JP3347666B2 - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents
液晶表示パネルの製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの内部配線は、図４に示
すようにガラス基板７に複数の映像信号配線２と走査信
号配線３をマトリクス状に形成され、このマトリクスの
各交点に画素電極６が形成されている。
すようにガラス基板７に複数の映像信号配線２と走査信
号配線３をマトリクス状に形成され、このマトリクスの
各交点に画素電極６が形成されている。
【０００３】映像信号配線２と走査信号配線３は、柔ら
かく、シート抵抗が０．２Ω／□ぐらいである低抵抗金
属なＡｌまたは、Ａｌに３％程度のＴａ（タンタル）、
Ｔｉ（チタン）などの高融点金属を含有させたＡｌ系合
金で形成されている。透明導電膜（ＩＴＯ）で形成され
た画素電極６の一つ一つの液晶セルには、ＴＦＴトラン
ジスタによって印加する電圧を制御して画像表示を行っ
ている。１は共通バス配線、４はゲートドライバ、５は
ソースドライバ、８は液晶画面領域を示している。
かく、シート抵抗が０．２Ω／□ぐらいである低抵抗金
属なＡｌまたは、Ａｌに３％程度のＴａ（タンタル）、
Ｔｉ（チタン）などの高融点金属を含有させたＡｌ系合
金で形成されている。透明導電膜（ＩＴＯ）で形成され
た画素電極６の一つ一つの液晶セルには、ＴＦＴトラン
ジスタによって印加する電圧を制御して画像表示を行っ
ている。１は共通バス配線、４はゲートドライバ、５は
ソースドライバ、８は液晶画面領域を示している。
【０００４】このような液晶表示パネルの製造工程で
は、ダストによるパターニング異常や静電気などによる
素子破壊など様々な原因で不良が発生するため、液晶駆
動用ＬＳＩに実装する電極の全数に検査用プローブ電極
を接触させて、製造工程で複数回の検査を実施し、製造
を行っている。
は、ダストによるパターニング異常や静電気などによる
素子破壊など様々な原因で不良が発生するため、液晶駆
動用ＬＳＩに実装する電極の全数に検査用プローブ電極
を接触させて、製造工程で複数回の検査を実施し、製造
を行っている。
【０００５】近年、表示品位の向上のため高精細化が進
んでおり、画素数が増加する傾向がある。そのため液晶
駆動用ＬＳＩの実装電極間隔は狭くなり、上記で述べた
製造過程で複数回の検査をするための検査用プローブ電
極の接触間隔も狭くなり、映像信号配線や走査信号配線
の一本一本にプローブ電極を接触することは、その作製
費用が非常に高価なものとなり作製期間も長くなる上、
プローブ電極の接触の安定性やプローブ電極の保守など
が大変困難である。
んでおり、画素数が増加する傾向がある。そのため液晶
駆動用ＬＳＩの実装電極間隔は狭くなり、上記で述べた
製造過程で複数回の検査をするための検査用プローブ電
極の接触間隔も狭くなり、映像信号配線や走査信号配線
の一本一本にプローブ電極を接触することは、その作製
費用が非常に高価なものとなり作製期間も長くなる上、
プローブ電極の接触の安定性やプローブ電極の保守など
が大変困難である。
【０００６】特に、液晶駆動用ＬＳＩドライバを直接に
ガラス基板上に実装するチップオングラス工法を用いた
液晶表示パネルは、電極パッドへの直接のコンタクトは
不可能である。そのため、プローブなどの開発費の抑
制、開発期間の短縮、簡易な信号かつ簡易なプローブで
検査できることが望まれている。
ガラス基板上に実装するチップオングラス工法を用いた
液晶表示パネルは、電極パッドへの直接のコンタクトは
不可能である。そのため、プローブなどの開発費の抑
制、開発期間の短縮、簡易な信号かつ簡易なプローブで
検査できることが望まれている。
【０００７】そこで、簡易検査方法として図４に示した
ように映像信号配線２，走査信号配線３を接続配線１０
を介して共通バス配線１に接続し、この共通バス配線１
に検査用電極端子９を形成し、この端子に検査用プロー
ブを立てて検査用信号１３を供給して液晶表示パネルの
検査を行い良否の判定を行っている。その後に、液晶画
面領域８より外側の実装されていない部分において切断
部分１１をレーザー光で切断することによって液晶表示
パネルの最終形態を得ている。１２は共通バス配線１と
配線２，３との接続部を示している。
ように映像信号配線２，走査信号配線３を接続配線１０
を介して共通バス配線１に接続し、この共通バス配線１
に検査用電極端子９を形成し、この端子に検査用プロー
ブを立てて検査用信号１３を供給して液晶表示パネルの
検査を行い良否の判定を行っている。その後に、液晶画
面領域８より外側の実装されていない部分において切断
部分１１をレーザー光で切断することによって液晶表示
パネルの最終形態を得ている。１２は共通バス配線１と
配線２，３との接続部を示している。
【０００８】このような構成は、共通バス配線と前記信
号配線とのクロス容量や配線抵抗がさほど大きくない小
型液晶表示パネルに用いられている。このように液晶表
示パネルの共通バス配線をレーザー光で切断する工程は
一番最後であり、画像表示検査を行った後で行う特に重
要な部分である。しかし、ここで、不良パネルを出さな
いことがロスコストの削減、生産性向上のため不可欠で
ある。
号配線とのクロス容量や配線抵抗がさほど大きくない小
型液晶表示パネルに用いられている。このように液晶表
示パネルの共通バス配線をレーザー光で切断する工程は
一番最後であり、画像表示検査を行った後で行う特に重
要な部分である。しかし、ここで、不良パネルを出さな
いことがロスコストの削減、生産性向上のため不可欠で
ある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この液晶表示パネルは
低価格化、高精細、狭額縁化が加速し、大型パネルにお
いてもチップオングラス工法が用いられるようになって
きた。しかし、従来の方法で行えば、共通バス配線１と
映像信号配線２あるいは走査信号配線３のクロス容量や
配線抵抗がとても大きくなり、検査用信号波形がなまっ
てしまい、検査ができないし、画面サイズの拡大に伴い
レーザーで切断する部分が多くなりレーザー不良の発生
率が多くなるという問題を有している。
低価格化、高精細、狭額縁化が加速し、大型パネルにお
いてもチップオングラス工法が用いられるようになって
きた。しかし、従来の方法で行えば、共通バス配線１と
映像信号配線２あるいは走査信号配線３のクロス容量や
配線抵抗がとても大きくなり、検査用信号波形がなまっ
てしまい、検査ができないし、画面サイズの拡大に伴い
レーザーで切断する部分が多くなりレーザー不良の発生
率が多くなるという問題を有している。
【００１０】また、接続配線１０は、配線２，３と同じ
ＡｌまたはＡｌ系合金で形成されているので、レーザー
光で切断を実施したときに切断されたＡｌが飛び散り、
他の配線と隣接ショートすることがある。
ＡｌまたはＡｌ系合金で形成されているので、レーザー
光で切断を実施したときに切断されたＡｌが飛び散り、
他の配線と隣接ショートすることがある。
【００１１】また、Ａｌは非常に腐食しやすいためレー
ザー光で切断した端面から容易に腐食が進行するという
問題がある。また、画面内部の配線２，３にショートが
あった場合は、抵抗が低いため共通バス配線１が直接リ
ークすることにより画面全体の表示異常となり、ショー
トした配線部分を特定することができないという問題も
有している。
ザー光で切断した端面から容易に腐食が進行するという
問題がある。また、画面内部の配線２，３にショートが
あった場合は、抵抗が低いため共通バス配線１が直接リ
ークすることにより画面全体の表示異常となり、ショー
トした配線部分を特定することができないという問題も
有している。
【００１２】さらに、このＡｌは抵抗が低いため、液晶
画面領域８より外側で発生したサージ電圧がそのまま液
晶画面領域８内に進入し、絶縁破壊が起こるという問題
も有していた。
画面領域８より外側で発生したサージ電圧がそのまま液
晶画面領域８内に進入し、絶縁破壊が起こるという問題
も有していた。
【００１３】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、配線抵抗と容量アップによる検査用信号波形のな
まりや画面サイズの拡大に伴ったレーザーカットの不良
発生率を低減することができる液晶表示パネル製造方法
を提供することを目的とする。
ので、配線抵抗と容量アップによる検査用信号波形のな
まりや画面サイズの拡大に伴ったレーザーカットの不良
発生率を低減することができる液晶表示パネル製造方法
を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の液晶表示
パネルの製造方法は、画面領域内の複数の映像信号配線
または走査信号配線と画面領域外に配設された共通バス
配線とを接続配線を介して接続し、前記共通バス配線を
介して電気検査を行った後に、レーザ光を照射して前記
接続配線を切断する液晶表示パネルの製造方法であっ
て、ガラス基板に前記映像信号配線と前記走査信号配線
と前記共通バス配線と駆動用集積回路の実装部とを形成
し、前記共通バス配線を前記駆動用集積回路の実装部の
入力端子と出力端子との間を通過するようパターニング
し、かつ、前記共通バス配線の隣接する前記駆動用集積
回路の間の部分を共通バス配線のその他の部分より線幅
を太く形成し、その形成した部分を検査用端子として用
いて電気検査を行うことを特徴とする。
パネルの製造方法は、画面領域内の複数の映像信号配線
または走査信号配線と画面領域外に配設された共通バス
配線とを接続配線を介して接続し、前記共通バス配線を
介して電気検査を行った後に、レーザ光を照射して前記
接続配線を切断する液晶表示パネルの製造方法であっ
て、ガラス基板に前記映像信号配線と前記走査信号配線
と前記共通バス配線と駆動用集積回路の実装部とを形成
し、前記共通バス配線を前記駆動用集積回路の実装部の
入力端子と出力端子との間を通過するようパターニング
し、かつ、前記共通バス配線の隣接する前記駆動用集積
回路の間の部分を共通バス配線のその他の部分より線幅
を太く形成し、その形成した部分を検査用端子として用
いて電気検査を行うことを特徴とする。
【００１５】請求項２記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項１において、映像信号配線または走査信号配
線をＡｌまたはＡｌ系合金で形成し、接続配線を、Ａｌ
またはＡｌ系合金より硬度が高く高融点で高抵抗である
導電体により形成したことを特徴とする。
は、請求項１において、映像信号配線または走査信号配
線をＡｌまたはＡｌ系合金で形成し、接続配線を、Ａｌ
またはＡｌ系合金より硬度が高く高融点で高抵抗である
導電体により形成したことを特徴とする。
【００１６】請求項３記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項２において、接続配線を、透明導電膜（ＩＴ
Ｏ）により形成したことを特徴とする。請求項４記載の
液晶表示パネルの製造方法は、請求項２と請求項３にお
いて、接続配線を、そのシート抵抗が１０Ω／□以上に
形成することを特徴とする。
は、請求項２において、接続配線を、透明導電膜（ＩＴ
Ｏ）により形成したことを特徴とする。請求項４記載の
液晶表示パネルの製造方法は、請求項２と請求項３にお
いて、接続配線を、そのシート抵抗が１０Ω／□以上に
形成することを特徴とする。
【００１７】請求項５記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項１〜請求項４において、ガラス基板の映像信
号配線と走査信号配線と接続配線が形成されている表面
を下側に向けた状態でガラス基板の裏面からレーザー光
を照射して接続配線を切断することを特徴とする。
は、請求項１〜請求項４において、ガラス基板の映像信
号配線と走査信号配線と接続配線が形成されている表面
を下側に向けた状態でガラス基板の裏面からレーザー光
を照射して接続配線を切断することを特徴とする。
【００１８】請求項６記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項５において、接続配線を幅が５０〜１００μ
ｍのレーザー光で切断することを特徴とする。請求項７
記載の液晶表示パネルの製造方法は、請求項１〜請求項
６において、前記共通バス配線の一部の線幅を、共通バ
ス配線のその他の部分の線幅の５倍〜１６倍の線幅とす
ることを特徴とする。
は、請求項５において、接続配線を幅が５０〜１００μ
ｍのレーザー光で切断することを特徴とする。請求項７
記載の液晶表示パネルの製造方法は、請求項１〜請求項
６において、前記共通バス配線の一部の線幅を、共通バ
ス配線のその他の部分の線幅の５倍〜１６倍の線幅とす
ることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態を図
１〜図３に基づいて説明する。なお、従来例を示す図４
と同様の作用をなすものには同一の符号を付けて説明す
る。
１〜図３に基づいて説明する。なお、従来例を示す図４
と同様の作用をなすものには同一の符号を付けて説明す
る。
【００２０】（実施の形態１）図１と図２は（実施の形
態１）を示す。図１は全体を示し、図２は図１の要部ａ
の拡大図で配線２，３と共通バス電極１との間の接続配
線１０を切断部分１１で分離する前の前製品を示してい
る。
態１）を示す。図１は全体を示し、図２は図１の要部ａ
の拡大図で配線２，３と共通バス電極１との間の接続配
線１０を切断部分１１で分離する前の前製品を示してい
る。
【００２１】この液晶表示パネルは、アクティブ駆動方
式の液晶表示パネルであり、この一対のガラス基板間に
液晶が封入された液晶表示パネルは、一方のガラス基板
の側に設けられた対向電極（図示せず）と、他方のガラ
ス基板の側に設けた複数の走査信号配線３および複数の
映像信号配線２と、複数の走査信号配線３と映像信号配
線２が交差する部分に設けた画素電極６と、映像信号配
線２または走査信号配線３と共通バス配線１とを接続す
る接続配線１０とを備えたものである。
式の液晶表示パネルであり、この一対のガラス基板間に
液晶が封入された液晶表示パネルは、一方のガラス基板
の側に設けられた対向電極（図示せず）と、他方のガラ
ス基板の側に設けた複数の走査信号配線３および複数の
映像信号配線２と、複数の走査信号配線３と映像信号配
線２が交差する部分に設けた画素電極６と、映像信号配
線２または走査信号配線３と共通バス配線１とを接続す
る接続配線１０とを備えたものである。
【００２２】共通バス配線１と映像信号配線２と走査信
号配線３などを液晶が充填される液晶セルの側（表面
側）に形成されているガラス基板７を説明する。映像信
号配線２は、ガラス基板に実装する駆動集積回路１６の
出力端子１４と接続し、さらにその映像信号配線２は出
力端子１４より外側まで形成し、駆動集積回路入力端子
１５と駆動集積回路出力端子１４の間にある共通バス配
線１はそれぞれが赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の画素
配列をもつ映像信号配線２と直接に接続されている。す
なわち、３本毎に同じ共通バス配線に映像信号配線２を
接続されている。
号配線３などを液晶が充填される液晶セルの側（表面
側）に形成されているガラス基板７を説明する。映像信
号配線２は、ガラス基板に実装する駆動集積回路１６の
出力端子１４と接続し、さらにその映像信号配線２は出
力端子１４より外側まで形成し、駆動集積回路入力端子
１５と駆動集積回路出力端子１４の間にある共通バス配
線１はそれぞれが赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の画素
配列をもつ映像信号配線２と直接に接続されている。す
なわち、３本毎に同じ共通バス配線に映像信号配線２を
接続されている。
【００２３】それぞれの共通バス配線１は、駆動集積回
路１６の実装位置の間の中間部分で線幅が大きい区間１
ａが形成されている。その太くした中間部分１ａは、駆
動集積回路の入力端子と出力端子の共通バス配線の線幅
より約５倍から約１６倍ぐらいの大きさ形成すると抵抗
値は幅に比例して小さくなる。また、これ以上太く形成
すると隣合う配線と隣接ショートを起こす。
路１６の実装位置の間の中間部分で線幅が大きい区間１
ａが形成されている。その太くした中間部分１ａは、駆
動集積回路の入力端子と出力端子の共通バス配線の線幅
より約５倍から約１６倍ぐらいの大きさ形成すると抵抗
値は幅に比例して小さくなる。また、これ以上太く形成
すると隣合う配線と隣接ショートを起こす。
【００２４】この中間部分１ａを検査用電極端子９に用
いれば、複数本のブロックに分割でき、複数本のプロー
ブをたてることによって、画像表示の検査を容易に行う
ことができる。
いれば、複数本のブロックに分割でき、複数本のプロー
ブをたてることによって、画像表示の検査を容易に行う
ことができる。
【００２５】また、このままの状態では最終の液晶表示
パネルにはならないので、図１，図２に示す切断部分１
１をレーザー光で切断することで一本一本の映像信号配
線２が分離した最終の液晶表示パネルになる。
パネルにはならないので、図１，図２に示す切断部分１
１をレーザー光で切断することで一本一本の映像信号配
線２が分離した最終の液晶表示パネルになる。
【００２６】このレーザー光による切断作業はガラス基
板７の表面側または裏面側の何れからでも実施できる。
特に、ガラス基板７の映像信号配線２と走査信号配線３
と接続配線１０が形成されている表面を下側に向けた状
態でガラス基板７の裏面からレーザー光を照射して接続
配線１０を切断する場合には、レーザー光で切断されて
発生した飛散物が下方に飛び散りガラス基板７の上には
飛び散らないので、飛散物による隣接ショートによる不
良の発生を防止できる。
板７の表面側または裏面側の何れからでも実施できる。
特に、ガラス基板７の映像信号配線２と走査信号配線３
と接続配線１０が形成されている表面を下側に向けた状
態でガラス基板７の裏面からレーザー光を照射して接続
配線１０を切断する場合には、レーザー光で切断されて
発生した飛散物が下方に飛び散りガラス基板７の上には
飛び散らないので、飛散物による隣接ショートによる不
良の発生を防止できる。
【００２７】なお、上述では映像信号配線２についての
み説明したが、走査信号配線３についても基本的には同
様である。すなわち、上記の液晶表示パネルにおいて、
映像信号配線２と同じ材質で形成された複数の走査信号
配線３は、駆動用集積回路出力端子１４に接続しさらに
その外側まで形成し、入力端子１５との間に共通バス配
線１を形成する。このときも画像検査終了しパネル工程
完成後レーザー光で切断する部分１１を切断することに
よって最終形態の液晶表示パネルが得られる。
み説明したが、走査信号配線３についても基本的には同
様である。すなわち、上記の液晶表示パネルにおいて、
映像信号配線２と同じ材質で形成された複数の走査信号
配線３は、駆動用集積回路出力端子１４に接続しさらに
その外側まで形成し、入力端子１５との間に共通バス配
線１を形成する。このときも画像検査終了しパネル工程
完成後レーザー光で切断する部分１１を切断することに
よって最終形態の液晶表示パネルが得られる。
【００２８】このように共通バス配線１を部分的に太く
することによって配線抵抗を減らすことができ、この太
く形成した部分を検査用端子に用いれば複数本をブロッ
クにして複数本のプローブを立てることによって信号配
線と共通バス配線との容量を削減することができる。よ
って，配線抵抗，クロス容量の削減ができ，検査用信号
波形のなまりがなく確実に検査が可能となり歩留まりの
向上につながる。
することによって配線抵抗を減らすことができ、この太
く形成した部分を検査用端子に用いれば複数本をブロッ
クにして複数本のプローブを立てることによって信号配
線と共通バス配線との容量を削減することができる。よ
って，配線抵抗，クロス容量の削減ができ，検査用信号
波形のなまりがなく確実に検査が可能となり歩留まりの
向上につながる。
【００２９】（実施の形態２）図３は（実施の形態２）
の液晶表示パネルを示す。（実施の形態１）では共通バ
ス配線１の途中に複数本のプローブをたてることができ
る太い中間部分１ａを設けただけであったが、この（実
施の形態２）では更に、（実施の形態１）の接続配線１
０の抵抗値を高くしている。
の液晶表示パネルを示す。（実施の形態１）では共通バ
ス配線１の途中に複数本のプローブをたてることができ
る太い中間部分１ａを設けただけであったが、この（実
施の形態２）では更に、（実施の形態１）の接続配線１
０の抵抗値を高くしている。
【００３０】複数の映像信号配線２はガラス基板に実装
する駆動用集積回路１６の出力端子１４に接続されてい
る。この映像信号配線２は低抵抗金属であるＡｌ、また
は前記Ａｌに３％程度のＴａ（タンタル）やＴｉ（チタ
ン）などの高融点金属を含有させたＡｌ系合金で形成さ
れている。
する駆動用集積回路１６の出力端子１４に接続されてい
る。この映像信号配線２は低抵抗金属であるＡｌ、また
は前記Ａｌに３％程度のＴａ（タンタル）やＴｉ（チタ
ン）などの高融点金属を含有させたＡｌ系合金で形成さ
れている。
【００３１】また、駆動用集積回路１６の出力端子１４
と共通バス配線１とを接続配線１０を用いて接続する。
（実施の形態２）における接続配線１０は高抵抗値で、
硬度が高く、高融点な導電体材料で形成されている。
と共通バス配線１とを接続配線１０を用いて接続する。
（実施の形態２）における接続配線１０は高抵抗値で、
硬度が高く、高融点な導電体材料で形成されている。
【００３２】これらの配線は直接に接続することはでき
ないので接続部１２ａを設けて接続し、映像信号配線２
と同じ材質で形成された共通バス配線１も接続部１２ａ
を通じて接続配線１０に接続されている。
ないので接続部１２ａを設けて接続し、映像信号配線２
と同じ材質で形成された共通バス配線１も接続部１２ａ
を通じて接続配線１０に接続されている。
【００３３】この接続配線１０をパネル検査終了後レー
ザー光で切断部分１１を切断することによって最終形態
の液晶表示パネルを得ている。この際、幅が５０〜１０
０μｍのレーザー光で接続配線の一番端から反対側の端
まで連続して切断する。
ザー光で切断部分１１を切断することによって最終形態
の液晶表示パネルを得ている。この際、幅が５０〜１０
０μｍのレーザー光で接続配線の一番端から反対側の端
まで連続して切断する。
【００３４】このようにレーザー光を用いてガラス基板
７の裏面側から接続配線１０のみを切断することによっ
て簡単かつ容易に液晶表示パネルを形成することができ
る。この（実施の形態２）によれば、Ａｌ系合金より高
抵抗で硬度が高く且つ高融点で良好な耐腐食性を有する
接続配線１０にすることで接続配線の高抵抗という特性
を利用して、液晶画面より外側で発生したサージ電圧を
その液晶画面内への侵入を防止して、周りに逃がすとと
もに、画像検査における線欠陥の検出が容易になる。ま
た、レーザー光で切断するときに金属の飛び散りを抑制
することができ、隣接ショートを防ぐことができる。そ
の他の構成効果は（実施の形態１）と同様である。
７の裏面側から接続配線１０のみを切断することによっ
て簡単かつ容易に液晶表示パネルを形成することができ
る。この（実施の形態２）によれば、Ａｌ系合金より高
抵抗で硬度が高く且つ高融点で良好な耐腐食性を有する
接続配線１０にすることで接続配線の高抵抗という特性
を利用して、液晶画面より外側で発生したサージ電圧を
その液晶画面内への侵入を防止して、周りに逃がすとと
もに、画像検査における線欠陥の検出が容易になる。ま
た、レーザー光で切断するときに金属の飛び散りを抑制
することができ、隣接ショートを防ぐことができる。そ
の他の構成効果は（実施の形態１）と同様である。
【００３５】接続配線の材料の一つとして硬度が高く、
高抵抗で高融点材料の一つである透明導電膜（ＩＴＯ）
を用いれば、プロセス上容易に形成でき、コスト削減に
もつながり生産性の向上になる。もし線幅６μｍで線の
長さが６００μｍならば、膜厚１５００Åでシート抵抗
が１０Ω／□の透明導電膜（ＩＴＯ）は１ＫΩの抵抗に
なるけど、膜厚３５００Åでシート抵抗が０．１Ω／□
のＡｌは１０Ωの抵抗にしかならない。
高抵抗で高融点材料の一つである透明導電膜（ＩＴＯ）
を用いれば、プロセス上容易に形成でき、コスト削減に
もつながり生産性の向上になる。もし線幅６μｍで線の
長さが６００μｍならば、膜厚１５００Åでシート抵抗
が１０Ω／□の透明導電膜（ＩＴＯ）は１ＫΩの抵抗に
なるけど、膜厚３５００Åでシート抵抗が０．１Ω／□
のＡｌは１０Ωの抵抗にしかならない。
【００３６】また、ＡｌにＴａ（タンタル），Ｔｉ（チ
タン）などを含有させたＡｌ系合金の場合はシート抵抗
がＡｌの場合の約１．５６倍になるので、抵抗も約２倍
ぐらいにしかならず、高抵抗にはならない。画像検査工
程で線欠陥を見つけるためには、数ＫΩ必要なので、透
明導電膜（ＩＴＯ）にすれば、線欠陥などを容易に見つ
けられることが期待できる。
タン）などを含有させたＡｌ系合金の場合はシート抵抗
がＡｌの場合の約１．５６倍になるので、抵抗も約２倍
ぐらいにしかならず、高抵抗にはならない。画像検査工
程で線欠陥を見つけるためには、数ＫΩ必要なので、透
明導電膜（ＩＴＯ）にすれば、線欠陥などを容易に見つ
けられることが期待できる。
【００３７】また、透明導電膜（ＩＴＯ）を用いれば、
隣接不良率は非常に低いけれど、ＡｌやＡｌ系合金を用
いた場合は約９０％以上が隣接ショート不良になってし
まい、もう一度レーザーカットをしないといけない。こ
のことから透明導電膜（ＩＴＯ）を用いれば生産性の向
上につながるし、画素電極と同じ材料を用いているので
プロセス上容易に形成できる。
隣接不良率は非常に低いけれど、ＡｌやＡｌ系合金を用
いた場合は約９０％以上が隣接ショート不良になってし
まい、もう一度レーザーカットをしないといけない。こ
のことから透明導電膜（ＩＴＯ）を用いれば生産性の向
上につながるし、画素電極と同じ材料を用いているので
プロセス上容易に形成できる。
【００３８】上記の各実施の形態において、同一のガラ
ス基板上に映像信号配線と走査信号配線を形成する薄膜
トランジスタなどを利用したアクティブ駆動方式を用い
ているが、これらの配線を別々に形成する単純マトリク
ス駆動方式においても同様に適用することができる。
ス基板上に映像信号配線と走査信号配線を形成する薄膜
トランジスタなどを利用したアクティブ駆動方式を用い
ているが、これらの配線を別々に形成する単純マトリク
ス駆動方式においても同様に適用することができる。
【００３９】上記の各実施の形態では、ガラス基板７の
辺に沿って配列して実装された複数の駆動用集積回路１
６の隣接する集積回路１６の間に、共通バス配線１の中
間部分で線幅が大きい区間１ａを形成したが、その線幅
が大きい区間１ａの配設位置は、複数の駆動用集積回路
１６の列の長手方向の端部に設けて構成することもでき
る。
辺に沿って配列して実装された複数の駆動用集積回路１
６の隣接する集積回路１６の間に、共通バス配線１の中
間部分で線幅が大きい区間１ａを形成したが、その線幅
が大きい区間１ａの配設位置は、複数の駆動用集積回路
１６の列の長手方向の端部に設けて構成することもでき
る。
【００４０】上記の各実施の形態では映像信号配線２と
走査信号配線３の何れについても同じように本発明を実
施したが、一方の配線について本発明を実施した場合で
あっても従来の方法に比べて良好な結果が得られる。
走査信号配線３の何れについても同じように本発明を実
施したが、一方の配線について本発明を実施した場合で
あっても従来の方法に比べて良好な結果が得られる。
【００４１】
【発明の効果】請求項１記載の液晶表示パネルの製造方
法は、画面領域内の複数の映像信号配線または走査信号
配線と画面領域外に配設された共通バス配線とを接続配
線を介して接続し、前記共通バス配線を介して電気検査
を行った後に、レーザ光を照射して前記接続配線を切断
する液晶表示パネルの製造方法であって、ガラス基板に
前記映像信号配線と前記走査信号配線と前記共通バス配
線と駆動用集積回路の実装部とを形成し、前記共通バス
配線を前記駆動用集積回路の実装部の入力端子と出力端
子との間を通過するようパターニングし、かつ、前記共
通バス配線の隣接する前記駆動用集積回路の間の部分を
共通バス配線のその他の部分より線幅を太く形成し、そ
の形成した部分を検査用端子として用いて電気検査を行
うので、共通バス配線の配線抵抗を抑えることができる
し、この太くした線幅を検査用端子として活用すれば、
複数のブロックに分割でき、数本の検査用プローブを立
てることが可能となり信号配線と共通バス配線とのクロ
ス容量を減らし検査用信号波形のなまりを抑えることが
でき、検査を確実に行うことができ、歩留まりの向上に
つながる。
法は、画面領域内の複数の映像信号配線または走査信号
配線と画面領域外に配設された共通バス配線とを接続配
線を介して接続し、前記共通バス配線を介して電気検査
を行った後に、レーザ光を照射して前記接続配線を切断
する液晶表示パネルの製造方法であって、ガラス基板に
前記映像信号配線と前記走査信号配線と前記共通バス配
線と駆動用集積回路の実装部とを形成し、前記共通バス
配線を前記駆動用集積回路の実装部の入力端子と出力端
子との間を通過するようパターニングし、かつ、前記共
通バス配線の隣接する前記駆動用集積回路の間の部分を
共通バス配線のその他の部分より線幅を太く形成し、そ
の形成した部分を検査用端子として用いて電気検査を行
うので、共通バス配線の配線抵抗を抑えることができる
し、この太くした線幅を検査用端子として活用すれば、
複数のブロックに分割でき、数本の検査用プローブを立
てることが可能となり信号配線と共通バス配線とのクロ
ス容量を減らし検査用信号波形のなまりを抑えることが
でき、検査を確実に行うことができ、歩留まりの向上に
つながる。
【００４２】請求項２記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項１において、映像信号配線または走査信号配
線をＡｌまたはＡｌ系合金で形成し、接続配線を、Ａｌ
またはＡｌ系合金より硬度が高く高融点で高抵抗である
導電体により形成するので、静電気による絶縁破壊防
止、検査での線欠陥を確実に判別することができる。
は、請求項１において、映像信号配線または走査信号配
線をＡｌまたはＡｌ系合金で形成し、接続配線を、Ａｌ
またはＡｌ系合金より硬度が高く高融点で高抵抗である
導電体により形成するので、静電気による絶縁破壊防
止、検査での線欠陥を確実に判別することができる。
【００４３】請求項３記載の液晶表示パネルの製造方法
は請求項２において接続配線を、透明導電膜（ＩＴＯ）
により形成するので、接続配線をプロセス上容易に形成
できコスト削減につながるとともに、切断面の腐食を従
来に比べて低減できる。
は請求項２において接続配線を、透明導電膜（ＩＴＯ）
により形成するので、接続配線をプロセス上容易に形成
できコスト削減につながるとともに、切断面の腐食を従
来に比べて低減できる。
【００４４】請求項４記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項２または請求項３において、接続配線を、そ
のシート抵抗が１０Ω／□以上に形成するので、静電気
による絶縁破壊防止、検査での線欠陥の判別をより確実
にできる。
は、請求項２または請求項３において、接続配線を、そ
のシート抵抗が１０Ω／□以上に形成するので、静電気
による絶縁破壊防止、検査での線欠陥の判別をより確実
にできる。
【００４５】請求項５記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項２〜請求項４において、接続配線をレーザー
光により切断し、さらに接続配線をレーザー光で切断す
る際の金属の飛び散りによる隣接ショート不良を防ぐこ
とができ生産性の向上にもつながる。
は、請求項２〜請求項４において、接続配線をレーザー
光により切断し、さらに接続配線をレーザー光で切断す
る際の金属の飛び散りによる隣接ショート不良を防ぐこ
とができ生産性の向上にもつながる。
【００４６】請求項６記載の液晶表示パネルの製造方法
は、請求項５において、接続配線を幅が５０〜１００μ
ｍのレーザー光で切断するので、連続した切断を実施で
き生産性の向上につながる。請求項７記載の液晶表示パ
ネルの製造方法は、共通バス配線の一部の線幅を、共通
バス配線のその他の部分の線幅の５倍〜１６倍の線幅と
するので、共通バス配線を配線抵抗を抑えることがで
き、また信号配線と共通バス配線とのクロス容量を減ら
し検査用信号波形のなまりを抑えることができるため検
査を確実に行うことができる。
は、請求項５において、接続配線を幅が５０〜１００μ
ｍのレーザー光で切断するので、連続した切断を実施で
き生産性の向上につながる。請求項７記載の液晶表示パ
ネルの製造方法は、共通バス配線の一部の線幅を、共通
バス配線のその他の部分の線幅の５倍〜１６倍の線幅と
するので、共通バス配線を配線抵抗を抑えることがで
き、また信号配線と共通バス配線とのクロス容量を減ら
し検査用信号波形のなまりを抑えることができるため検
査を確実に行うことができる。
【００４７】
【図１】本発明の（実施の形態１）の液晶表示パネルの
前製品の平面図
前製品の平面図
【図２】同実施の形態の実装端子部分の拡大図
【図３】本発明の（実施の形態２）の実装端子部分の拡
大図
大図
【図４】従来の液晶表示パネルの前製品の平面図
１ 共通バス配線 １ａ 共通バス配線の中間部分で線幅が大きい区間 ２ 映像信号配線 ３ 走査信号配線 ４ ゲートドライバ ５ ソースドライバ ６ 画素電極 ７ ガラス基板 ８ 液晶画面領域 ９ 検査電極端子 １０ 接続配線 １１ レーザー光で切断する部分 １２ａ 接続部 １３ 検査用信号 １４ 駆動用集積回路出力端子 １５ 駆動用集積回路入力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−307192（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−29925（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−251931（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1345 G02F 1/13 101
Claims (7)
- 【請求項１】 画面領域内の複数の映像信号配線または
走査信号配線と画面領域外に配設された共通バス配線と
を接続配線を介して接続し、前記共通バス配線を介して
電気検査を行った後に、レーザ光を照射して前記接続配
線を切断する液晶表示パネルの製造方法であって、 ガラス基板に前記映像信号配線と前記走査信号配線と前
記共通バス配線と駆動用集積回路の実装部とを形成し、 前記共通バス配線を前記駆動用集積回路の実装部の入力
端子と出力端子との間を通過するようパターニングし、
かつ、前記共通バス配線の隣接する前記駆動用集積回路
の間の部分を共通バス配線のその他の部分より線幅を太
く形成し、その形成した部分を検査用端子として用いて
電気検査を行う液晶表示パネルの製造方法。 - 【請求項２】 映像信号配線または走査信号配線をＡｌ
またはＡｌ系合金で形成し、接続配線を、前記Ａｌまた
はＡｌ系合金より硬度が高く高融点で高抵抗である導電
体により形成した請求項１記載の液晶表示パネルの製造
方法。 - 【請求項３】 接続配線を、透明導電膜（ＩＴＯ）によ
り形成した請求項２記載の液晶表示パネルの製造方法。 - 【請求項４】 接続配線を、そのシート抵抗が１０Ω／
□以上に形成する請求項２または請求項３記載の液晶表
示パネルの製造方法。 - 【請求項５】 ガラス基板の映像信号配線と走査信号配
線と接続配線が形成されている表面を下側に向けた状態
で前記ガラス基板の裏面からレーザー光を照射して前記
接続配線を切断する請求項１〜請求項４のいずれかに記
載の液晶表示パネルの製造方法。 - 【請求項６】 接続配線を幅が５０〜１００μｍのレー
ザー光で切断する請求項５記載の液晶表示パネルの製造
方法。 - 【請求項７】 共通バス配線の一部の線幅を、前記共通
バス配線のその他の部分の線幅の５倍〜１６倍の線幅と
する請求項１〜請求項６のいずれかに記載の液晶表示パ
ネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11762598A JP3347666B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 液晶表示パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11762598A JP3347666B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 液晶表示パネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11311798A JPH11311798A (ja) | 1999-11-09 |
| JP3347666B2 true JP3347666B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=14716377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11762598A Expired - Fee Related JP3347666B2 (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 液晶表示パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3347666B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4519236B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2010-08-04 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイ用部材の製造方法およびプラズマディスプレイ用部材ならびにそれを用いたプラズマディスプレイ。 |
| JP4051190B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2008-02-20 | シャープ株式会社 | 表示装置の製造方法、表示装置用基板および測定システム |
| US9275932B2 (en) * | 2011-05-24 | 2016-03-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix substrate, and display device |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP11762598A patent/JP3347666B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11311798A (ja) | 1999-11-09 |
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