JP3365892B2 - 電子部品搭載装置 - Google Patents
電子部品搭載装置Info
- Publication number
- JP3365892B2 JP3365892B2 JP28054295A JP28054295A JP3365892B2 JP 3365892 B2 JP3365892 B2 JP 3365892B2 JP 28054295 A JP28054295 A JP 28054295A JP 28054295 A JP28054295 A JP 28054295A JP 3365892 B2 JP3365892 B2 JP 3365892B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- load
- component mounting
- suction nozzle
- pneumatic cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を回路基
板に搭載する電子部品搭載装置に関するものである。
板に搭載する電子部品搭載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以前から、吸着ノズルが電子部品を吸着
・搬送して回路基板に搭載する電子部品搭載装置におい
ては、吸着ノズルが電子部品を回路基板に搭載する際
に、前記吸着ノズルを介して搭載する電子部品の種類に
適した荷重を加えている。この場合、加える荷重を、電
子部品の種類毎にその種類に適した荷重に変更する必要
があるので、加圧機構として空圧シリンダを使用してい
る。
・搬送して回路基板に搭載する電子部品搭載装置におい
ては、吸着ノズルが電子部品を回路基板に搭載する際
に、前記吸着ノズルを介して搭載する電子部品の種類に
適した荷重を加えている。この場合、加える荷重を、電
子部品の種類毎にその種類に適した荷重に変更する必要
があるので、加圧機構として空圧シリンダを使用してい
る。
【０００３】上記の従来例を図４、図５に基づいて説明
する。
する。
【０００４】図４において、１はボンディングステージ
で、回路基板を吸着して保持する機能を備えている。２
はトレイステージで、回路基板に搭載される電子部品が
収納されている。３はスライドベースで、Ｙ方向に移動
可能で、ボンディングステージ１とトレイステージ２と
が固定されている。４はヘッドで、Ｘ方向に移動して、
トレイステージ２上の電子部品を吸着したり、吸着した
電子部品をボンディングステージ１上に保持された回路
基板上に搭載する機能を備えている。
で、回路基板を吸着して保持する機能を備えている。２
はトレイステージで、回路基板に搭載される電子部品が
収納されている。３はスライドベースで、Ｙ方向に移動
可能で、ボンディングステージ１とトレイステージ２と
が固定されている。４はヘッドで、Ｘ方向に移動して、
トレイステージ２上の電子部品を吸着したり、吸着した
電子部品をボンディングステージ１上に保持された回路
基板上に搭載する機能を備えている。
【０００５】図５において、５は空圧シリンダ、５ａは
空圧シリンダのガイドでブラケット６に固定されてい
る。７は空圧シリンダ５のロッドでガイド５ａに案内さ
れて上下に摺動する。８は電気信号に対応する圧力の加
圧空気を供給する電空レギュレータで、所定圧の加圧空
気を前記空圧シリンダ５のロッド７の上方に供給する。
空圧シリンダのガイドでブラケット６に固定されてい
る。７は空圧シリンダ５のロッドでガイド５ａに案内さ
れて上下に摺動する。８は電気信号に対応する圧力の加
圧空気を供給する電空レギュレータで、所定圧の加圧空
気を前記空圧シリンダ５のロッド７の上方に供給する。
【０００６】９はロードセルで前記空圧シリンダ５のロ
ッド７により下向きに加えられる荷重を測定する。１２
はボールスプラインで、１０はボールスプライン１２の
ナットでありベアリング１１を介してブラケット６に保
持されており、前記ロードセル９との間にベアリング１
１ａが介在しており垂直方向を軸にして回転可能になっ
ている。１２ａはボールスプライン１２のシャフトでナ
ット１０に案内されて上下に摺動すると共に、スプリン
グ１３によって前記ロードセルに向かう上向きの力が加
えられている。ナット１０の上端部にプーリ１４を設
け、ナット１０に平行に配置されたモータ１５の回転軸
端部にもプーリ１６を設け、プーリ１４とプーリ１６と
の間にベルト１７を張架している。モータ１５の回転
が、プーリ１６、ベルト１７、プーリ１４、ナット１
０、シャフト１２に伝わり、シャフト１２の下端に設け
た吸着ノズル１８が回転することになる。吸着ノズル１
８には、電子部品１９を吸着する吸着穴２０が設けられ
ている。
ッド７により下向きに加えられる荷重を測定する。１２
はボールスプラインで、１０はボールスプライン１２の
ナットでありベアリング１１を介してブラケット６に保
持されており、前記ロードセル９との間にベアリング１
１ａが介在しており垂直方向を軸にして回転可能になっ
ている。１２ａはボールスプライン１２のシャフトでナ
ット１０に案内されて上下に摺動すると共に、スプリン
グ１３によって前記ロードセルに向かう上向きの力が加
えられている。ナット１０の上端部にプーリ１４を設
け、ナット１０に平行に配置されたモータ１５の回転軸
端部にもプーリ１６を設け、プーリ１４とプーリ１６と
の間にベルト１７を張架している。モータ１５の回転
が、プーリ１６、ベルト１７、プーリ１４、ナット１
０、シャフト１２に伝わり、シャフト１２の下端に設け
た吸着ノズル１８が回転することになる。吸着ノズル１
８には、電子部品１９を吸着する吸着穴２０が設けられ
ている。
【０００７】従来技術では、上記の構成によって、吸着
ノズル１８によって電子部品１９を吸着して搬送し、回
路基板の所定位置に前記電子部品１９を実装する際に、
吸着ノズル１８に、電子部品１９を回路基板に所定荷重
で押さえつける荷重を与えるために、電空レギュレータ
８に電気信号を送って所定圧力の加圧空気を、空圧シリ
ンダ５のロッド７の上方に供給して、ロードセル９が所
定荷重を示すように吸着ノズル１８に下向きの荷重を加
えている。
ノズル１８によって電子部品１９を吸着して搬送し、回
路基板の所定位置に前記電子部品１９を実装する際に、
吸着ノズル１８に、電子部品１９を回路基板に所定荷重
で押さえつける荷重を与えるために、電空レギュレータ
８に電気信号を送って所定圧力の加圧空気を、空圧シリ
ンダ５のロッド７の上方に供給して、ロードセル９が所
定荷重を示すように吸着ノズル１８に下向きの荷重を加
えている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
の空圧シリンダ５が１個の構成においては、電空レギュ
レータ８により加圧空気の圧力を制御する段階では、そ
の圧力を微小に調整できるが、空圧シリンダ５のロッド
７に加わる荷重は、前記圧力とロッド７の上面の面積と
の積になり、制御可能な荷重の最小変化量は、ロッド７
の上面の面積を係数にして決まる。従って、大きな荷重
を加えるために、空圧シリンダ５の内径を大きく設定す
ると、制御可能な荷重の最小変化量も大きくなり、大き
な荷重を発生させる場合には、適正な精度範囲で制御で
きるが、小さな荷重を発生させる場合には、制御精度が
悪くなる。又、空圧シリンダ５の内径を小さく設定する
と、大きな荷重を発生させるのが困難になる。
の空圧シリンダ５が１個の構成においては、電空レギュ
レータ８により加圧空気の圧力を制御する段階では、そ
の圧力を微小に調整できるが、空圧シリンダ５のロッド
７に加わる荷重は、前記圧力とロッド７の上面の面積と
の積になり、制御可能な荷重の最小変化量は、ロッド７
の上面の面積を係数にして決まる。従って、大きな荷重
を加えるために、空圧シリンダ５の内径を大きく設定す
ると、制御可能な荷重の最小変化量も大きくなり、大き
な荷重を発生させる場合には、適正な精度範囲で制御で
きるが、小さな荷重を発生させる場合には、制御精度が
悪くなる。又、空圧シリンダ５の内径を小さく設定する
と、大きな荷重を発生させるのが困難になる。
【０００９】一方、荷重の大きさは電子部品の電極の数
に比例するが、電子部品の電極の数は、現在では、１０
個〜２０００個の範囲にあり、加えるべき荷重の最小値
と最大値との比は約２００にもなる。
に比例するが、電子部品の電極の数は、現在では、１０
個〜２０００個の範囲にあり、加えるべき荷重の最小値
と最大値との比は約２００にもなる。
【００１０】従って、従来の電子部品搭載装置は、取り
付けた空圧シリンダの内径で決まる或る範囲の電極数の
電子部品を対象とする専用機になり、前記の１０個〜２
０００個の範囲をカバーするには、多種類の専用機が必
要になるばかりではなく、電子部品の電極数が偏る場合
には、特定の機種の稼動率が過大になり、特定の機種の
稼働率が低下するという問題点がある。
付けた空圧シリンダの内径で決まる或る範囲の電極数の
電子部品を対象とする専用機になり、前記の１０個〜２
０００個の範囲をカバーするには、多種類の専用機が必
要になるばかりではなく、電子部品の電極数が偏る場合
には、特定の機種の稼動率が過大になり、特定の機種の
稼働率が低下するという問題点がある。
【００１１】本発明は、上記の問題点を解決し、一台で
広い範囲の電極数の電子部品に精度が良い荷重を加えて
実装できる電子部品搭載装置の提供を課題とする。
広い範囲の電極数の電子部品に精度が良い荷重を加えて
実装できる電子部品搭載装置の提供を課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品搭載装
置は、上記の課題を解決するために、電子部品を吸着・
搬送して回路基板に搭載する吸着ノズルと、前記吸着ノ
ズルが電子部品を回路基板に搭載する際に前記吸着ノズ
ルに荷重を加える加圧機構とを備えた電子部品搭載装置
において、前記加圧機構を、内径が異なる複数の空圧シ
リンダと、使用荷重に適した内径の空圧シリンダを前記
複数の空圧シリンダの中から選択して動作させる給気・
排気手段とで構成したものである。
置は、上記の課題を解決するために、電子部品を吸着・
搬送して回路基板に搭載する吸着ノズルと、前記吸着ノ
ズルが電子部品を回路基板に搭載する際に前記吸着ノズ
ルに荷重を加える加圧機構とを備えた電子部品搭載装置
において、前記加圧機構を、内径が異なる複数の空圧シ
リンダと、使用荷重に適した内径の空圧シリンダを前記
複数の空圧シリンダの中から選択して動作させる給気・
排気手段とで構成したものである。
【００１３】これにより、電子部品搭載時に、適正荷重
が小さな電子部品を搭載する場合には、小さな内径の空
圧シリンダを使用し、適正荷重が大きな電子部品を搭載
する場合には、大きな内径の空圧シリンダを使用するこ
とができるので、１台の電子部品搭載装置で、広い範囲
の荷重を精度良く発生させることができ、機種を少なく
し、トータル台数を少なくすると共に、各機種の稼動率
を向上することができる。
が小さな電子部品を搭載する場合には、小さな内径の空
圧シリンダを使用し、適正荷重が大きな電子部品を搭載
する場合には、大きな内径の空圧シリンダを使用するこ
とができるので、１台の電子部品搭載装置で、広い範囲
の荷重を精度良く発生させることができ、機種を少なく
し、トータル台数を少なくすると共に、各機種の稼動率
を向上することができる。
【００１４】又、本発明の電子部品搭載装置は、上記の
課題を解決するために、複数の空圧シリンダを、同軸上
に配置すると、装置の構成が簡単になる。
課題を解決するために、複数の空圧シリンダを、同軸上
に配置すると、装置の構成が簡単になる。
【００１５】又、本発明の電子部品搭載装置は、上記の
課題を解決するために、複数の空圧シリンダを、吸着ノ
ズルと同軸上に配置すると、更に、装置の構成が簡単に
なる。
課題を解決するために、複数の空圧シリンダを、吸着ノ
ズルと同軸上に配置すると、更に、装置の構成が簡単に
なる。
【００１６】又、本発明の電子部品搭載装置は、上記の
課題を解決するために、給気・排気手段に空圧バルブを
付けて、給気先と排気先とを切り替える構造にすると、
装置の構成が簡単になる。
課題を解決するために、給気・排気手段に空圧バルブを
付けて、給気先と排気先とを切り替える構造にすると、
装置の構成が簡単になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１〜図３
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１８】図１において、２５は空圧シリンダ、２５
ａは空圧シリンダのガイドでブラケット２６に固定され
ている。２７は空圧シリンダ２５のロッドでガイド２５
ａに案内されて上下に摺動する。２８は前記ロッド２７
の下端に同軸状に設けられた空圧シリンダ、２８ａは空
圧シリンダ２８のガイドである。２９は空圧シリンダ２
８のロッドで円柱形状をしている。３０は電気信号に対
応した圧力の加圧空気を供給する電空レギュレータで、
所定圧の加圧空気を空圧バルブ、例えば、電磁バルブ３
１を介して、空圧シリンダ２５の加圧用空気供給室３２
もしくは空圧シリンダ２８の加圧用空気供給室３３に供
給する。空圧シリンダ２５の上昇固定用空気供給室３４
にも、別系統の加圧空気供給手段３５の空気が供給され
る構造になっている。
ａは空圧シリンダのガイドでブラケット２６に固定され
ている。２７は空圧シリンダ２５のロッドでガイド２５
ａに案内されて上下に摺動する。２８は前記ロッド２７
の下端に同軸状に設けられた空圧シリンダ、２８ａは空
圧シリンダ２８のガイドである。２９は空圧シリンダ２
８のロッドで円柱形状をしている。３０は電気信号に対
応した圧力の加圧空気を供給する電空レギュレータで、
所定圧の加圧空気を空圧バルブ、例えば、電磁バルブ３
１を介して、空圧シリンダ２５の加圧用空気供給室３２
もしくは空圧シリンダ２８の加圧用空気供給室３３に供
給する。空圧シリンダ２５の上昇固定用空気供給室３４
にも、別系統の加圧空気供給手段３５の空気が供給され
る構造になっている。
【００１９】９はロードセルで前記ロッド２９により下
向きに加えられる荷重を測定する。
向きに加えられる荷重を測定する。
【００２０】１２はボールスプラインで、１０はボール
スプライン１２のナットでありベアリング１１を介して
ブラケット２６に保持されており、前記ロードセル９と
の間にベアリング１１ａが介在しており垂直方向を軸に
して回転可能になっている。
スプライン１２のナットでありベアリング１１を介して
ブラケット２６に保持されており、前記ロードセル９と
の間にベアリング１１ａが介在しており垂直方向を軸に
して回転可能になっている。
【００２１】１２ａはボールスプライン１２のシャフト
でナット１０に案内されて上下に摺動すると共に、スプ
リング１３によって前記ロードセル９に向かう上向きの
力が加えられている。ナット１０の上端部にプーリ１４
を設け、ナット１０に平行に配置されたモータ１５の回
転軸端部にもプーリ１６を設け、プーリ１４とプーリ１
６との間にベルト１７を張架している。モータ１５の回
転が、プーリ１６、ベルト１７、プーリ１４、ナット１
０、シャフト１２に伝わり、シャフト１２の下端に設け
た吸着ノズル１８が回転することになる。吸着ノズル１
８には、電子部品１９を吸着する吸着穴２０が設けられ
ている。
でナット１０に案内されて上下に摺動すると共に、スプ
リング１３によって前記ロードセル９に向かう上向きの
力が加えられている。ナット１０の上端部にプーリ１４
を設け、ナット１０に平行に配置されたモータ１５の回
転軸端部にもプーリ１６を設け、プーリ１４とプーリ１
６との間にベルト１７を張架している。モータ１５の回
転が、プーリ１６、ベルト１７、プーリ１４、ナット１
０、シャフト１２に伝わり、シャフト１２の下端に設け
た吸着ノズル１８が回転することになる。吸着ノズル１
８には、電子部品１９を吸着する吸着穴２０が設けられ
ている。
【００２２】次に、本実施形態の動作を図１〜図３に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００２３】図２は、大きい荷重を出力する場合の空圧
シリンダ２５、２８の断面図であり、図３は、小さい荷
重を出力する場合の空圧シリンダ２５、２８の断面図で
ある。
シリンダ２５、２８の断面図であり、図３は、小さい荷
重を出力する場合の空圧シリンダ２５、２８の断面図で
ある。
【００２４】電子部品搭載時に吸着ノズル１８に加える
荷重の大きさに対応して、電空レギュレータ３０からの
圧力空気の供給先を電磁バルブ３１によって切り替え
る。
荷重の大きさに対応して、電空レギュレータ３０からの
圧力空気の供給先を電磁バルブ３１によって切り替え
る。
【００２５】先ず、大きい荷重を出力する場合の動作を
図１、図２に基づいて説明する。
図１、図２に基づいて説明する。
【００２６】電空レギュレータ３０により所定圧力に制
御された圧力空気を電磁バルブ３１で切り替えて、内径
が大きい空圧シリンダ２５の加圧用空気供給室３２に供
給する。又、空圧シリンダ２５の上昇固定用空気供給室
３４と、空圧シリンダ２８の加圧用空気供給室３３とを
大気開放状態にしておく。このようにすると、ロッド２
９は、荷重時には上限まで上昇した位置にある。この状
態で、加圧用空気供給室３２に供給された加圧空気の圧
力によって、ロッド２７、ロッド２９を介してロードセ
ル９に荷重を加え、ロードセル９によって確認された荷
重が、シャフト１２を介して吸着ノズル１８に伝わる。
御された圧力空気を電磁バルブ３１で切り替えて、内径
が大きい空圧シリンダ２５の加圧用空気供給室３２に供
給する。又、空圧シリンダ２５の上昇固定用空気供給室
３４と、空圧シリンダ２８の加圧用空気供給室３３とを
大気開放状態にしておく。このようにすると、ロッド２
９は、荷重時には上限まで上昇した位置にある。この状
態で、加圧用空気供給室３２に供給された加圧空気の圧
力によって、ロッド２７、ロッド２９を介してロードセ
ル９に荷重を加え、ロードセル９によって確認された荷
重が、シャフト１２を介して吸着ノズル１８に伝わる。
【００２７】次に、小さい荷重を出力する場合の動作を
図１、図３に基づいて説明する。
図１、図３に基づいて説明する。
【００２８】電空レギュレータ３０により所定圧力に制
御された圧力空気を電磁バルブ３１で切り替えて、内径
が小さい空圧シリンダ２８の加圧用空気供給室３３に供
給する。又、空圧シリンダ２５の加圧用空気供給室３２
を大気開放状態にし、空圧シリンダ２５の上昇固定用空
気供給室３４にはロッド２７を上昇させるに必要な圧力
の空気を供給してロッド２７を上限まで上昇させる。こ
の状態で、加圧用空気供給室３３に供給された加圧空気
の圧力によって、ロッド２９を介してロードセル９に荷
重を加え、ロードセル９によって確認された荷重が、シ
ャフト１２を介して吸着ノズル１８に伝わる。
御された圧力空気を電磁バルブ３１で切り替えて、内径
が小さい空圧シリンダ２８の加圧用空気供給室３３に供
給する。又、空圧シリンダ２５の加圧用空気供給室３２
を大気開放状態にし、空圧シリンダ２５の上昇固定用空
気供給室３４にはロッド２７を上昇させるに必要な圧力
の空気を供給してロッド２７を上限まで上昇させる。こ
の状態で、加圧用空気供給室３３に供給された加圧空気
の圧力によって、ロッド２９を介してロードセル９に荷
重を加え、ロードセル９によって確認された荷重が、シ
ャフト１２を介して吸着ノズル１８に伝わる。
【００２９】上記によると、荷重は電空レギュレータ３
０による加圧空気の圧力とロッド２７、２９の上面の面
積との積が荷重になり、電空レギュレータ３０により制
御可能な圧力の最小変化量とロッド２７、２９の上面の
面積との積が制御可能な荷重の最小変化量になるので、
内径が大きな空圧シリンダ２５を使用して大きな荷重を
発生させる場合にも、内径が小さな空圧シリンダ２８を
使用して小さな荷重を発生させる場合にも、同一精度で
荷重を発生させることができる。
０による加圧空気の圧力とロッド２７、２９の上面の面
積との積が荷重になり、電空レギュレータ３０により制
御可能な圧力の最小変化量とロッド２７、２９の上面の
面積との積が制御可能な荷重の最小変化量になるので、
内径が大きな空圧シリンダ２５を使用して大きな荷重を
発生させる場合にも、内径が小さな空圧シリンダ２８を
使用して小さな荷重を発生させる場合にも、同一精度で
荷重を発生させることができる。
【００３０】従って、大きな荷重を出力する場合にも、
小さな荷重を出力する場合にも、精度が良い荷重を出力
することができる。
小さな荷重を出力する場合にも、精度が良い荷重を出力
することができる。
【００３１】本実施形態では、空圧シリンダを２個使用
したが、２個に限らず、３個以上を、本実施形態に準じ
て使用すれば、精度が良い荷重を出力できる範囲がさら
に広がる。又、本実施形態では、空圧シリンダと吸着ノ
ズルとを同軸状に配置しているが、別にガイドを設けれ
ば、これらは同軸状に配置する必要はない。又、加圧空
気供給手段と空圧バルブとは目的に合わせ、必要数を組
み合わせて自由に設計できる。
したが、２個に限らず、３個以上を、本実施形態に準じ
て使用すれば、精度が良い荷重を出力できる範囲がさら
に広がる。又、本実施形態では、空圧シリンダと吸着ノ
ズルとを同軸状に配置しているが、別にガイドを設けれ
ば、これらは同軸状に配置する必要はない。又、加圧空
気供給手段と空圧バルブとは目的に合わせ、必要数を組
み合わせて自由に設計できる。
【００３２】
【発明の効果】本発明の電子部品搭載装置は、１台の電
子部品搭載装置で、部品搭載時に部品に加える荷重を広
い範囲で精度良く加えることができ、必要機種数を少な
くし、必要台数を少なくすると共に、各機種の稼動率を
向上できるという効果がある。
子部品搭載装置で、部品搭載時に部品に加える荷重を広
い範囲で精度良く加えることができ、必要機種数を少な
くし、必要台数を少なくすると共に、各機種の稼動率を
向上できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の構成を示す一部断面斜視
図である。
図である。
【図２】本発明の一実施形態の構成の要部を示す断面図
である。
である。
【図３】本発明の一実施形態の構成の要部を示す断面図
である。
である。
【図４】電子部品搭載装置の斜視図である。
【図５】従来例の構成を示す一部断面斜視図である。
９ ロードセル
１０ ナット
１１ ベアリング
１１ａ ベアリング
１２ ボールスプライン
１２ａ シャフト
１３ スプリング
１４ プーリ
１５ モータ
１６ プーリ
１７ ベルト
１８ 吸着ノズル
２０ 吸着穴
２５ 空圧シリンダ
２５ａ ガイド
２６ ブラケット
２７ ロッド
２８ 空圧シリンダ
２９ ロッド
３０ 電空レギュレータ
３１ 電磁バルブ
３２ 加圧用空気供給室
３３ 加圧用空気供給室
３４ 上昇固定用空気供給室
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−157432（ＪＰ，Ａ)
実開 平１−146533（ＪＰ，Ｕ)
実開 平３−67435（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/52
H01L 21/60
H05K 13/04
H05K 3/32
Claims (4)
- 【請求項１】 電子部品を吸着・搬送して回路基板に搭
載する吸着ノズルと、前記吸着ノズルが電子部品を回路
基板に搭載する際に前記吸着ノズルに荷重を加える加圧
機構とを備えた電子部品搭載装置において、前記加圧機
構が、内径が異なる複数の空圧シリンダと、使用荷重に
適した内径の空圧シリンダを前記複数の空圧シリンダの
中から選択して動作させる給気・排気手段とを有するこ
とを特徴とする電子部品搭載装置。 - 【請求項２】 複数の空圧シリンダは、同軸上に配置さ
れている請求項１に記載の電子部品搭載装置。 - 【請求項３】 複数の空圧シリンダは、吸着ノズルと同
軸上に配置されている請求項２に記載の電子部品搭載装
置。 - 【請求項４】 給気・排気手段は、給気先と排気先とを
切り替える空圧バルブを有する請求項１、２又は３に記
載の電子部品搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28054295A JP3365892B2 (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 電子部品搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28054295A JP3365892B2 (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 電子部品搭載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129687A JPH09129687A (ja) | 1997-05-16 |
| JP3365892B2 true JP3365892B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=17626527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28054295A Expired - Lifetime JP3365892B2 (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 電子部品搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3365892B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1187180A1 (de) * | 2000-09-12 | 2002-03-13 | Esec Trading S.A. | Verfahren und Vorrichtung für die Montage von Halbleiterchips |
| JP2002314295A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Murata Mfg Co Ltd | 部品装着装置 |
| US7296727B2 (en) | 2001-06-27 | 2007-11-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic components |
| JP4522826B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2010-08-11 | Ｊｕｋｉ株式会社 | 電子部品圧着装置 |
| JP4825570B2 (ja) * | 2006-04-13 | 2011-11-30 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 電子部品の実装方法および装置 |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP28054295A patent/JP3365892B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09129687A (ja) | 1997-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3365892B2 (ja) | 電子部品搭載装置 | |
| JP4887321B2 (ja) | 印刷装置 | |
| WO1998002026A1 (fr) | Appareil de montage de composants electroniques | |
| JP2930378B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
| JP3961083B2 (ja) | 電子部品搭載装置 | |
| KR100445530B1 (ko) | 반도체장치 | |
| JP3262683B2 (ja) | 半導体実装装置 | |
| JP4246328B2 (ja) | スクリーン印刷装置 | |
| JPH07132585A (ja) | スクリーン印刷機 | |
| JP3114469B2 (ja) | 電子部品吸着装置 | |
| JP2004055706A (ja) | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 | |
| JPH0699325A (ja) | 自動調整検査装置 | |
| JPS6150727A (ja) | Ｘｙテ−ブル装置およびこれを具備する操作機械 | |
| JP3623986B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
| JP3087632B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
| JP4258747B2 (ja) | 余剰ボールの排出装置 | |
| CN111941182B (zh) | 加工装置 | |
| JPH1131899A (ja) | 電子部品装着装置 | |
| JP3024491B2 (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JPH05104349A (ja) | 部品装着装置における衝撃力の制御方法 | |
| JPH08162495A (ja) | 半田ボールの搭載装置 | |
| JP3422221B2 (ja) | クリーム半田のスクリーン印刷装置 | |
| JPH07183693A (ja) | 異形部品装着機 | |
| JPH09130093A (ja) | 表面実装機 | |
| JPH06334393A (ja) | プリント基板保持方法及びその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101101 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111101 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121101 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131101 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |