JPS593726B2 - 照射装置 - Google Patents
照射装置Info
- Publication number
- JPS593726B2 JPS593726B2 JP54019789A JP1978979A JPS593726B2 JP S593726 B2 JPS593726 B2 JP S593726B2 JP 54019789 A JP54019789 A JP 54019789A JP 1978979 A JP1978979 A JP 1978979A JP S593726 B2 JPS593726 B2 JP S593726B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference line
- signal
- slits
- image
- monitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は露光を必要とする物体の必要な部分に光を照射
する装置に関するもので、特にスポット照射顕微鏡に適
する。
する装置に関するもので、特にスポット照射顕微鏡に適
する。
従来のスポット照射顕微鏡では、投影光学系に双眼鏡筒
を配置し、物体面に縮小投影された矩形パターンを同じ
視野内に観察される物体の任意の位置に重ね合わせてい
る。
を配置し、物体面に縮小投影された矩形パターンを同じ
視野内に観察される物体の任意の位置に重ね合わせてい
る。
この重ね合わせ作業は物体および矩形パターン形成スリ
ットの位置を動かすことによつて行なわれるが、顕微鏡
観察作業であるため、疲労し易く、その結果位置合わせ
精度のばらつきが大きい。また投影光学系による目５
視観察だけでは光学系の性能と目の分解能によつて位置
合わせ精度に限界がある。このため微小な部分に精度よ
く矩形パターンを縮小投影することが困難であつた。上
記理由から投影光学系にテレビカメラを配し、１０カメ
ラが捕えた物体の像をモニタに拡大して映し出し、同じ
モニタ上に発生させた基準線に光照射が必要とされる部
分を位置合わせする改良された方策がある。
ットの位置を動かすことによつて行なわれるが、顕微鏡
観察作業であるため、疲労し易く、その結果位置合わせ
精度のばらつきが大きい。また投影光学系による目５
視観察だけでは光学系の性能と目の分解能によつて位置
合わせ精度に限界がある。このため微小な部分に精度よ
く矩形パターンを縮小投影することが困難であつた。上
記理由から投影光学系にテレビカメラを配し、１０カメ
ラが捕えた物体の像をモニタに拡大して映し出し、同じ
モニタ上に発生させた基準線に光照射が必要とされる部
分を位置合わせする改良された方策がある。
この方策では位置合わせするため物体を動かさ１５なけ
ればならないが、１μｍ以下の位置合わせを実現させる
ためには、物体を載せている載物台を高精度に動かす機
構が必要であり、物体が揺れないように載物台に高い剛
性も要求される。
ればならないが、１μｍ以下の位置合わせを実現させる
ためには、物体を載せている載物台を高精度に動かす機
構が必要であり、物体が揺れないように載物台に高い剛
性も要求される。
このため操作性が著しく低下するとともに装置が大形化
２０し経済的にも不利となる。本発明の目的は上記した
欠点をなくし、位置合わせ精度の高い光照射装置を提供
するにある。
２０し経済的にも不利となる。本発明の目的は上記した
欠点をなくし、位置合わせ精度の高い光照射装置を提供
するにある。
本発明は操作性に優れ、小形で経済的である位置合わせ
精度の高い光照射装置を得るため投影光２５学装置によ
つて照射される物体の像面上方に撮像器を配置し、該撮
像器の信号を画像表示するモニタを設け、該モニタに位
置合わせのための複数の基準線を表示する表示手段を設
け、前記基準線を上記モニタに表示した物体面の画像に
位置合わせ３０して、物体の座標または寸法を計算する
計算手段を設け、該計算手段の出力信号にもとづいて、
２対のスリットを駆動する駆動手段を設け、上記基準線
の位置を操作し該基準線で囲まれた物体面の矩形領域に
位置精度よく光を照射するようにした３５ことを特徴と
する。以下この発明の実施例について、第１図から第３
図に従つて説明する。
精度の高い光照射装置を得るため投影光２５学装置によ
つて照射される物体の像面上方に撮像器を配置し、該撮
像器の信号を画像表示するモニタを設け、該モニタに位
置合わせのための複数の基準線を表示する表示手段を設
け、前記基準線を上記モニタに表示した物体面の画像に
位置合わせ３０して、物体の座標または寸法を計算する
計算手段を設け、該計算手段の出力信号にもとづいて、
２対のスリットを駆動する駆動手段を設け、上記基準線
の位置を操作し該基準線で囲まれた物体面の矩形領域に
位置精度よく光を照射するようにした３５ことを特徴と
する。以下この発明の実施例について、第１図から第３
図に従つて説明する。
第１図は本発明による照射装置の構成を示した図である
。
。
対物レンズ１３の物体面に被照射物体であるホトマスク
１４を配置し、対物レンズ１３、ダイクロイツクミラー
１２によつて反射される光によつて形成されるホトマス
ク１４の像面にスリツト４，５，６，７を配置してある
。光照射光源としてレーザ発振器１を用い、これより発
射されるレーザビームはレンズ２，３によつて拡大され
、スリツト４，５，６，７で形成される矩形開口部に入
射する。スリツト４，５，６，７で形成される矩形開口
を通過したレーザビームはダイクロイツクミラー１２で
反射され、対物レンズ１３に入射してホトマスク１４の
上にスリツト４，５，６，７で形成される矩形開口の縮
小パターンを結像する。一方ランプ１５、コンデンサレ
ンズ１６を用いてホトマスク１４を下から透過照明する
とともに、ランプ１７、コンデンサレンズ１８、ハーフ
ミラー１９を用いてホトマスク１４を上から落射照明す
る。ダイクロイツクミラー１２は照明光を通過するよう
に設計されているのでホトマスク１４を通過あるいはホ
トマスク１４から反射された光は、ダイクロイツクミラ
ー１２、ハーフミラー１９を通りテレビカメラ２０の撮
像素子上にホトマスク１４の拡大像を結ぶ。この拡大像
は画像信号に変換され制御ユニツト２１に入る。制御部
２１には位置合わせ用基準線を発生する回路が内蔵され
ていて、テレビモニタ２２に位置合わせ用基準線である
縦基準線２７，２８および横基準線２９，３０をホトマ
スク１４の投影像と一緒に表示する。制御ユニツト２１
に付属している縦基準線位置調整ノブ２３，２４および
横基準線位置調整ノブ２５，２６はそれぞれ縦基準線２
７，２８および横基準線２９，３０に対応しており、縦
基準線位置調整ノブ２３，２４および横基準線位置調整
ノブ２５，２６を操作することによつて縦基準線２７，
２８および横基準線２９，３０をテレビモニタ２２の画
面内の任意の位置に表示できるようにしてある。また制
御ユニツト２１はスリツト４，５，６，７を駆動するド
ライブユニツト８，９，１０，１１に電気的に連結され
ていて、縦基 （準線位置調整ノブ２３，２４および横
基準線位置調整ノブ２５，２６を操作すると、縦基準線
２７，２８および横基準線２９，３０に追随してスリツ
ト４，５，６，７を移動させるようになつている。次に
縦基準線２７，２８および横基準線２９，３０の発生方
法とスリツト４，５，６，７の位置制御方法について述
べる。第２図ａにテレビモニタ２２の拡大図を示す。
１４を配置し、対物レンズ１３、ダイクロイツクミラー
１２によつて反射される光によつて形成されるホトマス
ク１４の像面にスリツト４，５，６，７を配置してある
。光照射光源としてレーザ発振器１を用い、これより発
射されるレーザビームはレンズ２，３によつて拡大され
、スリツト４，５，６，７で形成される矩形開口部に入
射する。スリツト４，５，６，７で形成される矩形開口
を通過したレーザビームはダイクロイツクミラー１２で
反射され、対物レンズ１３に入射してホトマスク１４の
上にスリツト４，５，６，７で形成される矩形開口の縮
小パターンを結像する。一方ランプ１５、コンデンサレ
ンズ１６を用いてホトマスク１４を下から透過照明する
とともに、ランプ１７、コンデンサレンズ１８、ハーフ
ミラー１９を用いてホトマスク１４を上から落射照明す
る。ダイクロイツクミラー１２は照明光を通過するよう
に設計されているのでホトマスク１４を通過あるいはホ
トマスク１４から反射された光は、ダイクロイツクミラ
ー１２、ハーフミラー１９を通りテレビカメラ２０の撮
像素子上にホトマスク１４の拡大像を結ぶ。この拡大像
は画像信号に変換され制御ユニツト２１に入る。制御部
２１には位置合わせ用基準線を発生する回路が内蔵され
ていて、テレビモニタ２２に位置合わせ用基準線である
縦基準線２７，２８および横基準線２９，３０をホトマ
スク１４の投影像と一緒に表示する。制御ユニツト２１
に付属している縦基準線位置調整ノブ２３，２４および
横基準線位置調整ノブ２５，２６はそれぞれ縦基準線２
７，２８および横基準線２９，３０に対応しており、縦
基準線位置調整ノブ２３，２４および横基準線位置調整
ノブ２５，２６を操作することによつて縦基準線２７，
２８および横基準線２９，３０をテレビモニタ２２の画
面内の任意の位置に表示できるようにしてある。また制
御ユニツト２１はスリツト４，５，６，７を駆動するド
ライブユニツト８，９，１０，１１に電気的に連結され
ていて、縦基 （準線位置調整ノブ２３，２４および横
基準線位置調整ノブ２５，２６を操作すると、縦基準線
２７，２８および横基準線２９，３０に追随してスリツ
ト４，５，６，７を移動させるようになつている。次に
縦基準線２７，２８および横基準線２９，３０の発生方
法とスリツト４，５，６，７の位置制御方法について述
べる。第２図ａにテレビモニタ２２の拡大図を示す。
画面にはホトマスクのパターン３１とパターンの欠陥３
２、縦および横基準線２７，２８，２９，３０が表示さ
れている。縦基準線２７，２８を発生させるには画像信
号に第２図ｂに示す縦基準線発生信号を重畳させればよ
い。また横基準線２９，３０を発生させるには２つの任
意番目Ｍｌ，ｍ２の走査画像信号に第２図ｃに示す横基
準線発生信号を重畳させればよい。縦基準線２７，２８
を画面内で移動させるには、走査開始時点からの時間ｔ
１とＴ２を変える。ＴＯは線幅に関係するので、モニタ
観察者が明確に認識できる程度に予め決めておく。Ｔ，
，ｔ２を精度よく測定するには、第２図ｄに示す正確な
クロツク信号３５を準備し、ＴＯ，ｔｌおよびＴ２の間
開いているゲート信号（図示せず）を用い、ゲート信号
が開いている間のクロツク信号の数Ｍ。，ｍｌ，ｍ２を
計数する。これによつて縦基準線２７，２８の位置をデ
ジタル量として表わすことができる。すなわち、縦基準
線２７ｍ０ｍ０はｍ１＋−、 縦基準線２８はＭ２＋−
で表わせる。
２、縦および横基準線２７，２８，２９，３０が表示さ
れている。縦基準線２７，２８を発生させるには画像信
号に第２図ｂに示す縦基準線発生信号を重畳させればよ
い。また横基準線２９，３０を発生させるには２つの任
意番目Ｍｌ，ｍ２の走査画像信号に第２図ｃに示す横基
準線発生信号を重畳させればよい。縦基準線２７，２８
を画面内で移動させるには、走査開始時点からの時間ｔ
１とＴ２を変える。ＴＯは線幅に関係するので、モニタ
観察者が明確に認識できる程度に予め決めておく。Ｔ，
，ｔ２を精度よく測定するには、第２図ｄに示す正確な
クロツク信号３５を準備し、ＴＯ，ｔｌおよびＴ２の間
開いているゲート信号（図示せず）を用い、ゲート信号
が開いている間のクロツク信号の数Ｍ。，ｍｌ，ｍ２を
計数する。これによつて縦基準線２７，２８の位置をデ
ジタル量として表わすことができる。すなわち、縦基準
線２７ｍ０ｍ０はｍ１＋−、 縦基準線２８はＭ２＋−
で表わせる。
一方横基準線２９，３０の位置はＮｌ，ｎ２で表わされ
る。上記のデイジタル量とホトマスク１４の位置を対応
ずけるため、予め寸法が既知のパターンをテレビモニタ
２２に映し、縦基準線の位置を表わすデイジタル量の単
位△Ｘと横基準線位置を表わすデイジタル量の単位△ｙ
を精密に求めておく。
る。上記のデイジタル量とホトマスク１４の位置を対応
ずけるため、予め寸法が既知のパターンをテレビモニタ
２２に映し、縦基準線の位置を表わすデイジタル量の単
位△Ｘと横基準線位置を表わすデイジタル量の単位△ｙ
を精密に求めておく。
このようにすれば、例えば上記の縦基準線２７，２８お
よび横基準線２９，３０に対応するホトマスク１４上の
位置Ｘｌ，Ｘ２，ｙｌ９ｙ２は次式Ｊ＆Ｊ−４ノで表わ
される。
よび横基準線２９，３０に対応するホトマスク１４上の
位置Ｘｌ，Ｘ２，ｙｌ９ｙ２は次式Ｊ＆Ｊ−４ノで表わ
される。
更に、対物レンズ１３の結像倍率がｋであるとし、スリ
ツト４，５，６，７で形成される矩形の各辺の位置がＫ
Ｘｌ，ｋＸ２，ｋｙｌ，ｋｙ２となるようにスリツト４
，５，６，７を移動する。
ツト４，５，６，７で形成される矩形の各辺の位置がＫ
Ｘｌ，ｋＸ２，ｋｙｌ，ｋｙ２となるようにスリツト４
，５，６，７を移動する。
そしてスリツト４，５，６，７の移動がそれぞれ縦基準
線２７，２８および横基準線２９，３０の移動に対応す
るようにしておく。このようにすると縦基準線２７，２
８と横基準線２９，３０で形成される矩形部分に相当す
るホトマスク１４の位置とスリツト４，５，６，７で形
成される矩形部分がダイクロイツクミラー１２と対物レ
ンズ１３で投影されるホトマスク１４の位置が一致する
ので、テレビモニタ２２に映し出されたホトマスク１４
のパターン欠陥を縦基準線２７，２８および横基準線２
９，３０で囲み、レーザ発振器１からレーザビームを発
射させるとレーザビームはホトマスク１４のパターン欠
陥を照射する。パターンが金属の薄膜で形成されており
、レーザビームのエネルギが十分高ければ直接欠陥部を
溶融飛散し欠陥を修正できる。またホトマスク１４の上
にレーザビームに感光するホトレジストが塗布されてい
れば、パターン欠陥だけを部分露光し、現像エツチング
の工程を経て、欠陥を修正できる。この場合レーザ発振
器１を別の光源、例えば水銀灯に代え、ホトレジストを
紫外線に感光するホトレジストに代えても同じ効果を得
ることができる。上記のスリツト４，５，６，７の位置
制御と、位置合わせ用基準線をテレビモニタに表示する
方法をプロツク図に示したのが第３図である。
線２７，２８および横基準線２９，３０の移動に対応す
るようにしておく。このようにすると縦基準線２７，２
８と横基準線２９，３０で形成される矩形部分に相当す
るホトマスク１４の位置とスリツト４，５，６，７で形
成される矩形部分がダイクロイツクミラー１２と対物レ
ンズ１３で投影されるホトマスク１４の位置が一致する
ので、テレビモニタ２２に映し出されたホトマスク１４
のパターン欠陥を縦基準線２７，２８および横基準線２
９，３０で囲み、レーザ発振器１からレーザビームを発
射させるとレーザビームはホトマスク１４のパターン欠
陥を照射する。パターンが金属の薄膜で形成されており
、レーザビームのエネルギが十分高ければ直接欠陥部を
溶融飛散し欠陥を修正できる。またホトマスク１４の上
にレーザビームに感光するホトレジストが塗布されてい
れば、パターン欠陥だけを部分露光し、現像エツチング
の工程を経て、欠陥を修正できる。この場合レーザ発振
器１を別の光源、例えば水銀灯に代え、ホトレジストを
紫外線に感光するホトレジストに代えても同じ効果を得
ることができる。上記のスリツト４，５，６，７の位置
制御と、位置合わせ用基準線をテレビモニタに表示する
方法をプロツク図に示したのが第３図である。
縦基準線位置調整ノブ２３，２４に接続された縦基準線
位置調整回路３６，３７では縦基準線位置調整ノブ２３
，２４の回転に従つて第２図ｂに示したＴｌ，ｔ２を変
える機能を持つていて、その情報を縦基準線発生回路４
４に入力する。縦基準線発生回路４４ではＴ，，ｔ２，
ｔＯの情報を基に縦基準線発生信号を発生して基準線混
合部４７に送出するとともにＴｌ，ｔ２，ｔＯをデイジ
タル信号に変換し、縦基準線位置をデイジタル量で表わ
し、ドライブ回路４０，４１にデイジタル信号を送る。
ドライブ回路４０，４１ではスリツト４，５がＫＸｌ，
ｋＸ２の位置に移動するようにドライブユニツト８，９
にパルス信号と１駆動方向の指令信号を送る。ドライブ
ユニツト８，９ではドライブ回路４０，４１の指令信号
に基いてスリツト４，５を駆動する。横基準線位置調整
ノブ２５，２６に接続された縦基準線位置調整回路３８
，３９では、横基準線位置調整ノブ２５，２６の回転角
に比例したアナログ信号を発生する機能を持つていて、
その情報を横基準線発生回路４５に入力する。
位置調整回路３６，３７では縦基準線位置調整ノブ２３
，２４の回転に従つて第２図ｂに示したＴｌ，ｔ２を変
える機能を持つていて、その情報を縦基準線発生回路４
４に入力する。縦基準線発生回路４４ではＴ，，ｔ２，
ｔＯの情報を基に縦基準線発生信号を発生して基準線混
合部４７に送出するとともにＴｌ，ｔ２，ｔＯをデイジ
タル信号に変換し、縦基準線位置をデイジタル量で表わ
し、ドライブ回路４０，４１にデイジタル信号を送る。
ドライブ回路４０，４１ではスリツト４，５がＫＸｌ，
ｋＸ２の位置に移動するようにドライブユニツト８，９
にパルス信号と１駆動方向の指令信号を送る。ドライブ
ユニツト８，９ではドライブ回路４０，４１の指令信号
に基いてスリツト４，５を駆動する。横基準線位置調整
ノブ２５，２６に接続された縦基準線位置調整回路３８
，３９では、横基準線位置調整ノブ２５，２６の回転角
に比例したアナログ信号を発生する機能を持つていて、
その情報を横基準線発生回路４５に入力する。
横基準線発生回路４５では、上記アナログ信号をデイジ
タル信号に変換し、横基準線発生信号を発生して基準線
混合部４７に送出するとともに横基準線位置をデイジタ
ル量で表わし、ドライブ回路４２，４３にデイジタル信
号を送る。ドライブ回路４２，４３ではスリツト６，７
がＫｙｌ，ｋｙ２の位置に移動するようにドライブユニ
ツト１０，１１にパルス信号と駆動方向指定信号を送る
。ドライブユニツト１０，１１ではドライブ回路４４，
４５の指令信号に基いて、スリツト６，７を駆動する。
基準線混合部４７においては、テレビカメラ２０を含む
画像信号発生部で作られた画像信号に縦基準線発生回路
４４と横基準線発生回路４５から入力された縦基準線発
生信号３３と横基準線発生信号３４が重畳される。この
重畳画像信号は画像信号増幅部４８で増幅され、画像信
号表示部４９でテレビモニタ２２にホトマスクパターン
の投影画像と位置合わせ基準線が混在した画像として表
示される。以上述べた方策を用いることによつて、従来
低かつた位置合わせ精度を改善でき、高精度の操作性の
優れた照射装置を得ることができた。
タル信号に変換し、横基準線発生信号を発生して基準線
混合部４７に送出するとともに横基準線位置をデイジタ
ル量で表わし、ドライブ回路４２，４３にデイジタル信
号を送る。ドライブ回路４２，４３ではスリツト６，７
がＫｙｌ，ｋｙ２の位置に移動するようにドライブユニ
ツト１０，１１にパルス信号と駆動方向指定信号を送る
。ドライブユニツト１０，１１ではドライブ回路４４，
４５の指令信号に基いて、スリツト６，７を駆動する。
基準線混合部４７においては、テレビカメラ２０を含む
画像信号発生部で作られた画像信号に縦基準線発生回路
４４と横基準線発生回路４５から入力された縦基準線発
生信号３３と横基準線発生信号３４が重畳される。この
重畳画像信号は画像信号増幅部４８で増幅され、画像信
号表示部４９でテレビモニタ２２にホトマスクパターン
の投影画像と位置合わせ基準線が混在した画像として表
示される。以上述べた方策を用いることによつて、従来
低かつた位置合わせ精度を改善でき、高精度の操作性の
優れた照射装置を得ることができた。
またこれを微細パターンからなるホトマスクの欠陥を精
度よく修正したり、パターンを形成する照射装置に適用
することにより半導体素子の歩留りの大幅な向上を実現
できた。
度よく修正したり、パターンを形成する照射装置に適用
することにより半導体素子の歩留りの大幅な向上を実現
できた。
第１図は本発明による照射装置の実施例の構成を示した
図、第２図は位置合わせ用基準線とその発生信号を示し
た図、第３図は本発明による実施例のうち位置合わせの
制御方法を示すプロツク図である。 １・・・・・ルーザ発振器、４，５，６，７・・・・・
・スリツト、８，９，１０，１１・・・・・・ドライブ
ユニツト、１４・・・・・・フオトマスク、２０・・・
・・・テレビカメラ、２１・・・・・・制御ユニツト、
２２・・・・・・テレビモニタ、２３，２４・・・・・
・縦基準線位置調整ノブ、２５，２６・・・・・・横基
準線位置調整ノブ。
図、第２図は位置合わせ用基準線とその発生信号を示し
た図、第３図は本発明による実施例のうち位置合わせの
制御方法を示すプロツク図である。 １・・・・・ルーザ発振器、４，５，６，７・・・・・
・スリツト、８，９，１０，１１・・・・・・ドライブ
ユニツト、１４・・・・・・フオトマスク、２０・・・
・・・テレビカメラ、２１・・・・・・制御ユニツト、
２２・・・・・・テレビモニタ、２３，２４・・・・・
・縦基準線位置調整ノブ、２５，２６・・・・・・横基
準線位置調整ノブ。
Claims (1)
- １ ２対のスリットで形成された矩形パターンを物体に
縮小あるいは拡大投影する投影光学装置を設け、上記投
影光学装置によつて投影される物体の像面の上方に撮像
器を配置し、該撮像器の信号を画像表示するモニタを設
け、該モニタに位置合わせのための基準線を表示する表
示手段を設け、該表示手段の基準線を各々上記モニタに
表示した物体の画像に位置合わせして物体の座標または
寸法を計算する計算手段を設け、該計算手段の出力信号
を用いて上記２対のスリットを駆動する駆動手段を設け
、上記投影光学装置によつて基準線で囲まれた物体面の
矩形領域に光を照射するように構成したことを特徴とす
る照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54019789A JPS593726B2 (ja) | 1979-02-23 | 1979-02-23 | 照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54019789A JPS593726B2 (ja) | 1979-02-23 | 1979-02-23 | 照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55113015A JPS55113015A (en) | 1980-09-01 |
| JPS593726B2 true JPS593726B2 (ja) | 1984-01-25 |
Family
ID=12009098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54019789A Expired JPS593726B2 (ja) | 1979-02-23 | 1979-02-23 | 照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593726B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6196723U (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-21 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6010729A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-19 | Fujitsu Ltd | パタ−ン修正露光装置 |
| JP2790638B2 (ja) * | 1988-09-17 | 1998-08-27 | 株式会社ニデック | 薄膜修正用光加工装置 |
| JP3431342B2 (ja) * | 1995-04-19 | 2003-07-28 | オリンパス光学工業株式会社 | レーザリペア機能付顕微鏡 |
-
1979
- 1979-02-23 JP JP54019789A patent/JPS593726B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6196723U (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55113015A (en) | 1980-09-01 |
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