JP3396510B2 - 耐水性の優れた窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents

耐水性の優れた窒化アルミニウム粉末の製造方法

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JP3396510B2 JP17314393A JP17314393A JP3396510B2 JP 3396510 B2 JP3396510 B2 JP 3396510B2 JP 17314393 A JP17314393 A JP 17314393A JP 17314393 A JP17314393 A JP 17314393A JP 3396510 B2 JP3396510 B2 JP 3396510B2
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【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、耐水性の優れた窒化ア
ルミニウム粉末の製造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】窒化アルミニウムが高熱伝導性を有して
いることは公知であり、その焼結体は高熱伝導性セラミ
ックスとして利用されている。窒化アルミニウム粉末を
IC封止材や接着剤を含めた樹脂混練材用のフィラーと
して使用することも検討されている。 【0003】また、窒化アルミニウムは水との反応性が
強いため、水と接触すると加水分解を受け、アンモニア
を発生しながら水和アルミナに分解される性質を有して
いることも公知である。窒化アルミニウムの加水分解は
大気中の水分によっても進行するため、窒化アルミニウ
ム粉末を上記フィラーとして使用した場合高温高湿条件
下でフィラーの品質が著しく低下してしまう問題が生ず
る。 【0004】この問題を解消すべく、窒化アルミニウム
粉末を約700℃〜1000℃の空気中で加熱して表面
に酸化アルミニウム皮膜を形成することにより、窒化ア
ルミニウム粉末の耐水性を改善する方法が提案されてい
る。窒化アルミニウム粉末を特定量の無機もしくは有機
燐酸化合物で処理して表面に燐酸系皮膜を形成すること
により、窒化アルミニウム粉末の耐水性を改善する方法
も提案されている(特開平2−141409号、特開平
2−141410号)。しかしながら、何れの方法でも
窒化アルミニウム粉末の耐水性を高温高湿条件下で安定
に維持することができない。 【0005】 【発明が解決しようとする問題点】本発明の目的は、高
温高湿条件下にあっても安定な耐水性を有する窒化アル
ミニウム粉末を提供することである。 【0006】本発明の他の目的は、IC封止材や樹脂混
練材用のフィラーとして使用するのに適した耐水性の優
れた窒化アルミニウム粉末を提供することである。 【0007】本発明の更なる目的は、耐水性の優れた窒
化アルミニウム粉末を得るための製造方法を提供するこ
とである。 【0008】 【問題点を解決するための手段】今回、表面に酸化アル
ミニウム皮膜もしくは燐酸系皮膜を有する窒化アルミニ
ウム粉末に特定量の有機珪素系カップリング剤、有機燐
酸系カップリング剤及び分子中にホスフェート基を含有
する有機チタン系カップリング剤から選択される少なく
とも1つのカップリング剤を窒化アルミニウム粉末10
0重量部当たり0.1〜10重量部の量添加して処理す
ることにより、耐水性の優れた窒化アルミニウム粉末が
製造され得ることが知見された。 【0009】従って、本発明により提供される耐水性の
優れた窒化アルミニウム粉末の製造方法は、表面に酸化
アルミニウム皮膜もしくは燐酸系皮膜を有する窒化アル
ミニウム粉末に有機珪素系カップリング剤、有機燐酸系
カップリング剤及び分子中にホスフェート基を含有する
有機チタン系カップリング剤から選択される少なくとも
1つのカップリング剤を窒化アルミニウム粉末100重
量部当たり0.1〜10重量部の量添加して処理するこ
とを特徴とする。 【0010】本発明方法は、未処理の窒化アルミニウム
粉末の表面に酸化アルミニウム皮膜もしくは燐酸系皮膜
を設けるための一次処理工程と、一次処理された窒化ア
ルミニウムの表面に更に耐水性に優れた皮膜を形成する
ための二次処理工程から成る。 【0011】一次処理を受ける窒化アルミニウム粉末は
特に限定されず、粉末アルミニウムを窒素中で加熱する
直接窒化法、酸化アルミニウムと炭素の混合物を窒素中
で加熱する酸化アルミニウム還元法等の任意の方法で製
造した窒化アルミニウム粉末であり得る。通常、平均粒
径が約0.1μm〜約1mmの窒化アルミニウム粉末を使
用する。 【0012】一次処理は公知方法に従って行われる。す
なわち、表面に酸化アルミニウム皮膜を有する窒化アル
ミニウム粉末を得るためには、窒化アルミニウム粉末を
約700℃〜1000℃の空気中で加熱すれば良い。ま
た、表面に燐酸系皮膜を有する窒化アルミニウム粉末を
得るためには、窒化アルミニウム粉末を、該窒化アルミ
ニウム粉末100重量部当たり0.05〜10重量部の
無機燐酸化合物で処理するか、または該窒化アルミニウ
ム粉末100重量部当たり0.1〜10重量部の有機燐
酸化合物で処理後約150〜800℃の温度で加熱処理
すれば良い。 【0013】二次処理は、一次処理された窒化アルミニ
ウム粉末を適当な溶剤に分散させ、この分散液に撹拌し
ながら二次処理用カップリング剤を滴下することによ
り、所定量のカップリング剤を窒化アルミニウム粉末と
ゆるやかに反応させ、耐水性に優れた皮膜を形成する。 【0014】一次処理された窒化アルミニウム粉末を分
散させる溶剤としては低沸点溶剤が好ましい。通常、中
低級アルカン(例えばn−ヘキサン、n−オクタンまた
はn−デカン)を単独で、またはこれらと混和性のある
エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール等の
低級アルコールまたはアセトンと併用して使用され得
る。溶剤中に水を混入させることは避けるべきである。 【0015】前記した溶剤は、窒化アルミニウム粉末の
分散剤として作用すると同時に二次処理用カップリング
剤の溶剤としても作用する。従って、二次処理用カップ
リング剤を一次処理した窒化アルミニウム粉末の分散液
に滴下させる際、カップリング剤を窒化アルミニウム粉
末を分散させるに使用したと同一の溶剤に溶解させたも
のを滴下させることが好ましい。 【0016】本発明において、二次処理用カップリング
剤を有機珪素系カップリング剤、有機燐酸系カップリン
グ剤及び分子中にホスフェート基を含有する有機チタン
系カップリング剤から選択することが重要である。 【0017】有機珪素系カップリング剤としては、メチ
ルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビ
ニルトリクロルシラン、ビニルトリス(β−メトキシエ
トキシ)シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルト
リメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメ
チルジエトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−ア
ミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチ
ル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−
アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプト
プロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリ
メトキシシラン等が例示される。 【0018】有機燐酸系カップリング剤としては、式: (RO)2 P(O)OHまたはROP(O)(OH)2 [式中、Rは炭素数1〜18のアルキル、アルケニルも
しくはアリール基である]で表わされる酸性燐酸エステ
ル類、例えばブチルアシッドホスフェート、イソアミル
アシッドホスフェート、ラウリルアシッドホスフェー
ト、ステアリルアシッドホスフェート、オレイルアシッ
ドホスフェート、ノニルフェニルアシッドホスフェート
等;同様な亜燐酸エステル類、燐酸エステル類等が例示
される。 【0019】分子中にホスフェート基を含有する有機チ
タン系カップリング剤としては、イソプロピルトリス
(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、ビス
(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチ
タネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチ
レンチタネート、イソプロピルトリ(ジオククチルホス
フェート)チタネート等が例示される。 【0020】複数の二次処理用カップリング剤を使用す
ることも可能であり、例えば同一種類のカップリング剤
の混合物や他種類のカップリング剤の組合わせを使用し
ても良い。 【0021】本発明では二次処理用カップリング剤の量
も重要である。その量は、一次処理された窒化アルミニ
ウム粉末100重量部当たり0.1〜10重量部の範囲
でなければならない。0.1重量部未満では窒化アルミ
ニウム粉末の耐水性の改善が十分でなく、一方10重量
部を越えるときには窒化アルミニウム粉末中の酸素含有
量が増大し、粉末同士の凝集が強くなるので好ましくな
い。好ましくは、二次処理用カップリング剤を一次処理
された窒化アルミニウム粉末100重量部に対して0.
2〜4重量部使用する。 【0022】本発明方法の二次処理工程では、一次処理
により表面に酸化アルミニウム皮膜もしくは燐酸系皮膜
を有する窒化アルミニウム粉末に対して特定量の特定の
カップリング剤を滴下することにより、所定量のカップ
リング剤と窒化アルミニウム粉末との反応が生ずる。一
次処理した窒化アルミニウムとカップリング剤とを反応
させる温度は特に限定されないが、通常室温〜80℃の
範囲で選択され、好ましくは30℃〜60℃である。 【0023】 【実施例】以下、本発明の非限定的実施例を示す。 【0024】実施例1 一次処理した窒化アルミニウム粉末として、市販の平均
粒径約7μmの窒化アルミニウム粉末(TOYALNI
TE UM、東洋アルミニウム製)を600℃、800
℃または1000℃で空気中で加熱して酸化アルミニウ
ム皮膜を有するもの、市販の平均粒径約7μmの窒化ア
ルミニウム粉末(TOYALNITEUM、東洋アルミ
ニウム製)を85%オルトリン酸で処理して燐酸系皮膜
を有するもの、および窒化アルミニウム粉末(TOYA
LNITE UM、東洋アルミニウム製)をブチルアシ
ッドホスフェートで処理後800℃で5時間加熱処理し
て燐酸系皮膜を有するもの(TOYALNITE WM
−2、東洋アルミニウム製)を用意した。 【0025】容量1000mlの容器にn−ヘキサン40
0mlを導入後、一次処理した窒化アルミニウム粉末10
0gを添加し、撹拌して窒化アルミニウム分散液を作成
した。容器を油浴上で振動させることにより、分散液を
撹拌しながら約50℃に加温した。次いで各種カップリ
ング剤1gをイソプロピルアルコール/n−ヘキサン
(1:1)50mlに溶解させたものを30分かけて滴下
し、ゆるやかに反応させた。十分に反応させた後、溶剤
を除去し、さらに120℃で加熱乾燥させて、二次処理
した窒化アルミニウム粉末を得た。 【0026】こうして二次処理した窒化アルミニウム粉
末の耐水性を次のように試験した。 【0027】二次処理した窒化アルミニウム粉末4gと
イミド変性エポキシ樹脂粉末(Bestlex LS:住友化学
製)1gを乳鉢、次いでボールミルで十分に撹拌混合し
て試料を作成した。この試料0.3gを小型加熱プレス
成形機の金型(内径1.0cm)に導入し、無加圧下で1
80℃で5分間加熱後、荷重300kg/cm2 の加圧下で
180℃で25分間加熱して成形体を得た。この成形体
の硬化反応を完成させるために、さらに200℃で2時
間後加熱した。 【0028】このようにして作成した成形体を小型オー
トクレーブ装置(三愛科学製 HU−100)に導入し
て、121℃×2気圧×220時間のプレッシャークッ
カー試験(PCT)を負荷した。耐水性は、試験終了時
の成形体および試験終了後さらに100℃で5時間加熱
した後の成形体の吸水率(重量%)と絶縁抵抗値(HP
4339A:ハイレジスタンスメータ、YHP社製にて
測定)の変化によって評価した。 【0029】結果を以下の表に示す。表には、後加熱後
の成形体の熱伝導率の測定結果も併記した。 【0030】 【表1】【0031】表中の各略号は次の物質を指す:原料窒化アルミニウム粉末 UM :未処理の窒化アルミニウム粉末(TOYALNITE
UM) UM−1:TOYALNITE UMを空気中で 600℃で加熱して製
造した酸化アルミニウム皮膜を有する窒化アルミニウム
粉末 UM−2:TOYALNITE UMを空気中で 800℃で加熱して製
造した酸化アルミニウム皮膜を有する窒化アルミニウム
粉末 UM−3:TOYALNITE UMを空気中で1000℃で加熱して製
造した酸化アルミニウム皮膜を有する窒化アルミニウム
粉末 WM−1:TOYALNITE UMを85%オルトリン酸で処理して
製造した燐酸系皮膜を有する窒化アルミニウム粉末 WM−2:TOYALNITE UMをブチルアシッドホスフェート
で処理後加熱して製造した燐酸系皮膜を有する窒化アル
ミニウム粉末有機珪素系カップリング剤 A−186:β-(3,4-エポキシシクロヘキシル) エチル
トリメトキシシラン(日本ユニカ製) A−187:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン(日本ユニカ製) A− 1100 :γ−アミノプロピルトリエトキシシラン
(日本ユニカ製) A−162:メチルトリエトキシシラン(日本ユニカ
製)有機燐酸系カップリング剤 JP−4:ブチルアシッドホスフェート(城北化学製) A−12:ラウリルアシッドホスフェート(堺化学製) A−18:オレイルアシッドホスフェート(堺化学製)有機チタン系カップリング剤 KR138 S:ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オ
キシアセトチタネート(味の素製) KR44:アミノキガンコウチタネート(味の素製) S−152:アシレートキガンコウチタネート(日本曹
達製)その他のカップリング剤 AL−M:アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピ
レート(味の素製) Qullon−C :Wernerガタクロメート(Du Pont
製)。 【0032】各種カップリング剤を用いた二次処理によ
る耐水性改善効果を比較した表から明らかな通り、有機
珪素系カップリング剤、有機燐酸系カップリング剤及び
分子中にホスフェート基を含有する有機チタン系カップ
リング剤で二次処理した窒化アルミニウム粉末を含む成
形体は、一次処理のみを施した窒化アルミニウム粉末や
本発明外のカップリング剤で二次処理した窒化アルミニ
ウム粉末の場合より吸水率が低く、絶縁抵抗値が高いこ
とから、一次処理と二次処理による相乗効果が確認され
た。なお、一次処理を施していない未処理の窒化アルミ
ニウム粉末を本発明の特定のカップリング剤で二次処理
しても、所望の効果が得られなかったことから、本発明
において一次処理と二次処理との組み合わせが非常に重
要であることが明らかである。また二次処理によって熱
伝導率の低下が生ずるかと懸念されたが、熱伝導率の低
下は極めて小さく、問題となる程ではなかった。 【0033】 【発明の効果】表面に酸化アルミニウム皮膜もしくは燐
酸系皮膜を有する窒化アルミニウム粉末に有機珪素系カ
ップリング剤、有機燐酸系カップリング剤及び分子中に
ホスフェート基を含有する有機チタン系カップリング剤
から選択される少なくとも1つのカップリング剤を窒化
アルミニウム粉末100重量部当たり0.1〜10重量
部の量添加して処理することを特徴とする本発明方法に
より、耐水性のより優れた窒化アルミニウム粉末が製造
され得る。 【0034】本発明方法で製造される窒化アルミニウム
粉末は、フィラー材として優れた耐水性を有しており、
かつ殆んど凝集することもないので、IC封止材や接着
剤を含めた樹脂混練用フィラーとしての使用が可能であ
る。 【0035】さらに、本発明の窒化アルミニウム粉末は
特別の製造工程を必要としないので安価に得ることがで
きる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−141409(JP,A) 特開 平2−141410(JP,A) 特開 平2−296708(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C01B 21/00 - 21/50

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 表面に酸化アルミニウム皮膜もしくは燐
    酸系皮膜を有する窒化アルミニウム粉末に有機珪素系カ
    ップリング剤、有機燐酸系カップリング剤及び分子中に
    ホスフェート基を含有する有機チタン系カップリング剤
    から選択される少なくとも1つのカップリング剤を窒化
    アルミニウム粉末100重量部当たり0.1〜10重量
    部の量添加して処理することを特徴とする耐水性の優れ
    た窒化アルミニウム粉末の製造方法。
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JP4893046B2 (ja) * 2006-03-22 2012-03-07 東レ株式会社 電子機器用接着剤組成物、それを用いた電子機器用接着剤シート
JP5343197B2 (ja) * 2008-06-06 2013-11-13 地方独立行政法人山口県産業技術センター 耐水性材料
JP5962514B2 (ja) * 2011-01-19 2016-08-03 日立化成株式会社 液晶性樹脂組成物、放熱材料前駆体、bステージシート、プリプレグ、放熱材料、積層板、金属基板、プリント配線板、液晶性樹脂組成物の製造方法、放熱材料前駆体の製造方法及び放熱材料の製造方法
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TW201439162A (zh) * 2013-02-13 2014-10-16 Tokuyama Corp 樹脂組成物及其製造方法、高熱傳導性樹脂成型體
CN107311124B (zh) * 2017-07-13 2019-06-18 天津纳德科技有限公司 一种制备具有高温耐水性氮化铝粉体的方法
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