JP3378586B2 - 少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置 - Google Patents

少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置

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JP3378586B2 JP03729991A JP3729991A JP3378586B2 JP 3378586 B2 JP3378586 B2 JP 3378586B2 JP 03729991 A JP03729991 A JP 03729991A JP 3729991 A JP3729991 A JP 3729991A JP 3378586 B2 JP3378586 B2 JP 3378586B2
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも１つの方向
に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置であ
って、当該機械部分が複数のベアリングを介して対応す
る案内部に支持されており、前記ベアリングが付加装置
によって予荷重を加えられている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】座標測定装置の可動の測定往復台を案内
するためには、しばしば空気軸受、つまりエアベアリン
グが使用される。このようなエアベアリングを介して当
該機械部分は対応する案内部に支持されている。その場
合、エアベアリングのための予荷重は、案内される機械
部分の固有重量によって加えられる。
【０００３】しかし、エアベアリングをその最適な作業
点で、つまりエアベアリングができるだけ高い剛性を有
するような作業点で使用するためには、比較的大きな予
荷重力が必要とされる。その結果、案内される機械部分
が比較的大きな質量を有していなければならなくなる。
しかし他面において、高い質量は、当該機械部分を運動
させる際に得られる加速度もしくは速度を制限してしま
う。
【０００４】案内される機械部分のベアリングはしばし
ば、ばね負荷された対応支承部を介して予荷重を加えら
れる。しかしこのような手段は、案内される機械部分が
唯一つの方向で直線運動可能である場合にだけ、構造的
に僅かな手間をかけるだけで実現され得る。当該案内部
が、所謂平坦な案内部である場合、つまり当該機械部分
が２つの自由度において同時に運動可能に支承されてい
るような平坦な案内部である場合には、対応支承部のた
めに必要となる、案内部の背面への取囲み部を実現する
ことは事実上不可能である。
【０００５】米国特許第４５５８９０９号明細書に基づ
き、所謂自己吸着式のエアベアリングが公知である。こ
のエアベアリングは、その外周部に吸込通路を有してお
り、この吸込通路には負圧をかけることができる。その
場合、この吸込通路はベアリングを当該案内面に引き付
ける。しかし吸込通路のためにはエアベアリング自体よ
りも小さな面しか提供されておらず、しかも吸着力を形
成するためにはせいぜい大気圧との圧力差しか提供され
ていないので、この公知のエアベアリングを用いても小
さな予荷重力しか発生させることができない。しかし、
このような小さな力は、エアベアリングをできるだけ高
い剛性のために最適な作業領域内で使用するためにはた
いてい不十分となる。
【０００６】ドイツ連邦共和国特許出願公開第２８２９
７１５号明細書に開示された座標測定装置では、エアベ
アリングを介して案内される機械部分が、付加的に磁石
を用いて案内部に対して予荷重を加えられる。しかしこ
のためには、当該案内部が強磁性材料を有していること
が必要となる。このことは種々の理由から不都合であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の装置を改良して、構造的に大きな手間を
かけることなく比較的高い予荷重力が形成可能となるよ
うな装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、付加装置が、各ベアリングの間に
配置された別個の鐘形吸着器であり、該鐘形吸着器が、
負圧により当該機械部分を案内部に引き付けており、前
記鐘形吸着器の有効面が、当該機械部分を支持するベア
リングの有効面と比べて大きく形成されているようにし
た。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、当該機械部分、つまり
案内される機械部分の各ベアリングの間に配置された鐘
形吸着器が提供される。「鐘形吸着器」とは、対象物を
吸引する目的で内部に負圧が形成されるベル（鐘）形の
ケーシングを備えた吸着器である。このような鐘形吸着
器は、案内される機械部分がもともとエアベアリングを
介して対応する案内部に支持されている場合に予荷重力
を発生させるために特に適している。なぜならば、その
場合、正圧もしくは負圧を供給するために必要となる装
置が既に機械に存在しており、またエアベアリングのた
めに設けられた案内面が平坦でかつ十分に大きく形成さ
れていて、それゆえに鐘形吸着器のための対応面として
も利用され得るからである。
【００１０】本発明の構成では、鐘形吸着器の有効面
が、当該機械部分を支持するベアリングの有効面に比べ
て大きく形成されているので有利である。なぜならば、
比較的低い圧力差でも、ベアリングのための十分に高い
予荷重力を形成することができるからである。
【００１１】さらに、鐘形吸着器が、当該機械部分の支
承個所の近くで当該機械部分に固定されていて、たとえ
ば支持性のあるエアベアリングに直接に支持されている
と有利である。その場合、予荷重力の力伝達経路は当該
機械部分の傍らを通って案内されているので、当該機械
部分が変形する恐れも生じない。
【００１２】鐘形吸着器が弾性的なシールリップを有し
ており、このシールリップが運動可能な機械部分の案内
面に摩擦少なく載置されていて、この案内面に対して鐘
形吸着器をシールしていると有利である。
【００１３】しかし、鐘形吸着器をシールするためには
セルフガイド式の毛管状のギャップが設けられていると
特に有利となる。このような毛管状のギャップは、たと
えば負圧によって案内面に沿ってフローティングするリ
ングによって形成することができる。その場合、シール
面と基面との間には接触が行われないので、摩擦が生じ
ず、ひいては摩耗も生じない。
【００１４】本発明は、２つの自由度に関してたとえば
１つの平面内で対応する案内部に運動可能に支持されて
いる当該機械部分、つまりそれぞれ直線状の案内を行う
ために必要となる取囲み部または磁気的な対応可動子を
設けることが困難となるような場所に支持されている当
該機械部分に予荷重を加えるために特に有利である。
【００１５】本発明のその他の利点は、以下に説明する
実施例において記載されている。
【００１６】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく
説明する。
【００１７】図１および図２に図示した座標測定装置は
機械テーブル２を有している。この機械テーブル２は、
４つの制振器、つまり防振ダンパを介して機械の基礎１
の上に載置されている。図１には、２つの防振ダンパ４
ａおよび４ｂしか見えていない。
【００１８】機械テーブル２の表面はスタンドコラム８
のための平坦な案内部を形成しており、このスタンドコ
ラム８の基部５は３つの空気軸受、つまりエアベアリン
グ６ａ〜６ｃを介して機械テーブル２の表面に支持され
ており、かつ以下に説明するように、機械テーブル２の
表面に沿って直線状にスライド可能でかつ回動可能に案
内されている。
【００１９】機械テーブル２に側方で固定された案内条
片１０には、６個のエアベアリング１２ａ〜１２ｆによ
って往復台１１が矢印ｘの方向に直線運動可能に案内さ
れている。この往復台１１は、モータ２７と変速機２８
とを介して軸２９によって駆動される。平滑な軸２９の
回転運動は、たとえば往復台１１に設けられた「ローリ
ングリング伝動装置」によって往復台１１に伝達され得
る。このような駆動ユニット自体は公知である。往復台
１１の運動は光電式のセンサ２６によって検知され、こ
の場合、このセンサ２６は案内条片１０に固定されたス
ケール２５をプローブする。
【００２０】往復台１１では、スタンドコラム８が、こ
のスタンドコラム８をその基部５に結合する円筒状の中
間部分７の領域において、ラジアルベアリング１３に挿
入されている。このラジアルベアリング１３により、ス
タンドコラム８を往復台１１に対して図２の矢印αの方
向で、符号Ａで示した軸線を中心にして回転させること
が可能となる。この場合、スタンドコラム８は回転運動
に関してもエアベアリング６ａ〜６ｃを介して機械テー
ブル２の表面に軸方向で支持されている。このようなス
ラスト式のエアベアリングの比較的大きなベースに基づ
き、回転運動中のスタンドコラム８の揺動も、往復台１
１による直線運動中の傾動も阻止される。
【００２１】回転運動の駆動装置のためには、往復台１
１がモータ１６を保持しており、このモータ１６は、摩
擦車伝動装置１７を介して、スタンドコラム８に結合さ
れたディスク１８に作用する。回動運動の量、つまり回
転角度αは、往復台１１に固定された光電式のセンサ１
４によって測定される。このセンサ１４は、スタンドコ
ラム８の基部５に固定された基準円１５をプローブす
る。
【００２２】スタンドコラム８の下方領域に設けられた
駆動装置および測定システムは、カバー３によって覆わ
れている。このカバー３の上側の部分は、スタンドコラ
ム８がカバー３を貫通する個所において、案内方向ｘに
延びるスリットを有している。スタンドコラム８の、カ
バー３よりも上方の領域は、方形に成形されており、こ
の領域には、鉛直方向移動用の往復台９が、符号ｚで示
した矢印の方向に移動可能に支承されている。この往復
台９は座標測定装置の測定アーム２１を保持しており、
この測定アーム２１の前端部にはプローブヘッド２２が
取り付けられている。往復台９の直線運動は、光電式の
センサ２０と、スタンドコラム８に固定されたスケール
１９とによって測定される。往復台９のための駆動装置
は図面には図示されていない。
【００２３】プローブヘッド２２寄りの側において機械
テーブル２には、駆動装置２４を備えたターンテーブル
２３が組み込まれている。このターンテーブル２３の回
転軸線は、符号Ｂで示されている。スタンドコラム８の
軸線Ａとターンテーブル２３の軸線Ｂとを結ぶ仮想線
は、往復台１１の案内方向ｘに対して平行に延びてい
る。ターンテーブル２３は測定したいワークを収容す
る。
【００２４】ワークを測定するためには、プローブヘッ
ド２２が、往復台１１，９もしくはその駆動装置によっ
て両直交座標方向ｘおよびｚにおいて移動させられる。
欠如した第３の座標方向ｙは、軸線Ａを中心としたスタ
ンドコラム８の旋回運動によって代えられている。この
とき、プローブヘッド２２は、測定アームの有効レバー
長さｒに対応する曲率半径を有する接線方向運動を実施
する。
【００２５】スタンドコラム８をモータ２７によってで
きるだけ迅速に機械テーブル２の表面にわたって運動さ
せることができるようにするために、スタンドコラム８
は軽量構造で形成されている。つまりスタンドコラム８
はアルミニウムから成っている。この理由から、エアベ
アリング６ａ〜６ｃが最適な剛性の範囲で働くようにエ
アベアリング６ａ〜６ｃに予荷重を加えるためには、ス
タンドコラム８の重量だけでは不充分となる。それゆえ
に、エアベアリング６ａ〜６ｃの間では、スタンドコラ
ム８の基部５に鐘形吸着器が固定されている。この鐘形
吸着器の開いた側は機械テーブル２の表面に面してい
る。鐘形吸着器はスタンドコラム８を、吸着器内部に形
成される負圧によって付加的にこの案内面に引き付けて
いる。
【００２６】鐘形吸着器の構造および固定形式は図３に
詳細に図示されている。図３には符号６ｂで示した１つ
のエアベアリングが見えている。このエアベアリングに
は、スタンドコラム８の三角形の基部５の１つの脚部が
支持されている。このためには基部５がこの個所で、調
節可能な止めボルト３９を介して、エアベアリング６ｂ
に設けられた球面状の位置決め部分に載置されている。
このような固定形式は一般に汎用されている。
【００２７】止めボルト３９は基部５に設けられた支持
部材３８にねじ込まれている。この支持部材３８は雄ね
じ山を有しており、この雄ねじ山にはナット３７が螺合
されている。ナット３７の上面はやはり球面状に成形さ
れている。ナット３７には、凹形球面状の中間部材３６
を介して、基部５と同様に平面図で見て三角形に成形さ
れたばね薄板３２が載置されている。このばね薄板３２
は同様に、スタンドコラム８の基部５に設けられたその
他の２つのエアベアリング６ａおよび６ｃに載置されて
いる。
【００２８】ばね薄板３２の下面には、スタンドコラム
８の軸線に対して同心的にリング３１がねじ締結されて
おり、このリング３１の下面には、やはり同じく環状の
弾性的なシールリップ３０が当て付けられている。
【００２９】シールリップ３０と、リング３１と、ばね
薄板３２の中心領域とから形成されたポット形ユニット
の内部は、部分的に排気されている。このためには、こ
のポット形ユニットが、リング３１に設けられた孔３３
を介して吸込導管３５に接続されている。こうして、ば
ね弾性的に懸吊された鐘形吸着器が形成される。この鐘
形吸着器はスタンドコラム８の基部５を、付加的な予荷
重力で機械テーブル２の表面に引き付けている。この力
は、鐘形吸着器の内部３４に形成される圧力（Ｔ−）と
大気圧との間の圧力差ならびにシールリップ３０によっ
て取り囲まれた領域の横断面積に関連している。
【００３０】ナット３７と、別の２つのエアベアリング
に設けられた対応する２つのナットとを用いて、鐘形吸
着器の高さを適宜に調節することができ、この場合、シ
ールリップ３０がたしかに真空を密閉するが、しかしこ
の真空によってシールリップ３０が過度に高い力でテー
ブル表面に引き付けられないように高さ調節することが
できる。つまりこれによって、シールリップ３０と機械
テーブル２の表面との間の摩擦を最小にすることができ
る。付加的な鐘形吸着器の使用によりスタンドコラム８
もしくはその基部５に変形が生ぜしめられることはな
い。なぜならば、鐘形吸着器がエアベアリングに直接に
支持されている、つまり力伝達経路がスタンドコラム８
の傍らを通って案内されているからである。
【００３１】上記実施例では、１方向に直線状にスライ
ド可能であると同時に面支承式のエアベアリングにより
回転可能に載置されているスタンドコラムを備えている
タイプの座標測定装置における本発明による装置の使用
について説明したが、しかし本発明による装置は、たと
えば互いに直交する２つの方向ｘ，ｙで機械テーブル２
の表面にわたって自由に運動可能に案内されているスタ
ンドコラムを備えているタイプの座標測定装置において
も同様に好適に使用され得る。
【００３２】図４および図５には、鐘形吸着器を実現す
るための別の実施例が図示されている。図４および図５
には機械テーブルのテーブル表面が符号１０２で示され
ており、ばね薄板が符号１３２で示されている。鐘形吸
着器は、ばね薄板１３２を介してスタンドコラムの基部
に設けられたエアベアリングに載置されている。
【００３３】ばね薄板１３２の下面に設けられた鐘形吸
着器は支承体１３１を有しており、この支承体１３１は
孔１３３を介して、鐘形吸着器の内部に形成したい負圧
のための接続導管１３５に接続されている。支承体１３
１は、この支承体を環状に取り囲むローリングダイヤフ
ラム１３０を介してシールリング１３６に空気密に結合
されている。このシールリング１３６は、テーブル表面
１０２にフローティング式に載置されている。このため
にはシールリング１３６の下面に環状の通路１３７が加
工成形されており、この通路１３７には、孔１４０を介
して接続部材１３８によって正圧が供給される。したが
って、シールリング１３６は、テーブル表面１０２にフ
ローティング式に載置された一種のエアベアリングを形
成している。このエアベアリングの毛管状ベアリングギ
ャップ１３９は、ローリングダイヤフラム１３０と支承
体１３１とシールリング１３６とによって形成された鐘
形吸着器の内部１３４を外圧に対してシールしている。
環状の通路１３７内の正圧は、毛管状ベアリングギャッ
プ１３９を約６μｍのギャップ高さに保持するように設
定されている。このような極めて小さな微細ギャップに
基づき、鐘形吸着器の内部における小さな負圧のために
は十分に高い流れ抵抗が形成されるので、小さな吐出能
力しか有しない吸込ポンプを用いて負圧を維持すること
ができるようになる。弾性的なローリングダイヤフラム
１３０によってシールリング１３６は支承体１３１から
分離されている。したがって、組付け時や運転中では、
テーブル表面１０２と、鐘形吸着器によってテーブル表
面１０２に引き付けられる機械部分との間には、シール
機能が損なわれることなく鉛直方向での大きな高さ変化
が可能となる。つまりシールギャップを形成する毛管状
ベアリングギャップ１３９は一定のままとなるわけであ
る。このような機械部分を支持するエアベアリングもし
くは鐘形吸着器の手間のかかる位置調整は不要となる。
鐘形吸着器とテーブル表面との間には接触が行われない
ので、あらゆる形の摩擦および摩耗が回避されている。
【００３４】環状の通路１３７は、図６から判るように
約１２０°の角度領域にわたって延びる３つの個別セグ
メント１３７ａ，１３７ｂ，１３７ｃに分割されている
と有利である。これらの個別セグメントにはそれぞれ専
用の孔と専用の絞りとを介して正圧が供給される。この
ような手段によりシールリング１３６は傾動防止されて
安定してテーブル面に載置されており、シールギャップ
もしくは毛管状ベアリングギャップ１３９はシールリン
グ１３６の外周全体にわたって一定となる。
【００３５】図４の下側部分には、鐘形吸着器の下方の
圧力と、鐘形吸着器の直径との関係が描かれている。シ
ールリング１３６の領域では外周に沿って正圧Ｐ＋が形
成されているのが判る。それに対して、シールリング１
３６に加工成形された凹部の領域における内周面に関し
ては、鐘形吸着器内に形成される負圧Ｐ−がシールリン
グ１３６に作用している。この負圧は、ばね薄板１３２
を支持するエアベアリング（図示しない）と同様にシー
ルリング１３６に予荷重を加えている。このような予荷
重に基づき、シールリング１３６のシールギャップもし
くは毛管状ベアリングギャップ１３９も安定的にかつ小
さく保持される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による装置を備えた座標測定装置の、図
２のＩ―Ｉ線に沿って断面して矢印の方向で見た鉛直方
向断面図である。
【図２】図１のＩＩ―ＩＩ線に沿って断面して矢印の方
向で見た座標測定装置の平面図である。
【図３】図１のＩＩＩで示した一点鎖線で囲んだ領域の
拡大断面図である。
【図４】鐘形吸着器の別の実施例を示す断面図と、この
断面図に対応して鐘形吸着器の下における半径方向の圧
力分布を示す線図である。
【図５】図４の鐘形吸着器を下方から見た平面図であ
る。
【符号の説明】
１ 基礎 ２ 機械テーブル ３ カバー ４ａ，４ｂ 防振ダンパ ５ 基部 ６ａ，６ｂ，６ｃ エアベアリング ７ 中間部分 ８ スタンドコラム ９ 往復台 １０ 案内条片 １１ 往復台 １２ａ〜１２ｆ エアベアリング １３ ラジアルベアリング １４ 光電式のセンサ １５ 基準円 １６ モータ １７ 摩擦車伝動装置 １８ ディスク １９ スケール ２０ 光電式のセンサ ２１ 測定アーム ２２ プローブヘッド ２３ ターンテーブル ２４ 駆動装置 ２５ スケール ２６ 光電式のセンサ ２７ モータ ２８ 変速機 ２９ 軸 ３０ シールリップ ３１ リング ３２ ばね薄板 ３３ 孔 ３４ 内部 ３５ 吸込導管 ３６ 中間部材 ３７ ナット ３８ 支持部材 ３９ 止めボルト １０２ テーブル表面 １３０ ローリングダイヤフラム １３１ 支承体 １３２ ばね薄板 １３３ 孔 １３４ 内部 １３５ 接続導管 １３６ シールリング １３７ 通路 １３７ａ〜１３７ｃ 個別セグメント １３８ 接続部材 １３９ 毛管状ベアリングギャップ １４０ 孔 Ａ，Ｂ 軸線 ｒ レバー長さ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヘルムート ミュラー ドイツ連邦共和国 シュヴェービッシュ グミュント−グロースダインバッハ アム ホルツブルンネン 11アー (56)参考文献 特開 昭61−214934（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−216734（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 1/00 - 1/76 F16C 32/06 G01B 5/00

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れていることを特徴とする、少なくとも１つの方向に案
    内された運動可能な機械部分を備えた案内装置。
  2. 【請求項２】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、鐘形吸着器（３４）が、当該機械部分（５〜
    ８）のための案内面（２）に直接に当て付けられている
    ことを特徴とする、少なくとも１つの方向に案内された
    運動可能な機械部分を備えた案内装置。
  3. 【請求項３】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、鐘形吸着器（３４）が、当該機械部分（５〜
    ８）の支承個所の近くで当該機械部分に固定されている
    ことを特徴とする、少なくとも１つの方向に案内された
    運動可能な機械部分を備えた案内装置。
  4. 【請求項４】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、鐘形吸着器（３４）が、当該機械部分（５〜
    ８）にばね弾性的に結合されていることを特徴とする、
    少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分
    を備えた案内装置。
  5. 【請求項５】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、ベアリング（６ａ〜６ｃ）がガスベアリング
    もしくはエアベアリングであることを特徴とする、少な
    くとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備
    えた案内装置。
  6. 【請求項６】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリン グ（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、当該機械部分（５〜８）が、２つの自由度に
    関して平坦な案内部（２）に沿って運動可能に支持され
    ていることを特徴とする、少なくとも１つの方向に案内
    された運動可能な機械部分を備えた案内装置。
  7. 【請求項７】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、鐘形吸着器（３４）が弾性的なシールリップ
    （３０）を有しており、該シールリップ（３０）が、摩
    擦少なく案内面（２）に載置されていることを特徴とす
    る、少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械
    部分を備えた案内装置。
  8. 【請求項８】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、鐘形吸着器（１３４）が、案内面（１０２）
    にフローティング式に載置されたシールリング（１３
    ６）を介してシールされていることを特徴とする、少な
    くとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備
    えた案内装置。
  9. 【請求項９】 少なくとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた案内装置であって、
    当該機械部分（５〜８）が複数のベアリング（６ａ〜６
    ｃ）を介して対応する案内部（２）に支持されており、
    前記ベアリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷
    重を加えられている形式のものにおいて、付加装置が、
    各ベアリング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘
    形吸着器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３
    ４，１３４）が、負圧により当該機械部分を案内部
    （２）に引き付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３
    ４）の有効面が、当該機械部分（５〜８）を支持するベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成さ
    れており、鐘形吸着器（１３４）が、案内面（１０２）
    にフローティング式に載置されたシールリング（１３
    ６）を介してシールされており、該シールリング（１３
    ６）が一種のエアベアリングとして形成されており、し
    かもベアリングギャップ（１３９）が毛細状のシールギ
    ャップとして作用し、さらに前記シールリング（１３
    ６）が、弾性的なダイヤフラム（１３０）を介して前記
    鐘形吸着器（１３４）の支承体（１３１）に空気密に結
    合されていることを特徴とする、少なくとも１つの方向
    に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置。
  10. 【請求項１０】 少くとも１つの方向に案内された運動
    可能な機械部分（５〜８）を備えた座標測定装置であっ
    て、当該機械部分が複数のベアリング（６ａ〜６ｃ）を
    介して対応する案内部（２）に支持されており、前記ベ
    アリング（６ａ〜６ｃ）が付加装置によって予荷重を加
    えられている形式のものにおいて、付加装置が、各ベア
    リング（６ａ〜６ｃ）の間に配置された別個の鐘形吸着
    器（３４，１３４）であり、該鐘形吸着器（３４，１３
    ４）が、負圧により当該機械部分を案内部（２）に引き
    付けており、前記鐘形吸着器（３４，１３４）の有効面
    が、当該機械部分（５〜８）を支持するベアリング（６
    ａ〜６ｃ）の有効面と比べて大きく形成されていること
    を特徴とする座標測定装置。
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