JPH04217440A - 少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置 - Google Patents
少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置Info
- Publication number
- JPH04217440A JPH04217440A JP3037299A JP3729991A JPH04217440A JP H04217440 A JPH04217440 A JP H04217440A JP 3037299 A JP3037299 A JP 3037299A JP 3729991 A JP3729991 A JP 3729991A JP H04217440 A JPH04217440 A JP H04217440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bell
- guide
- shaped
- bearings
- mechanical part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 abstract 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/545—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces
- B23Q1/5462—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces with one supplementary sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は案内される機械部分を弾
発するための装置に関する。
発するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】座標測定装置の運動可能な測定往復台を
案内するために、空気軸受が屡々使用されており、当該
機械部分は、該軸受を介してその案内部上に支持されて
いる。その場合空気軸受の弾発は、案内される部分の自
重によって調達される。
案内するために、空気軸受が屡々使用されており、当該
機械部分は、該軸受を介してその案内部上に支持されて
いる。その場合空気軸受の弾発は、案内される部分の自
重によって調達される。
【０００３】しかし空気軸受が可能な限り高い剛性を有
しているその最適な作業点で空気軸受を作動せしめるた
めには、比較的大きな弾発力が必要である。このことは
、案内される部分が比較的大きな質量を所有する必要が
あることを意味している。これに反し質量は、前記部分
が運動することによって到達可能な、加速度乃至は速度
を制限してしまう。
しているその最適な作業点で空気軸受を作動せしめるた
めには、比較的大きな弾発力が必要である。このことは
、案内される部分が比較的大きな質量を所有する必要が
あることを意味している。これに反し質量は、前記部分
が運動することによって到達可能な、加速度乃至は速度
を制限してしまう。
【０００４】軸受は、案内される機械部分により付勢さ
れた対応軸受を介して弾発される場合が多い。しかしこ
の対策は、案内される部分が１方向上で直線状に運動可
能である場合にだけ、構造的に少ない費用でこれを使用
することができる。当該案内部にあっては、これが所謂
平らな案内部であり、該案内部上で当該機械部分が、２
つの自由度を以って同時に運動可能に支承されている。 その場合、対応軸受のために必要な捕捉部を案内部の背
面側部上で実現させることは実用上不可能である。
れた対応軸受を介して弾発される場合が多い。しかしこ
の対策は、案内される部分が１方向上で直線状に運動可
能である場合にだけ、構造的に少ない費用でこれを使用
することができる。当該案内部にあっては、これが所謂
平らな案内部であり、該案内部上で当該機械部分が、２
つの自由度を以って同時に運動可能に支承されている。 その場合、対応軸受のために必要な捕捉部を案内部の背
面側部上で実現させることは実用上不可能である。
【０００５】米国特許第４５５８９０９号明細書には所
謂自動吸着式の空気軸受が公開されている。この空気軸
受は、その外周部に吸着通路を有しており、該通路には
負圧が負荷され、軸受を当該案内面の方に引張っている
。しかし吸着通路のために軸受自体よりもより小さい面
が使用できるだけであり、しかも吸着力は高々大気圧の
圧力差だけで惹起されている。そのためこの公知の軸受
では僅かの弾発力しか発生することができない。しかし
この力では一般に不充分であり、軸受を可能な限り高い
剛性のために最適な作業領域内で稼動させることは不可
能である。
謂自動吸着式の空気軸受が公開されている。この空気軸
受は、その外周部に吸着通路を有しており、該通路には
負圧が負荷され、軸受を当該案内面の方に引張っている
。しかし吸着通路のために軸受自体よりもより小さい面
が使用できるだけであり、しかも吸着力は高々大気圧の
圧力差だけで惹起されている。そのためこの公知の軸受
では僅かの弾発力しか発生することができない。しかし
この力では一般に不充分であり、軸受を可能な限り高い
剛性のために最適な作業領域内で稼動させることは不可
能である。
【０００６】西ドイツ国特許出願公開公報第２８２９７
１５号明細書には座標測定装置が公開されており、空気
軸受を介して案内されているその機械部分は、その案内
部に対し磁石によって弾発されている。しかしそのため
に、当該案内部は強磁性体材料を内包する必要がある。 このことは種々の理由から不都合なことである。
１５号明細書には座標測定装置が公開されており、空気
軸受を介して案内されているその機械部分は、その案内
部に対し磁石によって弾発されている。しかしそのため
に、当該案内部は強磁性体材料を内包する必要がある。 このことは種々の理由から不都合なことである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、案内
される機械部分のための弾発装置を改良して、構造的に
大きな費用をかけずに比較的高い弾発力が得られるよう
にすることにある。
される機械部分のための弾発装置を改良して、構造的に
大きな費用をかけずに比較的高い弾発力が得られるよう
にすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、請求項１に
記載の特徴によって上記課題を解決することができた。
記載の特徴によって上記課題を解決することができた。
【０００９】
【発明の効果】案内される部分の軸受の間に配置された
本発明に基く釣鐘形吸着器は、弾発力の発生に対し特に
良好に適合しており、それは案内される部分がいづれも
空気軸受を介してその案内部上に支持されている場合で
ある。その理由は、正圧乃至は負圧を供給するのに必要
な装置が既に機械の上に存在しており、また空気軸受の
ために設けられた案内面は、平らで充分に大きく、かつ
そのため同時に、釣鐘形吸着器のための対応面としてこ
れを使用することができるからである。
本発明に基く釣鐘形吸着器は、弾発力の発生に対し特に
良好に適合しており、それは案内される部分がいづれも
空気軸受を介してその案内部上に支持されている場合で
ある。その理由は、正圧乃至は負圧を供給するのに必要
な装置が既に機械の上に存在しており、また空気軸受の
ために設けられた案内面は、平らで充分に大きく、かつ
そのため同時に、釣鐘形吸着器のための対応面としてこ
れを使用することができるからである。
【００１０】釣鐘形吸着器の有効な平面を、機械部分が
その上で支持されている軸受の有効な面に比べてより大
きく選択すると効果的である。その理由は、比較的小さ
な圧力差で、軸受のための充分に高い弾発力が得られる
からである。
その上で支持されている軸受の有効な面に比べてより大
きく選択すると効果的である。その理由は、比較的小さ
な圧力差で、軸受のための充分に高い弾発力が得られる
からである。
【００１１】更に釣鐘形吸着器が、機械部分の軸受位置
の近くでこれに固定されているような場合、例えば装着
している空気軸受上に直接支持されているような場合は
有利である。その場合弾発力の流れは機械部分上を通過
して導かれるので、該部分が変形を受けるようなことは
ない。
の近くでこれに固定されているような場合、例えば装着
している空気軸受上に直接支持されているような場合は
有利である。その場合弾発力の流れは機械部分上を通過
して導かれるので、該部分が変形を受けるようなことは
ない。
【００１２】釣鐘形吸着器は、有利には弾性的な封止リ
ップを有しており、該リップは、運動可能な部分の案内
面上に摩擦なしで載置され、かつこの面に対し釣鐘形吸
着器を封止している。
ップを有しており、該リップは、運動可能な部分の案内
面上に摩擦なしで載置され、かつこの面に対し釣鐘形吸
着器を封止している。
【００１３】しかし特に有利なのは、釣鐘形吸着器の封
止のために自動案内式の毛細管ギャップを設けることで
ある。該ギャップは、例えば負圧によって案内面上に浮
遊しているリングによってこれを発生せしめることがで
きる。その際封止面と基板との間には接触が全く行われ
ないので、摩擦が発生せず、そのために摩耗も発生しな
い。
止のために自動案内式の毛細管ギャップを設けることで
ある。該ギャップは、例えば負圧によって案内面上に浮
遊しているリングによってこれを発生せしめることがで
きる。その際封止面と基板との間には接触が全く行われ
ないので、摩擦が発生せず、そのために摩耗も発生しな
い。
【００１４】本発明は機械部分の弾発のために特別な利
点を提供している。それは該部分が、２つの自由度に関
し例えば１つの平面内においてその案内部上で運動可能
に支持されており、かつ案内部には、夫々直線状の案内
部を前提としているような取囲み部又は磁気的な対応可
動子を設けることは難しいからである。
点を提供している。それは該部分が、２つの自由度に関
し例えば１つの平面内においてその案内部上で運動可能
に支持されており、かつ案内部には、夫々直線状の案内
部を前提としているような取囲み部又は磁気的な対応可
動子を設けることは難しいからである。
【００１５】本発明のその他の利点については、次の実
施例の説明で述べることにする。
施例の説明で述べることにする。
【００１６】
本発明の実施例を図面に示し、次にこれを説明する。
【００１７】図１及び図２に図示の座標測定装置は機械
テーブル２を所有しており、該テーブル２は、４つの制
振器を介して機械の基礎１の上に位置している。図１の
図面には、２つの制振器４ａ及び４ｂだけが認められる
。
テーブル２を所有しており、該テーブル２は、４つの制
振器を介して機械の基礎１の上に位置している。図１の
図面には、２つの制振器４ａ及び４ｂだけが認められる
。
【００１８】テーブル２の上面はスタンド８のための平
らな案内部を形成しており、該スタンド８は、その脚部
５が３つの空気軸受６ａ乃至６ｃを介して支持されてお
り、かつこれから述べるように、テーブル上面上を直線
状にスライド可能かつ回動可能に案内されている。
らな案内部を形成しており、該スタンド８は、その脚部
５が３つの空気軸受６ａ乃至６ｃを介して支持されてお
り、かつこれから述べるように、テーブル上面上を直線
状にスライド可能かつ回動可能に案内されている。
【００１９】テーブル２上の側方に固定された案内条片
１０は、往復台１１を６個の空気軸受１２ａ乃至１２ｆ
によって矢印Ｘの方向に直線状に運動可能に案内してい
る。この往復台１１は、モータ２７と駆動装置２８とを
介して軸２９によって駆動されている。磨き軸２９の回
転運動は、例えば往復台１１上の所謂ローラリング駆動
装置によってこの上に伝達可能である。このような駆動
装置はそれ自体は公知である。往復台の運動は光電式の
発信器２６によって検知され、該発信器２６は案内条片
１０上に固定されたスケール２５を検知している。
１０は、往復台１１を６個の空気軸受１２ａ乃至１２ｆ
によって矢印Ｘの方向に直線状に運動可能に案内してい
る。この往復台１１は、モータ２７と駆動装置２８とを
介して軸２９によって駆動されている。磨き軸２９の回
転運動は、例えば往復台１１上の所謂ローラリング駆動
装置によってこの上に伝達可能である。このような駆動
装置はそれ自体は公知である。往復台の運動は光電式の
発信器２６によって検知され、該発信器２６は案内条片
１０上に固定されたスケール２５を検知している。
【００２０】往復台１１内の円筒状の中間部材７の領域
にスタンド８が位置しており、該中間部材７は、スタン
ドの脚部５に結合されてラジアル軸受１３内に挿入され
ている。このラジアル軸受１３によってスタンド８は、
往復台１１に向い合う図２の矢印αに対応して、そこに
符号Ａで図示の軸線を中心に回転できるようになってい
る。この場合スタンド８は、回転運動に関しても空気軸
受６ａ乃至６ｃを介してテーブル２の上面上で軸方向に
支持されている。その際この比較的大きなスラスト軸受
によって、回転運動中のスタンド８の揺動と、往復台１
１による直線状の運動中の傾動とが同じように阻止され
ている。
にスタンド８が位置しており、該中間部材７は、スタン
ドの脚部５に結合されてラジアル軸受１３内に挿入され
ている。このラジアル軸受１３によってスタンド８は、
往復台１１に向い合う図２の矢印αに対応して、そこに
符号Ａで図示の軸線を中心に回転できるようになってい
る。この場合スタンド８は、回転運動に関しても空気軸
受６ａ乃至６ｃを介してテーブル２の上面上で軸方向に
支持されている。その際この比較的大きなスラスト軸受
によって、回転運動中のスタンド８の揺動と、往復台１
１による直線状の運動中の傾動とが同じように阻止され
ている。
【００２１】往復台１１は、回転運動の駆動用にモータ
１６を装着しており、該モータ１６は、摩擦車駆動装置
１７を介しスタンド８と結合したディスク１８に作用を
及ぼしている。回動運動の範囲、つまり回動角αは、往
復台１１に固定された光電式発信器１４によって測定さ
れる。この角度αは、スタンド８の脚部５に固定された
部分円弧１５上で検出される。
１６を装着しており、該モータ１６は、摩擦車駆動装置
１７を介しスタンド８と結合したディスク１８に作用を
及ぼしている。回動運動の範囲、つまり回動角αは、往
復台１１に固定された光電式発信器１４によって測定さ
れる。この角度αは、スタンド８の脚部５に固定された
部分円弧１５上で検出される。
【００２２】スタンド８の下方領域内の駆動装置と測定
装置とは、カバー３によって覆われており、該カバー３
は、スタンド８がカバー３を貫通して係合している位置
の上方部分で案内方向Ｘに延びるスリットを有している
。カバー３の上方の領域内で、スタンド８は四角形に成
形されており、該スタンド８には、垂直往復台９が支承
されており、該往復台９は符号Ｚで図示の矢印の方向に
移動可能である。往復台９は座標測定装置の測定アーム
２１を装着しており、その前方端部には検出ヘッド２２
が当着されている。往復台９の直線運動は、光電式発信
器２０とスタンド８上に固定された測定スケール１９と
によって測定される。往復台９のための駆動装置は図面
には図示されていない。
装置とは、カバー３によって覆われており、該カバー３
は、スタンド８がカバー３を貫通して係合している位置
の上方部分で案内方向Ｘに延びるスリットを有している
。カバー３の上方の領域内で、スタンド８は四角形に成
形されており、該スタンド８には、垂直往復台９が支承
されており、該往復台９は符号Ｚで図示の矢印の方向に
移動可能である。往復台９は座標測定装置の測定アーム
２１を装着しており、その前方端部には検出ヘッド２２
が当着されている。往復台９の直線運動は、光電式発信
器２０とスタンド８上に固定された測定スケール１９と
によって測定される。往復台９のための駆動装置は図面
には図示されていない。
【００２３】検出ヘッド２２に向い合うテーブル上に、
駆動装置２４を備えたターンテーブル２３が組み込まれ
ている。このターンテーブルの回動軸線は、符号Ｂで図
示されてい。スタンド８とターンテーブル２３との両軸
線Ａ，Ｂの連結線は往復台１１の案内方向Ｘに対し平行
に延びている。ターンテーブル２３は測定さるべき半製
品を受容している。
駆動装置２４を備えたターンテーブル２３が組み込まれ
ている。このターンテーブルの回動軸線は、符号Ｂで図
示されてい。スタンド８とターンテーブル２３との両軸
線Ａ，Ｂの連結線は往復台１１の案内方向Ｘに対し平行
に延びている。ターンテーブル２３は測定さるべき半製
品を受容している。
【００２４】半製品を測定するために検出ヘッド２２は
、往復台１１及び９乃至はその駆動装置によって両直交
座標方向ｘ及びｚ内を移動せしめられる。欠落した第３
の座標方向ｙは、軸線Ａを中心にしたスタンド８の回動
運動によって代替えされる。その際検出ヘッドは、測定
アームのレバー長さγに対応しより強く又はより弱く湾
曲した接線運動を行う。
、往復台１１及び９乃至はその駆動装置によって両直交
座標方向ｘ及びｚ内を移動せしめられる。欠落した第３
の座標方向ｙは、軸線Ａを中心にしたスタンド８の回動
運動によって代替えされる。その際検出ヘッドは、測定
アームのレバー長さγに対応しより強く又はより弱く湾
曲した接線運動を行う。
【００２５】スタンド８が駆動装置２７によってテーブ
ル２の上面に亙り可能な限り迅速に運動することができ
るようにするため、スタンド８は軽量構造に設計されて
いる。つまりスタンド８はアルミニウムから成っている
。そのため、空気軸受６ａ乃至６ｃを弾発して該軸受が
最適な剛性の領域内で作動することができるようにする
ためには、その重量だけでは不充分である。そのため、
スタンド８の脚部５内の空気軸受６ａ乃至６ｃの間には
釣鐘形吸着器３０が固定されており、該吸着器３０は、
その開放された側部がテーブルの上面に向き合っており
、かつスタンド８をその内方を支配している負圧によっ
て付加的にこの案面に対して引張っている。 釣鐘形
吸着器の構造及び固定部が、図３に詳細に図示されてい
る。そこでは符号６ｂで図示された空気軸受を認めるこ
とができ、その上方にスタンド８の三角形状の脚５の脚
部が支持されている。そのために脚５は、この位置で調
節可能な止めボルト３９を介して空気軸受６ｂ内の球状
の受容部材上に静止している。固定部のこの形式は、一
般的に用いられている通常の型式のものである。
ル２の上面に亙り可能な限り迅速に運動することができ
るようにするため、スタンド８は軽量構造に設計されて
いる。つまりスタンド８はアルミニウムから成っている
。そのため、空気軸受６ａ乃至６ｃを弾発して該軸受が
最適な剛性の領域内で作動することができるようにする
ためには、その重量だけでは不充分である。そのため、
スタンド８の脚部５内の空気軸受６ａ乃至６ｃの間には
釣鐘形吸着器３０が固定されており、該吸着器３０は、
その開放された側部がテーブルの上面に向き合っており
、かつスタンド８をその内方を支配している負圧によっ
て付加的にこの案面に対して引張っている。 釣鐘形
吸着器の構造及び固定部が、図３に詳細に図示されてい
る。そこでは符号６ｂで図示された空気軸受を認めるこ
とができ、その上方にスタンド８の三角形状の脚５の脚
部が支持されている。そのために脚５は、この位置で調
節可能な止めボルト３９を介して空気軸受６ｂ内の球状
の受容部材上に静止している。固定部のこの形式は、一
般的に用いられている通常の型式のものである。
【００２６】脚部５内の支持部材３８内には止めボルト
３９が螺入されており、該支持部材３８は雄ねじを有し
、その上にナット３７が螺着されており、ナット３７の
上側部は同じように球面状に成形されている。ナット３
７の上には、凹形球面状の中間部材３６を介し、平面で
みて脚部と同じように三角形状に成形されたばね薄板３
２が載置されている。このばね薄板３２は、同じような
形式で通常の両軸受６ａ及び６ｃ上でスタンド８の脚部
５内に載置されている。
３９が螺入されており、該支持部材３８は雄ねじを有し
、その上にナット３７が螺着されており、ナット３７の
上側部は同じように球面状に成形されている。ナット３
７の上には、凹形球面状の中間部材３６を介し、平面で
みて脚部と同じように三角形状に成形されたばね薄板３
２が載置されている。このばね薄板３２は、同じような
形式で通常の両軸受６ａ及び６ｃ上でスタンド８の脚部
５内に載置されている。
【００２７】ばね薄板３２の下側部には、スタンド８の
軸線に対し中心部にリング３１が螺合されており、その
下側部には再び同じようにリング状の弾性的な封止リッ
プ３０が当着されている。
軸線に対し中心部にリング３１が螺合されており、その
下側部には再び同じようにリング状の弾性的な封止リッ
プ３０が当着されている。
【００２８】封止リップ３０と、リング３１と、ばね薄
板３２の中心領域と、から形成されているコップ３４の
内部は、部分的に排気されており、かつそのために、リ
ング３１内の孔３３を介して吸引導管３５に接続されて
いる。このような形式で、付勢されて懸止された釣鐘形
吸着器が形成され、該吸着器は、スタンド８の脚部５を
テーブル２の上面の方に付加的な弾発力で引張っている
。この力は、釣鐘形吸着器の内部の圧力（Ｔ−）と大気
圧との間の圧力差に依存し、また封止リップ３０によっ
て閉鎖されている領域内の横断面積に依存している。
板３２の中心領域と、から形成されているコップ３４の
内部は、部分的に排気されており、かつそのために、リ
ング３１内の孔３３を介して吸引導管３５に接続されて
いる。このような形式で、付勢されて懸止された釣鐘形
吸着器が形成され、該吸着器は、スタンド８の脚部５を
テーブル２の上面の方に付加的な弾発力で引張っている
。この力は、釣鐘形吸着器の内部の圧力（Ｔ−）と大気
圧との間の圧力差に依存し、また封止リップ３０によっ
て閉鎖されている領域内の横断面積に依存している。
【００２９】ナット３７と、別の両空気軸受上の対応す
る両ナットとによって吸着ヘッドの高さを調節すること
ができるので、封止リップ３０は真空部を密封はするも
のの、それによってテーブル表面に対し極度に大きな力
で引張るようなことはない。またこれによって、封止リ
ップ３０とテーブル上面との間の摩擦を最小にすること
ができる。付加的な釣鐘形吸着器によって、スタンド８
乃至はその脚部内の変形が惹き起こされるようなことは
ない。その理由は、釣鐘形吸着器が空気軸受上で直接支
持されており、力の流れもスタンド上を通過して行くか
らである。
る両ナットとによって吸着ヘッドの高さを調節すること
ができるので、封止リップ３０は真空部を密封はするも
のの、それによってテーブル表面に対し極度に大きな力
で引張るようなことはない。またこれによって、封止リ
ップ３０とテーブル上面との間の摩擦を最小にすること
ができる。付加的な釣鐘形吸着器によって、スタンド８
乃至はその脚部内の変形が惹き起こされるようなことは
ない。その理由は、釣鐘形吸着器が空気軸受上で直接支
持されており、力の流れもスタンド上を通過して行くか
らである。
【００３０】前記の実施例にあっては、本発明が座標測
定装置の上に図示されており、そのスタンドは、１方向
に直線状にスライド可能であって、同時に面支承部によ
り回動可能に載置されている。本発明は座標測定装置の
場合に明らかに良好に使用することができる。そのスラ
イドは、例えば互いに直交する２つの方向ｘ，ｙで、テ
ーブル上面２上を自由に運動可能に案内されている。
定装置の上に図示されており、そのスタンドは、１方向
に直線状にスライド可能であって、同時に面支承部によ
り回動可能に載置されている。本発明は座標測定装置の
場合に明らかに良好に使用することができる。そのスラ
イドは、例えば互いに直交する２つの方向ｘ，ｙで、テ
ーブル上面２上を自由に運動可能に案内されている。
【００３１】図４乃至図６には、釣鐘形吸着器を実現す
るための別の実施例が図示されている。ここでは機械テ
ーブルの上面が符号１０２で図示され、またばね薄板が
符号１３２で図示されている。釣鐘形吸着器は、該薄板
１３２を介して図示なしの空気軸受上でスタンドの脚部
に載置されている。
るための別の実施例が図示されている。ここでは機械テ
ーブルの上面が符号１０２で図示され、またばね薄板が
符号１３２で図示されている。釣鐘形吸着器は、該薄板
１３２を介して図示なしの空気軸受上でスタンドの脚部
に載置されている。
【００３２】釣鐘形吸着器はばね薄板１３２の下側部に
軸受体１３１を所有しており、該軸受体１３１は、孔１
３３を介して釣鐘形吸着器の内方に発生さるべき負圧の
ための接続導管１３５に接続されている。軸受体１３１
は、それをリング状に取り囲んでいる円筒膜１３０を介
して封止リング１３６に気密状に接続されている。この
封止リング１３６は、テーブル上面上に浮遊状に載置さ
れている。このため封止リング１３６の下側部にリング
状の通路１３７が加工されており、該通路１３７には、
孔１４０を介し接続部材１３８によって負圧が供給され
ている。つまりリング１３６は、テーブル上面１０２上
に載置された浮遊状の空気軸受を形成しており、またこ
の空気軸受の毛細状軸受ギャップ１３９が、部材１３０
，１３１及び１３６によって形成された釣鐘形吸着器の
内部１３４を封止している。リング通路内の正圧は、軸
受ギャップ１３９がほぼ６μｍのスリット高さを保持す
るように選択されている。この極めて小さなギャップに
より、釣鐘形吸着器の内部における小さな負圧のために
充分に高い流れ抵抗が形成される。その結果、小さな吐
出能力の吸着ポンプで負圧を正しく保持することができ
るようになる。封止リング１３６は、弾性的な円筒膜に
よって軸受体１３１から分離されている。つまり組立及
び運転中には、テーブル上面１０２と、釣鐘形吸着器に
よって引張られている機械部分との間で大きな垂直方向
の高さ変更が許容され、その場合封止機能が阻害される
ようなことはない。つまり封止ギャップ１３９は一定値
に留まっている。機械部分を装着している空気軸受乃至
は釣鐘形吸着器の面倒な調整を省略することができ、か
つ釣鐘形吸着器とテーブル上面との間に接触部が全く形
成されないので、あらゆる形の摩擦及び摩耗を阻止する
ことができる。
軸受体１３１を所有しており、該軸受体１３１は、孔１
３３を介して釣鐘形吸着器の内方に発生さるべき負圧の
ための接続導管１３５に接続されている。軸受体１３１
は、それをリング状に取り囲んでいる円筒膜１３０を介
して封止リング１３６に気密状に接続されている。この
封止リング１３６は、テーブル上面上に浮遊状に載置さ
れている。このため封止リング１３６の下側部にリング
状の通路１３７が加工されており、該通路１３７には、
孔１４０を介し接続部材１３８によって負圧が供給され
ている。つまりリング１３６は、テーブル上面１０２上
に載置された浮遊状の空気軸受を形成しており、またこ
の空気軸受の毛細状軸受ギャップ１３９が、部材１３０
，１３１及び１３６によって形成された釣鐘形吸着器の
内部１３４を封止している。リング通路内の正圧は、軸
受ギャップ１３９がほぼ６μｍのスリット高さを保持す
るように選択されている。この極めて小さなギャップに
より、釣鐘形吸着器の内部における小さな負圧のために
充分に高い流れ抵抗が形成される。その結果、小さな吐
出能力の吸着ポンプで負圧を正しく保持することができ
るようになる。封止リング１３６は、弾性的な円筒膜に
よって軸受体１３１から分離されている。つまり組立及
び運転中には、テーブル上面１０２と、釣鐘形吸着器に
よって引張られている機械部分との間で大きな垂直方向
の高さ変更が許容され、その場合封止機能が阻害される
ようなことはない。つまり封止ギャップ１３９は一定値
に留まっている。機械部分を装着している空気軸受乃至
は釣鐘形吸着器の面倒な調整を省略することができ、か
つ釣鐘形吸着器とテーブル上面との間に接触部が全く形
成されないので、あらゆる形の摩擦及び摩耗を阻止する
ことができる。
【００３３】リング通路１３７は、図６から明かなよう
に、有利には約１２０°の角度領域に亙って延びている
３つの個別扇形部１３７ａ，１３７ｂ及び１３７ｃに分
割されており、該扇形部には夫々、唯１つの孔と唯１つ
の絞りとを介して正圧が供給されている。この対策によ
り封止リング１３６は、傾動に対しテーブル面に安定し
て載置されるようになり、また封止ギャップ１３９はリ
ングの全外周に亙って一定に保たれるようになる。
に、有利には約１２０°の角度領域に亙って延びている
３つの個別扇形部１３７ａ，１３７ｂ及び１３７ｃに分
割されており、該扇形部には夫々、唯１つの孔と唯１つ
の絞りとを介して正圧が供給されている。この対策によ
り封止リング１３６は、傾動に対しテーブル面に安定し
て載置されるようになり、また封止ギャップ１３９はリ
ングの全外周に亙って一定に保たれるようになる。
【００３４】図４の下方には、釣鐘形吸着器の下方の圧
力がその直径に亙って図示されている。それによれば、
封止リング１３６の領域内では外周的な正圧（Ｐ＋）が
支配している。これに反しそこでリング上に加工された
窪み部の領域内の内周面から、釣鐘形吸着器内を支配し
ている負圧（Ｐ−）が、封止リング１３６上に作用し、
またここには図示なしの空気軸受と同じように、封止リ
ング１３６を同様な形式で弾発しており、該空気軸受の
上方にはばね薄板１３２が支持されている。この弾発に
よって、封止リング１３６の封止ギャップ１３９は安定
し、かつ小さな値に保持されるようになる。
力がその直径に亙って図示されている。それによれば、
封止リング１３６の領域内では外周的な正圧（Ｐ＋）が
支配している。これに反しそこでリング上に加工された
窪み部の領域内の内周面から、釣鐘形吸着器内を支配し
ている負圧（Ｐ−）が、封止リング１３６上に作用し、
またここには図示なしの空気軸受と同じように、封止リ
ング１３６を同様な形式で弾発しており、該空気軸受の
上方にはばね薄板１３２が支持されている。この弾発に
よって、封止リング１３６の封止ギャップ１３９は安定
し、かつ小さな値に保持されるようになる。
【図１】符号８で図示の運動可能なスタンドを弾発する
ために、本発明の装置を備えた座標測定装置の概略縦断
面図である。
ために、本発明の装置を備えた座標測定装置の概略縦断
面図である。
【図２】符号８で図示の運動可能なスタンドを弾発する
ために、本発明の装置を備えた座標測定装置のカバーを
取外した場合の概略平面図である。
ために、本発明の装置を備えた座標測定装置のカバーを
取外した場合の概略平面図である。
【図３】図１のＩＩＩで図示した鎖線によって取り囲ま
れた領域の拡大断面図である。
れた領域の拡大断面図である。
【図４】図３に図示の釣鐘形吸着器のための第２実施例
の断面図と、釣鐘形吸着器の下方の半径方向の圧力分布
のグラフである。
の断面図と、釣鐘形吸着器の下方の半径方向の圧力分布
のグラフである。
【図５】図４の釣鐘形吸着器を下方からみた平面図であ
る。
る。
１ 基礎
２ 機械テーブル
３ カバー
４ａ，４ｂ 制振器
５ 脚部
６ａ乃至６ｃ 空気軸受
７ 中間部材
８ スタンド
９ 垂直往復台
１０ 案内条片
１１ 往復台
１２ａ乃至１２ｆ 空気軸受
１３ ラジアル軸受
１５ 円形部材
１６ モータ
１７ 摩擦車
１８ ディスク
１９ スケール
２０ 発信器
２１ 測定アーム
２２ 検出ヘッド
２３ ターンテーブル
２４ 駆動装置
２５ スケール
２６ 発信器
２７ モータ
２８ 駆動装置
２９ 軸
３０ 釣鐘形吸着器
３１ リング
３２ ばね薄板
３３ 孔
３４ コップ
３５ 吸引導管
３６ 中間部材
３７ ナット
３８ 支持部分
３９ 止めボルト
１０２ 上面
１３０ 円筒膜
１３１ 軸受体
１３２ ばね薄板
１３３ 孔
１３４ 内部
１３５ 接続導管
１３６ 封止リング
１３７ 通路
１３７ａ乃至１３７ｃ 個別扇形部１３８
接続部材 １３９ 毛細状軸受ギャップ １４０ 孔 Ａ，Ｂ 軸線 Ｘ，Ｚ，α，β 矢印 Ｐ＋ 正圧 Ｐ− 負圧 γ レバー長さ Ｔ− 圧力
接続部材 １３９ 毛細状軸受ギャップ １４０ 孔 Ａ，Ｂ 軸線 Ｘ，Ｚ，α，β 矢印 Ｐ＋ 正圧 Ｐ− 負圧 γ レバー長さ Ｔ− 圧力
Claims (11)
- 【請求項１】 案内される機械部分を弾発するための
装置であって、該機械部分は、その案内部（２）の上で
複数の軸受（６ａ乃至６ｃ）を介して支持されている形
式のものにおいて、装置が軸受の間に配置された釣鐘形
吸着器（３４，１３４）であることを特徴とする、案内
される機械部分を弾発するための装置。 - 【請求項２】 釣鐘形吸着器（３４）が、機械部分（
５乃至８）のための案内平面（２）に直接載置されてい
ることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 釣鐘形吸着器（３４）の有効な面が、
軸受（６ａ乃至６ｃ）の有効な面に比べて大きく、その
面の上に機械部分（５乃至８）が支持されていることを
特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項４】 釣鐘形吸着器（３４）が、機械部分（
５乃至８）の支承位置の近くで該機械部分に固定されて
いることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項５】 釣鐘形吸着器（３４）が、付勢されて
機械部分（５乃至８）に結合されていることを特徴とす
る、請求項１記載の装置。 - 【請求項６】 軸受（６ａ乃至６ｃ）がガス軸受乃至
は空気軸受であることを特徴とする、請求項１記載の装
置。 - 【請求項７】 機械部分（５乃至８）が、２方向の自
由度に関し、平らな案内部（２）上で運動可能に支持さ
れていることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項８】 釣鐘形吸着器（３４）が弾性的な封止
リップ（３０）を所有し、該リップ（３０）は摩擦なし
で案内面（２）上に載設されていることを特徴とする、
請求項１記載の装置。 - 【請求項９】 釣鐘形吸着器（１３４）が、案内面（
１０２）の上で浮遊状に載置されている封止リング（１
３６）を介して封止されていることを特徴とする、請求
項１記載の装置。 - 【請求項１０】 リング（１３６）が空気軸受の形式
に基いて形成されており、その際軸受ギャップ（１３９
）は毛細状の封止ギャップとして作用し、かつ弾性的な
薄膜（１３０）を介して釣鐘形吸着器（１３４）の軸受
体（１３１）に気密状に結合されていることを特徴とす
る、請求項９記載の装置。 - 【請求項１１】 少くとも１方向に案内されて運動可
能な機械部分（５乃至８）を備えた座標測定装置であっ
て、該機械部分が複数の軸受（６ａ乃至６ｃ）を介して
案内部（２）上に支持されており、該案内部は付加装置
によって弾発されている形式のものにおいて、付加装置
が軸受（６ａ乃至６ｃ）の間に配置された釣鐘形吸着器
（３４）であり、該吸着器（３４）は、負圧によって機
械部分を案内部（２）の方に引張っていることを特徴と
する座標測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4006853A DE4006853A1 (de) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | Einrichtung zur vorspannung eines gefuehrten maschinenteils |
| DE4006853.6 | 1990-03-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04217440A true JPH04217440A (ja) | 1992-08-07 |
| JP3378586B2 JP3378586B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=6401444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03729991A Expired - Fee Related JP3378586B2 (ja) | 1990-03-05 | 1991-03-04 | 少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5129733A (ja) |
| EP (1) | EP0445605B1 (ja) |
| JP (1) | JP3378586B2 (ja) |
| DE (2) | DE4006853A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018211219A1 (de) | 2017-07-07 | 2019-01-10 | Mitutoyo Corporation | bewegbare Portalvorrichtung und dreidimensionale Messmaschine |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004005515B3 (de) * | 2004-02-03 | 2005-06-16 | Diamant-Metallplastic Gmbh | Auf einer Unterlage mittels eines Druckpolsters abstützbares und darauf verschiebbares Gleitlager |
| DE102009019773B4 (de) | 2009-04-30 | 2022-03-03 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Verfahren zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von mittels Gaslagerelementen geführten Tischen und Verwendung von Luftlagerelementen mit Dichtsystemen für in Umgebungsatmosphäre geführte Tischsysteme |
| CN102678748B (zh) * | 2011-03-07 | 2014-07-16 | 上海微电子装备有限公司 | 分体式气足 |
| WO2013110337A1 (de) | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Maschine mit verbessertem vorgespannten fluidlager |
| US10557589B1 (en) * | 2018-01-19 | 2020-02-11 | Mainstream Engineering Corporation | Mounting pad and method for deterring theft and securing outdoor equipment and appliances against high winds |
| JP7162989B2 (ja) * | 2019-02-04 | 2022-10-31 | 株式会社ミツトヨ | 一次元測定機及びプログラム |
| CN113607101B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-11-24 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种圆柱筒类零件检测固定装置及固定方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE630212A (ja) * | 1962-03-28 | |||
| IT1083098B (it) * | 1977-07-11 | 1985-05-21 | Dea Spa | Macchina utensile o macchina di misura con scorrimento a pattini pneumatici e magnetici |
| EP0121829B1 (de) * | 1983-03-30 | 1987-05-20 | Wyler AG Wasserwaagen und Messwerkzeuge | Lagerkörper für Luftlagerungen |
| DE3561146D1 (en) * | 1984-09-25 | 1988-01-21 | Diamant Boart Sa | Apparatus for handling glass sheets |
| US4749283A (en) * | 1985-09-12 | 1988-06-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Static pressure bearing |
| US4726689A (en) * | 1986-10-22 | 1988-02-23 | Eclipse Ion Technology, Inc. | Linear gas bearing with integral vacuum seal for use in serial process ion implantation equipment |
| JP2602648B2 (ja) * | 1987-01-14 | 1997-04-23 | キヤノン株式会社 | 回転駆動装置 |
| DE3888102D1 (de) * | 1987-11-25 | 1994-04-07 | Esec Sa | Einrichtung zur Durchführung der Zustellbewegung eines Arbeitsorgans zu einer Arbeitsstation. |
-
1990
- 1990-03-05 DE DE4006853A patent/DE4006853A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-02-22 DE DE59102884T patent/DE59102884D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-22 EP EP91102616A patent/EP0445605B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-27 US US07/661,703 patent/US5129733A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-04 JP JP03729991A patent/JP3378586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018211219A1 (de) | 2017-07-07 | 2019-01-10 | Mitutoyo Corporation | bewegbare Portalvorrichtung und dreidimensionale Messmaschine |
| US10781856B2 (en) | 2017-07-07 | 2020-09-22 | Mitutoyo Corporation | Gate-type moving device and three-dimensional measuring machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0445605B1 (de) | 1994-09-14 |
| EP0445605A2 (de) | 1991-09-11 |
| EP0445605A3 (en) | 1992-02-26 |
| US5129733A (en) | 1992-07-14 |
| JP3378586B2 (ja) | 2003-02-17 |
| DE59102884D1 (de) | 1994-10-20 |
| DE4006853A1 (de) | 1991-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5291692A (en) | Polishing work holder | |
| JPH04217440A (ja) | 少なくとも１つの方向に案内された運動可能な機械部分を備えた案内装置 | |
| CN104354135A (zh) | 航空发动机转静子装配/测量五自由度调整定位方法与装置 | |
| AU2005263847B2 (en) | Device for guiding a shaft in an oscillating movement | |
| KR100265729B1 (ko) | (디스크플레이어및,이에채용되는자기보상형밸런서일체형턴테이블,자기보상형밸런서일체형클램퍼및자기보상형밸런서일체형스핀들모터 | |
| CN1196691A (zh) | 稳定离心机转子的装置和方法 | |
| US20120115403A1 (en) | Pad conditioner head for conditioning a polishing pad | |
| JPH09105413A (ja) | 軸受ユニット | |
| KR20180101303A (ko) | 기판 보유 지지 장치, 연마 장치, 연마 방법 및 리테이너 링 | |
| US11193762B2 (en) | Rotary table and roundness measuring apparatus | |
| CN108828061A (zh) | 一种不锈钢无缝短管表面微细缺陷的涡流检测装置 | |
| CN111285031B (zh) | 一种旋转台 | |
| CN110714935B (zh) | 一种角度可调的风机轴承座及其工作方法 | |
| KR100425455B1 (ko) | 회전체 테스트 장치 | |
| CN209632733U (zh) | 一种数控拉丝机的抛光装置 | |
| US2539027A (en) | Vibrating tracer stylus | |
| CN115116812A (zh) | 一种高精度电子显微镜 | |
| CN221149973U (zh) | 一种晶圆承载台及晶圆加工系统 | |
| JPH1075094A (ja) | 電子部品実装機用装着装置 | |
| JP2020202268A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH0979319A (ja) | 除振装置 | |
| US5592807A (en) | Bearing arrangement for an open-end spinning rotor | |
| KR950033473A (ko) | 진공 및 특수 환경 분위기에서 사용하기 위한 마찰 및 마모 시험 장치 | |
| CN2463602Y (zh) | 金属旋转干磨擦无谐振全向垫式隔振器 | |
| CN209118058U (zh) | 一种便于调节激光光束角度的光绘机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |