JP3404859B2 - 誘電体の製造方法 - Google Patents
誘電体の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス多層回路
基板又は誘電体多層部品を形成する場合に好適な誘電体
の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】多層回路基板には、各種チップ部品、フ
ィルター、コンデンサーなどの誘電体を使用した部品が
搭載されるが、近年では実装密度を高めるために、誘電
体を多層回路基板や多層部品内に組み込んだものが使用
されるようになっている。 【０００３】このような多層回路基板や誘電体多層部品
の製造方法としては、例えば、アルミニウム、ケイ素、
バリウム、ストロンチウム、ジルコニウム等の酸化物又
は酸化物前駆体の粉末を混合して仮焼成し、その仮焼成
物を粉砕して粉末状とし、これとバインダーとを混練し
てグリーンシートを形成し、そのグリーンシートに配線
回路や電極などを形成し、さらにこれを複数積層して本
焼成することがなされている。 【０００４】この場合、配線回路や電極を銅、ニッケル
等の卑金属から構成できるようにするため、焼成温度は
１０００℃以下程度の低温とすることが望まれる。そこ
で、誘電体の構成材料として、アルミナ等に酸化硼素
（Ｂ２Ｏ３）を多量に添加したものを使用し、このＢ２
Ｏ３を多量に添加した材料を仮焼成及び本焼成すること
がなされている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ナ等の誘電体材料にＢ２Ｏ３を添加して仮焼成を行う
と、その仮焼成時にＢ２Ｏ３がアルミナ等の他の誘電体
材料と反応して複合酸化物が形成されるので、その後の
本焼成において所期の溶融温度では液相が形成されな
い。そのため、高い焼結密度を得るためには、結果的に
本焼成温度を高くしなくてはならないという問題があっ
た。 【０００６】これに対しては、本来の必要量以上にＢ２
Ｏ３を多く添加することが行われているが、Ｂ２Ｏ３を
多量に添加すると、誘電特性が低下するという問題があ
った。 【０００７】本発明は以上のような従来技術の課題を解
決しようとするものであり、硼素を含む複合酸化物から
なる誘電体を製造するにあたり、硼素の添加量を少なく
しても１０００℃以下の低い焼成温度で高い焼結密度が
得られるようにし、チップ部品等に必要とされる好適な
誘電特性を実現できるようにすることを目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明者は、硼素及びそ
の他の元素の複合酸化物からなる誘電体を製造するにあ
たり、硼素以外の酸化物材料を仮焼成し、その後、硼素
の酸化物もしくは酸化物前駆体を添加し、さらに造粒、
成形等の必要な諸工程を経た後、本焼成すると、硼素含
有量を少なくしても、１０００℃以下の低い焼成温度
で、高密度で優れた誘電特性を有する誘電体が得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。 【０００９】即ち、本発明は、硼素及びその他の元素の
酸化物もしくはこれらの酸化物前駆体を焼成して硼素及
びその他の元素の複合酸化物を形成することからなる誘
電体の製造方法において、硼素以外の元素の酸化物又は
酸化物前駆体を仮焼成して硼素以外の元素の複合酸化物
を得、この複合酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体
を混合し、その後本焼成して硼素及びその他の元素の複
合酸化物を得ることを特徴とする誘電体の製造方法を提
供する。 【００１０】以下、本発明を詳細に説明する。 【００１１】本発明の製造方法においては、まず、硼素
以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体を仮焼成する。こ
こで、硼素以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体とし
て、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、バリウム
（Ｂａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）及びジルコニウム
（Ｚｒ）の酸化物、炭酸塩等を使用する。これらの混合
割合は、通常、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂａ、Ｓｒ及びＺｒのモル
比が、Ａｌ：Ｓｉ：Ｂａ：Ｓｒ：Ｚｒ＝２２±５：４０
±５：８±１：１６±２：２５±５となるようにするこ
とが好ましい。 【００１２】仮焼成の温度は、上述の元素が十分に酸化
物になる温度とする。より具体的には、仮焼成時の熱重
量分析曲線における最終重量減少反応の開始温度からそ
の反応の終了温度の範囲とすることが好ましく、このよ
うな温度範囲のほぼ中間の温度とすることがより好まし
い。このような温度は仮焼成する材料組成によって異な
るが、例えば８１０℃〜９９０℃で最終重量減少反応が
進行する場合、８７０℃近傍で仮焼成することが好まし
い。 【００１３】仮焼成した後は、それにより得られた複合
酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合する。例
えば、硼素は、Ｂ2Ｏ3、Ｈ3ＢＯ3等の形態で混合するこ
とができ、好ましくはＢ2Ｏ3として混合する。また、硼
素の混合割合は、本焼成後に得られる誘電体において硼
素が２モル％以上１０モル％以下となるようにする。好
ましくは４モル％以上８モル％以下となるようにする。
この混合割合は、硼素をＢ2Ｏ3に換算した場合に１．５
重量％以上７．５重量％以下、より好ましくは３．０重
量％以上６．０重量％以下となる割合である。硼素の混
合割合が少なすぎると焼成温度を１０００℃以下の低い
温度にすることが困難となり、多すぎると誘電特性が低
下するので好ましくない。 【００１４】硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合した
後は、造粒、成形等の通常の誘電体の焼成に必要とされ
る諸工程を常法にしたがって行い、その後本焼成する。
本焼成の温度は、本焼成する材料組成によって異なる
が、通常１０００℃以下とすることができる。また、本
焼成時の雰囲気は還元性雰囲気とすることができる。 【００１５】 【作用】本発明によれば、アルミナ等の誘電体材料の仮
焼成時に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を存在させない
ので、アルミナ等の誘電体材料と硼素の酸化物又は酸化
物前駆体が不要な反応を起こし、本焼成する材料の部分
溶融温度が高まることを防止できる。したがって、仮焼
成後の本焼成時には、硼素酸化物を多量に使用しなくて
も、焼成温度を１０００℃以下という低い温度に設定す
ることができ、またそれにより高い焼結密度とチップ部
品に適切な誘電特性（例えば、誘電率５〜１５、ｔａｎ
δ＝１０−４程度）を有する誘電体を得ることができ
る。 【００１６】したがって、銅、ニッケルなどの卑金属を
電極として有し、チップ部品等として誘電体を組み込ん
だ多層回路基板や多層誘電体部品を製造する際に、その
電極材料をグリーンシートと同時に焼結することが可能
となり、電極と誘電体との多層焼結物を経済的に作製す
ることが可能となる。 【００１７】 【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。 【００１８】実施例１〜２９ 誘電体の原料粉末として、純度９９．１％以上のＡｌ２
Ｏ３、ＳｉＯ２、ＢａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＺｒＯ２、
Ｂ２Ｏ３を用意した。そしてこれらの粉末を、表１に示
す３通りの組成（ａ、ｂ、ｃ）にそれぞれ秤量した。 【００１９】 【表１】 （モル％） Ａｌ２Ｏ３ ＳｉＯ２ ＢａＣＯ３ ＳｒＣＯ３ ＺｒＯ２ Ｂ２Ｏ３ 組成ａ 10.7 38.8 7.5 15.1 23.6 4.3 組成ｂ 10.3 37.3 7.2 14.6 22.7 7.9 組成ｃ 10.8 39.1 7.6 15.3 23.8 3.5 Ｂ２Ｏ３以外の原料粉末を、水を混合溶媒としてボール
ミルで混合処理し、その後、水を蒸発させて除去した。
次いで、この混合物を５００Ｋｇ／ｃｍ２の圧力で加圧
成形し、表２及び表３に示すように、８１０℃又は８７
０℃で３時間空気中で仮焼成し（昇温速度、降温速度＝
４００℃／時）、粉砕して粉末を得た。そして、この粉
末とＢ２Ｏ３とを、水を混合溶媒としてボールミルで混
合処理し、その後、水を蒸発させて除去し、１０００Ｋ
ｇ／ｃｍ２の圧力で加圧成形し、窒素雰囲気で本焼成
し、複合酸化物からなる誘電体を得た。得られた誘電体
の密度を測定した。この結果を表２、表３及び図１に示
す。 【００２０】 【表２】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 （℃） （℃） （ｇ／ｃｍ３） 実施例１ ａ ８１０ ８３０ ２．１４ 実施例２ ａ ８１０ ８８０ ２．４７ 実施例３ ａ ８１０ ９３０ ２．８３ 実施例４ ａ ８１０ ９９０ ３．００ 実施例５ ａ ８１０ １０５０ ３．１３実施例６ ａ ８１０ １１００ ２．６０ 実施例７ ａ ８７０ ８３０ ２．４９ 実施例８ ａ ８７０ ８８０ ３．４３ 実施例９ ａ ８７０ ９３０ ３．４４ 実施例１０ ａ ８７０ ９９０ ３．１９ 実施例１１ ａ ８７０ １０５０ ２．５９ 実施例１２ ａ ８７０ １１００ ２．１５ 【００２１】 【表３】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 （℃） （℃） （ｇ／ｃｍ３） 実施例１３ ｂ ８１０ ８３０ ２．１７ 実施例１４ ｂ ８１０ ８８０ ２．２５ 実施例１５ ｂ ８１０ ９３０ ２．４５ 実施例１６ ｂ ８１０ ９９０ ３．０６ 実施例１７ ｂ ８１０ １０５０ ３．０８実施例１８ ｂ ８１０ １１００ ２．４８ 実施例１９ ｂ ８７０ ７３０ ２．４０ 実施例２０ ｂ ８７０ ７８０ ２．６７ 実施例２１ ｂ ８７０ ８３０ ３．４３ 実施例２２ ｂ ８７０ ８８０ ２．７２ 実施例２３ ｂ ８７０ ９３０ ２．５８ 実施例２４ ｂ ８７０ ９９０ ２．２３ 実施例２５ ｂ ８７０ １０５０ ２．１２実施例２６ ｂ ８７０ １１００ １．９２ 実施例２７ ｃ ８７０ ９３０ ２．３３ 実施例２８ ｃ ８７０ ９９０ ２．４７ 実施例２９ ｃ ８７０ １１００ ２．７６ 比較例１〜１６ 誘電体の原料粉末として、上記実施例と同様に純度９
９．１％以上のＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＢａＣＯ３、Ｓ
ｒＣＯ３、ＺｒＯ２、Ｂ２Ｏ３を用意した。そして、Ｂ
２Ｏ３を含む全ての原料粉末を同時に混合する以外は実
施例と同様にして、原料粉末を混合処理し、加圧成形
し、表４に示すように、８１０℃又は８７０℃で３時間
空気中で仮焼成し、粉砕して粉末を得た。そして、この
粉末を、水を混合溶媒としてボールミルで混合処理し、
実施例と同様にして本焼成し、複合酸化物からなる誘電
体を得た。また、得られた誘電体の密度を測定した。こ
の結果を表４及び図２に示す。 【００２２】 【表４】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 （℃） （℃） （ｇ／ｃｍ３） 比較例１ ａ ８１０ ９３０ ２．１７ 比較例２ ａ ８１０ ９９０ ２．４８ 比較例３ ａ ８１０ １０５０ ２．６２比較例４ ａ ８１０ １１００ ３．１５ 比較例５ ａ ８７０ ９３０ ２．３２ 比較例６ ａ ８７０ ９９０ ３．００ 比較例７ ａ ８７０ １０５０ ３．２１比較例８ ａ ８７０ １１００ ３．２６ 比較例９ ｂ ８１０ ９３０ ２．２０ 比較例１０ ｂ ８１０ ９９０ ２．６５ 比較例１１ ｂ ８１０ １０５０ ２．６５比較例１２ ｂ ８１０ １１００ ２．５１ 比較例１３ ｂ ８７０ ９３０ ２．２８ 比較例１４ ｂ ８７０ ９９０ ２．７３ 比較例１５ ｂ ８７０ １０５０ ２．７４ 比較例１６ ｂ ８７０ １１００ ２．５８ 表２〜表４、図１及び図２に示した結果から、実施例に
よれば、高い焼結密度を得るための本焼成の最適温度は
比較例に比べて低温側に移行していることがわかる。特
に、実施例において、組成ｂの原料粉末を使用した場合
には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度が著しく
低温側に移行し、かつ得られる誘電体の密度も高くなっ
ていることがわかる。また、組成ａの原料粉末を使用し
た場合には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度の
範囲が比較的広範囲になっていることがわかる。 【００２３】また、本発明の実施例によれば、原料粉末
組成、仮焼成温度、焼成温度を変えることにより焼結密
度が向上することがわかる。したがって、本発明におい
て、原料粉末組成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条
件を適宜設定することにより、さらに最適焼成温度の低
下と焼結密度の向上が期待される。 【００２４】これらの実施例の誘電率およびｔａｎδを
測定したところ、誘電率は８、ｔａｎδは１０−３程度
であったが、本発明によれば上述のように、原料粉末組
成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条件を適宜設定す
ることにより、焼結密度が向上することが期待できるの
で、誘電率およびｔａｎδ等の誘電特性もさらに向上す
ることが期待される。 【００２５】 【発明の効果】本発明によれば、硼素を含む複合酸化物
からなる誘電体を製造するにあたり、誘電特性を向上さ
せるために硼素の添加量を少なくしても１０００℃以下
の低い焼成温度で高い焼結密度を得ることが可能とな
る。
基板又は誘電体多層部品を形成する場合に好適な誘電体
の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】多層回路基板には、各種チップ部品、フ
ィルター、コンデンサーなどの誘電体を使用した部品が
搭載されるが、近年では実装密度を高めるために、誘電
体を多層回路基板や多層部品内に組み込んだものが使用
されるようになっている。 【０００３】このような多層回路基板や誘電体多層部品
の製造方法としては、例えば、アルミニウム、ケイ素、
バリウム、ストロンチウム、ジルコニウム等の酸化物又
は酸化物前駆体の粉末を混合して仮焼成し、その仮焼成
物を粉砕して粉末状とし、これとバインダーとを混練し
てグリーンシートを形成し、そのグリーンシートに配線
回路や電極などを形成し、さらにこれを複数積層して本
焼成することがなされている。 【０００４】この場合、配線回路や電極を銅、ニッケル
等の卑金属から構成できるようにするため、焼成温度は
１０００℃以下程度の低温とすることが望まれる。そこ
で、誘電体の構成材料として、アルミナ等に酸化硼素
（Ｂ２Ｏ３）を多量に添加したものを使用し、このＢ２
Ｏ３を多量に添加した材料を仮焼成及び本焼成すること
がなされている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ナ等の誘電体材料にＢ２Ｏ３を添加して仮焼成を行う
と、その仮焼成時にＢ２Ｏ３がアルミナ等の他の誘電体
材料と反応して複合酸化物が形成されるので、その後の
本焼成において所期の溶融温度では液相が形成されな
い。そのため、高い焼結密度を得るためには、結果的に
本焼成温度を高くしなくてはならないという問題があっ
た。 【０００６】これに対しては、本来の必要量以上にＢ２
Ｏ３を多く添加することが行われているが、Ｂ２Ｏ３を
多量に添加すると、誘電特性が低下するという問題があ
った。 【０００７】本発明は以上のような従来技術の課題を解
決しようとするものであり、硼素を含む複合酸化物から
なる誘電体を製造するにあたり、硼素の添加量を少なく
しても１０００℃以下の低い焼成温度で高い焼結密度が
得られるようにし、チップ部品等に必要とされる好適な
誘電特性を実現できるようにすることを目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明者は、硼素及びそ
の他の元素の複合酸化物からなる誘電体を製造するにあ
たり、硼素以外の酸化物材料を仮焼成し、その後、硼素
の酸化物もしくは酸化物前駆体を添加し、さらに造粒、
成形等の必要な諸工程を経た後、本焼成すると、硼素含
有量を少なくしても、１０００℃以下の低い焼成温度
で、高密度で優れた誘電特性を有する誘電体が得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。 【０００９】即ち、本発明は、硼素及びその他の元素の
酸化物もしくはこれらの酸化物前駆体を焼成して硼素及
びその他の元素の複合酸化物を形成することからなる誘
電体の製造方法において、硼素以外の元素の酸化物又は
酸化物前駆体を仮焼成して硼素以外の元素の複合酸化物
を得、この複合酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体
を混合し、その後本焼成して硼素及びその他の元素の複
合酸化物を得ることを特徴とする誘電体の製造方法を提
供する。 【００１０】以下、本発明を詳細に説明する。 【００１１】本発明の製造方法においては、まず、硼素
以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体を仮焼成する。こ
こで、硼素以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体とし
て、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、バリウム
（Ｂａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）及びジルコニウム
（Ｚｒ）の酸化物、炭酸塩等を使用する。これらの混合
割合は、通常、Ａｌ、Ｓｉ、Ｂａ、Ｓｒ及びＺｒのモル
比が、Ａｌ：Ｓｉ：Ｂａ：Ｓｒ：Ｚｒ＝２２±５：４０
±５：８±１：１６±２：２５±５となるようにするこ
とが好ましい。 【００１２】仮焼成の温度は、上述の元素が十分に酸化
物になる温度とする。より具体的には、仮焼成時の熱重
量分析曲線における最終重量減少反応の開始温度からそ
の反応の終了温度の範囲とすることが好ましく、このよ
うな温度範囲のほぼ中間の温度とすることがより好まし
い。このような温度は仮焼成する材料組成によって異な
るが、例えば８１０℃〜９９０℃で最終重量減少反応が
進行する場合、８７０℃近傍で仮焼成することが好まし
い。 【００１３】仮焼成した後は、それにより得られた複合
酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合する。例
えば、硼素は、Ｂ2Ｏ3、Ｈ3ＢＯ3等の形態で混合するこ
とができ、好ましくはＢ2Ｏ3として混合する。また、硼
素の混合割合は、本焼成後に得られる誘電体において硼
素が２モル％以上１０モル％以下となるようにする。好
ましくは４モル％以上８モル％以下となるようにする。
この混合割合は、硼素をＢ2Ｏ3に換算した場合に１．５
重量％以上７．５重量％以下、より好ましくは３．０重
量％以上６．０重量％以下となる割合である。硼素の混
合割合が少なすぎると焼成温度を１０００℃以下の低い
温度にすることが困難となり、多すぎると誘電特性が低
下するので好ましくない。 【００１４】硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合した
後は、造粒、成形等の通常の誘電体の焼成に必要とされ
る諸工程を常法にしたがって行い、その後本焼成する。
本焼成の温度は、本焼成する材料組成によって異なる
が、通常１０００℃以下とすることができる。また、本
焼成時の雰囲気は還元性雰囲気とすることができる。 【００１５】 【作用】本発明によれば、アルミナ等の誘電体材料の仮
焼成時に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を存在させない
ので、アルミナ等の誘電体材料と硼素の酸化物又は酸化
物前駆体が不要な反応を起こし、本焼成する材料の部分
溶融温度が高まることを防止できる。したがって、仮焼
成後の本焼成時には、硼素酸化物を多量に使用しなくて
も、焼成温度を１０００℃以下という低い温度に設定す
ることができ、またそれにより高い焼結密度とチップ部
品に適切な誘電特性（例えば、誘電率５〜１５、ｔａｎ
δ＝１０−４程度）を有する誘電体を得ることができ
る。 【００１６】したがって、銅、ニッケルなどの卑金属を
電極として有し、チップ部品等として誘電体を組み込ん
だ多層回路基板や多層誘電体部品を製造する際に、その
電極材料をグリーンシートと同時に焼結することが可能
となり、電極と誘電体との多層焼結物を経済的に作製す
ることが可能となる。 【００１７】 【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。 【００１８】実施例１〜２９ 誘電体の原料粉末として、純度９９．１％以上のＡｌ２
Ｏ３、ＳｉＯ２、ＢａＣＯ３、ＳｒＣＯ３、ＺｒＯ２、
Ｂ２Ｏ３を用意した。そしてこれらの粉末を、表１に示
す３通りの組成（ａ、ｂ、ｃ）にそれぞれ秤量した。 【００１９】 【表１】 （モル％） Ａｌ２Ｏ３ ＳｉＯ２ ＢａＣＯ３ ＳｒＣＯ３ ＺｒＯ２ Ｂ２Ｏ３ 組成ａ 10.7 38.8 7.5 15.1 23.6 4.3 組成ｂ 10.3 37.3 7.2 14.6 22.7 7.9 組成ｃ 10.8 39.1 7.6 15.3 23.8 3.5 Ｂ２Ｏ３以外の原料粉末を、水を混合溶媒としてボール
ミルで混合処理し、その後、水を蒸発させて除去した。
次いで、この混合物を５００Ｋｇ／ｃｍ２の圧力で加圧
成形し、表２及び表３に示すように、８１０℃又は８７
０℃で３時間空気中で仮焼成し（昇温速度、降温速度＝
４００℃／時）、粉砕して粉末を得た。そして、この粉
末とＢ２Ｏ３とを、水を混合溶媒としてボールミルで混
合処理し、その後、水を蒸発させて除去し、１０００Ｋ
ｇ／ｃｍ２の圧力で加圧成形し、窒素雰囲気で本焼成
し、複合酸化物からなる誘電体を得た。得られた誘電体
の密度を測定した。この結果を表２、表３及び図１に示
す。 【００２０】 【表２】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 （℃） （℃） （ｇ／ｃｍ３） 実施例１ ａ ８１０ ８３０ ２．１４ 実施例２ ａ ８１０ ８８０ ２．４７ 実施例３ ａ ８１０ ９３０ ２．８３ 実施例４ ａ ８１０ ９９０ ３．００ 実施例５ ａ ８１０ １０５０ ３．１３実施例６ ａ ８１０ １１００ ２．６０ 実施例７ ａ ８７０ ８３０ ２．４９ 実施例８ ａ ８７０ ８８０ ３．４３ 実施例９ ａ ８７０ ９３０ ３．４４ 実施例１０ ａ ８７０ ９９０ ３．１９ 実施例１１ ａ ８７０ １０５０ ２．５９ 実施例１２ ａ ８７０ １１００ ２．１５ 【００２１】 【表３】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 （℃） （℃） （ｇ／ｃｍ３） 実施例１３ ｂ ８１０ ８３０ ２．１７ 実施例１４ ｂ ８１０ ８８０ ２．２５ 実施例１５ ｂ ８１０ ９３０ ２．４５ 実施例１６ ｂ ８１０ ９９０ ３．０６ 実施例１７ ｂ ８１０ １０５０ ３．０８実施例１８ ｂ ８１０ １１００ ２．４８ 実施例１９ ｂ ８７０ ７３０ ２．４０ 実施例２０ ｂ ８７０ ７８０ ２．６７ 実施例２１ ｂ ８７０ ８３０ ３．４３ 実施例２２ ｂ ８７０ ８８０ ２．７２ 実施例２３ ｂ ８７０ ９３０ ２．５８ 実施例２４ ｂ ８７０ ９９０ ２．２３ 実施例２５ ｂ ８７０ １０５０ ２．１２実施例２６ ｂ ８７０ １１００ １．９２ 実施例２７ ｃ ８７０ ９３０ ２．３３ 実施例２８ ｃ ８７０ ９９０ ２．４７ 実施例２９ ｃ ８７０ １１００ ２．７６ 比較例１〜１６ 誘電体の原料粉末として、上記実施例と同様に純度９
９．１％以上のＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＢａＣＯ３、Ｓ
ｒＣＯ３、ＺｒＯ２、Ｂ２Ｏ３を用意した。そして、Ｂ
２Ｏ３を含む全ての原料粉末を同時に混合する以外は実
施例と同様にして、原料粉末を混合処理し、加圧成形
し、表４に示すように、８１０℃又は８７０℃で３時間
空気中で仮焼成し、粉砕して粉末を得た。そして、この
粉末を、水を混合溶媒としてボールミルで混合処理し、
実施例と同様にして本焼成し、複合酸化物からなる誘電
体を得た。また、得られた誘電体の密度を測定した。こ
の結果を表４及び図２に示す。 【００２２】 【表４】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 （℃） （℃） （ｇ／ｃｍ３） 比較例１ ａ ８１０ ９３０ ２．１７ 比較例２ ａ ８１０ ９９０ ２．４８ 比較例３ ａ ８１０ １０５０ ２．６２比較例４ ａ ８１０ １１００ ３．１５ 比較例５ ａ ８７０ ９３０ ２．３２ 比較例６ ａ ８７０ ９９０ ３．００ 比較例７ ａ ８７０ １０５０ ３．２１比較例８ ａ ８７０ １１００ ３．２６ 比較例９ ｂ ８１０ ９３０ ２．２０ 比較例１０ ｂ ８１０ ９９０ ２．６５ 比較例１１ ｂ ８１０ １０５０ ２．６５比較例１２ ｂ ８１０ １１００ ２．５１ 比較例１３ ｂ ８７０ ９３０ ２．２８ 比較例１４ ｂ ８７０ ９９０ ２．７３ 比較例１５ ｂ ８７０ １０５０ ２．７４ 比較例１６ ｂ ８７０ １１００ ２．５８ 表２〜表４、図１及び図２に示した結果から、実施例に
よれば、高い焼結密度を得るための本焼成の最適温度は
比較例に比べて低温側に移行していることがわかる。特
に、実施例において、組成ｂの原料粉末を使用した場合
には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度が著しく
低温側に移行し、かつ得られる誘電体の密度も高くなっ
ていることがわかる。また、組成ａの原料粉末を使用し
た場合には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度の
範囲が比較的広範囲になっていることがわかる。 【００２３】また、本発明の実施例によれば、原料粉末
組成、仮焼成温度、焼成温度を変えることにより焼結密
度が向上することがわかる。したがって、本発明におい
て、原料粉末組成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条
件を適宜設定することにより、さらに最適焼成温度の低
下と焼結密度の向上が期待される。 【００２４】これらの実施例の誘電率およびｔａｎδを
測定したところ、誘電率は８、ｔａｎδは１０−３程度
であったが、本発明によれば上述のように、原料粉末組
成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条件を適宜設定す
ることにより、焼結密度が向上することが期待できるの
で、誘電率およびｔａｎδ等の誘電特性もさらに向上す
ることが期待される。 【００２５】 【発明の効果】本発明によれば、硼素を含む複合酸化物
からなる誘電体を製造するにあたり、誘電特性を向上さ
せるために硼素の添加量を少なくしても１０００℃以下
の低い焼成温度で高い焼結密度を得ることが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の焼成温度と焼結密度との関係図であ
る。 【図２】比較例の焼成温度と焼結密度との関係図であ
る。
る。 【図２】比較例の焼成温度と焼結密度との関係図であ
る。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01B 19/00,3/12
C01B 13/14
C04B 35/495,35/64
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 硼素及びその他の元素の酸化物もしくは
これらの酸化物前駆体を焼成して硼素及びその他の元素
の複合酸化物を形成することからなる誘電体の製造方法
において、硼素以外の元素が、アルミニウム、ケイ素、
バリウム、ストロンチウム及びジルコニウムであり、誘
電体における硼素の含有割合が２モル％以上１０モル％
以下となるように、硼素以外の元素の酸化物又は酸化物
前駆体を仮焼成して硼素以外の元素の複合酸化物を得、
この複合酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合
し、その後本焼成して硼素及び前記硼素以外の元素の複
合酸化物を得ることを特徴とする誘電体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01490194A JP3404859B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 誘電体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01490194A JP3404859B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 誘電体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07211136A JPH07211136A (ja) | 1995-08-11 |
| JP3404859B2 true JP3404859B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=11873899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01490194A Expired - Fee Related JP3404859B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 誘電体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3404859B2 (ja) |
-
1994
- 1994-01-12 JP JP01490194A patent/JP3404859B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07211136A (ja) | 1995-08-11 |
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