JP3465650B2 - 導電性ペーストの吐出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、基板に導電性ペー
ストを塗布するために使用される導電性ペーストの吐出
装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】半導体チップなどの電子部品をプリント
基板やリードフレームなどに接合する方法として、樹脂
接着剤が多用される。樹脂接着剤の種類として樹脂中に
金属粉など導電性の成分を添加して接合部に導電性を持
たせた導電ペーストが知られている。導電ペーストは、
接着剤としての機能を有するとともに、接合部を電気的
に導通させることができるので、半導体素子を基板に固
着させるとともに基板の電極と導通させる目的などに使
用される。 【０００３】この導電ペーストは、主剤としてのエポキ
シ樹脂、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤および硬化促
進剤などの樹脂接着剤としての成分に、導電性を有する
金属粉を混入させたものである。金属粉としては銀粉が
多用され、導電性を向上させるために粒状やフレーク状
などの各種形状の銀粉を混ぜ合わせて用いられる。そし
て、この導電性ペーストを塗布する塗布装置には、導電
性ペーストを吐出する吐出装置が備えられており、従来
よりプランジャの往復動によってシリンダ室内に導電性
ペーストを吸入し吐出するプランジャ式の吐出装置が知
られている。 【０００４】このプランジャ式吐出装置は、シリンダと
プランジャの摺動面を密封する密封手段を備えている。
上記導電性ペースト用のプランジャとシリンダ内面の密
封手段としては、２つの摺動面が相互に直接コンタクト
しない非接触状態のままで密封目的が達成されるよう、
摺動隙間を所定値以内に設定するクリアランスシールが
用いられる場合がある。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ク
リアランスシールを導電性ペーストの吐出用として用い
た場合には、以下のような問題点があった。すなわち、
クリアランスシールに採用される摺動隙間はきわめて狭
いものであるため、導電性ペーストに含有される銀粉な
どのフィラー成分が摺動隙間内で分離し、溶剤成分のみ
が摺動隙間から漏出してフィラー成分が摺動隙間内に残
留固着する結果、プランジャの動作異常を生じやすく、
正常な吐出が阻害されるとともに、固着物の除去などの
保守作業に手間を要するという問題点があった。 【０００６】そこで本発明は、フィラー成分の固着を発
生せず、保守が容易な導電性ペーストの吐出装置を提供
することを目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ペ
ーストの吐出装置は、粘性体と導電性のフィラー成分と
を混合した導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの
吐出装置であって、シリンダ室と、このシリンダ室に挿
入されたプランジャと、このプランジャを往復動させる
駆動手段と、前記シリンダ室と連通し導電性ペーストを
供給する供給ポートおよび導電性ペーストを吐出する吐
出ポートと、前記シリンダ室の内周面と前記プランジャ
外周面との隙間を密封する接触式の密封手段とを備え、
且つ前記シリンダ室が形成されたシリンダブロックはポ
ートブロックの上面に沿って密閉状態で水平方向に摺動
自在であり、この摺動により前記ポートブロックに形成
された前記供給ポートまたは前記吐出ポート３０ｂの何
れかと連通するようになっており、前記シリンダ室と前
記プランジャとの摺動隙間は前記フィラー成分の大きさ
に基づいて設定されている。 【０００８】本発明によれば、シリンダ室の内周面とプ
ランジャ外周面を密封する密封手段に接触式シールを採
用し、シリンダ室とプランジャとの摺動隙間をフィラー
成分の大きさに基づいて設定することにより、摺動隙間
内でフィラー成分が残留固着する不具合が発生しない。 【０００９】 【発明の実施の形態】（実施の形態１） 図１は本発明の実施の形態１のダイボンディング装置の
斜視図、図２は同ペースト吐出装置の断面図、図３は同
ペースト吐出装置の拡大断面図、図４は同ペースト吐出
装置の動作説明図、図５は同ペースト吐出装置の動作タ
イミングを示すタイミングチャートである。 【００１０】まず図１を参照してダイボンディング装置
の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウ
ェハシート２が図示しない保持テーブルによって保持さ
れている。ウェハシート２には多数の半導体素子である
チップ３が貼着されている。チップ供給部１の側方には
搬送路５が配設されており、搬送路５は基板であるリー
ドフレーム６を搬送し、ペースト塗布位置およびボンデ
ィング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ
供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されて
おり、ボンディングヘッド４は図示しない移動機構によ
り水平移動および上下動する。 【００１１】搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配
設されている。ペースト塗布部９は移動テーブル１０に
Ｌ型のブラケット１５を介して塗布ノズル１８を装着し
て構成されている。塗布ノズル１８は、不動のプレート
２１上に固定配置されたペースト吐出装置１６と可撓性
の管部材であるチューブ１７によって連結されている。 【００１２】ペースト吐出装置１６は、さらにチューブ
２０を介してシリンジ１９と連結されている。シリンジ
１９内にはエポキシ樹脂などの粘性体と銀粉などの導電
性のフィラー成分とを混合した導電性ペースト（以下、
単に「ペースト」と略記する）が貯溜されており、ペー
スト吐出装置１６を駆動することにより、シリンジ１９
内のペーストはペースト吐出装置１６によって吸入・吐
出され、チューブ１７を介して塗布ノズル１８へ圧送さ
れる。そして塗布ノズル１８の下端部に設けられた塗布
口より吐出されてリードフレーム６の塗布エリア６ａに
塗布される。 【００１３】移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上
にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその上にＬ型の
ブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に
結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テー
ブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１
１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えてい
る。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モ
ータ１４ａを駆動することにより、塗布ノズル１８はリ
ードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動す
る。したがって、移動テーブル１０は塗布ノズル１８を
リードフレーム６に対して相対的に移動させる移動手段
となっている。 【００１４】リードフレーム６上面のチップ３の搭載位
置は、ペースト７が塗布される塗布エリア６ａとなって
いる。塗布ノズル１８を塗布エリア６ａ内に位置させ、
塗布ノズル１８からペースト７を吐出させながら塗布ノ
ズル１８を移動させることにより、塗布エリア６ａ内に
は所定の描画パターンでチップボンディング用のペース
ト７が描画塗布される。 【００１５】このペースト塗布後、リードフレーム６は
搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めさ
れる。そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７
上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチッ
プ供給部１からピックアップされたチップ３がボンディ
ングされる。 【００１６】次に図２を参照してペースト吐出装置１６
の構造について説明する。図２において、ペースト吐出
装置１６は、ペースト吐出用の駆動機構を収めた駆動ボ
ックス４０の下端部にポートブロック３０を連結した構
成となっている。ポートブロック３０（第１のブロッ
ク）にはペーストの供給ポート３０ａおよび吐出ポート
３０ｂが設けられている。 【００１７】供給ポート３０ａはチューブ２０を介して
シリンジ１９と連結されており、吐出ポート３０ｂはチ
ューブ１７を介して塗布ノズル１８と連結されている。
そして供給ポート３０ａ、吐出ポート３０ｂはともにポ
ートブロック３０の内部で２つに分岐してそれぞれポー
トブロック３０の上面に開口した２つの開口３０ｃ、お
よび２つの開口３０ｄに連通している（図４参照）。 【００１８】ポートブロック３０の上面には、シリンダ
ブロック３１Ａ，３１Ｂ（第２のブロック）が配設され
ている。ここで、シリンダブロック３１Ａ，３１Ｂは同
一構造であり、それぞれのシリンダブロック毎に同様の
ペースト吐出用の駆動機構を備えている。以下に述べる
シリンダブロック３１および付随機構部の説明では、区
別する必要がある場合を除いて、Ａ，Ｂの添字を省略す
る。 【００１９】シリンダブロック３１は、ポートブロック
３０の上面に沿って密接状態で水平方向に摺動自在とな
っており、シリンダブロック３１を上下方向に貫通して
設けられたシリンダ室３１ａの下端部は、シリンダブロ
ック３１のポートブロック３０上での相対位置により、
開口３１ｃ，３１ｄのいずれかを介して供給ポート３０
ａまたは吐出ポート３０ｂの何れかと連通する。 【００２０】プランジャ保持部材３３にはシリンダ３８
のロッド３８ａが結合されており、シリンダ３８を往復
駆動することにより、プランジャ保持部材３３に固着さ
れたシリンダブロック３１はポートブロック３０の上面
に沿ってスライドする。このスライド移動により、シリ
ンダ室３１ａのポートブロック３０上での相対位置が切
り換えられる。 【００２１】シリンダ室３１ａの上端部のシールハウジ
ング３１ｂ（図３参照）には、密封手段としてのシール
部材３２が装着されており、シール部材３２にはプラン
ジャ３５が挿通している。シール部材３２は、シリンダ
室３１ａ内のペースト７がプランジャ３５の外周面とシ
リンダ室３１ａの内周面との隙間を伝って上方へ漏出す
るのを防止する。 【００２２】シリンダブロック３１の上面にはブロック
状のプランジャ保持部３３が固着されている。プランジ
ャ保持部３３には上下方向の摺動孔３３ａが設けられて
おり、摺動孔３３ａ内には摺動部３４が嵌合している。
摺動部３４の上部および下部は、ローラ部材３７が装着
されたシャフト部３４ａおよびプランジャ３５とそれぞ
れ一体となっており、摺動部３４はシャフト部３４ａお
よびプランジャ３５と共にコイルバネ３６によって上方
に付勢されている。 【００２３】駆動ボックス４０の内側にはガイドレール
４１Ａ，４１Ｂが上下方向に配設されており、ガイドレ
ール４１Ａ，４１Ｂにスライド自在に装着されたスライ
ダ４２Ａ，４２Ｂには押当部材４３Ａ，４３Ｂが水平方
向に固着されている。押当部材４３Ａ，４３Ｂに固着さ
れたナット４４Ａ，４４Ｂには上下方向に送りねじ４５
Ａ，４５Ｂが螺入しており、送りねじ４５Ａ，４５Ｂを
モータ４６Ａ，４６Ｂで回転駆動することにより、押当
部材４３Ａ，４３Ｂは上下動する。 【００２４】押当部材４３Ａ，４３Ｂが下降してローラ
部材３７Ａ，３７Ｂに当接すると、シャフト部材３４ａ
を押し下げ、プランジャ３５はシリンダ室３１ａ内で下
方に移動する。シリンダ室３１ａ内にペースト７が吸入
された状態でこの下降動作を行うことにより、シリンダ
室３１ａ内のペースト７は吐出ポート３０ｂより吐出さ
れる。 【００２５】また、押当部材４３が上昇するとコイルバ
ネ３６の付勢力によって摺動部３４が押し上げられ、こ
れによりプランジャ３５はシリンダ室３１ａ内で上方に
移動する。これにより、シリンダ室３１ａ内には供給ポ
ート３０ａを介してペーストが吸入される。 【００２６】したがって、ナット４４Ａ，４４Ｂ、送り
ねじ４５Ａ，４５Ｂ、モータ４６Ａ，４６Ｂは、押当部
材４３Ａ，４３Ｂを上下動させてプランジャ３５Ａ，３
５Ｂをシリンダ室３１ａ内で往復動させることによりペ
ースト７の吸入・吐出を行うプランジャ駆動手段となっ
ている。 【００２７】図３はプランジャ３５のシール部を示して
いる。シリンダブロック３１に設けられたシリンダ室３
１ａの上部にはシールハウジング３１ｂが設けられてお
り、シールハウジング３１ｂの内部にはシール部材３２
が装着されている。シール部材３２は略４角断面のリン
グ状部品であり、ＮＢＲなどのエラストマーや樹脂など
より成る。シール部材３２のリップ部がプランジャ３５
の円周面に押圧された状態で接触することにより、プラ
ンジャ３５のシリンダ室３１ａ内での摺動部が密封され
る。 【００２８】ここでシリンダ室３１ａ内周面とプランジ
ャ３５の外周面との間の摺動隙間について説明する。図
３に示すシリンダ室３１ａの内径Ｄとプランジャ３５の
外径ｄは、直径隙間で５〜３０μｍの範囲となるように
設定されている。ここでこの直径隙間の設定は、ペース
ト７に含有されるフィラー成分の大きさのデータに基づ
いてなされている。 【００２９】すなわち、ペースト吐出時にフィラー成分
が上記隙間内で固着することのないよう含まれるフィラ
ーの最大寸法よりも大きな隙間に設定される。このよう
な隙間設定を行うことにより、粒子状やフレーク状など
各種形状の銀粉などの固形のフィラー成分を含有する導
電性のペースト７を吸入・吐出する動作において、フィ
ラー成分が隙間内で固着することにより生じる不具合が
ない。従って、固着物の除去などの保守作業を頻繁に行
う必要がない。 【００３０】このペースト吐出装置は上記のように構成
されており、以下ペースト吐出動作について説明する。
図５はペースト吐出装置１６の吸入・吐出動作をプラン
ジャ３５の上昇・下降動作における速度パターンによっ
て表したものである。グラフＡ，Ｂはそれぞれシリンダ
ブロック３１Ａ，３１Ｂにおけるプランジャ３５Ａ，３
５Ｂの昇降動作の速度パターンを示している。図５より
判るように、プランジャ３５Ａ，３５Ｂは交互に上昇・
下降動作を繰り返しており、全体的にみればプランジャ
３５Ａによる吐出が行われている間にプランジャ３５Ｂ
は吸引動作を行う動作パターンとなっている。 【００３１】図５中に示すタイミング（１），（２），
（３）は、シリンダ３８を駆動してシリンダブロック３
１Ａ（タイミング（１），（２））、シリンダブロック
３１Ｂ（タイミング（３））をポートブロック３０上で
スライドさせるタイミングを示している。すなわちタイ
ミング（１）では、シリンダブロック３５Ａの移動によ
りシリンダ室３１ａは吐出ポート３０ｂから供給ポート
３０ａへ移動し、タイミング（２）ではシリンダブロッ
ク３５Ａのシリンダ室３１ａは逆に供給ポート３０ａか
ら吐出ポート３０ｂへ移動する。一方、タイミング
（３）では、シリンダブロック３５Ａの移動により、シ
リンダ室３１ａは吐出ポート３０ｂから供給ポート３０
ａへ移動する。 【００３２】この移動に際し、プランジャ３５Ａ，３５
Ｂによる吐出動作が部分的にオーバラップするように移
動タイミングが設定されている。すなわち、プランジャ
３５Ａの下降速度の減速開始のタイミングと、プランジ
ャ３５Ｂの下降速度の加速開始のタイミングが同期する
ように設定されている。これによりペースト吐出装置１
６からのペースト７の吐出量の変動が抑えられ、脈動の
ない安定した長時間連続吐出が可能となっている。 【００３３】図４は、このときのポートブロック３０上
でのシリンダブロック３１Ａ，３１Ｂの移動を示してい
る。図４に示すように、シリンダブロック３１Ａ，３１
Ｂがポートブロック３０上で相対的に交互にスライド移
動することにより、シリンダ室３１ａは開口３０ｃ，３
０ｄと交互に連通する。シリンダ室３１ａが開口３０ｃ
と連通した状態では、シリンダ室３１ａ内へのペースト
の吸引が、またシリンダ室３１ａが開口３０ｄと連通し
た状態では、シリンダ室３１ａからのペーストの吐出が
行えるようになっている。 【００３４】すなわち上記ペースト吐出装置１６は、シ
リンダ室３１ａを形成する第２のブロック（シリンダブ
ロック３１）と、この第２のブロックの一端側よりシリ
ンダ室３１ａに挿入されたプランジャ３５と、シリンジ
１９と連通してペーストを供給する供給ポート３０ａ
と、吐出ノズル１８に連通してペースト７を吐出する吐
出ポート３０ｂを備え、さらに第２のブロックに密接し
た状態で相対的に移動することにより、シリンダ室３１
ａの開口を供給ポート３０ａと吐出ポート３０ｂの開口
に選択的に重ねる第１のブロック（シリンダブロック３
１）を備えたものとなっている。 【００３５】ペースト７の吸入・吐出は、前述のプラン
ジャ駆動手段によって行われる。まず、シリンダ室３１
ａの開口が供給ポート３０ａの開口と重なっているとき
に、プランジャ３５をシリンダ室３１ａから引き抜く方
向に移動させてシリンダ室３１ａ内へのペーストの吸引
を行う。そして、シリンダ室３１ａの開口が吐出ポート
３０ｂと重なっているときにプランジャ３５をシリンダ
室３１ａ内へ押し込む方向へ移動させてシリンダ室３１
ａ内のペースト７を吐出ポート３０ｂへ押し出して吐出
させる。 【００３６】ここで、プランジャ３５とシリンダ室３１
ａの組み合わせは複数（本実施の形態では２組）となっ
ており、これらのプランジャ３５やシリンダ室３１ａに
よるペーストの吐出動作は、シリンダ室３１ａの開口が
供給ポート３０ａ、吐出ポート３０ｂと連通した開口３
０ｃ，３０ｄへ移動するタイミングをずらした動作とな
っている。 【００３７】（実施の形態２） 図６は本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の断面
図、図７は同ペースト吐出装置の動作説明図、図８は同
ペースト吐出装置の動作タイミングを示すタイミングチ
ャートである。実施の形態１においては、プランジャを
駆動する駆動源を各プランジャ毎に備えた例を示した
が、本実施の形態２では、複数のプランジャの駆動を同
一駆動源によって行う構成例を示している。 【００３８】図６において、ペースト吐出装置１６’
は、ペースト吐出用の駆動機構を収めた駆動ボックス６
６の下端部にポートブロック５０を連結した構成となっ
ている。ポートブロック５０（第１のブロック）には実
施の形態１と同様にペーストの供給ポート５０ａと吐出
ポート５０ｂが設けられている。 【００３９】供給ポート５０ａはポートブロック５０内
で２つに分岐してポートブロック５０の上面に設けられ
た２つの開口５０ｅ，５０ｄと連通している。また、吐
出ポート５０ｂはポートブロック５０の上面に設けられ
た溝状の開口５０ｃと連通している。この開口５０ｃの
大きさは、シリンダブロック５１の２つのシリンダブロ
ック５１ａが同時に連通するような大きさとなっている
（図７（ｃ）参照）。 【００４０】ポートブロック５０の上面にはシリンダブ
ロック５１が摺動自在に装着されている。シリンダブロ
ック５１には、実施の形態１と同様のシリンダ室５１ａ
が２ヶ所に設けられており、２つのシリンダ室５１ａの
下端部は、供給ポート５０ａまたは吐出ポート５０ｂと
連通するようになっている。 【００４１】シリンダブロック５１の上面には、プラン
ジャ保持部５３が固着されている。プランジャ保持部５
３は実施の形態１に示すものと同様の摺動部３４とプラ
ンジャ３５を２本備えており、プランジャ３５Ａ，３５
Ｂはそれぞれシリンダ室５１ａに挿入されている。 【００４２】プランジャ３５Ａ，３５Ｂの外周面とシリ
ンダ室３１ａの内周面との間の摺動隙間の設定、および
密封手段としてのシール部材３２については実施の形態
１と同様である。摺動部３４の上部に一体的に設けられ
たシャフト部材３４ａを上下動させることにより、プラ
ンジャ３５Ａ，３５Ｂはシリンダ室５１ａ内で移動し、
これにより実施の形態１と同様にペーストの吸引・吐出
が行われる。 【００４３】次にプランジャ３５Ａ，３５Ｂを昇降させ
てペーストの吸入・吐出を行うプランジャ駆動機構につ
いて説明する。駆動ボックス６６の上面にはスライドガ
イド６７Ａ，６７Ｂが、また右側面にはスライドガイド
６８が設けられている。スライドガイド６７Ａ，６７Ｂ
にはシャフト５５Ａ，５５Ｂが、スライドガイド６８に
はシャフト６４が挿通している。シャフト５５Ａ，５５
Ｂの下端部には押当部材５４Ａ，５４Ｂがそれぞれ結合
されており、シャフト部材５５Ａ，５５Ｂの上部にはロ
ーラ部材５６Ａ，５６Ｂが装着されている。 【００４４】シャフト部材６４の左端部はプランジャ保
持部５３に結合されており、右端部はカムアーム６１に
装着されたカムフォロア６３に当接している。そしてカ
ムアーム６１の他端のカムフォロア６２は上下方向に延
伸されたシャフト６０の下端部に当接している。シャフ
ト６０の上端部にはカムフォロア５６Ｃが装着されてい
る。 【００４５】ここで３個のカムフォロア５６Ａ，５６
Ｂ，５６Ｃにはそれぞれ共通のカムシャフトで回転駆動
されるカム部材５７Ａ，５７Ｂ，５８が押当しており、
これらのカム部材をモータ５９で回転駆動することによ
り、以下の動作を同一駆動源により行わせることができ
る。すなわち、シャフト５５Ａ，５５Ｂが下降すること
により、プランジャ３５Ａ，３５Ｂがシリンダ室５１ａ
内で下降する。そして実施の形態１と同様に、プランジ
ャ３５Ａ，３５Ｂはコイルバネ３６の付勢力により戻り
動作を行う。 【００４６】またシャフト６０が下降することにより水
平方向のシャフト６４に動作が伝達され、これによりシ
リンダブロック５１はポートブロック５０上面に沿って
水平方向にスライドする。そしてこのスライド動作によ
り、シリンダ室５１ａの開口と供給ポート５０ａ、吐出
ポート５０ｂとの連通状態が変化する。 【００４７】このスライド動作によるポートの切り換え
について図７、図８を参照して説明する。図７（ａ）
は、図８のタイミングチャートの（１）の状態を示して
いる。此の状態はプランジャ３５Ｂが下降し、吐出が終
了した状態である。図７（ｂ）は図８のタイミング
（２）、すなわちプランジャ３５が定速度で下降し、プ
ランジャ３５Ｂが定速度で上昇している状態であり、そ
れぞれのシリンダ室５１ａではペーストの吐出と吸引が
行われている。 【００４８】次に図７（ｃ）は、図８のタイミング
（４）の状態、すなわちプランジャ３５Ａの下降速度が
減速開始し、またプランジャ３５Ｂの上昇速度が加速開
始するタイミング（３）から、プランジャ３５Ａが停止
しまたプランジャ３５Ｂが定速に到達するタイミング
（４）までの間の状態を示している。このタイミング
（３）からタイミング（５）までの間では、開口５０ｃ
上に２つのシリンダ室５１ａが重なっており、２つのシ
リンダ室５１ａからの吐出がオーバーラップされた状態
となっている。 【００４９】次に図７（ｄ）は図８のタイミング（６）
の状態を示しており、タイミング（２）と反対にプラン
ジャ３５Ａは上昇してペースト７を吸引し、プランジャ
３５Ｂは下降してペースト７を吐出している。そして上
記の動作を反復することにより、連続してペーストの吐
出が行われる。 【００５０】このように本実施の形態２に示す構成で
は、実施の形態１と同様に吐出装置の変動のないペース
ト吐出が実現されるとともに、プランジャの上下動作や
ポート切り換え動作などの複数の動作を同一の駆動源に
よって駆動することにより、コンパクトでコスト効率に
優れたペースト吐出装置となっている。 【００５１】 【発明の効果】本発明によれば、シリンダ室の内周面と
プランジャ外周面を密封する密封手段に接触式シールを
採用し、シリンダ室とプランジャとの摺動隙間をフィラ
ー成分の大きさに基づいて設定するようにしたので、摺
動隙間内でフィラー成分が残留固着することにより発生
する不具合がなく、従って、固着物の除去などの保守作
業を頻繁に行う必要がない。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施の形態１のダイボンディング装置
の斜視図 【図２】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の断
面図 【図３】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の拡
大断面図 【図４】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の動
作説明図 【図５】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の動
作タイミングを示すタイミングチャート 【図６】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の断
面図 【図７】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の動
作説明図 【図８】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の動
作タイミングを示すタイミングチャート 【符号の説明】 ３ チップ ６ リードフレーム ６ａ 塗布エリア ７ ペースト １６ ペースト吐出装置 １８ 塗布ノズル ３０、５０ ポートブロック ３０ａ 供給ポート ３０ｂ 吐出ポート ３１、５１ シリンダブロック ３２ シール部材 ３３、５３ プランジャ保持部材 ３５ プランジャ

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】粘性体と導電性のフィラー成分とを混合し
   た導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの吐出装置
   であって、シリンダ室と、このシリンダ室に挿入された
   プランジャと、このプランジャを往復動させる駆動手段
   と、前記シリンダ室と連通し導電性ペーストが供給され
   る供給ポートおよび導電性ペーストを吐出する吐出ポー
   トと、前記シリンダ室の内周面と前記プランジャ外周面
   との隙間を密封する接触式の密封手段とを備え、且つ前
   記シリンダ室が形成されたシリンダブロックはポートブ
   ロックの上面に沿って密閉状態で水平方向に摺動自在で
   あり、この摺動により前記ポートブロックに形成された
   前記供給ポートまたは前記吐出ポートの何れかと連通す
   るようになっており、前記シリンダ室と前記プランジャ
   との摺動隙間は前記フィラー成分の大きさに基づいて設
   定されていることを特徴とする導電性ペーストの吐出装
   置。