JP3480823B2 - ガスセンサ及びその製造方法 - Google Patents
ガスセンサ及びその製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は、ヒータ兼用電極のコイ
ル内に中心電極を挿通し、金属酸化物半導体ビードに埋
設したガスセンサとその製造に関する。
ル内に中心電極を挿通し、金属酸化物半導体ビードに埋
設したガスセンサとその製造に関する。
【０００２】
【従来技術】出願人は、ヒータ兼用電極のコイル内に中
心電極を挿通し、これらを金属酸化物半導体のビードに
埋設し、中心電極の一端とコイルの両端をピンに取り付
けて３点支持したガスセンサを提案した（特開昭６１−
２６４２４６，実開昭６１−１８９２５６〜７）。しか
しながらこのようなセンサは、３点支持であるため機械
的強度が不十分で、コイルに対する中心電極の位置決め
が困難である。
心電極を挿通し、これらを金属酸化物半導体のビードに
埋設し、中心電極の一端とコイルの両端をピンに取り付
けて３点支持したガスセンサを提案した（特開昭６１−
２６４２４６，実開昭６１−１８９２５６〜７）。しか
しながらこのようなセンサは、３点支持であるため機械
的強度が不十分で、コイルに対する中心電極の位置決め
が困難である。
【０００３】
【発明の課題】この発明の基本的課題は、中心電極の位
置決めを容易にして、センサ抵抗などの特性のばらつき
を小さくし、かつリードとベースとの一体成型を可能に
し、さらに小さなベースを用い得るようにして、ベース
のコストを減少させることにある（請求項１〜３）。請
求項２の発明での追加の課題は、センサ本体を４点支持
することにより、機械的強度を増すことにある。請求項
３の発明での追加の課題は、センサ本体の機械的強度を
さらに改善することにある。この発明のガスセンサの製
造方法は、中心電極の位置決めを容易にすることにある
（請求項４）。
置決めを容易にして、センサ抵抗などの特性のばらつき
を小さくし、かつリードとベースとの一体成型を可能に
し、さらに小さなベースを用い得るようにして、ベース
のコストを減少させることにある（請求項１〜３）。請
求項２の発明での追加の課題は、センサ本体を４点支持
することにより、機械的強度を増すことにある。請求項
３の発明での追加の課題は、センサ本体の機械的強度を
さらに改善することにある。この発明のガスセンサの製
造方法は、中心電極の位置決めを容易にすることにある
（請求項４）。
【０００４】
【発明の構成】請求項１の発明は、ヒータ兼用電極のコ
イルに中心電極を挿通し、コイルと中心電極とを金属酸
化物半導体のビード中に埋設したセンサ本体を有するガ
スセンサにおいて、少なくとも３本のリードと凹部とを
有するベースを設けて、リードに前記コイルの両端付近
と中心電極の一端付近とを取り付けて、凹部上に前記ビ
ードを保持し、かつ少なくとも３本のリードが板状で、
ベース内で見て、ほぼ同一面内で平行に配置し、ベース
上で中央のリードを凹部と反対側に折り曲げ、両側のリ
ードを中央のリードと逆方向へ折り曲げたことを特徴と
する。
イルに中心電極を挿通し、コイルと中心電極とを金属酸
化物半導体のビード中に埋設したセンサ本体を有するガ
スセンサにおいて、少なくとも３本のリードと凹部とを
有するベースを設けて、リードに前記コイルの両端付近
と中心電極の一端付近とを取り付けて、凹部上に前記ビ
ードを保持し、かつ少なくとも３本のリードが板状で、
ベース内で見て、ほぼ同一面内で平行に配置し、ベース
上で中央のリードを凹部と反対側に折り曲げ、両側のリ
ードを中央のリードと逆方向へ折り曲げたことを特徴と
する。
【０００５】好ましくは、中心電極の他端付近をベース
または他のリードに取り付けたことを特徴とする。好ま
しくは消費電力を節減するため、中心電極の他端付近を
ベースの樹脂やガラスなどの非金属表面に取り付ける。
好ましくは、中心電極が、その両端付近に比べて、前記
コイル内で、ベース表面から見て、より高い位置にあ
る。
または他のリードに取り付けたことを特徴とする。好ま
しくは消費電力を節減するため、中心電極の他端付近を
ベースの樹脂やガラスなどの非金属表面に取り付ける。
好ましくは、中心電極が、その両端付近に比べて、前記
コイル内で、ベース表面から見て、より高い位置にあ
る。
【０００６】この発明のガスセンサの製造方法は、ヒー
タ兼用電極のコイルに中心電極を挿通し、コイルと中心
電極とを金属酸化物半導体のビード中に埋設したセンサ
本体を有するガスセンサの製造方法において、少なくと
も３本のリードと凹部とを有するベースを設けて、中心
電極の両端がベースの外側まで延びた状態で、中心電極
の両端付近をベースの両外側でチャックする工程を有す
ることを特徴とする。
タ兼用電極のコイルに中心電極を挿通し、コイルと中心
電極とを金属酸化物半導体のビード中に埋設したセンサ
本体を有するガスセンサの製造方法において、少なくと
も３本のリードと凹部とを有するベースを設けて、中心
電極の両端がベースの外側まで延びた状態で、中心電極
の両端付近をベースの両外側でチャックする工程を有す
ることを特徴とする。
【０００７】ガスセンサの製造では、チャック以外に、
コイルのリードへの取り付け、中心電極のリードなどへ
の取り付け、ビードの形成が必要であるが、チャックは
これらの適宜の工程で中心電極を適切な位置に保持する
ために行う。コイルのリードへの取り付け、中心電極の
リードなどへの取り付け、ビードの形成の各工程には固
有の順序があるのではない。例えば、中心電極をチャッ
クした状態でコイルを取り付け、ビードを形成し、次い
で中心電極を取り付けても良い。あるいはコイルを取り
付け、中心電極をチャックして位置決めし、この状態で
取り付け、次いでビードを形成しても良い。
コイルのリードへの取り付け、中心電極のリードなどへ
の取り付け、ビードの形成が必要であるが、チャックは
これらの適宜の工程で中心電極を適切な位置に保持する
ために行う。コイルのリードへの取り付け、中心電極の
リードなどへの取り付け、ビードの形成の各工程には固
有の順序があるのではない。例えば、中心電極をチャッ
クした状態でコイルを取り付け、ビードを形成し、次い
で中心電極を取り付けても良い。あるいはコイルを取り
付け、中心電極をチャックして位置決めし、この状態で
取り付け、次いでビードを形成しても良い。
【０００８】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、ベースに設
けた凹部上にビードを保持するので、中心電極をベース
の表面付近の高さに配置でき、ベースや他のリードに中
心電極の他端付近を取り付けられる。また中心電極をベ
ースの両外側まで引き出した状態でチャックできるの
で、コイルなどに対する中心電極の位置決めが容易にな
る。コイルに対する中心電極の位置が揃えば、センサ抵
抗のばらつきなどの特性の分散を小さくできる。そして
３本のリードが板状に、ベース内でほぼ同一平面内に平
行に配置されているので、リードを金型などにセットし
た状態でベースを成型でき、安価なベースを用いうる。
また凹部と中央のリードとが逆方向に配置されているの
で、ベースの表面（頂面）を直径方向に沿って広い範囲
で用いることができ、小さなベースを使うことができ
る。
けた凹部上にビードを保持するので、中心電極をベース
の表面付近の高さに配置でき、ベースや他のリードに中
心電極の他端付近を取り付けられる。また中心電極をベ
ースの両外側まで引き出した状態でチャックできるの
で、コイルなどに対する中心電極の位置決めが容易にな
る。コイルに対する中心電極の位置が揃えば、センサ抵
抗のばらつきなどの特性の分散を小さくできる。そして
３本のリードが板状に、ベース内でほぼ同一平面内に平
行に配置されているので、リードを金型などにセットし
た状態でベースを成型でき、安価なベースを用いうる。
また凹部と中央のリードとが逆方向に配置されているの
で、ベースの表面（頂面）を直径方向に沿って広い範囲
で用いることができ、小さなベースを使うことができ
る。
【０００９】請求項２の発明では、センサ本体を４点で
ベースに支持するので、機械的強度が増す。特にここで
中心電極の他端付近をベースに取り付けると、ベースは
リードに比べて熱伝導率が小さいので、消費電力が小さ
くなる。
ベースに支持するので、機械的強度が増す。特にここで
中心電極の他端付近をベースに取り付けると、ベースは
リードに比べて熱伝導率が小さいので、消費電力が小さ
くなる。
【００１０】発明者はこの種のセンサの場合、センサの
落下テストなどでコイルが断線することはほとんどない
が、中心電極はしばしば断線することを見出した。そこ
で請求項３の発明では、コイル内と取付部とで中心電極
の高さ位置を異なるようにし、この部分のゆとりを使っ
て落下などによる中心電極の断線を防止できる。
落下テストなどでコイルが断線することはほとんどない
が、中心電極はしばしば断線することを見出した。そこ
で請求項３の発明では、コイル内と取付部とで中心電極
の高さ位置を異なるようにし、この部分のゆとりを使っ
て落下などによる中心電極の断線を防止できる。
【００１１】この発明のガスセンサの製造方法では、中
心電極をベースの両外側でチャックして位置決めできる
ので、コイルなどに対する中心電極の位置決めが容易に
なる。このため、センサ特性のばらつきを減らすことが
できる。
心電極をベースの両外側でチャックして位置決めできる
ので、コイルなどに対する中心電極の位置決めが容易に
なる。このため、センサ特性のばらつきを減らすことが
できる。
【００１２】
【実施例】図１〜図５に実施例を示し、図１はガスセン
サの要部の平面図で、図２は側面図である。２はガスセ
ンサ、４はそのセンサ本体で、ヒータ兼用電極のコイル
６の中心部に中心電極８を挿通し、コイル６と中心電極
８とを、ＳｎＯ2などのガスにより抵抗値が変化する金
属酸化物半導体のビード１０に埋設したものである。金
属酸化物半導体にはＳｎＯ2に限らず、ＺｎＯやＩｎ2Ｏ
3，ＷＯ3などでも良い。またコイル６や中心電極８の材
質は、熱伝導率が高いため消費電力が大きくなるが溶接
などが容易なＰｔや、熱伝導率が小さく消費電力の小さ
な貴金属合金線が好ましく、例えばＰｔ−Ｗ、Ｐｔ−Ａ
ｕ、Ａｕ−Ｐｄ−Ｍｏ、Ｐｔ−ＺＧＳ（ジルコニアでＰ
ｔの結晶粒界を安泰化した合金）とする。
サの要部の平面図で、図２は側面図である。２はガスセ
ンサ、４はそのセンサ本体で、ヒータ兼用電極のコイル
６の中心部に中心電極８を挿通し、コイル６と中心電極
８とを、ＳｎＯ2などのガスにより抵抗値が変化する金
属酸化物半導体のビード１０に埋設したものである。金
属酸化物半導体にはＳｎＯ2に限らず、ＺｎＯやＩｎ2Ｏ
3，ＷＯ3などでも良い。またコイル６や中心電極８の材
質は、熱伝導率が高いため消費電力が大きくなるが溶接
などが容易なＰｔや、熱伝導率が小さく消費電力の小さ
な貴金属合金線が好ましく、例えばＰｔ−Ｗ、Ｐｔ−Ａ
ｕ、Ａｕ−Ｐｄ−Ｍｏ、Ｐｔ−ＺＧＳ（ジルコニアでＰ
ｔの結晶粒界を安泰化した合金）とする。
【００１３】１２はベースで、ここでは合成樹脂ベース
を用いる例を示すが、ガラスベースでも良い。１４，１
５，１６は少なくとも３本の金属リードで、好ましくは
板状とし、ベース１２内で見てほぼ同一平面内で平行に
配置され、これらの足の部分２４，２５，２６がベース
１２を貫通するように、ベース１２の成型時に一体的に
設ける。図２に示すように、３つの足２４〜２６は同一
面内で揃って平行に設け、成型時に金型に平行にセット
してベース１２を成型する。１８は凹部で、ベース成型
時に設け、サイズは例えば１ｍｍ幅×２ｍｍ長×１ｍｍ
深さなどとする。
を用いる例を示すが、ガラスベースでも良い。１４，１
５，１６は少なくとも３本の金属リードで、好ましくは
板状とし、ベース１２内で見てほぼ同一平面内で平行に
配置され、これらの足の部分２４，２５，２６がベース
１２を貫通するように、ベース１２の成型時に一体的に
設ける。図２に示すように、３つの足２４〜２６は同一
面内で揃って平行に設け、成型時に金型に平行にセット
してベース１２を成型する。１８は凹部で、ベース成型
時に設け、サイズは例えば１ｍｍ幅×２ｍｍ長×１ｍｍ
深さなどとする。
【００１４】ベース１２の表面に底部が接するように、
３本のリード１４〜１６の内、中央のリード１５を凹部
１８と反対側に折り曲げ、両側のリード１４，１６を中
央のリード１５と、逆方向へ折り曲げ、その縁を凹部１
８と平行にする。このようにすると、ベース１２の直径
方向の長さを有効に用いることができ、小さなベースを
用いることができる。
３本のリード１４〜１６の内、中央のリード１５を凹部
１８と反対側に折り曲げ、両側のリード１４，１６を中
央のリード１５と、逆方向へ折り曲げ、その縁を凹部１
８と平行にする。このようにすると、ベース１２の直径
方向の長さを有効に用いることができ、小さなベースを
用いることができる。
【００１５】２０〜２３はコイル６や中心電極８の取り
付け部で、このうち２０〜２２は通常のパラレルギャッ
プ溶接で、リード１４〜１６にコイル６の両端付近と中
心電極８の一端付近を取り付けたものである。２３は、
パラレルギャップの溶接電流による熱を中心電極８の他
端付近に加えて周囲のベースを溶かし、中心電極８の他
端付近をベースに溶着したものである。これらにより凹
部１８にビード１０を保持させる。また中心電極８の他
端付近は、上記３本のリードに追加して設けた他のリー
ドに取り付けても良い。取付は必ずしも溶接でなくても
よく、例えば超音波熱圧着などでも良く、取り付け部２
３は接着剤による取り付けでも良い。図１ではキャップ
を省略しているが、実際に使用する際には、図２の鎖線
で示したキャップ３０を用いる。３２は開口で、この部
分に防爆用の金網などを設ける。
付け部で、このうち２０〜２２は通常のパラレルギャッ
プ溶接で、リード１４〜１６にコイル６の両端付近と中
心電極８の一端付近を取り付けたものである。２３は、
パラレルギャップの溶接電流による熱を中心電極８の他
端付近に加えて周囲のベースを溶かし、中心電極８の他
端付近をベースに溶着したものである。これらにより凹
部１８にビード１０を保持させる。また中心電極８の他
端付近は、上記３本のリードに追加して設けた他のリー
ドに取り付けても良い。取付は必ずしも溶接でなくても
よく、例えば超音波熱圧着などでも良く、取り付け部２
３は接着剤による取り付けでも良い。図１ではキャップ
を省略しているが、実際に使用する際には、図２の鎖線
で示したキャップ３０を用いる。３２は開口で、この部
分に防爆用の金網などを設ける。
【００１６】図３に示すように、コイル６の両端付近を
取り付け部２０，２１でリード１４，１６に取り付け
て、ビード１０を凹部１８上に保持する。ベースに凹部
１８を設けたので、コイル６をベース表面上の低い位置
に保持できる。そしてコイル内に中心電極８を挿通する
と、中心電極をベースの表面付近の高さに配置でき、中
心電極のベースへの取り付けが可能となる。図４に示す
ように、ビード１０内で、即ちコイル６内で、中心電極
８をベース１２の表面からほぼ高さＨだけ上側にリフト
させる。これによって中心電極８に遊びを持たせ。すな
わち中心電極８を、その両端付近に比べて、コイル６内
でベース表面から見てＨだけ高い位置に保持する。
取り付け部２０，２１でリード１４，１６に取り付け
て、ビード１０を凹部１８上に保持する。ベースに凹部
１８を設けたので、コイル６をベース表面上の低い位置
に保持できる。そしてコイル内に中心電極８を挿通する
と、中心電極をベースの表面付近の高さに配置でき、中
心電極のベースへの取り付けが可能となる。図４に示す
ように、ビード１０内で、即ちコイル６内で、中心電極
８をベース１２の表面からほぼ高さＨだけ上側にリフト
させる。これによって中心電極８に遊びを持たせ。すな
わち中心電極８を、その両端付近に比べて、コイル６内
でベース表面から見てＨだけ高い位置に保持する。
【００１７】図５により、センサ２の製造方法を説明す
る。まず同一平面内で平行に配置した３枚のリード１４
〜１６の３つの足２４〜２６を、図示しないタイバーに
連結し、図５の左右からの金型と、凹部１８を設けるた
めの金型との計３枚の金型を用いて、樹脂などでベース
１２をリード１４〜１６と一体に成型する。そして中央
のリード１５を凹部１８と反対側に折り曲げ、両側のリ
ード１４，１６を中央のリード１５と逆方向に折り曲
げ、各リードの底面がベース１２の表面にほぼ接するよ
うにする。なおリード１４〜１６の折り曲げは、成型前
でも良く、成型後でもどちらでも良い。
る。まず同一平面内で平行に配置した３枚のリード１４
〜１６の３つの足２４〜２６を、図示しないタイバーに
連結し、図５の左右からの金型と、凹部１８を設けるた
めの金型との計３枚の金型を用いて、樹脂などでベース
１２をリード１４〜１６と一体に成型する。そして中央
のリード１５を凹部１８と反対側に折り曲げ、両側のリ
ード１４，１６を中央のリード１５と逆方向に折り曲
げ、各リードの底面がベース１２の表面にほぼ接するよ
うにする。なおリード１４〜１６の折り曲げは、成型前
でも良く、成型後でもどちらでも良い。
【００１８】続いてコイル６をリード１４と１６とに、
取り付け部２０と２１でパラレルギャップ溶接により取
り付ける。次いで中心電極８をコイル６の中心部に挿通
し、ベース１２の両外側からチャック３４，３５でチャ
ックして位置決めし、取り付け部２２，２３でパラレル
ギャップ溶接により取り付ける。その後ビード１０を成
型し、焼結する。あるいは逆に、中心電極８をチャック
３４，３５でチャックしたままビード１０を形成し、そ
の後に取り付け部２２，２３で取り付けても良い。
取り付け部２０と２１でパラレルギャップ溶接により取
り付ける。次いで中心電極８をコイル６の中心部に挿通
し、ベース１２の両外側からチャック３４，３５でチャ
ックして位置決めし、取り付け部２２，２３でパラレル
ギャップ溶接により取り付ける。その後ビード１０を成
型し、焼結する。あるいは逆に、中心電極８をチャック
３４，３５でチャックしたままビード１０を形成し、そ
の後に取り付け部２２，２３で取り付けても良い。
【００１９】この発明のセンサの製造方法では、リード
とベースとを一体成型できるので、ベース作製のコスト
を下げられる。またベースの表面を有効に利用できるの
で、小さなベースを使用できる。さらに中心電極８を両
側からチャックして、位置を微調整できるので、中心電
極の位置決めが容易になり、コイル６の中心に中心電極
８を配置できる。
とベースとを一体成型できるので、ベース作製のコスト
を下げられる。またベースの表面を有効に利用できるの
で、小さなベースを使用できる。さらに中心電極８を両
側からチャックして、位置を微調整できるので、中心電
極の位置決めが容易になり、コイル６の中心に中心電極
８を配置できる。
【００２０】図６にセンサ本体に関する変形例を示す。
コイル６と取り付け部２０，２１との間に自然に屈曲し
た部分が生じるので、ここで振動や衝撃が吸収され、コ
イル６が断線することはほとんどなかった。これに対し
て断線は中心電極８に集中した。従って図６のように、
コイル６から取り付け部２０，２１への引き出し部３
６，３７がほぼ直線に近いものも用いうる。
コイル６と取り付け部２０，２１との間に自然に屈曲し
た部分が生じるので、ここで振動や衝撃が吸収され、コ
イル６が断線することはほとんどなかった。これに対し
て断線は中心電極８に集中した。従って図６のように、
コイル６から取り付け部２０，２１への引き出し部３
６，３７がほぼ直線に近いものも用いうる。
【００２１】図７にベースに関する変形例を示す。この
変形例では、樹脂製のベース４０に３本の金属ピン４２
〜４４を打ち込み、同様に凹部１８を設け、他は実施例
と同様にする。ただし図１〜図５のベース１２に比べる
と、ピン４２〜４４の打ち込みを要する分だけ、コスト
が増加する。
変形例では、樹脂製のベース４０に３本の金属ピン４２
〜４４を打ち込み、同様に凹部１８を設け、他は実施例
と同様にする。ただし図１〜図５のベース１２に比べる
と、ピン４２〜４４の打ち込みを要する分だけ、コスト
が増加する。
【００２２】
【試験例】ガスセンサ２の強度を調べるため、落下試験
を行った。ここで用いたセンサは、コイル６の内径が１
５０μｍで、コイル６の長さも１５０μｍ、ビーズ１０
はほぼ球状で直径が約２５０μｍとした。そして図５に
示すように、コイル６の中心に挿通した中心電極８をチ
ャックした後、取り付け部２２〜２３で取り付けた。中
心電極８は上記のようにベースより高さＨだけリフトさ
せ、遊びを持たせた。中心電極８の取り付け後に、ビー
ド１０として、ＳｎＯ2の粉体をペースト化し、塗布乾
燥し、６００〜７５０℃で焼結した。中心電極８やコイ
ル６は、いずれも直径１５μｍのＰｔ−Ｗ線である。
を行った。ここで用いたセンサは、コイル６の内径が１
５０μｍで、コイル６の長さも１５０μｍ、ビーズ１０
はほぼ球状で直径が約２５０μｍとした。そして図５に
示すように、コイル６の中心に挿通した中心電極８をチ
ャックした後、取り付け部２２〜２３で取り付けた。中
心電極８は上記のようにベースより高さＨだけリフトさ
せ、遊びを持たせた。中心電極８の取り付け後に、ビー
ド１０として、ＳｎＯ2の粉体をペースト化し、塗布乾
燥し、６００〜７５０℃で焼結した。中心電極８やコイ
ル６は、いずれも直径１５μｍのＰｔ−Ｗ線である。
【００２３】このようにして製造したガスセンサ２は、
５００℃の定常温度に加熱する際の消費電力が約６０ｍ
Ｗであった。ここで取り付け部２３をベース上ではな
く、金属上に取り付けると、消費電力が３ｍＷ増加し
た。ただしこれは、中心電極８に熱伝導率の小さなＰｔ
−Ｗ線を用いたからで、同径のＰｔ線を中心電極とした
場合、取り付け部２３を金属上とすると、消費電力は約
１０ｍＷ増加した。このように取り付け部２３を樹脂製
のベースに取り付け、ヒーターの熱の逃げを小さくする
ことで、センサの消費電力を小さくできた。
５００℃の定常温度に加熱する際の消費電力が約６０ｍ
Ｗであった。ここで取り付け部２３をベース上ではな
く、金属上に取り付けると、消費電力が３ｍＷ増加し
た。ただしこれは、中心電極８に熱伝導率の小さなＰｔ
−Ｗ線を用いたからで、同径のＰｔ線を中心電極とした
場合、取り付け部２３を金属上とすると、消費電力は約
１０ｍＷ増加した。このように取り付け部２３を樹脂製
のベースに取り付け、ヒーターの熱の逃げを小さくする
ことで、センサの消費電力を小さくできた。
【００２４】落下試験では、各１２個のセンサ２に金属
キャップを被せ、高さ１ｍからコンクリートの床に３０
回落下させて行った。そして落下後のセンサを検査し、
中心電極８に断線が生じているもの、コイル６が変形し
ているもの、ビード１０に欠けが生じているものを集計
した。
キャップを被せ、高さ１ｍからコンクリートの床に３０
回落下させて行った。そして落下後のセンサを検査し、
中心電極８に断線が生じているもの、コイル６が変形し
ているもの、ビード１０に欠けが生じているものを集計
した。
【００２５】表１に落下試験の結果を示す。ここで比較
例１は、取り付け部２３を取り付けずに浮かして３点支
持としたものである。比較例２は、同じく取り付け部２
３を浮かし、さらにコイル６内の中心電極の位置とリー
ド１５上での中心電極の高さとを揃えたものである。
例１は、取り付け部２３を取り付けずに浮かして３点支
持としたものである。比較例２は、同じく取り付け部２
３を浮かし、さらにコイル６内の中心電極の位置とリー
ド１５上での中心電極の高さとを揃えたものである。
【００２６】
【表１】
落下試験試料 コイル変形 ビード欠け 中心電極切断
実施例 （４点支持） １ １ ０
比較例１（３点支持） ８ ４ ０
比較例２（３点支持かつ ７ ３ ２
中心電極のリフト無し）
＊ 試料数はいずれも１２ケ、中心電極／コイルともＰｔ−Ｗ１５μｍで、１ｍ
の高さからキャップ付きのガスセンサをコンクリート床に３０回落下．
【００２７】表１に示すように、比較例１、２ではコイ
ル変形及びビード欠けが多く生じ、比較例２では中心電
極の切断も生じた。これに対しこの発明の実施例では、
コイル変形並びにビード欠けは共に僅かであり、中心電
極の切断は起こらなかった。
ル変形及びビード欠けが多く生じ、比較例２では中心電
極の切断も生じた。これに対しこの発明の実施例では、
コイル変形並びにビード欠けは共に僅かであり、中心電
極の切断は起こらなかった。
【図１】 実施例のガスセンサの要部平面図
【図２】 実施例のガスセンサの要部側面図
【図３】 凹部上でのセンサ本体を示す断面図
【図４】 凹部上でのセンサ本体を示す断面図
【図５】 実施例での中心電極のチャックを示す平面
図
図
【図６】 変形例でのセンサの取り付けを示す図
【図７】 変形例のベースの平面図
【符号の説明】
２ ガスセンサ
４ センサ本体
６ コイル
８ 中心電極
１０ ビード
１２，４０ ベース
１４，１５，１６ リード
１８ 凹部
２０〜２３ 取り付け部
２４，２５，２６ 足
３０ キャップ
３２ 開口
３４，３５ チャック
３６，３７ 引き出し部
４２，４３，４４ ピン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 岸本 穣
箕面市船場西１丁目５番３号 フィガロ
技研株式会社内
(56)参考文献 特開 昭61−264146（ＪＰ，Ａ)
特開2000−193623（ＪＰ，Ａ)
特開2000−221152（ＪＰ，Ａ)
特開2000−356613（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−142356（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−15750（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−264865（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−198644（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−189257（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭61−189256（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 27/12
Claims (4)
- 【請求項１】 ヒータ兼用電極のコイルに中心電極を挿
通し、前記コイルと前記中心電極とを金属酸化物半導体
のビード中に埋設したセンサ本体を有するガスセンサに
おいて、 少なくとも３本のリードと凹部とを有するベースを設け
て、前記リードに前記コイルの両端付近と前記中心電極
の一端付近とを取り付けて、前記凹部上に前記ビードを
保持し、かつ前記少なくとも３本のリードが板状で、ベ
ース内で見て、ほぼ同一面内で平行に配置され、ベース
上で中央のリードが前記凹部と反対側に折り曲げられ、
両側のリードが中央のリードと逆方向へ折り曲げられて
いることを特徴とするガスセンサ。 - 【請求項２】 前記中心電極の他端付近をベースまたは
他のリードに取り付けたことを特徴とする、請求項１の
ガスセンサ。 - 【請求項３】 前記中心電極が、その両端付近に比べ
て、前記コイル内で、ベース表面から見て、より高い位
置にあることを特徴とする、請求項１または２のガスセ
ンサ。 - 【請求項４】 ヒータ兼用電極のコイルに中心電極を挿
通し、前記コイルと前記中心電極とを金属酸化物半導体
のビード中に埋設したセンサ本体を有するガスセンサの
製造方法において、 少なくとも３本のリードと凹部とを有するベースを設け
て、前記中心電極の両端がベースの外側まで延びた状態
で、中心電極の両端付近をベースの両外側でチャックす
る工程を有することを特徴とする、ガスセンサの製造方
法。
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|---|---|---|---|
| JP31204299A JP3480823B2 (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | ガスセンサ及びその製造方法 |
| CNB001334395A CN1213293C (zh) | 1999-11-02 | 2000-11-01 | 气体传感器及其制造方法 |
| US09/702,698 US6565812B1 (en) | 1999-11-02 | 2000-11-01 | Gas sensor and method for producing it |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP31204299A JP3480823B2 (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | ガスセンサ及びその製造方法 |
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| JP3480823B2 true JP3480823B2 (ja) | 2003-12-22 |
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Family Applications (1)
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1999
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-
2000
- 2000-11-01 CN CNB001334395A patent/CN1213293C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-01 US US09/702,698 patent/US6565812B1/en not_active Expired - Lifetime
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