JP3394616B2 - 真空用動圧軸受装置の製造方法 - Google Patents
真空用動圧軸受装置の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空中で使用される
真空用動圧軸受装置の製造方法に関する。
真空用動圧軸受装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空用動圧軸受装置としては、例
えばＸ線管用軸受装置がある。このＸ線管用軸受装置
は、回転陽極を支持する回転体と、この回転体を回転可
能に支持する固定体とを備え、上記回転体と固定体との
間にガリウムまたはガリウム合金からなる金属潤滑剤を
充填しているものがある。この軸受装置は、回転陽極を
支持する回転体およびこの回転体を支持する固定体を、
ガリウムまたはガリウム合金に対して耐食性を有する金
属材料、たとえば、タンタルＴａ,タングステンＷ,モリ
ブデンＭｏ等で作製する必要がある。
えばＸ線管用軸受装置がある。このＸ線管用軸受装置
は、回転陽極を支持する回転体と、この回転体を回転可
能に支持する固定体とを備え、上記回転体と固定体との
間にガリウムまたはガリウム合金からなる金属潤滑剤を
充填しているものがある。この軸受装置は、回転陽極を
支持する回転体およびこの回転体を支持する固定体を、
ガリウムまたはガリウム合金に対して耐食性を有する金
属材料、たとえば、タンタルＴａ,タングステンＷ,モリ
ブデンＭｏ等で作製する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ガリウムまた
はガリウム合金に対して耐食性を有する上記金属材料
は、表面が酸化され易くて表面に酸化膜が形成され易
い。そして、上記酸化膜が形成されると、ガリウムおよ
びガリウム合金に対して濡れ性が悪くなる。したがっ
て、濡れ性を良好に保つために、固定体と回転体をＨ２
還元炉に導入して還元処理し、上記酸化膜を除去する必
要がある。また、Ｈ２還元処理によって還元された固定
体や回転体の表面も、大気中では酸化され易いので、取
り扱いが難しいという問題もある。
はガリウム合金に対して耐食性を有する上記金属材料
は、表面が酸化され易くて表面に酸化膜が形成され易
い。そして、上記酸化膜が形成されると、ガリウムおよ
びガリウム合金に対して濡れ性が悪くなる。したがっ
て、濡れ性を良好に保つために、固定体と回転体をＨ２
還元炉に導入して還元処理し、上記酸化膜を除去する必
要がある。また、Ｈ２還元処理によって還元された固定
体や回転体の表面も、大気中では酸化され易いので、取
り扱いが難しいという問題もある。
【０００４】そこで、この発明の目的は、金属潤滑剤に
対する十分な濡れ性を長期にわたって有することがで
き、軸受性能を向上させることができる真空用動圧軸受
装置の製造方法を提供することにある。
対する十分な濡れ性を長期にわたって有することがで
き、軸受性能を向上させることができる真空用動圧軸受
装置の製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明の真空用動圧軸受装置の製造方法
は、回転体と、この回転体を回転可能に支持する固定体
とを備え、上記回転体に対向する固定体の対向面または
上記固定体に対向する回転体の対向面の少なくとも一方
に動圧溝が形成され、上記回転体の対向面と上記固定体
の対向面との間の隙間に金属潤滑剤が充填されて、真空
容器の内部に設けられる真空用動圧軸受装置の製造方法
において、上記回転体の対向面および上記固定体の対向
面に、上記金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属から
なる第１の金属層と、この第１の金属層の上に形成さ
れ、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金属からな
る第２の金属層とを含む表層を作製し、上記表層を作製
した後、上記第２の金属層の下の第１の金属層の酸化膜
を除去すべく、上記回転体に形成した上記表層および上
記固定体に形成した上記表層を、真空もしくは還元雰囲
気中で高温熱処理することを特徴としている。
め、請求項１の発明の真空用動圧軸受装置の製造方法
は、回転体と、この回転体を回転可能に支持する固定体
とを備え、上記回転体に対向する固定体の対向面または
上記固定体に対向する回転体の対向面の少なくとも一方
に動圧溝が形成され、上記回転体の対向面と上記固定体
の対向面との間の隙間に金属潤滑剤が充填されて、真空
容器の内部に設けられる真空用動圧軸受装置の製造方法
において、上記回転体の対向面および上記固定体の対向
面に、上記金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属から
なる第１の金属層と、この第１の金属層の上に形成さ
れ、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金属からな
る第２の金属層とを含む表層を作製し、上記表層を作製
した後、上記第２の金属層の下の第１の金属層の酸化膜
を除去すべく、上記回転体に形成した上記表層および上
記固定体に形成した上記表層を、真空もしくは還元雰囲
気中で高温熱処理することを特徴としている。
【０００６】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
の真空用動圧軸受装置の製造方法において、上記第２の
金属層は、上記第１の金属層上に湿式メッキによって作
製することを特徴としている。
の真空用動圧軸受装置の製造方法において、上記第２の
金属層は、上記第１の金属層上に湿式メッキによって作
製することを特徴としている。
【０００７】また、請求項３の発明は、請求項１に記載
の真空用動圧軸受装置の製造方法において、上記第１の
金属層は、ガリウムまたはガリウム合金からなる金属潤
滑剤に対して耐食性を有するモリブデン、モリブデン合
金、タンタル、タンタル合金またはタングステンからな
り、上記第２の金属層は、インジウム、錫または亜鉛か
らなることを特徴としている。
の真空用動圧軸受装置の製造方法において、上記第１の
金属層は、ガリウムまたはガリウム合金からなる金属潤
滑剤に対して耐食性を有するモリブデン、モリブデン合
金、タンタル、タンタル合金またはタングステンからな
り、上記第２の金属層は、インジウム、錫または亜鉛か
らなることを特徴としている。
【０００８】また、一実施形態の製造方法は、回転体
と、この回転体を回転可能に支持する固定体とを備え、
上記回転体に対向する固定体の対向面または上記固定体
に対向する回転体の対向面の少なくとも一方に動圧溝が
形成され、上記回転体の対向面と上記固定体の対向面と
の間の隙間に金属潤滑剤が充填されて、真空容器の内部
に設けられる真空用動圧軸受装置の製造方法において、
上記金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属からなる第
１の金属層の上に、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有
する金属からなる第２の金属層を、湿式メッキによって
作製して、上記回転体の対向面を含む表層および上記固
定体の対向面を含む表層を作製し、次に、上記第２の金
属層の下の第１の金属層の酸化膜が除去されるように、
上記回転体の対向面を含む表層および上記固定体の対向
面を含む表層を、真空もしくは還元雰囲気中で高温熱処
理する。
と、この回転体を回転可能に支持する固定体とを備え、
上記回転体に対向する固定体の対向面または上記固定体
に対向する回転体の対向面の少なくとも一方に動圧溝が
形成され、上記回転体の対向面と上記固定体の対向面と
の間の隙間に金属潤滑剤が充填されて、真空容器の内部
に設けられる真空用動圧軸受装置の製造方法において、
上記金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属からなる第
１の金属層の上に、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有
する金属からなる第２の金属層を、湿式メッキによって
作製して、上記回転体の対向面を含む表層および上記固
定体の対向面を含む表層を作製し、次に、上記第２の金
属層の下の第１の金属層の酸化膜が除去されるように、
上記回転体の対向面を含む表層および上記固定体の対向
面を含む表層を、真空もしくは還元雰囲気中で高温熱処
理する。
【０００９】
【作用】請求項１の製造方法で製造した真空用動圧軸受
装置は、回転体の対向面を含む表層と固定体の対向面を
含む表層が、第１の金属層と第１の金属層上の第２の金
属層とで構成されており、第１の金属層は金属潤滑剤に
対して耐食性を有する金属で作製されている。そして、
第２の金属層は金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金属
で作製されている。
装置は、回転体の対向面を含む表層と固定体の対向面を
含む表層が、第１の金属層と第１の金属層上の第２の金
属層とで構成されており、第１の金属層は金属潤滑剤に
対して耐食性を有する金属で作製されている。そして、
第２の金属層は金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金属
で作製されている。
【００１０】つまり、上記回転体の対向面と上記固定体
の対向面は、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金
属で作製されているので、回転体と固定体は金属潤滑剤
に対する濡れ性が良くなる。また、使用中に、上記濡れ
性が良い金属で作製された第２の金属層が溶けてなくな
っても、第２の金属層の下の第１の金属層には酸化膜が
存在していないから、回転体および固定体は良好な濡れ
性を持続させることができる。尚、この第１の金属層は
金属潤滑剤に対して耐食性を有しているから、第２の金
属層と異なり溶けることはない。
の対向面は、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金
属で作製されているので、回転体と固定体は金属潤滑剤
に対する濡れ性が良くなる。また、使用中に、上記濡れ
性が良い金属で作製された第２の金属層が溶けてなくな
っても、第２の金属層の下の第１の金属層には酸化膜が
存在していないから、回転体および固定体は良好な濡れ
性を持続させることができる。尚、この第１の金属層は
金属潤滑剤に対して耐食性を有しているから、第２の金
属層と異なり溶けることはない。
【００１１】このように、請求項１の発明で製造した真
空用動圧軸受装置によれば、金属潤滑剤に対する十分な
濡れ性を長期にわたって有することができ、軸受性能を
向上させることができる。
空用動圧軸受装置によれば、金属潤滑剤に対する十分な
濡れ性を長期にわたって有することができ、軸受性能を
向上させることができる。
【００１２】また、請求項２の発明によれば、上記第２
の金属層は上記第１の金属層上に湿式メッキによって作
製する。したがって、請求項２の発明によれば、製造コ
ストを低減できる。
の金属層は上記第１の金属層上に湿式メッキによって作
製する。したがって、請求項２の発明によれば、製造コ
ストを低減できる。
【００１３】また、請求項１の発明によれば、上記回転
体の対向面を含む表層と上記固定体の対向面を含む表層
は、真空もしくは還元雰囲気中で高温熱処理されて上記
第２の金属層の下の第１の金属層の酸化膜が除去され
る。したがって、請求項１の発明で製造した真空用動圧
軸受装置によれば、第２の金属膜が金属潤滑剤に溶けて
しまったときに、第１の金属膜の酸化されていない清浄
な面が露出する。したがって、回転体の対向面と固定体
の対向面が濡れ性の良い状態を長期間にわたって維持す
ることができる。
体の対向面を含む表層と上記固定体の対向面を含む表層
は、真空もしくは還元雰囲気中で高温熱処理されて上記
第２の金属層の下の第１の金属層の酸化膜が除去され
る。したがって、請求項１の発明で製造した真空用動圧
軸受装置によれば、第２の金属膜が金属潤滑剤に溶けて
しまったときに、第１の金属膜の酸化されていない清浄
な面が露出する。したがって、回転体の対向面と固定体
の対向面が濡れ性の良い状態を長期間にわたって維持す
ることができる。
【００１４】また、請求項１の発明によれば、上記第２
の金属層を、上記第１の金属層上に形成してから、上記
回転体の表層および上記固定体の表層を真空もしくは還
元雰囲気中で高温熱処理して第１の金属層の酸化膜を除
去する。したがって、請求項１の発明によれば、第２の
金属層を安価に作製することができ、かつ、上記第２の
金属層を作製した後で上記第１の金属層の酸化膜を除去
することができる。上記第１の金属層の金属としては、
ガリウムまたはガリウム合金に対して耐食性を有する、
例えば、タンタル,タングステン,モリブデンなどが好適
に用いられる。上記第２の金属層の金属としては、ガリ
ウム,亜鉛,すず,インジウムあるいはそれらの合金が好
適に用いられる。
の金属層を、上記第１の金属層上に形成してから、上記
回転体の表層および上記固定体の表層を真空もしくは還
元雰囲気中で高温熱処理して第１の金属層の酸化膜を除
去する。したがって、請求項１の発明によれば、第２の
金属層を安価に作製することができ、かつ、上記第２の
金属層を作製した後で上記第１の金属層の酸化膜を除去
することができる。上記第１の金属層の金属としては、
ガリウムまたはガリウム合金に対して耐食性を有する、
例えば、タンタル,タングステン,モリブデンなどが好適
に用いられる。上記第２の金属層の金属としては、ガリ
ウム,亜鉛,すず,インジウムあるいはそれらの合金が好
適に用いられる。
【００１５】
【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。
説明する。
【００１６】図１に、この発明で作製した真空用動圧軸
受装置としてのＸ線管用動圧軸受装置の実施例の要部断
面を示す。この実施例は、回転陽極１１に固定されて回
転陽極１１を支持する円筒形状の回転体１と、この回転
体１を回転可能に支持する円柱形の固定体２とを備えて
いる。上記回転体１に対向する固定体２の外周面２ａお
よび端面２ｂには、約１０μｍの深さの動圧溝３および
５が形成されている。また、上記固定体２の中心には、
冷却用の空洞６が形成されている。そして、上記固定体
２と上記回転体１との間の隙間には、ガリウム合金から
なる金属潤滑剤７が充填されている。そして、上記回転
体１および固定体２は、上記ガリウム合金に対して耐食
性を有するモリブデンで作製されている。
受装置としてのＸ線管用動圧軸受装置の実施例の要部断
面を示す。この実施例は、回転陽極１１に固定されて回
転陽極１１を支持する円筒形状の回転体１と、この回転
体１を回転可能に支持する円柱形の固定体２とを備えて
いる。上記回転体１に対向する固定体２の外周面２ａお
よび端面２ｂには、約１０μｍの深さの動圧溝３および
５が形成されている。また、上記固定体２の中心には、
冷却用の空洞６が形成されている。そして、上記固定体
２と上記回転体１との間の隙間には、ガリウム合金から
なる金属潤滑剤７が充填されている。そして、上記回転
体１および固定体２は、上記ガリウム合金に対して耐食
性を有するモリブデンで作製されている。
【００１７】また、図２に示すように、上記固定体２の
外周面２ａに対向する回転体１の内周面１ａを含む表層
ＳＬ１は、第１の金属層としてのモリブデン層２１と、
第２の金属層としてのインジウム層２２とを有してい
る。上記インジウム層２２は、上記モリブデン層２１の
表面に酸化膜が生じていない状態で、モリブデン層２１
の上に、インジウムを湿式メッキすることによって形成
されている。この湿式メッキは、硫酸インジウムを４５
ｇ／ｌ(リットル)の割合で溶解させ、、硫酸ナトリウム
を１０ｇ／ｌ(リットル)の割合で溶解させた溶液を使用
して、室温において電圧６Ｖ(ボルト)を印加した状態で
撹拌しながら行った。
外周面２ａに対向する回転体１の内周面１ａを含む表層
ＳＬ１は、第１の金属層としてのモリブデン層２１と、
第２の金属層としてのインジウム層２２とを有してい
る。上記インジウム層２２は、上記モリブデン層２１の
表面に酸化膜が生じていない状態で、モリブデン層２１
の上に、インジウムを湿式メッキすることによって形成
されている。この湿式メッキは、硫酸インジウムを４５
ｇ／ｌ(リットル)の割合で溶解させ、、硫酸ナトリウム
を１０ｇ／ｌ(リットル)の割合で溶解させた溶液を使用
して、室温において電圧６Ｖ(ボルト)を印加した状態で
撹拌しながら行った。
【００１８】そして、上記回転体１の表層ＳＬ１は、Ｈ
２雰囲気中において、８００℃で１時間の間、高温熱処
理されている。したがって、この高温熱処理の前に、表
層ＳＬ１のインジウム層２２とモリブデン層２１の間に
酸化膜が残留していても、この残留した酸化膜は上記高
温熱処理によって略完全に除去される。つまり、上記高
温熱処理中に上記酸化膜中の酸素が水素Ｈ２に叩かれて
水素Ｈ２と結合してＨ２Ｏになり、上記酸化膜が略完全
に還元されているのである。
２雰囲気中において、８００℃で１時間の間、高温熱処
理されている。したがって、この高温熱処理の前に、表
層ＳＬ１のインジウム層２２とモリブデン層２１の間に
酸化膜が残留していても、この残留した酸化膜は上記高
温熱処理によって略完全に除去される。つまり、上記高
温熱処理中に上記酸化膜中の酸素が水素Ｈ２に叩かれて
水素Ｈ２と結合してＨ２Ｏになり、上記酸化膜が略完全
に還元されているのである。
【００１９】一方、上記回転体１の内周面１ａに対向す
る固定体２の外周面２ａと端面２ｂを含んだ対向面を含
む表層ＳＬ２は、第１の金属層としてのモリブデン層２
３と、第２の金属層としてのインジウム層２４とを有し
ている。上記インジウム層２４は、上記モリブデン層２
３の表面に酸化膜が生じていない状態で、モリブデン層
２３の上に、インジウムを湿式メッキすることによって
形成されている。この湿式メッキの条件は、上記表層Ｓ
Ｌ１を作製するときの湿式メッキの条件と同じにした。
さらに、上記固定体２の表層ＳＬ２は、Ｈ２雰囲気中に
おいて、８００℃で１時間の間、高温熱処理されてい
る。したがって、この高温熱処理の前に、表層ＳＬ２の
インジウム層２４とモリブデン層２３の間に酸化膜が残
留していても、この残留した酸化膜は上記還元雰囲気中
での高温熱処理によって略完全に除去されている。
る固定体２の外周面２ａと端面２ｂを含んだ対向面を含
む表層ＳＬ２は、第１の金属層としてのモリブデン層２
３と、第２の金属層としてのインジウム層２４とを有し
ている。上記インジウム層２４は、上記モリブデン層２
３の表面に酸化膜が生じていない状態で、モリブデン層
２３の上に、インジウムを湿式メッキすることによって
形成されている。この湿式メッキの条件は、上記表層Ｓ
Ｌ１を作製するときの湿式メッキの条件と同じにした。
さらに、上記固定体２の表層ＳＬ２は、Ｈ２雰囲気中に
おいて、８００℃で１時間の間、高温熱処理されてい
る。したがって、この高温熱処理の前に、表層ＳＬ２の
インジウム層２４とモリブデン層２３の間に酸化膜が残
留していても、この残留した酸化膜は上記還元雰囲気中
での高温熱処理によって略完全に除去されている。
【００２０】上記構成のＸ線管用動圧軸受装置は、回転
陽極１１と一体に回転体１が回転すると、上記動圧溝３
および５が、上記回転体１と固定体２との間に充填され
た上記ガリウム合金からなる金属潤滑剤７に動圧を発生
させて、固定体２に対して回転体１を径方向および軸方
向に支持する。
陽極１１と一体に回転体１が回転すると、上記動圧溝３
および５が、上記回転体１と固定体２との間に充填され
た上記ガリウム合金からなる金属潤滑剤７に動圧を発生
させて、固定体２に対して回転体１を径方向および軸方
向に支持する。
【００２１】上記実施例のＸ線管用動圧軸受装置は、回
転体１の内周面１ａを含むインジウム層２２と固定体２
の外周面２ａと端面２ｂとを含むインジウム層２４は、
ガリウム合金からなる金属潤滑剤７に対して濡れ性が良
い。従って、回転体１と固定体２は金属潤滑剤７に対す
る濡れ性が良い。また、使用中に、上記濡れ性が良いイ
ンジウム層２２および２４が金属潤滑剤７に溶けてなく
なっても、インジウム層２２および２４の下のモリブデ
ン層２１および２３には酸化膜が存在していないから、
モリブデン層２１および２３の表面は濡れ性が良く、従
って、回転体１および固定体２は良好な濡れ性を長期間
にわたって持続させることができる。なお、このモリブ
デン層２１と２３は金属潤滑剤７に対して耐食性を有し
ているから、インジウム層２２および２４と異なり溶け
ることはない。このように、上記実施例によれば、回転
体１と固定体２は、金属潤滑剤７に対する十分な濡れ性
を長期にわたって有することができ、軸受性能を向上さ
せることができる。
転体１の内周面１ａを含むインジウム層２２と固定体２
の外周面２ａと端面２ｂとを含むインジウム層２４は、
ガリウム合金からなる金属潤滑剤７に対して濡れ性が良
い。従って、回転体１と固定体２は金属潤滑剤７に対す
る濡れ性が良い。また、使用中に、上記濡れ性が良いイ
ンジウム層２２および２４が金属潤滑剤７に溶けてなく
なっても、インジウム層２２および２４の下のモリブデ
ン層２１および２３には酸化膜が存在していないから、
モリブデン層２１および２３の表面は濡れ性が良く、従
って、回転体１および固定体２は良好な濡れ性を長期間
にわたって持続させることができる。なお、このモリブ
デン層２１と２３は金属潤滑剤７に対して耐食性を有し
ているから、インジウム層２２および２４と異なり溶け
ることはない。このように、上記実施例によれば、回転
体１と固定体２は、金属潤滑剤７に対する十分な濡れ性
を長期にわたって有することができ、軸受性能を向上さ
せることができる。
【００２２】また、上記実施例によれば、インジウム層
２２と２４は、モリブデン層２１と２３上に湿式メッキ
によって作製されている。したがって、上記実施例は、
安価に作製できる。
２２と２４は、モリブデン層２１と２３上に湿式メッキ
によって作製されている。したがって、上記実施例は、
安価に作製できる。
【００２３】また、上記実施例によれば、回転体１の対
向面を含む表層ＳＬ１と固定体２の対向面を含む表層Ｓ
Ｌ２は、還元雰囲気中で高温熱処理されてインジウム層
２２と２４の下のモリブデン層２１と２３の酸化膜が略
完全に除去されている。したがって、上記実施例によれ
ば、インジウム層２２と２４とが金属潤滑剤７に溶けて
しまったときに、モリブデン層２１と２３の酸化されて
いない清浄な面が露出する。したがって、回転体１の対
向面と固定体２の対向面が金属潤滑剤７に対して濡れ性
の良い状態を、長期間にわたって維持することができ
る。
向面を含む表層ＳＬ１と固定体２の対向面を含む表層Ｓ
Ｌ２は、還元雰囲気中で高温熱処理されてインジウム層
２２と２４の下のモリブデン層２１と２３の酸化膜が略
完全に除去されている。したがって、上記実施例によれ
ば、インジウム層２２と２４とが金属潤滑剤７に溶けて
しまったときに、モリブデン層２１と２３の酸化されて
いない清浄な面が露出する。したがって、回転体１の対
向面と固定体２の対向面が金属潤滑剤７に対して濡れ性
の良い状態を、長期間にわたって維持することができ
る。
【００２４】また、上記実施例によれば、上記インジウ
ム層２２と２４を、湿式メッキによって作製したから、
インジウム層２２と２４を安価に作製することができ
る。また、上記回転体１の表層ＳＬ１および上記固定体
２の表層ＳＬ２を還元雰囲気中で高温熱処理したから、
インジウム層２２と２４を作製した後でモリブデン層２
１と２３の酸化膜を略完全に除去することができる。
ム層２２と２４を、湿式メッキによって作製したから、
インジウム層２２と２４を安価に作製することができ
る。また、上記回転体１の表層ＳＬ１および上記固定体
２の表層ＳＬ２を還元雰囲気中で高温熱処理したから、
インジウム層２２と２４を作製した後でモリブデン層２
１と２３の酸化膜を略完全に除去することができる。
【００２５】尚、上記実施例では、金属潤滑剤７をガリ
ウム合金にしたがガリウムにしてもよい。また、第２の
金属層をインジウム層２２,２４にしたが、第２の金属
層はインジウムに替えて錫Ｓｎや亜鉛Ｚｎで作製されて
いてもよい。さらには、上記第２の金属層は、ガリウム
もしくはガリウム合金に対して濡れ性の良い金属で作製
されていればよい。ただし、インジウムは、それ自身潤
滑性を持っており、しかも、ガリウム潤滑剤に混ざると
潤滑剤の融点を低下させるから、ガリウム潤滑剤自体の
潤滑性が向上する。
ウム合金にしたがガリウムにしてもよい。また、第２の
金属層をインジウム層２２,２４にしたが、第２の金属
層はインジウムに替えて錫Ｓｎや亜鉛Ｚｎで作製されて
いてもよい。さらには、上記第２の金属層は、ガリウム
もしくはガリウム合金に対して濡れ性の良い金属で作製
されていればよい。ただし、インジウムは、それ自身潤
滑性を持っており、しかも、ガリウム潤滑剤に混ざると
潤滑剤の融点を低下させるから、ガリウム潤滑剤自体の
潤滑性が向上する。
【００２６】また、上記実施例では、第１の金属層をモ
リブデン層２１,２３にしたが、第１の金属層は、モリ
ブデンに替えて、モリブデン合金やタンタルやタンタル
合金やタングステンで作製されていてもよい。要は、第
１の金属層は、ガリウムやガリウム合金に対して耐食性
の良い金属で作製されていればよい。また、上記実施例
では、上記表層ＳＬ１とＳＬ２を、Ｈ２雰囲気中で高温
熱処理したが、真空雰囲気中で熱処理してもよい。ま
た、固定体２の外周面に動圧溝を形成したが、回転体１
の内周面に動圧溝を形成してもよい。また、上記実施例
は、Ｘ線管用の動圧軸受装置としたが、本発明は、その
他の真空用の動圧軸受装置にも適用できることは言うま
でもない。
リブデン層２１,２３にしたが、第１の金属層は、モリ
ブデンに替えて、モリブデン合金やタンタルやタンタル
合金やタングステンで作製されていてもよい。要は、第
１の金属層は、ガリウムやガリウム合金に対して耐食性
の良い金属で作製されていればよい。また、上記実施例
では、上記表層ＳＬ１とＳＬ２を、Ｈ２雰囲気中で高温
熱処理したが、真空雰囲気中で熱処理してもよい。ま
た、固定体２の外周面に動圧溝を形成したが、回転体１
の内周面に動圧溝を形成してもよい。また、上記実施例
は、Ｘ線管用の動圧軸受装置としたが、本発明は、その
他の真空用の動圧軸受装置にも適用できることは言うま
でもない。
【００２７】
【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の発
明の製造方法で製造した真空用動圧軸受装置は、回転体
の対向面を含む表層と固定体の対向面を含む表層が、第
１の金属層と、第１の金属層上に酸化膜が介在しない状
態で作製された第２の金属層とで構成されており、第１
の金属層は金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属で作
製されている。そして、第２の金属層は金属潤滑剤に対
して濡れ性を有する金属で作製されている。
明の製造方法で製造した真空用動圧軸受装置は、回転体
の対向面を含む表層と固定体の対向面を含む表層が、第
１の金属層と、第１の金属層上に酸化膜が介在しない状
態で作製された第２の金属層とで構成されており、第１
の金属層は金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属で作
製されている。そして、第２の金属層は金属潤滑剤に対
して濡れ性を有する金属で作製されている。
【００２８】つまり、上記回転体の対向面と上記固定体
の対向面は、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金
属で作製されているので、回転体と固定体は金属潤滑剤
に対する濡れ性が良くなる。また、使用中に、上記濡れ
性が良い金属で作製された第２の金属層が溶けてなくな
っても、第２の金属層の下の第１の金属層には酸化膜が
存在していないから、第１の金属層の濡れ性が阻害され
ることなく、回転体および固定体は良好な濡れ性を持続
させることができる。なお、この第１の金属層は金属潤
滑剤に対して耐食性を有しているから、第２の金属層と
異なり溶けることはない。
の対向面は、上記金属潤滑剤に対して濡れ性を有する金
属で作製されているので、回転体と固定体は金属潤滑剤
に対する濡れ性が良くなる。また、使用中に、上記濡れ
性が良い金属で作製された第２の金属層が溶けてなくな
っても、第２の金属層の下の第１の金属層には酸化膜が
存在していないから、第１の金属層の濡れ性が阻害され
ることなく、回転体および固定体は良好な濡れ性を持続
させることができる。なお、この第１の金属層は金属潤
滑剤に対して耐食性を有しているから、第２の金属層と
異なり溶けることはない。
【００２９】このように、請求項１の発明によれば、金
属潤滑剤に対する十分な濡れ性を長期にわたって有する
ことができ、軸受性能を向上させることができる。
属潤滑剤に対する十分な濡れ性を長期にわたって有する
ことができ、軸受性能を向上させることができる。
【００３０】また、請求項２の発明によれば、上記第２
の金属層は上記第１の金属層上に湿式メッキによって作
製されている。したがって、請求項２の発明によれば、
製造コストの低減を図れる。
の金属層は上記第１の金属層上に湿式メッキによって作
製されている。したがって、請求項２の発明によれば、
製造コストの低減を図れる。
【００３１】また、請求項１の発明によれば、上記回転
体の対向面を含む表層と上記固定体の対向面を含む表層
は、真空もしくは還元雰囲気中で高温熱処理されて上記
第２の金属層の下の第１の金属層の酸化膜が除去されて
いる。したがって、請求項１の発明で製造した真空用動
圧軸受装置によれば、第２の金属膜が金属潤滑剤に溶け
てしまったときに、第１の金属膜の酸化されていない清
浄な面が露出する。したがって、回転体の対向面と固定
体の対向面が濡れ性の良い状態を長期間にわたって維持
することができる。
体の対向面を含む表層と上記固定体の対向面を含む表層
は、真空もしくは還元雰囲気中で高温熱処理されて上記
第２の金属層の下の第１の金属層の酸化膜が除去されて
いる。したがって、請求項１の発明で製造した真空用動
圧軸受装置によれば、第２の金属膜が金属潤滑剤に溶け
てしまったときに、第１の金属膜の酸化されていない清
浄な面が露出する。したがって、回転体の対向面と固定
体の対向面が濡れ性の良い状態を長期間にわたって維持
することができる。
【００３２】また、請求項１の発明によれば、上記第２
の金属層を、上記第１の金属層上に作製してから、上記
回転体の表層および上記固定体の表層を真空もしくは還
元雰囲気中で高温熱処理して第１の金属層の酸化膜を除
去する。したがって、請求項１の発明によれば、湿式メ
ッキによって、第２の金属層を安価に作製することがで
き、かつ、上記第２の金属層を作製した後で上記第１の
金属層の酸化膜を除去することができる。
の金属層を、上記第１の金属層上に作製してから、上記
回転体の表層および上記固定体の表層を真空もしくは還
元雰囲気中で高温熱処理して第１の金属層の酸化膜を除
去する。したがって、請求項１の発明によれば、湿式メ
ッキによって、第２の金属層を安価に作製することがで
き、かつ、上記第２の金属層を作製した後で上記第１の
金属層の酸化膜を除去することができる。
【図１】 この発明で作製した真空用動圧軸受装置の実
施例の要部断面図である。
施例の要部断面図である。
【図２】 上記実施例の要部拡大断面図である。
１…回転体、１ａ…内周面、１ｂ…内端面、２…固定
体、２ａ…外周面、２ｂ…端面、３,５…動圧溝、６…
空洞、７…金属潤滑剤、１０，１３…金属薄膜、１１…
回転陽極、２１…モリブデン層、２２…インジウム層、
２３…モリブデン層、２４…インジウム層、ＳＬ１…表
層、ＳＬ２…表層。
体、２ａ…外周面、２ｂ…端面、３,５…動圧溝、６…
空洞、７…金属潤滑剤、１０，１３…金属薄膜、１１…
回転陽極、２１…モリブデン層、２２…インジウム層、
２３…モリブデン層、２４…インジウム層、ＳＬ１…表
層、ＳＬ２…表層。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−363844（ＪＰ，Ａ)
特開 昭54−87199（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−321936（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−10085（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−75291（ＪＰ，Ａ)
実開 平５−27951（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C25D 7/10
F16C 17/10
F16C 33/12
Claims (3)
- 【請求項１】 回転体と、この回転体を回転可能に支持
する固定体とを備え、上記回転体に対向する固定体の対
向面または上記固定体に対向する回転体の対向面の少な
くとも一方に動圧溝が形成され、上記回転体の対向面と
上記固定体の対向面との間の隙間に金属潤滑剤が充填さ
れて、真空容器の内部に設けられる真空用動圧軸受装置
の製造方法において、上記回転体の対向面および上記固定体の対向面に、 上記
金属潤滑剤に対して耐食性を有する金属からなる第１の
金属層と、この第１の金属層の上に形成され、上記金属
潤滑剤に対して濡れ性を有する金属からなる第２の金属
層とを含む表層を作製し、上記表層を作製した後、 上記第２の金属層の下の第１の
金属層の酸化膜を除去すべく、上記回転体に形成した上
記表層および上記固定体に形成した上記表層を、真空も
しくは還元雰囲気中で高温熱処理することを特徴とする
真空用動圧軸受装置の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の真空用動圧軸受装置の
製造方法において、 上記第２の金属層は、上記第１の金
属層上に湿式メッキによって作製することを特徴とする
真空用動圧軸受装置の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載の真空用動圧軸受装置の
製造方法において、 上記第１の金属層は、ガリウムまたはガリウム合金から
なる金属潤滑剤に対して耐食性を有するモリブデン、モ
リブデン合金、タンタル、タンタル合金またはタングス
テンからなり、上記第２の金属層は、インジウム、錫ま
たは亜鉛からなることを特徴とする真空用動圧軸受装置
の製造方法 。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31162594A JP3394616B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 真空用動圧軸受装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31162594A JP3394616B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 真空用動圧軸受装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08170191A JPH08170191A (ja) | 1996-07-02 |
| JP3394616B2 true JP3394616B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=18019517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31162594A Expired - Fee Related JP3394616B2 (ja) | 1994-12-15 | 1994-12-15 | 真空用動圧軸受装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3394616B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101336584B1 (ko) * | 2012-05-02 | 2013-12-05 | 주식회사 서울금속 | 유체동압베어링 |
-
1994
- 1994-12-15 JP JP31162594A patent/JP3394616B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08170191A (ja) | 1996-07-02 |
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