JP3437133B2

JP3437133B2 - 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

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Publication number: JP3437133B2
Application number: JP35585499A
Authority: JP
Inventors: 敬浩日高; 美智子名取
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd; Showa Denko Materials Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1999-12-15
Filing date: 1999-12-15
Publication date: 2003-08-18
Anticipated expiration: 2019-12-15
Also published as: JP2001174986A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成
物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターン
の製造法及びプリント配線板の製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来プリント配線板の製造分野におい
て、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料と
しては、感光性樹脂組成物及びそれに支持体と保護フィ
ルムを用いて得られる感光性エレメントが広く用いられ
ている。プリント配線板は、感光性フィルムを銅基板上
にラミネートして、パターン露光した後、硬化部分を現
像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施して、パ
ターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥離除去
する方法によって製造されている。感光性フィルムは、
近年のプリント配線板の高密度化に伴い、従来の感光性
フィルムに比べて高解像性及び高密着性に関する要求が
ますます高くなっている。また、一方では、作業性の向
上という点から、高感度及び低めっき浴汚染性の感光性
樹脂組成物が望まれており、これらの特性は、使用され
る光重合開始剤の種類及び量に依存するものである。

【０００３】高感度の光重合開始剤は、ドイツ特許第
２，０２７，４６７号明細書、ヨーロッパ特許公開第１
１，７８６号明細書、ヨーロッパ特許公開第２２０号明
細書、ヨーロッパ特許公開第５８９号明細書、特開平６
−６９６３１号公報等に記載されているが、これらはめ
っき浴汚染性を有するという欠点がある。この他に、め
っき浴汚染性の少ない、光重合開始剤である２，４，５
−トリフェニルイミダゾール二量体と、水素供与性化合
物を組み合わせ高感度にした感光性樹脂組成物が、米国
特許第３，４７９，１８５号明細書に記載されている
が、要求される感度に調整した場合、２，４，５−トリ
フェニルイミダゾール二量体の使用量を増量すると、レ
ジストの線幅が太るという欠点があり、水素供与性化合
物の使用量を増量すると、銅との密着性及び保存安定性
が劣るという欠点がある。また、２，４，５−トリフェ
ニルイミダゾール二量体と高反応性のエチレン性不飽和
基を有する化合物（例えば、ポリエチレングリコールジ
メタクリレート等）を使用することが考えられるが、前
記した耐薬品性が著しく劣るという欠点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】請求項１〜１５のいず
れかに記載の発明は、高解像性、高密着性、高感度、低
スカム発生性、耐めっき性及びめっき浴汚染性が優れる
感光性樹脂組成物を提供するものである。請求項１６記
載の発明は、高解像性、高密着性、高感度、低スカム発
生性、耐めっき性、めっき浴汚染性、作業性及び生産性
が優れ、プリント配線板の高密度化に有効な感光性エレ
メントを提供するものである。

【０００５】請求項１７記載の発明は、高解像性、高密
着性、高感度、低スカム発生性、耐めっき性、めっき浴
汚染性、作業性及び生産性が優れ、プリント配線板の高
密度化に有効なレジストパターンの製造法を提供するも
のである。請求項１８記載の発明は、高解像性、高密着
性、高感度、低スカム発生性、耐めっき性、めっき浴汚
染性、作業性及び生産性が優れ、プリント配線板の高密
度化に有効なプリント配線板の製造法を提供するもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）バイン
ダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可
能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物に
おいて、前記（Ａ）成分の分散度が１．０〜４．０であ
り、前記（Ｂ）成分が（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．
０であり、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも二
つである化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝９．０〜１４．０で
あり、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つで
ある化合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０であり、分
子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つである化合
物を必須成分とする感光性樹脂組成物に関する。また、
本発明は、（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０である化
合物が分子内に二つのエチレン性不飽和基を有し、（ｂ
５）ＨＬＢ＝９．０〜１４．０である化合物が分子内に
一つのエチレン性不飽和基を有する前記感光性樹脂組成
物に関する。また、本発明は、（ｂ５）ＨＬＢ＝９．０
〜１４．０である化合物の分子内のエチレングリコール
単位の数が２〜１５である前記感光性樹脂組成物に関す
る。また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマー、
（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性
不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始
剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記
（Ａ）成分の分散度が１．０〜４．０であり、前記
（Ｂ）成分が（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であ
り、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも二つであ
る化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝７．０〜１６．０であり、
分子内のエチレングリコール単位の数が２〜８であり、
分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つである化
合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０であり、分子内の
エチレン性不飽和基が少なくとも一つである化合物を必
須成分とする感光性樹脂組成物に関する。また、本発明
は、（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０である化合物が
分子内に二つのエチレン性不飽和基を有し、（ｂ５）Ｈ
ＬＢ＝７．０〜１６．０であり、分子内のエチレングリ
コール単位の数が２〜８である化合物が分子内に一つの
エチレン性不飽和基を有する前記感光性樹脂組成物に関
する。また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマー、
（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性
不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始
剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記
（Ａ）成分の分散度が１．０〜４．０であり、前記
（Ｂ）成分が（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であ
り、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも二つであ
る化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝７．０〜１６．０であり、
分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つである化
合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０であり、分子内の
エチレン性不飽和基が少なくとも一つである化合物を必
須成分とする感光性樹脂組成物に関する。また、本発明
は、（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０である化合物が
分子内に二つのエチレン性不飽和基を有し、（ｂ５）Ｈ
ＬＢ＝７．０〜１６．０である化合物が分子内に一つの
エチレン性不飽和基を有する前記感光性樹脂組成物に関
する。

【０００７】また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマ
ー、（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレ
ン性不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合
開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記
（Ｂ）成分が（ｂ１）ビスフェノールＡ系（メタ）アク
リレート化合物、（ｂ２）ポリプロピレングリコールジ
アクリレート及び（ｂ３）フェノキシポリエチレンオキ
シ（メタ）アクリレート系化合物を必須成分とする感光
性樹脂組成物に関する。また、本発明は、（ｂ１）ビス
フェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物が２，２−
ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェ
ニル）プロパンである前記感光性樹脂組成物に関する。

【０００８】また、本発明は、（ｂ２）ポリプロピレン
グリコールジアクリレートのプロピレングリコール単位
の数が２〜１０である前記感光性樹脂組成物に関する。
また、本発明は、（ｂ３）フェノキシポリエチレンオキ
シ（メタ）アクリレート系化合物が一般式（Ｉ）

【化２】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、Ｚは炭素
数１〜１０のアルキル基を示し、ｍは２〜１５の整数で
あり、ｎは０〜５の整数である）で表される化合物であ
る前記感光性樹脂組成物に関する。

【０００９】また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマ
ーの分散度が１．０〜４．０である前記感光性樹脂組成
物に関する。また、本発明は、（ｂ１）成分、（ｂ２）
成分及び（ｂ３）成分の配合量が（Ｂ）成分の総量に対
し、（ｂ１）成分が３０〜８５重量％、（ｂ２）成分が
５〜３０重量％、（ｂ３）成分が１０〜５０重量％であ
る前記感光性樹脂組成物に関する。

【００１０】また、本発明は、（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０
〜１７．０である化合物がビスフェノールＡ系（メタ）
アクリレート化合物である前記感光性樹脂組成物に関す
る。また、本発明は、（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．
０である化合物の分子内のエチレングリコール単位の数
が２〜３０である前記感光性樹脂組成物に関する。ま
た、本発明は、（ｂ５）ＨＬＢ＝７．０〜１６．０であ
る化合物の分子内のエチレングリコール単位の数が２〜
１５である前記感光性樹脂組成物に関する。また、本発
明は、（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０の化合物がポリプロ
ピレングリコールジアクリレートである前記感光性樹脂
組成物に関する。

【００１１】また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマ
ーが、スチレン又はスチレン誘導体を必須の共重合成分
とする前記感光性樹脂組成物に関する。また、本発明
は、（Ａ）バインダーポリマーが、スチレン又はスチレ
ン誘導体を全共重合成分に対して、０．１〜３０重量％
含有する前記感光性樹脂組成物に関する。また、本発明
は、（Ａ）バインダーポリマーの重量平均分子量が、２
０，０００〜３００，０００である前記感光性樹脂組成
物に関する。また、本発明は、（Ａ）バインダーポリマ
ーの酸価が、３０〜２００mgKOH/gである前記感光性樹
脂組成物に関する。

【００１２】また、本発明は、（Ｃ）光重合開始剤が、
２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体である前
記感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、さらに
（Ｄ）オキセタン化合物を含有する前記感光性樹脂組成
物に関する。また、本発明は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分
及び（Ｃ）成分の配合量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分
の総量１００重量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８０重
量部、（Ｂ）成分が２０〜６０重量部及び（Ｃ）成分が
０．１〜１０重量部である前記感光性樹脂組成物に関す
る。また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を支持体上
に塗布、乾燥、積層してなる感光性エレメントに関す
る。

【００１３】また、本発明は、前記感光性エレメント
を、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着する
ようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部
を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特
徴とするレジストパターンの製造法に関する。また、本
発明は、前記レジストパターンの製造法により、レジス
トパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又
はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法
に関する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。なお、本発明における（メタ）アクリル酸とはア
クリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、
（メタ）アクリレートとはアクリレート及びそれに対応
するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基
とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル
基を意味する。

【００１５】本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）バイ
ンダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合
可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び
（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物に
おいて、前記（Ａ）成分の分散度が１．０〜４．０であ
り、前記（Ｂ）成分が（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．
０であり、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも二
つである化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝９．０〜１４．０で
あり、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つで
ある化合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０であり、分
子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つである化合
物を必須成分とする。また、本発明の感光性樹脂組成物
は、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なく
とも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重
合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有してなる感光
性樹脂組成物において、前記（Ａ）成分の分散度が１．
０〜４．０であり、前記（Ｂ）成分が（ｂ４）ＨＬＢ＝
７．０〜１７．０であり、分子内のエチレン性不飽和基
が少なくとも二つである化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝７．
０〜１６．０であり、分子内のエチレングリコール単位
の数が２〜８であり、分子内のエチレン性不飽和基が少
なくとも一つである化合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜
７．０であり、分子内のエチレン性不飽和基が少なくと
も一つである化合物を必須成分とする。また、本発明の
感光性樹脂組成物は、（Ａ）バインダーポリマー、
（Ｂ）分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性
不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始
剤を含有してなり、前記（Ａ）成分の分散度が１．０〜
４．０であり、前記（Ｂ）成分が（ｂ４）ＨＬＢ＝７．
０〜１７．０であり、分子内のエチレン性不飽和基が少
なくとも二つである化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝７．０〜
１６．０であり、分子内のエチレン性不飽和基が少なく
とも一つである化合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０
であり、分子内のエチレン性不飽和基が少なくとも一つ
である化合物を必須成分とすることもできる。

【００１６】また、本発明の感光性樹脂組成物は、
（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも
一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性
化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有してなり、前記
（Ｂ）成分が（ｂ１）ビスフェノールＡ系（メタ）アク
リレート化合物、（ｂ２）ポリプロピレングリコールジ
アクリレート及び（ｂ３）フェノキシポリエチレンオキ
シ（メタ）アクリレート系化合物を必須成分とすること
もできる。

【００１７】前記（Ａ）バインダーポリマーとしては、
例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系
樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド
系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アルカリ現
像性の見地からは、アクリル系樹脂が好ましい。これら
は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができ
る。

【００１８】前記（Ａ）バインダーポリマーは、例え
ば、重合性単量体をラジカル重合させることにより製造
することができる。上記重合性単量体としては、例え
ば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、
ｐ−メチルスチレン、ｐ−エチルスチレン、ｐ−メトキ
シスチレン、ｐ−エトキシスチレン、ｐ−クロロスチレ
ン、ｐ−ブロモスチレン等の重合可能なスチレン誘導
体、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、ア
クリロニトリル、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニ
ルアルコールのエステル類、（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル
エステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエ
ステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，
２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、
２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アク
リレート、（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メタ）ア
クリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル
（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル
酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメ
チル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロ
ピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮
酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プ
ロピオール酸などが挙げられる。

【００１９】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、一般式（II）

【化３】（式中、Ｒ²は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ³は炭素
数１〜１２のアルキル基を示す）で表される化合物、こ
れらの化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロ
ゲン基等が置換した化合物などが挙げられる。上記一般
式（II）中のＲ³で示される炭素数１〜１２のアルキル
基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、
オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデ
シル基及びこれらの構造異性体が挙げられる。

【００２０】上記一般式（II）で表される単量体として
は、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アク
リル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）
アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メ
タ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチ
ル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸
２−エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で又
は２種以上を組み合わせて用いることができる。

【００２１】前記（Ａ）バインダーポリマーは、アルカ
リ現像性の見地から、カルボキシル基を含有させること
が好ましく、例えば、カルボキシル基を有する重合性単
量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させること
により製造することができる。上記カルボキシル基を有
する重合性単量体としては、メタクリル酸が好ましい。
また、前記（Ａ）バインダーポリマーは、可とう性の見
地からスチレン又はスチレン誘導体を重合性単量体とし
て含有させることが好ましい。

【００２２】上記スチレン又はスチレン誘導体を共重合
成分として、密着性及び剥離特性を共に良好にするに
は、０．１〜３０重量％含むことが好ましく、１〜２８
重量％含むことがより好ましく、１．５〜２７重量％含
むことが特に好ましい。この含有量が０．１重量％未満
では、密着性が劣る傾向があり、３０重量％を超える
と、剥離片が大きくなり、剥離時間が長くなる傾向があ
る。

【００２３】これらのバインダーポリマーは、単独で又
は２種類以上を組み合わせて使用される。２種類以上を
組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとして
は、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバ
インダーポリマー、異なる重量平均分子量の２種類以上
のバインダーポリマー、異なる分散度の２種類以上のバ
インダーポリマーなどが挙げられる。

【００２４】前記（Ａ）バインダーポリマーの分散度は
１．０〜４．０であることが好ましく、１．０〜３．５
であることがより好ましく、１．０〜３．０であること
が特に好ましい。この分散度が４．０を超えると解像度
が低下する傾向がある。なお、本発明における分散度と
は、重量平均分子量／数平均分子量の値のことであり、
重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲルパーミエーシ
ョンクロマトグラフィー法により測定され、標準ポリス
チレンを用いて作成した検量線により換算されたもので
ある。

【００２５】前記（Ａ）バインダーポリマーの重量平均
分子量は、塗膜性及び解像度の見地から、重量平均分子
量が２０，０００〜３００，０００であることが好まし
く、２５，０００〜２００，０００であることがより好
ましく、３０，０００〜１５０，０００であることが特
に好ましい。この重量平均分子量が２０，０００未満で
は耐現像液性が低下する傾向があり、３００，０００を
超えると現像時間が長くなる傾向がある。

【００２６】前記（Ａ）成分の酸価は、３０〜２００mg
KOH/gであることが好ましく、４０〜１５０mgKOH/gであ
ることがより好ましい。この酸価が３０mgKOH/g未満で
は現像時間が長くなる傾向があり、２００mgKOH/gを超
えると光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向
がある。

【００２７】前記（Ｂ）光重合性化合物は、（ｂ１）ビ
スフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、（ｂ
２）ポリプロピレングリコールジアクリレート及び（ｂ
３）フェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレー
ト系化合物を必須成分とすることもできる。

【００２８】上記（ｂ１）ビスフェノールＡ系（メタ）
アクリレート化合物としては、ビスフェノールＡ骨格を
有していれば特に制限はなく、例えば、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロ
キシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビ
ス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロ
キシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン
等が挙げられ、分子内にエチレングリコール単位を有す
ることが好ましく、２，２−ビス（４−（（メタ）アク
リロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンであること
がより好ましい。これらは単独で又は２種類以上を組み
合わせて使用される。

【００２９】上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例
えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエ
トキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロ
パン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテト
ラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘ
キサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４
−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ
オクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロ
キシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−
ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）
フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）ア
クリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカ
エトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニ
ル）プロパン等が挙げられ、２，２−ビス（４−（メタ
クリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、Ｂ
ＰＥ−５００（新中村化学工業(株)製、製品名）として
商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタク
リロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、
ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業(株)製、製品名）と
して商業的に入手可能である。これらは単独で又は２種
類以上を組み合わせて使用される。

【００３０】上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、
例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジ
プロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシトリプロポキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテ
トラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシペンタプロポキシ）フェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２
−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタプロポキ
シ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メ
タ）アクリロキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナプ
ロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシデカプロポキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウ
ンデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシドデカプロポキシ）フェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシトリデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，
２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカプロ
ポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−
（（メタ）アクリロキシペンタデカプロポキシ）フェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロ
キシヘキサデカプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙
げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせ
て使用される。

【００３１】上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパ
ンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）ア
クリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテ
トラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエト
キシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げら
れる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使
用される。

【００３２】前記（ｂ２）ポリプロピレングリコールジ
アクリレートとしては、例えば、ジプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリ
レート、テトラプロピレングリコールジアクリレート、
ペンタプロピレングリコールジアクリレート、ヘキサプ
ロピレングリコールジアクリレート、ヘプタプロピレン
グリコールジアクリレート、オクタプロピレングリコー
ルジアクリレート、ノナプロピレングリコールジアクリ
レート、デカプロピレングリコールジアクリレート、ウ
ンデカプロピレングリコールジアクリレート、ドデカプ
ロピレングリコールジアクリレート、トリデカプロピレ
ングリコールジアクリレート、テトラデカプロピレング
リコールジアクリレート、ペンタデカプロピレングリコ
ールジアクリレート、ヘキサデカプロピレングリコール
ジアクリレート、ヘプタデカプロピレングリコールジア
クリレート、オクタデカプロピレングリコールジアクリ
レート、ノナデカプロピレングリコールジアクリレー
ト、エイコサプロピレングリコールジアクリレート等が
挙げられ、プロピレングリコール単位を分子内に２〜１
０個有することが好ましい。

【００３３】前記（ｂ２）成分中のイソプロピレン基
は、−ＣＨ(ＣＨ₃)ＣＨ₂−で表される基であり、結合方
向はメチレン基が酸素と結合している場合とメチレン基
が酸素に結合していない場合の２種があり、１種の結合
方向でもよいし、２種の結合方向が混在してもよい。

【００３４】前記（ｂ３）フェノキシポリエチレンオキ
シ（メタ）アクリレート系化合物としては、例えば、前
記一般式（Ｉ）で表される化合物等が挙げられる。前記
一般式（Ｉ）中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、
水素原子であることが好ましい。前記一般式（Ｉ）中、
Ｚは炭素数１〜１０のアルキル基を示す。上記炭素数１
〜１０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチ
ル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル
基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、
ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシ
ル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、
これらの構造異性体等が挙げられ、ノニル基であること
が好ましい。

【００３５】前記一般式（Ｉ）中、ｍは２〜１５の整数
であり、４〜１３であることが好ましく、６〜１０であ
ることが好ましい。前記一般式（Ｉ）中、ｎは０〜５の
整数であり、０〜４であることが好ましく、１〜３であ
ることがより好ましく、１〜２であることが特に好まし
く、１であることが極めて好ましい。

【００３６】また、前記一般式（Ｉ）中のフェニル基は
Ｚ以外の置換基を有することができ、それら置換基とし
ては、例えば、ハロゲン原子、炭素数１１〜２０のアル
キル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６
〜１８のアリール基、フェナシル基、アミノ基、炭素数
１〜１０のアルキルアミノ基、炭素数２〜２０のジアル
キルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、カルボニル基、メ
ルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、
アリル基、水酸基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキ
ル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が１〜１０
のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１
０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数
１〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜１０の
アルキルカルボニル基、炭素数２〜１０のアルケニル
基、炭素数２〜１０のＮ−アルキルカルバモイル基、複
素環を含む基、これらの置換基で置換されたアリール基
等が挙げられる。上記置換基は、縮合環を形成していて
もよい。また、これらの置換基中の水素原子がハロゲン
原子等の上記置換基などに置換されていてもよい。置換
基が複数の場合は、複数の置換基は同一でも相違してい
てもよい。

【００３７】前記一般式（Ｉ）で表される化合物として
は、例えば、ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メ
タ）アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレンオ
キシ（メタ）アクリレート、ブチルフェノキシポリエチ
レンオキシ（メタ）アクリレート、ブチルフェノキシポ
リプロピレンオキシ（メタ）アクリレート等が挙げられ
る。

【００３８】上記ノニルフェノキシポリエチレンオキシ
（メタ）アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノ
キシテトラエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニ
ルフェノキシペンタエチレンオキシ（メタ）アクリレー
ト、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ（メタ）ア
クリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ
（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレ
ンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシノナ
エチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキ
シデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフ
ェノキシウンデカエチレンオキシ（メタ）アクリレー
ト、ノニルフェノキシドデカエチレンオキシ（メタ）ア
クリレート等が挙げられる。

【００３９】上記ブチルフェノキシポリエチレンオキシ
（メタ）アクリレートとしては、例えば、ブチルフェノ
キシテトラエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ブチ
ルフェノキシペンタエチレンオキシ（メタ）アクリレー
ト、ブチルフェノキシヘキサエチレンオクシ（メタ）ア
クリレート、ブチルフェノキシヘプタエチレンオキシ
（メタ）アクリレート、ブチルフェノキシオクタエチレ
ンオキシ（メタ）アクリレート、ブチルフェノキシノナ
エチレンオキシ（メタ）アクリレート、ブチルフェノキ
シデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ブチルフ
ェノキシウンデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート
等が挙げられる。

【００４０】本発明の感光性樹脂組成物には、前記（ｂ
１）成分、（ｂ２）成分及び（ｂ３）成分以外の光重合
性化合物を含有させることができる。それらの例として
は、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン
酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合
物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させで得られる化
合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合
物等のウレタンモノマー、ノニルフェニルジオキシレン
（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプ
ロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ
−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β′−（メタ）
アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒド
ロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシエ
チル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル酸アルキルエ
ステル等が挙げられるが、ウレタン結合を有する（メ
タ）アクリレート化合物を必須成分とすることが好まし
い。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【００４１】上記多価アルコールにα，β−不飽和カル
ボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、
エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４
であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレ
ンポリプロピレングリコールグリコールジ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキ
シトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
テトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロ
ールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト等が挙げられる。

【００４２】上記α，β−不飽和カルボン酸としては、
例えば、（メタ）アクリル酸等が拳げられる。上記グリ
シジル基含有化合物としては、例えば、トリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレ
ート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−
ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が拳げられ
る。上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯ
Ｈ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジ
イソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、
２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメ
チレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と
の付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエ
チレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソ
シアヌレート等が挙げられる。上記（メタ）アクリル酸
アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル
酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アク
リル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。

【００４３】また、一方で、前記（Ｂ）光重合性化合物
は（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０である化合物、
（ｂ５）ＨＬＢ＝９．０〜１４．０である化合物及び
（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０である化合物を必須成分と
する。または、前記（Ｂ）光重合性化合物は（ｂ４）Ｈ
ＬＢ＝７．０〜１７．０である化合物、（ｂ５）ＨＬＢ
＝７．０〜１６．０であり、分子内のエチレングリコー
ル単位の数が２〜８である化合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝
０〜７．０である化合物を必須成分とする。または、前
記（Ｂ）光重合性化合物は（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１
７．０である化合物、（ｂ５）ＨＬＢ＝７．０〜１６．
０である化合物及び（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０である
化合物を必須成分とすることもできる。

【００４４】本発明におけるＨＬＢは光重合性化合物の
親水性の指標であり、数式（１）により求めることがで
きる。なお、本発明において親水性基とは、

【化４】で表される基を示す。

【００４５】

【数１】

【００４６】前記（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０で
ある化合物は分子内に少なくとも二つのエチレン性不飽
和基を有することが必要であり、分子内に二つのエチレ
ン性不飽和基を有することが好ましい。また、前記（ｂ
５）ＨＬＢ＝７．０〜１６．０である化合物は分子内に
少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有することが必
要であり、分子内に一つのエチレン性不飽和基を有する
ことがより好ましい。

【００４７】また、（ｂ４）成分のＨＬＢは７．０〜１
７．０であることが必要であり、７．５〜１６．０であ
ることが好ましく、８．０〜１５．０であることがより
好ましく、８．３〜１４．０であることが特に好まし
く、８．６〜１３．０であることが非常に好ましく、
９．０〜１２．０であることが極めて好ましい。

【００４８】また、（ｂ５）成分のＨＬＢは７．０〜１
６．０であることが必要であり、７．５〜１５．０であ
ることが好ましく、８．０〜１４．０であることがより
好ましく、８．０〜１３．０であることが特に好まし
く、９．０〜１２．５であることが非常に好ましく、１
０．０〜１２．０であることが極めて好ましく、１０．
５〜１１．５であることが非常に極めて好ましい。また
は、（ｂ５）成分のＨＬＢは９．０〜１４．０であるこ
とが好ましい。

【００４９】また、（ｂ６）成分のＨＬＢは０〜７．０
であることが好ましく、０〜５．０であることがより好
ましく、０〜３．０であることが特に好ましく、０〜
１．０であることが非常に好ましく、０であることが極
めて好ましい。

【００５０】光重合性化合物のＨＬＢを上述した範囲に
調整するには、分子内の親水性基の数を調整することが
好ましく、エチレングリコール鎖の数を調整することが
製造上好ましい。上記調整のためには前記（ｂ４）成分
の分子内のエチレングリコール単位の数を２〜３０に調
整することが好ましく、４〜２５に調整することがより
好ましく、６〜１５に調整することが特に好ましい。ま
た、前記（ｂ５）成分の分子内のエチレングリコール単
位の数は、２〜１５に調整することが好ましく、４〜１
３に調整することがより好ましく、６〜１０に調整する
ことが特に好ましい。または、前記（ｂ５）成分の分子
内のエチレングリコール単位の数は、２〜８に調整する
ことが好ましい。

【００５１】また、前記（ｂ４）成分としては、特に制
限はないが、上述した２，２−ビス（４−（（メタ）ア
クリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２
−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）
フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）ア
クリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２
−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリ
プロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ
系（メタ）アクリレート化合物、ポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールポ
リプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ＥＯ
変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリ
レート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレー
トなどが挙げられるが、ＨＬＢが１０．０〜１６．０に
なるようにエチレングリコール単位の数を調整し、選択
される。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて
使用される。

【００５２】前記（ｂ５）成分としては、特に制限はな
いが、上述したノニルフェノキシポリエチレンオキシ
（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレ
ンオキシ（メタ）アクリレート、ブチルフェノキシポリ
エチレンオキシ（メタ）アクリレート、ブチルフェノキ
シポリプロピレンオキシ（メタ）アクリレート等のフェ
ノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレート化合
物、フェノキシポリエチレンオキシポリプロピレンオキ
シ（メタ）アクリレート化合物、ＥＯ変性フタル酸系化
合物、ＥＯ，ＰＯ変性フタル酸系化合物などが挙げられ
るが、ＨＬＢが７．０〜１４．０になるようにエチレン
グリコール単位の数を調整し、選択される。これらは単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００５３】前記（ｂ６）成分としては、分子内にエチ
レングリコール単位を含有しなければ特に制限はなく、
例えば、前述したポリプロピレングリコールジアクリレ
ート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を
組み合わせて使用される。

【００５４】また、本発明の感光性樹脂組成物には（ｂ
４）成分、（ｂ５）成分及び（ｂ６）成分以外の光重合
性化合物を使用することができる。

【００５５】前記（Ｃ）光重合開始剤としては、例え
ば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフ
ェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフ
ェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４
−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−
１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリ
ノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン、２−エチルアン
トラキノン、フェナントレンキノン、２ーｔｅｒｔーブ
チルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１，２ーベンズアントラキノン、２，３ーベンズアント
ラキノン、２ーフェニルアントラキノン、２，３ージフ
ェニルアントラキノン、１ークロロアントラキノン、２
ーメチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，
１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフト
キノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン
類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタ
ール等のベンジル誘導体、２，４，５−トリアリールイ
ミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−
ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジ
ン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシ
ン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。

【００５６】また、２つの２，４，５−トリアリールイ
ミダゾールのアリール基の置換基は同一で対象な化合物
を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えても
よい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ
安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合
物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。また、
密着性及び感度の見地からは、２，４，５−トリアリー
ルイミダゾール二量体がより好ましい。これらは、単独
で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００５７】上記２，４，５−トリアリールイミダゾー
ル二量体としては、例えば、２，２′−ビス（２−クロ
ロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビ
スイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジクロロフ
ェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイ
ミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジクロロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，５−ジクロロフェニル）
−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾー
ル、２，２′−ビス（２，６−ジクロロフェニル）−
４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾー
ル、２，２′−ビス（２，３，４−トリクロロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，３，５−トリクロロフェ
ニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミ
ダゾール、２，２′−ビス（２，３，６−トリクロロフ
ェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイ
ミダゾール、２，２′−ビス（２，４，５−トリクロロ
フェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビス
イミダゾール、２，２′−ビス（２−フルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，４−ジフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，３−ジフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，５−ジフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，６−ジフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，３，４−トリフルオロフ
ェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイ
ミダゾール、２，２′−ビス（２，３，５−トリフルオ
ロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビ
スイミダゾール、２，２′−ビス（２，３，６−トリフ
ルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニ
ルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４，５−ト
リフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフ
ェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４，６
−トリフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テト
ラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−ブ
ロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニル
ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジブロモ
フェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビス
イミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジブロモフェ
ニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミ
ダゾール、２，２′−ビス（２，５−ジブロモフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，６−ジブロモフェニル）
−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾー
ル、２，２′−ビス（２，３，４−トリブロモフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダ
ゾール、２，２′−ビス（２，３，５−トリブロモフェ
ニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミ
ダゾール、２，２′−ビス（２，３，６−トリブロモフ
ェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイ
ミダゾール、２，２′−ビス（２，４，５−トリブロモ
フェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビス
イミダゾール、２，２′−ビス（２，４，６−トリブロ
モフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビ
スイミダゾール、２，２′−ビス（２−フルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシ
フェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４
−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ
キス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，
２′−ビス（２，３−ジフルオロフェニル）−４，
４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）
ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，５−ジフルオ
ロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−
メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス
（２，６−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′
−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾー
ル、２，２′−ビス（２，３，４−トリフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシ
フェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，
３，５−トリフルオロフェニル）−４，４′，５，５′
−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾー
ル、２，２′−ビス（２，３，６−トリフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシ
フェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，
４，５−トリフルオロフェニル）−４，４′，５，５′
−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾー
ル、２，２′−ビス（２，４，６−トリフルオロフェニ
ル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシ
フェニル）ビスイミダゾール等が挙げられる。これらは
単独で又は２種以上を組み合わせて使用される。

【００５８】また、本発明の感光性樹脂組成物には増感
剤を含有させることができ、前記増感剤としては、例え
ば、７−アミノ−４−メチルクマリン、７−ジメチルア
ミノ−４−メチルクマリン、７−ジエチルアミノ−４−
メチルクマリン、７−メチルアミノ−４−メチルクマリ
ン、７−エチルアミノ−４−メチルクマリン、７−ジメ
チルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、７−アミノシ
クロペンタ［ｃ］クマリン、７−ジエチルアミノシクロ
ペンタ［ｃ］クマリン、４，６−ジメチル−７−エチル
アミノクマリン、４，６−ジエチル−７−エチルアミノ
クマリン、４，６−ジメチル−７−ジエチルアミノクマ
リン、４，６−ジメチル−７−ジメチルアミノクマリ
ン、４，６−ジエチル−７−ジエチルアミノクマリン、
４，６−ジエチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，
６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン、４，４′−
ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４′−ビ
ス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４′−ビス
（メチルエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられ
る。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【００５９】本発明の感光性樹脂組成物に必要に応じて
使用される（Ｄ）オキセタン化合物としては、分子内に
オキセタン環を有していれば特に制限はなく、例えば、
オキセタン、２−メチルオキセタン、２，２−ジメチル
オキセタン、３−メチルオキセタン、３，３−ジメチル
オキセタン等のアルキルオキセタン、３−メチル−３−
メトキシメチルオキセタン、３，３′−ジ（トリフルオ
ロメチル）パーフルオロオキセタン、２−クロロメチル
オキセタン、３，３−ビス（クロルメチル）オキセタ
ン、ＯＸＴ−１０１（東亜合成(株)製商品名）、ＯＸＴ
−１２１（東亜合成(株)製商品名）等が挙げられる。こ
れらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。

【００６０】前記（Ａ）成分の配合量は、塗膜性と光硬
化性のバランスの見地から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分
の総量１００重量部に対して、４０〜８０重量部である
ことが好ましく、５０〜７０重量部であることがより好
ましく、５５〜６５重量部であることが特に好ましい。
この配合量が４０重量部未満では得られる感光性樹脂組
成物が塗膜性に劣る傾向があり、８０重量部を超えると
光硬化性が不十分となる傾向がある。

【００６１】前記（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、２０〜６０
重量部であることが好ましく、３０〜５０重量部である
ことがより好ましく、３５〜４５重量部であることが特
に好ましい。この配合量が２０重量部未満では光硬化性
が不十分となる傾向があり、６０重量部を超えると塗膜
性が悪化する傾向がある。また、前記（Ｂ）成分中（ｂ
１）成分、（ｂ２）成分及び（ｂ３）成分の配合量は、
（Ｂ）成分の総量に対して、（ｂ１）成分は３０〜８５
重量％、（ｂ２）５〜３０重量％、（ｂ３）１０〜５０
重量％であることが好ましい。

【００６２】前記（Ｃ）成分の配合量は、感度と解像度
のバランスの見地から、（Ａ）成分および（Ｂ）成分の
総量１００重量部に対して、０．０１〜１０重量部であ
ることが好ましく、０．０１〜５重量部であることがよ
り好ましく、０．０５〜４重量部であることが非常に好
ましく、０．１〜３重量部とすることが極めて好まし
い。この配合量が０．０１重量部未満では感度が不十分
となる傾向があり、２０重量部を超えると解像度が悪化
する傾向がある。

【００６３】本発明において必要に応じて使用される
（Ｄ）成分の配合量は、感度と解像度のバランスの見地
から、（Ａ）成分および（Ｂ）成分の総量１００重量部
に対して、２〜５０重量部であることが好ましく、２．
５〜４０重量部であることがより好ましく、３〜３０重
量部であることが特に好ましく、３．５〜２５重量部で
あることが非常に好ましく、４〜２０重量部とすること
が極めて好ましい。この配合量が２重量部未満では剥離
時間の短縮等の効果が得られなくなる傾向があり、５０
重量部を超えるとパターンの形状が逆台形になり流れや
すくなる傾向がある。

【００６４】前記感光性樹脂組成物には、必要に応じ
て、分子内に少なくとも１つのカチオン重合可能な環状
エーテル基を有する光重合性化合物、カチオン重合開始
剤、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニル
スルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色
剤、熱発色防止剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可
塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性
付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香
料、イメージング剤、熱架橋剤などを（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して各々０．０１〜
２０重量部程度含有することができる。これらは単独で
又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００６５】前記感光性樹脂組成物は、必要に応じて、
メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコール
モノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶
解して固形分３０〜６０重量％程度の溶液として塗布す
ることができる。

【００６６】前記感光性樹脂組成物は、特に制限はない
が、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に、液状
レジストとして塗布して乾燥後、必要に応じて保護フィ
ルムを被覆して用いるか、感光性エレメントの形態で用
いられることが好ましい。

【００６７】また、感光性樹脂組成物層の厚みは、用途
により異なるが、乾燥後の厚みで１〜１００μｍ程度で
あることが好ましい。液状レジストに保護フィルムを被
覆して用いる場合は、保護フィルムとして、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等の重合体フィルムなどが挙げられ
る。

【００６８】上記感光性エレメントは、例えば、支持体
として、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレ
ン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルム上
に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥することにより得るこ
とができる。上記塗布は、例えば、ロールコータ、コン
マコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイ
コータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができ
る。また、乾燥は、７０〜１５０℃、５〜３０分間程度
で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層中の残
存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止す
る点から、２重量％以下とすることが好ましい。

【００６９】これらの重合体フィルムの厚みは、１〜１
００μｍとすることが好ましい。これらの重合体フィル
ムの一つは感光性樹脂組成物層の支持体として、他の一
つは感光性樹脂組成物の保護フィルムとして感光性樹脂
組成物層の両面に積層してもよい。保護フィルムとして
は、感光性樹脂組成物層及び支持体の接着力よりも、感
光性樹脂組成物層及び保護フィルムの接着力の方が小さ
いものが好ましく、また、低フィッシュアイのフィルム
が好ましい。

【００７０】また、前記感光性エレメントは、感光性樹
脂組成物層、支持体及び保護フィルムの他に、クッショ
ン層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保
護層を有していてもよい。

【００７１】前記感光性エレメントは、例えば、そのま
ま又は感光性樹脂組成物層の他の面に保護フィルムをさ
らに積層して円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵される。な
お、この際支持体が１番外側になるように巻き取られる
ことが好ましい。上記ロール状の感光性エレメントロー
ルの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設
置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地か
ら防湿端面セパレータを設置することが好ましい。ま
た、梱包方法として、透湿性の小さいブラックシートに
包んで包装することが好ましい。

【００７２】上記巻芯としては、例えば、ポリエチレン
樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩
化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジ
エン−スチレン共重合体）等のプラスチックなどが挙げ
られる。

【００７３】上記感光性エレメントを用いてレジストパ
ターンを製造するに際しては、前記の保護フィルムが存
在している場合には、保護フィルムを除去後、感光性樹
脂組成物層を７０〜１３０℃程度に加熱しながら回路形
成用基板に０．１〜１MPa程度（１〜１０kgf/cm²程度）
の圧力で圧着することにより積層する方法などが挙げら
れ、減圧下で積層することが好ましい。積層される表面
は、通常金属面であるが、特に制限はない。

【００７４】このようにして積層が完了した感光性樹脂
組成物層は、ネガ又はポジマスクパターンを通して活性
光線が画像状に照射される。上記活性光線の光源として
は、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気
アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可
視光などを有効に放射するものが用いられる。

【００７５】次いで、露光後、感光性樹脂組成物層上に
支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、
アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液に
よるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して
現像し、レジストパターンを製造することができる。上
記アルカリ性水溶液としては、例えば、０．１〜５重量
％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カ
リウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウム
の希薄溶液等が挙げられる。上記アルカリ性水溶液のpH
は９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、
感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。ま
た、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、有
機溶剤等を混入させてもよい。上記現像の方式として
は、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシン
グ、スラッピング等が挙げられる。

【００７６】現像後の処理として、必要に応じて６０〜
２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０mJ/cm²程度の露光
を行うことによりレジストパターンをさらに硬化して用
いてもよい。

【００７７】現像後に行われる金属面のエッチングに
は、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカ
リエッチング溶液等を用いることができる。

【００７８】本発明の感光性エレメントを用いてプリン
ト配線板を製造する場合、現像されたレジストパターン
をマスクとして、回路形成用基板の表面を、エッチン
グ、めっき等の公知方法で処理する。上記めっき法とし
ては、例えば、銅めっき、はんだめっき、ニッケルめっ
き、金めっきなどがある。次いで、レジストパターン
は、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに
強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記強
アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０重量％
水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウ
ム水溶液等が用いられる。上記剥離方式としては、例え
ば、浸漬方式、スプレイ方式等が挙げられる。また、レ
ジストパターンが形成されたプリント配線板は、多層プ
リント配線板でもよく、小径スルーホールを有していて
もよい。

【００７９】

【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。

【００８０】実施例１〜６及び比較例１〜５表１に示す材料を配合し、溶液を得た。

【００８１】

【表１】

【００８２】次いで、得られた溶液に表２、３に示す
（Ｂ）成分及び（Ｄ）成分を溶解させて、感光性樹脂組
成物の溶液を得た。

【００８３】

【表２】

【００８４】

【表３】

【００８５】以下に表２及び表３において使用した成分
を示す。 *1：ＦＡ−３２１Ｍ（２，２−ビス（４−（メタクリロ
キシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、日立化成工
業(株)製商品名） *2：ＡＰＧ２００（トリプロピレングリコールジアクリ
レート、新中村化学工業(株)製商品名） *3：ＡＰＧ４００（ヘプタプロピレングリコールジアク
リレート、新中村化学工業(株)製商品名） *4：ＮＰ−８ＥＡ（ノニルフェノキシオクタエチレンオ
キシアクリレート：前記一般式（Ｉ）においてＲ¹＝水
素原子、Ｚ＝ノニル基、ｍ＝８及びｎ＝１の化合物、共
栄社化学(株)製商品名） *5：ＮＰ−４ＥＡ（テトラフェノキシオクタエチレンオ
キシアクリレート：前記一般式（Ｉ）においてＲ¹＝水
素原子、Ｚ＝ノニル基、ｍ＝４及びｎ＝１の化合物、共
栄社化学(株)製商品名） *6：ＯＸＴ−１０１（オキセタン化合物、東亜合成(株)
製商品名） *7：ＯＸＴ−１２１（オキセタン化合物、東亜合成(株)
製商品名）

【００８６】次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を、
１６μｍ厚のポリエチレンポリエチレンテレフタレート
フィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥
器で、１０分間乾燥して、感光性エレメントを得た。感
光性樹脂組成物層の膜厚は、３０μｍであった。

【００８７】一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業(株)製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、♯６
００相当のブラシを持つ研磨機（三啓(株)製）を用いて
研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層
板を８０℃に加温し、その銅表面上に、前記感光性樹脂
組成物層を、１１０℃に加熱しながらラミネートした。
次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク(株)
製）５９０を用いて、ネガとしてストーファー４１段ス
テップタブレットを試験片の上に置いて３０，６０、１
２０mJ/cm²露光した。次に、ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム
水溶液を２０秒間スプレーすることにより、未露光部分
を除去した。

【００８８】さらに、銅張り積層板上に形成された光硬
化膜のステップタブレットの段数を測定することによ
り、感光性樹脂組成物の感度を評価し、４１段ステップ
タブレット（Ｏ．Ｄ．＝０．０５）の２１段を硬化させ
るのに必要な露光量（mJ/cm²）を感度とした。その結果
を表４及び表５に示した。この数字が低いほど高感度で
ある。現像後のパターンを観察し、ライン・アンド・ス
ペースとして残ったライン幅（μｍ）から解像度（μ
ｍ）を求めた。

【００８９】剥離時間は以下のように測定した。それぞ
れの感度に相当する露光量（２１段／４１）を照射した
試料を、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液にて現像し
た。１昼夜放置後、３重量％水酸化ナトリウム溶液を４
５℃に保ち撹拌子により撹拌しながら、浸漬し剥離が始
まる時間（sec）を測定した。剥離時間は短いほうが好
ましい。

【００９０】次に未露光の感光性樹脂組成物の層０．５
ｍ²を１リットルの１重量％炭酸ナトリウム水溶液に溶
解し、その溶液を３０℃で９０分スプレー現像機で循環
させた。２分放置後、現像機の壁面に付着した油状生成
物を観察し、以下に示す基準によりスカム発生性の評価
とした。数字が大きいほうが特性上好ましい。３：油状生成物無し２：油状生成物少量１：油状生成物多量

【００９１】耐めっき性の評価は以下のように行った。
それぞれの感度に相当する露光量（２１段／４１）をマ
スクを用いて露光し、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液
にて現像した。この試料を脱脂、水洗し３．０A/dm²で
３０分間硫酸銅めっきし、水洗・ホウフッ化水素酸浸漬
後、１．５A/dm²で１０分間半田めっきし水洗した。エ
アブラシで水分を除き、セロテープ（積水化学製、２４
mm巾）を密着させ急激にはがし、剥離の有無を調べた。 ○：剥離なし ×：剥離あり

【００９２】実施例１〜６及び比較例１〜５について評
価結果を表４及び表５に示す。

【００９３】

【表４】

【００９４】

【表５】

【００９５】

【発明の効果】請求項１〜１５のいずれかに記載の感光
性樹脂組成物は、高解像性、高密着性、高感度、低スカ
ム発生性、耐めっき性及びめっき浴汚染性が優れる。請
求項１６記載の感光性エレメントは、高解像性、高密着
性、高感度、低スカム発生性、耐めっき性、めっき浴汚
染性、作業性及び生産性が優れ、プリント配線板の高密
度化に有効である。

【００９６】請求項１７記載のレジストパターンの製造
法は、高解像性、高密着性、高感度、低スカム発生性、
耐めっき性、めっき浴汚染性、作業性及び生産性が優
れ、プリント配線板の高密度化に有効である。請求項１
８記載のプリント配線板の製造法は、高解像性、高密着
性、高感度、低スカム発生性、耐めっき性、めっき浴汚
染性、作業性及び生産性が優れ、プリント配線板の高密
度化に有効である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＨ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ (56)参考文献特開平７−92673（ＪＰ，Ａ) 特開平７−333846（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−295046（ＪＰ，Ａ) 特開平９−296142（ＪＰ，Ａ) 特開平10−115920（ＪＰ，Ａ) 特開平６−230569（ＪＰ，Ａ) 特開平７−166117（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/004 - 7/18 C08F 220/30 C08L 33/14 H05K 3/00 H05K 3/06 H05K 3/18

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子
内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を
有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物において、前記（Ａ）成分の分
散度が１．０〜４．０であり、前記（Ｂ）成分が（ｂ
４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であり、分子内のエチレ
ン性不飽和基が少なくとも二つである化合物、（ｂ５）
ＨＬＢ＝９．０〜１４．０であり、分子内のエチレン性
不飽和基が少なくとも一つである化合物及び（ｂ６）Ｈ
ＬＢ＝０〜７．０であり、分子内のエチレン性不飽和基
が少なくとも一つである化合物を必須成分とする感光性
樹脂組成物。
【請求項２】（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であ
る化合物が分子内に二つのエチレン性不飽和基を有し、
（ｂ５）ＨＬＢ＝９．０〜１４．０である化合物が分子
内に一つのエチレン性不飽和基を有する請求項１記載の
感光性樹脂組成物。
【請求項３】（ｂ５）ＨＬＢ＝９．０〜１４．０であ
る化合物の分子内のエチレングリコール単位の数が２〜
１５である請求項１または請求項２記載の感光性樹脂組
成物。
【請求項４】（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子
内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を
有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物において、前記（Ａ）成分の分
散度が１．０〜４．０であり、前記（Ｂ）成分が（ｂ
４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であり、分子内のエチレ
ン性不飽和基が少なくとも二つである化合物、（ｂ５）
ＨＬＢ＝７．０〜１６．０であり、分子内のエチレング
リコール単位の数が２〜８であり、分子内のエチレン性
不飽和基が少なくとも一つである化合物及び（ｂ６）Ｈ
ＬＢ＝０〜７．０であり、分子内のエチレン性不飽和基
が少なくとも一つである化合物を必須成分とする感光性
樹脂組成物。
【請求項５】（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であ
る化合物が分子内に二つのエチレン性不飽和基を有し、
（ｂ５）ＨＬＢ＝７．０〜１６．０であり、分子内のエ
チレングリコール単位の数が２〜８である化合物が分子
内に一つのエチレン性不飽和基を有する請求項４記載の
感光性樹脂組成物。
【請求項６】（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であ
る化合物がビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化
合物である請求項１〜請求項５のいずれかに記載の感光
性樹脂組成物。
【請求項７】（ｂ４）ＨＬＢ＝７．０〜１７．０であ
る化合物の分子内のエチレングリコール単位の数が２〜
３０である請求項１〜請求項６のいずれかに記載の感光
性樹脂組成物。
【請求項８】（ｂ６）ＨＬＢ＝０〜７．０の化合物が
ポリプロピレングリコールジアクリレートである請求項
１〜請求項７のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】（Ａ）バインダーポリマーが、スチレン
又はスチレン誘導体を必須の共重合成分とする請求項１
〜請求項８のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】（Ａ）バインダーポリマーが、スチレ
ン又はスチレン誘導体を全共重合成分に対して、０．１
〜３０重量％含有する請求項９記載の感光性樹脂組成
物。
【請求項１１】（Ａ）バインダーポリマーの重量平均
分子量が、２０，０００〜３００，０００である請求項
１〜請求項１０のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】（Ａ）バインダーポリマーの酸価が、
３０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇである請求項１〜請求項１
１のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】（Ｃ）光重合開始剤が、２，４，５−
トリアリールイミダゾール二量体である請求項１〜請求
項１２のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】さらに（Ｄ）オキセタン化合物を含有
する請求項１〜請求項１３のいずれかに記載の感光性樹
脂組成物。
【請求項１５】（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成
分の配合量が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００
重量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８０重量部、（Ｂ）
成分が２０〜６０重量部及び（Ｃ）成分が０．１〜１０
重量部である請求項１〜請求項１４のいずれかに記載の
感光性樹脂組成物。
【請求項１６】請求項１〜請求項１５のいずれかに記
載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥、積層し
てなる感光性エレメント。
【請求項１７】請求項１６記載の感光性エレメント
を、回路形成用基板上に感光性樹脂組成物層が密着する
ようにして積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部
を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特
徴とするレジストパターンの製造法。
【請求項１８】請求項１７記載のレジストパターンの
製造法により、レジストパターンの製造された回路形成
用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプ
リント配線板の製造法。