JP3370997B2 - アキシアルフラックス型電磁マイクロモータ - Google Patents

アキシアルフラックス型電磁マイクロモータ

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  • Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
  • Windings For Motors And Generators (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アキシアルフラックス
型電磁マイクロモータに関し、特に、小型化されたステ
ッピングマイクロモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁化されたロータが回転軸を中心として
回転可能に軸支されたステータを具えた上述のタイプの
マイクロモータがスイス特許第668,160号に記載されて
既に公知である。このロータは、ロータの回転軸に実質
的に平行なエアギャップに磁界を発生させる少なくとも
一対の磁極を有している。このマイクロモータは、磁界
によって発生した磁束を遮断するように前記エアギャッ
プ内に回転軸に垂直に設けられた実質的に偏平な少なく
とも一つのコイルを具えている。本明細書においては、
コイルは半導体ウエハーの一方の面に設けられ、通常の
集積回路作製技術を用いて製作されるものとする。この
タイプのモータにおいて、エアギャップは高い磁気透過
率を有する２枚の平行なフランジによって形成され、該
フランジの一方はロータと一体化されると共に、他方は
ステータ上に取付けられている。作動の際に、磁化され
たロータとコイルのそれぞれによって作られた磁束が、
相互に回転可能な２枚のフランジの間を循環する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この設計によ
れば、電磁的吸引力に付随して摩擦力が発生し、そのた
めにこのマイクロモータの出力が低下する問題がある。
本発明は、こうした従来技術の問題点を解決して、小型
マイクロモータの製作技術に適した構造を有する高出力
の電磁マイクロモータを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この目的は、ステータ
と、回転軸に実質的に平行なエアギャップに磁界を発生
させる少なくとも一対の磁極を有し、前記ステータに対
して回転軸を中心に軸支された磁化されたロータと、磁
界によって発生した磁束を遮断するように前記エアギャ
ップ内に回転軸に垂直に設けられた実質的に偏平な少な
くとも一つのコイルとを具え、前記エアギャップはロー
タによってのみ限定されているアキシアルフラックス型
電磁マイクロモータによって達成される。
【０００５】この構成のために２枚のフランジが互いに
随伴して回転可能であり、そのため、これらのフランジ
の間の摩擦現象が消失する。本発明の好適実施例によれ
ば、磁気透過性の第１，第２フランジを有し、該第１フ
ランジはロータに一体化されているこのマイクロモータ
は、ロータに一体化された第２のフランジをも具え、前
記第１フランジと共に前記エアギャップを形成してい
る。
【０００６】本発明の他の実施例によれば、これら２枚
のフランジは、ピンに回転可能に取付けられた第１，第
２スリーブによってそれぞれロータに一体化されてい
る。以下、図面に示す好適実施例に基づいて、本発明を
更に詳細に説明する。
【０００７】
【実施例】図１，２はアキシアルフラックス型電磁マイ
クロモータ１を示す。このマイクロモータ１はステータ
２と、該ステータ２に対して幾何学的回転軸Ｘｒを中心
に軸支された磁化されたロータ４とを具えている。ロー
タ４は、エアギャップＥ内にロータ４の回転軸Ｘｒに実
質的に平行な磁界Ｈを発生させる少なくとも一対の磁極
（図示しない）を具えている。この目的のために、ロー
タ４は磁化された円形ディスク６と高い磁気透過性を有
する第１フランジ８とで構成されている。このディスク
６とフランジ８の詳細については、前述のスイス特許を
参照されたい。このモータは実質的に偏平なコイル１０
も具えている。これらのコイルは、磁界Ｈによって生じ
た磁束を遮断するように、回転軸Ｘｒに垂直に前記エア
ギャップＥ内に設置されている。コイル１０は、シリコ
ン製の半導体材料等の電気絶縁性材料で作られた、その
中心に排気孔１３を有する基体１２上に軸Ｘｒと同軸に
設置されている。コイルの構造も前述のスイス特許に開
示されているものと同じである。
【０００８】本発明によれば、このマイクロモータは、
第１フランジ８の場合と同様に、柔らかい磁性材料で作
られた高い磁気透過性を有する第２フランジ１４を具え
ている。この第２フランジ１４はディスク６の自由面の
反対側に設置され、ロータ４と一体化されている。この
ように、エアギャップＥは、ロータ４に一体化されマイ
クロモータの作動の際に（換言すれば電流がコイル１０
を流れると）ステータ２に随伴して可動の２枚のフラン
ジ８，１４によって形成されている。エアギャップＥは
ロータ４の一部を構成する可動フランジ８，１４によっ
て規定されているので、エアギャップはロータ４のみに
よって区切られていることが判るであろう。
【０００９】本発明のその他の特徴としては、２枚のフ
ランジ８，１４が、ピン２０に回転可能に軸支された第
１スリーブ１６と第２スリーブ１８とを介して、それぞ
れロータ４と一体化されていることが挙げられる。ピン
２０に直接取付けられている第２スリーブ１８は、図１
のマイクロモータを参照すると、その下部にベース１９
を有し、該ベースは軸方向の接触によって即ち軸Ｘｒに
平行に、ピン２０と一体化されたペデスタル２２の上に
載っている。この目的のために、ベース１９はペデスタ
ル２２の反対側に第１カラー２１（内側カラー）を有す
る。この内側カラー２１はペデスタル２２上に直接接し
ている摩擦表面を有する。ピン２０はペデスタル２２に
対して垂直に延在し、且つこれと同じ材料で作られてい
る。ペデスタル２２はサポート２４に収容されている。
このサポート２４は好ましくは真鍮等の非磁性材料で作
られ、二つの段のついた凹部２６，２８を具えている。
この凹部の寸法と形状は、それぞれが少なくともペデス
タル２２と第２フランジ２２とを受入れるように設計さ
れている。ペデスタル２２とベース１９及び第２フラン
ジ１４の少なくとも一部を受入れているこれらの凹部２
６，２８は、基体１２によってカバーされ、該基体の外
側壁は前記凹部２８を規定している円筒状側壁の近傍の
サポート２４の上面に載っている。
【００１０】ペデスタル２２は溶接部２７によって凹部
２６の底にしっかりと保持されているので、ピン２０は
サポート２４に対して固定されている。二つのスリーブ
１６，１８は同軸的に焼きばめされて重ねられた状態で
駆動されることが望ましい。更に詳しくは、幾何学的軸
Ｘｒに対して最外側に位置するスリーブ１６は、内側ス
リーブ１８のすぐ上で駆動される。スリーブ１８は、ベ
ース１９から持ち上がった本体３０を有する。軸受面３
１がベース１９に関して遠い方の本体３０の領域に設け
られ、それの外径は本体３０の外径りも僅かに大きく設
定され、第１スリーブ１６が第２スリーブ１８上に比較
的短い係合距離にわたって圧入されている。
【００１１】ピン２０とスリーブ１６，１８は、排気孔
１３を通じて半導体の基体１２を貫通している。スリー
ブ１６，１８は肩３２，３４を有し、その上にはフラン
ジ８と１４とがそれぞれ載っている。図示の例では、第
１フランジ８が肩３２とディスク６との間に挟まれ、磁
化された円形ディスク６が第１スリーブ１６の上で駆動
されている。スリーブ１６，第１フランジ８，磁化ディ
スク６は予め組み立て可能なユニットＵ１を形成し、ピ
ン２０上に既に位置決めされている第２スリーブ１８の
本体３０の上に装着される。
【００１２】ピン２０の上に取付けられる前に、第２ス
リーブ１８は、少なくとも組み立て作業の間だけは各部
品を一体化しておく接着剤３６によって、第２フランジ
１４に組付けられる。この第２スリーブ１８と第２フラ
ンジ１４もユニットＵ２を形成している。第２フランジ
１４は、第２スリーブ１８の本体３０に半径方向の遊び
Ｊ１を以て取付けられ、肩３４上に直接載っている。そ
の上、第２フランジ１４は、第１スリーブ１６の自由端
３８の一つによって第２スリーブ１８上に維持されてい
る。これによって、第２フランジ１４は第１スリーブ１
６の端部３８と第２スリーブ１８の肩３４との間に挟ま
れていることが理解されよう。肩３４はベース１０上に
直接置かれている。第１スリーブ１６の端部３８は第２
フランジ１４に当接し、エアギャップＥの巾ｌを規制し
ている。
【００１３】ピン２０はペデスタル２２に対して遠い方
と近い方の二つの軸受表面４０，４２を有し、そこに第
２スリーブ１８が回転可能に直接取付けられている。更
に詳しくは、近い方の軸受表面４０はペデスタル２２の
近傍に設けられ、遠い方の軸受表面４０はピン２０の自
由端の近傍に設けられている。ピン２０は第２スリーブ
１８の全長よりも更に延在し、全ロータ４を貫通してい
る。この種の設計によれば、ロータ４の正確な組立とガ
イドとが確実に行える。
【００１４】その上、ベース１９はペデスタル２２に対
面して第２円形カラー５０を有し、ピン２０が湾曲した
場合には該カラーはペデスタル２２に当接するように構
成されている。この第２カラー５０は第１カラー２１と
同軸に、後者の周囲に設置されている。これら二つの同
軸のカラー２１，５０は、回転軸Ｘｒに関してそれぞれ
内側と外側に設けられている。このカラー５０とペデル
タル２２との間の保安間隙Ｇ１は、ピン２０の湾曲が弾
性曲げ強度の限界内に止まり、フランジ１４も磁化ディ
スク６も基体１２に接触しないように、計算されてい
る。
【００１５】本発明のマイクロモータ１から供給される
トルクを伝達するために、マイクロモータ１の外側に突
出した第１スリーブの自由端の近傍にピニオン６０が設
けられている。このピニオン６０は第１スリーブ１６を
機械加工することによって直接的に形成してもよい。図
１の実施例によれば、フランジ８，１４を具えた二つの
スリーブ１６，１８によって構成された可動エレメント
と永久磁石６との軸方向の変位は、ピン２０の自由端上
にねじ止めされたねじ付きリング６２によって形成され
たストッパによって限定されている。このリング６２
は、ピン２０上に螺合するか、図示しない逆ねじ等の公
知の手段で固定されている。内側スリーブ１８の本体３
０は、ピン２０の自由端の近傍において外側スリーブ１
６から突出している。その結果、内側スリーブ１８は突
出した自由端を有し、リング６２に軸方向に接触可能な
サポート６３を形成している。
【００１６】図２の実施例では、ピン２０の自由端は、
トレーン・バー等のプレート６４に係合している。この
ピン２０はプレート６４に固定されており、両者は相対
運動を行わない。この例では、ストッパ機能はプレート
６４自体が有し、その一方の面が第２スリーブ１８のサ
ポート部６３に当接可能となっている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマイクロモータの第１実施例の側断面
図である。
【図２】本発明のマイクロモータの第２実施例の側断面
図である。
【符号の説明】
１…マイクロモータ ２…ステータ ４…ロータ ６…磁化ディスク ８…第１フランジ １０…コイル １２…基体 １３…孔 １４…第２フランジ ２０…ピン ２２…ペデスタル ２４…サポート ２６，２８…凹部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02K 21/24 H02K 29/00

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ステータ（２）と、回転軸（Ｘｒ）に実
    質的に平行な磁界（Ｈ）をエアギャップ（Ｅ）内に発生
    させる少なくとも一対の磁極を有し、該回転軸（Ｘｒ）
    を中心に前記ステータ（２）に対して軸支された磁化さ
    れたロータ（４）と、高い磁気透過性を有し、前記回転
    軸（Ｘｒ）に直交し、前記ロータ（４）と機械的に一体
    化され、前記エアギャップ（Ｅ）を形成している第１、
    第２フランジ（８，１４）と、前記エアギャップ（Ｅ）
    内に回転軸（Ｘｒ）に対して垂直に設置され、磁界
    （Ｈ）によって生じた磁束を遮断する少なくとも一つの
    偏平なコイル（１０）と、を具えているアキシアルフラ
    ックス型電磁マイクロモータにおいて、 前記第１、第２フランジ（８，１４）が、それぞれ第
    １、第２スリーブ（１６，１８）を介して前記ロータ
    （４）と一体化されていて、該第１、第２スリーブ（１
    ６，１８）は、一方が他方を囲んで同軸的に配置され、
    お互いで一体化され、前記ステータ（２）に固定的に取
    りつけられた固定されたピン（２０）の周囲に自由に回
    転可能に軸支されていることを特徴としている、 アキシ
    アルフラックス型電磁マイクロモータ。
  2. 【請求項２】 前記両スリーブ（１６，１８）が同軸的
    に焼きばめされていることを特徴としている、請求項１
    に記載のマイクロモータ。
  3. 【請求項３】 前記両スリーブ（１６，１８）が相互に
    駆動し合うことを特徴としている、請求項１に記載のマ
    イクロモータ。
  4. 【請求項４】 両スリーブ（１６，１８）がそれぞれ肩
    （３２，３４）を有し、その上に前記各フランジ（１
    ６，１８）が載っている請求項１に記載のマイクロモー
    タ。
  5. 【請求項５】 第２フランジ（１４）が、第１スリーブ
    （１６）の自由端によって第２スリーブ（１８）上に保
    持されていることを特徴としている、請求項１に記載の
    マイクロモータ。
  6. 【請求項６】 第１スリーブ（１６）の自由端が第２フ
    ランジ（１４）に当接し、前記エアギャップ（Ｅ）の巾
    を規制していることを特徴としている、請求項１に記載
    のマイクロモータ。
  7. 【請求項７】 前記ピン（２０）が、遠い方（４０）と
    近い方（４２）との二つの軸受表面を有し、それぞれに
    第２スリーブ（１８）が回転可能に取付けられているこ
    とを特徴としている、請求項１に記載のマイクロモー
    タ。
  8. 【請求項８】 前記ピン（２０）が第２スリーブ（１
    ８）の全長にわたって延在していることを特徴としてい
    る、請求項１に記載のマイクロモータ。
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