JP2001144112A - 導電性ペーストの吐出装置 - Google Patents
導電性ペーストの吐出装置Info
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- JP2001144112A JP2001144112A JP32261099A JP32261099A JP2001144112A JP 2001144112 A JP2001144112 A JP 2001144112A JP 32261099 A JP32261099 A JP 32261099A JP 32261099 A JP32261099 A JP 32261099A JP 2001144112 A JP2001144112 A JP 2001144112A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィラー成分の固着を発生せず、保守が容易
な導電性ペーストの吐出装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 樹脂接着剤に導電性のフィラー成分を混
合した導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの吐出
装置において、シリンダ室３１ａに挿入されたプランジ
ャ３５を往復動させてシリンダ室３１ａに供給されたペ
ースト７を吐出ポートから吐出させる。シリンダ室３１
ａとプランジャ３５との隙間を接触式のシール部材３２
で密封し、シリンダ室３１ａの内径Ｄとプランジャ３５
の外径ｄとの直径差で示される摺動隙間は、固形のフィ
ラー成分の大きさに基づいて摺動隙間内での固着が発生
しないような隙間に設定する。
な導電性ペーストの吐出装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 樹脂接着剤に導電性のフィラー成分を混
合した導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの吐出
装置において、シリンダ室３１ａに挿入されたプランジ
ャ３５を往復動させてシリンダ室３１ａに供給されたペ
ースト７を吐出ポートから吐出させる。シリンダ室３１
ａとプランジャ３５との隙間を接触式のシール部材３２
で密封し、シリンダ室３１ａの内径Ｄとプランジャ３５
の外径ｄとの直径差で示される摺動隙間は、固形のフィ
ラー成分の大きさに基づいて摺動隙間内での固着が発生
しないような隙間に設定する。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に導電性ペー
ストを塗布するために使用される導電性ペーストの吐出
装置塗布装置に関するものである。
ストを塗布するために使用される導電性ペーストの吐出
装置塗布装置に関するものである。
【従来の技術】半導体チップなどの電子部品をプリント
基板やリードフレームなどに接合する方法として、樹脂
接着剤が多用される。樹脂接着剤の種類として樹脂中に
金属粉など導電性の成分を添加して接合部に導電性を持
たせた導電ペーストが知られている。導電ペーストは、
接着剤としての機能を有するとともに、接合部を電気的
に導通させることができるので、半導体素子を基板に固
着させるとともに基板の電極と導通させる目的などに使
用される。この導電ペーストは、主剤としてのエポキシ
樹脂、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤および硬化促進
剤などの樹脂接着剤としての成分に、導電性を有する金
属粉を混入させたものである。金属粉としては銀粉が多
用され、導電性を向上させるために粒状やフレーク状な
どの各種形状の銀粉を混ぜ合わせて用いられる。そし
て、この導電性ペーストを塗布する塗布装置には、導電
性ペーストを吐出する吐出装置が備えられており、従来
よりプランジャの往復動によってシリンダ室内に導電性
ペーストを吸入し吐出するプランジャ式の吐出装置が知
られている。このプランジャ式吐出装置は、シリンダと
プランジャの摺動面を密封する密封手段を備えている。
上記導電性ペースト用のプランジャとシリンダ内面の密
封手段としては、２つの摺動面が相互に直接コンタクト
しない非接触状態のままで密封目的が達成されるよう、
摺動隙間を所定値以内に設定するクリアランスシールが
用いられる場合がある。
基板やリードフレームなどに接合する方法として、樹脂
接着剤が多用される。樹脂接着剤の種類として樹脂中に
金属粉など導電性の成分を添加して接合部に導電性を持
たせた導電ペーストが知られている。導電ペーストは、
接着剤としての機能を有するとともに、接合部を電気的
に導通させることができるので、半導体素子を基板に固
着させるとともに基板の電極と導通させる目的などに使
用される。この導電ペーストは、主剤としてのエポキシ
樹脂、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤および硬化促進
剤などの樹脂接着剤としての成分に、導電性を有する金
属粉を混入させたものである。金属粉としては銀粉が多
用され、導電性を向上させるために粒状やフレーク状な
どの各種形状の銀粉を混ぜ合わせて用いられる。そし
て、この導電性ペーストを塗布する塗布装置には、導電
性ペーストを吐出する吐出装置が備えられており、従来
よりプランジャの往復動によってシリンダ室内に導電性
ペーストを吸入し吐出するプランジャ式の吐出装置が知
られている。このプランジャ式吐出装置は、シリンダと
プランジャの摺動面を密封する密封手段を備えている。
上記導電性ペースト用のプランジャとシリンダ内面の密
封手段としては、２つの摺動面が相互に直接コンタクト
しない非接触状態のままで密封目的が達成されるよう、
摺動隙間を所定値以内に設定するクリアランスシールが
用いられる場合がある。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ク
リアランスシールを導電性ペーストの吐出用として用い
た場合には、以下のような問題点があった。すなわち、
クリアランスシールに採用される摺動隙間はきわめて狭
いものであるため、導電性ペーストに含有される銀粉な
どのフィラー成分が摺動隙間内で分離し、溶剤成分のみ
が摺動隙間から漏出してフィラー成分が摺動隙間内に残
留固着する結果、プランジャの動作異常を生じやすく、
正常な吐出が阻害されるとともに、固着物の除去などの
保守作業に手間を要するという問題点があった。そこで
本発明は、フィラー成分の固着を発生せず、保守が容易
な導電性ペーストの吐出装置を提供することを目的とす
る。
リアランスシールを導電性ペーストの吐出用として用い
た場合には、以下のような問題点があった。すなわち、
クリアランスシールに採用される摺動隙間はきわめて狭
いものであるため、導電性ペーストに含有される銀粉な
どのフィラー成分が摺動隙間内で分離し、溶剤成分のみ
が摺動隙間から漏出してフィラー成分が摺動隙間内に残
留固着する結果、プランジャの動作異常を生じやすく、
正常な吐出が阻害されるとともに、固着物の除去などの
保守作業に手間を要するという問題点があった。そこで
本発明は、フィラー成分の固着を発生せず、保守が容易
な導電性ペーストの吐出装置を提供することを目的とす
る。
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ペ
ーストの吐出装置は、粘性体と導電性のフィラー成分と
を混合した導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの
吐出装置であって、シリンダ室と、このシリンダ室に挿
入されたプランジャと、このプランジャを往復動させる
駆動手段と、前記シリンダ室と連通し導電性ペーストを
供給する供給ポートおよび導電性ペーストを吐出する吐
出ポートと、前記シリンダ室の内周面と前記プランジャ
外周面との隙間を密封する接触式の密封手段とを備え、
前記シリンダ室とプランジャとの摺動隙間は前記フィラ
ー成分の大きさに基づいて設定されている。本発明によ
れば、シリンダ室の内周面とプランジャ外周面を密封す
る密封手段に接触式シールを採用し、シリンダ室とプラ
ンジャとの摺動隙間をフィラー成分の大きさに基づいて
設定することにより、摺動隙間内でフィラー成分が残留
固着する不具合が発生しない。
ーストの吐出装置は、粘性体と導電性のフィラー成分と
を混合した導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの
吐出装置であって、シリンダ室と、このシリンダ室に挿
入されたプランジャと、このプランジャを往復動させる
駆動手段と、前記シリンダ室と連通し導電性ペーストを
供給する供給ポートおよび導電性ペーストを吐出する吐
出ポートと、前記シリンダ室の内周面と前記プランジャ
外周面との隙間を密封する接触式の密封手段とを備え、
前記シリンダ室とプランジャとの摺動隙間は前記フィラ
ー成分の大きさに基づいて設定されている。本発明によ
れば、シリンダ室の内周面とプランジャ外周面を密封す
る密封手段に接触式シールを採用し、シリンダ室とプラ
ンジャとの摺動隙間をフィラー成分の大きさに基づいて
設定することにより、摺動隙間内でフィラー成分が残留
固着する不具合が発生しない。
【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は本発明の
実施の形態１のダイボンディング装置の斜視図、図２は
同ペースト吐出装置の断面図、図３は同ペースト吐出装
置の拡大断面図、図４は同ペースト吐出装置の動作説明
図、図５は同ペースト吐出装置の動作タイミングを示す
タイミングチャートである。まず図１を参照してダイボ
ンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ
供給部１にはウェハシート２が図示しない保持テーブル
によって保持されている。ウェハシート２には多数の半
導体素子であるチップ３が貼着されている。チップ供給
部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５は
基板であるリードフレーム６を搬送し、ペースト塗布位
置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決
めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド
４が配設されており、ボンディングヘッド４は図示しな
い移動機構により水平移動および上下動する。搬送路５
の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペース
ト塗布部９は移動テーブル１０にＬ型のブラケット１５
を介して塗布ノズル１８を装着して構成されている。塗
布ノズル１８は、不動のプレート２１上に固定配置され
たペースト吐出装置１６と可撓性の管部材であるチュー
ブ１７によって連結されている。ペースト吐出装置１６
は、さらにチューブ２０を介してシリンジ１９と連結さ
れている。シリンジ１９内にはエポキシ樹脂などの粘性
体と銀粉などの導電性のフィラー成分とを混合した導電
性ペースト（以下、単に「ペースト」と略記する）が貯
溜されており、ペースト吐出装置１６を駆動することに
より、シリンジ１９内のペーストはペースト吐出装置１
６によって吸入・吐出され、チューブ１７を介して塗布
ノズル１８へ圧送される。そして塗布ノズル１８の下端
部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム６
の塗布エリア６ａに塗布される。移動テーブル１０は、
Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さ
らにその上にＬ型のブラケット１３を介してＺ軸テーブ
ル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テー
ブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、そ
れぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モー
タ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ
１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することにより、
塗布ノズル１８はリードフレーム６上で水平方向および
上下方向に移動する。したがって、移動テーブル１０は
塗布ノズル１８をリードフレーム６に対して相対的に移
動させる移動手段となっている。リードフレーム６上面
のチップ３の搭載位置は、ペースト７が塗布される塗布
エリア６ａとなっている。塗布ノズル１８を塗布エリア
６ａ内に位置させ、塗布ノズル１８からペースト７を吐
出させながら塗布ノズル１８を移動させることにより、
塗布エリア６ａ内には所定の描画パターンでチップボン
ディング用のペースト７が描画塗布される。このペース
ト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディン
グ位置８に送られ、位置決めされる。そして塗布エリア
６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッ
ド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックア
ップされたチップ３がボンディングされる。次に図２を
参照してペースト吐出装置１６の構造について説明す
る。図２において、ペースト吐出装置１６は、ペースト
吐出用の駆動機構を収めた駆動ボックス４０の下端部に
ポートブロック３０を連結した構成となっている。ポー
トブロック３０（第１のブロック）にはペーストの供給
ポート３０ａおよび吐出ポート３０ｂが設けられてい
る。供給ポート３０ａはチューブ２０を介してシリンジ
１９と連結されており、吐出ポート３０ｂはチューブ１
７を介して塗布ノズル１８と連結されている。そして供
給ポート３０ａ、吐出ポート３０ｂはともにポートブロ
ック３０の内部で２つに分岐してそれぞれポートブロッ
ク３０の上面に開口した２つの開口３０ｃ、および２つ
の開口３０ｄに連通している（図４参照）。ポートブロ
ック３０の上面には、シリンダブロック３１Ａ，３１Ｂ
（第２のブロック）が配設されている。ここで、シリン
ダブロック３１Ａ，３１Ｂは同一構造であり、それぞれ
のシリンダブロック毎に同様のペースト吐出用の駆動機
構を備えている。以下に述べるシリンダブロック３１お
よび付随機構部の説明では、区別する必要がある場合を
除いて、Ａ，Ｂの添字を省略する。シリンダブロック３
１は、ポートブロック３０の上面に沿って密接状態で水
平方向に摺動自在となっており、シリンダブロック３１
を上下方向に貫通して設けられたシリンダ室３１ａの下
端部は、シリンダブロック３１のポートブロック３０上
での相対位置により、開口３１ｃ，３１ｄのいずれかを
介して供給ポート３０ａまたは吐出ポート３０ｂの何れ
かと連通する。プランジャ保持部材３３にはシリンダ３
８のロッド３８ａが結合されており、シリンダ３８を往
復駆動することにより、プランジャ保持部材３３に固着
されたシリンダブロック３１はポートブロック３０の上
面に沿ってスライドする。このスライド移動により、シ
リンダ室３１ａのポートブロック３０上での相対位置が
切り換えられる。シリンダ室３１ａの上端部のシールハ
ウジング３１ｂ（図３参照）には、密封手段としてのシ
ール部材３２が装着されており、シール部材３２にはプ
ランジャ３５が挿通している。シール部材３２は、シリ
ンダ室３１ａ内のペースト７がプランジャ３５の外周面
とシリンダ室３１ａの内周面との隙間を伝って上方へ漏
出するのを防止する。シリンダブロック３１の上面には
ブロック状のプランジャ保持部３３が固着されている。
プランジャ保持部３３には上下方向の摺動孔３３ａが設
けられており、摺動孔３３ａ内には摺動部３４が嵌合し
ている。摺動部３４の上部および下部は、ローラ部材３
７が装着されたシャフト部３４ａおよびプランジャ３５
とそれぞれ一体となっており、摺動部３４はシャフト部
３４ａおよびプランジャ３５と共にコイルバネ３６によ
って上方に付勢されている。駆動ボックス４０の内側に
はガイドレール４１Ａ，４１Ｂが上下方向に配設されて
おり、ガイドレール４１Ａ，４１Ｂにスライド自在に装
着されたスライダ４２Ａ，４２Ｂには押当部材４３Ａ，
４３Ｂが水平方向に固着されている。押当部材４３Ａ，
４３Ｂに固着されたナット４４Ａ，４４Ｂには上下方向
に送りねじ４５Ａ，４５Ｂが螺入しており、送りねじ４
５Ａ，４５Ｂをモータ４６Ａ，４６Ｂで回転駆動するこ
とにより、押当部材４３Ａ，４３Ｂは上下動する。押当
部材４３Ａ，４３Ｂが下降してローラ部材３７Ａ，３７
Ｂに当接すると、シャフト部材３４ａを押し下げ、プラ
ンジャ３５はシリンダ室３１ａ内で下方に移動する。シ
リンダ室３１ａ内にペースト７が吸入された状態でこの
下降動作を行うことにより、シリンダ室３１ａ内のペー
スト７は吐出ポート３０ｂより吐出される。また、押当
部材４３が上昇するとコイルバネ３６の付勢力によって
摺動部３４が押し上げられ、これによりプランジャ３５
はシリンダ室３１ａ内で上方に移動する。これにより、
シリンダ室３１ａ内には供給ポート３０ａを介してペー
ストが吸入される。したがって、ナット４４Ａ，４４
Ｂ、送りねじ４５Ａ，４５Ｂ、モータ４６Ａ，４６Ｂ
は、押当部材４３Ａ，４３Ｂを上下動させてプランジャ
３５Ａ，３５Ｂをシリンダ室３１ａ内で往復動させるこ
とによりペースト７の吸入・吐出を行うプランジャ駆動
手段となっている。図３はプランジャ３５のシール部を
示している。シリンダブロック３１に設けられたシリン
ダ室３１ａの上部にはシールハウジング３１ｂが設けら
れており、シールハウジング３１ｂの内部にはシール部
材３２が装着されている。シール部材３２は略４角断面
のリング状部品であり、ＮＢＲなどのエラストマーや樹
脂などより成る。シール部材３２のリップ部がプランジ
ャ３５の円周面に押圧された状態で接触することによ
り、プランジャ３５のシリンダ室３１ａ内での摺動部が
密封される。ここでシリンダ室３１ａ内周面とプランジ
ャ３５の外周面との間の摺動隙間について説明する。図
３に示すシリンダ室３１ａの内径Ｄとプランジャ３５の
外径ｄは、直径隙間で５〜３０μｍの範囲となるように
設定されている。ここでこの直径隙間の設定は、ペース
ト７に含有されるフィラー成分の大きさのデータに基づ
いてなされている。すなわち、ペースト吐出時にフィラ
ー成分が上記隙間内で固着することのないよう含まれる
フィラーの最大寸法よりも大きな隙間に設定される。こ
のような隙間設定を行うことにより、粒子状やフレーク
状など各種形状の銀粉などの固形のフィラー成分を含有
する導電性のペースト７を吸入・吐出する動作におい
て、フィラー成分が隙間内で固着することにより生じる
不具合がない。従って、固着物の除去などの保守作業を
頻繁に行う必要がない。このペースト吐出装置は上記の
ように構成されており、以下ペースト吐出動作について
説明する。図５はペースト吐出装置１６の吸入・吐出動
作をプランジャ３５の上昇・下降動作における速度パタ
ーンによって表したものである。グラフＡ，Ｂはそれぞ
れシリンダブロック３１Ａ，３１Ｂにおけるプランジャ
３５Ａ，３５Ｂの昇降動作の速度パターンを示してい
る。図５より判るように、プランジャ３５Ａ，３５Ｂは
交互に上昇・下降動作を繰り返しており、全体的にみれ
ばプランジャ３５Ａによる吐出が行われている間にプラ
ンジャ３５Ｂは吸引動作を行う動作パターンとなってい
る。図５中に示すタイミング（１），（２），（３）
は、シリンダ３８を駆動してシリンダブロック３１Ａ
（タイミング（１），（２））、シリンダブロック３１
Ｂ（タイミング（３））をポートブロック３０上でスラ
イドさせるタイミングを示している。すなわちタイミン
グ（１）では、シリンダブロック３５Ａの移動によりシ
リンダ室３１ａは吐出ポート３０ｂから供給ポート３０
ａへ移動し、タイミング（２）ではシリンダブロック３
５Ａのシリンダ室３１ａは逆に供給ポート３０ａから吐
出ポート３０ｂへ移動する。一方、タイミング（３）で
は、シリンダブロック３５Ａの移動により、シリンダ室
３１ａは吐出ポート３０ｂから供給ポート３０ａへ移動
する。この移動に際し、プランジャ３５Ａ，３５Ｂによ
る吐出動作が部分的にオーバラップするように移動タイ
ミングが設定されている。すなわち、プランジャ３５Ａ
の下降速度の減速開始のタイミングと、プランジャ３５
Ｂの下降速度の加速開始のタイミングが同期するように
設定されている。これによりペースト吐出装置１６から
のペースト７の吐出量の変動が抑えられ、脈動のない安
定した長時間連続吐出が可能となっている。図４は、こ
のときのポートブロック３０上でのシリンダブロック３
１Ａ，３１Ｂの移動を示している。図４に示すように、
シリンダブロック３１Ａ，３１Ｂがポートブロック３０
上で相対的に交互にスライド移動することにより、シリ
ンダ室３１ａは開口３０ｃ，３０ｄと交互に連通する。
シリンダ室３１ａが開口３０ｃと連通した状態では、シ
リンダ室３１ａ内へのペーストの吸引が、またシリンダ
室３１ａが開口３０ｄと連通した状態では、シリンダ室
３１ａからのペーストの吐出が行えるようになってい
る。すなわち上記ペースト吐出装置１６は、シリンダ室
３１ａを形成する第２のブロック（シリンダブロック３
１）と、この第２のブロックの一端側よりシリンダ室３
１ａに挿入されたプランジャ３５と、シリンジ１９と連
通してペーストを供給する供給ポート３０ａと、吐出ノ
ズル１８に連通してペースト７を吐出する吐出ポート３
０ｂを備え、さらに第２のブロックに密接した状態で相
対的に移動することにより、シリンダ室３１ａの開口を
供給ポート３０ａと吐出ポート３０ｂの開口に選択的に
重ねる第１のブロック（シリンダブロック３１）を備え
たものとなっている。ペースト７の吸入・吐出は、前述
のプランジャ駆動手段によって行われる。まず、シリン
ダ室３１ａの開口が供給ポート３０ａの開口と重なって
いるときに、プランジャ３５をシリンダ室３１ａから引
き抜く方向に移動させてシリンダ室３１ａ内へのペース
トの吸引を行う。そして、シリンダ室３１ａの開口が吐
出ポート３０ｂと重なっているときにプランジャ３５を
シリンダ室３１ａ内へ押し込む方向へ移動させてシリン
ダ室３１ａ内のペースト７を吐出ポート３０ｂへ押し出
して吐出させる。ここで、プランジャ３５とシリンダ室
３１ａの組み合わせは複数（本実施の形態では２組）と
なっており、これらのプランジャ３５やシリンダ室３１
ａによるペーストの吐出動作は、シリンダ室３１ａの開
口が供給ポート３０ａ、吐出ポート３０ｂと連通した開
口３０ｃ，３０ｄへ移動するタイミングをずらした動作
となっている。 （実施の形態２）図６は本発明の実施の形態２のペース
ト吐出装置の断面図、図７は同ペースト吐出装置の動作
説明図、図８は同ペースト吐出装置の動作タイミングを
示すタイミングチャートである。実施の形態１において
は、プランジャを駆動する駆動源を各プランジャ毎に備
えた例を示したが、本実施の形態２では、複数のプラン
ジャの駆動を同一駆動源によって行う構成例を示してい
る。図６において、ペースト吐出装置１６’は、ペース
ト吐出用の駆動機構を収めた駆動ボックス６６の下端部
にポートブロック５０を連結した構成となっている。ポ
ートブロック５０（第１のブロック）には実施の形態１
と同様にペーストの供給ポート５０ａと吐出ポート５０
ｂが設けられている。供給ポート５０ａはポートブロッ
ク５０内で２つに分岐してポートブロック５０の上面に
設けられた２つの開口５０ｅ，５０ｄと連通している。
また、吐出ポート５０ｂはポートブロック５０の上面に
設けられた溝状の開口５０ｃと連通している。この開口
５０ｃの大きさは、シリンダブロック５１の２つのシリ
ンダブロック５１ａが同時に連通するような大きさとな
っている（図７（ｃ）参照）。ポートブロック５０の上
面にはシリンダブロック５１が摺動自在に装着されてい
る。シリンダブロック５１には、実施の形態１と同様の
シリンダ室５１ａが２ヶ所に設けられており、２つのシ
リンダ室５１ａの下端部は、供給ポート５０ａまたは吐
出ポート５０ｂと連通するようになっている。シリンダ
ブロック５１の上面には、プランジャ保持部５３が固着
されている。プランジャ保持部５３は実施の形態１に示
すものと同様の摺動部３４とプランジャ３５を２本備え
ており、プランジャ３５Ａ，３５Ｂはそれぞれシリンダ
室５１ａに挿入されている。プランジャ３５Ａ，３５Ｂ
の外周面とシリンダ室３１ａの内周面との間の摺動隙間
の設定、および密封手段としてのシール部材３２につい
ては実施の形態１と同様である。摺動部３４の上部に一
体的に設けられたシャフト部材３４ａを上下動させるこ
とにより、プランジャ３５Ａ，３５Ｂはシリンダ室５１
ａ内で移動し、これにより実施の形態１と同様にペース
トの吸引・吐出が行われる。次にプランジャ３５Ａ，３
５Ｂを昇降させてペーストの吸入・吐出を行うプランジ
ャ駆動機構について説明する。駆動ボックス６６の上面
にはスライドガイド６７Ａ，６７Ｂが、また右側面には
スライドガイド６８が設けられている。スライドガイド
６７Ａ，６７Ｂにはシャフト５５Ａ，５５Ｂが、スライ
ドガイド６８にはシャフト６４が挿通している。シャフ
ト５５Ａ，５５Ｂの下端部には押当部材５４Ａ，５４Ｂ
がそれぞれ結合されており、シャフト部材５５Ａ，５５
Ｂの上部にはローラ部材５６Ａ，５６Ｂが装着されてい
る。シャフト部材６４の左端部はプランジャ保持部５３
に結合されており、右端部はカムアーム６１に装着され
たカムフォロア６３に当接している。そしてカムアーム
６１の他端のカムフォロア６２は上下方向に延伸された
シャフト６０の下端部に当接している。シャフト６０の
上端部にはカムフォロア５６Ｃが装着されている。ここ
で３個のカムフォロア５６Ａ，５６Ｂ，５６Ｃにはそれ
ぞれ共通のカムシャフトで回転駆動されるカム部材５７
Ａ，５７Ｂ，５８が押当しており、これらのカム部材を
モータ５９で回転駆動することにより、以下の動作を同
一駆動源により行わせることができる。すなわち、シャ
フト５５Ａ，５５Ｂが下降することにより、プランジャ
３５Ａ，３５Ｂがシリンダ室５１ａ内で下降する。そし
て実施の形態１と同様に、プランジャ３５Ａ，３５Ｂは
コイルバネ３６の付勢力により戻り動作を行う。またシ
ャフト６０が下降することにより水平方向のシャフト６
４に動作が伝達され、これによりシリンダブロック５１
はポートブロック５０上面に沿って水平方向にスライド
する。そしてこのスライド動作により、シリンダ室５１
ａの開口と供給ポート５０ａ、吐出ポート５０ｂとの連
通状態が変化する。このスライド動作によるポートの切
り換えについて図７、図８を参照して説明する。図７
（ａ）は、図８のタイミングチャートの（１）の状態を
示している。此の状態はプランジャ３５Ｂが下降し、吐
出が終了した状態である。図７（ｂ）は図８のタイミン
グ（２）、すなわちプランジャ３５が定速度で下降し、
プランジャ３５Ｂが定速度で上昇している状態であり、
それぞれのシリンダ室５１ａではペーストの吐出と吸引
が行われている。次に図７（ｃ）は、図８のタイミング
（４）の状態、すなわちプランジャ３５Ａの下降速度が
減速開始し、またプランジャ３５Ｂの上昇速度が加速開
始するタイミング（３）から、プランジャ３５Ａが停止
しまたプランジャ３５Ｂが定速に到達するタイミング
（４）までの間の状態を示している。このタイミング
（３）からタイミング（５）までの間では、開口５０ｃ
上に２つのシリンダ室５１ａが重なっており、２つのシ
リンダ室５１ａからの吐出がオーバーラップされた状態
となっている。次に図７（ｄ）は図８のタイミング
（６）の状態を示しており、タイミング（２）と反対に
プランジャ３５Ａは上昇してペースト７を吸引し、プラ
ンジャ３５Ｂは下降してペースト７を吐出している。そ
して上記の動作を反復することにより、連続してペース
トの吐出が行われる。このように本実施の形態２に示す
構成では、実施の形態１と同様に吐出装置の変動のない
ペースト吐出が実現されるとともに、プランジャの上下
動作やポート切り換え動作などの複数の動作を同一の駆
動源によって駆動することにより、コンパクトでコスト
効率に優れたペースト吐出装置となっている。
実施の形態１のダイボンディング装置の斜視図、図２は
同ペースト吐出装置の断面図、図３は同ペースト吐出装
置の拡大断面図、図４は同ペースト吐出装置の動作説明
図、図５は同ペースト吐出装置の動作タイミングを示す
タイミングチャートである。まず図１を参照してダイボ
ンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ
供給部１にはウェハシート２が図示しない保持テーブル
によって保持されている。ウェハシート２には多数の半
導体素子であるチップ３が貼着されている。チップ供給
部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５は
基板であるリードフレーム６を搬送し、ペースト塗布位
置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決
めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド
４が配設されており、ボンディングヘッド４は図示しな
い移動機構により水平移動および上下動する。搬送路５
の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペース
ト塗布部９は移動テーブル１０にＬ型のブラケット１５
を介して塗布ノズル１８を装着して構成されている。塗
布ノズル１８は、不動のプレート２１上に固定配置され
たペースト吐出装置１６と可撓性の管部材であるチュー
ブ１７によって連結されている。ペースト吐出装置１６
は、さらにチューブ２０を介してシリンジ１９と連結さ
れている。シリンジ１９内にはエポキシ樹脂などの粘性
体と銀粉などの導電性のフィラー成分とを混合した導電
性ペースト（以下、単に「ペースト」と略記する）が貯
溜されており、ペースト吐出装置１６を駆動することに
より、シリンジ１９内のペーストはペースト吐出装置１
６によって吸入・吐出され、チューブ１７を介して塗布
ノズル１８へ圧送される。そして塗布ノズル１８の下端
部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム６
の塗布エリア６ａに塗布される。移動テーブル１０は、
Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さ
らにその上にＬ型のブラケット１３を介してＺ軸テーブ
ル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テー
ブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、そ
れぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モー
タ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ
１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することにより、
塗布ノズル１８はリードフレーム６上で水平方向および
上下方向に移動する。したがって、移動テーブル１０は
塗布ノズル１８をリードフレーム６に対して相対的に移
動させる移動手段となっている。リードフレーム６上面
のチップ３の搭載位置は、ペースト７が塗布される塗布
エリア６ａとなっている。塗布ノズル１８を塗布エリア
６ａ内に位置させ、塗布ノズル１８からペースト７を吐
出させながら塗布ノズル１８を移動させることにより、
塗布エリア６ａ内には所定の描画パターンでチップボン
ディング用のペースト７が描画塗布される。このペース
ト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディン
グ位置８に送られ、位置決めされる。そして塗布エリア
６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッ
ド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックア
ップされたチップ３がボンディングされる。次に図２を
参照してペースト吐出装置１６の構造について説明す
る。図２において、ペースト吐出装置１６は、ペースト
吐出用の駆動機構を収めた駆動ボックス４０の下端部に
ポートブロック３０を連結した構成となっている。ポー
トブロック３０（第１のブロック）にはペーストの供給
ポート３０ａおよび吐出ポート３０ｂが設けられてい
る。供給ポート３０ａはチューブ２０を介してシリンジ
１９と連結されており、吐出ポート３０ｂはチューブ１
７を介して塗布ノズル１８と連結されている。そして供
給ポート３０ａ、吐出ポート３０ｂはともにポートブロ
ック３０の内部で２つに分岐してそれぞれポートブロッ
ク３０の上面に開口した２つの開口３０ｃ、および２つ
の開口３０ｄに連通している（図４参照）。ポートブロ
ック３０の上面には、シリンダブロック３１Ａ，３１Ｂ
（第２のブロック）が配設されている。ここで、シリン
ダブロック３１Ａ，３１Ｂは同一構造であり、それぞれ
のシリンダブロック毎に同様のペースト吐出用の駆動機
構を備えている。以下に述べるシリンダブロック３１お
よび付随機構部の説明では、区別する必要がある場合を
除いて、Ａ，Ｂの添字を省略する。シリンダブロック３
１は、ポートブロック３０の上面に沿って密接状態で水
平方向に摺動自在となっており、シリンダブロック３１
を上下方向に貫通して設けられたシリンダ室３１ａの下
端部は、シリンダブロック３１のポートブロック３０上
での相対位置により、開口３１ｃ，３１ｄのいずれかを
介して供給ポート３０ａまたは吐出ポート３０ｂの何れ
かと連通する。プランジャ保持部材３３にはシリンダ３
８のロッド３８ａが結合されており、シリンダ３８を往
復駆動することにより、プランジャ保持部材３３に固着
されたシリンダブロック３１はポートブロック３０の上
面に沿ってスライドする。このスライド移動により、シ
リンダ室３１ａのポートブロック３０上での相対位置が
切り換えられる。シリンダ室３１ａの上端部のシールハ
ウジング３１ｂ（図３参照）には、密封手段としてのシ
ール部材３２が装着されており、シール部材３２にはプ
ランジャ３５が挿通している。シール部材３２は、シリ
ンダ室３１ａ内のペースト７がプランジャ３５の外周面
とシリンダ室３１ａの内周面との隙間を伝って上方へ漏
出するのを防止する。シリンダブロック３１の上面には
ブロック状のプランジャ保持部３３が固着されている。
プランジャ保持部３３には上下方向の摺動孔３３ａが設
けられており、摺動孔３３ａ内には摺動部３４が嵌合し
ている。摺動部３４の上部および下部は、ローラ部材３
７が装着されたシャフト部３４ａおよびプランジャ３５
とそれぞれ一体となっており、摺動部３４はシャフト部
３４ａおよびプランジャ３５と共にコイルバネ３６によ
って上方に付勢されている。駆動ボックス４０の内側に
はガイドレール４１Ａ，４１Ｂが上下方向に配設されて
おり、ガイドレール４１Ａ，４１Ｂにスライド自在に装
着されたスライダ４２Ａ，４２Ｂには押当部材４３Ａ，
４３Ｂが水平方向に固着されている。押当部材４３Ａ，
４３Ｂに固着されたナット４４Ａ，４４Ｂには上下方向
に送りねじ４５Ａ，４５Ｂが螺入しており、送りねじ４
５Ａ，４５Ｂをモータ４６Ａ，４６Ｂで回転駆動するこ
とにより、押当部材４３Ａ，４３Ｂは上下動する。押当
部材４３Ａ，４３Ｂが下降してローラ部材３７Ａ，３７
Ｂに当接すると、シャフト部材３４ａを押し下げ、プラ
ンジャ３５はシリンダ室３１ａ内で下方に移動する。シ
リンダ室３１ａ内にペースト７が吸入された状態でこの
下降動作を行うことにより、シリンダ室３１ａ内のペー
スト７は吐出ポート３０ｂより吐出される。また、押当
部材４３が上昇するとコイルバネ３６の付勢力によって
摺動部３４が押し上げられ、これによりプランジャ３５
はシリンダ室３１ａ内で上方に移動する。これにより、
シリンダ室３１ａ内には供給ポート３０ａを介してペー
ストが吸入される。したがって、ナット４４Ａ，４４
Ｂ、送りねじ４５Ａ，４５Ｂ、モータ４６Ａ，４６Ｂ
は、押当部材４３Ａ，４３Ｂを上下動させてプランジャ
３５Ａ，３５Ｂをシリンダ室３１ａ内で往復動させるこ
とによりペースト７の吸入・吐出を行うプランジャ駆動
手段となっている。図３はプランジャ３５のシール部を
示している。シリンダブロック３１に設けられたシリン
ダ室３１ａの上部にはシールハウジング３１ｂが設けら
れており、シールハウジング３１ｂの内部にはシール部
材３２が装着されている。シール部材３２は略４角断面
のリング状部品であり、ＮＢＲなどのエラストマーや樹
脂などより成る。シール部材３２のリップ部がプランジ
ャ３５の円周面に押圧された状態で接触することによ
り、プランジャ３５のシリンダ室３１ａ内での摺動部が
密封される。ここでシリンダ室３１ａ内周面とプランジ
ャ３５の外周面との間の摺動隙間について説明する。図
３に示すシリンダ室３１ａの内径Ｄとプランジャ３５の
外径ｄは、直径隙間で５〜３０μｍの範囲となるように
設定されている。ここでこの直径隙間の設定は、ペース
ト７に含有されるフィラー成分の大きさのデータに基づ
いてなされている。すなわち、ペースト吐出時にフィラ
ー成分が上記隙間内で固着することのないよう含まれる
フィラーの最大寸法よりも大きな隙間に設定される。こ
のような隙間設定を行うことにより、粒子状やフレーク
状など各種形状の銀粉などの固形のフィラー成分を含有
する導電性のペースト７を吸入・吐出する動作におい
て、フィラー成分が隙間内で固着することにより生じる
不具合がない。従って、固着物の除去などの保守作業を
頻繁に行う必要がない。このペースト吐出装置は上記の
ように構成されており、以下ペースト吐出動作について
説明する。図５はペースト吐出装置１６の吸入・吐出動
作をプランジャ３５の上昇・下降動作における速度パタ
ーンによって表したものである。グラフＡ，Ｂはそれぞ
れシリンダブロック３１Ａ，３１Ｂにおけるプランジャ
３５Ａ，３５Ｂの昇降動作の速度パターンを示してい
る。図５より判るように、プランジャ３５Ａ，３５Ｂは
交互に上昇・下降動作を繰り返しており、全体的にみれ
ばプランジャ３５Ａによる吐出が行われている間にプラ
ンジャ３５Ｂは吸引動作を行う動作パターンとなってい
る。図５中に示すタイミング（１），（２），（３）
は、シリンダ３８を駆動してシリンダブロック３１Ａ
（タイミング（１），（２））、シリンダブロック３１
Ｂ（タイミング（３））をポートブロック３０上でスラ
イドさせるタイミングを示している。すなわちタイミン
グ（１）では、シリンダブロック３５Ａの移動によりシ
リンダ室３１ａは吐出ポート３０ｂから供給ポート３０
ａへ移動し、タイミング（２）ではシリンダブロック３
５Ａのシリンダ室３１ａは逆に供給ポート３０ａから吐
出ポート３０ｂへ移動する。一方、タイミング（３）で
は、シリンダブロック３５Ａの移動により、シリンダ室
３１ａは吐出ポート３０ｂから供給ポート３０ａへ移動
する。この移動に際し、プランジャ３５Ａ，３５Ｂによ
る吐出動作が部分的にオーバラップするように移動タイ
ミングが設定されている。すなわち、プランジャ３５Ａ
の下降速度の減速開始のタイミングと、プランジャ３５
Ｂの下降速度の加速開始のタイミングが同期するように
設定されている。これによりペースト吐出装置１６から
のペースト７の吐出量の変動が抑えられ、脈動のない安
定した長時間連続吐出が可能となっている。図４は、こ
のときのポートブロック３０上でのシリンダブロック３
１Ａ，３１Ｂの移動を示している。図４に示すように、
シリンダブロック３１Ａ，３１Ｂがポートブロック３０
上で相対的に交互にスライド移動することにより、シリ
ンダ室３１ａは開口３０ｃ，３０ｄと交互に連通する。
シリンダ室３１ａが開口３０ｃと連通した状態では、シ
リンダ室３１ａ内へのペーストの吸引が、またシリンダ
室３１ａが開口３０ｄと連通した状態では、シリンダ室
３１ａからのペーストの吐出が行えるようになってい
る。すなわち上記ペースト吐出装置１６は、シリンダ室
３１ａを形成する第２のブロック（シリンダブロック３
１）と、この第２のブロックの一端側よりシリンダ室３
１ａに挿入されたプランジャ３５と、シリンジ１９と連
通してペーストを供給する供給ポート３０ａと、吐出ノ
ズル１８に連通してペースト７を吐出する吐出ポート３
０ｂを備え、さらに第２のブロックに密接した状態で相
対的に移動することにより、シリンダ室３１ａの開口を
供給ポート３０ａと吐出ポート３０ｂの開口に選択的に
重ねる第１のブロック（シリンダブロック３１）を備え
たものとなっている。ペースト７の吸入・吐出は、前述
のプランジャ駆動手段によって行われる。まず、シリン
ダ室３１ａの開口が供給ポート３０ａの開口と重なって
いるときに、プランジャ３５をシリンダ室３１ａから引
き抜く方向に移動させてシリンダ室３１ａ内へのペース
トの吸引を行う。そして、シリンダ室３１ａの開口が吐
出ポート３０ｂと重なっているときにプランジャ３５を
シリンダ室３１ａ内へ押し込む方向へ移動させてシリン
ダ室３１ａ内のペースト７を吐出ポート３０ｂへ押し出
して吐出させる。ここで、プランジャ３５とシリンダ室
３１ａの組み合わせは複数（本実施の形態では２組）と
なっており、これらのプランジャ３５やシリンダ室３１
ａによるペーストの吐出動作は、シリンダ室３１ａの開
口が供給ポート３０ａ、吐出ポート３０ｂと連通した開
口３０ｃ，３０ｄへ移動するタイミングをずらした動作
となっている。 （実施の形態２）図６は本発明の実施の形態２のペース
ト吐出装置の断面図、図７は同ペースト吐出装置の動作
説明図、図８は同ペースト吐出装置の動作タイミングを
示すタイミングチャートである。実施の形態１において
は、プランジャを駆動する駆動源を各プランジャ毎に備
えた例を示したが、本実施の形態２では、複数のプラン
ジャの駆動を同一駆動源によって行う構成例を示してい
る。図６において、ペースト吐出装置１６’は、ペース
ト吐出用の駆動機構を収めた駆動ボックス６６の下端部
にポートブロック５０を連結した構成となっている。ポ
ートブロック５０（第１のブロック）には実施の形態１
と同様にペーストの供給ポート５０ａと吐出ポート５０
ｂが設けられている。供給ポート５０ａはポートブロッ
ク５０内で２つに分岐してポートブロック５０の上面に
設けられた２つの開口５０ｅ，５０ｄと連通している。
また、吐出ポート５０ｂはポートブロック５０の上面に
設けられた溝状の開口５０ｃと連通している。この開口
５０ｃの大きさは、シリンダブロック５１の２つのシリ
ンダブロック５１ａが同時に連通するような大きさとな
っている（図７（ｃ）参照）。ポートブロック５０の上
面にはシリンダブロック５１が摺動自在に装着されてい
る。シリンダブロック５１には、実施の形態１と同様の
シリンダ室５１ａが２ヶ所に設けられており、２つのシ
リンダ室５１ａの下端部は、供給ポート５０ａまたは吐
出ポート５０ｂと連通するようになっている。シリンダ
ブロック５１の上面には、プランジャ保持部５３が固着
されている。プランジャ保持部５３は実施の形態１に示
すものと同様の摺動部３４とプランジャ３５を２本備え
ており、プランジャ３５Ａ，３５Ｂはそれぞれシリンダ
室５１ａに挿入されている。プランジャ３５Ａ，３５Ｂ
の外周面とシリンダ室３１ａの内周面との間の摺動隙間
の設定、および密封手段としてのシール部材３２につい
ては実施の形態１と同様である。摺動部３４の上部に一
体的に設けられたシャフト部材３４ａを上下動させるこ
とにより、プランジャ３５Ａ，３５Ｂはシリンダ室５１
ａ内で移動し、これにより実施の形態１と同様にペース
トの吸引・吐出が行われる。次にプランジャ３５Ａ，３
５Ｂを昇降させてペーストの吸入・吐出を行うプランジ
ャ駆動機構について説明する。駆動ボックス６６の上面
にはスライドガイド６７Ａ，６７Ｂが、また右側面には
スライドガイド６８が設けられている。スライドガイド
６７Ａ，６７Ｂにはシャフト５５Ａ，５５Ｂが、スライ
ドガイド６８にはシャフト６４が挿通している。シャフ
ト５５Ａ，５５Ｂの下端部には押当部材５４Ａ，５４Ｂ
がそれぞれ結合されており、シャフト部材５５Ａ，５５
Ｂの上部にはローラ部材５６Ａ，５６Ｂが装着されてい
る。シャフト部材６４の左端部はプランジャ保持部５３
に結合されており、右端部はカムアーム６１に装着され
たカムフォロア６３に当接している。そしてカムアーム
６１の他端のカムフォロア６２は上下方向に延伸された
シャフト６０の下端部に当接している。シャフト６０の
上端部にはカムフォロア５６Ｃが装着されている。ここ
で３個のカムフォロア５６Ａ，５６Ｂ，５６Ｃにはそれ
ぞれ共通のカムシャフトで回転駆動されるカム部材５７
Ａ，５７Ｂ，５８が押当しており、これらのカム部材を
モータ５９で回転駆動することにより、以下の動作を同
一駆動源により行わせることができる。すなわち、シャ
フト５５Ａ，５５Ｂが下降することにより、プランジャ
３５Ａ，３５Ｂがシリンダ室５１ａ内で下降する。そし
て実施の形態１と同様に、プランジャ３５Ａ，３５Ｂは
コイルバネ３６の付勢力により戻り動作を行う。またシ
ャフト６０が下降することにより水平方向のシャフト６
４に動作が伝達され、これによりシリンダブロック５１
はポートブロック５０上面に沿って水平方向にスライド
する。そしてこのスライド動作により、シリンダ室５１
ａの開口と供給ポート５０ａ、吐出ポート５０ｂとの連
通状態が変化する。このスライド動作によるポートの切
り換えについて図７、図８を参照して説明する。図７
（ａ）は、図８のタイミングチャートの（１）の状態を
示している。此の状態はプランジャ３５Ｂが下降し、吐
出が終了した状態である。図７（ｂ）は図８のタイミン
グ（２）、すなわちプランジャ３５が定速度で下降し、
プランジャ３５Ｂが定速度で上昇している状態であり、
それぞれのシリンダ室５１ａではペーストの吐出と吸引
が行われている。次に図７（ｃ）は、図８のタイミング
（４）の状態、すなわちプランジャ３５Ａの下降速度が
減速開始し、またプランジャ３５Ｂの上昇速度が加速開
始するタイミング（３）から、プランジャ３５Ａが停止
しまたプランジャ３５Ｂが定速に到達するタイミング
（４）までの間の状態を示している。このタイミング
（３）からタイミング（５）までの間では、開口５０ｃ
上に２つのシリンダ室５１ａが重なっており、２つのシ
リンダ室５１ａからの吐出がオーバーラップされた状態
となっている。次に図７（ｄ）は図８のタイミング
（６）の状態を示しており、タイミング（２）と反対に
プランジャ３５Ａは上昇してペースト７を吸引し、プラ
ンジャ３５Ｂは下降してペースト７を吐出している。そ
して上記の動作を反復することにより、連続してペース
トの吐出が行われる。このように本実施の形態２に示す
構成では、実施の形態１と同様に吐出装置の変動のない
ペースト吐出が実現されるとともに、プランジャの上下
動作やポート切り換え動作などの複数の動作を同一の駆
動源によって駆動することにより、コンパクトでコスト
効率に優れたペースト吐出装置となっている。
【発明の効果】本発明によれば、シリンダ室の内周面と
プランジャ外周面を密封する密封手段に接触式シールを
採用し、シリンダ室とプランジャとの摺動隙間をフィラ
ー成分の大きさに基づいて設定するようにしたので、摺
動隙間内でフィラー成分が残留固着することにより発生
する不具合がなく、従って、固着物の除去などの保守作
業を頻繁に行う必要がない。
プランジャ外周面を密封する密封手段に接触式シールを
採用し、シリンダ室とプランジャとの摺動隙間をフィラ
ー成分の大きさに基づいて設定するようにしたので、摺
動隙間内でフィラー成分が残留固着することにより発生
する不具合がなく、従って、固着物の除去などの保守作
業を頻繁に行う必要がない。
【図１】本発明の実施の形態１のダイボンディング装置
の斜視図
の斜視図
【図２】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の断
面図
面図
【図３】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の拡
大断面図
大断面図
【図４】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の動
作説明図
作説明図
【図５】本発明の実施の形態１のペースト吐出装置の動
作タイミングを示すタイミングチャート
作タイミングを示すタイミングチャート
【図６】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の断
面図
面図
【図７】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の動
作説明図
作説明図
【図８】本発明の実施の形態２のペースト吐出装置の動
作タイミングを示すタイミングチャート
作タイミングを示すタイミングチャート
３ チップ ６ リードフレーム ６ａ 塗布エリア ７ ペースト １６ ペースト吐出装置 １８ 塗布ノズル ３０、５０ ポートブロック ３０ａ 供給ポート ３０ｂ 吐出ポート ３１、５１ シリンダブロック ３２ シール部材 ３３、５３ プランジャ保持部材 ３５ プランジャ
Claims (1)
- 【請求項１】粘性体と導電性のフィラー成分とを混合し
た導電性ペーストを吐出する導電性ペーストの吐出装置
であって、シリンダ室と、このシリンダ室に挿入された
プランジャと、このプランジャを往復動させる駆動手段
と、前記シリンダ室と連通し導電性ペーストが供給され
る供給ポートおよび導電性ペーストを吐出する吐出ポー
トと、前記シリンダ室の内周面と前記プランジャ外周面
との隙間を密封する接触式の密封手段とを備え、前記シ
リンダ室とプランジャとの摺動隙間は前記フィラー成分
の大きさに基づいて設定されていることを特徴とする導
電性ペーストの吐出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32261099A JP3465650B2 (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | 導電性ペーストの吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32261099A JP3465650B2 (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | 導電性ペーストの吐出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001144112A true JP2001144112A (ja) | 2001-05-25 |
| JP3465650B2 JP3465650B2 (ja) | 2003-11-10 |
Family
ID=18145647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32261099A Expired - Fee Related JP3465650B2 (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | 導電性ペーストの吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3465650B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010087320A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Panasonic Corp | ペースト塗布装置およびペースト塗布方法 |
| JP2011143362A (ja) * | 2010-01-15 | 2011-07-28 | Ulvac Japan Ltd | 液体滴下装置及びその製造方法 |
| US9162249B2 (en) | 2008-10-01 | 2015-10-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Paste dispenser for applying paste containing fillers using nozzle with pin and application method using the same |
-
1999
- 1999-11-12 JP JP32261099A patent/JP3465650B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9162249B2 (en) | 2008-10-01 | 2015-10-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Paste dispenser for applying paste containing fillers using nozzle with pin and application method using the same |
| JP2011143362A (ja) * | 2010-01-15 | 2011-07-28 | Ulvac Japan Ltd | 液体滴下装置及びその製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3465650B2 (ja) | 2003-11-10 |
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