JP3438033B2 - 真空用クロスローラベアリングおよびこれを用いた多段スライドレールユニット - Google Patents
真空用クロスローラベアリングおよびこれを用いた多段スライドレールユニットInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造装置
内部の搬送系のように、真空環境で使用される機構に適
した直動型の真空用クロスローラベアリングと、この真
空用クロスローラベアリングを用いた多段スライドレー
ルユニットに関する。
内部の搬送系のように、真空環境で使用される機構に適
した直動型の真空用クロスローラベアリングと、この真
空用クロスローラベアリングを用いた多段スライドレー
ルユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、従来のクロスローラベアリングの
一例を図６に示す。図例のクロスローラベアリング２１
は、一対の軌道レール２２Ａ，２２Ｂと、複数のローラ
２３と、保持器２４とを備えている。
一例を図６に示す。図例のクロスローラベアリング２１
は、一対の軌道レール２２Ａ，２２Ｂと、複数のローラ
２３と、保持器２４とを備えている。
【０００３】一対の軌道レール２２Ａ，２２Ｂは、Ｖ溝
状の軌道面を有しており、それぞれ軌道面を対向させる
ようにして平行に配置されるものである。複数のローラ
２３は、それぞれ直径寸法と軸方向長さ寸法とが等しい
ものであり、４５°の傾斜姿勢で対向する軌道面の間に
転動自在に嵌置される。保持器２４は、これらのローラ
２３を一列に整列した状態で交互に逆の傾斜姿勢に保持
するものである。
状の軌道面を有しており、それぞれ軌道面を対向させる
ようにして平行に配置されるものである。複数のローラ
２３は、それぞれ直径寸法と軸方向長さ寸法とが等しい
ものであり、４５°の傾斜姿勢で対向する軌道面の間に
転動自在に嵌置される。保持器２４は、これらのローラ
２３を一列に整列した状態で交互に逆の傾斜姿勢に保持
するものである。
【０００４】なお、軌道レール２２Ａ，２２Ｂの長手方
向数箇所には、厚み方向に貫通する取り付け用ねじ孔２
５が刻設されており、また、長手方向一端面には、軌道
面の溝からのローラ２３の抜け出しを阻止するローラ抜
け止め用ねじ２６が螺着される有底のねじ孔２７が長手
方向に沿って刻設されている。
向数箇所には、厚み方向に貫通する取り付け用ねじ孔２
５が刻設されており、また、長手方向一端面には、軌道
面の溝からのローラ２３の抜け出しを阻止するローラ抜
け止め用ねじ２６が螺着される有底のねじ孔２７が長手
方向に沿って刻設されている。
【０００５】このような構成のクロスローラベアリング
２１は、負荷容量が大きくがたつきの少ない摺動が可能
であり、例えば、半導体製造装置内部の搬送系のよう
に、真空環境もしくは清浄環境のもとで精度のよい動き
が必要とされる機構での多段スライドレールユニットに
用いられる。
２１は、負荷容量が大きくがたつきの少ない摺動が可能
であり、例えば、半導体製造装置内部の搬送系のよう
に、真空環境もしくは清浄環境のもとで精度のよい動き
が必要とされる機構での多段スライドレールユニットに
用いられる。
【０００６】このクロスローラベアリング２１を用いた
多段スライドレールユニットの一例を図７に示す。図に
は、上下三段のアーム２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃを有する
スライドレールユニットを示している。すなわち、固定
のベース（図示省略）に固定される広幅の最下段アーム
２８Ａと、中間幅の中段アーム２８Ｂと、狭幅の最上段
アーム２８Ｃとを有する。そして、最下段アーム２８Ａ
の幅方向両端と中段アーム２８Ｂの幅方向両端との間お
よび、中段アーム２８Ｂの幅方向両端と最上段アーム２
８Ｃの幅方向両端との間に、それぞれクロスローラベア
リング２１が設けられており、クロスローラベアリング
２１は、合計四つ用いられている。
多段スライドレールユニットの一例を図７に示す。図に
は、上下三段のアーム２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃを有する
スライドレールユニットを示している。すなわち、固定
のベース（図示省略）に固定される広幅の最下段アーム
２８Ａと、中間幅の中段アーム２８Ｂと、狭幅の最上段
アーム２８Ｃとを有する。そして、最下段アーム２８Ａ
の幅方向両端と中段アーム２８Ｂの幅方向両端との間お
よび、中段アーム２８Ｂの幅方向両端と最上段アーム２
８Ｃの幅方向両端との間に、それぞれクロスローラベア
リング２１が設けられており、クロスローラベアリング
２１は、合計四つ用いられている。
【０００７】詳しくは、最下段アーム２８Ａの幅方向両
端の上面と中段アーム２８Ｂの幅方向両端より若干内側
の上面とに、クロスローラベアリング２１の第１軌道レ
ール２２Ａが、また、中段アーム２８Ｂの幅方向両端の
下面と最上段アーム２８Ｃの幅方向両端の下面とに前記
クロスローラベアリング２１の対となる第２軌道レール
２２Ｂが、それぞれ六角レンチ穴付きボルト２９を介し
て取り付けられている。このボルト２９は、いずれも、
アーム２８Ａ〜２８Ｃ側から各軌道レール２２Ａ，２２
Ｂへ向けて螺着されている。なお、各アーム２８Ａ〜２
８Ｃのボルト挿通孔３０は、それぞれボルト２９の頭部
側がほぼ密に嵌合する大きさに形成されている。
端の上面と中段アーム２８Ｂの幅方向両端より若干内側
の上面とに、クロスローラベアリング２１の第１軌道レ
ール２２Ａが、また、中段アーム２８Ｂの幅方向両端の
下面と最上段アーム２８Ｃの幅方向両端の下面とに前記
クロスローラベアリング２１の対となる第２軌道レール
２２Ｂが、それぞれ六角レンチ穴付きボルト２９を介し
て取り付けられている。このボルト２９は、いずれも、
アーム２８Ａ〜２８Ｃ側から各軌道レール２２Ａ，２２
Ｂへ向けて螺着されている。なお、各アーム２８Ａ〜２
８Ｃのボルト挿通孔３０は、それぞれボルト２９の頭部
側がほぼ密に嵌合する大きさに形成されている。
【０００８】ところで、真空環境では、クロスローラベ
アリング２１にグリースのような潤滑剤が使用できない
ので、従来では、主として、一対の軌道レール２２Ａ〜
２２Ｂの軌道面やローラ２３の表面に、金、銀、鉛、銅
などの軟質金属、カーボンや二硫化モリブデンなどの固
体潤滑剤を膜状にコーティングすることが行われてい
る。
アリング２１にグリースのような潤滑剤が使用できない
ので、従来では、主として、一対の軌道レール２２Ａ〜
２２Ｂの軌道面やローラ２３の表面に、金、銀、鉛、銅
などの軟質金属、カーボンや二硫化モリブデンなどの固
体潤滑剤を膜状にコーティングすることが行われてい
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
固体潤滑剤からなる潤滑膜では、グリース使用時のよう
な潤滑剤の蒸発はないものの、潤滑膜がローラ２３との
接触により僅かずつ摩耗したり、剥離、欠落したりする
ため、少なからず発塵が生じ、その発塵状況は特に真空
環境では不適合のレベルになる。
固体潤滑剤からなる潤滑膜では、グリース使用時のよう
な潤滑剤の蒸発はないものの、潤滑膜がローラ２３との
接触により僅かずつ摩耗したり、剥離、欠落したりする
ため、少なからず発塵が生じ、その発塵状況は特に真空
環境では不適合のレベルになる。
【００１０】また、従来のクロスローラベアリング２１
では、ローラ抜け止め用ねじ２６が螺着されるねじ孔２
７は、めくら孔であるため、ねじ２６の螺着状態におい
てねじ孔２７の内部に少量ながら空気が閉じ込められ
る。この空気は、真空引きの際に残留して、真空度を低
下させるものであり、使用環境を高度の真空に維持する
上で好ましくない。
では、ローラ抜け止め用ねじ２６が螺着されるねじ孔２
７は、めくら孔であるため、ねじ２６の螺着状態におい
てねじ孔２７の内部に少量ながら空気が閉じ込められ
る。この空気は、真空引きの際に残留して、真空度を低
下させるものであり、使用環境を高度の真空に維持する
上で好ましくない。
【００１１】さらに、従来の多段スライドレールユニッ
トの構造は、上述したように、ボルト２９によりクロス
ローラベアリング２１の一対の軌道レール２２Ａ，２２
Ｂが各アーム２８Ａ〜２８Ｃに幅方向に固定的に取り付
けられるようになっているから、クロスローラベアリン
グ２１の内部隙間は、各アーム２８Ａ〜２８Ｃに対する
一対の軌道レール２２Ａ，２２Ｂの取付精度に依存する
ようになっている。
トの構造は、上述したように、ボルト２９によりクロス
ローラベアリング２１の一対の軌道レール２２Ａ，２２
Ｂが各アーム２８Ａ〜２８Ｃに幅方向に固定的に取り付
けられるようになっているから、クロスローラベアリン
グ２１の内部隙間は、各アーム２８Ａ〜２８Ｃに対する
一対の軌道レール２２Ａ，２２Ｂの取付精度に依存する
ようになっている。
【００１２】このクロスローラベアリング２１の内部隙
間が適正でないと、つまり一対の軌道レール２２Ａ，２
２Ｂどうしの間隔が広ければがたつきが生じ、多段構造
であるが故に、例えば片持ち状態になると自由端側での
位置精度に狂いが生じ、適正な位置決めができないなど
の不具合を生じる。また、一対の軌道レール２２Ａ，２
２Ｂの間隔が狭ければスライド抵抗が増大するほか、摩
耗、発塵が甚だしくなるなどの不具合が生じる。そのた
め、従来では、各アーム２８Ａ〜２８Ｃのボルト挿通孔
３０の形成位置を高精度に管理することにより、クロス
ローラベアリング２１の内部隙間を適正に調整するよう
にしなければならず、コスト高につながる。
間が適正でないと、つまり一対の軌道レール２２Ａ，２
２Ｂどうしの間隔が広ければがたつきが生じ、多段構造
であるが故に、例えば片持ち状態になると自由端側での
位置精度に狂いが生じ、適正な位置決めができないなど
の不具合を生じる。また、一対の軌道レール２２Ａ，２
２Ｂの間隔が狭ければスライド抵抗が増大するほか、摩
耗、発塵が甚だしくなるなどの不具合が生じる。そのた
め、従来では、各アーム２８Ａ〜２８Ｃのボルト挿通孔
３０の形成位置を高精度に管理することにより、クロス
ローラベアリング２１の内部隙間を適正に調整するよう
にしなければならず、コスト高につながる。
【００１３】したがって、本発明は、クロスローラベア
リングにおいて、潤滑膜からの摩耗などによる発塵を抑
制し、高度の真空環境を維持できるようにすることを目
的としている。
リングにおいて、潤滑膜からの摩耗などによる発塵を抑
制し、高度の真空環境を維持できるようにすることを目
的としている。
【００１４】また、本発明は、クロスローラベアリング
において、閉じ込め空気をなくし、このことによって
も、高度の真空環境を維持できるようにすることを目的
としている。
において、閉じ込め空気をなくし、このことによって
も、高度の真空環境を維持できるようにすることを目的
としている。
【００１５】さらに、本発明は、多段スライドレールユ
ニットにおいて、アームへの軌道レールの取り付け位置
を微量調整しうるようにして、クロスローラベアリング
に適度の予圧を付与し、がたつきなく高精度の組み立て
が行えるようにするとともに、位置決め精度を高くする
ことを目的としている。
ニットにおいて、アームへの軌道レールの取り付け位置
を微量調整しうるようにして、クロスローラベアリング
に適度の予圧を付与し、がたつきなく高精度の組み立て
が行えるようにするとともに、位置決め精度を高くする
ことを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本の真空用クロスローラ
ベアリングは、Ｖ溝状の軌道面を有する一対の軌道レー
ルと、これら両軌道レールの対向する軌道面の間に転動
自在に嵌置された複数のローラと、ローラの保持器とを
備えるクロスローラベアリングであって、前記構成要素
のうち、少なくとも軌道レールが耐食性の金属材からな
り、この軌道レールの軌道面を含む対向面に、熱硬化性
合成樹脂からなる有機バインダー中に平均分子量１×１
０ 4 〜５×１０ 4 のポリテトラフルオロエチレンポリマー
を分散混合した潤滑膜がコーティングされている。
ベアリングは、Ｖ溝状の軌道面を有する一対の軌道レー
ルと、これら両軌道レールの対向する軌道面の間に転動
自在に嵌置された複数のローラと、ローラの保持器とを
備えるクロスローラベアリングであって、前記構成要素
のうち、少なくとも軌道レールが耐食性の金属材からな
り、この軌道レールの軌道面を含む対向面に、熱硬化性
合成樹脂からなる有機バインダー中に平均分子量１×１
０ 4 〜５×１０ 4 のポリテトラフルオロエチレンポリマー
を分散混合した潤滑膜がコーティングされている。
【００１７】なお、前述の真空用クロスローラベアリン
グにおいて、軌道レールの端部に、軌道面から背面に抜
ける貫通孔を穿設し、この貫通孔にローラ抜け止め用の
ピンが嵌入することができる。
グにおいて、軌道レールの端部に、軌道面から背面に抜
ける貫通孔を穿設し、この貫通孔にローラ抜け止め用の
ピンが嵌入することができる。
【００１８】本発明の多段スライドレールユニットは、
順次積み重ね状に配置された大小異なる幅の多段のアー
ムと、上下のアームの各幅方向両端の間にそれぞれ設け
られる前述のクロスローラベアリングとを備えるもの
で、幅広のアームの幅方向両端一面に前記クロスローラ
ベアリングの一方の軌道レールが、また、幅狭のアーム
の幅方向両端一面に前記クロスローラベアリングの対と
なる他方の軌道レールが、それぞれ取り付けられてい
る。
順次積み重ね状に配置された大小異なる幅の多段のアー
ムと、上下のアームの各幅方向両端の間にそれぞれ設け
られる前述のクロスローラベアリングとを備えるもの
で、幅広のアームの幅方向両端一面に前記クロスローラ
ベアリングの一方の軌道レールが、また、幅狭のアーム
の幅方向両端一面に前記クロスローラベアリングの対と
なる他方の軌道レールが、それぞれ取り付けられてい
る。
【００１９】なお、前述の多段スライドレールユニット
において、各軌道レールは、アームの挿通孔を挿通され
て軌道レールに螺着されるボルトによりアームに固着さ
れるものとし、各アームの一対のボルト挿通孔のうち、
いずれか一方のボルト挿通孔は、ボルト径よりも幅方向
が長い形に形成するのが好ましい。
において、各軌道レールは、アームの挿通孔を挿通され
て軌道レールに螺着されるボルトによりアームに固着さ
れるものとし、各アームの一対のボルト挿通孔のうち、
いずれか一方のボルト挿通孔は、ボルト径よりも幅方向
が長い形に形成するのが好ましい。
【００２０】
【作用】本発明のクロスローラベアリングでは、潤滑膜
が剥離しにくく、発塵はほとんど生じない。また、軌道
レールの貫通孔にローラ抜け止め用ピンを圧入するよう
にした場合は、軌道レールに空気が閉じ込められるよう
なことがない。
が剥離しにくく、発塵はほとんど生じない。また、軌道
レールの貫通孔にローラ抜け止め用ピンを圧入するよう
にした場合は、軌道レールに空気が閉じ込められるよう
なことがない。
【００２１】また、本発明の多段スライドレールユニッ
トでは、クロスローラベアリングからの発塵が抑えられ
るほか、幅方向両側の一対のクロスローラベアリングの
うち、一方のクロスローラベアリングの幅方向外側の軌
道レールが幅方向位置を微調整できるようになっている
から、この軌道レールの位置微調整により、幅方向両側
の一対のクロスローラベアリングの各内部隙間を適正に
調整できるようになり、アームそれぞれのがたつきをな
くせるようになり、高精度の位置決めができるようにな
る。
トでは、クロスローラベアリングからの発塵が抑えられ
るほか、幅方向両側の一対のクロスローラベアリングの
うち、一方のクロスローラベアリングの幅方向外側の軌
道レールが幅方向位置を微調整できるようになっている
から、この軌道レールの位置微調整により、幅方向両側
の一対のクロスローラベアリングの各内部隙間を適正に
調整できるようになり、アームそれぞれのがたつきをな
くせるようになり、高精度の位置決めができるようにな
る。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の詳細を図１ないし図５に示す
実施例に基づいて説明する。図１および図２は本発明の
クロスローラベアリングの一実施例にかかり、図１は、
クロスローラベアリングの斜視図、図２は、同クロスロ
ーラベアリングの分解状態の縦断正面図である。
実施例に基づいて説明する。図１および図２は本発明の
クロスローラベアリングの一実施例にかかり、図１は、
クロスローラベアリングの斜視図、図２は、同クロスロ
ーラベアリングの分解状態の縦断正面図である。
【００２３】図中、符号１はクロスローラベアリングで
あり、このクロスローラベアリング１は、Ｖ溝状の軌道
面を有する一対の軌道レール２Ａ，２Ｂと、複数のロー
ラ３と、保持器４とを備えている。
あり、このクロスローラベアリング１は、Ｖ溝状の軌道
面を有する一対の軌道レール２Ａ，２Ｂと、複数のロー
ラ３と、保持器４とを備えている。
【００２４】一対の軌道レール２Ａ，２Ｂは、Ｖ溝状の
軌道面を有しており、それぞれ軌道面を対向させるよう
にして平行に配置されるものである。複数のローラ３
は、それぞれ直径寸法と軸方向長さ寸法とが等しいもの
であり、４５°の傾斜姿勢で対向する軌道面の間に転動
自在に嵌置される。保持器４は、これらのローラ３を一
列に整列した状態で交互に逆の傾斜姿勢に保持するもの
である。
軌道面を有しており、それぞれ軌道面を対向させるよう
にして平行に配置されるものである。複数のローラ３
は、それぞれ直径寸法と軸方向長さ寸法とが等しいもの
であり、４５°の傾斜姿勢で対向する軌道面の間に転動
自在に嵌置される。保持器４は、これらのローラ３を一
列に整列した状態で交互に逆の傾斜姿勢に保持するもの
である。
【００２５】なお、一対の軌道レール２Ａ，２Ｂの長手
方向数箇所には、厚み方向に貫通する取り付け用ねじ孔
５が刻設されており、また、長手方向一端側には、軌道
面から背面に抜ける貫通孔７が穿設されている。この貫
通孔７には、ローラ抜け止め用ピンとして割筒状のスプ
リングピン８が圧入され、このスプリングピン８は、軌
道面であるＶ溝内に突出してローラ３を受け止めるよう
になっている。
方向数箇所には、厚み方向に貫通する取り付け用ねじ孔
５が刻設されており、また、長手方向一端側には、軌道
面から背面に抜ける貫通孔７が穿設されている。この貫
通孔７には、ローラ抜け止め用ピンとして割筒状のスプ
リングピン８が圧入され、このスプリングピン８は、軌
道面であるＶ溝内に突出してローラ３を受け止めるよう
になっている。
【００２６】そして、クロスローラベアリング１の構成
要素のうち、一対の軌道レール２Ａ，２Ｂは耐食性の金
属材からなり、これらの軌道レール２Ａ，２Ｂの軌道面
を含む対向面には、熱硬化性合成樹脂からなる有機バイ
ンダー中にふっ素系合成樹脂を分散混合した潤滑膜６が
被覆形成されている。
要素のうち、一対の軌道レール２Ａ，２Ｂは耐食性の金
属材からなり、これらの軌道レール２Ａ，２Ｂの軌道面
を含む対向面には、熱硬化性合成樹脂からなる有機バイ
ンダー中にふっ素系合成樹脂を分散混合した潤滑膜６が
被覆形成されている。
【００２７】前述の耐食性の金属材としては、ＪＩＳ規
格ＳＵＳ４４０Ｃのようなマルテンサイト系ステンレス
鋼に適当な硬化熱処理を施したもの、もしくはＪＩＳ規
格ＳＵＳ６３０のような析出硬化型ステンレス鋼に適当
な硬化熱処理を施したもの等が好適である。また、軽荷
重用途では、ＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４などのオーステナ
イト系ステンレス鋼の使用も可能である。このほか、Ｎ
ｉ−Ｃｒ−Ｍｏ系の合金、例えば三菱マテリアル社製、
商品名ハステロイＣ−２２、ハステロイＣ−２７６、ハ
ステロイＣ−４などの使用も可能である。
格ＳＵＳ４４０Ｃのようなマルテンサイト系ステンレス
鋼に適当な硬化熱処理を施したもの、もしくはＪＩＳ規
格ＳＵＳ６３０のような析出硬化型ステンレス鋼に適当
な硬化熱処理を施したもの等が好適である。また、軽荷
重用途では、ＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４などのオーステナ
イト系ステンレス鋼の使用も可能である。このほか、Ｎ
ｉ−Ｃｒ−Ｍｏ系の合金、例えば三菱マテリアル社製、
商品名ハステロイＣ−２２、ハステロイＣ−２７６、ハ
ステロイＣ−４などの使用も可能である。
【００２８】ローラ３や保持器４については特に素材を
限定しないが、ローラ３は軌道レール２Ａ，２Ｂと同様
の金属材で構成することが望ましい。
限定しないが、ローラ３は軌道レール２Ａ，２Ｂと同様
の金属材で構成することが望ましい。
【００２９】前述の潤滑膜６は、ふっ素系合成樹脂を潤
滑主体とするもので、そのふっ素系合成樹脂としては、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の他、エチレ
ンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）がある。
滑主体とするもので、そのふっ素系合成樹脂としては、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の他、エチレ
ンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）がある。
【００３０】このうち、潤滑膜６の潤滑主体としてＰＴ
ＦＥを用いる場合、平均分子量１×１０4〜５×１０4の
ポリマー、中でも３×１０4〜５×１０4の平均分子量の
ポリマーが好適である。これは、１×１０4を下回る平
均分子量のポリマーでは、付着強度が低下し、摺動抵抗
も大きくなり、５×１０4を超える平均分子量のポリマ
ーでは、剪断抵抗が大きく、また硬くなりすぎるため、
密着性に劣り、剥離した際に摩耗粉となりやすいからで
ある。また、ＰＴＦＥの粒子径は、２〜３μｍのものが
好適である。これは、３μｍを超える粒子径では、流動
性、分散性が低下するとともに、粒子が潤滑膜６から突
出して、潤滑膜６の平滑性が損なわれ、２μｍを下回る
粒子径では、コストがかさみ、経済的にもマイナスとな
るからである。
ＦＥを用いる場合、平均分子量１×１０4〜５×１０4の
ポリマー、中でも３×１０4〜５×１０4の平均分子量の
ポリマーが好適である。これは、１×１０4を下回る平
均分子量のポリマーでは、付着強度が低下し、摺動抵抗
も大きくなり、５×１０4を超える平均分子量のポリマ
ーでは、剪断抵抗が大きく、また硬くなりすぎるため、
密着性に劣り、剥離した際に摩耗粉となりやすいからで
ある。また、ＰＴＦＥの粒子径は、２〜３μｍのものが
好適である。これは、３μｍを超える粒子径では、流動
性、分散性が低下するとともに、粒子が潤滑膜６から突
出して、潤滑膜６の平滑性が損なわれ、２μｍを下回る
粒子径では、コストがかさみ、経済的にもマイナスとな
るからである。
【００３１】潤滑膜６の有機バインダーとする熱硬化性
合成樹脂は、それ自身ある程度の摺動性を有しているこ
とが望ましく、例えば、イミド結合またはアミドイミド
結合を有する樹脂が望ましい。イミド結合またはアミド
イミド結合を有する樹脂のバインダーには、例えば熱硬
化性の縮合重合型ポリイミド、ポリアミドイミドがあ
る。
合成樹脂は、それ自身ある程度の摺動性を有しているこ
とが望ましく、例えば、イミド結合またはアミドイミド
結合を有する樹脂が望ましい。イミド結合またはアミド
イミド結合を有する樹脂のバインダーには、例えば熱硬
化性の縮合重合型ポリイミド、ポリアミドイミドがあ
る。
【００３２】ここで、潤滑膜６を形成する工程の具体例
を説明すると、まず、イミド結合またはアミドイミド結
合を有する樹脂のバインダーを１０〜５０重量％とし
て、この中にふっ素系合成樹脂１〜２０重量％を、Ｎ−
メチル−２−ピロリドンなどの溶媒を用いて分散混合さ
せた溶液を用意し、これを軌道レール２の対向面にボン
デッドフィルム法により塗布し、これを約１８０℃の温
度で所定時間（約３０分〜１２０分）加熱焼成すること
により、対向面に定着させる。
を説明すると、まず、イミド結合またはアミドイミド結
合を有する樹脂のバインダーを１０〜５０重量％とし
て、この中にふっ素系合成樹脂１〜２０重量％を、Ｎ−
メチル−２−ピロリドンなどの溶媒を用いて分散混合さ
せた溶液を用意し、これを軌道レール２の対向面にボン
デッドフィルム法により塗布し、これを約１８０℃の温
度で所定時間（約３０分〜１２０分）加熱焼成すること
により、対向面に定着させる。
【００３３】このときの焼成温度は、使用環境の温度に
応じて設定すれば、使用状態においてバインダーの蒸発
がなくなり、発塵特性がさらに向上するようになる。
応じて設定すれば、使用状態においてバインダーの蒸発
がなくなり、発塵特性がさらに向上するようになる。
【００３４】上記構成のクロスローラベアリング１で
は、潤滑膜６により摺動が円滑化されるとともに、潤滑
膜６が硬質で、軌道レール２Ａ，２Ｂへの定着が強固で
あるから、剥離しにくく、粉化することもなく、発塵は
ほとんど生じない。
は、潤滑膜６により摺動が円滑化されるとともに、潤滑
膜６が硬質で、軌道レール２Ａ，２Ｂへの定着が強固で
あるから、剥離しにくく、粉化することもなく、発塵は
ほとんど生じない。
【００３５】また、ローラ抜け止め用のスプリングピン
８が圧入される孔７は、貫通孔であるから、内部に空気
が閉じ込められるようなことがなく、使用個所の真空引
きの際、空気が残留して真空度を低下させるおそれがな
い。
８が圧入される孔７は、貫通孔であるから、内部に空気
が閉じ込められるようなことがなく、使用個所の真空引
きの際、空気が残留して真空度を低下させるおそれがな
い。
【００３６】図３ないし図５は本発明の多段スライドレ
ールユニットの一実施例にかかり、図３は、多段スライ
ドレールユニット全体の斜視図、図４は、同多段スライ
ドレールユニットの半分の縦断正面図、図５は、同多段
スライドレールユニットの要部の分解状態の縦断側面図
である。
ールユニットの一実施例にかかり、図３は、多段スライ
ドレールユニット全体の斜視図、図４は、同多段スライ
ドレールユニットの半分の縦断正面図、図５は、同多段
スライドレールユニットの要部の分解状態の縦断側面図
である。
【００３７】ここでの多段スライドレールユニットは、
上記クロスローラベアリング１を用いて上下三段のアー
ム９Ａ〜９Ｃを用いている。
上記クロスローラベアリング１を用いて上下三段のアー
ム９Ａ〜９Ｃを用いている。
【００３８】すなわち、固定のベース（図示省略）に固
定される広幅の最下段アーム９Ａと、中間幅の中段アー
ム９Ｂと、狭幅の最上段アーム９Ｃとを有する。そし
て、最下段アーム９Ａの幅方向両端と中段アーム９Ｂの
幅方向両端との間および、中段アーム９Ｂの幅方向両端
と最上段アーム９Ｃの幅方向両端との間に、それぞれク
ロスローラベアリング１が設けられており、クロスロー
ラベアリング１は、合計四つ用いられている。
定される広幅の最下段アーム９Ａと、中間幅の中段アー
ム９Ｂと、狭幅の最上段アーム９Ｃとを有する。そし
て、最下段アーム９Ａの幅方向両端と中段アーム９Ｂの
幅方向両端との間および、中段アーム９Ｂの幅方向両端
と最上段アーム９Ｃの幅方向両端との間に、それぞれク
ロスローラベアリング１が設けられており、クロスロー
ラベアリング１は、合計四つ用いられている。
【００３９】詳しくは、最下段アーム９Ａの幅方向両端
の上面と中段アーム９Ｂの幅方向両端より若干内側の上
面とに、クロスローラベアリング１の第１軌道レール２
Ａが、また、中段アーム９Ｂの幅方向両端の下面と最上
段アーム９Ｃの幅方向両端の下面とに前記クロスローラ
ベアリング１の対となる第２軌道レール２Ｂが、それぞ
れボルト１０を介して取り付けられている。このボルト
１０は、いずれも、アーム９Ａ〜９Ｃ側から軌道レール
２Ａ，２Ｂへ向けて螺着されている。
の上面と中段アーム９Ｂの幅方向両端より若干内側の上
面とに、クロスローラベアリング１の第１軌道レール２
Ａが、また、中段アーム９Ｂの幅方向両端の下面と最上
段アーム９Ｃの幅方向両端の下面とに前記クロスローラ
ベアリング１の対となる第２軌道レール２Ｂが、それぞ
れボルト１０を介して取り付けられている。このボルト
１０は、いずれも、アーム９Ａ〜９Ｃ側から軌道レール
２Ａ，２Ｂへ向けて螺着されている。
【００４０】各クロスローラベアリング１の一対の軌道
レール２Ａ，２Ｂは、いずれも六角穴付きボルト１０に
より、アーム９Ａ〜９Ｃに固着されるのであって、その
ボルト１０は、アーム９Ａ〜９Ｃに穿設された挿通孔１
１を挿通させて一対の軌道レール２Ａ〜２Ｂのねじ孔５
に螺着される。アーム９のボルト挿通孔１１は、ボルト
１０の頭部およびねじ部の形状に対応して段付きの孔に
なっている。
レール２Ａ，２Ｂは、いずれも六角穴付きボルト１０に
より、アーム９Ａ〜９Ｃに固着されるのであって、その
ボルト１０は、アーム９Ａ〜９Ｃに穿設された挿通孔１
１を挿通させて一対の軌道レール２Ａ〜２Ｂのねじ孔５
に螺着される。アーム９のボルト挿通孔１１は、ボルト
１０の頭部およびねじ部の形状に対応して段付きの孔に
なっている。
【００４１】なお、最上段アーム９Ｃと最下段アーム９
Ａとの長手方向一端には、位置決めピン１２，１３が肉
厚方向に貫通して取り付けられている。この位置決めピ
ン１２，１３は、それぞれ中段アーム９Ｂの長手方向両
端に当接してアームの最大の伸縮量を規制するものであ
る。
Ａとの長手方向一端には、位置決めピン１２，１３が肉
厚方向に貫通して取り付けられている。この位置決めピ
ン１２，１３は、それぞれ中段アーム９Ｂの長手方向両
端に当接してアームの最大の伸縮量を規制するものであ
る。
【００４２】ここで、最下段アーム９Ａの幅方向一端側
（左側）および中段アーム９Ｂの幅方向一端側（左側）
の両ボルト挿通孔１１は、ボルト１０の径寸法に比べ幅
方向に長い形に形成されているが、他のボルト挿通孔１
１は、ボルト１０の頭部側が密に嵌合する大きさに形成
されている。なお、最下段アーム９Ａの幅方向一端側
（左側）および中段アーム９Ｂの幅方向一端側（左側）
の両ボルト挿通孔１１は、幅方向に長い長孔とするほ
か、ボルト径に比べ大径の円孔としてもよく、また、最
下段アーム９Ａの外側面に開いた切欠き孔にしてもよ
い。
（左側）および中段アーム９Ｂの幅方向一端側（左側）
の両ボルト挿通孔１１は、ボルト１０の径寸法に比べ幅
方向に長い形に形成されているが、他のボルト挿通孔１
１は、ボルト１０の頭部側が密に嵌合する大きさに形成
されている。なお、最下段アーム９Ａの幅方向一端側
（左側）および中段アーム９Ｂの幅方向一端側（左側）
の両ボルト挿通孔１１は、幅方向に長い長孔とするほ
か、ボルト径に比べ大径の円孔としてもよく、また、最
下段アーム９Ａの外側面に開いた切欠き孔にしてもよ
い。
【００４３】これは、最下段アーム９Ａと中段アーム９
Ｂとの間に設けられる一対のクロスローラベアリング
１，１および、中段アーム９Ｂと最上段アーム９Ｃとの
間に設けられる一対のクロスローラベアリング１，１の
うち、一方側（左側）のクロスローラベアリング１の幅
方向位置を所要量変位できるようにするためであり、こ
の変位によって上下二段の一対のクロスローラベアリン
グ１の内部隙間を微調整できるようにしている。
Ｂとの間に設けられる一対のクロスローラベアリング
１，１および、中段アーム９Ｂと最上段アーム９Ｃとの
間に設けられる一対のクロスローラベアリング１，１の
うち、一方側（左側）のクロスローラベアリング１の幅
方向位置を所要量変位できるようにするためであり、こ
の変位によって上下二段の一対のクロスローラベアリン
グ１の内部隙間を微調整できるようにしている。
【００４４】次に、この組み立て手順を説明する。ま
ず、最上段アーム９Ｃと中段アーム９Ｂとを連結する。
つまり、この両アーム９Ｃ、９Ｂの右側にクロスローラ
ベアリング１の一対の軌道レール２Ａ，２Ｂをボルト１
０によりそれぞれ無造作に固定する。続いて、最上段ア
ーム９Ｃの左側に前記クロスローラベアリング１と対と
なるクロスローラベアリング１の内側（右側）の第２軌
道レール２Ｂをボルト１０により無造作に固定する。こ
うしてから、クロスローラベアリング１の外側（左側）
の第１軌道レール２Ａを中段アーム９Ｂに対してボルト
１０で仮止めしておいて、この第１軌道レール２Ａの幅
方向位置を左右に微調整しながら、両クロスローラベア
リング１，１の内部隙間を適正に設定したところで、ボ
ルト１０を増し締めして第１軌道レール２Ａを中段アー
ム９Ｂに完全に固定する。このとき、右側のクロスロー
ラベアリング１が中段アーム９Ｂの右側のフランジによ
り押さえられているから、両側のクロスローラベアリン
グ１，１の内部隙間が調整できるのである。
ず、最上段アーム９Ｃと中段アーム９Ｂとを連結する。
つまり、この両アーム９Ｃ、９Ｂの右側にクロスローラ
ベアリング１の一対の軌道レール２Ａ，２Ｂをボルト１
０によりそれぞれ無造作に固定する。続いて、最上段ア
ーム９Ｃの左側に前記クロスローラベアリング１と対と
なるクロスローラベアリング１の内側（右側）の第２軌
道レール２Ｂをボルト１０により無造作に固定する。こ
うしてから、クロスローラベアリング１の外側（左側）
の第１軌道レール２Ａを中段アーム９Ｂに対してボルト
１０で仮止めしておいて、この第１軌道レール２Ａの幅
方向位置を左右に微調整しながら、両クロスローラベア
リング１，１の内部隙間を適正に設定したところで、ボ
ルト１０を増し締めして第１軌道レール２Ａを中段アー
ム９Ｂに完全に固定する。このとき、右側のクロスロー
ラベアリング１が中段アーム９Ｂの右側のフランジによ
り押さえられているから、両側のクロスローラベアリン
グ１，１の内部隙間が調整できるのである。
【００４５】この後、同様に、中段アーム９Ｂと最下段
アーム９Ａとを連結する。つまり、この両アーム９Ｂ，
９Ａの右側にクロスローラベアリング１の一対の軌道レ
ール２Ａ，２Ｂをボルト１０によりそれぞれ無造作に固
定する。続いて、中段アーム９Ｂの左側に前記クロスロ
ーラベアリング１と対となるクロスローラベアリング１
の内側（右側）の第２軌道レール２Ｂをボルト１０によ
り無造作に固定する。こうしてから、クロスローラベア
リング１の外側（左側）の第１軌道レール２Ａを最下段
アーム９Ａに対してボルト１０で仮止めしておいて、こ
の第１軌道レール２Ａの幅方向位置を左右に微調整しな
がら、両クロスローラベアリング１，１の内部隙間を適
正に設定したところで、ボルト１０を増し締めして第１
軌道レール２Ａを最下段アーム９Ａに完全に固定する。
アーム９Ａとを連結する。つまり、この両アーム９Ｂ，
９Ａの右側にクロスローラベアリング１の一対の軌道レ
ール２Ａ，２Ｂをボルト１０によりそれぞれ無造作に固
定する。続いて、中段アーム９Ｂの左側に前記クロスロ
ーラベアリング１と対となるクロスローラベアリング１
の内側（右側）の第２軌道レール２Ｂをボルト１０によ
り無造作に固定する。こうしてから、クロスローラベア
リング１の外側（左側）の第１軌道レール２Ａを最下段
アーム９Ａに対してボルト１０で仮止めしておいて、こ
の第１軌道レール２Ａの幅方向位置を左右に微調整しな
がら、両クロスローラベアリング１，１の内部隙間を適
正に設定したところで、ボルト１０を増し締めして第１
軌道レール２Ａを最下段アーム９Ａに完全に固定する。
【００４６】このように各クロスローラベアリング１の
内部隙間を容易な方法で適正に管理できるから、全部の
クロスローラベアリング１を固定するボルト１０のボル
ト挿通孔１１の形成位置を高精度に管理する必要がなく
なり、製作が容易となる。したがって、多段スライドレ
ールユニットでは、これに組み込まれたクロスローラベ
アリング１によりスライドが円滑となり、また、クロス
ローラベアリング１からの発塵も少ない。
内部隙間を容易な方法で適正に管理できるから、全部の
クロスローラベアリング１を固定するボルト１０のボル
ト挿通孔１１の形成位置を高精度に管理する必要がなく
なり、製作が容易となる。したがって、多段スライドレ
ールユニットでは、これに組み込まれたクロスローラベ
アリング１によりスライドが円滑となり、また、クロス
ローラベアリング１からの発塵も少ない。
【００４７】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではない。例えば、図示の多段スライドレールユ
ニットでは、アーム９Ａ〜９Ｃのうち上段のものほど狭
幅とし、これに応じてクロスローラベアリング１を、上
段のものほど幅方向内側に位置するようにしているが、
これとは逆に、アーム９Ａ〜９Ｃを上段のものほど広幅
にし、これに応じてクロスローラベアリング１は、上段
のものほど幅方向外側に位置するようにも構成すること
ができる。その場合は、最上位のアームに取り付けられ
る軌道レールが最も幅方向外側に位置することになるか
ら、最上位のアームに穿設されるボルト挿通孔のうち、
一方側のものをボルト径に比べ幅方向に長い形に形成す
ればよい。それによって、最も幅方向外側にある軌道レ
ールの一方側のものが、最上位のアームに対して幅方向
位置の徴調整が可能になる。
るものではない。例えば、図示の多段スライドレールユ
ニットでは、アーム９Ａ〜９Ｃのうち上段のものほど狭
幅とし、これに応じてクロスローラベアリング１を、上
段のものほど幅方向内側に位置するようにしているが、
これとは逆に、アーム９Ａ〜９Ｃを上段のものほど広幅
にし、これに応じてクロスローラベアリング１は、上段
のものほど幅方向外側に位置するようにも構成すること
ができる。その場合は、最上位のアームに取り付けられ
る軌道レールが最も幅方向外側に位置することになるか
ら、最上位のアームに穿設されるボルト挿通孔のうち、
一方側のものをボルト径に比べ幅方向に長い形に形成す
ればよい。それによって、最も幅方向外側にある軌道レ
ールの一方側のものが、最上位のアームに対して幅方向
位置の徴調整が可能になる。
【００４８】
【発明の効果】本発明の真空用クロスローラベアリング
では、潤滑膜により摺動が円滑になるばかりか、発塵が
抑えられ、使用個所での高度の真空環境を維持すること
ができる。
では、潤滑膜により摺動が円滑になるばかりか、発塵が
抑えられ、使用個所での高度の真空環境を維持すること
ができる。
【００４９】本発明の多段スライドレールユニットで
は、発塵少なく、円滑なスライド動作が得られるばかり
でなく、各クロスローラベアリングの内部隙間を適正に
調整できるから、クロスローラベアリングの固定に関す
る要素を高精度に形成しなくとも、がたつきのない高精
度の組み立てができるとともに、位置決め精度を高精度
に維持できる。
は、発塵少なく、円滑なスライド動作が得られるばかり
でなく、各クロスローラベアリングの内部隙間を適正に
調整できるから、クロスローラベアリングの固定に関す
る要素を高精度に形成しなくとも、がたつきのない高精
度の組み立てができるとともに、位置決め精度を高精度
に維持できる。
【図１】本発明の一実施例に係るクロスローラベアリン
グの斜視図。
グの斜視図。
【図２】同クロスローラベアリングの分解状態の縦断正
面図。
面図。
【図３】本発明の一実施例に係る多段スライドレールユ
ニット全体の斜視図。
ニット全体の斜視図。
【図４】同多段スライドレールユニットの半分の縦断正
面図。
面図。
【図５】同多段スライドレールユニットの要部の分解状
態の縦断側面図。
態の縦断側面図。
【図６】従来のクロスローラベアリングの斜視図。
【図７】従来の多段スライドレールユニットの半分の縦
断正面図。
断正面図。
１ クロスローラベアリング
２Ａ 第１軌道レール
２Ｂ 第２軌道レール
３ ローラ
４ 保持器
６ 潤滑膜
７ 貫通孔
８ ローラ抜け止め用ピン
９Ａ 最下段アーム
９Ｂ 中段アーム
９Ｃ 最上段アーム
１０ ボルト
１１ ボルト挿通孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−19418（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−121331（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−226712（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−332356（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−38480（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−1718（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−10338（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−272542（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−32741（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−4426（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−4427（ＪＰ，Ｕ)
実開 平２−135714（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭63−91721（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭60−108820（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−71034（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16C 29/04 - 29/06
F16C 33/30 - 33/66
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｖ溝状の軌道面を有する一対の軌道レー
ルと、これら両軌道レールの対向する軌道面の間に転動
自在に嵌置された複数のローラと、ローラの保持器とを
備えるクロスローラベアリングであって、 前記構成要素のうち、少なくとも軌道レールが耐食性の
金属材からなり、この軌道レールの軌道面を含む対向面
に、熱硬化性合成樹脂からなる有機バインダー中に平均
分子量１×１０ 4 〜５×１０ 4 のポリテトラフルオロエチ
レンポリマーを分散混合した潤滑膜がコーティングされ
ている、ことを特徴とする真空用クロスローラベアリン
グ。 - 【請求項２】 前記軌道レールの端部には、軌道面から
背面に抜ける貫通孔が穿設されており、この貫通孔には
ローラ抜け止め用のピンが嵌入されている、ことを特徴
とする請求項１に記載の真空用クロスローラベアリン
グ。 - 【請求項３】 順次積み重ね状に配置された大小異なる
幅の多段のアームと、上下のアームの各幅方向両端の間
にそれぞれ設けられる請求項１または２に記載の真空用
クロスローラベアリングとを備え、 幅広のアームの幅方向両端一面に前記クロスローラベア
リングの一方の軌道レールが、また、幅狭のアームの幅
方向両端一面に前記クロスローラベアリングの対となる
他方の軌道レールが、それぞれ取り付けられている、こ
とを特徴とする多段スライドレールユニット。 - 【請求項４】 前記各軌道レールは、アームの挿通孔を
挿通されて軌道レールに螺着されるボルトによりアーム
に固着されるものであり、各アームの一対のボルト挿通
孔のうち、いずれか一方のボルト挿通孔は、ボルト径よ
りも幅方向が長い形に形成されている、ことを特徴とす
る請求項３に記載の多段スライドレールユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31172494A JP3438033B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 真空用クロスローラベアリングおよびこれを用いた多段スライドレールユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31172494A JP3438033B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 真空用クロスローラベアリングおよびこれを用いた多段スライドレールユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08170638A JPH08170638A (ja) | 1996-07-02 |
| JP3438033B2 true JP3438033B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=18020716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31172494A Expired - Fee Related JP3438033B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 真空用クロスローラベアリングおよびこれを用いた多段スライドレールユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3438033B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7306372B2 (en) | 2000-08-11 | 2007-12-11 | Nsk Ltd. | Table device |
| JP2002098299A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 極低温用軸受け構造及び歯車構造並びに減速機 |
| JP2002147452A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-22 | Enomoto Co Ltd | 直動機械要素 |
| JP4058599B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2008-03-12 | 株式会社ジェイテクト | ポリマ潤滑剤を内蔵した転がり軸受およびその製造方法 |
| JP4557921B2 (ja) * | 2006-04-05 | 2010-10-06 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 移載機のテレスコピックアームの支持構造 |
| JP5959856B2 (ja) * | 2010-02-01 | 2016-08-02 | 有限会社フィッツ | 直動案内ユニット |
| CN109751330A (zh) * | 2017-11-08 | 2019-05-14 | 丹阳八紫光能有限公司 | 一种导轨 |
-
1994
- 1994-12-15 JP JP31172494A patent/JP3438033B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08170638A (ja) | 1996-07-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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