CN113635084A - 一种气浮转台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气浮转台，包括节流器安装座、转子、上止推板、下止推板和驱动组件，转子同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内；所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接；所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接；工作时，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜，所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜，所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。本发明通过在节流器安装座的上侧面、下侧面和内侧面设置出气口，并通过空气在节流器安装座与上止推板、下止推板和转子之间形成气膜，从而减小摩擦并形成气浮工作台，并通过同源的气泵供气来实现轴向运动精度和径向运动精度的匹配。

Description

一种气浮转台

技术领域

本发明涉及数控机床领域，具体涉及一种气浮转台。

背景技术

在通过数控机床对工件进行加工的过程中，需要通过转台来带动工件转动，在精密数控机床以及精密计量仪器中，需要实现纳米级的回转运动，而转动的静态特性和回转精度是影响其检测与计量精度的重要因素。

现阶段的部分转台的连接方式，可能出现轴向运动精度和径向运动精度不匹配的情况，难以实现超精密加工与检测的需求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是转台轴向运动精度和径向运动精度不匹配，目的在于提供一种气浮转台，解决了转台的回转精度的问题。

本发明通过下述技术方案实现：

一种气浮转台，包括：

节流器安装座，其具有上侧面和下侧面，且内部设置有连通上侧面和下侧面的圆通孔，所述节流器安装座的上侧面设置有第一出气口，所述节流器安装座的下侧面设置有第二出气口，所述节流器安装座的内侧面设置有径向出气口，所述节流器安装座内部设置有与所述第一出气口、所述第二出气口和所述径向出气口连通的供气通路；

转子，其同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内；

上止推板，其设置在所述上侧面的上方，且所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接；

下止推板，其设置在所述下侧面的下方，且所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接；

驱动组件，其与所述下止推板连接，且所述驱动组件驱动所述下止推板、所述转子和所述上止推板沿所转子的中轴线同轴转动；

其中，所述转子的外径小于所述圆通孔的内径，所述上止推板的下侧面与所述下止推板的上侧面之间的距离大于所述节流器安装座的厚度；

工作时，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜，所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜，所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。

进一步，所述气浮转台还包括：

上推力节流器，所述节流器安装座的上侧面设置有用于安装所述上推力节流器的上凹槽，所述第一出气口设置在所述上凹槽内；

下推力节流器，所述节流器安装座的下侧面设置有用于安装所述下推力节流器的下凹槽，所述第二出气口设置在所述下凹槽内；

径向节流器，所述节流器安装座的内侧面设置有用于安装所述径向节流器的环形槽，所述径向出气口设置在所述环形槽内。

具体地，所述上凹槽为环形凹槽，所述上推力节流器设置在所述上凹槽内，所述上推力节流器为与所述上凹槽适配的多孔介质构成的圆环；

所述下凹槽为环形凹槽，所述下推力节流器设置在所述下凹槽内，所述下推力节流器为与所述下凹槽适配的多孔介质构成的圆环；

所述径向节流器设置在所述环形槽内，所述径向节流器为与所述环形槽适配的多孔介质构成的圆筒；

所述上推力节流器的厚度不小于所述上凹槽的深度，所述下推力节流器的厚度不小于所述下凹槽的深度，所述径向节流器的厚度不大于所述环形槽的深度。

优选地，所述径向节流器设置有：

周向气道，其设置在所述径向节流器的外侧面，且所述周向气道的中轴线与所述径向节流器的中轴线重合；

轴向气道，其设置在所述径向节流器的外侧面，所述轴向气道与所述径向节流器的中轴线平行，所述轴向气道与所述周向气道交叉且连通；

环形加强筋，其设置在所述径向节流器的外侧面。

具体地，所述驱动组件包括：

定子套筒，其设置在所述下止推板下方，且所述定子套筒相对于所述下止推板位置固定；

电机定子，其设置在所述定子套筒内，且所述电机电子的外侧面与所述定子套管固定连接；

电机动子，其设置在所述电机定子内，且所述电机电子和所述电机动子通过电磁力驱动相对转动，所述下止推板与所述电机动子同轴且固定连接。

进一步，所述驱动组件包括光栅尺位移传感器，所述光栅尺位移传感器包括：

标尺光栅，其呈环形设置，且通过光栅安装座与所述下止推板同轴且固定连接；

光栅读数头，其通过读数头安装座与所述定子套筒同轴且固定连接；

其中，所述光栅读数头与所述标尺光栅对应设置，且所述光栅读数头检测所述标尺光栅的转动角度。

优选地，设定所述上止推板的上侧面为工作台面，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有防尘罩，所述防尘罩包括：

防尘罩竖筒，其下端与所述节流器安装座固定连接；

防尘罩圆环，其外环与所述防尘罩竖筒的上端固定连接，所述上止推板的上侧面设置有与所述防尘罩圆环适配的凹槽。

具体地，所述定子套筒与所述节流器安装座之间通过壳体固定连接，所述下止推板设置在所述壳体内。

优选地，所述电机定子通过定子压板与所述定子套筒固定连接，所述定子压板的下端连接有用于封闭所述定子压板和所述定子套筒的底盖。

具体地，所述上止推板为圆板结构，所述下止推板包括：

下止推板圆板，其设置在所述节流器安装座的下方，且所述下止推板圆板的上侧面与所述转子的下端连接；

下止推板轴，其竖直设置，所述下止推板轴的上端与所述下止推板圆板的下侧同轴固定连接，所述电机动子与所述下止推板轴的外侧面固定连接，所述光栅安装座与所述下止推板轴的下端同轴固定连接。

本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本发明通过在节流器安装座的上侧面、下侧面和内侧面设置出气口，并通过空气在节流器安装座与上止推板、下止推板和转子之间形成气膜，从而减小摩擦并形成气浮工作台，并通过同源的气泵供气来实现轴向运动精度和径向运动精度的匹配。

附图说明

附图示出了本发明的示例性实施方式，并与其说明一起用于解释本发明的原理，其中包括了这些附图以提供对本发明的进一步理解，并且附图包括在本说明书中并构成本说明书的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。

图1是根据本发明所述的一种气浮转台的结构示意图。

图2是根据本发明所述的一种气浮转台的剖视图。

图3是根据本发明所述的径向节流器的结构示意图。

附图标记：1-防尘罩，2-上止推板，3-上推力节流器，4-节流器安装座，5-径向节流器，6-转子，7-下推力节流器，8-下止推板，9-壳体，10-定子套筒，11-电机定子，12-电机动子，13-光栅安装座，14-标尺光栅，15-光栅读数头，16-读数头安装座，17-底盖，18-定子压板，19-加强筋，20-周向气道，21-轴向气道。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合附图和实施方式对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于解释相关内容，而非对本发明的限定。

另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分。

在不冲突的情况下，本发明中的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施方式来详细说明本发明。

实施例一

一种气浮转台，包括节流器安装座4、转子6、上止推板2、下止推板8和驱动组件。

本实施例中，上止推板2、转子6和下止推板8依次连接，并呈“工”字型结构，且通过驱动组件驱动该“工”字型结构沿转子6的中轴线转动。

节流器安装座4是为了实现对该“工”字型结构的位置的固定，使得工件可以放置在上止推板2的上侧面，以实现回转运动。

节流器安装座4具有上侧面和下侧面，且内部设置有连通上侧面和下侧面的圆通孔，上侧面和下侧面平行设置，且为了描述方便，将上侧面设置在下侧面的上方，圆通孔竖直设置。

节流器安装座4的上侧面设置有第一出气口，节流器安装座4的下侧面设置有第二出气口，节流器安装座4的内侧面设置有径向出气口，节流器安装座4内部设置有与第一出气口、第二出气口和径向出气口连通的供气通路；

供气通路可以为统一的通路，即通过同一个气源实现对第一出气口、第二出气口和径向出气口供气。

供气通路也可以为相互独立的通路，即第一出气口通过单独的气源供气，第二出气口通过单独的气源供气，径向出气通过单独的气源供气。

其具体情况可以根据实际的需求来进行调节。

转子6同轴设置在节流器安装座4的圆通孔内，上止推板2设置在上侧面的上方，且上止推板2的下侧面与转子6的上端连接，止推板设置在下侧面的下方，且下止推板8的上侧面与转子6的下端连接；

上止推板2水平设置在节流器安装座4的上方，下止推板8水平设置在节流器安装座4的下方，转子6设置在节流器安装座4的圆通孔内，则实现了节流器安装座4与“工”字型结构的位置固定。

且本实施例中需要对尺寸进行限定，即转子6的外径小于圆通孔的内径，上止推板2的下侧面与下止推板8的上侧面之间的距离大于节流器安装座4的厚度；

工作时，上止推板2与节流器安装座4之间设置有第一气膜，下止推板8与节流器安装座4之间设置有第二气膜，节流器安装座4与转子6之间设置有径向气膜。

通过气源向第一出气口、第二出气口和径向出气口供气，使得在上止推板2、下止推板8、转子6与节流器安装座4之间形成气膜，对上止推板2、下止推板8起到轴向支撑的作用，可以用于承载待加工的工件，并通过转子6起到径向支撑的作用，增加在径向方向上的稳定性。

本实施例通过驱动组件驱动实现回转运动，驱动组件与下止推板8连接，且驱动组件驱动下止推板8、转子6和上止推板2沿所转子6的中轴线同轴转动。

实施例二

上述实施例一直接通过第一出气口、第二出气口和径向出气口来实现出气，可能存在气压不稳的情况，导致径向运动精度和轴向运动精度不佳，因此本实施例中，气浮转台还包括上推力节流器3、下推力节流器7和径向节流器5。

上推力节流器3为与上凹槽适配的多孔介质构成的圆环，下推力节流器7为与下凹槽适配的多孔介质构成的圆环径向节流器5为与环形槽适配的多孔介质构成的圆筒。

多孔介质的渗透性能适中且透气均匀，使得其相对于小孔节流产生更加均匀气膜压力分布，对上止推板2、下止推板8和转子6有着更高的承载力和支承刚度。

节流器安装座4的上侧面设置有用于安装上推力节流器3的上凹槽，第一出气口设置在上凹槽内，第一出气口吹出的空气进入上推力节流器3后，通过上推力节流器3内的相互连通的小孔，实现气体均匀的从上推力节流器3的上表面吹出。

节流器安装座4的下侧面设置有用于安装下推力节流器7的下凹槽，第二出气口设置在下凹槽内，第二出气口吹出的空气进入下推力节流器7后，通过下推力节流器7内的相互连通的小孔，实现气体均匀的从下推力节流器7的下表面吹出。

节流器安装座4的内侧面设置有用于安装径向节流器5的环形槽，径向出气口设置在环形槽内，径向出气口吹出的空气进入径向节流器5后，经过径向节流器5内的相互连通的小孔，实现气体均匀的从径向节流器5的内表面吹出。

为了避免因为安装上推力节流器3、下推力节流器7和径向节流器5而导致对“工”字型结构与节流器安装座4之间的位置关系造成干涉，在对节流器安装时，

最好保证上推力节流器3均位于上凹槽内，即上凹槽的内径等于上推力节流器3的内径，上凹槽的外径等于上推力节流器3的外径，上凹槽的深度等于上推力节流器3的深度。

同理，保证下推力节流器7均位于下凹槽内，即下凹槽的内径等于下推力节流器7的内径，下凹槽的外径等于下推力节流器7的外径，下凹槽的深度等于下推力节流器7的深度。

保证径向节流器5均位于环形槽内，即环形槽的内径等于径向节流器5的内径，环形槽的外径等于径向节流器5的外径，环形槽的高度等于径向节流器5的高度。

因此最终结构为，上凹槽为环形凹槽，上推力节流器3设置在上凹槽内，下凹槽为环形凹槽，下推力节流器7设置在下凹槽内，径向节流器5设置在环形槽内，上推力节流器3的厚度不小于上凹槽的深度，下推力节流器7的厚度不小于下凹槽的深度，径向节流器5的厚度不大于环形槽的深度。

供气情况下，上推力节流器3表面吹出气体，使得上止推板2浮起并形成一层气膜；下推力节流器7将下止推板8浮起并形成一层气膜；

上下两侧气膜的厚度将根据回转运动部件和被承载部件的质量而自动调整；

径向节流器5对转子6起到径向支承作用。上、下推力和径向支承力共同作用，起到支撑工作台的目的，使得气浮转台的承载力大、刚度和回转精度高。

实施例三

本实施例是针对实施例二的一种优化，在实际的使用中，因为需要将待回转的工件置于上止推板2上，并且整个构件(上止推板2、转子6、下止推板8以及驱动组件)均有一定的重量，因此会出现第一气膜承受的压力大于第二气膜。

所以，上推力节流器3和下推力节流器7采用非对称设计方式。

即在第一出气口、第二出气口和第三出气口采用同一气源的情况下，上推力节流器3的透气性略微大于下推力节流器7的透气性，在相同供气压力和气膜厚度下，上止推板2受到的力大于下止推板8受到的力，用以平衡气浮转台回转部件和被承载件的自身重力，使得第一气膜和第二气膜的厚度保持均衡，提升其轴向回转精度。

采用同一气源还具有下述优点：上侧推力节流器、下侧推力节流器和径向节流器5的入口压力相同，使得其对气源压力波动有着更好的容积率，提升气体通道内压力的均匀性和气浮转台回转精度。

另外一个实施例，在第一出气口、第二出气口和第三出气口采用不同的气源的情况下，控制通入第一出气口的气源的气压大于通入第二出气口的气源的气压。

实施例四

径向节流器5设置有周向气道20、轴向气道21和环形加强筋19。

周向气道20设置在径向节流器5的外侧面，且周向气道20的中轴线与径向节流器5的中轴线重合；

轴向气道21设置在径向节流器5的外侧面，轴向气道21与径向节流器5的中轴线平行，轴向气道21与周向气道20交叉且连通；

通过设置交错的周向气道20和轴向气道21，可以使径向出气口的空气先沿气道均匀的分布在径向节流器5的外侧面，然后在进入径向节流器5内的小孔，最终从径向节流器5的内侧面吹出，实现径向气膜的均匀分布，提升径向节流器5与转子6之间的气压均匀性，提升回转进度。

环形加强筋19设置在径向节流器5的外侧面，通过径向加强筋19增加径向节流器5的稳定性。

在径向节流器5弹性模量和剪切模量较小时，提升加强筋19的宽度和数量可减小节流器因气体压力导致的变形，提升了气浮压力分布的均匀性和气浮转台的回转精度。

实施例五

本实施例提供一种驱动组件，其用于驱动“工”字型结构中转动，从而带动位于上止推板2上方的待加工工件转动。

驱动组件包括定子套筒10、电机电子和电机动子12。

定子套筒10固定设置在下止推板8下方，需要保证定子套筒10相对于节流器安装座4的的位置固定，其可以通过连接装置与节流器安装座4固定连接，也可以通过连接装置直接与外部机架固定连接。

电机定子11设置在定子套筒10内，且电机电子的外侧面与定子套管固定连接，电机动子12设置在电机定子11内，且电机电子和电机动子12通过电磁力驱动相对转动，下止推板8与电机动子12同轴且固定连接。

电机定子11和电机动子12为配对的构件，其内部设置线圈和磁铁，通过对线圈通电产生磁场与磁铁发生反应从而驱动电机动子12转动，电机动子12与下止推板8固定连接，从而实现带动下止推板8转动。

实施例六

在实施例五种的驱动组件进行工作时，需要对其转动角度进行检测，才能完成气浮转台的控制、驱动、执行与反馈流程，进而实现精密控制，因此本实施例提供一个光栅尺位移传感器，光栅尺位移传感器包括标尺光栅14和光栅读数头15。

标尺光栅14呈环形设置，且通过光栅安装座13与下止推板8同轴且固定连接，光栅读数头15通过读数头安装座16与定子套筒10同轴且固定连接；

其中，光栅读数头15与标尺光栅14对应设置，且光栅读数头15检测标尺光栅14的转动角度。

电机控制器发出的脉冲信号驱动电机动子12旋转一定角度；光栅读数头15可以扫略一定时间内标尺光栅14转过的刻线条数，从而读出电机动子12转过的角度；

光栅尺位移传感器是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。

实施例七

为了实现防尘性能，避免杂质等进入气浮转台内部，对内部的零部件造成破坏，本实施例提供用于防尘和固定的防尘罩1、外壳、底盖17等结构。

设定上止推板2的上侧面为工作台面，上止推板2与节流器安装座4之间设置有防尘罩1，防尘罩1包括防尘罩1竖筒和防尘罩1圆环。

防尘罩1竖筒的下端与节流器安装座4固定连接，防尘罩1圆环的外环与防尘罩1竖筒的上端固定连接，上止推板2的上侧面设置有与防尘罩1圆环适配的凹槽。

通过设置防尘罩1，可以实现上止推板2与节流器安装座4之间的密封性，避免灰尘等杂志进入上止推板2、转子6、下止推板8和节流器安装座4之间。

定子套筒10与节流器安装座4之间通过壳体9固定连接，下止推板8设置在壳体9内，本实施例中通过壳体9实现定子套筒10与节流器安装座4的固定连接，即实现了位置固定功能，又具备了防尘的功能。

电机定子11通过定子压板18与定子套筒10固定连接，定子压板18的下端连接有用于封闭定子压板18和定子套筒10的底盖17。

通过设定端盖和定子压板18，实现固定和防尘的功能。

实施例八

本实施例提供一个上止推板2和下止推板8的实施例。

因为上止推板2需要沿中轴线转动，因此为了转动的稳定性，可以将其设定为圆板结构。

因为下止推板8需要与驱动组件和光栅尺位移传感器进行连接，因此将下止推板8设置为包括下止推板圆板和下止推板轴。

下止推板圆板设置在节流器安装座4的下方，且下止推板圆板的上侧面与转子6的下端连接；

下止推板轴竖直设置，下止推板轴的上端与下止推板圆板的下侧同轴固定连接，电机动子12与下止推板轴的外侧面固定连接，光栅安装座13与下止推板轴的下端同轴固定连接。

通过下止推板圆板与转轴和上止推板2形成“工”字型结构，通过下止推板轴实现与电机动子12和光栅安装座13的连接。

实施例九

本实施例是针对上述实施例中的“工”字型构件进行优化。

本实施例中的上止推板2、下止推板8和转子6的连接均通过螺栓连接。

通过采用上述技术方案，螺栓连接使得上止推板2、下止推板8和转子6的连接更为紧密；同时，通过拧紧和拧松螺钉可实现轴向气膜厚度的调整，乃至上止推板2、下止推板8和转子6的分离，方便安装与拆卸。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例/方式”、“一些实施例/方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例/方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例/方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例/方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例/方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例/方式或示例以及不同实施例/方式或示例的特征进行结合和组合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

本领域的技术人员应当理解，上述实施方式仅仅是为了清楚地说明本发明，而并非是对本发明的范围进行限定。对于所属领域的技术人员而言，在上述发明的基础上还可以做出其它变化或变型，并且这些变化或变型仍处于本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种气浮转台，其特征在于，包括：

节流器安装座，其具有上侧面和下侧面，且内部设置有连通上侧面和下侧面的圆通孔，所述节流器安装座的上侧面设置有第一出气口，所述节流器安装座的下侧面设置有第二出气口，所述节流器安装座的内侧面设置有径向出气口，所述节流器安装座内部设置有与所述第一出气口、所述第二出气口和所述径向出气口连通的供气通路；

转子，其同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内；

上止推板，其设置在所述上侧面的上方，且所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接；

下止推板，其设置在所述下侧面的下方，且所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接；

驱动组件，其与所述下止推板连接，且所述驱动组件驱动所述下止推板、所述转子和所述上止推板沿所述转子的中轴线同轴转动；

其中，所述转子的外径小于所述圆通孔的内径，所述上止推板的下侧面与所述下止推板的上侧面之间的距离大于所述节流器安装座的厚度；

工作时，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜，所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜，所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。

2.根据权利要求1所述的一种气浮转台，其特征在于，还包括：

上推力节流器，所述节流器安装座的上侧面设置有用于安装所述上推力节流器的上凹槽，所述第一出气口设置在所述上凹槽内；

下推力节流器，所述节流器安装座的下侧面设置有用于安装所述下推力节流器的下凹槽，所述第二出气口设置在所述下凹槽内；

径向节流器，所述节流器安装座的内侧面设置有用于安装所述径向节流器的环形槽，所述径向出气口设置在所述环形槽内。

3.根据权利要求2所述的一种气浮转台，其特征在于，所述上凹槽为环形凹槽，所述上推力节流器设置在所述上凹槽内，所述上推力节流器为与所述上凹槽适配的多孔介质构成的圆环；

所述下凹槽为环形凹槽，所述下推力节流器设置在所述下凹槽内，所述下推力节流器为与所述下凹槽适配的多孔介质构成的圆环；

所述径向节流器设置在所述环形槽内，所述径向节流器为与所述环形槽适配的多孔介质构成的圆筒；

所述上推力节流器的厚度不小于所述上凹槽的深度，所述下推力节流器的厚度不小于所述下凹槽的深度，所述径向节流器的厚度不大于所述环形槽的深度。

4.根据权利要求2所述的一种气浮转台，其特征在于，所述径向节流器设置有：

周向气道，其设置在所述径向节流器的外侧面，且所述周向气道的中轴线与所述径向节流器的中轴线重合；

轴向气道，其设置在所述径向节流器的外侧面，所述轴向气道与所述径向节流器的中轴线平行，所述轴向气道与所述周向气道交叉且连通；

环形加强筋，其设置在所述径向节流器的外侧面。

5.根据权利要求2所述的一种气浮转台，其特征在于，所述驱动组件包括：

定子套筒，其设置在所述下止推板下方，且所述定子套筒相对于所述节流器安装座位置固定；

电机定子，其设置在所述定子套筒内，且所述电机电子的外侧面与所述定子套管固定连接；

电机动子，其设置在所述电机定子内，且所述电机电子和所述电机动子通过电磁力驱动相对转动，所述下止推板与所述电机动子同轴且固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种气浮转台，其特征在于，所述驱动组件包括光栅尺位移传感器，所述光栅尺位移传感器包括：

标尺光栅，其呈环形设置，且通过光栅安装座与所述下止推板同轴且固定连接；

光栅读数头，其通过读数头安装座与所述定子套筒同轴且固定连接；

其中，所述光栅读数头与所述标尺光栅对应设置，且所述光栅读数头检测所述标尺光栅的转动角度。

7.根据权利要求1所述的一种气浮转台，其特征在于，设定所述上止推板的上侧面为工作台面，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有防尘罩，所述防尘罩包括：

防尘罩竖筒，其下端与所述节流器安装座固定连接；

防尘罩圆环，其外环与所述防尘罩竖筒的上端固定连接，所述上止推板的上侧面设置有与所述防尘罩圆环适配的凹槽。

8.根据权利要求5所述的一种气浮转台，其特征在于，所述定子套筒与所述节流器安装座之间通过壳体固定连接，所述下止推板设置在所述壳体内。

9.根据权利要求5所述的一种气浮转台，其特征在于，所述电机定子通过定子压板与所述定子套筒固定连接，所述定子压板的下端连接有用于封闭所述定子压板和所述定子套筒的底盖。

10.根据权利要求6所述的一种气浮转台，其特征在于，所述上止推板为圆板结构，所述下止推板包括：

下止推板圆板，其设置在所述节流器安装座的下方，且所述下止推板圆板的上侧面与所述转子的下端连接；

下止推板轴，其竖直设置，所述下止推板轴的上端与所述下止推板圆板的下侧同轴固定连接，所述电机动子与所述下止推板轴的外侧面固定连接，所述光栅安装座与所述下止推板轴的下端同轴固定连接。

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