JP3456053B2 - 案内レールの曲がり矯正装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、一般産業機器，工作機
械，半導体製造装置等に使用されるリニアガイド装置の
案内レールの曲がりを、短時間に能率良く矯正すること
ができる案内レールの曲がり矯正装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】一般に線材の曲がり矯正は、当該線材を
二点支持して支持スパン間の曲がり量を測定した後、そ
の中点に曲がりの矯正荷重を負荷し、曲がり量に対し正
確には弾・塑性総変形量を曲がりと逆方向に発生させる
ことにより行われる。線形金属材料の塑性変形は弾性変
形領域と塑性変形領域とを持ち、通常、その変化は応力
−歪線図により表現される。 【０００３】しかし、矯正荷重を負荷している最中に発
生する線材の変形量は、弾性変形量と塑性変形量とが重
畳された総変形量として現れることから、曲がり矯正に
真に必要な変形量ではない。そのため、総変形量に基づ
いて行う従来の線材の曲がり矯正に際しては、矯正荷重
が線材の破断点Ｄに達することを避けるため、小さな矯
正荷重を線材に加えて少量の変形を与え曲がり測定する
ことを繰り返し、徐々に曲がりを矯正しつつ最終的に必
要な精度に収束させるのが普通である。図７は、こうし
た従来の加圧と測定の繰り返しによる線材の曲がり矯正
作業における荷重−変位特性線図の一例を示したもの
で、材料の降伏点を越える矯正荷重を４回繰り返し負荷
して塑性変形量を少しずつ増やしていき、４回目の負荷
で最終的に所要の塑性変形量を得ている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなトライアンドエラーによる矯正では、降伏点を越え
る加圧を繰り返すことにより線材材料の降伏点がその加
圧の都度上昇し、塑性変形領域を狭めて破断点に近づ
く。そのため、線材にクラックが発生したり、最悪の場
合は破断に至るおそれがあるという問題点がある。 【０００５】また、一回の加圧で適正な塑性変形を得る
ことができないため、加圧と測定を繰り返さねばなら
ず、矯正作業に時間がかかるという問題点がある。な
お、線材の曲がり矯正装置としては、線材を直列に配置
した複数段の加圧ローラの間に通しつつ、段階を追って
曲がり量を矯正していくものもあるが、このローラ矯正
は線材の断面形状が単純なものに限り適用可能である。
例えばリニアガイド装置の案内レールのように線材の長
さ方向の各所にボルト孔があったりして断面形状が不連
続な場合には、材料の弾・塑性特性（応力−歪特性）が
場所により変化してしまうため、矯正精度に限界があり
適用範囲が限られる。 【０００６】そこで、本発明は、このような問題点に着
目してなされたものであり、案内レールの曲がり矯正荷
重と変位量とを同時に計測して荷重−変位特性を求め、
該荷重−変位特性における弾性変形領域の値を基準とし
て矯正荷重負荷時の当該案内レールの塑性変形量を把握
することにより真に必要な矯正荷重を一回の加圧で負荷
し、これにより能率良い高精度の曲がり矯正を可能とす
る案内レールの曲がり矯正装置を提供することを目的と
している。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の案内レールの曲がり矯正装置は、リニアガイド装
置の案内レールに生じた曲がりの位置を検出する位置セ
ンサと、前記案内レールに生じた曲がりの初期曲がり量
を測定する初期曲がり量測定手段と、前記位置センサで
検出された位置に曲がり矯正用の荷重を負荷する曲がり
矯正手段と、前記曲がり矯正手段からの荷重により矯正
方向に変形する前記案内レールの変形量を検出する総変
形量検出手段と、前記曲がり矯正手段により前記案内レ
ールに現在負荷されている荷重の大きさに対応する前記
案内レールの弾性変形分相当量を演算する弾性変形分演
算手段と、前記総変形量検出手段で検出された変形量か
ら前記弾性変形分演算手段で得られた弾性変形分相当量
を減算する減算手段と、前記減算手段の演算結果と前記
初期曲がり量測定手段で測定された初期曲がり量とを比
較し、その差が零となったときに前記案内レールへの荷
重負荷を終了する旨の信号を前記曲がり矯正手段に送出
する制御手段とを備え、前記初期曲がり量測定手段が、
前記案内レールに接触する測定子を有する変位センサ
と、この変位センサを搭載した自走テーブルと、この自
走テーブルを前記案内レールの長手方向に案内するリニ
アガイド装置とを備えて構成されることを特徴とするも
のである。 【０００８】 【作用】線材の曲がり素性は、全体曲がり、部分曲が
り、また単一円弧に近似される曲がり、蛇行した複雑曲
がりによって表現される。本発明の案内レールの曲がり
矯正装置においては、先ず曲がり測定系の初期曲がり測
定手段でワークの曲がり形態を測定することでワークで
ある案内レールの曲がり素性を的確に把握する。その
際、ワークの全体の曲がり素性は蛇行した複雑曲がりで
あっても、部分的には単一円弧曲がりに近似され、その
連続形態とし捉えることができる。そこでワークＷの全
体曲がりを複数の単一円弧に区分して、その単一円弧毎
に曲がりを順次連続的に計測する。次に、曲がり矯正系
において、その単一円弧毎の曲がりデータに基づいてそ
れぞれの単一円弧毎の曲がりを矯正することにより最終
的に全体曲がりを矯正する。 【０００９】いま、図１（ｂ）に示すような曲がり量Ｙ
_C （以下、初期曲がり量という）を有する単一円弧状の
金属線材（ワーク）Ｗの両端を支持ポイントｐ₁ ，ｐ₂
で二点支持し、その支持スパンＬの中点個所に曲がり矯
正手段で曲がり矯正荷重Ｆを負荷して最大変形Ｙ_B まで
加圧し、その後荷重を除去して曲がり零に至る迄の過程
を、ワークの変形量をＹ軸、荷重ＦをＸ軸にとって線図
に表すと、同図（ａ）に模式的に示す荷重−変形特性線
図が得られる。 【００１０】図中、Ａは降伏点、Ｂは最大荷重変形点、
Ｃは曲がり零となる点、Ｄは破断点を表す。ワークは荷
重０から降伏点Ａに至る弾性変形領域から二次曲線ＡＢ
で示される塑性変形領域を経て、最大荷重変形点Ｂに至
り最大変形Ｙ_B に達する。ここで荷重Ｆを除くと、最大
荷重Ｘ_B から荷重０に至る直線ＢＣ（０Ａに平行）を経
て点Ｃに帰り曲がり零となる。直線Ｙ＝ａＸは弾性変形
領域０Ａの荷重−変位関係を外延して得られる弾性特性
補間直線であり、図から明らかなように、この直線Ｙ＝
ａＸと二次曲線ＡＢとのＹ座標の差が、初期曲がり量Ｙ
_C と等しくなる点が最大荷重変形点Ｂである。 【００１１】ここで、塑性変形領域ＡＢ間における現矯
正荷重Ｘの値に対するワークの変形量Ｙは、弾性変形量
と塑性変形量とが重畳した合計量（以下、総変形量とい
う）である。従来一般の線材の曲がり矯正にあっては、
最大荷重変形点Ｂでは総変形量Ｙ_B しか捉えていない。
しかしワークの曲がり矯正に必要な真の変形量は塑性変
形量のみで良く、弾性変形量はキャンセルする必要があ
る。 【００１２】本発明にあっては、弾性変形領域における
直線Ｙ＝ａＸを塑性変形領域に補間して弾性変形量相当
分をキャンセルする。すなわち、本発明の案内レールの
曲がり矯正装置は、先ず、初期曲がり測定手段でワーク
の単一円弧の初期曲がり量Ｙ_Cを正確に求めておく。次
に、ワークに曲がり矯正手段で曲がり矯正荷重を負荷す
る。このとき、現矯正荷重検出手段で現在負荷しつつあ
る矯正荷重の大きさを刻々に検出すると共に、総変形量
検出手段で現に変形しつつあるワークの弾性変形量及び
塑性変形量の合計である総変形量を刻々に検出して図１
（ａ）のようなワークの荷重−変形特性線を認識する。
もっとも、矯正時に取得されるこの荷重−変形特性は、
予め別途に取得しておいても良い。 【００１３】そして矯正荷重が降伏点Ａを越えて塑性変
形領域に達したら、弾性変形分演算手段により、弾性特
性補間直線Ｙ＝ａＸ上において現矯正荷重に対応する点
ＥのＹ座標値をワークの弾性変形分相当量ａＸとして演
算する。制御手段は、現矯正荷重によるワークの総変形
量検出値から弾性変形分相当量を減算し、その減算結果
を初期曲がり量Ｙｃと比較して、その差が零となったと
きに最大荷重変位点Ｂに達したと判断して、曲がり矯正
手段による曲がり矯正荷重の負荷を止める。 【００１４】かくして、一回の矯正荷重で最大荷重Ｘ_B
まで負荷して初期曲がり量にほぼ等しい塑性変形量を付
与し曲がり矯正を行うことをワークの単一円弧毎に順次
連続的に繰り返すことにより、能率良くワーク全体の曲
がりを矯正することができる。 【００１５】 【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図２ないし図４は、この発明の一実施例を示す
もので、図２は本発明の案内レールの曲がり矯正装置の
一実施例の全体平面図、図３は同側面図、図４は同装置
の制御系統の概略構成図である。この実施例の線材の曲
がり矯正装置は、曲がり測定系１と曲がり矯正系２とを
連携させて構成されている。曲がり測定系１には、ワー
クである金属線材Ｗの曲がり具合を線材の長手方向に沿
って順次に測定する初期曲がり測定手段１０が設けられ
ている。 【００１６】前記初期曲がり測定手段１０は、細長いテ
ーブル１１上に併設したワーク支持・転送部１２と自走
式の曲がり測定部１３とを有して構成されている。ワー
ク支持・転送部１２は、ワークＷを曲がり計測時に支持
し計測後に長手方向に搬送する複数の駆動式ローラ１４
と、それらのローラ１４の上に降ろす前にベッセル支持
によりワークＷを一度自然体に保持するため長手方向に
走行自在に間隔をおいて配した二箇所のリフタ１５と、
ワークＷをその軸周りに反転させる反転装置１６とを備
えている。この反転装置１６によりワークＷの位相を変
えることで、ワークＷに対する矯正荷重の負荷方向が一
方向であっても、曲がり方向の変化に対して複数方向か
らの矯正が可能になる。反転操作は測定・矯正をセット
した工程の必ず前で行う。 【００１７】なお、１７はプレッシャローラで、押さえ
ローラ１７ａとその昇降用シリンダ１７ｂとよりなる。
押さえローラ１７ａで駆動式ローラ１４の上にワークＷ
を押しつけて曲がりを有するワークＷの浮きを抑え、確
実に曲がり矯正系２へ搬送するための機構である。曲が
り測定部１３は、例えばスピンドルタイプの直線位置セ
ンサなどの変位センサ２０を搭載した自走テーブル２１
と、この自走テーブル２１の直線案内機構であるリニア
ガイド装置２２と、直線駆動機構であるラック・ピニオ
ン装置２３及び駆動用サーボモータ２４を備え、予め真
直度精度を出してあるテーブル１１上に計測テーブルユ
ニットとして配設されている。 【００１８】前記曲がり矯正手段３０は、初期曲がり測
定手段１０の下流側に隣接して配置されており、初期曲
がり測定データに基づいて定めた所定の位置でワークＷ
を二点支持する支持部３１と、その支持スパン間の一点
に曲がり矯正荷重を負荷する加圧部３２とを備えてい
る。支持部３１は、対称に配した一対のワーク支持ロー
ラ３１ａと、このワーク支持ローラ３１ａをワークＷに
対し離接する支持ローラ離接機構３１ｂ及び支持ローラ
間隔調節機構３１ｃとで構成されている。加圧部３２
は、前記一対のワーク支持ローラ３１ａの対称軸上に配
した一個の加圧ローラ３２ａと、その加圧ローラ３２ａ
の送り機構である二個一対のボールねじ装置３２ｂと、
そのボールねじ軸に駆動力を伝達するギア機構３２ｃ
と、その駆動源としてのサーボモータ３２ｄとで構成さ
れている。 【００１９】なお、曲がり測定系１から曲がり矯正系２
へとワークＷを搬送するに際して、狙った被矯正個所を
支持部３１に所定距離だけ正確に送り出して位置決めす
る必要があり、図４に示すように、そのためのエンコー
ダ付位置検知用ローラ２６を設けてそのパルス出力をパ
ルスカウンタ２７を介して制御装置にフィードバックす
るようになっている。 【００２０】次に、上記の構成を有する曲がり矯正手段
３０のメカニズムの制御系について、図４の装置系統概
念図に基づき説明する。曲がり矯正手段３０の加圧ロー
ラ３２ａには、現在ワークＷに対して負荷中の矯正荷重
（現矯正荷重）Ｆの大きさｘを刻々と検出する現矯正荷
重検出手段として、ロードセルなどの荷重サンサ４０が
設置されている。この荷重センサ４０の出力は荷重セン
サアンプ４１からＡ／Ｄ変換器４２を介して制御手段４
３にフィードバックされる。制御手段４３には又、初期
曲がり測定手段１０の曲がり測定用変位センサ２０の出
力が変位センサアンプ２０ａを介して送られると共に、
その変位センサ２０のｘ座標測定用の位置センサである
エンコーダ２４ｅ（サーボモータ２４に内蔵）のパルス
出力がパルスカウンタ２４ｂを介して送りこまれる。更
に、曲がり矯正手段３０の加圧ローラ３２ａのｙ座標測
定用の位置センサであるエンコーダ３２ｅ（サーボモー
タ３２ｄに内蔵）のパルス出力が、ワークＷの矯正変形
量情報としてパルスカウンタ４４を介してフィードバッ
クされる。前記エンコーダ３２ｅとパルスカウンタ４４
とで、現矯正荷重ＦによるワークＷの矯正方向の弾性変
形量Ｙ（荷重Ｆの大きさＸと比例しＹ＝ａＸで表され
る）と塑性変形量との合計変形量を検出するための総変
形量検出手段が構成されている。 【００２１】上記制御手段４３には、上記現矯正荷重Ｆ
によるワークＷの弾性変形領域での荷重−変形特性を塑
性変形領域に外延（直線補間）して得られるワークＷの
弾性変形分相当量を演算する弾性変形分演算手段４５と
しての例えば関数発生器、前記パルスカウンタ４４で得
られたワークＷの合計変形量から前記弾性変形分相当量
を減算する減算器４６、その減算結果を前記初期曲がり
測定手段１０で得られた初期曲がり量と比較する比較器
４７等が設けられており、比較差が零となったとき、サ
ーボモータ３２ｄのドライバ３２ｆに負荷完了指令を出
力するように構成されている。 【００２２】以上のように構成されたこの案内レールの
曲がり矯正装置で、例えば図４のように波うった二次元
の曲がりを有するワークＷの曲がり矯正を行う場合、ま
ず、ローラ支持転送部１２のローラ１４上にワークＷを
載置する。次に、間隔を調整したリフタ１５，１５で、
ワークＷのベッセル支持点を支持しワークＷを挙上す
る。ここにベッセル支持点とは、案内レールの自重たわ
みによる全長短縮量が最少となる支点位置であり、長さ
Ｌの案内レールの両端からそれぞれ０．２２Ｌだけ内側
の位置にある。この点を二点支持することで自重たわみ
のバランスをとり案内レールを最も安定した自然体に保
持することができ、自由たわみの弾性変形による曲がり
が最少となって測定精度が向上する。 【００２３】この自然体に保持したワークＷの一端を反
転装置１６で把持して軸周りに９０度旋回させ、曲がり
方向を水平にした状態でリフタ１５を降ろし、ワークＷ
をローラ１４上に置く。次に、原点位置に寄せた初期曲
がり測定手段１０の変位センサ２０の測定子をワークＷ
に接触させ、サーボモータ２４でラック・ピニオン装置
２３のピニオンを駆動させて図２で左端から右端へ向け
て自走させつつワークＷ全長にわたり初期曲がり量を計
測する。この計測で、エンコーダ２４ｅのパルス出力が
パルスカウンタ２４ｂを介して制御手段４３に送られ
て、一定のパルス数毎にワークＷの長手方向（ｘ方向）
の一定間隔（例えば５ｍｍ毎）の座標が図外の記憶部に
記憶される。同時に、その定間隔のパルス毎に、曲がり
測定用変位センサ２０のストローク長がｙ方向の変位と
して出力されて変位センサアンプ２０ａを介して制御手
段４３に送られて記憶部に記憶される。 【００２４】こうして得られたワークＷのｙ方向変形量
とその計測点のｘ方向位置とから、全体の曲がりパター
ンが認識される。この全体の曲がりパターンは、部分的
な単一円弧曲がりＡ１，Ａ２の連続形態であり、各単一
円弧Ａ１，Ａ２のスパンＬ₁，Ｌ₂ 毎のワークの初期曲
がり量Ｙｃとその計測位置座標に基づいて曲がり矯正を
行う。 【００２５】曲がり矯正系へのワーク搬送は、ローラ支
持・転送部１２の駆動式ローラ１４を図示しない駆動源
により回転駆動させることで行われる。このとき、ワー
クＷの自重だけでは、曲がりのためにワークＷが駆動式
ローラ１４から浮いてしまい動かなくなることもあり得
る。そこで、図３に示すようなプレッシャローラ１７で
ワークＷを駆動式ローラ１４に押しつけながら搬送す
る。このとき、エンコーダ付位置検知用ローラ２６をワ
ークＷに押し当ててその曲がりに沿い転動させる。この
ローラ２６の転動はロータリエンコーダのパルス出力と
してパルスカウンタ２７を介して制御手段４３にフィー
ドバックされ、ワーク長手方向の送り位置が正確に把握
される。この場合の送り量は直線距離であるのに対しロ
ーラ２６ではワークの送り長を曲線トレースすることに
なるが、ワークＷの長さディメンジョンは曲がり量ディ
メンジョンより遙に大きいことから両者の測定誤差は十
分無視できる量である。 【００２６】こうして、ワークＷの初めの単一円弧Ａ１
部分を支持部３１に送り出し、先に測定しておいた単一
円弧部分毎の初期曲がり量データに基づく支持ポイント
ｐ₁，ｐ₂ をワーク支持ローラ３１ａで二点支持する。
このときの２個のワーク支持ローラ３１ａ間の支持スパ
ンＬは支持ローラ間隔調節機構３１ｃで設定され、また
ワーク支持ローラ３１ａのワークＷに対する離接動作は
支持ローラ離接機構３１ｂにより行われる。 【００２７】次いで、支持したワークの支持スパンＬ間
の中央線上に位置する一個の加圧ローラ３２ａにより、
単一円弧Ａ１部分への矯正荷重の負荷を行う。この負荷
は、制御手段４３から加圧部３２のモータドライバ３２
ｆへの指令によりサーボモータ３２ｄを駆動させ、その
回転力をギア機構３２ｃを介してボールねじ装置３２ｂ
に伝達し、サーボモータ３２ｄの回転数に比例してＹ方
向に送り出される加圧ローラ３２ａでワークを加圧する
ことにより行われる。これにより、ワークの支持スパン
Ｌ間の曲がりは反対方向に加圧されて次第に変形する。
その際、変形量（Ｙ方向変位）に伴ってロータリエンコ
ーダ３２ｅから出力されるパルス信号がパルスカウンタ
４４を経てワークの曲がり矯正の変位情報として制御手
段４３に刻々にフィードバックされる。同時に、荷重セ
ンサ４０からは荷重の大きさに比例してアナログ荷重信
号が連続的に出力され、荷重センサアンプ４１からＡ／
Ｄ変換器４２を介して曲がり矯正の変位情報として制御
手段４３にフィードバックされる。このように、本発明
では矯正加圧中のワークＷの変形量を変位計で直接に計
測する代わりに、加圧ローラを駆動するサーボモータ３
２ｄに設けたロータリエンコーダ３２ｅで間接的に計測
する。これにより、最大数十トンに達することもある矯
正荷重が装置全体を歪めて正確な計測に影響を及ぼすよ
うな事態を避けられるという利点がある。 【００２８】こうして刻々と曲がり矯正手段３０の制御
手段にフィードバックされてくるワークへの現矯正荷重
データとこれによるワークの変形データに基づいて、当
該ワークＷの図１（ａ）に示されるような荷重−変形特
性が認識され、図外の記憶部に記憶されると共に、必要
に応じて表示装置４８に表示される。ワークは、矯正荷
重により、はじめに弾性変形し、その後降伏点Ａを通過
して塑性変形領域に至ると、以後は弾性変形量と塑性変
形量とが重畳した総変形量がパルスカウンタ４４から制
御手段４３にフィードバックされてくる。 【００２９】ここにおいて、上記加圧ローラ３２ａによ
る加圧中にリアルタイムで制御手段４３にフィードバッ
クされてくる荷重データと変位データとに基づいて、弾
性変形領域における直線Ｙ＝ａＸを塑性変形領域に補間
し、弾性変形分演算手段４５で現矯正荷重検出値Ｘに対
するワークの弾性変形分相当量ａＸを演算する。そし
て、その演算結果を現総変形量データから減算器４６で
減算するとともに、減算結果を先に記憶した初期曲がり
量Ｙｃと比較することを繰り返しつつ加圧を行う。やが
て、塑性変形がＢ点に達すると、総変形量Ｙ_B と弾性変
形分相当量ａＸ_Bとの差（Ｙ_B −ａＸ_B ）の値は初期曲
がり量Ｙｃと一致し（Ｙ_B −ａＸ_B ＝Ｙｃ）になる。そ
の時点で制御手段４３はモータドライバ３２ｆに加圧停
止指令を出力する。これによりサーボモータ３２ｄの駆
動が逆転されて加圧ローラ３２ａは後退し、ワークＷは
弾性変形量相当分がキャンセルされた真の塑性変形分だ
けの変形が得られる。すなわち、一回の矯正荷重で最大
荷重Ｘ_B まで一気に負荷し、初期曲がり量Ｙ_C にほぼ等
しい塑性変形量を付与して単一円弧Ａ１部分の曲がりを
矯正することができる。以後、続けて単一円弧Ａ２部分
を曲がり矯正系２に送り出し、前記同様に処理すること
を順次に繰り返すことにより、能率良くワークＷ全体の
曲がりを矯正することができる。 【００３０】図５に、この実施例により得られたワーク
の荷重−変位特性図の一例を示した。なお、上記の説明
では、加圧ローラ３２ａの荷重を測定する矯正荷重検出
手段であるロードセル４０を単体で使用するものとした
が、大きな加圧最大荷重の場合に分解能が低下すること
を考慮して、ロードセルを複数並列に設定し、ロードセ
ルにかかる荷重を分散させると共に単体分解能を確保す
ることにより、最大荷重と分解能とを両立させるように
することも可能である。 【００３１】従来は、例えばリニアガイド装置の案内レ
ール（幅２０ミリ×高さ１２．５ミリ×長さ４０００ミ
リ）の曲がり（最大０．４ミリ）を０．１ミリ以下に矯
正するのに２０分間を要していたが、本実施例の装置で
は約５分程度で完了することができた。また、矯正精度
は、狭範囲曲がり量０．１ミリ以下の仕様に対して、±
２０μｍ以下の精度を確保することができた。すなわ
ち、作業時間は１／４，矯正精度は６０％向上するとい
う結果が得られた。 【００３２】図６は、本発明の矯正方法で、マニュアル
制御により１９個の試料ワークの曲がり矯正を実験した
際の、ワークの矯正変形の狙い量（目標量）と実際の変
形量との対比グラフである。変形の狙い量５０μｍに対
し±１９μｍ（±３８％）の範囲内の曲がり矯正が可能
であった。なお、本発明の制御手段としてはコンピュー
タを用いても良い。 【００３３】 【発明の効果】以上説明したように、本発明の案内レー
ルの曲がり矯正装置によれば、案内レールの曲がりを単
一円弧の連なりに近似させ、各単一円弧毎の曲がり量を
初期曲がり測定手段で計測すると共に長手方向座標を求
めて曲がり矯正手段における所要の矯正支持スパン当た
りの変形量を取得し、これに基づいて得られるワークの
荷重−変位特性に応じて、曲がり矯正手段で矯正荷重値
と変形量とをリアルタイムで検出しつつ矯正荷重を負荷
する。こうして、弾性変形量をキャンセルした真の塑性
変形量に従いワークの曲がりを一回の加圧で矯正するこ
とにより、能率良い高精度の曲がり矯正を可能とするこ
とができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】 【図１】（ａ）は金属線材の曲がり矯正における荷重−
変形特性線図、（ｂ）は金属線材の曲がり態様の説明図
である。 【図２】本発明の線材の曲がり矯正装置の一実施例の平
面図である。 【図３】図２の側面図である。 【図４】同装置の系統概念図である。 【図５】本実施例において得られた荷重−変位特性図で
ある。 【図６】本発明の実施例における矯正変形の狙い量と実
際の変形量との対比グラフである。 【図７】従来の線材の曲がり矯正作業における荷重−変
位特性線図の一例である。 【符号の説明】 １ 曲がり測定系 ２ 曲がり矯正系 １０ 初期曲がり測定手段 ３０ 曲がり矯正手段 ４０ 総変形量検出手段 ４３ 制御手段 ４５ 弾性変形分演算手段

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−31365（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−337582（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−82939（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−150669（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−210819（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−278915（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−57919（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B21F 1/02 B21D 3/05

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 リニアガイド装置の案内レールに生じた
   曲がりの位置を検出する位置センサと、前記案内レール
   に生じた曲がりの初期曲がり量を測定する初期曲がり量
   測定手段と、前記位置センサで検出された位置に曲がり
   矯正用の荷重を負荷する曲がり矯正手段と、前記曲がり
   矯正手段からの荷重により矯正方向に変形する前記案内
   レールの変形量を検出する総変形量検出手段と、前記曲
   がり矯正手段により前記案内レールに現在負荷されてい
   る荷重の大きさに対応する前記案内レールの弾性変形分
   相当量を演算する弾性変形分演算手段と、前記総変形量
   検出手段で検出された変形量から前記弾性変形分演算手
   段で得られた弾性変形分相当量を減算する減算手段と、
   前記減算手段の演算結果と前記初期曲がり量測定手段で
   測定された初期曲がり量とを比較し、その差が零となっ
   たときに前記案内レールへの荷重負荷を終了する旨の信
   号を前記曲がり矯正手段に送出する制御手段とを備え、 前記初期曲がり量測定手段は、前記案内レールに接触す
   る測定子を有する変位センサと、この変位センサを搭載
   した自走テーブルと、この自走テーブルを前記案内レー
   ルの長手方向に案内するリニアガイド装置とを備えて構
   成される ことを特徴とする案内レールの曲がり矯正装
   置。