JP3377920B2 - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板間に挟
持された液晶に対する電圧の印加を制御して画像を表示
する液晶表示パネルの製造方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来から、図３に示したように、液晶表
示パネルは、柔らかく、シート抵抗が０．２Ω／□ぐら
いの低抵抗な金属であるＡｌ、又は、そのようなＡｌに
３％程度のＴａ（タンタル）、Ｔｉ（チタン）等の高融
点金属を含有させたＡｌ系合金で形成されている複数の
走査信号配線３と複数の映像信号配線２と、その配線が
交差する位置にある透明導電膜（ＩＴＯ）で形成された
画素電極６とから構成されている。その画素電極６の一
つ一つの液晶セルに対して、ＴＦＴトランジスタによっ
て電圧の印加を制御することにより、画像表示を行って
いる。 【０００３】このような液晶表示パネルは、その製造工
程においては、ダストによるパターニング異常や静電気
等による素子破壊など様々な原因で不良が発生するた
め、液晶駆動用ＬＳＩに実装する電極の全数に検査用プ
ローブ電極を接触させて、製造工程で複数回の検査を実
施し、製造が行われている。 【０００４】しかし、近年では表示品位の向上のため高
精細化が進んでおり、画素数が増加する傾向である。そ
のため、液晶駆動用ＬＳＩの実装電極間隔は狭くなり、
上記で述べた製造過程で複数回の検査をするための検査
用プローブ電極の接触間隔も狭くなり、そのような状態
で映像信号配線や走査信号配線の一本一本にプローブ電
極を接触させるということは、その作製費用が非常に高
価なものとなったり、作製期間も長くなるということに
つながる。その上、プローブ電極の接触の安定性を得る
ことやプローブ電極の保守などが大変困難となる。 【０００５】特に液晶駆動用ＬＳＩをゲート実装電極４
およびソース実装電極５に直接実装するチップオングラ
ス工法を用いた液晶表示パネルでは、検査用プローブを
ゲート実装電極４およびソース実装電極５のパッドに直
接コンタクトすることは不可能である。 【０００６】そのため、プローブなどの開発費の抑制、
開発期間の短縮、簡易な信号かつ簡易なプローブで検査
できることが望まれている。そこで、簡易的な検査方法
として、図３に示したように、ソース実装電極５に接続
された複数の映像信号配線２とゲート実装電極４に接続
された複数の走査信号配線３の少なくとも一方に接続部
１２で接続した共通バス配線１に対して、検査用電極端
子９を形成し、この検査用電極端子９に検査用プローブ
を立てて検査用信号１３を供給して液晶表示パネルの検
査を行い、その良否の判定を行っている。その後に、液
晶画面８より外側に設けた共通バス配線１に接続する映
像信号配線２と走査信号配線３の少なくともどちらか一
方を、図３に示したように、切断する部分１１をレーザ
ー光により切断することによって切り離し、液晶表示パ
ネルの最終形態を得ている。 【０００７】このように、液晶表示パネルの共通バス配
線をレーザー光で切断する工程は、一番最後であり、画
像表示検査を行った後に行う特に重要な工程である。こ
の工程で不良パネルを出さないことが、ロスコストの削
減および生産性向上のためには不可欠である。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来の液晶表示パネルでは、前述のように、映像信
号配線２、走査信号配線３、および共通バス配線１の各
配線は、柔らかく且つ低抵抗な金属であるＡｌ、また
は、そのようなＡｌにＴａ（タンタル）、Ｔｉ（チタ
ン）等の高融点金属を含有させたＡｌ系合金で形成され
ている。 【０００９】各配線１，２，３をレーザー光で切断した
とき、切断されたＡｌが飛び散り、他の配線と隣接ショ
ートしたり、又、Ａｌは非常に腐食しやすいためレーザ
ー光で切断した端面から容易に腐食が進行したりすると
いう問題点を有していた。 【００１０】また、画面内部の配線２，３にショートが
あった場合は、抵抗が低いため共通バス配線１が直接リ
ークすることにより画面全体の表示異常となり、ショー
トした配線２，３部分を特定することが不可能であると
いう問題点も有していた。 【００１１】さらに、このＡｌは抵抗が低いため、液晶
画面８より外側で発生したサージ電圧がそのまま直接液
晶画面８内に進入し、その部分で絶縁破壊が起こるとい
う問題点をも有していた。 【００１２】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、サージ電圧の進入による絶縁破壊を防止してパネ
ルの不良率を低下することができ、また、ショートした
配線の位置を確実に特定し不良配線の救済処置を施すこ
とが可能となり歩留まりを向上することができ、さらに
映像信号配線、走査信号配線および共通バス配線の各配
線に対するレーザー光での切断の際に、その切断に起因
して起こる切断されたＡｌの飛び散りによる配線ショー
トや切断端面の腐食などによる不良発生を低減すること
ができる液晶表示パネルの製造方法を提供する。 【００１３】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の液晶表示パネルは、映像信号配線及び走査信号
配線の少なくともどちらか一方と液晶画面より外側の共
通バス配線とを、直接つなぐのではなく、Ａｌ又はＡｌ
系合金より高抵抗で硬度が高く且つ高融点で良好な耐腐
食性を有する導電性材料で形成された接続配線を介して
接続することにより、接続配線の高抵抗という特性を利
用して、液晶画面より外側で発生したサージ電圧をその
液晶画面内への進入を防止して、周りに逃がすととも
に、画像検査工程における線欠陥の検出を容易にするこ
とを特徴とする。 【００１４】また、接続配線の高硬度および高融点とい
う特性を利用して、レーザー光切断の際の金属の飛び散
りを抑制するとともに、接続配線の良耐腐食性という特
性を利用して、レーザー光切断による腐食を防止するこ
とを特徴とする。 【００１５】以上により、サージ電圧の侵入による絶縁
破壊を防止して部材としての不良率を低下することがで
きるとともに、映像信号配線、走査信号配線および共通
バス配線の各配線に対するレーザー光での切断の際に、
その切断に起因して起こる切断されたＡｌの飛び散りに
よる配線ショートや切断端面の腐食などによる不良発生
を低減することができる。 【００１６】 【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の液晶表
示パネルの製造方法は、ガラス基板間に挟持された液晶
に印加する電圧を、前記ガラス基板上に形成されたＡｌ
またはＡｌ系合金からなる複数の映像信号配線および走
査信号配線を通じて制御し、前記ガラス基板上の液晶画
面に画像を表示する液晶表示パネルの製造方法であっ
て、前記複数の映像信号配線または複数の走査信号配線
の前記液晶画面外における部分と、前記複数の映像信号
配線または複数の走査信号配線を検査用電極端子に共通
接続するため前記液晶画面外に設けられた共通バス配線
との間に、これらを接続する前記ＡｌまたはＡｌ系合金
より高抵抗で硬度が高くかつ高融点で良好な耐食性を有
する導電体からなる接続配線を形成する接続配線形成工
程と、前記検査用電極端子から検査用信号を入れ、画像
検査を行った後、前記接続配線をレーザー光により２回
切断する接続配線切断工程とを含む方法とする。 【００１７】 【００１８】 【００１９】これらの構成によると、映像信号配線及び
走査信号配線の少なくともどちらか一方と液晶画面より
外側の共通バス配線とを、直接つなぐのではなく、Ａｌ
又はＡｌ系合金より高抵抗で硬度が高く且つ高融点で良
好な耐腐食性を有する導電性材料で形成された接続配線
を介して接続することにより、接続配線の高抵抗という
特性を利用して、液晶画面より外側で発生したサージ電
圧をその液晶画面内への進入を防止して、周りに逃がす
とともに、画像検査工程における線欠陥の検出を容易に
する。 【００２０】また、接続配線の高硬度および高融点とい
う特性を利用して、レーザー光切断の際の金属の飛び散
りを抑制するとともに、接続配線の良耐腐食性という特
性を利用して、レーザー光切断による腐食を防止する。 【００２１】以下、本発明の実施の形態を示す液晶表示
パネルについて、図面を参照しつつ具体的に説明する。
図１は本実施の形態の液晶表示パネルの概略構成図であ
る。なお、図３に示した従来の液晶表示パネルと同一構
成部分には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。 【００２２】図１に示した液晶表示パネルは、アクティ
ブ駆動方式の液晶表示パネルであり、一対のガラス基板
間に液晶が封入され、ガラス基板間の一方に備えた対向
電極（図示せず）と、ガラス基板間の他方に備えた複数
の走査信号配線３及び複数の映像信号配線２と、複数の
走査信号配線３と映像信号配線２が交差する部分に設け
た画素電極６と、複数の映像信号配線２または複数の走
査信号配線３に接続する接続配線１０と、その接続配線
１０に接続する共通バス配線１とを備えたものである。 【００２３】ここで、映像信号配線２と走査信号配線３
を備えるガラス基板７を説明すると、複数の映像信号配
線２の駆動用ＬＳＩであるソースドライバ５を実装する
ための電極と反対の端にある共通バス配線１とは、それ
ぞれの間に形成された赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の
画素配列をもつ映像信号配線２と接続配線１０とによっ
て接続される。すなわち、１本の共通バス配線１に対し
て映像信号配線２が３本毎に対応する接続配線１０を介
して接続され、３本の共通バス配線１はそれぞれ対応す
る検査用電極端子９に接続されている。 【００２４】このような構成により、各映像信号配線２
の駆動用ＬＳＩであるソースドライバ５の実装電極に検
査用のプローブを接続しなくても、共通バス配線１に接
続されている検査用電極端子９にプローブを接続するこ
とによって、画像表示の検査を容易に行うことができ
る。 【００２５】又、このままの状態では最終の液晶表示パ
ネルにはならないので、図１に示した液晶画面８の外側
で、映像信号配線２と共通バス配線１をつなぐために設
けた接続配線１０をレーザー光で切断する部分１１を切
断することにより、共通バス配線１により接続されてい
た各映像信号配線２が一本一本分離した状態の最終の液
晶表示パネルになる。 【００２６】ここで、レーザー光により切断する部分１
１を切断する工程及び接続配線１０を説明する。図２に
示したように、液晶画面８より液晶画面外１５に伸びた
複数の映像信号配線２は、低抵抗金属であるＡｌ、また
は、そのようなＡｌに３％程度のＴａ（タンタル）やＴ
ｉ（チタン）等の高融点金属を含有させたＡｌ系合金で
形成されている。これらの映像信号配線２に接続する接
続配線１０は、高抵抗で硬度が高く高融点な導電体材料
で形成されている。これら映像信号配線２および接続配
線１０は直接接続することはできないので、液晶画面外
１５において、接続部１２を設けて接続されている。
又、映像信号配線２と同じ材質で形成された共通バス配
線１も接続部１２を通じて接続配線１０に接続されてい
る。 【００２７】そして各々共通バス配線１の一方には検査
用電極端子９を設けている。レーザー光で切断する工程
は、この検査用電極端子９から検査用信号１３を入れて
画像検査を行うことにより検査工程が終了し、このよう
なパネル工程が完了した後に行う。このとき液晶表示パ
ネルに対して表側から切断すると偏光板等で接続配線１
０が見えなくなり切断しにくいので、液晶表示パネルに
対して裏側から切断する。 【００２８】液晶表示パネルを裏側が見えるように置
き、真上からレーザー光で接続配線１０を一番端から連
続して他方の端まで切断する。通常、一回では切れない
ので２回往復すれば確実に切断できる。レーザー光で切
断する幅は約５０〜１００μｍで、１回目切断した後２
００〜３００μｍぐらい離れたところを、１回目が終わ
ったところからは始めのほうに向けて２回目のレーザ光
で切断を行う。このように、レーザー光を用いて接続配
線１０のみを切断することによって、簡単かつ容易に液
晶表示パネルを形成することができる。 【００２９】なお、上述では映像信号配線２についての
み説明したが、走査信号配線３についても基本的には同
様である。すなわち、上記の液晶表示パネルにおいて、
映像信号配線２と同じ材質で形成された複数の走査信号
配線３の駆動用ＬＳＩであるゲートドライバ４の実装電
極の反対側に接続配線１０と共通バス配線１を形成す
る。このときも画像検査終了しパネル工程完成後その接
続配線１０をレーザー光により切断する部分１１を切断
することによって最終形態の液晶表示パネルが得られ
る。 【００３０】また、上述の液晶表示パネルは、同一ガラ
ス基板上に映像信号配線と走査信号配線を形成する薄膜
トランジスタ等を利用したアクティブ駆動方式を用いて
いるが、これらの配線を別々に形成する単純マトリクス
駆動方式においても同様に適用することもできる。 【００３１】又、接続配線１０の材料の一つとして、硬
度が高く高抵抗で高融点材料の一つである透明導電膜
（ＩＴＯ）を用いれば、プロセス上容易に形成でき、コ
スト削減にもつながり生産性の向上になる。もし線幅６
μｍで線の長さが６００μｍならば、膜厚１５００Åで
シート抵抗が１０Ω／□の透明導電膜（ＩＴＯ）は１Ｋ
Ωの抵抗になるが、一方、共通バス配線１，映像信号配
線２および走査信号配線３の形成材料であり膜厚３５０
０Åでシート抵抗が０．１Ω／□のＡｌは、１０Ωの抵
抗にしかならない。 【００３２】又、共通バス配線１，映像信号配線２およ
び走査信号配線３の形成材料として用いられ、ＡｌにＴ
ａ（タンタル）、Ｔｉ（チタン）等を含有させたＡｌ系
合金の場合は、シート抵抗がＡｌの場合の約１．５６倍
であるが、抵抗はＡｌのみの場合の約２倍ぐらいにしか
ならず、従って高抵抗にはならない。画像検査工程で線
欠陥を見つけるためには、数ＫΩ必要なので、透明導電
膜（ＩＴＯ）にすれば、線欠陥などを容易にみつけられ
ることが期待できる。 【００３３】又、透明導電膜（ＩＴＯ）を用いれば、隣
接不良率は０％であるけれど、ＡｌやＡｌ系合金を用い
た場合は約９０％以上が隣接不良になってしまい、もう
一度レーザーカットを行わなければならない。このこと
から透明導電膜（ＩＴＯ）を用いれば生産性の向上につ
ながるうえ、画素電極６と同じ材料を用いているのでプ
ロセス上容易に形成できる。 【００３４】又、ＣＯＧ工法（チップオングラス工法）
などの、液晶駆動用ＬＳＩチップをガラス基板７上へ直
接実装する実装電極は、実装間隔も狭くなりプローブの
形状も複雑になるため、直接検査用プローブを当てるこ
とは困難であり、上記で述べた検査方法を取らなければ
ならない。この時も接続配線をレーザー光で切断しなけ
ればいけないので、高抵抗で硬度が高く高融点な材料で
形成された接続配線１０を用いることはとても有効であ
り適している。 【００３５】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、映像信号
配線及び走査信号配線の少なくともどちらか一方と液晶
画面より外側の共通バス配線とを、直接つなぐのではな
く、Ａｌ又はＡｌ系合金より高抵抗で硬度が高く且つ高
融点で良好な耐腐食性を有する導電性材料で形成された
接続配線を介して接続することにより、接続配線の高抵
抗という特性を利用して、液晶画面より外側で発生した
サージ電圧をその液晶画面内への進入を防止して、周り
に逃がすとともに、画像検査工程における線欠陥の検出
を容易にすることができる。 【００３６】また、接続配線の高硬度および高融点とい
う特性を利用して、レーザー光切断の際の金属の飛び散
りを抑制するとともに、接続配線の良耐腐食性という特
性を利用して、レーザー光切断による腐食を防止するこ
とができる。 【００３７】そのため、サージ電圧の浸入による絶縁破
壊を防止して部材としての不良率を低下させ、また、画
像検査工程における線欠陥の検出を容易にし、さらに、
接続配線の切断の際には、確実に接続配線を切断すると
ともに金属の飛び散りによる配線ショートや切断断面の
腐食による不良発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施の形態の液晶表示パネルの構成図 【図２】同実施の形態におけるレーザー光切断部分の拡
大図 【図３】従来の液晶表示パネルの概略構成図 【符号の説明】 １ 共通バス配線 ２ 映像信号配線 ３ 走査信号配線 １０ 接続配線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大友 哲哉 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 井村 秀之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平８−101397（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−136942（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−237622（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−324822（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 ガラス基板間に挟持された液晶に印加す
   る電圧を、前記ガラス基板上に形成されたＡｌまたはＡ
   ｌ系合金からなる複数の映像信号配線および走査信号配
   線を通じて制御し、前記ガラス基板上の液晶画面に画像
   を表示する液晶表示パネルの製造方法であって、 前記複数の映像信号配線または複数の走査信号配線の前
   記液晶画面外における部分と、前記複数の映像信号配線
   または複数の走査信号配線を検査用電極端子に共通接続
   するため前記液晶画面外に設けられた共通バス配線との
   間に、これらを接続する前記ＡｌまたはＡｌ系合金より
   高抵抗で硬度が高くかつ高融点で良好な耐食性を有する
   導電体からなる接続配線を形成する接続配線形成工程
   と、 前記検査用電極端子から検査用信号を入れ、画像検査を
   行った後、 前記接続配線をレーザー光により２回切断す
   る接続配線切断工程とを含む液晶表示パネルの製造方
   法。