JP3364079B2 - アライメントステージ - Google Patents
アライメントステージInfo
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- JP3364079B2 JP3364079B2 JP04755296A JP4755296A JP3364079B2 JP 3364079 B2 JP3364079 B2 JP 3364079B2 JP 04755296 A JP04755296 A JP 04755296A JP 4755296 A JP4755296 A JP 4755296A JP 3364079 B2 JP3364079 B2 JP 3364079B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- base
- alignment
- moving stage
- rail
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被対象物を保持
した移動ステージを固定された基台に対して２次元的に
平行及び回転させて被対象物の位置決めを行うアライメ
ントステージに関する。
した移動ステージを固定された基台に対して２次元的に
平行及び回転させて被対象物の位置決めを行うアライメ
ントステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばプリント基板や液晶基板等に対し
露光によりパターンを形成する露光装置では、露光を施
す被対象物を保持した状態で位置決めを行うアライメン
トステージが設けられている。また既にパターンの形成
された被対象物を見当合わせして所定の加工処理を施す
装置においても、加工を施す被対象物を保持した状態で
位置決めするアライメントステージが設けられているこ
とがある。このようなアライメントステージは、被対象
物を保持する移動ステージを、固定された基台に対して
移動させることにより被対象物を位置決めしている。
露光によりパターンを形成する露光装置では、露光を施
す被対象物を保持した状態で位置決めを行うアライメン
トステージが設けられている。また既にパターンの形成
された被対象物を見当合わせして所定の加工処理を施す
装置においても、加工を施す被対象物を保持した状態で
位置決めするアライメントステージが設けられているこ
とがある。このようなアライメントステージは、被対象
物を保持する移動ステージを、固定された基台に対して
移動させることにより被対象物を位置決めしている。
【０００３】このようなアライメントステージとして
は、例えば実開平３−４９５４８号公報に記載の技術が
ある。なお上記公報に記載の装置は、パターンの形成さ
れた印刷版（被対象物）を載置したテーブル（移動ステ
ージ）に２次元的な並進及び回転を与えてテーブルを移
動させ、これにより印刷版を所定の位置に位置決めし
て、パンチ加工を施す装置である。
は、例えば実開平３−４９５４８号公報に記載の技術が
ある。なお上記公報に記載の装置は、パターンの形成さ
れた印刷版（被対象物）を載置したテーブル（移動ステ
ージ）に２次元的な並進及び回転を与えてテーブルを移
動させ、これにより印刷版を所定の位置に位置決めし
て、パンチ加工を施す装置である。
【０００４】この従来の技術を図６及び図７を用いて説
明する。図６は従来のアライメントステージの平面図、
図７は図６におけるア方向からの切欠正面図である。図
において、４０は固定された基台、５０は基台４０上に
配置されたテーブルである。基台４０上には、その４ヶ
所にボールキャスターＢＣが取り付けられている。そし
てテーブル５０の下面には受金具５２が固定されてお
り、対応する受金具５２に対してボールキャスターＢＣ
のボール面が当接するように、テーブル５０が基台４０
上に載置されている。これによりテーブル５０は、基台
４０に対してテーブル５０の表面と平行してＸＹ及びθ
方向に移動自在となっている。
明する。図６は従来のアライメントステージの平面図、
図７は図６におけるア方向からの切欠正面図である。図
において、４０は固定された基台、５０は基台４０上に
配置されたテーブルである。基台４０上には、その４ヶ
所にボールキャスターＢＣが取り付けられている。そし
てテーブル５０の下面には受金具５２が固定されてお
り、対応する受金具５２に対してボールキャスターＢＣ
のボール面が当接するように、テーブル５０が基台４０
上に載置されている。これによりテーブル５０は、基台
４０に対してテーブル５０の表面と平行してＸＹ及びθ
方向に移動自在となっている。
【０００５】一方テーブル５０の下面にはパルスモータ
を備えた３台のアクチュエータＡＹ１、ＡＹ２、ＡＸが
固定されている。各々のアクチュエータＡＹ１、ＡＹ
２、ＡＸにはパルスモータにより伸縮する作動腕が備え
られており、各作動腕は各々対応して基台４０に固定さ
れた当たり金具５４Ａ〜５４Ｃに対向して当接してい
る。また各アクチュエータＡＹ１、ＡＹ２、ＡＸの近傍
には、各々の作動腕が収縮する方向にテーブル５０を基
台４０に対し付勢するバネ５６Ａ〜５６Ｃが設けられて
いる。従って各アクチュエータＡＹ１、ＡＹ２、ＡＸの
作動腕を伸縮させることにより、テーブル５０を基台４
０に対しＸＹ及びθ方向へ移動及び回転することができ
る。
を備えた３台のアクチュエータＡＹ１、ＡＹ２、ＡＸが
固定されている。各々のアクチュエータＡＹ１、ＡＹ
２、ＡＸにはパルスモータにより伸縮する作動腕が備え
られており、各作動腕は各々対応して基台４０に固定さ
れた当たり金具５４Ａ〜５４Ｃに対向して当接してい
る。また各アクチュエータＡＹ１、ＡＹ２、ＡＸの近傍
には、各々の作動腕が収縮する方向にテーブル５０を基
台４０に対し付勢するバネ５６Ａ〜５６Ｃが設けられて
いる。従って各アクチュエータＡＹ１、ＡＹ２、ＡＸの
作動腕を伸縮させることにより、テーブル５０を基台４
０に対しＸＹ及びθ方向へ移動及び回転することができ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この従来の技術ではテ
ーブル５０がボールキャスターＢＣ上に自重により載置
されているので、テーブル５０を例えば垂直に配置する
ことができない。
ーブル５０がボールキャスターＢＣ上に自重により載置
されているので、テーブル５０を例えば垂直に配置する
ことができない。
【０００７】ここでテーブル５０を基台４０に対し押し
つけながら垂直に配置することも考えられるが、この場
合テーブルの表面には被対象物を載置するため、テーブ
ル表面からは押さえつけができる箇所が限定されるとい
う欠点がある。またテーブルの裏面からバネなどにより
基台側に付勢することも考えられるが、テーブルが大サ
イズになると重量が増加し、不安定になるという問題も
発生する。それゆえに本発明では、テーブル（移動ステ
ージ）を水平以外例えば垂直等に配置しても移動ステー
ジが基台からはずれることなく安定して移動することが
できるアライメントステージを提供することを目的とす
る。
つけながら垂直に配置することも考えられるが、この場
合テーブルの表面には被対象物を載置するため、テーブ
ル表面からは押さえつけができる箇所が限定されるとい
う欠点がある。またテーブルの裏面からバネなどにより
基台側に付勢することも考えられるが、テーブルが大サ
イズになると重量が増加し、不安定になるという問題も
発生する。それゆえに本発明では、テーブル（移動ステ
ージ）を水平以外例えば垂直等に配置しても移動ステー
ジが基台からはずれることなく安定して移動することが
できるアライメントステージを提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、その表面に被対象物を保持する移動ステージを、固
定された基台に対して移動ステージの表面と同じ平面内
で２次元的に平行移動及び回転させて、被対象物の位置
決めを行うアライメントステージであって、前記平面内
での前記平行移動および回転を許容しつつ、前記移動ス
テージの表面に垂直な方向において前記移動ステージと
前記基台とを遊離不能に結合する結合部を備え、前記結
合部が、(a) 前記移動ステージを前記移動ステージの表
面と同じ平面内で２次元的に回転可能に支持する回転軸
と、(b) 前記回転軸を前記移動ステージの表面と平行な
第１の方向にのみ移動可能に支持する第１のガイド手段
と、(c) 前記第１のガイド手段を、前記移動ステージの
表面と平行でかつ前記第１の方向と直交する第２の方向
にのみ移動可能に支持する第２のガイド手段とを離脱不
能に組み合わせて構成されていることを特徴とする。
は、その表面に被対象物を保持する移動ステージを、固
定された基台に対して移動ステージの表面と同じ平面内
で２次元的に平行移動及び回転させて、被対象物の位置
決めを行うアライメントステージであって、前記平面内
での前記平行移動および回転を許容しつつ、前記移動ス
テージの表面に垂直な方向において前記移動ステージと
前記基台とを遊離不能に結合する結合部を備え、前記結
合部が、(a) 前記移動ステージを前記移動ステージの表
面と同じ平面内で２次元的に回転可能に支持する回転軸
と、(b) 前記回転軸を前記移動ステージの表面と平行な
第１の方向にのみ移動可能に支持する第１のガイド手段
と、(c) 前記第１のガイド手段を、前記移動ステージの
表面と平行でかつ前記第１の方向と直交する第２の方向
にのみ移動可能に支持する第２のガイド手段とを離脱不
能に組み合わせて構成されていることを特徴とする。
【０００９】また、請求項２の発明では、請求項１のア
ライメントステージにおいて、前記結合部が少なくとも
３個あることを特徴とする。
ライメントステージにおいて、前記結合部が少なくとも
３個あることを特徴とする。
【００１０】さらに請求項３の発明では、その表面に被
対象物を保持する移動ステージを、固定された基台に対
して移動ステージの表面と同じ平面内で２次元的に平行
移動及び回転させて、被対象物の位置決めを行うアライ
メントステージであって、前記平面内での前記平行移動
および回転を許容しつつ、前記移動ステージの表面に垂
直な方向において前記移動ステージと前記基台とを遊離
不能に結合する結合部を備え、前記結合部が、互いに直
交する２つのレールを持ち、両レールの直交状態を維持
したままいずれのレールも他方のレールに沿って摺動可
能なクロス直交ガイドを有し、このクロス直交ガイドの
一方のレールを前記基台に結合するとともに、他方のレ
ールに前記移動ステージの表面と同じ平面内で前記移動
ステージを回転可能に支持する回転軸を結合したことを
特徴とする。
対象物を保持する移動ステージを、固定された基台に対
して移動ステージの表面と同じ平面内で２次元的に平行
移動及び回転させて、被対象物の位置決めを行うアライ
メントステージであって、前記平面内での前記平行移動
および回転を許容しつつ、前記移動ステージの表面に垂
直な方向において前記移動ステージと前記基台とを遊離
不能に結合する結合部を備え、前記結合部が、互いに直
交する２つのレールを持ち、両レールの直交状態を維持
したままいずれのレールも他方のレールに沿って摺動可
能なクロス直交ガイドを有し、このクロス直交ガイドの
一方のレールを前記基台に結合するとともに、他方のレ
ールに前記移動ステージの表面と同じ平面内で前記移動
ステージを回転可能に支持する回転軸を結合したことを
特徴とする。
【００１１】また請求項４の発明では、請求項３のアラ
イメントステージにおいて、前記結合部が少なくとも３
個あることを特徴とする。
イメントステージにおいて、前記結合部が少なくとも３
個あることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態の一つ
であるアライメントステージの平面図、図２は図１のイ
方向から見た断面図、図３は図１のウ方向から見た断面
図である。なお各図は見やすいように一部図示が破断ま
たは省略されている。特に、図１および図２では、図３
中の要素２０，２１，Ｍ（詳細は後述）の図示は省略さ
れている。
であるアライメントステージの平面図、図２は図１のイ
方向から見た断面図、図３は図１のウ方向から見た断面
図である。なお各図は見やすいように一部図示が破断ま
たは省略されている。特に、図１および図２では、図３
中の要素２０，２１，Ｍ（詳細は後述）の図示は省略さ
れている。
【００１３】図において、１は本体を構成する剛性フレ
ーム等からなる基台であり、２は後述する結合部３によ
り基台１上に支持された移動ステージである。この移動
ステージ２は、基台１と面しない側に感光材料や基板等
の被対象物を保持するための保持面Ｓを有するプレート
部４と、このプレート部４の反保持面側に固設され、結
合部３により基台１と結合される支持部５とからなる。
なお保持面Ｓには図示しない吸着溝等が設けられており
被対象物を吸着保持するように構成されている。
ーム等からなる基台であり、２は後述する結合部３によ
り基台１上に支持された移動ステージである。この移動
ステージ２は、基台１と面しない側に感光材料や基板等
の被対象物を保持するための保持面Ｓを有するプレート
部４と、このプレート部４の反保持面側に固設され、結
合部３により基台１と結合される支持部５とからなる。
なお保持面Ｓには図示しない吸着溝等が設けられており
被対象物を吸着保持するように構成されている。
【００１４】移動ステージ２と基台１とを結合する結合
部３は、移動ステージ２を前記保持面Ｓの面内方向で２
次元的に回転可能に支持する回転軸６と、この回転軸６
と前記基台１とを結合するクロス直交ガイド７とからな
る。
部３は、移動ステージ２を前記保持面Ｓの面内方向で２
次元的に回転可能に支持する回転軸６と、この回転軸６
と前記基台１とを結合するクロス直交ガイド７とからな
る。
【００１５】回転軸６は、軸体８と、この軸体８を回転
可能に軸支する前記支持部５に嵌合された軸受け９とか
ら構成されている。なお軸体８は軸受け９から離脱しな
いように、その端部に軸心方向の移動を禁止する止め部
材１０が設けられている。
可能に軸支する前記支持部５に嵌合された軸受け９とか
ら構成されている。なお軸体８は軸受け９から離脱しな
いように、その端部に軸心方向の移動を禁止する止め部
材１０が設けられている。
【００１６】クロス直交ガイド７は、第１レール１１と
第２レール１２とがレール支持体１３を介して互いに直
交する方向にのみ摺動するように構成されたガイド部材
である。このクロス直交ガイド７の第１レール１１は、
結合部材１４を介して前記軸体８に固設されており、第
１レール１２は前記基台１に固設されている。なお第１
レール１１及び第２レール１２は、レール支持体１３に
摺動状態で結合されており、どちらのレールも摺動方向
以外には移動しないように規制されている。クロス直交
ガイド７を構成する各要素は一体化されており、Ｚ方向
に力が加わっても各要素が分離することはない。
第２レール１２とがレール支持体１３を介して互いに直
交する方向にのみ摺動するように構成されたガイド部材
である。このクロス直交ガイド７の第１レール１１は、
結合部材１４を介して前記軸体８に固設されており、第
１レール１２は前記基台１に固設されている。なお第１
レール１１及び第２レール１２は、レール支持体１３に
摺動状態で結合されており、どちらのレールも摺動方向
以外には移動しないように規制されている。クロス直交
ガイド７を構成する各要素は一体化されており、Ｚ方向
に力が加わっても各要素が分離することはない。
【００１７】上記のように結合部３は構成されているの
で、移動ステージ２は基台１に対し、図２のＺ方向への
移動は禁止された状態で、前記保持面Ｓの面内方向で２
次元的に移動可能に支持されている。すなわち、結合部
３は、ＸＹ平面内での平行移動および回転を許容しつ
つ、移動ステージ２の表面に垂直な方向Ｚにおいて移動
ステージ２と基台１とを遊離不能に結合していることに
なる。なお結合部３は、少なくとも３個あれば移動ステ
ージ２を無理なく支持することができる。
で、移動ステージ２は基台１に対し、図２のＺ方向への
移動は禁止された状態で、前記保持面Ｓの面内方向で２
次元的に移動可能に支持されている。すなわち、結合部
３は、ＸＹ平面内での平行移動および回転を許容しつ
つ、移動ステージ２の表面に垂直な方向Ｚにおいて移動
ステージ２と基台１とを遊離不能に結合していることに
なる。なお結合部３は、少なくとも３個あれば移動ステ
ージ２を無理なく支持することができる。
【００１８】次に移動ステージ２の駆動に関して説明す
る。前記基台１には３つの駆動手段Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が
固設されている。各駆動手段Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３は各々モ
ータＭ１、Ｍ２、Ｍ３を有し、このモータＭ１、Ｍ２、
Ｍ３の回転により作動腕Ａ１、Ａ２、Ａ３を伸縮動作さ
せることができる。ここで作動腕Ａ１、Ａ２は前記移動
ステージ２の図１における左右両端の位置で図１のＹ軸
方向に伸縮するように配置されている。作動腕Ａ３は前
記移動ステージ２のＹ軸方向の中央において図１のＸ軸
方向に伸縮するように配置されている。一方、前記移動
ステージ２の支持部５には、前記各作動腕Ａ１、Ａ２、
Ａ３の頂部に設けたコロが当接するように当たり金具Ｃ
１、Ｃ２、Ｃ３が固設されている。他方、移動ステージ
２の各４辺はバネＢにより基台１に結合されており、こ
れにより移動ステージ２は常時各作動腕Ａ１、Ａ２、Ａ
３が収縮する方向に付勢されている。
る。前記基台１には３つの駆動手段Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が
固設されている。各駆動手段Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３は各々モ
ータＭ１、Ｍ２、Ｍ３を有し、このモータＭ１、Ｍ２、
Ｍ３の回転により作動腕Ａ１、Ａ２、Ａ３を伸縮動作さ
せることができる。ここで作動腕Ａ１、Ａ２は前記移動
ステージ２の図１における左右両端の位置で図１のＹ軸
方向に伸縮するように配置されている。作動腕Ａ３は前
記移動ステージ２のＹ軸方向の中央において図１のＸ軸
方向に伸縮するように配置されている。一方、前記移動
ステージ２の支持部５には、前記各作動腕Ａ１、Ａ２、
Ａ３の頂部に設けたコロが当接するように当たり金具Ｃ
１、Ｃ２、Ｃ３が固設されている。他方、移動ステージ
２の各４辺はバネＢにより基台１に結合されており、こ
れにより移動ステージ２は常時各作動腕Ａ１、Ａ２、Ａ
３が収縮する方向に付勢されている。
【００１９】上記の構成により移動ステージ２は各駆動
手段Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３の駆動により保持面Ｓの面内で２
次元的に平行及び回転移動する。すなわち作動腕Ａ１、
Ａ２を同じ量だけ伸縮させることにより移動ステージ２
をＹ軸方向に平行移動させることができ、また作動腕Ａ
１、Ａ２を各々異なる量伸縮させることによりθ方向に
回転させることができる。また作動腕Ａ３を伸縮させる
ことにより移動ステージ２をＸ軸方向に平行移動させる
ことができる。
手段Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３の駆動により保持面Ｓの面内で２
次元的に平行及び回転移動する。すなわち作動腕Ａ１、
Ａ２を同じ量だけ伸縮させることにより移動ステージ２
をＹ軸方向に平行移動させることができ、また作動腕Ａ
１、Ａ２を各々異なる量伸縮させることによりθ方向に
回転させることができる。また作動腕Ａ３を伸縮させる
ことにより移動ステージ２をＸ軸方向に平行移動させる
ことができる。
【００２０】また図３には、露光装置に適用する場合の
アライメントテーブルの配置を示している。図において
基台１には、フォトマスクＭの周辺を保持するためのフ
ォトマスク保持部２０が設けられており、これによりフ
ォトマスクＭが移動ステージ２上の基板ＳＢに対して平
行に配置される。また図示しない支持手段によりアライ
メントカメラ２１が移動ステージ２に対向して設けられ
ている。このアライメントカメラ２１はＣＣＤ撮像素子
等で構成され、フォトマスクＭを介して基板Ｂ上に形成
されたレジスターマーク等を撮像するものである。この
アライメントカメラ２１により撮像されたレジスターマ
ーク像は、図示しない画像処理手段により画像処理され
て位置検出がなされるように構成されている。
アライメントテーブルの配置を示している。図において
基台１には、フォトマスクＭの周辺を保持するためのフ
ォトマスク保持部２０が設けられており、これによりフ
ォトマスクＭが移動ステージ２上の基板ＳＢに対して平
行に配置される。また図示しない支持手段によりアライ
メントカメラ２１が移動ステージ２に対向して設けられ
ている。このアライメントカメラ２１はＣＣＤ撮像素子
等で構成され、フォトマスクＭを介して基板Ｂ上に形成
されたレジスターマーク等を撮像するものである。この
アライメントカメラ２１により撮像されたレジスターマ
ーク像は、図示しない画像処理手段により画像処理され
て位置検出がなされるように構成されている。
【００２１】
【他の実施の形態】上記実施の形態では、結合部３に予
め２つの直交するレールを持つクロス直交ガイド７を用
いたが、一方向に摺動可能なガイド手段を２つ用意し、
２つのガイド手段を互いに直交する方向に組み合わせて
相互に固定しても代用できる。また、これら２つのガイ
ド手段と回転軸との組合せ順序も変更可能であり、たと
えば基台１側に軸体８および軸受け９が存在するように
してもよい。
め２つの直交するレールを持つクロス直交ガイド７を用
いたが、一方向に摺動可能なガイド手段を２つ用意し、
２つのガイド手段を互いに直交する方向に組み合わせて
相互に固定しても代用できる。また、これら２つのガイ
ド手段と回転軸との組合せ順序も変更可能であり、たと
えば基台１側に軸体８および軸受け９が存在するように
してもよい。
【００２２】もっとも、コスト及び部品点数の簡素化か
ら前述のクロス直交ガイド７を用いた方がより好まし
い。
ら前述のクロス直交ガイド７を用いた方がより好まし
い。
【００２３】さらに、図１〜図３の実施の形態では２つ
の並進（平行移動）自由度と１つの回転自由度との組合
せで所要の自由度を確保しているが、２つの回転自由度
と１つの平行自由度との組合せや、３つの回転自由度の
組合せで所要の自由度を確保することも可能である。
の並進（平行移動）自由度と１つの回転自由度との組合
せで所要の自由度を確保しているが、２つの回転自由度
と１つの平行自由度との組合せや、３つの回転自由度の
組合せで所要の自由度を確保することも可能である。
【００２４】たとえば図４の例では、基台１上に回転自
在に軸支された軸３１の頂部にレール支持体３２を固定
し、このレール支持体３２上をレール３３が矢印Ｌのよ
うに摺動可能とするとともに、軸３４によってレール３
３を移動ステージ２に回転自在に軸支している。この場
合、レール支持体３２とレール３３との連結体３０は外
力によってＸＹ平面内の任意の方向に「腕振り」をする
ことが可能であり、このようにして回転と２次元平行移
動とを実現できる。
在に軸支された軸３１の頂部にレール支持体３２を固定
し、このレール支持体３２上をレール３３が矢印Ｌのよ
うに摺動可能とするとともに、軸３４によってレール３
３を移動ステージ２に回転自在に軸支している。この場
合、レール支持体３２とレール３３との連結体３０は外
力によってＸＹ平面内の任意の方向に「腕振り」をする
ことが可能であり、このようにして回転と２次元平行移
動とを実現できる。
【００２５】また、図５の例では３つの回転軸支部３
６，３７，３８を有するリンク機構によってこの発明に
おける結合部を実現している。これらはいずれも基台１
と移動ステージ２とのＺ方向の遊離は防止される。
６，３７，３８を有するリンク機構によってこの発明に
おける結合部を実現している。これらはいずれも基台１
と移動ステージ２とのＺ方向の遊離は防止される。
【００２６】もっとも、剛性（ガタの防止）という観点
からは、可動部におけるトルク負荷が比較的低い図１〜
図３の態様が好ましい。
からは、可動部におけるトルク負荷が比較的低い図１〜
図３の態様が好ましい。
【００２７】このように、この発明は種々の変形での実
施が可能である。
施が可能である。
【００２８】
【発明の効果】請求項１〜請求項３の発明においては、
移動ステージの表面に平行な平面内での平行移動および
回転が許容されつつ、移動ステージの表面に垂直な方向
において移動ステージと基台とを遊離不能に結合されて
いるため、移動ステージ及び基台を垂直に設けても移動
ステージが基台からはずれることがなく安定して支持す
ることができる。
移動ステージの表面に平行な平面内での平行移動および
回転が許容されつつ、移動ステージの表面に垂直な方向
において移動ステージと基台とを遊離不能に結合されて
いるため、移動ステージ及び基台を垂直に設けても移動
ステージが基台からはずれることがなく安定して支持す
ることができる。
【００２９】特に、請求項２および請求項４の発明では
結合部が少なくとも３個あるため、移動ステージを無理
なく支持することができる。
結合部が少なくとも３個あるため、移動ステージを無理
なく支持することができる。
【００３０】さらに、請求項３の発明では移動ステージ
と基台との結合にクロス直交ガイドを用いているため、
上記の効果に加えさらに装置を簡易な構造で安価に製造
することができるという効果がある。
と基台との結合にクロス直交ガイドを用いているため、
上記の効果に加えさらに装置を簡易な構造で安価に製造
することができるという効果がある。
【図１】この発明の一実施形態であるアライメントステ
ージの平面図である。
ージの平面図である。
【図２】この発明の一実施形態であるアライメントステ
ージの断面図である。
ージの断面図である。
【図３】この発明の一実施形態であるアライメントステ
ージの別方向からの断面図である。
ージの別方向からの断面図である。
【図４】この発明の変形例における結合部の概念図であ
る。
る。
【図５】この発明の他の変形例における結合部の概念図
５ある。
５ある。
【図６】従来のアライメントステージ（テーブル）の平
面図である。
面図である。
【図７】従来のアライメントステージ（テーブル）の断
面図である。
面図である。
１ 基台
２ 移動ステージ
３ 結合部
６ 回転軸
７ クロス直交ガイド
８ 軸体
９ 軸受け
１１ 第１レール
１２ 第２レール
１３ レール支持体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G12B 5/00
G01B 5/00
G01B 21/00
B23Q 1/18
G02B 21/26
G03F 9/00
H01L 21/30
Claims (4)
- 【請求項１】 その表面に被対象物を保持する移動ステ
ージを、固定された基台に対して移動ステージの表面と
同じ平面内で２次元的に平行移動及び回転させて、被対
象物の位置決めを行うアライメントステージであって、 前記平面内での前記平行移動および回転を許容しつつ、
前記移動ステージの表面に垂直な方向において前記移動
ステージと前記基台とを遊離不能に結合する結合部、を
備え、 前記結合部が、 (a) 前記移動ステージを前記移動ステージの表面と同じ
平面内で２次元的に回転可能に支持する回転軸と、 (b) 前記回転軸を前記移動ステージの表面と平行な第１
の方向にのみ移動可能に支持する第１のガイド手段と、 (c) 前記第１のガイド手段を、前記移動ステージの表面
と平行でかつ前記第１の方向と直交する第２の方向にの
み移動可能に支持する第２のガイド手段と、を離脱不能
に組み合わせて構成されていることを特徴とするアライ
メントステージ。 - 【請求項２】 請求項１のアライメントステージにおい
て、前記結合部が少なくとも３個あることを特徴とするアラ
イメントステージ。 - 【請求項３】 その表面に被対象物を保持する移動ステ
ージを、固定された基台に対して移動ステージの表面と
同じ平面内で２次元的に平行移動及び回転させて、被対
象物の位置決めを行うアライメントステージであって、 前記平面内での前記平行移動および回転を許容しつつ、
前記移動ステージの表面に垂直な方向において前記移動
ステージと前記基台とを遊離不能に結合する結合部、を
備え、 前記結合部が、 互いに直交する２つのレールを持ち、両レールの直交状
態を維持したままいずれのレールも他方のレールに沿っ
て摺動可能なクロス直交ガイドを有し、 このクロス直交ガイドの一方のレールを前記基台に結合
するとともに、他方のレールに前記移動ステージの表面
と同じ平面内で前記移動ステージを回転可能に支持する
回転軸を結合したことを特徴とするアライメントステー
ジ。 - 【請求項４】 請求項３のアライメントステージにおい
て、 前記結合部が少なくとも３個あることを特徴とするアラ
イメントステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04755296A JP3364079B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | アライメントステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04755296A JP3364079B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | アライメントステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243766A JPH09243766A (ja) | 1997-09-19 |
| JP3364079B2 true JP3364079B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=12778338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04755296A Expired - Lifetime JP3364079B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | アライメントステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3364079B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4591136B2 (ja) * | 2005-03-14 | 2010-12-01 | 株式会社安川電機 | ２次元位置決め装置 |
| JP4826149B2 (ja) * | 2005-06-15 | 2011-11-30 | 株式会社安川電機 | 長ストローク移動可能なアライメントステージ |
| CN101300429B (zh) | 2005-08-31 | 2010-07-28 | Thk株式会社 | 引导台装置 |
| JP2014006162A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Ulvac Japan Ltd | ＸＹθステージ機構 |
| US10444140B1 (en) * | 2019-03-18 | 2019-10-15 | J.A. Woollam Co., Inc. | Theta-theta sample positioning stage with application to sample mapping using reflectometer, spectrophotometer or ellipsometer system |
-
1996
- 1996-03-05 JP JP04755296A patent/JP3364079B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09243766A (ja) | 1997-09-19 |
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