JP3431342B2 - レーザリペア機能付顕微鏡 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶モジュール、ＩＴ
Ｏ基板、カラーフィルター等の製造工程で、パターン欠
陥や短絡などの不良部分をレーザを用いて修正するレー
ザリペア機能を有するレーザリペア機能付顕微鏡に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体または高密度多層基板など
の試料表面を、ＴＶカメラで観察しながらレーザ加工す
る装置の一例として、特開平４−２３４５３号公報に開
示されるように、ＸＹステージに乗せた試料像を、凸レ
ンズで一旦拡大するとともに、ハーフミラーを用いて透
過および反射させ、この反射した像をＴＶカメラの撮像
面で結像させ、また透過した像をレーザ光源のパターン
マスクに結像させるようにしたものがある。

【０００３】また、従来、レーザリペア機能付顕微鏡と
して、図７に示すように、顕微鏡本体１の３眼鏡筒の直
筒側にレーザ発振管２、ＴＶカメラユニット３、可変ス
リット４１および該スリット４１を照射する光源４２を
有する加工用レーザヘッド４を取り付けたものがある。
この場合、レーザヘッド４の可変スリット４１は、対物
レンズ６と結像レンズ７が作る中間像位置に配置され、
ＴＶカメラユニット３は、結像レンズ７と可変スリット
４１との間に配置されたビームスプリッタ９によって分
岐された光路に設けられ、そのカメラ撮像面３１は、リ
レーレンズ１２を介した結像位置に配置されている。ま
た、顕微鏡本体１の３眼鏡筒の光路切り換え用として、
切り換えプリズム１１が結像レンズ７とビームスプリッ
タ９との間に出し入れ可能に配置されている。この場
合、接眼：直筒の分光光量比は０：１００、１００：０
となっている。

【０００４】このような装置で対象物５をレーザリペア
するには、まず光路切り換えプリズム１１を光路から外
し、直筒（レーザヘッド）側を１００％とし、対物レン
ズ６のピントを合わせる。このピント合わせはＴＶカメ
ラユニット３側のモニターに対象物５の像を写し出すこ
とで行われる。また、これと同時に、モニターには、可
変スリット４１のスリット像が現れる。このスリット像
によりレーザ加工範囲を設定するが、この範囲設定は、
図示しないモータにより可変スリット４１の開口幅を調
整することにより行う。この状態で、作業者は、モニタ
ーに写る観察像から対象物５の修正したい部分をスリッ
ト位置に移動し、スリット幅を調整しながら、レーザに
よる修正を行うようになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のものでは、まず、前者の場合、試料表面の像
をハーフミラーを介してＴＶカメラの撮像面で結像させ
ているので、ＴＶカメラの像が、試料の像に対して、上
下または左右が逆になってしまう。このことは、作業者
にとって、試料の取扱いが逆になるため、作業上の混乱
を招き、加工ミスの原因となるという問題点がある。

【０００６】そこで、台形プリズムを使用して像の向き
を調整することが考えられるが、こうすると、その分光
学部品が多くなり、更に機構も複雑になってしまう。一
方、後者の場合、構造上、結像レンズ７から中間像位置
までが１８０ｍｍ前後であって、３眼鏡筒の直筒のヘッ
ド取り付け面８から可変スリット４１までの距離が極め
て小さいものになるた。そのため、図示するようにヘッ
ド取り付け面８と可変スリット４１の間にビームスプリ
ッタ９を配置し、このビームスプリッタ９により光を偏
向させ、さらにミラー１０により光路を折り曲げ、ＴＶ
カメラユニット３に達するように構成すると、カメラ撮
像面３１を中間像面に置くことが難しく、リレーレンズ
１２が光路となる。このため、光学部品が著しく多くな
り、構造的にも複雑なものになってしまうという問題点
がある。

【０００７】そこで、ビームスプリッタ９を破線９´の
位置に、ミラー１０を破線１０´の位置にそれぞれ配置
すれば、ビームスプリッタ９を移動させた分だけ中間画
像の位置をずらすことができるが、それでも装置として
実現するのは実際上困難である。一方、ミラー１０´を
設けず、ビームスプリッタ９´により偏向された水平な
光軸に直接ＴＶカメラ５を横向きにして配置することも
考えられる。光すれば、中間像位置にＴＶカメラ５を配
置できるが、顕微鏡の観察像の上下が逆転してしまうの
で、ＴＶモニターに映る像と肉眼で見る観察像が鏡像関
係になり、好ましくない。

【０００８】また、ＴＶモニターと顕微鏡を同時に観察
することができないという問題点もある。つまり、ＴＶ
カメラの解像度は未だ人間の肉眼より劣っており、その
ため目で見る顕微鏡観察も必要で、この際に光路切り換
えプリズム１１によりいちいち光路を切り換えなければ
ならないため、そのための手間が面倒である。できれば
ＴＶモニターと顕微鏡観察をプリズム１１の切り換え作
業なしで同時にできることが好ましい。

【０００９】さらに、光路に出し入れされる光路切り換
えプリズム１１とＴＶカメラユニット３側に光を偏向さ
せるビームスプリッタ９を上下方向に２段に配置してい
るため、つまり、２段構えのプリズム構成が必要となる
ため、さらに機構が複雑になり、その分のスペースも無
駄になる。

【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、肉眼観察と撮像手段による観察を同時に行うことが
でき、しかも撮像手段でのモニタ像を正しく表示できる
構成の簡単なレーザリペア機能付顕微鏡を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、レーザリペア
のための可変スリット手段を有する加工用レーザ手段
と、この加工用レーザ手段からのレーザを対象物上に結
像させる対物レンズを含む結象光学系を有するレーザリ
ペア機能付顕微鏡において、前記対物レンズからの光路
を直進方向及びこの直進方向と交差する第１の偏向方向
に切り換える第1の光路切り換え手段と、前記直進方向
及びこの直進方向と交差し前記第１の偏向方向と異なる
第2の偏向方向に切り換える第２の光路切り換え手段と
を、前記結像光学系による中間像位置と前記対物レンズ
との間の同一位置に選択的に交換可能に設け、前記直進
方向の光路に対象物を撮像する撮像手段を、前記第1の
偏向方向の光路に前記対象物を肉眼で観察するための肉
眼観察手段を、前記第2の偏向方向の光軸に前記加工用
レーザ手段をそれぞれ配置している。

【００１２】また、本発明は、前記第1の光路切り換え
手段と前記第2の光路切り換え手段は、前記第１の偏向
方向と前記第2の偏向方向とが前記同一位置に挿入され
た状態において１８０度の配置関係になるように配置
し、更に、前記第1の偏向方向と反対側に前記加工用レ
ーザ手段からのレーザ光を遮光する遮蔽部材を配置し、
前記第2の光路切り換え手段は、前記第2の偏向方向と反
対側に前記加工用レーザ手段からのレーザ光が前記肉眼
観察手段に入射することを防止する遮蔽部材を配置して
いる。 また、本発明は、前記第1の光路切り換え手段と
前記第2の光路切り換え手段は、前記第１の偏向方向と
前記第2の偏向方向とが前記同一位置に挿入された状態
において９０度の配置関係になるように配置し、更に、
前記第２の光路切り換え手段は、前記第２の偏向方向と
反対側に前記加工用レーザ手段からのレーザ光を遮光す
る遮蔽部材を配置している。

【００１３】

【作用】この結果、本発明によれば、前記第1の光路切
り換え手段と前記第2の光路切り換え手段を切り換える
だけで、レーザリペアと撮像手段によるＴＶ観察を同時
に行なうことができるとともに、撮像手段によるＴＶ観
察と肉眼観察手段による顕微鏡観察も同時に行なうこと
ができるようになる。

【００１４】また、本発明によれば、前記直進方向の光
路に対象物を撮像する撮像手段を、前記第1の偏向方向
の光路に前記対象物を肉眼で観察するための肉眼観察手
段を、前記第2の偏向方向の光軸に前記加工用レーザ手
段をそれぞれ配置することで、前記第1の光路切り換え
手段と第2の光路切り換え手段を切り換えても常に対物
レンズの光軸上の直進方向に撮像手段が配置されること
から、撮像手段のＴＶモニタ像が対象部材の像に対して
逆になることを防止できる。また、本発明によれば、前
記第１又は第２の光路切り換え手段に前記加工用レーザ
手段からのレーザ光を遮光する遮蔽部材を配置すること
で、顕微鏡観察とレーザリペア時にレーザ光が肉眼観察
手段に入射することを防止できる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。 （第１実施例）図１は、第１実施例の概略構成を示すも
ので、上述した図７と同一部分には同符号を付してい
る。

【００１６】この場合、光路切り換えプリズム１１に代
えて、光路切り換えプリズム２１を設けている。この光
路切り換えプリズム２１は、結像レンズ７の光軸を接眼
レンズ２２の方向とＴＶカメラユニット３の方向に２分
割するプリズム２１２と、結像レンズ７の光軸をレーザ
ヘッド方向とＴＶカメラユニット３の方向に２分割する
プリズム２１１を有していて、これらプリズム２１１、
２１２を光路に対して切り換えて挿入できるようになっ
ている。

【００１７】そして、プリズム２１２により偏向された
光軸上の中間像位置には、プリズム２２を介して接眼レ
ンズ２３を、透過された光軸方向にはＴＶカメラユニッ
ト３をそれぞれ配置し、一方、プリズム２１１により偏
向された光軸上の中間像位置には、ミラ１０を介してレ
ーザヘッド４を、また透過された光軸方向にはＴＶカメ
ラユニット３をそれぞれ配置している。

【００１８】なお、このような光路切り換えプリズム２
１では、図２に示すようにプリズム２１１については、
レーザヘッド４からのレーザ光が対象物５まで通過する
際に、レーザ光が接眼レンズ２３側に入射しないように
するための遮蔽板２１１ａを取り付け、また、プリズム
２１２についても、レーザヘッド４からのレーザ光が誤
って発振されても、接眼レンズ２３側に入射しないよう
にするための遮蔽板２１２ａを取り付けている。

【００１９】しかして、このような構成によれば、ま
ず、対象物５をレーザリペアするには、光路切り換えプ
リズム２１のプリズム２１１が光路に入るように切り換
える。すると、対象物５からの観察像は、プリズム２１
２を透過され、ＴＶカメラユニット３の撮像面３１に結
像され、モニター上に対象物５の像を写し出し、同時
に、プリズム２１２での偏向によりモニター上に可変ス
リット４１のスリット像を写し出し、この状態で、レー
ザ加工の範囲を設定することで、レーザヘッド４からの
レーザ光により対象物５の所望部分の修正を行うように
なる。

【００２０】一方、顕微鏡観察とＴＶ観察を同時に行い
たい場合は、光路切り換えプリズム２１のプリズム２１
２が光路に入るように切り換える。すると、対象物５か
らの観察像は、プリズム２１２より偏向され、プリズム
２２を介して接眼レンズ２３で結像され、同時に、対象
物５からの観察像は、プリズム２１２を透過され、ＴＶ
カメラユニット３の撮像面３１にも結像され、モニター
に対象物５の像を写し出し、ＴＶ観察も可能としてい
る。

【００２１】従って、このような第１実施例によれば、
光路切り換えプリズム２１のプリズム２１１を光路上に
切り換えることで、レーザリペアとＴＶ観察とを同時に
行なうことができ、また、プリズム２１２を光路上に切
り換えることで、顕微鏡観察とＴＶ観察とを同時に行な
うことができるので、従来のようにＴＶ観察と顕微鏡観
察に光路を切り換えるものと比べ、同時観察時に光路の
切り換える必要がなく操作を簡単にできる。

【００２２】また、光路切り換えプリズム２１のプリズ
ム２１１、２１２を同一位置で切り換えることで、対物
レンズ６からの光路を接眼レンズ２３方向とＴＶカメラ
ユニット３方向に、またＴＶカメラユニット３方向とレ
ーザヘッド４方向に切り換えることができるので、従来
のように光路切り換えプリズム（１１）とＴＶカメラユ
ニット側に光を偏向させるビームスプリッタ（９）を上
下方向に２段に配置したものと比べ、2段構えのプリズ
ム構成を必要とせず、1段のプリズム構成でよいことか
ら、装置全体をコンパクトにできるとともに、光路切り
換えプリズム２１から中間像位置までの距離が長くなる
ので、ＴＶカメラユニット３、レーザヘッド４および接
眼レンズ２３のいずれもが直接中間像位置に配置するこ
とができ、リレーレンズが不要になる。

【００２３】また、光路切り換えプリズム２１のプリズ
ム２１１、２１２は、それぞれレーザヘッド４からのレ
ーザ光が接眼レンズ２３に入射するのを防止する遮蔽部
板２１１ａ、２１２ａをそれぞれ設けているので、レー
ザ光が接眼レンズ２３を通して目に入ることがない。

【００２４】なお、第１実施例では、レーザ発振管２と
可変スリット４１がレーザヘッド４の一つの筺体に収ま
っているが、可変スリット４１のみを独立させて、中間
像位置に配置してもよい。また、ミラー１０をなくして
レーザ発振管２を横倒しにして配置してもよい。また、
対物レンズ６と結像レンズ７との間隔が離れた構成の顕
微鏡の場合は、図１に破線で示したように光路切り換え
プリズム２１の後の位置に結像レンズ７をそれぞれ配置
することで、リレーレンズなしに接眼レンズ２３、ＴＶ
カメラユニット３、レーザユニット４を中間像位置に配
置することができる。 （第２実施例）図３は、第２実施例の概略構成を示すも
ので、この場合も上述した図１と同一部分には同符号を
付している。

【００２５】この実施例は、光路切り換えプリズム２１
と接眼レンズ２３側のプリズム２２との間にリレーレン
ズ２４を配置してなる延長光学系の顕微鏡について、可
変スリット４１を内蔵したレーザヘッド４とＴＶカメラ
ユニット３を取り付けたものである。また、光路切り換
えプリズム２１とレーザヘッド４の間に光路折り曲げプ
リズム２５を配置し、結像レンズ７を透過する対象物５
からの観察像を光路切り換えプリズム２１と光路折り曲
げプリズム２５により２回反射させ、中間像位置に合致
させてレーザヘッド４の可変スリット４１を配置してい
る。このように接眼レンズ側にリレーレンズを配置する
構成は、対象物５として例えばＬＣＤ基板のように数＋
ｃｍの大きさを有するものを扱う場合などで、対物レン
ズ光軸からある程度離れた位置に接眼レンズを配置する
必要がある場合に採用される。

【００２６】また、図４に示すように光路切り換えプリ
ズム２１の各プリズム２１１と２１２を光路に対して直
角方向に移動する移動台２６上に固定され、プリズム２
１１とプリズム２１２が別個に光路に挿入されるように
なっている。この移動台２６は、移動案内機構として、
滑り案内のアリ２６１を用いている。

【００２７】また、これらプリズム２１１、プリズム２
１２の透過率：反射率はそれぞれ５０：５０（ＴＶカメ
ラ：レーザヘッド）、８０：２０（ＴＶカメラ：接眼レ
ンズ）になっている。また、レーザ光が接眼レンズ２３
に入射しないようにするため、図１で述べたようにプリ
ズム２１１、２１２のそれぞれに遮蔽板２１１ａ、２１
２ａを設けている。

【００２８】しかして、このような構成においても、対
象物５をレーザリペアするには、手動操作により光路切
り換えプリズム２１のプリズム２１１を光路に挿入す
る。すると、この場合も対象物５からの観察像は、プリ
ズム２１２を透過され、ＴＶカメラユニット３の撮像面
３１に結像され、モニター上に対象物５の像を写し出
し、同時に、プリズム２１２での偏向によりモニター上
に可変スリット４１のスリット像を写し出し、この状態
でレーザ加工の範囲を設定することで、レーザヘッド４
からのレーザ光により対象物５の所望部分の修正を行う
ようになる。

【００２９】また、顕微鏡観察とＴＶ観察を同時に行い
たい場合は、手動操作により光路切り換えプリズム２１
のプリズム２１２が光路に挿入する。すると、対象物５
からの観察像は、プリズム２１２より偏向され、リレー
レンズ２４と全反射プリズム２２により結像レンズ７の
中間像を接眼レンズ２３の手前に結像させ、同時に、対
象物５からの観察像は、プリズム２１２で反射せずに透
過され、ＴＶカメラユニット３の撮像面３１に結像さ
れ、モニターに対象物５の像を写し出し、ＴＶ観察も可
能にしている。

【００３０】従って、このような第２実施例によれば、
光路切り換えプリズム２１のプリズム２１１または２１
２を直進して通過する結像レンズ７の中間像をＴＶカメ
ラユニット３の撮像面３１に結像させることで、ＴＶカ
メラユニット３の位置を対象物５、対物レンズ６に対し
直筒の位置に配置するようになるので、ＴＶモニタなど
での像が対象物５の像に対し逆になるようなことがなく
なり、作業者にとって、作業上の混乱を招く原因を排除
でき、加工ミスをなくすことができる。

【００３１】また、対物レンズ５とＴＶカメラユニット
３の光軸間でＴＶカメラユニット３側に光路を導くため
の従来のリレーレンズやミラーなどの光学部品を省くこ
ともできるので、構成の簡単化も実現できる。

【００３２】また、ＴＶカメラと一緒にＡＦ機構を使用
することもできる。この場合、図３において、２７はＡ
Ｆ機構、２８はダイクロイックミラーを示している。さ
らに、ＴＶカメラの代わりに３５ｍｍカメラを配置して
写真撮影を行うなど、プリズム２１１とプリズム２１２
を透過する光路は、その他の目的にも使用できる。 （第３実施例）図５は、第３実施例に用いられる光路切
り換えプリズム２１の概略構成を示すもので、この場
合、プリズム２１１の取り付け位置を上方から見て９０
度回転させて、プリズム２１１と２１２の間にレーザを
しゃ断する遮蔽板２１３を設けている。 こうすること
で、上述した第１および第２実施例では、接眼レンズ２
３に対してＴＶカメラユニット３とレーザヘッド４が一
列方向に配置されていたものが、図６に示すようにＴＶ
カメラユニット３とレーザヘッド４が横並びに配置され
るようになり、これらの配置スペースを有効にでき、装
置のコンパクト化が実現できる。また、プリズム２１１
の取り付け位置を変更することで、プリズム２１２での
遮蔽板２１２ａを不要にして、１枚の遮蔽板２１３のみ
で対応できるので、部品点数を減らすこともできる。

【００３３】以上、実施例に基づいて説明したが、本発
明中には以下の発明が含まれる。レーザリペアのための
可変スリット手段を有する加工用レーザ手段と、この加
工用レーザ手段からのレーザを対象物上に結像させる対
物レンズを含む結象光学系を有するレーザリペア機能付
顕微鏡において、前記対物レンズからの光路を直進方向
及びこの直進方向と交差する第１の偏向方向に切り換え
る第1の光路切り換え手段と、前記直進方向及びこの直
進方向と交差し前記第１の偏向方向と異なる第2の偏向
方向に切り換える第２の光路切り換え手段とを、前記結
像光学系による中間像位置と前記対物レンズとの間の同
一位置に選択的に交換可能に設け、前記直進方向の光路
に対象物を撮像する撮像手段を、前記第1の偏向方向の
光路に前記対象物を肉眼で観察するための肉眼観察手段
を、前記第2の偏向方向の光軸に前記加工用レーザ手段
をそれぞれ配置したことを特徴とするレーザリペア機能
付顕微鏡。

【００３４】このようにすれば、レーザペリアと撮像手
段によるＴＶ観察を同時に行うことができるとともに、
撮像手段によるＴＶ観察と肉眼観察手段による顕微鏡観
察も同時に行うことができ、特に、ＴＶ観察と顕微鏡観
察を行うための光路の切り換えを一切必要とすることが
なくなり、この種観察のための操作を簡単にできる。ま
た、光路切り換え手段は、１段のプリズム構成でよいこ
とから、装置全体をコンパクトにできる。

【００３５】

【００３６】また、撮像手段は常に、直進して通過する
光路方向に配置されることから、撮像手段のＴＶモニタ
像が対象部材の像に対して逆になることを防止でき、作
業者にとって、作業上の混乱を招く原因を排除でき、加
工ミスなどをなくすことができ、また、撮像手段に光路
を導くための従来のリレーレンズやミラーなどの光学部
品を省くことができることで、構成の簡略化も実現でき
る。

【００３７】本発明は、前記第1の光路切り換え手段と
前記第2の光路切り換え手段は、前記第１の偏向方向と
前記第2の偏向方向とが前記同一位置に挿入された状態
において１８０度の配置関係になるように配置し、更
に、前記第1の偏向方向と反対側に前記加工用レーザ手
段からのレーザ光を遮光する遮蔽部材を配置し、前記第
2の光路切り換え手段は、前記第2の偏向方向と反対側に
前記加工用レーザ手段からのレーザ光が前記肉眼観察手
段に入射することを防止する遮蔽部材を配置している。
また、本発明は、前記第1の光路切り換え手段と前記第2
の光路切り換え手段は、前記第１の偏向方向と前記第2
の偏向方向とが前記同一位置に挿入された状態において
９０度の配置関係になるように配置し、更に、前記第２
の光路切り換え手段は、前記第２の偏向方向と反対側に
前記加工用レーザ手段からのレーザ光を遮光する遮蔽部
材を配置している。このようにすれば、加工レーザ手段
からのレーザ光が肉眼観察手段に入射することを防止で
きる。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、撮像
手段によるＴＶ観察と肉眼観察手段による顕微鏡観察も
同時に行うことができ、特に、ＴＶ観察と顕微鏡観察を
行うための光路の切り換えを一切必要とすることがなく
なり、この種観察のための操作を簡単にできる。また、
光路切り換え手段は、１段のプリズム構成でよいことか
ら、装置全体をコンパクトにできる。

【００３９】また、撮像手段は、ビームスプリッターに
対し、常に直進して通過する光路方向に配置されること
から、撮像手段のＴＶモニタ像が対象部材の像に対し逆
になるようなことを防止でき、作業者にとって、作業上
の混乱を招く原因を排除でき、加工ミスなどをなくすこ
とができ、また、撮像手段側に光路を導くための従来の
リレーレンズやミラーなどの光学部品を省くこともでき
ることで、構成の簡単化も実現できる。

【００４０】さらに、光路切り換え手段の各ビームスプ
リッターは、加工用レーザ手段からのレーザ光が肉眼観
察手段に入射するのを防止する遮蔽部材を有しているこ
とから、加工用レーザ手段からのレーザ光が目に入るよ
うな恐れがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の概略構成を示す図。

【図２】第１実施例に用いられる光路切り換えプリズム
の構成を示す図。

【図３】本発明の第２実施例の概略構成を示す図。

【図４】第２実施例に用いられる光路切り換えプリズム
の構成を示す図。

【図５】本発明の第３実施例に用いられる光路切り換え
プリズムの構成を示す図。

【図６】第３実施例の概略構成を示す図。

【図７】従来のレーザリペア機能付顕微鏡の一例の概略
構成を示す図。

【符号の説明】

１…顕微鏡本体、２…レーザ発振管、３…ＴＶカメラユ
ニット、３１…撮像面、４…加工用レーザヘッド、４１
…可変スリット、４２…光源、５…対象物、６…対物レ
ンズ、７…結像レンズ、２１…光路切り換えプリズム、
２１１、２１２…プリズム、２１１ａ、２１２ａ…遮蔽
板、２２…プリズム、２３…接眼レンズ、２４…リレー
レンズ、２５…光路折り曲げプリズム、２６…移動台、
２６１…アリ、２７…ＡＦ機構、２８…ダイクロイック
ミラー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−113015（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−99304（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−276014（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−280209（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−164911（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−252451（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−275918（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23K 26/06 G02B 21/00

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザリペアのための可変スリット手段
   を有する加工用レーザ手段と、この加工用レーザ手段か
   らのレーザを対象物上に結像させる対物レンズを含む結
   象光学系を有するレーザリペア機能付顕微鏡において、前記対物レンズからの光路を直進方向及びこの直進方向
   と交差する第１の偏向方向に切り換える第1の光路切り
   換え手段と、前記直進方向及びこの直進方向と交差し前
   記第１の偏向方向と異なる第2の偏向方向に切り換える
   第２の光路切り換え手段とを、前記結像光学系による中
   間像位置と前記対物レンズとの間の同一位置に選択的に
   交換可能に設け、 前記直進方向の光路に対象物を撮像する撮像手段を、前
   記第1の偏向方向の光路に前記対象物を肉眼で観察する
   ための肉眼観察手段を、前記第2の偏向方向の光軸に前
   記加工用レーザ手段をそれぞれ配置 したことを特徴とす
   るレーザリペア機能付顕微鏡。
2. 【請求項２】前記第1の光路切り換え手段と前記第2の光
   路切り換え手段は、前記第１の偏向方向と前記第2の偏
   向方向とが前記同一位置に挿入された状態において１８
   ０度の配置関係になるように配置されることを特徴とす
   る請求項１記載のレーザリペア機能付顕微鏡。
3. 【請求項３】 前記第1の光路切り換え手段と前記第2の
   光路切り換え手段は、前記第１の偏向方向と前記第2の
   偏向方向とが前記同一位置に挿入された状態において９
   ０度の配置関係になるように配置されることを特徴とす
   る請求項１記載のレーザリペア機能付顕微鏡。
4. 【請求項４】 前記第1の光路切り換え手段は、前記第1
   の偏向方向と反対側に前記加工用レーザ手段からのレー
   ザ光を遮光する遮蔽部材を配置し、前記第2の光路切り
   換え手段は、前記第2の偏向方向と反対側に前記加工用
   レーザ手段からのレーザ光が前記肉眼観察手段に入射す
   ることを防止する遮蔽部材を配置したことを特徴とする
   請求項２記載のレーザリペア機能付顕微鏡。
5. 【請求項５】 前記第２の光路切り換え手段は、前記第
   ２の偏向方向と反対側に前記加工用レーザ手段からのレ
   ーザ光を遮光する遮蔽部材を配置したことを特徴とする
   請求項３記載のレーザリペア機能付顕微鏡。
6. 【請求項６】 前記第１の光路切り換え手段と前記肉眼
   観察手段の間に延長光学系を配置し、前記対物レンズの
   光軸から前記肉眼観察手段の接眼レンズを離したことを
   特徴とする請求項１記載のレーザリペア機能付顕微鏡。