色を上層イ
ンク層表面に現すことによっても効果的に文字印字を行
うことができる。その場合は、次に述べる(d)上層イ
ンク層乾燥工程の後で行うのがよい。この上層インク層
の除去は、プラズマ、レーザーの照射、液体の吹付けに
よって行うのが効率的である。
Further, after forming the upper ink layer so as to have substantially the same size (area) as the lower ink layer, the upper ink layer is removed in a character shape, and the color of the lower ink layer is formed on the surface of the upper ink layer. Characters can also be effectively printed by revealing them. In that case, it is preferable to carry out after (d) the upper ink layer drying step described below. It is effective to remove the upper ink layer by plasma, laser irradiation, and liquid spraying.

【0019】用いられるプラズマとしては、オゾン、酸
素,UV、四塩化炭素などの公知のものが使用できる。
これらプラズマの照射時間は、5〜20分程度が好まし
い。このプラズマの照射によって、ソルダーレジスト層
の酸化膜を除去し、接触角度を向上させてICチップを
実装した際のアンダーフィルの塗布性を改善させる効果
も期待される。
The plasma used may be known plasma such as ozone, oxygen, UV, carbon tetrachloride and the like.
The irradiation time of these plasmas is preferably about 5 to 20 minutes. This plasma irradiation is also expected to have an effect of removing the oxide film of the solder resist layer, improving the contact angle, and improving the applicability of the underfill when the IC chip is mounted.

【0020】用いられるレーザーとしては、炭酸ガスレ
ーザー、YAGレーザーなどの一般に使用されているレ
ーザーを問題なく使用することができる。かかるレーザ
ーを用いることによって、小さな配線板にも細かな印字
が可能となるからである。
As the laser used, a commonly used laser such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser can be used without any problem. By using such a laser, fine printing can be performed even on a small wiring board.

【0021】さらに、吹き付けられる液体としては、
水、溶剤およびこれらの混合物中に適当な研磨剤を含ん
だ液体が用いられる。液体を用いる場合、所定の文字が
形成されたマスキング材を上層インク層表面に載置し、
ペン先状のノズルから液体を一気に噴射することによっ
て、文字の形状に上層インク層を除去して形成すること
ができる。噴射圧力は0.1〜10atm程度である。
なお、使用される文字印字用インクの組成などによって
は、上層インク層を半硬化状態として、文字形成後に完
全硬化を行ってもよい。
Further, as the liquid to be sprayed,
Liquids containing suitable abrasives in water, solvents and mixtures thereof are used. When a liquid is used, a masking material on which predetermined characters are formed is placed on the upper ink layer surface,
By ejecting the liquid at once from the pen-like nozzle, the upper ink layer can be formed in the shape of a character by removing the upper ink layer. The injection pressure is about 0.1 to 10 atm.
Depending on the composition of the character printing ink used and the like, the upper ink layer may be in a semi-cured state and may be completely cured after the characters are formed.

【0022】次に、(d)上層インク層の乾燥工程は、
先に説明した下層インク層の乾燥工程と同様で、温度5
0〜250℃で行うことが好ましい。また、低温から徐
々に温度を高めていくステップ硬化を行うことが望まし
い。なお、この乾燥工程では、上層インク層の乾燥によ
る硬化を行うのであるが、前記下層インク層の乾燥工程
において下層インク層を半硬化の状態でとどめた場合に
は、この上層インク層乾燥工程において、両層の完全硬
化を行えばよい。さらに、上層インク層中の気泡を抜く
ために、減圧、真空脱泡を行ってもよい。
Next, (d) the step of drying the upper ink layer,
The same process as the drying process of the lower ink layer described above is performed at a temperature of 5
It is preferable to carry out at 0 to 250 ° C. Further, it is desirable to carry out step hardening in which the temperature is gradually increased from a low temperature. In this drying step, the upper ink layer is cured by drying. However, when the lower ink layer is left in a semi-cured state in the lower ink layer drying step, the upper ink layer drying step is performed. It is sufficient to completely cure both layers. Furthermore, in order to remove air bubbles in the upper ink layer, depressurization and vacuum defoaming may be performed.

【0023】なお、これら上層インク層、下層インク層
の形成は、スキージを用いた印刷、ポッティングによる
塗布などの一般に使用される方法のいずれによっても好
適に実施することができる。
The upper ink layer and the lower ink layer can be preferably formed by any of commonly used methods such as printing using a squeegee and coating by potting.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明のプリント配線板を
製造する方法について説明する。以下の方法は、セミア
ディティブ法によるものであるが、フルアディティブ法
を採用してもよい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A method for manufacturing a printed wiring board of the present invention will be described below. The following method is based on the semi-additive method, but the full-additive method may be adopted.

【0025】まず、基板の表面に導体回路を形成した配
線基板を作成する。基板としては、ガラスエポキシ基
板、ポリイミド基板、ビスマレイミド−トリアジン樹脂
基板等の樹脂絶縁基板、銅張り積層板、セラミック基
板、金属基板等を用いることができる。この基板に無電
解めっき用接着剤層を形成し、この接着剤層表面を粗化
して粗化面とし、この粗化面全体に薄付けの無電解めっ
きを施す。引き続き、めっきレジストを形成し、めっき
レジスト非形成部分に厚付けの電解めっきを施した後、
めっきレジストを除去し、エッチング処理して、電解め
っき膜と無電解めっき膜とからなる導体回路を形成する
方法により行う。導体回路は、いずれも銅パタ−ンがよ
い。
First, a wiring board having a conductor circuit formed on the surface of the board is prepared. As the substrate, a glass epoxy substrate, a polyimide substrate, a resin insulating substrate such as a bismaleimide-triazine resin substrate, a copper-clad laminate, a ceramic substrate, a metal substrate, or the like can be used. An adhesive layer for electroless plating is formed on this substrate, the surface of the adhesive layer is roughened to form a roughened surface, and thin electroless plating is applied to the entire roughened surface. Subsequently, after forming the plating resist, and after performing the electrolytic plating of thickening the non-plating resist forming portion,
The plating resist is removed, etching is performed, and a conductor circuit including an electrolytic plating film and an electroless plating film is formed. The conductor circuit is preferably a copper pattern.

【0026】導体回路を形成した基板には、導体回路あ
るいはスルーホールにより、凹部が形成される。その凹
部を埋め平滑化するため、樹脂充填剤を塗布し、乾燥し
た後、不要な樹脂充填剤を研磨により研削して、導体回
路を露出させたのち、樹脂充填剤を本硬化させる。
On the substrate on which the conductor circuit is formed, a recess is formed by the conductor circuit or the through hole. In order to fill and smooth the concave portions, a resin filler is applied and dried, and then unnecessary resin filler is ground by polishing to expose the conductor circuit, and then the resin filler is fully cured.

【0027】次いで、露出した導体回路に粗化層を設け
る。形成される粗化層は、エッチング処理、研磨処理、
酸化処理、酸化還元処理により形成された銅の粗化面ま
たはめっき皮膜により形成された粗化面が望ましい。
Next, a roughening layer is provided on the exposed conductor circuit. The roughened layer formed is an etching treatment, a polishing treatment,
A roughened surface of copper formed by oxidation treatment or redox treatment or a roughened surface formed by a plating film is desirable.

【0028】本発明で使用される無電解めっき用接着剤
は、硬化処理された酸あるいは酸化剤に可溶性の耐熱性
樹脂粒子が、酸あるいは酸化剤に難溶性の未硬化の耐熱
性樹脂中に分散されてなるものが最適である。酸、酸化
剤で処理することにより、耐熱性樹脂粒子が溶解除去さ
れて、表面に蛸つぼ状のアンカーからなる粗化面を形成
できる。
In the adhesive for electroless plating used in the present invention, the heat-resistant resin particles soluble in the acid or the oxidant which have been subjected to the curing treatment are contained in the uncured heat-resistant resin which is hardly soluble in the acid or the oxidant. What is dispersed is optimal. By treating with an acid or an oxidizing agent, the heat-resistant resin particles are dissolved and removed, and a roughened surface composed of octopus-like anchors can be formed on the surface.

【0029】上記無電解めっき用接着剤において、特に
硬化処理された前記耐熱性樹脂粒子としては、平均粒
径が10μm以下の耐熱性樹脂粉末、平均粒径が2μ
m以下の耐熱性樹脂粉末を凝集させた凝集粒子、平均
粒径が2〜10μmの耐熱性粉末樹脂粉末と平均粒径が
2μm以下の耐熱性樹脂粉末との混合物、平均粒径が
2〜10μmの耐熱性樹脂粉末の表面に平均粒径が2μ
m以下の耐熱性樹脂粉末または無機粉末のいずれか少な
くとも1種を付着させてなる疑似粒子、平均粒径が
0.1〜0.8μmの耐熱性粉末樹脂粉末と平均粒径が
0.8μmを越え、2μm未満の耐熱性樹脂粉末との混
合物、平均粒径が0.1〜1.0μmの耐熱性粉末樹
脂粉末を用いることが望ましい。これらは、より複雑な
アンカーを形成できるからである。
In the above adhesive for electroless plating, the heat-resistant resin particles that have been particularly hardened include heat-resistant resin powder having an average particle size of 10 μm or less, and an average particle size of 2 μm.
Aggregated particles obtained by aggregating heat-resistant resin powder of m or less, a mixture of heat-resistant powder resin powder having an average particle diameter of 2 to 10 μm and heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm or less, and an average particle diameter of 2 to 10 μm. The average particle size is 2μ on the surface of the heat-resistant resin powder
pseudo particles formed by adhering at least one of heat-resistant resin powder of m or less or inorganic powder, heat-resistant powder resin powder having an average particle diameter of 0.1 to 0.8 μm, and average particle diameter of 0.8 μm. It is desirable to use a mixture with a heat-resistant resin powder having an average particle size of more than 2 μm and less than 2 μm, or a heat-resistant powder resin powder having an average particle size of 0.1 to 1.0 μm. This is because they can form more complex anchors.

【0030】前記酸あるいは、酸化剤に難溶性の耐熱性
樹脂としては、「熱硬化性樹脂および熱可塑性樹脂から
なる樹脂複合体」又は「感光性樹脂および熱可塑性樹脂
からなる樹脂複合体」からなることが望ましい。前者に
ついては耐熱性が高く、後者についてはバイアホール用
の開口をフォトリソグラフィーにより形成できるからで
ある。
As the heat resistant resin which is hardly soluble in the acid or the oxidizing agent, there are used "resin composites composed of thermosetting resin and thermoplastic resin" or "resin composites composed of photosensitive resin and thermoplastic resin". Is desirable. This is because the former has high heat resistance, and the latter allows openings for via holes to be formed by photolithography.

【0031】前記熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂などを使用でき
る。また、感光化する場合は、メタクリル酸やアクリル
酸などと熱硬化基をアクリル化反応させる。特にエポキ
シ樹脂のアクリレートが最適である。
As the thermosetting resin, epoxy resin, phenol resin, polyimide resin or the like can be used. In addition, in the case of photosensitization, methacrylic acid, acrylic acid or the like is subjected to an acrylate reaction with a thermosetting group. Particularly, acrylate of epoxy resin is most suitable.

【0032】エポキシ樹脂としては、フェノールノボラ
ック型、クレゾールノボラック型などのノボラック型エ
ポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変成した脂環式エポ
キシ樹脂などを使用することができる。熱可塑性樹脂と
しては、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリスル
ホォン(PSF)、ポリフェニレンスルフォン(PP
S)、ポリフェニレンサルファイド(PPES),ポリ
フェニルエーテル(PPE)、ポリエーテルイミド(P
I)などを使用できる。
As the epoxy resin, a novolac type epoxy resin such as phenol novolac type or cresol novolac type, a dicyclopentadiene-modified alicyclic epoxy resin, or the like can be used. As the thermoplastic resin, polyether sulfone (PES), polysulfone (PSF), polyphenylene sulfone (PP)
S), polyphenylene sulfide (PPES), polyphenyl ether (PPE), polyetherimide (P
I) or the like can be used.

【0033】熱硬化性樹脂(感光性樹脂)と熱可塑性樹
脂の混合割合は、熱硬化性樹脂(感光性樹脂)/熱可塑
性樹脂=95/5〜50/50がよい。耐熱性を損なう
ことなく、高い靱性値を確保できる。前記耐熱性樹脂粒
子の混合比は、耐熱性樹脂マトリックスの固形分に対し
て5〜50重量%、望ましくは10〜40重量%がよ
い。耐熱性粒子は、アミノ樹脂(メラミン樹脂、尿素樹
脂、グアナミン樹脂)、エポキシ樹脂などがよい。な
お、接着剤は、組成の異なる2層により構成してもよ
い。
The mixing ratio of the thermosetting resin (photosensitive resin) and the thermoplastic resin is preferably thermosetting resin (photosensitive resin) / thermoplastic resin = 95/5 to 50/50. A high toughness value can be secured without impairing heat resistance. The mixing ratio of the heat resistant resin particles is 5 to 50% by weight, preferably 10 to 40% by weight based on the solid content of the heat resistant resin matrix. The heat-resistant particles are preferably amino resin (melamine resin, urea resin, guanamine resin), epoxy resin, or the like. The adhesive may be composed of two layers having different compositions.

【0034】次に、層間絶縁樹脂層を硬化する一方で、
その層間樹脂樹脂層にはバイアホール形成用の開口を設
ける。
Next, while curing the interlayer insulating resin layer,
The interlayer resin is provided with an opening for forming a via hole in the resin layer.

【0035】層間絶縁樹脂層の硬化処理は、無電解めっ
き用接着剤の樹脂マトリックスが熱硬化樹脂である場合
は、レ−ザ−光や酸素プラズマ等を用いて穿孔し、感光
性樹脂である場合は露光現像処理にて穿孔する。なお、
露光現像処理は、バイアホール形成のための円パタ−ン
が描画されたフォトマスク(ガラス基板がよい)を、円
パタ−ン側を感光性の層間樹脂絶縁層の上に密着させて
載置した後、露光、現像処理する。
When the resin matrix of the adhesive for electroless plating is a thermosetting resin, the interlayer insulating resin layer is subjected to perforation by using laser light, oxygen plasma or the like to form a photosensitive resin. In some cases, the holes are formed by exposure and development. In addition,
In the exposure and development process, a photomask (a glass substrate is preferable) on which a circular pattern for forming a via hole is drawn is placed with the circular pattern side being in close contact with the photosensitive interlayer resin insulation layer. After that, it is exposed and developed.

【0036】次に、バイアホール形成用開口を設けた層
間樹脂絶縁層(無電解めっき用接着剤層)の表面を粗化
する。特に本発明では、無電解めっき用接着剤層の表面
に存在する耐熱性樹脂粒子を酸又は酸化剤で溶解除去す
ることにより、接着剤層表面を粗化処理する。このと
き、層間絶縁樹脂層に粗化層が形成される。
Next, the surface of the interlayer resin insulation layer (adhesive layer for electroless plating) provided with openings for forming via holes is roughened. In particular, in the present invention, the surface of the adhesive layer is roughened by dissolving and removing the heat-resistant resin particles existing on the surface of the adhesive layer for electroless plating with an acid or an oxidizing agent. At this time, a roughening layer is formed on the interlayer insulating resin layer.

【0037】前記酸処理としては、リン酸、塩酸、硫
酸、又は蟻酸や酢酸等の有機酸を用いることができる。
特に有機酸を用いるのが望ましい。粗化処理した場合
に、バイアホールから露出する金属導体層を腐食させに
くいからである。前記酸化処理は、クロム酸、過マンガ
ン酸塩(過マンガン酸カリウム等)を用いることが望ま
しい。
As the acid treatment, phosphoric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, or an organic acid such as formic acid or acetic acid can be used.
It is particularly desirable to use an organic acid. This is because when the roughening treatment is performed, the metal conductor layer exposed from the via hole is unlikely to corrode. For the oxidation treatment, it is desirable to use chromic acid or permanganate (potassium permanganate or the like).

【0038】前記粗化層は、最大粗度Rmax0.1〜
20μmがよい。厚すぎると粗化層自体が損傷、剥離し
やすく、薄すぎると密着性が低下するからである。特に
セミアディティブ法では、0.1〜5μmがよい。密着
性を確保しつつ、無電解めっき膜を除去できるからであ
る。
The roughening layer has a maximum roughness Rmax of 0.1 to 0.1.
20 μm is preferable. This is because if it is too thick, the roughening layer itself is likely to be damaged or peeled off, and if it is too thin, the adhesiveness is reduced. Particularly in the semi-additive method, 0.1 to 5 μm is preferable. This is because the electroless plating film can be removed while ensuring the adhesiveness.

【0039】次に、粗化し触媒核を付与した層間絶縁樹
脂上の全面に薄付けの無電解めっき膜を形成する。この
無電解めっき膜は、無電解銅めっきがよく、その厚み
は、1〜5μm,より望ましくは2〜3μmとする。な
お、無電解銅めっき液としては、常法で採用される液組
成のものを使用でき、例えば、硫酸銅:29g/l、炭
酸ナトリウム:25g/l、EDTA:140g/l、
水酸化ナトリウム:40g/l、37%ホールムアルデ
ヒド:150ml、(PH=11.5)からなる液組成
のものがよい。
Next, a thin electroless plating film is formed on the entire surface of the interlayer insulating resin which has been roughened and provided with catalyst nuclei. This electroless plated film is preferably electroless copper plated and has a thickness of 1 to 5 μm, more preferably 2 to 3 μm. As the electroless copper plating solution, one having a liquid composition adopted in a conventional method can be used, and for example, copper sulfate: 29 g / l, sodium carbonate: 25 g / l, EDTA: 140 g / l,
A liquid composition of sodium hydroxide: 40 g / l, 37% holmaldehyde: 150 ml, (PH = 11.5) is preferable.

【0040】次に、このように形成した無電解めっき膜
上に感光性樹脂フィルム(ドライフィルム)をラミネ−
トし、この感光性樹脂フィルム上に、めっきレジストパ
タ−ンが描画されたフォトマスク(ガラス基板がよい)
を密着させて載置し、露光し、現像処理することによ
り、めっきレジストパタ−ンを配設した非導体部分を形
成する。
Next, a photosensitive resin film (dry film) is laminated on the electroless plated film thus formed.
And a photomask in which a plating resist pattern is drawn on this photosensitive resin film (a glass substrate is preferable)
Are closely contacted with each other, exposed, and developed to form a non-conductor portion having a plating resist pattern.

【0041】次に、無電解銅めっき膜上の非導体部分以
外に電解めっき膜を形成し、導体回路とバイアホールと
なる導体部を設ける。電解めっきとしては、電解銅めっ
きを用いることが望ましく、その厚みは、10〜20μ
mがよい。
Next, an electrolytic plating film is formed on the electroless copper plating film other than the non-conductor portion to provide a conductor circuit and a conductor portion to be a via hole. It is desirable to use electrolytic copper plating as the electrolytic plating, and the thickness thereof is 10 to 20 μm.
m is good.

【0042】次に、非導体回路部分のめっきレジストを
除去した後、さらに、硫酸と過酸化水素の混合液や過硫
酸ナトリウム、過硫酸アンモニウム、塩化第二鉄、塩化
第二銅等のエッチング液にて無電解めっき膜を除去し、
無電解めっき膜と電解めっき膜の2層からなる独立した
導体回路とバイアホールを得る。なお、非導体部分に露
出した粗化面上のパラジウム触媒核は、クロム酸、硫酸
過水等により溶解除去する。
Next, after removing the plating resist on the non-conductor circuit portion, it is further treated with a mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide or an etching solution such as sodium persulfate, ammonium persulfate, ferric chloride or cupric chloride. To remove the electroless plating film,
An independent conductor circuit consisting of two layers, an electroless plated film and an electrolytic plated film, and a via hole are obtained. The palladium catalyst nucleus on the roughened surface exposed in the non-conductor portion is dissolved and removed with chromic acid, sulfuric acid / hydrogen peroxide and the like.

【0043】次いで、表層の導体回路に粗化層を形成す
る。形成される粗化層は、エッチング処理、研磨処理、
酸化処理、酸化還元処理により形成された銅の粗化面又
もしくはめっき被膜により形成された粗化面であること
が望ましい。
Next, a roughening layer is formed on the surface conductor circuit. The roughened layer formed is an etching treatment, a polishing treatment,
A roughened surface of copper formed by oxidation treatment or redox treatment or a roughened surface formed by a plating film is desirable.

【0044】次いで、前記導体回路上にソルダ−レジス
ト層を形成する。本願発明におけるソルダーレジスト層
の厚さは、5〜40μmがよい。薄すぎるとソルダーダ
ムとして機能せず、厚すぎると開口しにくくなる上、ハ
ンダ体と接触しハンダ体に生じるクラックの原因となる
からである。
Next, a solder resist layer is formed on the conductor circuit. The thickness of the solder resist layer in the present invention is preferably 5 to 40 μm. This is because if it is too thin, it does not function as a solder dam, and if it is too thick, it becomes difficult to open, and it also causes contact with the solder body and causes cracks in the solder body.

【0045】ソルダーレジスト層としては、種々の樹脂
を使用でき、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアクリレート、
ノボラック型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂
のアクリレートをアミン系硬化剤やイミダゾール硬化剤
などで硬化させた樹脂を使用できる。特に、ソルダーレ
ジスト層に開口を設けてハンダバンプを形成する場合に
は、「ノボラック型エポキシ樹脂もしくはノボラック型
エポキシ樹脂のアクリレート」からなり、「イミダゾー
ル硬化剤」を硬化剤として含むものが好ましい。
As the solder resist layer, various resins can be used. For example, bisphenol A type epoxy resin, acrylate of bisphenol A type epoxy resin,
A novolac type epoxy resin or a resin obtained by curing an acrylate of a novolac type epoxy resin with an amine-based curing agent or an imidazole curing agent can be used. In particular, in the case of forming a solder bump by forming an opening in the solder resist layer, it is preferable to use "novolac type epoxy resin or acrylate of novolac type epoxy resin" and include "imidazole curing agent" as a curing agent.

【0046】このような構成のソルダーレジスト層は、
鉛のマイグレーション(鉛イオンがソルダーレジスト層
内を拡散する現象)が少ないという利点を持つ。しか
も、このソルダーレジスト層は、ノボラック型エポキシ
樹脂のアクリレートをイミダゾール硬化剤で硬化した樹
脂層であり、耐熱性、耐アルカリ性に優れ、ハンダが溶
融する温度(200℃前後)でも劣化しないし、ニッケ
ルめっきや金めっきのような強塩基性のめっき液で分解
することもない。
The solder resist layer having such a structure is
It has the advantage that lead migration (a phenomenon in which lead ions diffuse in the solder resist layer) is small. Moreover, this solder resist layer is a resin layer obtained by curing an acrylate of a novolac type epoxy resin with an imidazole curing agent, has excellent heat resistance and alkali resistance, and does not deteriorate even at the temperature at which the solder melts (around 200 ° C.). It does not decompose with a strongly basic plating solution such as plating or gold plating.

【0047】しかしながら、このようなソルダーレジス
ト層は、剛直骨格を持つ樹脂で構成されるので剥離が生
じやすい。本発明に係る粗化層は、このような剥離を防
止できるため有利である。
However, since such a solder resist layer is made of a resin having a rigid skeleton, peeling easily occurs. The roughened layer according to the present invention is advantageous because it can prevent such peeling.

【0048】ここで、上記ノボラック型エポキシ樹脂の
アクリレートとしては、フェノールノボラックやクレゾ
ールノボラックのグリシジルエーテルを、アクリル酸や
メタクリル酸などと反応させたエポキシ樹脂などを用い
ることができる。上記イミダゾール硬化剤は、25℃で
液状であることが望ましい。液状であれば均一混合でき
るからである。
Here, as the acrylate of the novolac type epoxy resin, an epoxy resin obtained by reacting glycidyl ether of phenol novolac or cresol novolac with acrylic acid or methacrylic acid can be used. The imidazole curing agent is preferably liquid at 25 ° C. This is because if it is liquid, it can be uniformly mixed.

【0049】このような液状イミダゾール硬化剤として
は、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール(品名:1
B2MZ)、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチ
ルイミダゾール(品名:2E4MZ−CN)、4−メチ
ル−2−エチルイミダゾール(品名:2E4MZ)を用
いることができる。
As such a liquid imidazole curing agent, 1-benzyl-2-methylimidazole (product name: 1
B2MZ), 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole (product name: 2E4MZ-CN), 4-methyl-2-ethylimidazole (product name: 2E4MZ) can be used.

【0050】このイミダゾール硬化剤の添加量は、上記
ソルダーレジスト層組成物の総固形分に対して1〜10
重量%とすることが望ましい。この理由は、添加量がこ
の範囲内にあれば均一混合がしやすいからである。上記
ソルダーレジスト層の硬化前組成物は、溶媒としてグリ
コールエーテル系の溶剤を使用することが望ましい。こ
のような組成物を用いたソルダーレジスト層は、遊離酸
素が発生せず、銅パッド表面を酸化させない。また、人
体に対する有害性も少ない。
The amount of the imidazole curing agent added is 1 to 10 relative to the total solid content of the solder resist layer composition.
It is desirable to set it as the weight%. The reason for this is that if the addition amount is within this range, uniform mixing is easy. The pre-curing composition for the solder resist layer preferably uses a glycol ether solvent as a solvent. The solder resist layer using such a composition does not generate free oxygen and does not oxidize the copper pad surface. It is also less harmful to the human body.

【0051】このようなグリコールエーテル系溶媒とし
ては、下記構造式のもの、特に望ましくは、ジエチレン
グリコールジメチルエーテル(DMDG)およびトリエ
チレングリコールジメチルエーテル(DMTG)から選
ばれるいずれか少なくとも1種を用いる。これらの溶剤
は、30〜50℃程度の加温により反応開始剤であるベ
ンゾフェノンやミヒラーケトンを完全に溶解させること
ができるからである。CHO−(CHCHO)
−CH(n=1〜5)このグリコールエーテル系の溶
媒は、ソルダーレジスト組成物の全重量に対して10〜
40wt%がよい。
As such a glycol ether solvent, at least one selected from the following structural formulas, particularly preferably diethylene glycol dimethyl ether (DMDG) and triethylene glycol dimethyl ether (DMTG) is used. This is because these solvents can completely dissolve benzophenone and Michler's ketone which are reaction initiators by heating at about 30 to 50 ° C. CH 3 O- (CH 2 CH 2 O) n
—CH 3 (n = 1 to 5) The glycol ether-based solvent is 10 to 10 with respect to the total weight of the solder resist composition.
40 wt% is preferable.

【0052】以上説明したようなソルダーレジスト層組
成物には、その他に、各種消泡剤やレベリング剤、耐熱
性や耐塩基性の改善と可撓性付与のために熱硬化性樹
脂、解像度改善のために感光性モノマーなどを添加する
ことができる。
In addition to the above-mentioned solder resist layer composition, various antifoaming agents, leveling agents, thermosetting resins for improving heat resistance and base resistance and flexibility, and resolution improving. For this purpose, a photosensitive monomer or the like can be added.

【0053】例えば、レベリング剤としてはアクリル酸
エステルの重合体からなるものがよい。また、開始剤と
しては、チバガイギー製のイルガキュアI907、光増
感剤としては日本化薬製のDETX−Sがよい。さら
に、ソルダーレジスト層組成物には、色素や顔料を添加
してもよい。配線パターンを隠蔽できるからである。こ
の色素としてはフタロシアニングリーンを用いることが
望ましい。
For example, the leveling agent is preferably made of a polymer of acrylic acid ester. Further, as an initiator, Irgacure I907 manufactured by Ciba-Geigy, and as a photosensitizer, DETX-S manufactured by Nippon Kayaku is preferable. Further, a dye or pigment may be added to the solder resist layer composition. This is because the wiring pattern can be hidden. It is desirable to use phthalocyanine green as this dye.

【0054】添加成分としての上記熱硬化性樹脂として
は、ビスフェノール型エポキシ樹脂を用いることができ
る。このビスフェノール型エポキシ樹脂には、ビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ
樹脂があり、耐塩基性を重視する場合には前者が、低粘
度化が要求される場合(塗布性を重視する場合)には後
者がよい。
A bisphenol type epoxy resin can be used as the thermosetting resin as an additive component. There are bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin in this bisphenol type epoxy resin. When the basic resistance is important, the former is required to have a low viscosity (when the coating property is important). The latter is better for.

【0055】添加成分としての上記感光性モノマーとし
ては、多価アクリル系モノマーを用いることができる。
多価アクリル系モノマーは、解像度を向上させることが
できるからである。例えば、日本化薬製DPE−6A又
は共栄社化学製R−604のような構造の多価アクリル
系モノマーが望ましい。
As the photosensitive monomer as an additive component, a polyvalent acrylic monomer can be used.
This is because the polyvalent acrylic monomer can improve the resolution. For example, a polyvalent acrylic monomer having a structure such as DPE-6A manufactured by Nippon Kayaku or R-604 manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. is desirable.

【0056】また、これらのソルダーレジスト層組成物
は、25℃で0.5〜10Pa・s、より望ましくは1
〜10Pa・sがよい。ロールコータで塗布しやすい粘
度だからである。ソルダ−レジスト層形成後、開口部を
形成する。その開口は、露光、現像処理により形成す
る。
The composition of these solder resist layers is 0.5 to 10 Pa · s at 25 ° C., more preferably 1
10 Pa · s is preferable. This is because the viscosity is easy to apply with a roll coater. After forming the solder-resist layer, an opening is formed. The opening is formed by exposure and development processing.

【0057】その後、ソルダ−レジスト層形成後に開口
部に無電解めっきにてニッケルめっき層を形成させる。
ニッケルめっき液の組成の例として硫酸ニッケル4.5
g/l、次亜リン酸ナトリウム25g/l、クエン酸ナ
トリウム40g/l、ホウ酸12g/l、チオ尿素0.
1g/l(PH=11)がある。脱脂液により、ソルダ
−レジスト層開口部、表面を洗浄し、パラジウムなどの
触媒を開口部に露出した導体部分に付与し、活性化させ
た後、めっき液に浸漬し、ニッケルめっき層を形成させ
た。
Then, after forming the solder resist layer, a nickel plating layer is formed in the opening by electroless plating.
As an example of the composition of the nickel plating solution, nickel sulfate 4.5
g / l, sodium hypophosphite 25 g / l, sodium citrate 40 g / l, boric acid 12 g / l, thiourea 0.
There is 1 g / l (PH = 11). The solder-resist layer opening and surface are washed with a degreasing solution, a catalyst such as palladium is applied to the conductor portion exposed in the opening, and after activation, it is immersed in a plating solution to form a nickel plating layer. It was

【0058】ニッケルめっき層の厚みは、0.5〜20
μmで、特に3〜10μmの厚みが望ましい。ここで、
0.5μm未満では、ハンダバンプとニッケルめっき層
との接続が取り難い。他方、20μmを超えると、開口
部に形成したハンダバンプが収まりきれず、剥がれたり
する。
The thickness of the nickel plating layer is 0.5 to 20.
A thickness of 3 μm to 10 μm is particularly desirable. here,
If it is less than 0.5 μm, it is difficult to connect the solder bump and the nickel plating layer. On the other hand, when the thickness exceeds 20 μm, the solder bumps formed in the openings cannot be completely accommodated and are peeled off.

【0059】ニッケルめっき層形成後、金めっきにて金
めっき層を形成させる。厚みは、0.03μmである。
After forming the nickel plating layer, the gold plating layer is formed by gold plating. The thickness is 0.03 μm.

【0060】開口部に金属層を施した後、開口部内にハ
ンダバンプを印刷により、形成させる。その後、温度2
50℃にした窒素リフローを通し、ハンダバンプを開口
部内に固定させる。
After applying the metal layer to the opening, solder bumps are formed in the opening by printing. Then temperature 2
The solder bump is fixed in the opening through nitrogen reflow at 50 ° C.

【0061】次いで、ソルダーレジスト層上に、文字印
字を行う。この文字印字は、少なくとも、下層インク層
形成工程と、下層インク層の乾燥工程と上層インク層形
成工程と、上層インク層乾燥工程とを含む文字印刷工程
により、2層のインク層よりなる文字を形成する。文字
印刷工程では、スクリーン印刷、ポッティングなどの方
法により、下層インク層上に上層インク層を積層して文
字またはバーコードなどを印字する。
Then, characters are printed on the solder resist layer. This character printing is performed by a character printing process including at least a lower ink layer forming process, a lower ink layer drying process, an upper ink layer forming process, and an upper ink layer drying process. Form. In the character printing step, characters or barcodes are printed by laminating the upper ink layer on the lower ink layer by a method such as screen printing or potting.

【0062】使用される文字印字用インクの粘度は、3
0,000〜70,000cps範囲のものが、にじ
み、かすれを生じにくく、かつインク層の厚みの均一性
を保ちやすい。特に、粘度を40,000〜60,00
0cpsの範囲に調整することが望ましい。この範囲で
あれば、ハンダバンプを汚染することがなく所望の厚み
の文字をソルダーレジスト層上に、にじませることもか
すませることもなく形成することができる。
The viscosity of the character printing ink used is 3
Those in the range of 10,000 to 70,000 cps are less likely to cause bleeding and blurring, and moreover, it is easy to maintain the thickness uniformity of the ink layer. Particularly, the viscosity is 40,000 to 60,000.
It is desirable to adjust to the range of 0 cps. Within this range, a character having a desired thickness can be formed on the solder resist layer without contaminating the solder bumps and without causing blurring or blurring.

【0063】文字印字用インクの粘度が30,000c
ps未満のとき、ソルダーレジスト層上に、所望の厚み
の文字は形成できるが、文字がにじむことがある。ま
た、文字印字後の乾燥、硬化、あるいは、印字した文字
中の気泡を抜くための脱泡処理の際、インクが飛散した
り、流れたりしてソルダーレジスト、基板、ハンダバン
プ上を汚染したりする。特に、ハンダバンプを汚染した
場合は、ICチップなどの外部電子部品と電気接続が取
れなくなる。
The viscosity of the character printing ink is 30,000 c
When it is less than ps, a character having a desired thickness can be formed on the solder resist layer, but the character may be blurred. In addition, when the characters are printed, they are dried, cured, or defoamed to remove air bubbles in the printed characters. Ink may scatter or flow to contaminate the solder resist, substrate, or solder bumps. . In particular, when the solder bumps are contaminated, it becomes impossible to make electrical connection with external electronic components such as IC chips.

【0064】一方、文字印字用インクの粘度が70,0
00cpsを超えたとき、所望の厚みの文字が形成でき
なかったり、文字がかすれたりする。文字印字で形成さ
れた文字がターゲットマーク、バーコードなどの工程認
識用である場合は、実装工程、検査工程にて位置認識、
製品判定などが行えなくなる。また、印字された文字中
に気泡が残留したりする。気泡は、インク粘度が70,
000cps以下のときは、脱泡、乾燥、硬化を経る間
に、除去、低減される。ここで、印字文字上に、アンダ
ーフィルなどの封止樹脂で覆う場合には、上述したよう
に文字内の気泡により信頼試験が低下することがある。
On the other hand, the viscosity of the character printing ink is 70,0.
When it exceeds 00 cps, a character having a desired thickness cannot be formed or the character is faint. If the characters formed by character printing are for process recognition such as target marks and barcodes, position recognition in the mounting process and inspection process,
Cannot judge products. In addition, bubbles may remain in the printed characters. The bubbles have an ink viscosity of 70,
When it is 000 cps or less, it is removed and reduced during defoaming, drying and curing. Here, when the printed characters are covered with a sealing resin such as underfill, the reliability test may be deteriorated due to the bubbles in the characters as described above.

【0065】ソルダーレジスト層上に形成される文字の
位置は、ハンダバンプが形成されたところから3mm以
上離れた位置に形成するのがよい。特に5mm以上離し
て形成するのが望ましい。3mm未満の近傍の位置に形
成すると、ハンダバンプを汚染し易いからである。ま
た、文字印字の際、ハンダバンプを破壊、キズ付けたり
することがあるためである。
The position of the character formed on the solder resist layer is preferably formed at a position 3 mm or more away from the position where the solder bump is formed. In particular, it is desirable to form them at a distance of 5 mm or more. This is because the solder bumps are easily contaminated if they are formed in the vicinity of less than 3 mm. In addition, when printing characters, the solder bumps may be broken or scratched.

【0066】また、この文字印字工程では、上層インク
層をプラズマ、レーザーの照射あるいは液体の吹付けに
よって文字形状に除去し、上層インク層から下層インク
層を現すことで文字印字を行うのも好ましい。
In this character printing step, it is also preferable that the upper ink layer is removed into a character shape by plasma irradiation, laser irradiation or liquid spraying, and the lower ink layer is exposed from the upper ink layer to perform character printing. .

【0067】その後、個片分割工程や、プラズマ処理、
配線の短絡、断線を確認するチェッカー工程を経て所望
のプリント配線板を得る。
After that, the individual dividing step, the plasma treatment,
A desired printed wiring board is obtained through a checker process for confirming short circuit and disconnection of wiring.

【0068】[0068]

【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照して
説明する。本実施例では、プリント配線板として、導体
回路が積層されてなる多層プリント配線板について説明
する。 [第1実施例]先ず、本発明の第1実施例に係る多層プリ
ント配線板10の構成について、図8〜図10を参照し
て説明する。図8は、該多層プリント配線板10の断面
図を、図9(A)は、図8に示す多層プリント配線板1
0の平面図を、図10は、図8に示す多層プリント配線
板10にICチップ90を取り付け、ドータボード94
へ載置した状態を示している。ここで、図9(A)中の
A−A断面が、図8の断面図に相当する。図8に示すよ
うに、多層プリント配線板10では、コア基板30の表
面及び裏面に導体回路34、34が形成され、更に、該
導体回路34、34の上にビルドアップ配線層80A、
80Bが形成されている。該ビルトアップ層80A、8
0Bは、バイアホール60及び導体回路58の形成され
た層間樹脂絶縁層50と、バイアホール160及び導体
回路158の形成された層間樹脂絶縁層150とからな
る。該バイアホール160及び導体回路158の上層に
はソルダーレジスト層70が形成されており、該ソルダ
ーレジスト層70の開口部71を介して、バイアホール
160及び導体回路158にバンプ76U、76Dが形
成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In this embodiment, a multilayer printed wiring board in which conductor circuits are laminated will be described as the printed wiring board. [First Embodiment] First, the structure of a multilayer printed wiring board 10 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a sectional view of the multilayer printed wiring board 10, and FIG. 9A is a sectional view of the multilayer printed wiring board 1 shown in FIG.
10 is a plan view of FIG. 0, FIG. 10 is a plan view of the multilayer printed wiring board 10 shown in FIG.
It shows a state of being placed on. Here, the AA cross section in FIG. 9A corresponds to the cross-sectional view of FIG. 8. As shown in FIG. 8, in the multilayer printed wiring board 10, conductor circuits 34, 34 are formed on the front surface and the back surface of the core substrate 30, and the build-up wiring layer 80A is further formed on the conductor circuits 34, 34.
80B is formed. The built-up layers 80A, 8
OB comprises an interlayer resin insulation layer 50 having a via hole 60 and a conductor circuit 58 formed therein, and an interlayer resin insulation layer 150 having a via hole 160 and a conductor circuit 158 formed therein. A solder resist layer 70 is formed on the via hole 160 and the conductor circuit 158, and bumps 76U and 76D are formed on the via hole 160 and the conductor circuit 158 through the opening 71 of the solder resist layer 70. ing.

【0069】図10中に示すように、多層プリント配線
板10の上面側のハンダバンプ76Uは、ICチップ9
0のランド92へ接続される。一方、下側のハンダバン
プ76Dは、ドーターボード94のランド96へ接続さ
れている。
As shown in FIG. 10, the solder bumps 76U on the upper surface side of the multilayer printed wiring board 10 are mounted on the IC chip 9
0 land 92. On the other hand, the lower solder bump 76D is connected to the land 96 of the daughter board 94.

【0070】該多層プリント配線板10の平面図である
図9(A)に示すように、ハンダバンプ76Uは、プリ
ント配線板の中央部に配設されている。該ハンダバンプ
76Uの外周には、該ハンダバンプ76UにICチップ
90を載置する際の基準位置を示す十字状のターゲット
マーク96Aが印刷により形成されている。同様に、該
ソルダーレジスト層70上に、ドータボード94への取
り付け時の基準位置を示す円状のターゲットマーク96
B、三角のターゲットマーク96Cが印刷されている。
更に、該ソルダーレジスト層70上には、ICチップを
多層プリント配線板10に取り付ける取り付け装置にて
製品を自動認識するためのバーコード98a、製品名
(製品認識文字:218AHM)及びロットナンバー
(製造認識文字:3156)からなる文字情報98bが
印刷されている。
As shown in FIG. 9A, which is a plan view of the multilayer printed wiring board 10, the solder bump 76U is arranged in the central portion of the printed wiring board. On the outer periphery of the solder bump 76U, a cross-shaped target mark 96A indicating a reference position when the IC chip 90 is mounted on the solder bump 76U is formed by printing. Similarly, on the solder resist layer 70, a circular target mark 96 indicating a reference position at the time of attachment to the daughter board 94.
B, a triangular target mark 96C is printed.
Further, on the solder resist layer 70, a bar code 98a for automatically recognizing a product by a mounting device for mounting an IC chip on the multilayer printed wiring board 10, a product name (product recognition character: 218AHM), and a lot number (manufacturing). Character information 98b composed of recognized characters: 3156) is printed.

【0071】これらの文字情報は、図8および図9に示
すように、下層インク層100と上層インク層105よ
りなる2層のインク層110により形成されているの
で、にじみやカスミがなく鮮明である。図示のように、
本実施例では、スクリーン印刷により、下層インク層1
00上に上層インク層110で所定の文字を形成した。
なお、その該文字情報98bは、図9(B)に拡大して
示すように線幅0.3mmに形成されている。
As shown in FIGS. 8 and 9, the character information is formed by the two ink layers 110, which are the lower ink layer 100 and the upper ink layer 105, and therefore is clear without bleeding or smearing. is there. As shown,
In this embodiment, the lower ink layer 1 is formed by screen printing.
Predetermined characters were formed on the ink layer 00 with the upper ink layer 110.
The character information 98b is formed to have a line width of 0.3 mm as shown in an enlarged view in FIG. 9 (B).

【0072】上述した十字状のターゲットマーク96A
は、ハンダバンプ76Uから5mm離して印刷されてい
る。また、文字情報98bは、ハンダバンプ76Uから
8mm離して印刷されている。即ち、ハンダバンプ76
Uから離して印刷することで、印刷の際にハンダバンプ
76U側へインクが飛散しないようにされている。一
方、図7に示すように文字情報98bの厚み(t2)
は、30μmに形成されている。これは、ハンダバンプ
76Uの高さ(t1)が100μmであるため、100
μmを越えるとICチップ90を載置する際に、該文字
情報98bとICチップ90とが干渉することを避ける
ためである。
The cross-shaped target mark 96A described above
Is printed 5 mm away from the solder bump 76U. The character information 98b is printed 8 mm away from the solder bump 76U. That is, the solder bump 76
By printing away from U, ink is prevented from splashing to the solder bump 76U side during printing. On the other hand, as shown in FIG. 7, the thickness of the character information 98b (t2)
Is formed to have a thickness of 30 μm. This is because the height (t1) of the solder bump 76U is 100 μm.
This is because when the thickness exceeds μm, the character information 98b and the IC chip 90 do not interfere with each other when the IC chip 90 is mounted.

【0073】なお、本実施例では、上述したターゲット
マーク96A、96B、96C、バーコード98a、文
字情報98bを形成する2層のインク層に用いられる文
字印字用インクの粘度を50000cpsに調整するこ
とで、ハンダバンプ76Uをインクで汚染することを避
けると共に、さらにかすみ、にじみの発生を生じること
なく印刷を行っている。
In this embodiment, the viscosity of the character printing ink used in the two ink layers forming the above-mentioned target marks 96A, 96B, 96C, the bar code 98a and the character information 98b is adjusted to 50000 cps. Thus, the solder bump 76U is prevented from being contaminated with ink, and printing is performed without causing blurring or bleeding.

【0074】引き続き、多層プリント配線板10の製造
方法について説明する。ここでは、先ず、第1実施例の
多層プリント配線板の製造方法に用いるA.無電解めっ
き用接着剤、B.層間樹脂絶縁剤、C.樹脂充填剤、
D.ソルダーレジスト層の原料組成物の組成について説
明する。
Subsequently, a method of manufacturing the multilayer printed wiring board 10 will be described. Here, first, the A.I. used in the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the first embodiment is used. Adhesive for electroless plating, B.I. Interlayer resin insulating agent, C.I. Resin filler,
D. The composition of the raw material composition of the solder resist layer will be described.

【0075】A.無電解めっき用接着剤調製用の原料組
成物(上層用接着剤) 〔樹脂組成物〕クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(日本化薬製、分子量2500)の25%アクリル化物
を80wt%の濃度でDMDGに溶解させた樹脂液を3
5重量部、感光性モノマー(東亜合成製、アロニックス
M315)3.15重量部、消泡剤(サンノプコ製、S
−65)0.5重量部、NMP3.6重量部を攪拌混合
して得た。 〔樹脂組成物〕ポリエーテルスルフォン(PES)1
2重量部、エポキシ樹脂粒子(三洋化成製、ポリマーポ
ール)の平均粒径1.0μmのものを7.2重量部、平
均粒径0.5μmのものを3.09重量部、を混合した
後、さらにNMP30重量部を添加し、ビーズミルで攪
拌混合して得た。 〔硬化剤組成物〕イミダゾール硬化剤(四国化成製、
2E4MZ−CN)2重量部、光開始剤(チバガイギー
製、イルガキュア I−907)2重量部、光増感剤
(日本化薬製、DETX−S)0.2重量部、NMP
1.5重量部を攪拌混合して得た。
A. Raw material composition for preparation of adhesive for electroless plating (adhesive for upper layer) [Resin composition] 25% acrylate of cresol novolac type epoxy resin (Nippon Kayaku, molecular weight 2500) was added to DMDG at a concentration of 80 wt%. Dissolve the resin liquid in 3
5 parts by weight, photosensitive monomer (Toagosei, Aronix M315) 3.15 parts by weight, defoaming agent (San Nopco, S
-65) 0.5 part by weight and 3.6 parts by weight of NMP were obtained by stirring and mixing. [Resin Composition] Polyether Sulfone (PES) 1
After mixing 2 parts by weight, 7.2 parts by weight of epoxy resin particles (polymer pole manufactured by Sanyo Kasei) having an average particle size of 1.0 μm, and 3.09 parts by weight of particles having an average particle size of 0.5 μm are mixed. Further, 30 parts by weight of NMP was added, and the mixture was obtained by stirring and mixing with a bead mill. [Curing agent composition] Imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Kasei,
2E4MZ-CN) 2 parts by weight, photoinitiator (manufactured by Ciba-Geigy, Irgacure I-907) 2 parts by weight, photosensitizer (manufactured by Nippon Kayaku, DETX-S) 0.2 parts by weight, NMP
1.5 parts by weight were obtained by stirring and mixing.

【0076】B.層間樹脂絶縁剤調製用の原料組成物
(下層用接着剤) 〔樹脂組成物〕クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(日本化薬製、分子量2500)の25%アクリル化物
を80wt%の濃度でDMDGに溶解させた樹脂液を3
5重量部、感光性モノマー(東亜合成製、アロニックス
M315)4重量部、消泡剤(サンノプコ製、S−6
5)0.5重量部、NMP3.6重量部を攪拌混合して
得た。〔樹脂組成物〕 ポリエーテルスルフォン(PES)12重量部、エポキ
シ樹脂粒子(三洋化成製、ポリマーポール)の平均粒径
0.5μmのものを14.49重量部、を混合した後、
さらにNMP30重量部を添加し、ビーズミルで攪拌混
合して得た。 〔硬化剤組成物〕イミダゾール硬化剤(四国化成製、
2E4MZ−CN)2重量部、光開始剤(チバガイギー
製、イルガキュア I−907)2重量部、光増感剤
(日本化薬製、DETX−S)0.2重量部、NMP
1.5重量部を攪拌混合して得た。
B. Raw Material Composition for Preparing Interlayer Resin Insulating Agent (Adhesive for Lower Layer) [Resin Composition] A 25% acrylate of cresol novolac type epoxy resin (Nippon Kayaku, molecular weight 2500) is dissolved in DMDG at a concentration of 80 wt%. 3 resin solution
5 parts by weight, photosensitive monomer (manufactured by Toagosei, Aronix M315) 4 parts by weight, antifoaming agent (manufactured by San Nopco, S-6)
5) 0.5 parts by weight and 3.6 parts by weight of NMP were obtained by stirring and mixing. [Resin composition] After mixing 12 parts by weight of polyether sulfone (PES) and 14.49 parts by weight of epoxy resin particles (polymer pole manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd.) having an average particle size of 0.5 μm,
Further, 30 parts by weight of NMP was added, and the mixture was obtained by stirring and mixing with a bead mill. [Curing agent composition] Imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Kasei,
2E4MZ-CN) 2 parts by weight, photoinitiator (manufactured by Ciba-Geigy, Irgacure I-907) 2 parts by weight, photosensitizer (manufactured by Nippon Kayaku, DETX-S) 0.2 parts by weight, NMP
1.5 parts by weight were obtained by stirring and mixing.

【0077】C.樹脂充填剤調製用の原料組成物 〔樹脂組成物〕ビスフェノールF型エポキシモノマー
(油化シェル製、分子量310、YL983U)100
重量部、表面にシランカップリング剤がコーティングさ
れた平均粒径1.6μmであるSiO2の球状粒子
(アドマテック製、CRS 1101−CE、ここで、
最大粒子の大きさは後述する内層銅パターンの厚み(1
5μm)以下とする)170重量部、レベリング剤(サ
ンノプコ製、ペレノールS4)1.5重量部を攪拌混合
することにより、その混合物の粘度を23±1℃で4
5,000〜49,000cpsに調整して得た。 〔硬化剤組成物〕イミダゾール硬化剤(四国化成製、
2E4MZ−CN)6.5重量部。
C. Raw material composition for preparing resin filler [resin composition] Bisphenol F type epoxy monomer (Made by Yuka Shell, molecular weight 310, YL983U) 100
Parts by weight, spherical particles of SiO 2 having an average particle size of 1.6 μm, coated with a silane coupling agent on the surface (manufactured by Admatech, CRS 1101-CE, here,
The maximum particle size is the thickness (1
5 parts by weight) and 170 parts by weight and 1.5 parts by weight of a leveling agent (manufactured by San Nopco, Perenol S4) are mixed by stirring to make the viscosity of the mixture 4 at 23 ± 1 ° C.
It was obtained by adjusting to 5,000 to 49,000 cps. [Curing agent composition] Imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Kasei,
2E4MZ-CN) 6.5 parts by weight.

【0078】D.ソルダーレジスト層の原料組成物 DMDGに溶解させた60重量%のクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂(日本化薬製)のエポキシ基50%を
アクリル化した感光性付与のオリゴマー(分子量400
0)を 46.67g、メチルエチルケトンに溶解させ
た80重量%のビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化
シェル製、エピコート1001)15.0g、イミダゾ
ール硬化剤(四国化成製、2E4MZ−CN)1.6
g、感光性モノマーである多価アクリルモノマー(日本
化薬製、R604)3g、同じく多価アクリルモノマー
(共栄社化学製、DPE6A)1.5g、分散系消泡剤
(サンノプコ社製、S−65)0.71gを混合し、さ
らにこの混合物に対して光開始剤としてのベンゾフェノ
ン(関東化学製)を2g、光増感剤としてのミヒラーケ
トン(関東化学製)を0.2g加えて、粘度を2.0P
a・s(25℃)に調整したソルダーレジスト組成物を
得た。なお、粘度測定は、B型粘度計(東京計器、 D
VL−B型)で60rpmの場合はローターNo.4、
6rpmの場合はローターNo.3によった。
D. 60% by weight of a cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) dissolved in DMDG, which is a raw material composition for the solder resist layer, is acrylated with 50% of epoxy groups (a molecular weight of 400).
0) 46.67 g, 80% by weight of a bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, Epicoat 1001) of 80 wt% dissolved in methyl ethyl ketone, 15.0 g of an imidazole curing agent (manufactured by Shikoku Kasei, 2E4MZ-CN) 1.6.
g, a polyvalent acrylic monomer (R604, manufactured by Nippon Kayaku), which is a photosensitive monomer, 1.5 g of the same polyvalent acrylic monomer (DPE6A, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), a dispersion type defoaming agent (S-65, manufactured by San Nopco). ) 0.71 g was mixed, and further 2 g of benzophenone (manufactured by Kanto Kagaku) as a photoinitiator and 0.2 g of Michler's ketone (manufactured by Kanto Kagaku) as a photosensitizer were added to the mixture to give a viscosity of 2 0.0P
A solder resist composition adjusted to a · s (25 ° C.) was obtained. The viscosity is measured using a B-type viscometer (Tokyo Keiki, D
In the case of 60 rpm with VL-B type), the rotor No. 4,
In the case of 6 rpm, the rotor No. According to 3.

【0079】F.プリント配線板の製造 (1) 厚さ1mmのガラスエポキシ樹脂またはBT
(ビスマレイミドトリアジン)樹脂からなる基板30の
両面に18μmの銅箔32がラミネートされている銅張
積層板30Aを出発材料とした(図1の工程(A))。
まず、この銅張積層板をドリル削孔し、無電解めっき処
理を施し、パターン状にエッチングすることにより、基
板の両面に内層銅パターン34とスルーホール36を形
成した(工程(B))。
F. Manufacturing of printed wiring board (1) Glass epoxy resin or BT with 1mm thickness
A copper clad laminate 30A having 18 μm copper foil 32 laminated on both sides of a substrate 30 made of (bismaleimide triazine) resin was used as a starting material (step (A) in FIG. 1).
First, this copper clad laminate was drilled, electroless plated, and patterned to form inner layer copper patterns 34 and through holes 36 on both sides of the substrate (step (B)).

【0080】(2) 内層銅パターン34およびスルー
ホール36を形成した基板30を水洗いし、乾燥した
後、酸化浴(黒化浴)として、NaOH(10g/
l),NaClO(40g/l),NaPO(6
g/l)、還元浴として、NaOH(10g/l),N
aBH(6g/l)を用いた酸化−還元処理により、
内層銅パターン34およびスルーホール36の表面に粗
化層38を設けた(工程(C))。
(2) The substrate 30 on which the inner layer copper pattern 34 and the through holes 36 are formed is washed with water and dried, and then NaOH (10 g / g) is used as an oxidation bath (blackening bath).
l), NaClO 2 (40 g / l), Na 3 PO 4 (6
g / l), as a reducing bath, NaOH (10 g / l), N
By the oxidation-reduction treatment with aBH 4 (6 g / l),
A roughened layer 38 was provided on the surfaces of the inner layer copper pattern 34 and the through holes 36 (step (C)).

【0081】(3) Cの樹脂充填剤調製用の原料組成
物を混合混練して樹脂充填剤を得た。
(3) The raw material composition for preparing the C resin filler was mixed and kneaded to obtain a resin filler.

【0082】(4) 前記(3)で得た樹脂充填剤を、
調製後24時間以内に導体回路間あるいはスルーホール
36内に塗布、充填した。塗布方法として、スキ−ジを
用いた印刷法で行った。1回目の印刷塗布は、主にスル
ーホール36内を充填して、乾燥炉内の温度100℃,
20分間乾燥させた。また、2回目の印刷塗布は、主に
導体回路(内層銅パターン)34の形成で生じた凹部を
充填して、導体回路34と導体回路34との間およびス
ルーホール36内を樹脂充填剤40で充填させたあと、
前述の乾燥条件で乾燥させた(工程(D))。
(4) The resin filler obtained in (3) above is
Within 24 hours after the preparation, it was applied and filled between the conductor circuits or in the through holes 36. As a coating method, a printing method using a squeegee was used. For the first printing application, the through hole 36 is mainly filled, and the temperature in the drying oven is 100 ° C.
Allowed to dry for 20 minutes. In the second printing application, the resin filler 40 is filled mainly between the conductor circuits 34 and between the conductor circuits 34 and in the through holes 36 by filling the recesses formed mainly by the formation of the conductor circuits (inner layer copper pattern) 34. After filling with
It was dried under the above-mentioned drying conditions (step (D)).

【0083】(5) 前記(4)の処理を終えた基板3
0の片面を、#600のベルト研磨紙(三共理化学製)
を用いたベルトサンダー研磨により、内層銅パターン3
4の表面やスルーホール36のランド36a表面に樹脂
充填剤が残らないように研磨し、次いで、前記ベルトサ
ンダー研磨による傷を取り除くためのバフ研磨を行っ
た。このような一連の研磨を基板の他方の面についても
同様に行った(図2の工程(E))。次いで、100
℃で1時間、150℃で1時間、の加熱処理を行って樹
脂充填剤40を硬化した。
(5) Substrate 3 which has undergone the processing of (4) above
One side of 0, # 600 belt sanding paper (Sankyo Rikagaku)
Inner layer copper pattern 3 by belt sander polishing using
The surface of No. 4 and the surface of the land 36a of the through hole 36 were polished so that the resin filler did not remain, and then buffed to remove scratches due to the belt sander polishing. Such a series of polishing was similarly performed on the other surface of the substrate (step (E) in FIG. 2). Then 100
The resin filler 40 was cured by heat treatment at 1 ° C. for 1 hour and at 150 ° C. for 1 hour.

【0084】このようにして、スルーホール36等に充
填された樹脂充填剤40の表層部および内層導体回路3
4上面の粗化層38を除去して基板両面を平滑化し、樹
脂充填剤40と内層導体回路34の側面とが粗化層38
を介して強固に密着し、またスルーホール36の内壁面
と樹脂充填剤40とが粗化層38を介して強固に密着し
た配線基板を得た。即ち、この工程により、樹脂充填剤
40の表面と内層銅パターン34の表面が同一平面とな
る。
In this way, the surface layer portion and the inner layer conductor circuit 3 of the resin filler 40 filled in the through holes 36 and the like.
4. The roughening layer 38 on the upper surface is removed to smooth both surfaces of the substrate, and the resin filler 40 and the side surface of the inner-layer conductor circuit 34 form the roughening layer 38.
A wiring board was obtained in which the inner wall surface of the through hole 36 and the resin filler 40 are firmly adhered to each other via the roughening layer 38. That is, by this step, the surface of the resin filler 40 and the surface of the inner layer copper pattern 34 are flush with each other.

【0085】(6) 導体回路34を形成した基板30
にアルカリ脱脂してソフトエッチングして、次いで、塩
化パラジウウムと有機酸からなる触媒溶液で処理して、
Pd触媒を付与し、この触媒を活性化した後、硫酸銅
3.9×10−2mol/l、硫酸ニッケル3.8×1
−3mol/l、クエン酸ナトリウム7.8×10
−3mol/l、次亜りん酸ナトリウム2.3×10
−1mol/l、界面活性剤(日信化学工業製、サーフ
ィール465)1.1×10−4mol/l、PH=9
からなる無電解めっき液に浸積し、浸漬1分後に、4秒
当たり1回に割合で縦、および、横振動させて、導体回
路およびスルーホールのランドの表面にCu−Ni−P
からなる針状合金の被覆層及び粗化層42を設けた(工
程(F))。さらに、ホウフっ化スズ0.1mol/
l、チオ尿素1.0mol/l、温度35℃、PH=
1.2の条件でCu−Sn置換反応させ、粗化層の表面
に厚さ0.3μmSn層(図示せず)を設けた。
(6) Substrate 30 on which the conductor circuit 34 is formed
Alkali degreasing and soft etching, then treating with a catalyst solution consisting of palladium palladium and organic acid,
After applying a Pd catalyst and activating the catalyst, copper sulfate 3.9 × 10 −2 mol / l, nickel sulfate 3.8 × 1
0 −3 mol / l, sodium citrate 7.8 × 10
-3 mol / l, sodium hypophosphite 2.3 × 10
-1 mol / l, surfactant (manufactured by Nisshin Chemical Industry, Surfeel 465) 1.1 x 10 -4 mol / l, PH = 9
The electroless plating solution consisting of 1 minute, and after 1 minute of immersion, vibrate longitudinally and laterally at a rate of once every 4 seconds to form Cu-Ni-P on the surface of the land of the conductor circuit and through hole.
A needle-like alloy coating layer and a roughening layer 42 were provided (step (F)). Furthermore, tin borofluoride 0.1 mol /
1, thiourea 1.0 mol / l, temperature 35 ° C., PH =
A Cu—Sn substitution reaction was performed under the conditions of 1.2, and a 0.3 μm thick Sn layer (not shown) was provided on the surface of the roughened layer.

【0086】(7) Bの層間樹脂絶縁剤調製用の原料
組成物を攪拌混合し、粘度1.5 Pa・sに調整して
層間樹脂絶縁剤(下層用)を得た。次いで、Aの無電解
めっき用接着剤調製用の原料組成物を攪拌混合し、粘度
7Pa・sに調整して無電解めっき用接着剤溶液(上層
用)を得た。
(7) The raw material composition for preparing the interlayer resin insulating agent B was mixed with stirring to adjust the viscosity to 1.5 Pa · s to obtain an interlayer resin insulating agent (for lower layer). Next, the raw material composition for preparing the adhesive for electroless plating of A was mixed by stirring to adjust the viscosity to 7 Pa · s to obtain an adhesive solution for electroless plating (for the upper layer).

【0087】(8) 前記(6)の基板30の両面に、
前記(7)で得られた粘度1.5Pa・sの層間樹脂絶
縁剤(下層用)44を調製後24時間以内にロールコー
タで塗布し、水平状態で20分間放置してから、60℃
で30分の乾燥(プリベーク)を行い、次いで、前記
(7)で得られた粘度7Pa・sの感光性の接着剤溶液
(上層用)46を調製後24時間以内に塗布し、水平状
態で20分間放置してから、60℃で30分の乾燥(プ
リベーク)を行い、厚さ35μmの接着剤層50αを形
成した(工程(G))。
(8) On both sides of the substrate 30 of (6) above,
The interlayer resin insulation agent (for lower layer) 44 having a viscosity of 1.5 Pa · s obtained in (7) above is applied by a roll coater within 24 hours after preparation, and left in a horizontal state for 20 minutes, and then at 60 ° C.
For 30 minutes (pre-baking), then apply the photosensitive adhesive solution (for upper layer) 46 having a viscosity of 7 Pa · s obtained in (7) within 24 hours after preparation, and in a horizontal state. After standing for 20 minutes, drying (prebaking) was performed at 60 ° C. for 30 minutes to form an adhesive layer 50α having a thickness of 35 μm (step (G)).

【0088】(9) 前記(8)で接着剤層を形成した
基板30の両面に、85μmφの黒円51aが印刷され
たフォトマスクフィルム51を密着させ、超高圧水銀灯
により500mJ/cmで露光した(工程(H))。
これをDMTG溶液でスプレー現像し、さらに、当該基
板を超高圧水銀灯により3000mJ/cmで露光
し、100℃で1時間、120℃で1時間、その後15
0℃で3時間の加熱処理(ポストベーク)をすることに
より、フォトマスクフィルムに相当する寸法精度に優れ
た85μmφの開口(バイアホール形成用開口)48を
有する厚さ35μmの層間樹脂絶縁層(2層構造)50
を形成した(図3の工程(I))。なお、バイアホール
となる開口48には、スズめっき層(図示せず)を部分
的に露出させた。
(9) A photomask film 51 on which a black circle 51a of 85 μmφ is printed is adhered to both surfaces of the substrate 30 on which the adhesive layer is formed in (8) above, and exposed at 500 mJ / cm 2 by an ultrahigh pressure mercury lamp. (Step (H)).
This was spray-developed with a DMTG solution, and the substrate was exposed with an ultra-high pressure mercury lamp at 3000 mJ / cm 2 for 1 hour at 100 ° C., 1 hour at 120 ° C., and then 15
By performing a heat treatment (post-baking) at 0 ° C. for 3 hours, an interlayer resin insulating layer having a thickness of 35 μm having an opening (opening for forming a via hole) 48 of 85 μm φ excellent in dimensional accuracy equivalent to a photomask film ( 2 layer structure) 50
Was formed (step (I) in FIG. 3). In addition, a tin plating layer (not shown) was partially exposed in the opening 48 serving as a via hole.

【0089】(10) 開口48が形成された基板30
を、クロム酸に19分間浸漬し、層間樹脂絶縁層の表面
に存在するエポキシ樹脂粒子を溶解除去することによ
り、当該層間樹脂絶縁層2の表面を粗化とし、その後、
中和溶液(シプレイ社製)に浸漬してから水洗いした
(工程(J))。さらに、粗面化処理(粗化深さ6μ
m)した該基板の表面に、パラジウム触媒(アトテック
製)を付与することにより、層間樹脂絶縁層50の表面
およびバイアホール用開口48の内壁面に触媒核を付け
た。
(10) Substrate 30 in which opening 48 is formed
Is immersed in chromic acid for 19 minutes to dissolve and remove the epoxy resin particles existing on the surface of the interlayer resin insulation layer to roughen the surface of the interlayer resin insulation layer 2, and then to
It was immersed in a neutralizing solution (made by Shipley) and then washed with water (step (J)). Furthermore, roughening treatment (roughening depth 6μ
m) By applying a palladium catalyst (manufactured by Atotech) to the surface of the substrate, catalyst nuclei were attached to the surface of the interlayer resin insulating layer 50 and the inner wall surface of the via hole opening 48.

【0090】(11) 以下に示す組成の無電解銅めっ
き水溶液中に基板を浸漬して、粗面全体に厚さ0.6
〜1.2 μmの無電解銅めっき膜52を形成した(工
程(K))。 〔無電解めっき水溶液〕 EDTA 0.08 mol/l 硫酸銅 0.03 mol/l HCHO 0.05 mol/l NaOH 0.05 mol/l α、α’−ビピリジル 80 mg/l PEG 0.10 g/l 〔無電解めっき条件〕 65℃の液温度で20分
(11) The substrate is immersed in an electroless copper plating solution having the composition shown below to form a rough surface having a thickness of 0.6.
An electroless copper plating film 52 having a thickness of 1.2 μm was formed (step (K)). [Electroless plating aqueous solution] EDTA 0.08 mol / l Copper sulfate 0.03 mol / l HCHO 0.05 mol / l NaOH 0.05 mol / l α, α′-bipyridyl 80 mg / l PEG 0.10 g / L [electroless plating conditions] 20 minutes at a liquid temperature of 65 ° C

【0091】(12) 前記(11)で形成した無電解
銅めっき膜52上に市販の感光性ドライフィルムを張り
付け、マスクを載置して、100mJ/cmで露光、
0.8%炭酸ナトリウムで現像処理し、厚さ15μmの
めっきレジスト54を設けた(工程(L))。
(12) A commercially available photosensitive dry film is attached on the electroless copper-plated film 52 formed in (11), a mask is placed, and exposure is performed at 100 mJ / cm 2 .
Development processing was performed with 0.8% sodium carbonate to provide a plating resist 54 having a thickness of 15 μm (step (L)).

【0092】(13) ついで、レジスト非形成部分に
以下の条件で電解銅めっきを施し、厚さ15μmの電解
銅めっき膜56を形成した(図4の工程(M))。 〔電解めっき水溶液〕 硫酸 2.24 mol/l 硫酸銅 0.26 mol/l 添加剤(アトテックジャパン製、カパラシドHL) 19.5 ml/l 〔電解めっき条件〕 電流密度 1 A/dm 時間 65 分 温度 22±2 ℃
(13) Next, electrolytic copper plating was applied to the non-resist portion under the following conditions to form an electrolytic copper plating film 56 having a thickness of 15 μm (step (M) in FIG. 4). [Electrolytic plating aqueous solution] Sulfuric acid 2.24 mol / l Copper sulfate 0.26 mol / l Additive (manufactured by Atotech Japan, Kaparaside HL) 19.5 ml / l [Electrolytic plating conditions] Current density 1 A / dm 2 hours 65 Min temperature 22 ± 2 ℃

【0093】(14) めっきレジスト54を5%KO
H で剥離除去した後、硫酸と過酸化水素混合液でエッ
チングし、めっきレジスト下の無電解めっき膜52を溶
解除去し、無電解めっき52及び電解銅めっき膜56か
らなる厚さ18μm(10〜30μm)の導体回路58
及びバイアホール60を得た(工程(N))。
(14) The plating resist 54 is replaced with 5% KO
After peeling and removing with H 2, etching is performed with a mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide to dissolve and remove the electroless plating film 52 under the plating resist, and the thickness of the electroless plating 52 and the electrolytic copper plating film 56 is 18 μm (10 to 10 μm). 30 μm) conductor circuit 58
And the via hole 60 was obtained (process (N)).

【0094】更に、70℃で80g/Lのクロム酸に3
分間浸漬して、導体回路58間の無電解めっき用接着剤
層50の表面を1μmエッチング処理し、表面のパラジ
ウム触媒を除去した。
Further, at 70 ° C., 80 g / L of chromic acid was added to 3
The surface of the adhesive layer 50 for electroless plating between the conductor circuits 58 was etched for 1 μm by immersion for 1 minute to remove the palladium catalyst on the surface.

【0095】(15) (6)と同様の処理を行い、導
体回路58及びバイアホール60の表面にCu−Ni−
P からなる粗化面62を形成し、さらにその表面にS
n置換を行った(工程(O))。
(15) The same process as in (6) is performed, and Cu-Ni- is formed on the surfaces of the conductor circuit 58 and the via hole 60.
A roughened surface 62 made of P is formed, and S is further formed on the surface.
N-substitution was performed (step (O)).

【0096】(16)(7)〜(14)の工程を繰り返
すことにより、さらに上層の層間樹脂絶縁層160とバ
イアホール160及び導体回路158を形成する。さら
に、バイアホール160及び該導体回路158の表面に
粗化層162を形成し、多層プリント配線板を完成する
(工程(P))。なお、この上層の導体回路を形成する
工程においては、Sn置換は行わなかった。
(16) By repeating steps (7) to (14), the upper interlayer resin insulation layer 160, the via hole 160 and the conductor circuit 158 are formed. Further, a roughening layer 162 is formed on the surfaces of the via hole 160 and the conductor circuit 158 to complete the multilayer printed wiring board (step (P)). In the step of forming the upper conductor circuit, Sn substitution was not performed.

【0097】(17) そして、上述した多層プリント
配線板にハンダバンプを形成する。前記(16)で得ら
れた基板30両面に、上記D.にて説明したソルダーレ
ジスト組成物70αを20μmの厚さで塗布した(図5
の工程(Q))。次いで、70℃で20分間、70℃で
30分間の乾燥処理を行った後、円パターン(マスクパ
ターン)が描画された厚さ5mmのフォトマスクフィル
ム(図示せず)を密着させて載置し、1000mJ/c
の紫外線で露光し、DMTG現像処理した。そして
さらに、80℃で1時間、100℃で1時間、120℃
で1時間、150℃で3時間の条件で加熱処理し、ハン
ダパッド部分(バイアホールとそのランド部分を含む)
の開口71(開口径 200μm)を有するソルダーレ
ジスト層(厚み20μm)70を形成した(工程
(R))。
(17) Then, solder bumps are formed on the above-mentioned multilayer printed wiring board. On both surfaces of the substrate 30 obtained in (16) above, D. The solder resist composition 70α described in Section 1 above was applied to a thickness of 20 μm (FIG. 5).
Process (Q)). Then, after performing a drying treatment at 70 ° C. for 20 minutes and at 70 ° C. for 30 minutes, a 5 mm-thick photomask film (not shown) on which a circular pattern (mask pattern) is drawn is closely attached and placed. , 1000 mJ / c
It was exposed to m 2 of ultraviolet light and subjected to DMTG development processing. And then, at 80 ℃ for 1 hour, 100 ℃ for 1 hour, 120 ℃
Heat treatment for 1 hour at 150 ° C for 3 hours, and solder pad portion (including via hole and land portion)
The solder resist layer (thickness 20 μm) 70 having the openings 71 (opening diameter 200 μm) was formed (step (R)).

【0098】(18) その後、塩化ニッケル2.3
×10−1mol/l、次亜リン酸ナトリウム2.8×
10−1mol/l、クエン酸ナトリウム1.6×10
−1mol/l、からなるpH=4.5の無電解ニッケ
ルめっき液に、20分間浸漬して、開口部71に厚さ5
μmのニッケルめっき層72を形成した。さらに、その
基板を、シアン化金カリウム7.6×10−3mol/
l、塩化アンモニウム1.9×10−1mol/l、ク
エン酸ナトリウム1.2×10−1mol/l、次亜リ
ン酸ナトリウム1.7×10−1mol/lからなる無
電解金めっき液に80℃の条件で7.5分間浸漬して、
ニッケルめっき層72上に厚さ0.03μmの金めっき
層74を形成した(図6の工程(S))。
(18) Then, nickel chloride 2.3
× 10 −1 mol / l, sodium hypophosphite 2.8 ×
10 −1 mol / l, sodium citrate 1.6 × 10
-1 mol / l for 20 minutes in an electroless nickel plating solution having a pH of 4.5, and the opening 71 has a thickness of 5
A μm nickel plating layer 72 was formed. Further, the substrate was treated with potassium gold cyanide 7.6 × 10 −3 mol /
1, ammonium chloride 1.9 × 10 −1 mol / l, sodium citrate 1.2 × 10 −1 mol / l, sodium hypophosphite 1.7 × 10 −1 mol / l, electroless gold plating Immerse the liquid in the liquid at 80 ° C for 7.5 minutes,
A gold plating layer 74 having a thickness of 0.03 μm was formed on the nickel plating layer 72 (step (S) in FIG. 6).

【0099】(19) そして、ソルダーレジスト層7
0の開口部71に、ハンダペーストを印刷して 200
℃でリフローすることにより、ハンダバンプ(ハンダ
体)76U、76Dを形成した(工程(T))。
(19) Then, the solder resist layer 7
Print the solder paste in the opening 71 of 0
The solder bumps (solder bodies) 76U and 76D were formed by reflowing at ℃ (step (T)).

【0100】(20) ソルダーレジスト層70上に文
字印字を行った。下層インク層100および上層インク
層105を形成する文字印字用インクには熱硬化性樹脂
を用い、スクリーン印刷によって文字印字を行った。な
お、文字印字用インクの粘度は50000cpsとし
た。
(20) Characters were printed on the solder resist layer 70. A thermosetting resin was used as the character printing ink for forming the lower ink layer 100 and the upper ink layer 105, and character printing was performed by screen printing. The character printing ink had a viscosity of 50,000 cps.

【0101】まず、白色の文字印字用インクを用い、下
層インク層100を、ハンダバンプ76aから、1cm
離れた位置に縦10mm×横20mmの四角形に形成し
た。その厚みは20μmとした。この下層インク層10
0を、80℃/5分+120℃/10分で加熱乾燥させ
硬化させた。(図7(U))なお、図7(U’)は図7
(U)のU’−U’断面図である。
First, using a white character printing ink, the lower ink layer 100 is placed 1 cm from the solder bumps 76a.
It was formed in a quadrangle having a length of 10 mm and a width of 20 mm at distant positions. The thickness was 20 μm. This lower ink layer 10
0 was heated and dried at 80 ° C./5 minutes + 120 ° C./10 minutes to be cured. (FIG. 7 (U)) FIG.
It is a U'-U 'sectional view of (U).

【0102】次に、製品番号、ターゲットマークなどが
形成されたマスキング材を下層インク層100上に配置
し(図示せず)、このマスキング材を介してさらに黒色
の文字用インクを塗布して、下層インク層100の表面
に上層インク層105を積層した。図8および図9に示
すように、ソルダーレジスト層70表面には、2層のイ
ンク層110よりなる、製品名、ロットナンバー、実装
用ターゲットマーク、バーコードなどの文字情報が印字
された。しかる後、80℃/5分+120℃/10分で
加熱し、上層インク層105を硬化させた。
Next, a masking material on which a product number, a target mark, etc. are formed is placed on the lower ink layer 100 (not shown), and black character ink is further applied through this masking material, The upper ink layer 105 was laminated on the surface of the lower ink layer 100. As shown in FIGS. 8 and 9, on the surface of the solder resist layer 70, character information such as a product name, a lot number, a mounting target mark, and a bar code, which is composed of two ink layers 110, was printed. Thereafter, the upper ink layer 105 was cured by heating at 80 ° C./5 minutes + 120 ° C./10 minutes.

【0103】続いて、2層のインク層を含むソルダーレ
ジスト層の表面にプラズマ処理を施して、表面の汚れな
どを除去した。本実施例では酸素プラズマを用いてい
る。該酸素プラズマ処理には、九州松下製プラズマクリ
ーニング装置を用い、真空状態にした中に、プラズマ照
射量800W、酸素供給量300sec./M、酸素供
給圧0.15MPa、処理時間10分で処理をした。文
字印刷工程によりソルダーレジスト層表面に形成された
文字には剥がれや欠けなどが生じなかった。また、この
処理により、ソルダーレジスト層表面の接触角度が20
゜、最大粗度(Rj)30nmになり、アンダーフィル
の塗布性が良好となった。
Subsequently, the surface of the solder resist layer including the two ink layers was subjected to plasma treatment to remove stains on the surface. In this embodiment, oxygen plasma is used. For the oxygen plasma treatment, a plasma cleaning device manufactured by Kyushu Matsushita was used, and the plasma irradiation amount was 800 W and the oxygen supply amount was 300 sec. / M, oxygen supply pressure 0.15 MPa, treatment time 10 minutes. The characters formed on the surface of the solder resist layer in the character printing process did not peel or chip. Further, this treatment makes the contact angle of the surface of the solder resist layer 20.
The maximum roughness (Rj) was 30 nm, and the underfill coatability was good.

【0104】ルーターを持つ装置で、基板を適当な大き
さに分割切断した後、プリント配線板の短絡、断線を検
査するチェッカー工程を経て、所望の該当するプリント
配線板を得た。
A device having a router was used to divide and cut the substrate into appropriate sizes, and a checker process of inspecting the printed wiring board for short circuit and disconnection was performed to obtain a desired corresponding printed wiring board.

【0105】その後、この多層プリント配線板10のタ
ーゲットマーク96Aを、画像検出用カメラで光学的に
読出し、多層プリント配線板側のハンダバンプ76Uと
ICチップ90のランド92とを位置合わせし、リフロ
することで、該ハンダバンプ76Uとランド92とを接
合させる(図10参照)。ここで、多層プリント配線板
10へのICチップ90の取付は、取付装置により自動
的に行うが、該取付装置は、多品種の多層プリント配線
板へそれぞれ対応する品種のICチップを載置する。こ
の際、図9(A)中に示すバーコード98aにより、多
層プリント配線板10の種類を自動的に識別し、対応す
るICチップを取り付ける。その後、該ICチップ90
と多層プリント配線板10との間にアンダーフィル88
を充填する。
Thereafter, the target mark 96A of the multilayer printed wiring board 10 is optically read by an image detection camera, the solder bump 76U on the multilayer printed wiring board side and the land 92 of the IC chip 90 are aligned and reflowed. Thus, the solder bump 76U and the land 92 are joined (see FIG. 10). Here, the mounting of the IC chip 90 on the multilayer printed wiring board 10 is automatically performed by the mounting device, and the mounting device mounts the IC chips of the corresponding types on the multilayer printed wiring boards of various types. . At this time, the type of the multilayer printed wiring board 10 is automatically identified by the bar code 98a shown in FIG. 9A, and the corresponding IC chip is attached. Then, the IC chip 90
88 between the wiring and the multilayer printed wiring board 10
To fill.

【0106】引き続き、ドータボードへの取り付け装置
により、該多層プリント配線板10のターゲットマーク
96B、96Cにより位置及びアライメント等を調整
し、プリント配線板のハンダバンプ76Dを、ドータボ
ード94側のパッド96へ接続する。その後、該多層プ
リント配線板10とドータボード94との間にアンダー
フィル88を充填する(図10参照)。
Subsequently, the position, alignment, etc. are adjusted by the target marks 96B and 96C of the multilayer printed wiring board 10 by the daughter board mounting device, and the solder bumps 76D of the printed wiring board are connected to the pads 96 on the daughter board 94 side. . Then, an underfill 88 is filled between the multilayer printed wiring board 10 and the daughter board 94 (see FIG. 10).

【0107】[第2実施例]次に、本発明の第2実施例
を図11ないし図13に従って説明する。図11(V)
は、下層インク層が形成されたプリント配線板のソルダ
ーレジスト層表面を示す平面図、図11(V’)は図1
1(V)のV’−V’断面である。また、図12(W)
は、下層インク層表面に上層インク層が形成されたプリ
ント配線板を示す平面図、図12(W’)は図12
(W)のW’−W’断面を示す。さらに、図13(X)
は上層インク層を文字形状に除去した状態を示すプリン
ト配線板の平面図、図13(X’)は図13(X)の
X’−X’断面図である。
[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 11 (V)
Is a plan view showing the surface of the solder resist layer of the printed wiring board on which the lower ink layer is formed, and FIG.
It is a V'-V 'cross section of 1 (V). Also, FIG. 12 (W)
FIG. 12 is a plan view showing a printed wiring board in which an upper ink layer is formed on the surface of the lower ink layer, and FIG.
The W'-W 'cross section of (W) is shown. Furthermore, FIG. 13 (X)
Is a plan view of the printed wiring board showing a state in which the upper ink layer is removed in a character shape, and FIG. 13 (X ′) is a cross-sectional view taken along line X′-X ′ of FIG. 13 (X).

【0108】基本的に第1実施例と同様であるが、文字
印字工程において、図11(V)、およびその断面図で
ある図11(V’)に示すように、まず下層インク層1
00をソルダーレジスト層70表面の所定位置に形成す
る。使用した文字印字用インクの色は黒色とした。下層
インク層100の乾燥後、上層インク層105を下層イ
ンク層100上に略同じ大きさに重ねて形成する。上層
インク層105に使用される文字印字用インクの色は白
色とした(図12(W)および図12(W’)参照)。
Basically, it is similar to the first embodiment, but in the character printing step, as shown in FIG. 11 (V) and its sectional view, FIG. 11 (V ′), the lower ink layer 1 is first formed.
00 is formed at a predetermined position on the surface of the solder resist layer 70. The color of the character printing ink used was black. After the lower layer ink layer 100 is dried, the upper layer ink layer 105 is formed on the lower layer ink layer 100 so as to be overlapped in substantially the same size. The color of the character printing ink used for the upper ink layer 105 was white (see FIG. 12 (W) and FIG. 12 (W ′)).

【0109】上層インク層105の乾燥後、この上層イ
ンク層105上に文字を形成したマスキング材(図示せ
ず)を置き、酸素プラズマでプラズマ照射量1000
W、酸素供給量700sec/M、酸素供給圧0.30
MPaで5分間処理し、マスキング材の開口に対応する
部位の上層インク層105を除去した。なお、その後の
プラズマ処理は行わなかった。図13(X)および図1
3(X’)に示されるように、ソルダーレジスト層70
の表面には、上層インク層105を文字状に除去し下層
インク層100の色を現してなる2層のインク層110
により文字が印字された。
After the upper ink layer 105 is dried, a masking material (not shown) having characters formed thereon is placed on the upper ink layer 105, and a plasma irradiation amount of 1000 is applied by oxygen plasma.
W, oxygen supply rate 700 sec / M, oxygen supply pressure 0.30
Then, the upper ink layer 105 was removed at a portion corresponding to the opening of the masking material by treating with MPa for 5 minutes. The subsequent plasma treatment was not performed. FIG. 13 (X) and FIG.
3 (X ′), the solder resist layer 70
On the surface of the ink layer 110, two layers of ink layer 110 are formed by removing the upper ink layer 105 in a character shape and expressing the color of the lower ink layer 100.
The character was printed by.

【0110】[第3実施例]基本的に第2実施例と同様
であるが、上層インク層を下層インク層と同じ領域に形
成した後、マスキング材を載置した炭酸ガスレーザーに
て上層インク層を除去し文字を形成した。ここでは、マ
スキング材を用いたが、例えば、トリーミング用のレー
ザを用いることで、マスキング材を用いることなく上層
インク層の所定部位を除去することも可能である。
[Third Embodiment] The third embodiment is basically the same as the second embodiment, but after forming the upper ink layer in the same region as the lower ink layer, the upper ink is applied by a carbon dioxide laser on which a masking material is placed. The layers were removed to form the letters. Although the masking material is used here, it is also possible to remove a predetermined portion of the upper ink layer without using the masking material, for example, by using a laser for trimming.

【0111】引き続き、本実施例の多層プリント配線板
に対する性能比較のため構成した比較例に係る多層プリ
ント配線板について説明する。 (比較例)基本的に第1実施例と同様であるが、ソルダ
ーレジスト層の表面に文字が形成されたマスキング材を
配し、スクリーン印刷により文字を1層のインク層で形
成した。
Next, a multilayer printed wiring board according to a comparative example constructed for performance comparison with the multilayer printed wiring board of this embodiment will be described. (Comparative Example) Basically the same as in Example 1, but a masking material having characters formed on the surface of the solder resist layer was arranged, and characters were formed by one layer of ink by screen printing.

【0112】以上、第1実施例、第2実施例、第3実施
例および比較例で製造されたプリント配線板について文
字印字の厚み、印字文字状態(にじみ、かすれの有
無)、画像認識の3項目について比較評価した。その結
果を図14に示す。各実施例では、文字が形成される上
層インク層の厚みを均一とすることができ、しかも得ら
れたプリント配線板に形成された文字印字はきわめて鮮
明で、にじみやかすみなどの不良は生じなかった。その
ため、工程認識においても時間内に正確に読みとること
ができ、後工程での種々の問題も発生しなかった。
As described above, regarding the printed wiring boards manufactured in the first embodiment, the second embodiment, the third embodiment and the comparative example, the thickness of the character print, the state of the printed character (whether there is bleeding or blurring), and image recognition are 3 The items were compared and evaluated. The result is shown in FIG. In each of the examples, the thickness of the upper ink layer on which characters are formed can be made uniform, and the character printing formed on the obtained printed wiring board is extremely clear and does not cause defects such as bleeding and haze. It was Therefore, even in process recognition, it is possible to accurately read in time, and various problems do not occur in subsequent processes.

【0113】[0113]

【発明の効果】以上説明したように本発明の多層プリン
ト配線板及びその製造方法によれば、文字印字の文字が
を2層のインク層によって形成されているので、文字印
字のにじみ、かすれはなく、ターゲットマークなどの文
字を鮮明に印刷することができる。そのため、製品の実
装など後工程の際の画像認識が確実に行うことができ
る。
As described above, according to the multilayer printed wiring board and the method of manufacturing the same of the present invention, since characters for character printing are formed by the two ink layers, bleeding and blurring of character printing are prevented. Instead, it is possible to clearly print characters such as target marks. Therefore, it is possible to reliably perform image recognition in a post process such as mounting of a product.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図である。
FIG. 1 is a manufacturing process diagram of a multilayer printed wiring board according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図である。
FIG. 2 is a manufacturing process drawing of the multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図である。
FIG. 3 is a manufacturing process diagram of the multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図である。
FIG. 4 is a manufacturing process diagram of the multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図である。
FIG. 5 is a manufacturing process diagram for a multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図である。
FIG. 6 is a manufacturing process diagram of a multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の製造工程図であって、図7(U)は印字工程を示す多
層プリント配線板の平面図、図7(U’)は図7(U)
のU’−U’断面図である。
FIG. 7 is a manufacturing process diagram of the multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention, FIG. 7 (U) is a plan view of the multilayer printed wiring board showing a printing process, and FIG. Figure 7 (U)
FIG. 7 is a U′-U ′ cross-sectional view of FIG.

【図8】本発明の第1実施例に係る多層プリント配線板
の断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view of the multilayer printed wiring board according to the first embodiment of the present invention.

【図9】図9(A)は、図8に示す多層プリント配線板
10の平面図であり、図9(B)は、図9(A)中の文
字情報を拡大して示す説明図である。
FIG. 9 (A) is a plan view of the multilayer printed wiring board 10 shown in FIG. 8, and FIG. 9 (B) is an explanatory view showing enlarged character information in FIG. 9 (A). is there.

【図10】図8に示す多層プリント配線板にICチップ
を取り付け、ドータボードに載置した状態を示す断面図
である。
10 is a cross-sectional view showing a state in which an IC chip is attached to the multilayer printed wiring board shown in FIG. 8 and placed on a daughter board.

【図11】本発明の第2実施例に係る製造工程図であっ
て、図11(V)は文字印字工程を示す多層プリント配
線板の平面図、図11(V’)は図11(V)のV’−
V’断面図である。
FIG. 11 is a manufacturing process diagram according to the second embodiment of the present invention, FIG. 11 (V) is a plan view of a multilayer printed wiring board showing a character printing process, and FIG. 11 (V ′) is FIG. ) V'-
It is a V'sectional view.

【図12】本発明の第2実施例に係る製造工程図であっ
て、図12(W)はプリント配線板の平面図、図12
(W’)は図12(W)のW’−W’断面図である。
FIG. 12 is a manufacturing process diagram according to the second embodiment of the present invention, in which FIG. 12 (W) is a plan view of the printed wiring board;
(W ') is a W'-W' sectional view of FIG.

【図13】図13(X)は第2実施例によって得られた
プリント配線板の平面図、図13(X’)は図13
(X)のX’−X’断面図である。
13 (X) is a plan view of the printed wiring board obtained in the second embodiment, and FIG. 13 (X ′) is FIG.
It is an X'-X 'sectional view of (X).

【図14】第1実施例、第2実施例、第3実施例および
比較例に係る多層プリント配線板を試験した結果を示す
図表である。
FIG. 14 is a chart showing the results of testing the multilayer printed wiring boards according to the first example, the second example, the third example and the comparative example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30 コア基板 34 導体路 36 スルーホール 50 層間樹脂絶縁層 58 導体回路 60 バイアホール 70 ソルダーレジスト 71 開口部 80A、80B ビルドアップ配線層 96A、96B、96D ターゲットマーク 98a バーコード 98b 文字情報 100 下層インク層 105 上層インク層 110 インク層 150 層間樹脂絶縁層 158 導体回路 30 core substrate 34 Conductor track 36 through hole 50 interlayer resin insulation layer 58 Conductor circuit 60 via holes 70 Solder resist 71 opening 80A, 80B Build-up wiring layer 96A, 96B, 96D target mark 98a barcode 98b Character information 100 Lower ink layer 105 upper ink layer 110 ink layer 150 interlayer resin insulation layer 158 Conductor circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H05K 3/46 H05K 3/46 Z (56)参考文献 特開 平10−163588(JP,A) 特開 平4−282884(JP,A) 実開 昭63−174475(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 1/02 H05K 3/00 H05K 3/28 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI H05K 3/46 H05K 3/46 Z (56) Reference JP-A-10-163588 (JP, A) JP-A-4-282884 ( JP, A) Actual development Sho 63-174475 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H05K 1/02 H05K 3/00 H05K 3/28

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 導体回路を施した基板上に、開口部を有
する半透明のソルダーレジスト層を形成し、前記ソルダ
ーレジスト層上に文字印字用インクで文字印字を行うビ
ルドアップ多層プリント配線板の製造方法において、 前記文字印字の文字を上層インク層と下層インク層の2
層で、該2層はコントラストが異なった色のインク層で
形成し、前記上層インク層形成工程は、前記下層インク
層の表面に、上層インク層を下層インク層と略同じ大き
さに形成し、プラズマ、レーザの照射または液体の吹付
けのいずれかで前記上層インク層を文字形状に除去して
下層インク層を現すことにより文字印字を行うことを特
徴とするビルドアップ多層プリント配線板の製造方法。
1. A build-up multilayer printed wiring board in which a semitransparent solder resist layer having an opening is formed on a substrate provided with a conductor circuit, and characters are printed on the solder resist layer with a character printing ink. In the manufacturing method, the characters of the character printing are divided into an upper ink layer and a lower ink layer.
Layers, the two layers are formed of ink layers having different contrasts, and in the upper ink layer forming step, the upper ink layer is formed on the surface of the lower ink layer to have substantially the same size as the lower ink layer. Of a build-up multi-layer printed wiring board characterized by performing character printing by removing the upper ink layer into a character shape to expose the lower ink layer by plasma, laser irradiation or liquid spraying. Method.
【請求項2】 前記文字印字用インクは、ガラス転移温
度が100〜180℃の範囲にある熱硬化性樹脂である
ことを特徴とする請求項1に記載のビルドアップ多層プ
リント配線板の製造方法。
2. The method for manufacturing a build-up multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the character printing ink is a thermosetting resin having a glass transition temperature in the range of 100 to 180 ° C. .
【請求項3】 前記文字印字の文字は、製品認識文字、
製造認識文字、工程認識文字の中から選ばれる少なくと
も1つであることを特徴とする請求項1又は2に記載の
ビルドアップ多層プリント配線板の製造方法。
3. The character of the character print is a product recognition character,
The method for manufacturing a build-up multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the method is at least one selected from manufacturing recognition characters and process recognition characters.
【請求項4】 前記2層のインク層の厚みは、それぞれ
10〜50μmの範囲で形成されることを特徴とする請
求項1ないし3のいずれか1に記載のビルドアップ多層
プリント配線板の製造方法。
4. The build-up multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein each of the two ink layers has a thickness of 10 to 50 μm. Method.
【請求項5】 前記2層のインク層が、少なくとも、 下層インク層形成工程と、 前記下層インク層の乾燥工程と、 上層インク層形成工程と、 前記上層インク層乾燥工程と、 を含む文字印字工程により形成されることを特徴とする
請求項1に記載のビルドアップ多層プリント配線板の製
造方法。
5. The character printing wherein the two ink layers include at least a lower ink layer forming step, a lower ink layer drying step, an upper ink layer forming step, and an upper ink layer drying step. The build-up multilayer printed wiring board manufacturing method according to claim 1, wherein the build-up multilayer printed wiring board is formed by steps.
【請求項6】 導体回路を施した基板上に、開口部を有
する半透明のソルダーレジスト層を形成し、前記ソルダ
ーレジスト層上に文字印字用インクで文字印字を行った
ビルドアップ多層プリント配線板において、 前記文字印字の文字がコントラストの異なった色の上層
インク層と下層インク層の2層で、かつ、上層インク層
を下層インク層と略同じ大きさに形成し、該文字印字の
文字が、上層インク層と前記上層インク層を文字形状に
除去することにより表れた下層インク層とからなること
を特徴とするビルドアップ多層プリント配線板。
6. A build-up multilayer printed wiring board in which a semi-transparent solder resist layer having openings is formed on a substrate provided with a conductor circuit, and characters are printed on the solder resist layer with a character printing ink. In the above, the character printed is formed of two layers of an upper ink layer and a lower ink layer having different contrasts, and the upper ink layer is formed in substantially the same size as the lower ink layer, and the character printed is A build-up multilayer printed wiring board comprising an upper ink layer and a lower ink layer which is formed by removing the upper ink layer in a letter shape.
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