JP3361184B2 - メッキ工程の搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、銅張積層板やプリント
基板等の矩形平板状の被メッキ体である基板をメッキ用
のラックに取り付け、さらにこのラックをキャリヤバー
等に取り付けて基板をメッキするメッキ処理と、ラック
とキャリヤバー等の剥離処理を自動化するのに適したメ
ッキ工程の搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板等を製造するため
に、例えば絶縁基板に化学還元反応で金属を析出させて
導電性を付与する無電解メッキや、この無電解メッキ等
で導電性が付与された基板に電気分解反応で銅イオンを
還元してプリント基板を形成する電解メッキ等の処理が
行われている。

【０００３】このようなメッキ処理を行うメッキ工程で
は、例えば、特開平４−３４８５８６広報に示されてい
るように電気を供給するカソードバーに配設した給電チ
ャック治具でプリント基板（プリント配線板）の端部を
保持したり、特開平４−１４１９９号広報に示されてい
るようにカソードバー（給電横枠）に垂下した側枠にプ
リント基板を取付け、プリント基板をメッキ処理槽に投
入してメッキ処理が行われる。

【０００４】しかしながら、このようなプリント基板の
取付け方式（ラックレス方式）では、一つのカソードバ
ーに多くのプリント基板を取り付けるのが困難であり生
産性が劣るという問題がある。これに対して、プリント
基板をフレーム状のラックに取り付けるとともにこのラ
ックをカソードバーの役割をするキャリアバーに取り付
ける方式（ラック方式）によれば、一つのキャリアバー
に多くのプリント基板を取り付けることができ、生産性
の面で優れている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ラック
へのプリント基板の取付け作業および取外し作業やキャ
リアバーへのラックの取付け作業および取外し作業は、
従来、手作業で行われており、自動化、省力化が要求さ
れている。

【０００６】特に、メッキ前処理、無電解メッキ、電解
メッキを同一のラックで連続して行うパネルメッキ処理
等では、メッキ済基板を取り外したラックおよびキャリ
アバーは、ラックおよびキャリアバー自体がメッキされ
ているので、メッキ槽内に設けられた剥離槽に投入して
剥離処理を行うので、ラックをキャリアバーに取り付け
たりキャリアバーからラックを取り外す作業、これらの
ラックやキャリアバーを扱う搬送工程などを効率良く自
動化することが要求される。

【０００７】本発明は、ラック方式によるメッキ工程の
自動化、省力化に適したメッキ工程の搬送装置を提供す
ることを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになした本発明のメッキ工程の搬送装置は、被メッキ
体である基板をラックに取り付けるとともに該ラックを
キャリアバーに取り付けて該キャリアバーごとラックお
よび基板をメッキ槽に供給し、該メッキ槽でメッキ処理
が終了したメッキ処理済のキャリアバーからメッキ処理
済のラックを取り外すとともに該メッキ処理済のラック
からメッキ処理済の基板を取り外して該メッキ処理済の
基板を回収するようにしたメッキ工程の搬送装置であっ
て、基板をラックに取り付けるとともに、メッキ処理済
の基板をメッキ処理済のラックから取り外す基板着脱部
と、キャリアバーに対してラックの取付けと取外しを行
う移載部と、前記基板着脱部から搬出されるラックを前
記移載部に搬送するととともに、該移載部でキャリアバ
ーから取り外されたラックを前記基板着脱部に搬送する
ラック搬送部と、前記移載部でラックが取り付けられた
キャリアバーを前記メッキ槽に搬送するとともに該メッ
キ槽からラックが取り付けられたキャリアバーを前記移
載部に搬送するキャリアバー搬送部と、を備えたことを
特徴とする。

【０００９】

【作用】図１は本発明のメッキ工程の搬送装置の基本構
成を示す図であり、同図に示した矢印とマークは基板、
ラックおよびキャリアバーの流れを示すもので、破線の
上段はメッキ処理を行うときの流れ、下段は剥離処理を
行うときの流れを示している。なお、マークのうち小さ
い正方形は基板、長方形はラック、大きい正方形はキャ
リアバーをそれぞれ示している。また、白のマークはメ
ッキ処理されていない基板または剥離済のラックとキャ
リアバーを示し、黒のマークはメッキ処理済のものを示
している。なお、上記の流れは代表的な流れである。

【００１０】メッキ処理の流れにおいて、基板着脱部Ａ
にはラック搬送部Ｃを介して剥離済のラックが供給され
るとともに、メッキ処理されていない基板が供給され、
基板着脱部Ａはこのラックに基板を取り付けてラック搬
送部Ｃに搬出する。ラック搬送部Ｃはラック（および基
板）を移載部Ｂに搬送する。移載部Ｂはメッキ処理され
ていない基板を取り付けた剥離済のラックを剥離済のキ
ャリアバーに取り付け、キャリアバー搬送部Ｄは、この
基板、ラックおよびキャリアバーをメッキ槽１００に搬
送する。

【００１１】また、キャリアバー搬送部Ｄは、メッキ槽
１００でメッキ処理されたメッキ処理済の基板、ラック
およびキャリアバーを移載部Ｂに搬送し、移載部Ｂはメ
ッキ処理済のキャリアバーからメッキ処理済のラック
（および基板）を取り外し、ラック搬送部Ｃはこのメッ
キ処理済のラック（および基板）を基板着脱部Ａに搬送
する。そして、基板着脱部Ａはメッキ処理済の基板をラ
ックから取り外して搬出する。

【００１２】剥離処理の流れでは、基板着脱部Ａは、基
板を取り外したメッキ処理済のラックをラック搬送部Ｃ
に搬出し、ラック搬送部Ｃはメッキ処理済のラックを移
載部Ｂに搬送する。移載部Ｂはメッキ処理済のラックを
メッキ処理済のキャリアバーに取り付け、キャリアバー
搬送部Ｄは、このメッキ処理済のラックとキャリアバー
をメッキ槽１００に搬送する。

【００１３】また、キャリアバー搬送部Ｄは、メッキ槽
１００で剥離処理された剥離済のラックとキャリアバー
を移載部Ｂに搬送し、移載部Ｂは剥離処理済のキャリア
バーから剥離処理済のラックを取り外し、ラック搬送部
Ｃはこの剥離処理済のラックを基板着脱部Ａに供給す
る。

【００１４】以上のように、ラック搬送部Ｃでのラック
の搬送、移載部Ｂでのラックとキャリアバーの移載、キ
ャリアバー搬送部Ｄでのキャリアバーの搬送動作は、基
板、ラックおよびキャリアバーがメッキ処理されている
かいないかに係わらず、同じ部材に対する同じ動作を行
えばよいので、自動化、省力化に適している。

【００１５】なお、移載部Ｂにおいて、垂直面内で整列
されたラックが供給されるラック整列保持部と、このラ
ックと平行な垂直面内にキャリアバーを保持するととも
にこのキャリアバーをキャリアバー搬送部との間で移動
させるキャリアバースライド装置と、ラックを移動する
ラック移動装置とを備え、この移載部Ｂで、ラック移動
装置により、ラック整列保持部のラックを整列状態を保
持して取り出すとともに、ラックを平行移動してキャリ
アバースライド装置のキャリアバーに取り付けるように
すると、キャリアバーに対するラックの取付けと取外し
の動作を簡単にすることができるとともに、キャリアバ
ーに取り付けられたラックが整列されたものとなる。

【００１６】さらに、移載部Ｂのラック整列保持部にお
いて、ラック整列部と、ラック待機部と、ラック払出し
部とを備え、ラック整列保持部で、ラック移動装置によ
って、ラック整列部から取り出したラックをラック待機
部に一旦整列させるとともに、この整列されたラックを
キャリアバースライド装置のキャリアバーに取り付け、
キャリアバースライド装置のキャリアバーからラックを
取り出してラック払出し部に供給するようにすると、キ
ャリアバーへの取付け取外しの動作を滞りなく行うこと
ができる。

【００１７】

【実施例】図２３(A) は本発明の実施例のメッキ工程の
搬送装置に適用されるメッキ用ラックの正面図、図２３
(B) は同メッキ用ラックの側面図、図２３(C) は同メッ
キ用ラックの下面図であり、図２４は図２３(A) のＡ−
Ａ拡大断面図である。

【００１８】この実施例におけるメッキ用ラックは、ス
ルーホール用に穴あけされたプリント配線板（以後、こ
の実施例では「基板」という。）をメッキ槽に浸漬する
ためのものであり、このメッキ用ラックに基板を複数枚
取り付け、さらに基板を取り付けた複数のラック（例え
ば３枚）をキャリアバーに取り付けてキャリアバーごと
メッキ槽に浸漬される。なお、以後、この実施例では
「メッキ用ラック」を単に「ラック」という。

【００１９】図において、１はラックの長手方向の枠を
構成する縦枠、２は縦枠１に沿って配設された咬持部
材、３は咬持部材２を縦枠１に押圧する弾性部材、４は
縦枠１の下端と上部とに取り付けられた横枠である。な
お、縦枠１、咬持部材２、弾性部材３、横枠４は良導電
性の材料でできている。

【００２０】縦枠１の上端部には先端を下方に折り曲げ
て係合部１ａが形成されるとともにこの係合部１ａの背
面に係合突起１ｂが形成されている。また、咬持部材２
は片側３本づつを一組として縦枠１に沿って配設され、
縦枠１と咬持部材２との間には導電性の角棒５が縦枠１
に沿って固定されている。

【００２１】弾性部材３は例えばスチール板やステンレ
ス板等の強い弾性を有する板材を加工したもので、この
ラックへの組み付け前は断面形状が二等辺三角形となる
ように折り曲げ加工されている。

【００２２】この弾性部材３は、縦枠１の長手方向の適
宜数カ所において各咬持部材２と縦枠１を外側から咬持
するように取り付けられ、咬持部材２の略中央を角棒５
の一辺を支点Ｏとして咬持部材２の内側縁２Ａを縦枠１
に向けて付勢している。なお、図２４に示すように、こ
の弾性部材３はこのラックの側面端部に相当する部分の
板材が内側に湾曲している。

【００２３】上下２つの横枠４は同じ構造になってお
り、それぞれ両側の縦枠１に固定された枠材４Ａと枠材
４Ｂを組み合わせた構造になっている。片側の枠材４Ａ
の先端は他方の枠材４Ｂに摺動自在に係合されるととも
に、枠材４Ｂの先端は、枠材４Ａに形成された長穴４Ａ
ａを通したボルト４Ｂａを枠材４Ｂの先端に取り付けら
れたナット４Ｂｂにネジ止めすることにより、枠材４Ａ
に固定されている。

【００２４】また、上下の横枠４は、縦枠１に対して咬
持部材２の配設面と反対側の面に取り付けられており、
この横枠４は、縦枠１と咬持部材２との間隙の延長面外
に設けられている。

【００２５】以上の構成により、先ず、図２４に示すよ
うに縦枠１が下になるようにしてラックを水平に保持
し、横枠４のボルト４Ｂａを緩めることにより枠材４Ａ
と枠材４Ｂをスライド可能とし、一対の縦枠１の間隔を
基板１０の幅に調整し、ボルト４Ｂａを締めて一対の縦
枠１の間隔を固定する。

【００２６】次に、左右両側の各咬持部材２について、
図２５(A) に示したように咬持部材２の外側上端２Ｂを
押さえて、図２５(B) のように、弾性部材３の弾性力に
抗して咬持部材２を縦枠１と平行になるようにし、この
咬持部材２と縦枠１との間に角棒５の厚み分の隙間εを
あける。

【００２７】この状態で、図２３に示した下端（係合部
１ａと反対側）の横枠４側から基板１０を水平にして供
給し、基板１０の両端を縦枠１上で摺動させて隙間Ｔ内
に挿入する。このとき、基板１０は大きさに応じた枚数
（図２３の例では２枚）だけ、一連にして、または、順
次挿入する。そして、図２５(C) のように、各咬持部材
２の外側上端２Ｂを押さえている力を解除し、弾性部材
３の復元力によって縦枠１と咬持部材２とで基板１０の
両端を咬持する。これによって基板１０の取付けが完了
する。

【００２８】なお、基板１０が取り付けられたラック
は、後述説明するようにキャリアバーに取り付けてメッ
キ槽に搬送し、所定のメッキ処理を行う。そして、メッ
キ済基板を取り外すときは、取付け時と同様に、縦枠１
が下になるようにしてラックを水平に保持し、左右両側
の各咬持部材２の外側上端を押さえて咬持部材２と縦枠
１との間に角棒５の厚み分の隙間εをあけ、メッキ済基
板を縦枠１と咬持部材２との隙間εから抜き出す。

【００２９】図２６は実施例のラックをキャリアバーに
取り付けた状態を示す図であり、この例では、３枚のラ
ックＡがキャリアバー２０に取り付けられており、この
実施例では２つのキャリアバー２０が一組となってキャ
リアバー搬送部Ｄおよび後述説明するキャリアバースラ
イド装置で扱われる。なお、キャリアバーは、ラック等
を保持する他、電解メッキ処理を行うときにはラック等
に通電を行うためのものでもあり、移動カソードバーと
も呼ばれている。

【００３０】図２は実施例のメッキ工程の搬送装置の平
面図である。この実施例の搬送装置は、基板をラックに
取り付ける基板取付け装置Ａ１、ラックから基板を取り
外す基板取外し装置Ａ２を備えており、この基板取付け
装置Ａ１と基板取外し装置Ａ２によって実施例の基板着
脱部Ａが構成されている。

【００３１】また、この実施例の搬送装置は、キャリア
バーに対してラックの取付けと取外しを行う移載部Ｂを
備え、この移載部Ｂは、キャリアバーに対してラックの
取付けと取外しを行うラック移動装置Ｂ１、ラックを整
列して保持するラック整列部Ｂ２、整列されたラックを
待機させるためのラック待機部Ｂ３、キャリアバーを移
動するキャリアバースライド装置Ｂ４、ラックを払い出
すためのラック払出し部Ｂ５を備えている。なお、この
実施例では、移載部Ｂのラック整列保持部は、ラック整
列部Ｂ２、ラック待機部Ｂ３およびラック払出し部Ｂ５
によって構成されている。

【００３２】また、ラックを反転して基板取外し装置Ａ
２に対して水平に搬送する第１反転搬送装置Ｃ１、基板
取付け装置Ａ１から搬出されるラックを搬送して垂直方
向に反転する第２反転搬送装置Ｃ２、第２反転搬送装置
Ｃ２からラックを受け取って移載部Ｂのラック整列部Ｂ
２に整列させる第１整列走行装置Ｃ３、移載部Ｂのラッ
ク払出し部Ｂ５に保持されたラックを第１反転搬送装置
Ｃ１に搬送する第２整列走行装置Ｃ４、第１反転搬送装
置Ｃ１から基板取外し装置Ａ２と基板取付け装置Ａ１を
通って第２反転搬送装置Ｃ２にラックを搬送する昇降コ
ンベアＣ５を備えている。

【００３３】そして、これらの第１反転搬送装置Ｃ１、
第２反転搬送装置Ｃ２、第１整列走行装置Ｃ３、第２整
列走行装置Ｃ４、昇降コンベアＣ５によって実施例のラ
ック搬送部Ｃが構成されている。なお、第１反転搬送装
置Ｃ１と第２反転搬送装置Ｃ２は同様な構造になってい
る。

【００３４】また、移載部Ｂとメッキ槽１００との間で
キャリアバーの搬送を行うキャリアバー搬送部Ｄを備
え、さらに、この実施例の搬送装置は、基板を供給する
基板供給装置２００、メッキ処理済の基板を乾燥させる
基板乾燥装置３００およびラックを蓄えるラックリザー
バ部４００を備えている。

【００３５】図３は実施例の搬送装置における基板、ラ
ックおよびキャリアバーの流れを説明する図である。図
の破線の矢印は基板の流れを示し、実線の矢印は基板と
ラックまたはラックのみの流れを示し、白矢印は基板と
ラックとキャリアバーまたはラックとキャリアバーの流
れを示している。

【００３６】そして、メッキ槽１００でメッキ処理およ
び剥離処理を行う際に、後述説明する各部の装置の動作
によって、基板、ラックおよびキャリアバーは次のよう
に扱われる。

【００３７】先ず、基板は水平な状態で基板供給装置２
００から基板取付け装置Ａ１に供給され、ラックは水平
な状態で昇降コンベアＣ５によって第１反転搬送装置Ｃ
１から基板取外し装置Ａ２を通って基板取付け装置Ａ１
に供給され、基板取付け装置Ａ１で基板がラックに取り
付けられる。

【００３８】基板が取り付けられたラックは水平な状態
で昇降コンベアＣ５によって第２反転搬送装置Ｃ２に搬
送され、このラックは第２反転搬送装置Ｃ２により第１
整列走行装置Ｃ３側に搬送されて９０度反転され、垂直
な状態に保持される。そして、この第２反転搬送装置Ｃ
２によって垂直に保持されたラックは第１整列走行装置
Ｃ３によって移載部Ｂのラック整列部Ｂ２に供給され
る。

【００３９】ラック整列部Ｂ２では、第１整列走行装置
Ｃ３の動作により、キャリアバーに取り付ける数だけの
ラックが整列して配列され、このラック整列部Ｂ２に配
列されたラックはラック移動装置Ｂ１によって整列され
た状態でラック待機部Ｂ３に移動される。

【００４０】さらに、このラック待機部Ｂ３に待機され
ているラックはラック移動装置Ｂ１によってキャリアバ
ースライド装置Ｂ４のキャリアバーに取り付けられ、ラ
ックを取り付けられたキャリアバーはキャリアバースラ
イド装置Ｂ４によってキャリアバー搬送部Ｄまで移動さ
れ、このキャリアバーは、キャリアバー搬送部Ｄにより
メッキ槽１００に供給される。

【００４１】なお、メッキ槽１００はキャリアバー搬送
部Ｄから供給されるキャリアバーをメッキ処理部や剥離
処理槽に投入して所定の処理を行い、この処理済のキャ
リアバー、ラックおよび基板をキャリアバー搬送部Ｄに
供給する。

【００４２】メッキ槽１００から供給されるメッキ処理
済のキャリアバーはキャリアバー搬送部Ｄによってキャ
リアバースライド装置Ｂ４まで搬送され、このキャリア
バーはキャリアバースライド装置Ｂ４に受け取られて移
載部Ｂ内に回収される。

【００４３】移載部Ｂでは、ラック移動装置Ｂ１により
キャリアバースライド装置Ｂ４のキャリアバーからメッ
キ処理済のラックが取り外され、このラックはラック払
出し部Ｂ５に一旦収められ、このラック払出し部Ｂ５の
ラックは第２整列走行装置Ｃ４により第１反転搬送装置
Ｃ１に移送される。

【００４４】このメッキ処理済の基板が取り付けられて
いるラックは、第１反転搬送装置Ｃ１により９０度反転
されて水平状態にされ、さらに、昇降コンベアＣ５に供
給され、昇降コンベアＣ５によって水平状態で基板取外
し装置Ａ２に供給される。

【００４５】そして、基板取外し装置Ａ２において、メ
ッキ処理済の基板がメッキ処理済のラックから取り外さ
れ、このメッキ処理済の基板は基板乾燥装置３００に回
収される。

【００４６】一方、基板が取り外されたメッキ処理済の
ラックは、昇降コンベアＣ５によって基板取付け装置Ａ
１を通過し第２反転搬送装置Ｃ２、第１整列走行装置Ｃ
３により移載部Ｂのラック整列部Ｂ２まで搬送され、第
１整列走行装置Ｃ３の動作により、キャリアバーに取り
付ける数だけのラックが整列して配列される。

【００４７】このラック整列部Ｂ２に配列されたラック
は前記同様に、ラック待機部Ｂ３を介してキャリアバー
スライド装置Ｂ４のメッキ処理済のキャリアバーに取り
付けられ、このキャリアバーはキャリアバースライド装
置Ｂ４およびキャリアバー搬送部Ｄによりメッキ槽１０
０に供給される。

【００４８】なお、メッキ槽１００はキャリアバー搬送
部Ｄから供給されるメッキ処理済のキャリアバーを剥離
処理槽に投入し、この剥離処理済のキャリアバーおよび
ラックをキャリアバー搬送部Ｄに供給する。

【００４９】キャリアバー搬送部Ｄに供給された剥離処
理済のキャリアバーとラックはキャリアバースライド装
置Ｂ４に搬送され、ラック移動装置Ｂ１によってキャリ
アバーから剥離処理済のラックが取り外されてラック払
出し部Ｂ５に回収され、このラック払出し部Ｂ５の剥離
処理済のラックは、第２整列走行装置Ｃ４によって移送
される。そして、第１反転搬送装置Ｃ１を介して基板取
外し装置Ａ２に供給されてメッキ処理に用いられるか、
または、ラックリザーバ部４００に回収される。

【００５０】なお、以上のメッキ処理の流れと剥離処理
の流れは、各部の搬送動作が重ならないようにタイミン
グを見計らって処理されており、メッキ処理と剥離処理
は実質的に同時平行して行われる。例えば、メッキ槽１
００の剥離処理槽で剥離処理を行っている間にメッキ処
理の流れとし、メッキ槽１００のメッキ槽でメッキ処理
を行っている間に剥離処理の流れとなるように、各部各
装置の動作タイミングを制御するとよい。

【００５１】図４は実施例の第１反転搬送装置Ｃ１の正
面図、図５はその一部破砕平面図、図６はその側面図で
ある。この第１反転搬送装置Ｃ１は回動枠部１１、該回
動枠部１１を水平移動する水平移動スライダ１２および
水平スライダ１２の端部上方に配設されたコンベア１３
を備えており、水平移動スライダ１２は移動台１２ａを
ガイドレール１２ｂ上で水平方向に往復移動する。

【００５２】回動枠部１１は、水平移動スライダ１２の
移動台１２ａ上に立設されたスライド軸１１１に上下に
摺動自在に支持された昇降軸１１２を備え、昇降軸１１
２の下端はスライド軸１１１と平行に配設された昇降シ
リンダ１１３の駆動軸に固定されている。

【００５３】また、昇降軸１１２の先端に回動自在に軸
支された水平軸１１４には回動枠１１５が固定されると
ともに、水平軸１１４の昇降軸１１２側端部には回動ア
ーム１１６が取り付けられ、この回動アーム１１６の先
端はエアシリンダ１１７の駆動軸に回動自在に軸支され
ている。また、このエアシリンダ１１７の端部は昇降軸
１１２の下端近傍で昇降シリンダ１１３の駆動軸に固定
された取付部材１１８に回動自在に軸支されている。

【００５４】なお、回動枠１１５には水平軸１１４と反
対側の面の下端部でラックＡの下端を保持する底板１１
５ａと、同じ面の上端部でラックＡの上端を咬持する２
本の平行アーム１１５ｂを備えており、底板１１５ａは
シリンダ１１５ｃによって図４の矢印のように移動し
てラックＡの下端を受け取り、平行アーム１１５ｂはシ
リンダ１１５ｄによって図４の矢印のように移動し
て、ラックＡの上端近傍を咬持して保持する。

【００５５】以上の構成により、第１整列走行装置Ｃ３
は、先ず、移動スライダ１２により回動枠部１１をコン
ベア１３と反対側（図４の実線の位置）に位置させてお
り、この位置で第２整列走行装置Ｃ４またはリザーバ部
４００から垂直に立てた状態で供給されるラックを取り
込み、ラックＡの下端に底板１１５ａを当てがうととも
に、平行アーム１１５ｂでラックＡの上端近傍を咬持し
て保持する。

【００５６】次に、エアシリンダ１１７を駆動して回動
枠１１５を図４の実線の状態から一点鎖線の状態に９０
度回転させてラックＡを水平に保持し、移動スライダ１
２により回動枠部１１をコンベア１３側に移動してラッ
クＡをコンベア１３の上部に搬送する。

【００５７】そして、昇降シリンダ１１３により昇降軸
１１２を下降させてラックＡをコンベア１１３上に載置
し、底板１１５ａと平行アーム１１５ｂを解除してラッ
クＡをコンベア１１３上に解放する。なお、コンベア１
１３はラックＡを基板取外し装置Ａ２側の昇降コンベア
Ｃ５に供給する。

【００５８】図７は実施例の基板取外し装置Ａ２の正面
図、図８はその一部破砕平面図、図９は図８のＢ−Ｂ矢
視図、図１０は図８のＣ−Ｃ矢視図である。この基板取
外し装置Ａ２は、基板取外し部２１、基板引出し部２
２、基板取込み部２３を備えており、メッキ処理済の基
板が取付けられたメッキ処理済のラックは基板取外し部
２１に供給され、この基板取外し部２１でラックから取
り外された基板は基板引出し部２２および基板取込み部
２３の順に搬送される。

【００５９】基板取外し部２１において、架台２１ａ上
にはラックの搬送方向に沿って昇降コンベアＣ５が配設
されており、架台２１ａには昇降コンベアＣ５と平行に
２本のスライダ２１ｂが付設されており、スライダ２１
ｂ上には、このスライダ２１ｂと直交する方向に掛け渡
された長台２１１ａ，２１２ａをそれぞれ基台とする固
定ラック開閉装置２１１と移動ラック開閉装置２１２と
がそれぞれ配設されている。

【００６０】そして、固定ラック開閉装置２１１と移動
ラック開閉装置２１２は架台２１ａの下部に配設された
スライド機構２１ｃによってラックの搬送方向の往復移
動される。また、架台２１ａの縁で固定ラック開閉装置
２１１と移動ラック開閉装置２１２の端部に対応する位
置には、ラックの横枠を下方に押さえるための横枠保持
機構２１３と、横枠保持機構２１３に隣接してボルト締
緩機構２１４が配設されている。

【００６１】このボルト締緩機構２１４は、図９に示し
たように、モータ２１４ａの先端にレンチ２１４ｂを備
え、固定ラック開閉装置２１１の基準位置から一定の位
置、すなわち、図２３に示すラックの枠材４Ｂの縦枠１
からボルト４Ｂａまでの間隔に設定されている。

【００６２】そして、横枠保持機構２１３は上下動する
シリンダ２１３ａの先端に回動爪２１３ｂを備えてお
り、回動爪２１３ｂを横枠に係合させて僅かに下降する
ように動作する。これにより、ラックの幅調整時には、
ラックのボルト４Ｂａをボルト締緩機構２１４のレンチ
２１４ｂに係合させてボルト４Ｂａを緩めたり締めたり
する。また、ラックから基板を取り外すときには、ラッ
クから引き出される基板が確実に通過できるようにして
いる。

【００６３】固定ラック開閉装置２１１と移動ラック開
閉装置２１２は互いに対面して略対称な構造になってお
り、それぞれ長台２１１ａ，２１２ａに沿って縦板２１
１ｂ，２１２ｂが立設され、この縦板２１１ｂ，２１２
ｂには５台のエアシリンダ２１１ｃ，２１２ｃが垂直に
並設されている。

【００６４】縦板２１１ｂ，２１２ｂの上端にはラック
の縦枠１に沿うように受け板２１１ｄ，２１２ｄが配設
され、また、各エアシリンダ２１１ｃ，２１２ｃのロッ
ドには、受け板２１１ｄ，２１２ｄに対向する押え板２
１１ｅ，２１２ｅを配設した長板２１１ｆ，２１２ｆが
取り付けられている。さらに、縦板２１１ｂ，２１２ｂ
の対向面側にはラックから基板を取り外すときに基板を
支える補助ローラ２１１ｇ，２１２ｇが取り付けられて
いる。

【００６５】基板引出し部２２は、架台２２ａの上面に
多数のローラ２２ｂを備え、このローラ２２ｂはモータ
２２ｃによって回転される。ローラ２２ｂの上部には、
基板の搬送方向を長手方向にして下面を吸着面とした吸
着パッド２２ｄを備えており、この吸着パッド２２ｄは
エアシリンダ２２ｅによって上下動されるとともに水平
スライド機構２２ｆによってこの基板引出し部２２と基
板取外し部２１との間を往復移動される。

【００６６】基板取込み部２３は、架台２３ａの上面に
多数のローラ２３ｂを備え、このローラ２３ｂはモータ
２３ｃによって回転される。

【００６７】以上の構成により基板取外し装置Ａ２は次
のように動作する。先ず、基板取外し部２１において、
昇降コンベアＣ５は、図１０に二点鎖線で示したように
その上面が固定ラック開閉装置２１１と移動ラック開閉
装置２１２の上端の長板２１１ｆ，２１２ｆより上にな
る位置にあり、この状態で第１反転搬送装置Ｃ１からラ
ックを搬入し、先頭の縦枠が固定ラック開閉装置２１１
の手前近傍となる位置で停止させる。

【００６８】次に、昇降コンベアＣ５を図１０の実線の
位置に下降させる。このとき昇降コンベアＣ５の上面が
固定ラック開閉装置２１１と移動ラック開閉装置２１２
の受け板２１１ｄ，２１２ｄの上面より僅かに下に位置
となるように設定されており、この状態で固定ラック開
閉装置２１１が内側に僅かに移動される。

【００６９】このとき、固定ラック開閉装置２１１の受
け板２１１ｄの先端に形成されたテーパー面によりラッ
クの縦枠の下面が受けられ、固定ラック開閉装置２１１
の受け板２１１ｄと押え板２１１ｅとの間にラックの縦
枠と咬持部材が収まり、この固定ラック開閉装置２１１
の位置で規制される所定位置に停止される。

【００７０】また、固定ラック開閉装置２１１の動作と
ともに、移動ラック開閉装置２１２は内側に移動し、上
記同様にラックの反対側の縦枠と咬持部材を受け板２１
２ｄと押え板２１２ｅとの間に収める。このように、固
定ラック開閉装置２１１と移動ラック開閉装置２１２に
より、ラックは、縦枠を下にして水平にされるとともに
ラックの縦枠が基板の移送方向と平行になるように基板
引出し部２２の前方に保持される。

【００７１】ラックの両側の縦枠と咬持部材が固定ラッ
ク開閉装置２１１および移動ラック開閉装置２１２に収
められると、横枠保持機構２１３で横枠を押さえ、図１
１に示したように、固定ラック開閉装置２１１および移
動ラック開閉装置２１２は、エアシリンダ２１１ｃ，２
１２ｃを駆動し、前記図２５について説明したように、
各咬持部材２を縦枠１と平行になるようにして咬持部材
２と縦枠１との間に隙間をあける。なお、この状態で、
ラックは固定ラック開閉装置２１１および移動ラック開
閉装置２１２に固定されたことになる。

【００７２】次に、基板引出し部２２の吸着パッド２２
ｄが基板取外し部２１の固定ラック開閉装置２１１と移
動ラック開閉装置２１２の間に移動するとともに下降
し、この吸着パッド２２ｄでラックに取り付けられてい
る基板を吸着する。そして、吸着パッド２２ｄを基板引
出し部２２のローラ２２ｂ上に移動してラックから基板
を引出し、ローラ２２ｂ上で吸着パッド２２ｄの吸引力
を解除して基板をローラ２２ｂ上に載置する。

【００７３】なお、ローラ２２ｂ上に引き出された基板
は、ローラ２２ｂと基板取込み部２３のローラ２３ｂに
より搬送され、基板乾燥装置３００に供給され、乾燥処
理が施される。

【００７４】また、ラックから基板が取り外されると、
エアシリンダ２１１ｃ，２１２ｃを解除するとともに固
定ラック開閉装置２１１と移動ラック開閉装置２１２を
互いに外側に移動し、このメッキ処理済のラックを昇降
コンベアＣ５上に載置して基板取付け装置Ａ１に搬送す
る。

【００７５】以上の動作は、メッキ処理済のラックから
メッキ処理済の基板を取り外すときの動作であるが、こ
の基板取外し装置Ａ２では、基板の幅の種類に対応させ
るためにラックの幅を調整する動作も行っている。

【００７６】すなわち、剥離処理済等のラックが昇降コ
ンベアＣ５により第１反転搬送装置Ｃ１から基板取外し
装置Ａ２の基板取外し部２１に搬入されると、先ず、基
板を取り外すときと同様の動作を行って、ラックを固定
ラック開閉装置２１１および移動ラック開閉装置２１２
に固定する。

【００７７】ラックの固定が完了すると、横枠保持機構
２１３で横枠を下方に押さえて枠材４Ｂのボルト４Ｂａ
をボルト締緩機構２１４のレンチ２１４ｂに係合させ、
所定方向にモータ２１４ａを駆動してボルト４Ｂａを緩
めて横枠保持機構２１３を解除する。

【００７８】次に、ラックの縦枠および咬持部材２を固
定ラック開閉装置２１１と移動ラック開閉装置２１２に
固定した状態で、移動ラック開閉装置２１２を外側また
は内側に移動して縦枠１の間隔を所望の幅に調整する。

【００７９】そして、再び、横枠保持機構２１３で横枠
を下方に押さえて枠材４Ｂのボルト４Ｂａをボルト締緩
機構２１４のレンチ２１４ｂに係合させ、モータ２１４
ａを駆動してボルト４Ｂａを締めて横枠保持機構２１３
を解除する。これによって、ラックの縦枠１の幅を所望
の幅に調整することができ、幅調整したラックは基板取
付け装置Ａ１に搬送する。

【００８０】図１２は実施例の基板取付け装置Ａ１の正
面図、図１３はその一部破砕平面図、図１４は図１３の
Ｂ−Ｂ矢視図、図１５は図１３のＣ−Ｃ矢視図であり、
この基板取付け装置Ａ１は基板取外し装置Ａ２と略同様
の構造になっている。

【００８１】そこで、簡単のために、基板取付け装置Ａ
１と基板取外し装置Ａ２とで対応する同様の要素につい
ては符号の数字が二桁のものは下位一桁目とアルファベ
ットを同じにし、数字が三桁のものは下位二桁の数字と
アルファベットを同じにして、基板取付け装置Ａ１につ
いて基板取外し装置Ａ２と同様の要素については詳細な
説明は省略する。

【００８２】基板取付け装置Ａ１は、基板送り部３３、
基板整列部３２、基板取付け部３１を備えており、ラッ
クは昇降コンベアＣ５によって基板取外し装置Ａ２から
基板取付け部３１に供給される。また、基板は基板供給
装置２００から基板送り部３３に供給され、基板送り部
３３はローラ３３ｂの回転によって図１２の矢印の方
向に基板を搬送して、ラックに取り付ける必要枚数の基
板を基板整列部３２に順次送り出す。

【００８３】基板整列部３２には、図１３に示したよう
に、架台３２ａ上の搬送面の片側にローラ３２ｂの間隙
からこのローラ面より突出した固定ガイド３２ｇが配設
されるとともに、この固定ガイド３２ｇの反対側にはロ
ーラ面より突出した移動ガイド３２ｈが配設されてい
る。さらに、基板取付け部３１側にはローラ面に対して
上下に上下動するストッパ３２ｉが配設され、架台３２
ａ上の搬送面には、ストッパ３２ｉと平行に複数段の移
動ストッパ３２ｊが配設されている。

【００８４】なお、移動ストッパ３２ｊはローラ面に対
して上下に上下動するとともにローラ３２ｂより下にあ
るときに基板の搬送方向に往復移動可能になっており、
移動ストッパ３２ｊの基板搬送方向の位置は基板の長さ
に応じて設定される。

【００８５】そして、基板整列部３２は、基板送り部３
３から送り出される基板をローラ３２ｂで取り込み、最
初の基板がストッパ３２ｉに当接して止まると、この基
板の長さに応じて位置が設定されている移動ストッパ３
２ｊを、最初の基板の後端部近傍でローラ３２ｂの間隙
から上昇させる。そして、次の基板が送られてきてこの
移動ストッパ３２ｊに当接して止まると、同様にこの基
板の後端部近傍に後段の移動ストッパ３２ｊを上昇さ
せ、次の基板をこの移動ストッパ３２ｊに当接して止め
る。

【００８６】このようにして、順次基板が停止して前後
方向の整列が完了する。そして、１つのラックに取り付
ける必要枚数の基板を基板送り部３３から取り込むと移
動ガイド３２ｈを固定ガイド３２ｇ側に移動し、基板を
固定ガイド３２ｇと移動ガイド３２ｈによって挟むよう
にして横方向の整列を完了する。

【００８７】そして、１つのラックに取り付ける必要枚
数の基板を基板送り部３３から取り込むと移動ガイド３
２ｈを固定ガイド３２ｇ側に移動し、基板を固定ガイド
３２ｇと移動ガイド３２ｈによって挟むようにして横方
向の整列を完了する。このように移動ストッパ３２ｊに
より２枚目以降の基板の停止位置を規制するようにして
いるので、基板が薄い場合でも整列が容易になる。

【００８８】整列が完了すると、エアシリンダ３２ｅに
よって吸着パッド３２ｄを下降させ、この吸着パッド３
２ｄの下面でローラ３２ｂ上の各基板を水平に整列した
状態で吸着する。そして、ストッパ３２ｉおよび移動ス
トッパ３２ｊを下降させた後、吸着パッド３２ｄを水平
スライド機構３２ｆによって移動し、各基板を整列した
状態で保持して図１２の矢印の方向に水平に基板取付
け部３１に移送する。

【００８９】一方、基板取付け部３１において、固定ラ
ック開閉装置３１１と移動ラック開閉装置３１２は、前
記基板取外し装置Ａ２の固定ラック開閉装置２１１およ
び移動ラック開閉装置２１２と同様の動作をするが、固
定ラック開閉装置３１１は基板整列部３２の固定ガイド
３２ｇに対応する所定の基準位置から外側に僅かな移動
範囲が設定され、移動ラック開閉装置３１２はラックの
縦枠の間隔に応じた移動範囲が設定される。

【００９０】基板取付け部３１は、昇降コンベアＣ５に
より基板取外し装置Ａ２からラックを搬入し、基板取外
し装置Ａ２の場合と同様に、固定ラック開閉装置３１１
を基準位置にし、この固定ラック開閉装置３１１と移動
ラック開閉装置３１２の受け板３１１ｄ，３１２ｄと押
え板３１１ｅ，３１２ｅとの間にラックの縦枠と咬持部
材を収める。

【００９１】そして、基板取外し装置Ａ２の場合と同様
に、前記図２５について説明したように、各咬持部材２
を縦枠１と平行になるようにして咬持部材２と縦枠１と
の間に隙間をあける。

【００９２】ここで、このラックの固定位置は、固定ラ
ック開閉装置３１１および移動ラック開閉装置３１２の
受け板３１１ｄ，３１２ｄに固定されている縦枠１と咬
持部材２との間隙が、前記基板整列部３２の吸着パッド
３２ｄの下面に吸着された基板の両端部と同じ位置同じ
高さになるように設定されており、吸着パッド３２ｄで
移送される基板の両端部が咬持部材２と縦枠１との間隙
に挿入される。

【００９３】そして、基板が挿入されると、エアシリン
ダ３１１ｃ，３１２ｃを解除して前記図２５(C) に示し
たように基板１０をラックに固定して基板の取付けを完
了する。

【００９４】基板がラックに取り付けられると、固定ラ
ック開閉装置３１１と移動ラック開閉装置３１２は互い
に外側に移動し、ラックを昇降コンベアＣ５上に載置
し、昇降コンベアＣ５を上昇させるとともに昇降コンベ
アＣ５を駆動してラックを第２反転搬送装置Ｃ２に搬出
する。

【００９５】第２反転搬送装置Ｃ２は前記図４〜図６に
ついて説明した第１反転搬送装置Ｃ１と同様の構造にな
っており、第１反転搬送装置Ｃ１と逆の動作により、基
板取付け装置Ａ１から搬出されるラックを昇降コンベア
Ｃ５から水平の状態で受け取って搬送し、第１整列走行
装置Ｃ３の端部の位置で９０度回転させてラックを垂直
に立て第１整列走行装置Ｃ３に供給する。

【００９６】図１６は第１整列走行装置Ｃ３、第２整列
走行装置Ｃ４および移載部Ｂの一部を示す図であり、図
１６(A) は平面図、図１６(B) は正面図、図１６(C) は
側面図である。

【００９７】第１整列走行装置Ｃ３は垂直フレームの上
端に配設された走行装置４１とこの走行装置４１上に配
設された走行ハンド４２を備えている。走行装置４１は
第２反転搬送装置Ｃ２によりラックＡが垂直に立てられ
る位置から移載部Ｂ内を通したガイドレール４１ａ、こ
のガイドレール４１ａの一端に配設されたモータ４１
ｂ、ガイドレール４１ａの他端に配設されたプーリ４１
ｃ、モータ４１ｂとプーリ４１ｃに掛け渡されたベルト
４１ｄを備えている。

【００９８】また、走行ハンド４２はガイドレール４１
ａ上に摺動自在に配設されるとともにベルト４１ｄに固
定されており、この走行ハンド４２は、モータ４１ｂの
駆動によりベルト４１ｄとともに走行する。これによ
り、走行ハンド４２はガイドレール４１ａ上を第２反転
搬送装置Ｃ２の位置から移載部Ｂの第２反転搬送装置Ｃ
２と反対側の位置まで往復移動される。

【００９９】図１７は走行ハンド４２の側面図である。
この走行ハンド４２は、移動台４２１上に立設されたス
ライド軸４２４によって上下方向に摺動自在に保持され
た昇降部４２３と、この昇降部４２３を上下動させるシ
リンダ４２２を備えており、図１７の矢印のように昇
降部４２３はシリンダ４２２の駆動によってガイドレー
ル４１ａに対して上下動する。

【０１００】また、昇降部４２３はガイドレール４１ａ
と直角な水平方向に延びるスライド軸４２３ａ、このス
ライド軸４２３ａに摺動自在に保持された把持装置４２
３ｂと、この把持装置４２３ｂを水平移動させるシリン
ダ４２３ｃを備えており、図１７の矢印のように把持
装置４２３ｂはシリンダ４２３ｃの駆動によってガイド
レール４１ａに対して直角な水平方向に往復移動する。

【０１０１】さらに、把持装置４２３ｂは、ガイドレー
ル４１ａと平行に配設されるとともに図示しないシリン
ダによって開閉される一対の把持板４２３ｂ−１，４２
３ｂ−２を備えており、片方の把持板４２３ｂ−２の内
側にはラックの係合部１ａの背面に形成された係合突起
１ｂに係合する係合溝４２３ｂ−３が形成されている。

【０１０２】また、図１６に示したように、ガイドレー
ル４１ａは移載部Ｂ内でラック整列部Ｂ２に隣接して配
置されており、このラック整列部Ｂ２はガイドレール４
１ａと平行に２本のバーＢ２−１，Ｂ２−２を備えてい
る。なお、ラック整列部Ｂ２と同様に移載部Ｂのラック
待機部Ｂ３はバーＢ２−１，Ｂ２−２に対して平行に４
本のバーＢ３−１，Ｂ３−２，Ｂ３−３，Ｂ３−４，を
備え、ラック払出し部Ｂ５はバーＢ２−１，Ｂ２−２に
対して平行に３本のバーＢ５−１，Ｂ５−２，Ｂ５−３
を備えている。

【０１０３】以上の構成により、走行ハンド４２は、第
２反転搬送装置Ｃ２によって垂直に立てられたラックの
係合部１ａを把持装置４２３ｂの把持板４２３ｂ−１，
４２３ｂ−２によって把持し、この把持したラックをガ
イドレール４１ａに沿ってラック整列部Ｂ２に移動させ
る。そして、把持装置４２３の水平移動によってバーＢ
２−１，Ｂ２−２の何れかの位置にラックを移動させ、
ラックの係合部１ａをこのバーＢ２−１またはバーＢ２
−２に取り付ける。

【０１０４】このようにして、走行ハンド４２と把持装
置４２３の位置を制御し、第２反転搬送装置Ｃ２から供
給されるラックをラック整列部Ｂ２のバーＢ２−１，Ｂ
２−２に順次整列して配列させる。なお、このバーＢ２
−１，Ｂ２−２の長さはキャリアバー２０の導電板２０
ａと略同じ長さになっていて、１つのキャリアバーに取
り付けるラックの数だけ一つのバーＢ２−１またはＢ２
−２に配列される。

【０１０５】図１６に示したように、第２整列走行装置
Ｃ４も第１整列走行装置Ｃ３と同様な構造になってお
り、走行装置５１と走行ハンド５２を備えている。ま
た、走行装置５１はガイドレール５１ａ、モータ５１
ｂ、プーリ５１ｃ、ベルト５１ｄを備え、走行ハンド５
２はガイドレール５１ａ上に摺動自在に配設されるとと
もにベルト５１ｄに固定されている。

【０１０６】また、走行ハンド５２は第１整列走行装置
Ｃ３の走行ハンド４２と同様な構造になっており、ラッ
ク払出し部Ｂ５のバーＢ５−１，Ｂ５−２，Ｂ５−３に
取り付けられているラックを把持装置で把持して走行
し、第１反転搬送装置Ｃ１の位置でラックを第１反転搬
送装置Ｃ１に供給する。

【０１０７】図１８は移載部Ｂのラック移動装置Ｂ１を
示す図であり、図１８(A) は平面図、図１８(B) は正面
図、図１８(C) は側面図である。ラック移動装置Ｂ１
は、移載部Ｂを囲う垂直フレームの上端に配設された２
本のガイドレール６１とこのガイドレール６１に平行に
取り付けられたボールネジ６２およびガイドレール６１
上に配設された移動装置６３を備えている。

【０１０８】移動装置６３は、２本のガイドレール６１
上に移動基板６３１を摺動自在に掛け渡し、この移動基
板６３１に配設されたモータ６３２でボールネジ６２に
螺合されたナット部材６３３を回転することにより、移
動装置６３全体をガイドレール６１上で平行移動するよ
うにしたものである。

【０１０９】また、移動装置６３は、移動基板６３１の
略中央に立設した垂直フレーム６３４に２本のスライド
軸６３５を並設し、さらに、このスライド軸６３５に把
持装置６３６を昇降自在に保持したもので、この把持装
置６３６はボールネジ６３７の駆動によって垂直フレー
ム６３４に沿って昇降する。

【０１１０】さらに、把持装置６３６は、その下端に移
載部Ｂの各バーＢ２−１，Ｂ２−２等と平行に配設され
た一対の把持板６３６ａ，６３６ｂを備えており、この
把持板６３６ａ，６３６ｂは前後に開閉して移載部Ｂの
ラックを保持する。

【０１１１】以上の構成により、ラック移動装置Ｂ１の
把持装置６３６は、図１８(C) に一点鎖線で示したよう
に移動し、ラック整列部Ｂ２のバーＢ２−１，Ｂ２−
２、ラック待機部Ｂ３のバーＢ３−１，Ｂ３−２，Ｂ３
−３，Ｂ３−４、ラック払出し部Ｂ５のバーＢ５−１，
Ｂ５−２，Ｂ５−３およびキャリアバースライド装置Ｂ
４のキャリアバーの間でラックの移載動作を行う。

【０１１２】図１９はラック移動装置Ｂ１によるラック
の移載動作の一例を説明する図であり、ラック移動装置
Ｂ１は、次の３種類の移載動作を行う。キャリアバース
ライド装置Ｂ４のメッキ処理済のラック（および基板）
または剥離処理済のラックをラック払出し部Ｂ５に移載
する動作（図１９の）。ラック整列部Ｂ２のメッキ処
理を行うラック（および基板）または剥離処理を行うラ
ックをラック待機部Ｂ３に移載する動作（図１９の
）。ラック待機部Ｂ３のメッキ処理を行うラック（お
よび基板）または剥離処理を行うラックをキャリアバー
スライド装置Ｂ４に移載する動作（図１９の）。

【０１１３】以上のように、移載部Ｂにおいて、ラック
の種類に応じた上記の移載動作を他の各部の動作に対応
させることにより、全体の処理のタイミングがとること
ができ、作業効率が向上する。

【０１１４】図２０は移載部Ｂのキャリアバースライド
装置Ｂ４とキャリアバー搬送部Ｄの側面図、図２１はキ
ャリアバー搬送部Ｄを示す図であり、図２１(A) はキャ
リアバー搬送部Ｄの平面図、図２１(B) は正面図、図２
１(C) は側断面図である。

【０１１５】キャリアバースライド装置Ｂ４は移載部Ｂ
のフレーム内からキャリアバー搬送部Ｄのフレーム内に
配置されたガイドレール７１とこのガイドレール７１に
沿って図２０の矢印のように移動する移動フレーム７２
とで構成され、移動フレーム７２の上端には受け溝７２
ａが図と直交する方向を１組として２組形成されてお
り、キャリアバーのフック部２０ｂ（図２６）の端部を
受け溝７２ａに載せることにより、移動フレーム７２上
には２つのキャリアバーが保持される。

【０１１６】また、図２１に示したように、キャリアバ
ー搬送部Ｄは、キャリアバースライド装置Ｂ４とメッキ
槽１００との間に設けられた長手のフレーム８１、この
フレーム８１に沿った２本のガイドレール８２、このガ
イドレール８２上を走行する走行装置８３、ガイドレー
ル８２の下部近傍でフレーム８１に沿って配置された複
数のキャリアバー待機部８４を備えている。

【０１１７】図２２は走行装置８３を示す図であり、図
２２(A) は平面図、図２２(B) は側面図、図２２(C) は
正面図である。この走行装置８３はフレーム８３１に軸
支された車輪８３２をモータ８３３で回転させてガイド
レール８２上を走行する。

【０１１８】また、走行方向と直交する方向に配設した
スライド軸８３４で移動ブロック８３５を摺動自在に保
持しており、シリンダ８３６の駆動によって移動ブロッ
ク８３５を図２２(A) の矢印の方向に往復移動させる。

【０１１９】さらに、移動ブロック８３５に立設したシ
リンダ８３７によって移動ブロック８３５の下部にキャ
リアバーハンド８３８を懸垂しており、このキャリアバ
ー８３８の両端には受け溝８３８ａが設けられている。

【０１２０】そして、シリンダ８３７の駆動によってキ
ャリアバーハンド８３８を上下動させ、このキャリアバ
ーハンド８３８の両端に形成された受け溝８３８ａでキ
ャリアバー２０のフック部２０ｂの端部を載せて２つの
キャリアバー２０を保持する。

【０１２１】以上の構成により、走行装置８３は、キャ
リアバースライド装置Ｂ４の移動フレーム７２、キャリ
アバー待機部８４およびメッキ槽１００との間でキャリ
アバーの受渡しを行う。

【０１２２】例えば、移動フレーム７２にキャリアバー
が保持されてキャリアバー搬送部Ｄのフレーム８１内に
搬入されると、キャリアバーハンド８３８を下降して移
動フレーム７２側に移動し、キャリアバーの下部からキ
ャリアバーハンド８３８を上昇させることによりキャリ
アバーハンド８３８の受け溝８３８ａでキャリアバーの
フック部２０ｂの内側端部を受けてキャリアバーを保持
する。そして、キャリアバーハンド８３８をフレーム８
１の中央位置まで後退させてキャリアバー搬送部Ｄ内に
取り込む。

【０１２３】そして、走行装置８３はフレーム８１内を
走行してキャリアバーをメッキ槽１００側に搬送し、上
記同様にキャリアバーハンド８３８をメッキ槽１００側
に移動させ、キャリアバーをメッキ槽１００に供給す
る。この動作は、メッキ処理を行うために基板を装填し
たラックが取り付けられたキャリアバーをメッキ槽１０
０に供給する場合と、剥離処理を行うために、メッキ処
理済のラックが取り付けられたメッキ処理済のキャリア
バーをメッキ槽１００に供給する場合とで同様の動作を
行う。

【０１２４】また、メッキ槽１００からキャリアバーが
供給されると、走行装置８３は前記同様にキャリアバー
ハンド８３８の昇降動作と前後動作によりキャリアバー
を取り込み、フレーム８１内を走行して移載部Ｂの移動
フレーム７２にキャリアバーを載置する。この動作は、
メッキ処理済の基板、ラックおよびキャリアバーを搬送
する場合と、剥離処理済のラックとキャリアバーを搬送
する場合とで同様の動作を行う。

【０１２５】さらに、走行装置８３は、上記同様なキャ
リアバーハンド８３８の動作によりキャリアバー待機部
８４との間でキャリアバーの受渡しを行って、キャリア
バーの供給および回収のタイミングをとる。

【０１２６】以上のように、メッキ処理を行う基板を装
着したラックと剥離処理を行うためのラックとについ
て、基板取付け装置Ａ１から第２反転搬送装置Ｃ２およ
び第１整列走行装置Ｃ３を介して移載部Ｂに搬送するよ
うにし、メッキ処理済の基板が装着されているメッキ処
理済のラックと剥離処理済のラックとについて、移載部
Ｂから第２整列走行装置Ｃ４および第１反転搬送装置Ｃ
１を介して基板取外し装置Ａ２に搬送するようにしてい
る。

【０１２７】また、第１反転搬送装置Ｃ１、基板取外し
装置Ａ２、基板取付け装置Ａ１および第２反転搬送装置
Ｃ２の間で昇降コンベアＣ５によってラックを搬送し、
移載部Ｂでキャリアバーに対するラックの移載動作を行
い、さらに、キャリアバー搬送装置Ｄにより移載部Ｂと
メッキ槽１００との間でキャリアバーを搬送するように
している。

【０１２８】したがって、第１反転搬送装置Ｃ１、第２
反転搬送装置Ｃ２、第１整列走行装置Ｃ３、第２整列走
行装置Ｃ４および昇降コンベアＣ５の搬送、移載部Ｂで
のラックとキャリアバーの移載、キャリアバー搬送部Ｄ
でのキャリアバーの搬送動作は、メッキ処理を行う時も
剥離処理を行うときも同じ被搬送物に対する同じ動作を
行えばよいので、自動化、省力化に適している。

【０１２９】また、メッキ処理時の搬送経路と剥離処理
時の搬送経路が同じ経路になっているので、省スペース
が図れる。

【０１３０】なお、この実施例の基板取付け装置Ａ１と
基板取外し装置Ａ２は、それぞれラックを水平にして基
板の取付けと取外しを行うので自動化が容易であり、さ
らに、ラック搬送部は第１反転搬送装置Ｃ１と第２反転
搬送装置Ｃ２を備え、この第１反転搬送装置Ｃ１と第２
反転搬送装置Ｃ２により、それぞれラックを垂直から水
平に、また、水平から垂直に反転するので、基板を垂直
にして処理を行うメッキ槽１００に対して容易に対応す
ることができる。

【０１３１】また、この実施例のラックによれば、縦枠
１とこの縦枠１に沿うように配設された咬持部材２で基
板の両端を固定するので、確実に基板を固定することが
できる。また、咬持部材２は基板の端部の縦枠１と同じ
端部に対して連続的に接触するので、基板の表裏で電位
分布が均一になり、表裏のメッキ膜厚が従来のものより
も均一になる。

【０１３２】また、基板取付け装置Ａ１は、ラックの咬
持部材２を押さえるだけで咬持部材２と縦枠１との間に
容易に隙間をあけることができ、基板を容易に着脱でき
るので、基板の取付け取外し作業を容易に自動化するこ
とができる。

【０１３３】さらに、移載部Ｂにおいて、ラック整列部
Ｂ２、ラック待機部Ｂ３およびラック払出し部Ｂ５で互
いに平行な複数の垂直面内にラックを整列させるととも
に、キャリアバースライド装置Ｂ４でこのラックに平行
な垂直面内にキャリアバーを保持し、ラック移動装置Ｂ
１でラックを平行移動させ、キャリアバーへのラックの
取付け、キャリアバーからのラックの取外しを行うよう
にしているので、ラックのキャリアバーへの取付け取外
しの動作を滞りなく行うことができる。

【０１３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明のメッキ工程
の搬送装置は、基板をラックに取り付けて該ラックを搬
出するとともに、メッキ処理済の基板をメッキ処理済の
ラックから取り外して該メッキ処理済の基板と該メッキ
処理済のラックとを分離して搬出する基板着脱部と、キ
ャリアバーに対してラックの取付けと取外しを行う移載
部と、基板着脱部から搬出されるラックを移載部に搬送
するととともに、該移載部でキャリアバーから取り外さ
れたラックを基板着脱部に搬送するラック搬送部と、移
載部でラックが取り付けられたキャリアバーをメッキ槽
に搬送するとともに該メッキ槽からラックが取り付けら
れたキャリアバーを移載部に搬送するキャリアバー搬送
部とを備えているので、ラック搬送部でのラックの搬
送、移載部でのラックとキャリアバーの移載、キャリア
バー搬送部でのキャリアバーの搬送動作は、基板、ラッ
クおよびキャリアバーがメッキ処理されているかいない
かに係わらず、同じ部材に対する同じ動作を行えばよい
ので、自動化、省力化を容易に行うことができる。

【０１３５】また、実施例によれば、移載部において、
ラック整列部、ラック待機部およびラック払出し部で互
いに平行な複数の垂直面内にラックを整列させるととも
に、キャリアバースライド装置でこのラックに平行な垂
直面内にキャリアバーを保持し、ラック移動装置でラッ
クを平行移動させ、キャリアバーへのラックの取付け、
キャリアバーからのラックの取外しを行うようにしてい
るので、ラックのキャリアバーへの取付け取外しの動作
を滞りなく行うことができ、さらに、自動化、省力化を
容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のメッキ工程の搬送装置の基本構成を示
す図である。

【図２】本発明実施例のメッキ工程の搬送装置の平面図
である。

【図３】実施例の搬送装置における基板、ラックおよび
キャリアバーの流れを説明する図である。

【図４】実施例の第１反転搬送装置の正面図である。

【図５】実施例の第１反転搬送装置の一部破砕平面図で
ある。

【図６】実施例の第１反転搬送装置の側面図である。

【図７】実施例の基板取外し装置の正面図である。

【図８】実施例の基板取外し装置の一部破砕平面図であ
る。

【図９】図８のＢ−Ｂ矢視図である。

【図１０】図８のＣ−Ｃ矢視図である。

【図１１】実施例における固定ラック開閉装置および移
動ラック開閉装置の要部の動作説明図である。

【図１２】実施例の基板取付け装置の正面図である。

【図１３】実施例の基板取付け装置の一部破砕平面図で
ある。

【図１４】図１３のＢ−Ｂ矢視図である。

【図１５】図１３のＣ−Ｃ矢視図である。

【図１６】実施例の第１整列走行装置、第２整列走行装
置および移載部の一部を示す図である。

【図１７】実施例の走行ハンドの側面図である。

【図１８】実施例の移載部のラック移動装置を示す図で
ある。

【図１９】実施例のラック移動装置によるラックの移載
動作の一例を説明する図である。

【図２０】実施例の移載部のキャリアバースライド装置
とキャリアバー搬送部の側面図である。

【図２１】実施例のキャリアバー搬送部を示す図であ
る。

【図２２】実施例の走行装置を示す図である。

【図２３】実施例のメッキ工程の搬送装置に適用される
ラックとしてのメッキ用ラックを示す図である。

【図２４】図２３(A) のＡ−Ａ拡大断面図である。

【図２５】実施例におけるメッキ用ラックの開閉動作を
説明する図である。

【図２６】実施例のメッキ用ラックをキャリアバーに取
り付けた状態を示す図である。

【符号の説明】

Ａ…基板着脱部、Ｂ…移載部、Ｃ…ラック搬送部、Ｄ…
キャリアバー搬送部、Ａ１…基板取付け装置、Ａ２…基
板取外し装置、Ｂ１…ラック移動装置、Ｂ２…ラック整
列部、Ｂ３…ラック待機部、Ｂ４…キャリアバースライ
ド装置、Ｂ５…ラック払出し部、Ｃ１…第１反転搬送装
置、Ｃ２…第２反転搬送装置、Ｃ３…第１整列走行装
置、Ｃ４…第２整列走行装置、Ｃ５…昇降コンベア。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 荒木 一人 神奈川県平塚市黒部丘１番31号 日本た ばこ産業株式会社 生産技術開発センタ ー内 (72)発明者 山下 人志 神奈川県平塚市黒部丘１番31号 日本た ばこ産業株式会社 生産技術開発センタ ー内 (72)発明者 北本 智祥 神奈川県平塚市黒部丘１番31号 日本た ばこ産業株式会社 生産技術開発センタ ー内 (56)参考文献 特開 平６−146083（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C25D 17/06 C25D 7/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被メッキ体である基板をラックに取り付
   けるとともに該ラックをキャリアバーに取り付けて該キ
   ャリアバーごとラックおよび基板をメッキ槽に供給し、
   該メッキ槽でメッキ処理が終了したメッキ処理済のキャ
   リアバーからメッキ処理済のラックを取り外すとともに
   該メッキ処理済のラックからメッキ処理済の基板を取り
   外して該メッキ処理済の基板を回収するようにしたメッ
   キ工程の搬送装置であって、 基板をラックに取り付けるとともに、メッキ処理済の基
   板をメッキ処理済のラックから取り外す基板着脱部と、 キャリアバーに対してラックの取付けと取外しを行う移
   載部と、 前記基板着脱部から搬出されるラックを前記移載部に搬
   送するととともに、該移載部でキャリアバーから取り外
   されたラックを前記基板着脱部に搬送するラック搬送部
   と、 前記移載部でラックが取り付けられたキャリアバーを前
   記メッキ槽に搬送するとともに該メッキ槽からラックが
   取り付けられたキャリアバーを前記移載部に搬送するキ
   ャリアバー搬送部と、を備えたことを特徴とするメッキ
   工程の搬送装置。
2. 【請求項２】 前記移載部は、垂直面内で整列されたラ
   ックが供給されるラック整列保持部と、該ラック整列保
   持部の上記垂直面と平行な垂直面内にキャリアバーを保
   持するとともに該キャリアバーを前記キャリアバー搬送
   部との間で移動させるキャリアバースライド装置と、前
   記ラックを移動するラック移動装置とを備え、 前記移載部で、前記ラック移動装置により、前記ラック
   整列保持部のラックを整列状態を保持して取り出すとと
   もに、該ラックを平行移動して前記キャリアバースライ
   ド装置のキャリアバーに取り付けるようにしたことを特
   徴とする請求項１記載のメッキ工程の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記ラック整列保持部は、ラック整列
   部、ラック待機部およびラック払出し部を備え、 前記ラック整列保持部で、前記ラック移動装置によっ
   て、前記ラック整列部から取り出したラックを前記ラッ
   ク待機部に一旦整列させるとともに、該ラック待機部に
   整列されたラックを前記キャリアバースライド装置のキ
   ャリアバーに取り付け、該キャリアバースライド装置の
   キャリアバーからラックを取り出して前記ラック払出し
   部に供給するようにしたことを特徴とする請求項２記載
   のメッキ工程の搬送装置。
4. 【請求項４】 前記基板着脱部から搬出される前記メッ
   キ処理済のラックを前記ラック搬送部で前記移載部に搬
   送し、該移載部で該メッキ処理済のラックを前記メッキ
   処理済のキャリアバーに取り付け、前記キャリアバー搬
   送部で該キャリアバーごとラックを前記メッキ槽に供給
   し、該メッキ槽でメッキ膜の剥離処理が終了した剥離処
   理済のキャリアバーおよびラックを前記キャリアバー搬
   送部で前記移載部に供給し、該移載部で剥離処理済のキ
   ャリアバーからラックを取り外して該剥離処理済のラッ
   クを回収するようにしたことを特徴とする請求項１また
   は請求項２または請求項３記載のメッキ工程の搬送装
   置。