JP3404859B2 - 誘電体の製造方法 - Google Patents
誘電体の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス多層回路
基板又は誘電体多層部品を形成する場合に好適な誘電体
の製造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】多層回路基板には、各種チップ部品、フ
ィルター、コンデンサーなどの誘電体を使用した部品が
搭載されるが、近年では実装密度を高めるために、誘電
体を多層回路基板や多層部品内に組み込んだものが使用
されるようになっている。 【0003】このような多層回路基板や誘電体多層部品
の製造方法としては、例えば、アルミニウム、ケイ素、
バリウム、ストロンチウム、ジルコニウム等の酸化物又
は酸化物前駆体の粉末を混合して仮焼成し、その仮焼成
物を粉砕して粉末状とし、これとバインダーとを混練し
てグリーンシートを形成し、そのグリーンシートに配線
回路や電極などを形成し、さらにこれを複数積層して本
焼成することがなされている。 【0004】この場合、配線回路や電極を銅、ニッケル
等の卑金属から構成できるようにするため、焼成温度は
1000℃以下程度の低温とすることが望まれる。そこ
で、誘電体の構成材料として、アルミナ等に酸化硼素
(B2O3)を多量に添加したものを使用し、このB2
O3を多量に添加した材料を仮焼成及び本焼成すること
がなされている。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ナ等の誘電体材料にB2O3を添加して仮焼成を行う
と、その仮焼成時にB2O3がアルミナ等の他の誘電体
材料と反応して複合酸化物が形成されるので、その後の
本焼成において所期の溶融温度では液相が形成されな
い。そのため、高い焼結密度を得るためには、結果的に
本焼成温度を高くしなくてはならないという問題があっ
た。 【0006】これに対しては、本来の必要量以上にB2
O3を多く添加することが行われているが、B2O3を
多量に添加すると、誘電特性が低下するという問題があ
った。 【0007】本発明は以上のような従来技術の課題を解
決しようとするものであり、硼素を含む複合酸化物から
なる誘電体を製造するにあたり、硼素の添加量を少なく
しても1000℃以下の低い焼成温度で高い焼結密度が
得られるようにし、チップ部品等に必要とされる好適な
誘電特性を実現できるようにすることを目的とする。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明者は、硼素及びそ
の他の元素の複合酸化物からなる誘電体を製造するにあ
たり、硼素以外の酸化物材料を仮焼成し、その後、硼素
の酸化物もしくは酸化物前駆体を添加し、さらに造粒、
成形等の必要な諸工程を経た後、本焼成すると、硼素含
有量を少なくしても、1000℃以下の低い焼成温度
で、高密度で優れた誘電特性を有する誘電体が得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。 【0009】即ち、本発明は、硼素及びその他の元素の
酸化物もしくはこれらの酸化物前駆体を焼成して硼素及
びその他の元素の複合酸化物を形成することからなる誘
電体の製造方法において、硼素以外の元素の酸化物又は
酸化物前駆体を仮焼成して硼素以外の元素の複合酸化物
を得、この複合酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体
を混合し、その後本焼成して硼素及びその他の元素の複
合酸化物を得ることを特徴とする誘電体の製造方法を提
供する。 【0010】以下、本発明を詳細に説明する。 【0011】本発明の製造方法においては、まず、硼素
以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体を仮焼成する。こ
こで、硼素以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体とし
て、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、バリウム
(Ba)、ストロンチウム(Sr)及びジルコニウム
(Zr)の酸化物、炭酸塩等を使用する。これらの混合
割合は、通常、Al、Si、Ba、Sr及びZrのモル
比が、Al:Si:Ba:Sr:Zr=22±5:40
±5:8±1:16±2:25±5となるようにするこ
とが好ましい。 【0012】仮焼成の温度は、上述の元素が十分に酸化
物になる温度とする。より具体的には、仮焼成時の熱重
量分析曲線における最終重量減少反応の開始温度からそ
の反応の終了温度の範囲とすることが好ましく、このよ
うな温度範囲のほぼ中間の温度とすることがより好まし
い。このような温度は仮焼成する材料組成によって異な
るが、例えば810℃〜990℃で最終重量減少反応が
進行する場合、870℃近傍で仮焼成することが好まし
い。 【0013】仮焼成した後は、それにより得られた複合
酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合する。例
えば、硼素は、B2O3、H3BO3等の形態で混合するこ
とができ、好ましくはB2O3として混合する。また、硼
素の混合割合は、本焼成後に得られる誘電体において硼
素が2モル%以上10モル%以下となるようにする。好
ましくは4モル%以上8モル%以下となるようにする。
この混合割合は、硼素をB2O3に換算した場合に1.5
重量%以上7.5重量%以下、より好ましくは3.0重
量%以上6.0重量%以下となる割合である。硼素の混
合割合が少なすぎると焼成温度を1000℃以下の低い
温度にすることが困難となり、多すぎると誘電特性が低
下するので好ましくない。 【0014】硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合した
後は、造粒、成形等の通常の誘電体の焼成に必要とされ
る諸工程を常法にしたがって行い、その後本焼成する。
本焼成の温度は、本焼成する材料組成によって異なる
が、通常1000℃以下とすることができる。また、本
焼成時の雰囲気は還元性雰囲気とすることができる。 【0015】 【作用】本発明によれば、アルミナ等の誘電体材料の仮
焼成時に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を存在させない
ので、アルミナ等の誘電体材料と硼素の酸化物又は酸化
物前駆体が不要な反応を起こし、本焼成する材料の部分
溶融温度が高まることを防止できる。したがって、仮焼
成後の本焼成時には、硼素酸化物を多量に使用しなくて
も、焼成温度を1000℃以下という低い温度に設定す
ることができ、またそれにより高い焼結密度とチップ部
品に適切な誘電特性(例えば、誘電率5〜15、tan
δ=10−4程度)を有する誘電体を得ることができ
る。 【0016】したがって、銅、ニッケルなどの卑金属を
電極として有し、チップ部品等として誘電体を組み込ん
だ多層回路基板や多層誘電体部品を製造する際に、その
電極材料をグリーンシートと同時に焼結することが可能
となり、電極と誘電体との多層焼結物を経済的に作製す
ることが可能となる。 【0017】 【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。 【0018】実施例1〜29 誘電体の原料粉末として、純度99.1%以上のAl2
O3、SiO2、BaCO3、SrCO3、ZrO2、
B2O3を用意した。そしてこれらの粉末を、表1に示
す3通りの組成(a、b、c)にそれぞれ秤量した。 【0019】 【表1】 (モル%) Al2O3 SiO2 BaCO3 SrCO3 ZrO2 B2O3 組成a 10.7 38.8 7.5 15.1 23.6 4.3 組成b 10.3 37.3 7.2 14.6 22.7 7.9 組成c 10.8 39.1 7.6 15.3 23.8 3.5 B2O3以外の原料粉末を、水を混合溶媒としてボール
ミルで混合処理し、その後、水を蒸発させて除去した。
次いで、この混合物を500Kg/cm2の圧力で加圧
成形し、表2及び表3に示すように、810℃又は87
0℃で3時間空気中で仮焼成し(昇温速度、降温速度=
400℃/時)、粉砕して粉末を得た。そして、この粉
末とB2O3とを、水を混合溶媒としてボールミルで混
合処理し、その後、水を蒸発させて除去し、1000K
g/cm2の圧力で加圧成形し、窒素雰囲気で本焼成
し、複合酸化物からなる誘電体を得た。得られた誘電体
の密度を測定した。この結果を表2、表3及び図1に示
す。 【0020】 【表2】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 (℃) (℃) (g/cm3) 実施例1 a 810 830 2.14 実施例2 a 810 880 2.47 実施例3 a 810 930 2.83 実施例4 a 810 990 3.00 実施例5 a 810 1050 3.13実施例6 a 810 1100 2.60 実施例7 a 870 830 2.49 実施例8 a 870 880 3.43 実施例9 a 870 930 3.44 実施例10 a 870 990 3.19 実施例11 a 870 1050 2.59 実施例12 a 870 1100 2.15 【0021】 【表3】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 (℃) (℃) (g/cm3) 実施例13 b 810 830 2.17 実施例14 b 810 880 2.25 実施例15 b 810 930 2.45 実施例16 b 810 990 3.06 実施例17 b 810 1050 3.08実施例18 b 810 1100 2.48 実施例19 b 870 730 2.40 実施例20 b 870 780 2.67 実施例21 b 870 830 3.43 実施例22 b 870 880 2.72 実施例23 b 870 930 2.58 実施例24 b 870 990 2.23 実施例25 b 870 1050 2.12実施例26 b 870 1100 1.92 実施例27 c 870 930 2.33 実施例28 c 870 990 2.47 実施例29 c 870 1100 2.76 比較例1〜16 誘電体の原料粉末として、上記実施例と同様に純度9
9.1%以上のAl2O3、SiO2、BaCO3、S
rCO3、ZrO2、B2O3を用意した。そして、B
2O3を含む全ての原料粉末を同時に混合する以外は実
施例と同様にして、原料粉末を混合処理し、加圧成形
し、表4に示すように、810℃又は870℃で3時間
空気中で仮焼成し、粉砕して粉末を得た。そして、この
粉末を、水を混合溶媒としてボールミルで混合処理し、
実施例と同様にして本焼成し、複合酸化物からなる誘電
体を得た。また、得られた誘電体の密度を測定した。こ
の結果を表4及び図2に示す。 【0022】 【表4】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 (℃) (℃) (g/cm3) 比較例1 a 810 930 2.17 比較例2 a 810 990 2.48 比較例3 a 810 1050 2.62比較例4 a 810 1100 3.15 比較例5 a 870 930 2.32 比較例6 a 870 990 3.00 比較例7 a 870 1050 3.21比較例8 a 870 1100 3.26 比較例9 b 810 930 2.20 比較例10 b 810 990 2.65 比較例11 b 810 1050 2.65比較例12 b 810 1100 2.51 比較例13 b 870 930 2.28 比較例14 b 870 990 2.73 比較例15 b 870 1050 2.74 比較例16 b 870 1100 2.58 表2〜表4、図1及び図2に示した結果から、実施例に
よれば、高い焼結密度を得るための本焼成の最適温度は
比較例に比べて低温側に移行していることがわかる。特
に、実施例において、組成bの原料粉末を使用した場合
には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度が著しく
低温側に移行し、かつ得られる誘電体の密度も高くなっ
ていることがわかる。また、組成aの原料粉末を使用し
た場合には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度の
範囲が比較的広範囲になっていることがわかる。 【0023】また、本発明の実施例によれば、原料粉末
組成、仮焼成温度、焼成温度を変えることにより焼結密
度が向上することがわかる。したがって、本発明におい
て、原料粉末組成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条
件を適宜設定することにより、さらに最適焼成温度の低
下と焼結密度の向上が期待される。 【0024】これらの実施例の誘電率およびtanδを
測定したところ、誘電率は8、tanδは10−3程度
であったが、本発明によれば上述のように、原料粉末組
成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条件を適宜設定す
ることにより、焼結密度が向上することが期待できるの
で、誘電率およびtanδ等の誘電特性もさらに向上す
ることが期待される。 【0025】 【発明の効果】本発明によれば、硼素を含む複合酸化物
からなる誘電体を製造するにあたり、誘電特性を向上さ
せるために硼素の添加量を少なくしても1000℃以下
の低い焼成温度で高い焼結密度を得ることが可能とな
る。
基板又は誘電体多層部品を形成する場合に好適な誘電体
の製造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】多層回路基板には、各種チップ部品、フ
ィルター、コンデンサーなどの誘電体を使用した部品が
搭載されるが、近年では実装密度を高めるために、誘電
体を多層回路基板や多層部品内に組み込んだものが使用
されるようになっている。 【0003】このような多層回路基板や誘電体多層部品
の製造方法としては、例えば、アルミニウム、ケイ素、
バリウム、ストロンチウム、ジルコニウム等の酸化物又
は酸化物前駆体の粉末を混合して仮焼成し、その仮焼成
物を粉砕して粉末状とし、これとバインダーとを混練し
てグリーンシートを形成し、そのグリーンシートに配線
回路や電極などを形成し、さらにこれを複数積層して本
焼成することがなされている。 【0004】この場合、配線回路や電極を銅、ニッケル
等の卑金属から構成できるようにするため、焼成温度は
1000℃以下程度の低温とすることが望まれる。そこ
で、誘電体の構成材料として、アルミナ等に酸化硼素
(B2O3)を多量に添加したものを使用し、このB2
O3を多量に添加した材料を仮焼成及び本焼成すること
がなされている。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ナ等の誘電体材料にB2O3を添加して仮焼成を行う
と、その仮焼成時にB2O3がアルミナ等の他の誘電体
材料と反応して複合酸化物が形成されるので、その後の
本焼成において所期の溶融温度では液相が形成されな
い。そのため、高い焼結密度を得るためには、結果的に
本焼成温度を高くしなくてはならないという問題があっ
た。 【0006】これに対しては、本来の必要量以上にB2
O3を多く添加することが行われているが、B2O3を
多量に添加すると、誘電特性が低下するという問題があ
った。 【0007】本発明は以上のような従来技術の課題を解
決しようとするものであり、硼素を含む複合酸化物から
なる誘電体を製造するにあたり、硼素の添加量を少なく
しても1000℃以下の低い焼成温度で高い焼結密度が
得られるようにし、チップ部品等に必要とされる好適な
誘電特性を実現できるようにすることを目的とする。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明者は、硼素及びそ
の他の元素の複合酸化物からなる誘電体を製造するにあ
たり、硼素以外の酸化物材料を仮焼成し、その後、硼素
の酸化物もしくは酸化物前駆体を添加し、さらに造粒、
成形等の必要な諸工程を経た後、本焼成すると、硼素含
有量を少なくしても、1000℃以下の低い焼成温度
で、高密度で優れた誘電特性を有する誘電体が得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。 【0009】即ち、本発明は、硼素及びその他の元素の
酸化物もしくはこれらの酸化物前駆体を焼成して硼素及
びその他の元素の複合酸化物を形成することからなる誘
電体の製造方法において、硼素以外の元素の酸化物又は
酸化物前駆体を仮焼成して硼素以外の元素の複合酸化物
を得、この複合酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体
を混合し、その後本焼成して硼素及びその他の元素の複
合酸化物を得ることを特徴とする誘電体の製造方法を提
供する。 【0010】以下、本発明を詳細に説明する。 【0011】本発明の製造方法においては、まず、硼素
以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体を仮焼成する。こ
こで、硼素以外の元素の酸化物又は酸化物前駆体とし
て、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、バリウム
(Ba)、ストロンチウム(Sr)及びジルコニウム
(Zr)の酸化物、炭酸塩等を使用する。これらの混合
割合は、通常、Al、Si、Ba、Sr及びZrのモル
比が、Al:Si:Ba:Sr:Zr=22±5:40
±5:8±1:16±2:25±5となるようにするこ
とが好ましい。 【0012】仮焼成の温度は、上述の元素が十分に酸化
物になる温度とする。より具体的には、仮焼成時の熱重
量分析曲線における最終重量減少反応の開始温度からそ
の反応の終了温度の範囲とすることが好ましく、このよ
うな温度範囲のほぼ中間の温度とすることがより好まし
い。このような温度は仮焼成する材料組成によって異な
るが、例えば810℃〜990℃で最終重量減少反応が
進行する場合、870℃近傍で仮焼成することが好まし
い。 【0013】仮焼成した後は、それにより得られた複合
酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合する。例
えば、硼素は、B2O3、H3BO3等の形態で混合するこ
とができ、好ましくはB2O3として混合する。また、硼
素の混合割合は、本焼成後に得られる誘電体において硼
素が2モル%以上10モル%以下となるようにする。好
ましくは4モル%以上8モル%以下となるようにする。
この混合割合は、硼素をB2O3に換算した場合に1.5
重量%以上7.5重量%以下、より好ましくは3.0重
量%以上6.0重量%以下となる割合である。硼素の混
合割合が少なすぎると焼成温度を1000℃以下の低い
温度にすることが困難となり、多すぎると誘電特性が低
下するので好ましくない。 【0014】硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合した
後は、造粒、成形等の通常の誘電体の焼成に必要とされ
る諸工程を常法にしたがって行い、その後本焼成する。
本焼成の温度は、本焼成する材料組成によって異なる
が、通常1000℃以下とすることができる。また、本
焼成時の雰囲気は還元性雰囲気とすることができる。 【0015】 【作用】本発明によれば、アルミナ等の誘電体材料の仮
焼成時に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を存在させない
ので、アルミナ等の誘電体材料と硼素の酸化物又は酸化
物前駆体が不要な反応を起こし、本焼成する材料の部分
溶融温度が高まることを防止できる。したがって、仮焼
成後の本焼成時には、硼素酸化物を多量に使用しなくて
も、焼成温度を1000℃以下という低い温度に設定す
ることができ、またそれにより高い焼結密度とチップ部
品に適切な誘電特性(例えば、誘電率5〜15、tan
δ=10−4程度)を有する誘電体を得ることができ
る。 【0016】したがって、銅、ニッケルなどの卑金属を
電極として有し、チップ部品等として誘電体を組み込ん
だ多層回路基板や多層誘電体部品を製造する際に、その
電極材料をグリーンシートと同時に焼結することが可能
となり、電極と誘電体との多層焼結物を経済的に作製す
ることが可能となる。 【0017】 【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。 【0018】実施例1〜29 誘電体の原料粉末として、純度99.1%以上のAl2
O3、SiO2、BaCO3、SrCO3、ZrO2、
B2O3を用意した。そしてこれらの粉末を、表1に示
す3通りの組成(a、b、c)にそれぞれ秤量した。 【0019】 【表1】 (モル%) Al2O3 SiO2 BaCO3 SrCO3 ZrO2 B2O3 組成a 10.7 38.8 7.5 15.1 23.6 4.3 組成b 10.3 37.3 7.2 14.6 22.7 7.9 組成c 10.8 39.1 7.6 15.3 23.8 3.5 B2O3以外の原料粉末を、水を混合溶媒としてボール
ミルで混合処理し、その後、水を蒸発させて除去した。
次いで、この混合物を500Kg/cm2の圧力で加圧
成形し、表2及び表3に示すように、810℃又は87
0℃で3時間空気中で仮焼成し(昇温速度、降温速度=
400℃/時)、粉砕して粉末を得た。そして、この粉
末とB2O3とを、水を混合溶媒としてボールミルで混
合処理し、その後、水を蒸発させて除去し、1000K
g/cm2の圧力で加圧成形し、窒素雰囲気で本焼成
し、複合酸化物からなる誘電体を得た。得られた誘電体
の密度を測定した。この結果を表2、表3及び図1に示
す。 【0020】 【表2】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 (℃) (℃) (g/cm3) 実施例1 a 810 830 2.14 実施例2 a 810 880 2.47 実施例3 a 810 930 2.83 実施例4 a 810 990 3.00 実施例5 a 810 1050 3.13実施例6 a 810 1100 2.60 実施例7 a 870 830 2.49 実施例8 a 870 880 3.43 実施例9 a 870 930 3.44 実施例10 a 870 990 3.19 実施例11 a 870 1050 2.59 実施例12 a 870 1100 2.15 【0021】 【表3】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 (℃) (℃) (g/cm3) 実施例13 b 810 830 2.17 実施例14 b 810 880 2.25 実施例15 b 810 930 2.45 実施例16 b 810 990 3.06 実施例17 b 810 1050 3.08実施例18 b 810 1100 2.48 実施例19 b 870 730 2.40 実施例20 b 870 780 2.67 実施例21 b 870 830 3.43 実施例22 b 870 880 2.72 実施例23 b 870 930 2.58 実施例24 b 870 990 2.23 実施例25 b 870 1050 2.12実施例26 b 870 1100 1.92 実施例27 c 870 930 2.33 実施例28 c 870 990 2.47 実施例29 c 870 1100 2.76 比較例1〜16 誘電体の原料粉末として、上記実施例と同様に純度9
9.1%以上のAl2O3、SiO2、BaCO3、S
rCO3、ZrO2、B2O3を用意した。そして、B
2O3を含む全ての原料粉末を同時に混合する以外は実
施例と同様にして、原料粉末を混合処理し、加圧成形
し、表4に示すように、810℃又は870℃で3時間
空気中で仮焼成し、粉砕して粉末を得た。そして、この
粉末を、水を混合溶媒としてボールミルで混合処理し、
実施例と同様にして本焼成し、複合酸化物からなる誘電
体を得た。また、得られた誘電体の密度を測定した。こ
の結果を表4及び図2に示す。 【0022】 【表4】 原料粉末 仮焼成温度 本焼成温度 密度 (℃) (℃) (g/cm3) 比較例1 a 810 930 2.17 比較例2 a 810 990 2.48 比較例3 a 810 1050 2.62比較例4 a 810 1100 3.15 比較例5 a 870 930 2.32 比較例6 a 870 990 3.00 比較例7 a 870 1050 3.21比較例8 a 870 1100 3.26 比較例9 b 810 930 2.20 比較例10 b 810 990 2.65 比較例11 b 810 1050 2.65比較例12 b 810 1100 2.51 比較例13 b 870 930 2.28 比較例14 b 870 990 2.73 比較例15 b 870 1050 2.74 比較例16 b 870 1100 2.58 表2〜表4、図1及び図2に示した結果から、実施例に
よれば、高い焼結密度を得るための本焼成の最適温度は
比較例に比べて低温側に移行していることがわかる。特
に、実施例において、組成bの原料粉末を使用した場合
には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度が著しく
低温側に移行し、かつ得られる誘電体の密度も高くなっ
ていることがわかる。また、組成aの原料粉末を使用し
た場合には、高い焼結密度を得るための最適焼成温度の
範囲が比較的広範囲になっていることがわかる。 【0023】また、本発明の実施例によれば、原料粉末
組成、仮焼成温度、焼成温度を変えることにより焼結密
度が向上することがわかる。したがって、本発明におい
て、原料粉末組成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条
件を適宜設定することにより、さらに最適焼成温度の低
下と焼結密度の向上が期待される。 【0024】これらの実施例の誘電率およびtanδを
測定したところ、誘電率は8、tanδは10−3程度
であったが、本発明によれば上述のように、原料粉末組
成、仮焼成温度、本焼成温度等の焼結条件を適宜設定す
ることにより、焼結密度が向上することが期待できるの
で、誘電率およびtanδ等の誘電特性もさらに向上す
ることが期待される。 【0025】 【発明の効果】本発明によれば、硼素を含む複合酸化物
からなる誘電体を製造するにあたり、誘電特性を向上さ
せるために硼素の添加量を少なくしても1000℃以下
の低い焼成温度で高い焼結密度を得ることが可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の焼成温度と焼結密度との関係図であ
る。 【図2】比較例の焼成温度と焼結密度との関係図であ
る。
る。 【図2】比較例の焼成温度と焼結密度との関係図であ
る。
─────────────────────────────────────────────────────
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(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
H01B 19/00,3/12
C01B 13/14
C04B 35/495,35/64
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 硼素及びその他の元素の酸化物もしくは
これらの酸化物前駆体を焼成して硼素及びその他の元素
の複合酸化物を形成することからなる誘電体の製造方法
において、硼素以外の元素が、アルミニウム、ケイ素、
バリウム、ストロンチウム及びジルコニウムであり、誘
電体における硼素の含有割合が2モル%以上10モル%
以下となるように、硼素以外の元素の酸化物又は酸化物
前駆体を仮焼成して硼素以外の元素の複合酸化物を得、
この複合酸化物に硼素の酸化物又は酸化物前駆体を混合
し、その後本焼成して硼素及び前記硼素以外の元素の複
合酸化物を得ることを特徴とする誘電体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01490194A JP3404859B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 誘電体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01490194A JP3404859B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 誘電体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07211136A JPH07211136A (ja) | 1995-08-11 |
JP3404859B2 true JP3404859B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=11873899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01490194A Expired - Fee Related JP3404859B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 誘電体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3404859B2 (ja) |
-
1994
- 1994-01-12 JP JP01490194A patent/JP3404859B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07211136A (ja) | 1995-08-11 |
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