JP3344696B2 - 光ディスク - Google Patents

光ディスク

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JP3344696B2
JP3344696B2 JP20487297A JP20487297A JP3344696B2 JP 3344696 B2 JP3344696 B2 JP 3344696B2 JP 20487297 A JP20487297 A JP 20487297A JP 20487297 A JP20487297 A JP 20487297A JP 3344696 B2 JP3344696 B2 JP 3344696B2
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、音声,画像,情報
などの保存,記録,再生をするのに好適な光ディスクに
関する。
【0002】
【従来の技術】光ディスクは、サーボトラック用などの
溝状又は穴状の凹凸を有するガラス,透明プラスチック
などの透明レプリカ基板上に、記録用金属膜を向かい合
わせにして一定間隔で接着剤を用いて貼り合せて形成さ
れている。これらの光ディスクに対し、記録する情報量
の増大や処理速度の高速化などの要求が近年急速に高ま
りつつある。これらの要求を満足するためには、記憶容
量を増大し、かつ高速でディスクを回転する必要があ
る。
【0003】そこで、従来の光ディスクにおいては、製
造作業性の簡素化、低コスト化などの理由により、上記
処理基板を、(1)熱可塑性のホットメルト系接着剤や
ディスクの変形を抑えるために化学反応型接着剤とし
て、特開昭61−151853号公報に記載されている
ような(2)1液性嫌気硬化型接着剤、あるいは特開昭
61−50231公報に記載されているような(3)2
液性非混合型接着剤が使用されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの方法
では、次のような問題点を有していた。即ち、(1)熱
可塑性のホットメルト系接着剤は、接着剤塗布時の熱や
貼り合せ時の圧力による欠陥、又は高速回転時の塑性、
弾性変形、保管時の経時的変化による変形や剥がれの何
れかが生じてじまう。また、化学反応型接着剤につい
て、(2)1液性嫌気硬化型接着剤では、その硬化時間
が秒オーダーで硬化し、かつ常圧下で貼り合わせ硬化さ
せるために、気泡が混入し易くて抜けにくくなり、気泡
を混入したまま硬化し、その硬化物が固いために、気泡
を十分に吸収緩和できず、ディスク平坦性不良、又は気
泡部分の未硬化物が記録層に腐食などの欠陥をもたら
す。(3)2液性非混合型接着剤は、2液を別々に数十
μm膜厚で塗布し貼り合わせる。その際に、塗膜が液状
で厚膜であるため、貼り合わせ時の圧力により、接合界
面に接着剤の流れが生じて不均一に混じり合うため、硬
化むらとなり、さらに、硬化物が固いことによる記録層
にシワが発生し、記録再生不良の原因になる。
【0005】このように、従来の(1)では、光ディス
クの製造時、又は光ディスクの使用時、光ディスクの保
管時の何れかにおいて不良が発生するという問題点があ
る。従来の(2),(3)では、光ディスクの製造時に
不良が発生するという問題点がある。
【0006】本発明の目的は、上述した従来技術におけ
る問題点を解消するものであって、製造時の欠陥、使用
時の高速アクセスや高速回転による変形、かつ保管時の
経時変化による変形や剥がれを低減した光ディスクを提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、光ディス
クの製造時の欠陥、使用時の高速アクセスや高速回転に
よる変形、かつ保管時の経時変化による変形や剥がれを
低減するという観点で、光ディスクの使用について検討
を行なった。
【0008】その結果、光ディスクの仕様として、
(A)情報パターン面に少なくとも一層の記録膜を形成
した透明基板の一対を接着剤で貼り合わせた断面構造を
もつ光ディスクであって、常温にて上下振れ加速度測定
値<2G、常温にて傾き角測定値<5mrad、80℃に加
熱して1時間放置後の傾き角測定値<5mradである光デ
ィスクにより、本発明の目的が達成できるとの知見を得
た。また、(B)前記80℃に加熱して1時間放置後の
傾き角測定値<5mradをずれ量で表現して、80℃に加
熱して1時間放置後のずれ量測定値<20μmと言い換
えることもできる。この本発明の仕様を満足する光ディ
スクは、製造時の欠陥、使用時の高速アクセスや高速回
転による変形、かつ保管時の経時変化による変形や剥が
れのない光ディスクである。次に、本発明の光ディスク
の仕様について説明する。
【0009】上下振れ加速度は、光ディスク表面の凹凸
欠陥の程度に応じて光ディスクを回転した際の光ディス
ク面が上下振れする加速度のことであり、上下振れ加速
度の測定値が大きいほど凹凸欠陥が多いことを示すこと
から、光ディスクの製造時の欠陥について把握できるも
のである。傾き角は、レーザ光の入射光と反射光とのず
れ角のことであり、傾き角測定値が大きいほど変形や剥
がれの程度が大きいことを示すことから、光ディスクの
使用時の高速アクセスや高速回転による変形、光ディス
クの保管時の経時変化による変形や剥がれについて把握
できるものである。ずれ量は、情報パターン面に少なく
とも一層の記録膜を形成した透明基板の一対のずれのこ
とであり、ずれ量測定値が大きいほど変形や剥がれの程
度が大きいことを示すことから、光ディスクの使用時の
高速アクセスや高速回転による変形、光ディスクの保管
時の経時変化による変形や剥がれについて把握できるも
のである。このため、光ディスクの変形や剥がれについ
ては、傾き角、ずれ量の何れか一方で把握できることと
なる。
【0010】更に、上下振れ加速度、傾き角、ずれ量の
数値について説明する。これらの数値は、光ヘッドを用
いての記録再生ができるか否か、及び目視によって欠
陥、変形、剥がれが確認できるか否かから定めたもので
ある。光ディスクに情報をレーザで記録再生するヘッド
側では、ヘッドの集光レンズが光ディスク面にレーザ光
の焦点を合わせて記録再生をするが、光ディスクの欠
陥、変形、剥がれの影響によりレーザ光の焦点を合わせ
られなくなった場合、記録再生不良を引き起こす。この
ため、光ディスクの特性と光ヘッドの特性とは密接な関
連があり、光ディスクの特性の良否は、光ヘッドの特性
を考慮した上で判断されるものである。よって、本発明
では、光ヘッドの特性として、焦点深度:約2μmの光
ヘッドを用いて記録再生が可能であるか否かを実験し、
常温にて上下振れ加速度測定値<2G、常温にて傾き角
測定値<5mrad、80℃に加熱して1時間放置後の傾き
角測定値<5mrad、80℃に加熱して1時間放置後のず
れ量測定値<20μmの光ディスクについては、記録再
生が可能であるとの結果が得られた。なお、焦点深度
は、レンズの開口数をNA、レーザ光源波長をλとする
と、λ/(NA)2で与えられる。一方、目視について
は、光ディスク面に光を照射し、反射光を拡大投影して
光ディスクの欠陥、変形、剥がれの有無を確認した。ま
た、上下振れ加速度、傾き角、ずれ量の測定は常温で行
なうが、傾き角、ずれ量の測定値については、常温と、
80℃に加熱して1時間放置後とについて行なう。即
ち、上下振れ加速度の測定については、光ディスクの製
造時の欠陥について把握するため、常温のみで行なうこ
ととしたが、傾き角、ずれ量の測定については、光ディ
スクの使用時の高速アクセスや高速回転時の光ディスク
装置の発熱温度、光ディスクの保管時の温度が50℃程
度の場合が考えられるため、80℃に加熱して1時間放
置後にも測定を行なった。本発明では、短時間で評価す
るために、50〜60℃で1000h放置した場合にほ
ぼ対応する80℃に加熱して1時間放置後の光ディスク
について測定を行なった。これによって、光ディスクの
使用時の高速アクセスや高速回転による変形、光ディス
クの保管時の経時変化による変形や剥がれについて把握
できる。これらについての具体的な実験例については後
述する。そして、これらの結果から、本発明の光ディス
クの仕様により、目的が達成できることを確認できたと
同時に、本発明の光ディスクの仕様を満足するには、接
着剤が化学反応型接着剤であり、かつ接着剤の硬化した
際のショア硬度がA30〜A80である接着剤を用いれ
ば良いという別の知見も得られた。
【0011】ここで、この別の知見について詳細に説明
すると、光ディスクの製造時の欠陥が生じないために
は、光ディスクの仕様が上下振れ加速度測定値<2Gを
満足すればよいが、ここで接着剤に注目すると、これら
の仕様を満足するものは接着剤が化学反応型接着剤であ
り、かつ接着剤の硬化した際のショア硬度がA80より
小さい値のものに限られるという結果が得られた。一
方、光ディスクの使用時の高速アクセス、高速回転によ
る変形、光ディスクの保管時の経時変化による変形や剥
がれが生じないためには、光ディスクの仕様が常温の傾
き角測定値<5mrad及び80℃に加熱して1時間放置後
の傾き角測定値<5mradを満足すればよいが、ここで、
接着剤に注目すると、これらの仕様を満足するものは、
接着剤が化学反応型接着剤であり、かつ接着剤の硬化し
た際のショア硬度がA30より大きい値のものに限られ
るという結果が得られた。なお、また、前記80℃に加
熱して1時間放置後の傾き角測定値<5mradをずれ量で
表現して、80℃に加熱して1時間放置後のずれ量測定
値<20μmと言い換えることもできる。よって、
(C)光ディスクの製造時の欠陥、使用時の高速アクセ
スや高速回転による変形、かつ保管時の経時変化による
変形や剥がれが生じないためには、接着剤が化学反応型
接着剤であり、かつ接着剤の硬化後の硬度がショア硬度
でA30〜A80であればよいとの結果が得られる。
【0012】次に、前記仕様の光ディスクの製造方法を
次の(D)〜(F)に示す。
【0013】(D)(1)スタンパの情報パターン面上
に紫外線硬化樹脂を形成し、前記紫外線硬化樹脂の上に
透明基板を形成する工程、(2)紫外線を照射し、露光
し、スタンパの情報パターンを紫外線硬化樹脂及び透明
基板に転写する工程、(3)スタンパの情報パターン面
上の紫外線硬化樹脂及び透明基板を剥がし、レプリカ基
板を得る工程、(4)レプリカ基板の情報パターン面上
に記録膜を形成する工程、(5)記録膜付レプリカ基板
の一対を記録膜側に向かい合わせ、硬化後の硬度がショ
ア硬度でA30〜A80の化学反応型接着剤で貼り合わ
せる工程からなることを特徴とする光ディスクの製造方
法。
【0014】(E)(1)スタンパの情報パターン面上
に透明基板を形成し、スタンパの情報パターンを透明基
板に転写する工程、(2)スタンパの情報パターン面上
の透明基板を剥がし、レプリカ基板を得る工程、(3)
レプリカ基板の情報パターン面上に記録膜を形成する工
程、(4)記録膜付レプリカ基板の一対を記録膜側に向
かい合わせ、硬化後の硬度がショア硬度でA30〜A8
0の化学反応型接着剤で貼り合わせる工程からなること
を特徴とする光ディスクの製造方法。
【0015】(F)レプリカ基板の情報パターン面上に
記録膜を形成し、記録膜付レプリカ基板の一対を記録膜
側に向かい合わせて、硬化後の硬度がショア硬度でA3
0〜A80の化学反応型接着剤で貼り合わせることを特
徴とする光ディスクの製造方法。
【0016】ここで、本発明の光ディスクの製造方法に
ついて詳細に説明する。本発明のスタンパは、情報パタ
ーンに相当する凹凸形状が形成され、この凹凸表面が離
型性に優れる複写の型であれば、特に種類は限定しな
い。例えば、電鋳スタンパ、樹脂スタンパ、ガラススタ
ンパ等がある。
【0017】透明基板は、記録再生のためのレーザが透
過する媒体であるため、光学的に等方性で、かつ光学特
性の目安となる光学歪が50nm以下の特性を有してい
ればよく、特に種類は限定されないが、例示すると、ガ
ラス基板、ポリメチルメタクリレート基板、ポリカーボ
ネート基板、ポリオレフィン基板、熱又は光硬化樹脂基
板などである。
【0018】記録膜は、0.6〜1μm程度の光スポッ
ト径に対応して、相変化や光磁気等のように記録膜の形
状が変化しない記録ドメインを形成し、C/N比が60
dB以上の特性が得られるものであればよく、特に種類
は限定されないが、例示すると、テルル酸化膜(TeO
x)、SbSe/BiTe積層膜、希土類−遷移金属ア
モルファス合金、TbFeCo系酸化膜、GdTbFe
系酸化膜、DyFeCo系酸化膜、TbDyFeCo系
酸化膜、ガーネット系酸化膜、Pt/Co積層材料、G
eSbTe,InSeTeCo,InSbTe,In−
Sb系合金などである。
【0019】化学反応型接着剤として硬化促進プライマ
と1液性嫌気硬化型接着剤からなる場合、貼り合わせに
ついては、一対のうち一方の透明基板の記録面に硬化促
進プライマ成分、一対のうち他方の透明基板の記録面に
1液性嫌気硬化型接着剤成分をそれぞれ分割塗布して貼
り合わせると、貼り合わせが容易にできる。
【0020】貼り合わせ工程を脱酸素雰囲気にすると、
化学反応型接着剤が均一に硬化反応により硬化し、未硬
化物の発生を防止できる。これは、酸素雰囲気では、硬
化反応の際に生じるラジカルと酸素とが反応することに
より、均一に硬化せず、未硬化物が発生するという悪影
響を及ぼすためである。また、脱酸素雰囲気であれば、
他に、窒素、不活性ガスなどが存在していても影響はな
い。
【0021】次に、本発明の光ディスクに用いた化学反
応型接着剤について詳細に説明する。化学反応型接着剤
は、接着する対象物と接着剤とが化学反応により結合す
るものであり、熱可塑性のホットメルト系接着剤に比較
して接着力、耐熱性、機械的強度の面で優れ、光ディス
クの接着剤に用いた場合、接着力が優れているために信
頼性が高く、耐熱性が優れているために様々な環境に適
し、機械的強度が優れているために高速回転にも耐えう
る光ディスクを得ることができる。後述する実験例で
は、化学反応型接着剤のうちの硬化促進プライマを併用
した1液性嫌気硬化型接着剤を用いた。硬化促進プライ
マは、前記1液性嫌気硬化型接着剤の硬化反応に対して
反応開始の作用をするもので、更に、その量が硬化過程
に影響しないものであれば特に限定されない。ここで、
例示すると、有機金属化合物、塩化第2鉄、クロム酸
塩、フェロセン、ナフテン酸コバルトなどがある。更
に、硬化促進プライマの薄膜を容易に形成し、かつ硬化
むらによるスジの発生を防止するためには、その粘度が
1〜100cpであることが好ましい。また、硬化促進
プライマの塗布膜厚は、反応開始の作用が十分であり、
かつ貼り合わせ時のプライマの流れを防ぐために、0.
01〜1μmであることが望ましい。この硬化促進プラ
イマの塗布方法は、膜厚が0.01〜1μmにできるも
のであれば特に限定されない。例えば、スプレイ塗布、
スピン塗布、ロールコート、ディップ塗布などがある。
【0022】1液性嫌気硬化型接着剤は、接着面の材質
により硬化速度が変化せず、単品での硬化速度が遅いこ
とが望ましく、更に、硬化促進プライマと接触すること
で、その硬化速度は製造プロセスの速度に対応して速く
なるように調節できるものであれば特に限定しない。具
体的には、単品での硬化時間が1〜2時間のものが硬化
促進プライマと接触することで30秒〜2分で硬化する
特性を有していれば、透明基板の一対の位置合わせが可
能でかつ作業性がよい。また、1液性嫌気硬化型接着剤
の構成は、ポリメタクリレート単量体(モノマ、オリゴ
マ)を主剤とし、硬化剤、促進剤、保存安定剤などを好
適に配合する。ここで、ポリメタクリレート単量体(モ
ノマ、オリゴマ)とは、多官能アクリルモノマ、単官能
アクリルモノマの何れか単独又は2種以上混合したもの
である。多官能アクリルモノマについて例示すると、多
価アルコールのアクリレート、多価アルコールのメタク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、ネオペン
チルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジメタクリレート、エチレングリコールジアクリレー
ト、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレン
グリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメ
タクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタク
リレート、ウレタンポリアクリレート、ウレタンポリメ
タクリレート、1.6ヘキサンジオールジアクリレー
ト、1.6ヘキサンジオールジメタクリレート、1.1
0デカンジーオルジアクリレート、1.10デカンジー
オルジメルクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタルク
リレートなどがある。次に単官能アクリルモノマについ
て例示すると、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロ
キシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリ
レート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキ
シブチルアクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレー
ト、テトラフルフリルアクリレーシ、テトラフルフリル
メタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロ
ヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベン
ジルメタクリレート、メトキシポリエチレングリコーロ
アクリレート、ラウリルアクリレート、ラウリルメタク
リレート、ステアリルアクリレート、ステアリルメタア
クリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニル
メタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェ
ノキシエチルメタクリレート、フェノキシポリエチレン
グリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリ
コールメタクリレートなどがある。前記硬化剤について
例示すると、t−ブチルハイドロパーオキサイド、p−
メタンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオ
キサイド、ジイソプロピルベンゼハイドロパーオキサイ
ドなどがある。前記促進剤について例示すると、エタノ
ールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミ
ン、N,Nジメチルアニリン、ベンゼンスルホンアミ
ド、シクロヘキシルアミン、トリエチルアミン、ブチル
アミンなどがある。前記安定剤について例示すると、ベ
ンゾキノン、ハイドロキノンなどがある。さらに、増粘
剤、可塑剤等を適量添加することも可能である。
【0023】また、前記1液性嫌気硬化型接着剤が、紫
外線で硬化する1液性嫌気紫外線硬化型接着剤であって
も、貼り合わせ時に混入した気泡によって欠陥や記録膜
腐食が発生しないものであれば差し支えない。この1液
性嫌気紫外線硬化型接着剤には、光重合開始剤を主剤の
硬化反応を促進させ、かつ主剤の硬化反応に悪影響を及
ぼさない量である1〜5wt%加える。この光重合開始
剤について例示すると、ベンジル、メチル−o−ベンゾ
エートなどのベンジル類、ベンゾイン、ベンゾインエチ
ルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾ
インイソブチルエーテルなどのベンゾイン類、ベンゾフ
ェノン、4−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェ
ノン類、アセトフェノン、2.2−ジエトキシアセトフ
ェノンなどのアセトフェノン類、ベンジルメチルケター
ル、1−4−(イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロパノール−1−オンなどがあり、こ
れらを単独もしくは2種以上混合して用いられる。
【0024】以上の説明から明らかなように、光ディス
クの仕様として、(A)情報パターン面に少なくとも一
層の記録膜を形成した透明基板の一対を接着剤で貼り合
わせた断面構造をもつ光ディスクであって、常温にて上
下振れ加速度測定値<2G、常温で傾き角測定値<5mr
ad、80℃に加熱して1時間放置後の傾き角測定値<5
mradを満足する光ディスクは、光ディスクの製造時の欠
陥、使用時の高速アクセスや高速回転による変形、かつ
保管時の経時変化による変形や剥がれのないものであ
る。ここで、(B)前記80℃に加熱して1時間放置後
の傾き角測定値<5mradをずれ量で表現して、80℃に
加熱して1時間放置後のずれ量測定値<20μmと言い
換えることもできる。
【0025】また、同時に本発明の光ディスクの仕様を
満足するには、接着剤が化学反応型接着剤であり、かつ
接着剤の硬化した際のショア硬度がA30〜A80であ
る接着剤を用いればよい。
【0026】さらに、前記仕様の光ディスクは次の
(D)〜(F)の製造方法により、光ディスクの製造時
の欠陥、使用時の高速アクセスや高速回転による変形、
かつ保管時の経時変化による変形や剥がれのない光ディ
スクが得られる。
【0027】(D)(1)スタンパの情報パターン面上
に紫外線硬化樹脂を形成し、前記紫外線硬化樹脂の上に
透明基板を形成する工程、(2)紫外線を照射し、露光
し、スタンパの情報パターンを紫外線硬化樹脂及び透明
基板に転写する工程、(3)スタンパの情報パターン論
上の紫外線硬化樹脂及び透明基板を剥がし、レプリカ基
板を得る工程、(4)レプリカ基板の情報パターン面上
に記録膜を形成する工程、(5)記録膜付レプリカ基板
の一対を記録膜側に向かい合わせ、硬化後の硬度がショ
ア硬度でA30〜A80の化学反応型接着剤で貼り合わ
せる工程、からなることを特徴とする光ディスクの製造
方法。
【0028】(E)(1)スタンパの情報パターン面上
に透明基板を形成し、スタンパの情報パターンを透明基
板に転写する工程、(2)スタンパの情報パターン面上
の透明基板を剥がし、レプリカ基板を得る工程、(3)
レプリカ基板の情報パターン面上に記録膜を形成する工
程、(4)記録膜付レプリカ基板の一対を記録膜側に向
かい合わせ、硬化後の硬度がショア硬度でA30〜A8
0の化学反応型接着剤で貼り合わせる工程、からなるこ
とを特徴とする光ディスクの製造方法。
【0029】(F)レプリカ基板の情報パターン面上に
記録膜を形成して、記録膜付レプリカ基板の一対を記録
膜側に向かい合わせ、硬化後の硬度がショア硬度でA3
0〜A80の化学反応型接着剤で貼り合わせることを特
徴とする光ディスクの製造方法。
【0030】
【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態を挙
げ、図面を引用してさらに詳細に説明する。
【0031】(実施形態1,2)図1に本発明の光ディ
スクの外観図を示した。この図1のAB断面図について
図2に示す。この図2を説明すると、本発明の光ディス
クは、記録膜付レプリカ基板102の一対をショア硬度
でA30〜A80である接着層103を介して構成され
ている。この記録膜付レプリカ板102は、レプリカ基
板100と記録膜101からなる。前記ショア硬度でA
30〜A80の接着層は、表1に示すように、ベースモ
ノマにプロピレングリコールジアクリレート(分子量約
2000)45重量部、希釈モノマに1,10デカンジ
オールジアクリレート25重量部、接着促進モノマにヒ
ドロキシブチルメタクリレート30重量部、過酸化物2
重量部から成る配合アクリル系嫌気硬化型接着剤及び市
販のアクリル系嫌気硬化型接着剤(ロックタイト社製6
01)とアクリル系嫌気紫外線硬化型接着剤(ロックタ
イト社製326)以上3種を成分aとして選び、これに
アクリルモノマを成分bとして配合した各種接着剤と硬
化促進プライマ(ロックイックプライマ:ロックタイト
社製)を用いた。
【0032】
【表1】
【0033】本実施形態では、表1の実施形態1,2の
接着剤を用いて、本発明に係る光ディスクを得るための
スタンパを図3のa〜fのスタンパ製造方法に従って作
成した。
【0034】(a)両面が研磨されたガラス円盤1(外
径:350mm,内径:10mm,厚さ:10mm)を
用意し、(b)ガラス円盤1の研磨された一方にポジ型
フォトレジスト2をスピン塗布(膜厚:0.14μm)
したフォトレジストが形成されたガラス円盤3を作成す
る。ついで、(c)前記フォトレジストが形成されたガ
ラス円盤3のフォトレジスト側にArレーザ(波長:4
58nm)を用いた記録機にて情報信号を書き込み、フ
ォトレジスト面を現像し、情報信号がグルーブやピット
の凹凸が形成されたガラス原盤4を得る。(d)ガラス
原盤4のフォトレジスト面に真空蒸着法によりNi膜5
(膜厚:40nm)を形成し、(e)そのNi膜5を電
極にして電解メッキ法にてNi電鋳膜6(膜厚:300
μm)を形成し、ついで、(f)ガラス円盤1とNi膜
5の間を剥離しNi製スタンパ7を作成した。
【0035】スタンパ7をもとに、図4のg−1〜n−
1に示す光ディスク製造方法に従って光ディスクを作成
した。なお、同図において、図3に対応する部分には同
一符号を付けている。
【0036】(g−1)前記スタンパ7を成形型8に取
り付け、(h−1)成形型内の空間9(外径:300m
m,中心孔径:35mm,厚さ:1.2mm)にポリカ
ーボネート樹脂10(分子量:約15000)を加熱溶
融させて注入し、(i−1)スタンパのグルーブやピッ
トの凹凸が転写された図2でのレプリカ基板100に相
当するレプリカ基板11(外径:300mm,中心孔
径:35mm,厚さ:1.2mm)を作成した。つい
で、(j−1)作成したレプリカ基板11の情報パター
ン面に、SiNエンハンス膜12(厚さ:30nm),
TbFeCo磁性膜13(厚さ:30nm),AlN反
射膜14(厚さ:30nm),SiN保護膜15(厚
さ:30nm)をスパッタ法により順次成膜して記録膜
16(図2での記録膜101に相当する)を有する図2
での記録膜付レプリカ基板102に相当する記録膜付レ
プリカ基板17を用意した。(k−1)2枚の前記記録
膜付レプリカ基板17の一方に反応型接着剤18をスピ
ンコート法により塗布(膜厚:30μm)した接着剤塗
布記録膜付レプリカ基板19と、もう一方の記録膜付レ
プリカ基板17には、プライマ20をスピンコート法
(回転数:2000rpm)により塗布(膜厚:0.1
μm)したプライマ塗布記録膜付レプリカ基板21を作
成した。(1−1)密閉空間22内に上記2枚のレプリ
カ基板19,21を基板間が5mmに成るように塗布面
を向かい合わせにして配置し、その空間22を脱酸素雰
囲気を得るために60秒間窒素ガス23置換し、(m−
1)その後、2枚のレプリカ基板19,21を移動させ
て貼り合わせた。(n−1)更に、紫外線照射装置24
により紫外線強度:30mW/cm2,照射時間:10秒
の条件でディスク内外周側面にはみ出た接着剤に紫外線
照射し、図2示す断面構造の本発明に係る光ディスクを
作成した。
【0037】(実施形態3,4)本発明では、表1の実
施形態3,4の接着剤を用いて、実施形態1,2のスタ
ンパ製造方法と同様に、スタンパを作成し、図5のg−
2〜m−2の光ディスク製造方法により、光ディスクを
作成した。なお、同図において、図4に対応する部分に
は同一符号を付けている。
【0038】(g−2)前記スタンパ7を成形型にし
て、(h−2)スタンパ7の凹凸面に紫外線硬化性樹脂
25(粘度:200cp)を滴下し、プラスチック板2
6(外径:300mm,内径:35mm,厚さ:1.1
mm)で紫外線硬化性樹脂25の膜厚が80μmになる
ように押し広げた後、紫外線照射装置27によりプラス
チック板側より紫外線を照射して前記紫外線硬化性樹脂
25を硬化(硬化条件:紫外線強度:100mW/cm
2,30秒)させ、(i−2)スタンパ7と紫外線硬化
性樹脂25の間を剥離させて、スタンパ7のグルーブや
ピットの凹凸が転写された図2でのレプリカ基板100
に相当するレプリカ基板28を作成した。(j−2)前
記レプリカ基板28の情報パターン面に、GeSbTe
記録膜29(厚さ:30nm),SbBi反射膜30
(厚さ:20nm),SiN保護膜31(厚さ:30n
m)をスパッタ法により順次成膜して記録膜32が形成
された図2での記録膜付レプリカ基板102に相当する
記録膜付レプリカ基板33を用意した。(k−2)2枚
の前記記録膜付レプリカ基板33の一方に反応型接着剤
18をスピンコート法により塗布(膜厚:30μm)し
た接着剤塗布記録膜付レプリカ基板34と、もう一方の
記録膜付レプリカ基板33には、プライマ20をスピン
コート法(回転数:2000rpm)により塗布(膜
厚:0.1μm)したプライマ 塗布記録膜付レプリカ
基板35を作成した。(1−2)密閉空間22内に上記
2枚のレプリカ基板34,35を、基板間が5mmに成
るように、塗布面を向かい合わせにして配置し、その空
間22を脱酸素雰囲気を得るために20mTorrに減
圧し、(m−2)次いで、減圧された空間を窒素ガス2
3により大気圧にもどした後、配置した2枚のレプリカ
基板34,35を貼り合わせ、図2に示す断面構造の本
発明に係る光ディスクを作成した。
【0039】(実施形態5,6)本実施形態では、表1
の実施形態5,6の接着剤を用いて、実施形態1,2の
スタンパ製造方法と同様に、スタンパを作成し、図6の
g−3〜m−3の光ディスク製造方法により、光ディス
クを作成した。なお、同図において、前出図面に対応す
る部分には同一符号を付けている。
【0040】(g−3)前記スタンパ7を成形型8に取
り付け、(h−1)成形型内の空間9(外径:300m
m,中心孔径:35mm,厚さ:1.2mm)にポリカ
ーボネート樹脂10(分子量:約15000)を加熱溶
融させて注入し、(i−3)スタンパのグルーブやピッ
トの凹凸が転写されたレプリカ基板11(外径:300
mm,中心孔径:35mm,厚さ:1.2mm)を作成
した。ついで、(j−3)前記レプリカ基板11の情報
パターン面に、GeSbTe記録膜29(厚さ:30n
m),SbBi反射膜30(厚さ:20nm),SiN
保護膜31(厚さ:30nm)をスパッタ法により順次
成膜して図2での記録膜101に相当する記録膜32が
形成された図2での記録膜付レプレカ基板102に相当
する記録膜付レプリカ基板36を用意した。(k−3)
2枚の前記記録膜付レプリカ基板36の一方に反応型接
着剤18をスピンコート法により塗布(膜厚:30μ
m)した接着剤塗布記録膜付レプリカ基板37と、もう
一方の記録膜付レプリカ基板36には、プライマ20を
スピンコート法(回転数:2000rpm)により塗布
(膜厚:0.1μm)したプライマ塗布記録膜付レプリ
カ基板38を作成した。(1−3)密閉空間22内に上
記2枚のレプリカ基板37,38を、基板間が5mmに
成るように、塗布面を向かい合わせにして配置し、その
空間22を脱酸素雰囲気を得るために60秒間窒素ガス
23置換し、(m−3)その後、2枚のレプリカ基板3
7,38を移動させて貼り合わせた。(n−3)更に、
紫外線照射装置24によって紫外線強度:30mW/c
2,照射時間:10秒の条件でディスク内外周側面に
はみ出た接着剤に紫外線照射し、図2に示す断面構造の
本発明に係るディスクを作成した。
【0041】(実施形態7)本実施形態では、表1の実
施形態7の接着剤を用いて、実施形態1,2のスタンパ
製造方法と同様に、スタンパを作成し、図7のg−4〜
m−4の光ディスク製造方法により、光ディスクを作成
した。なお、同図において、前出図面に対応する部分に
は同一符号を付けている。
【0042】(g−4)前記スタンパ7を成形型にし
て、(h−4)スタンパ7の凹凸面に紫外線硬化性樹脂
25(粘度:200cp)を滴下し、プラスチック板2
6(外形:300mm,内径:35mm,厚さ:1.1
mm)で紫外線硬化性樹脂25の膜厚が80μmになる
ように押し広げた後、紫外線照射装置27によりプラス
チック板側から紫外線を照射して前記紫外線硬化性樹脂
25を硬化(硬化条件:紫外線強度:100mW/c
2,30秒)させ、(i−4)スタンパ7と紫外線硬
化性樹脂25の間を剥離させて、スタンパ7のグルーブ
やピットの凹凸が転写されたレプリカ基板28を作成し
た。ついで、(j−4)作成したレプリカ基板28の情
報パターン面に、SiNエンハンス膜12(厚さ:30
nm),TbFeCo磁性膜13(厚さ:30nm),
AlN反射膜14(厚さ:30nm),SiN保護膜1
5(厚さ:30nm)をスパッタ法により順次成膜して
記録膜16を有する図2での記録膜付レプリカ基板10
2に相当する記録膜付レプリカ基板39を用意した。
(k−4)2枚の前記記録膜付レプリカ基板39の一方
に反応型接着剤18をスピンコート法により塗布(膜
厚:30μm)した接着剤塗布記録膜付レプリカ基板4
0と、もう一方の記録膜付レプリカ基板39には、プラ
イマ20をスピンコート法(回転数:2000rpm)
により塗布(膜厚:0.1μm)したプライマ塗布記録
膜付レプリカ基板41を作成した。(l−4)密閉空間
22内に上記2枚のレプリカ基板40,41を、基板間
が5mmに成るように、塗布面を向かい合わせにして配
置し、その空間22を脱酸素雰囲気を得るために20m
Torrに減圧し、(m−4)次いで、減圧された空間
を窒素ガス23により大気圧にもどした後、配置した2
枚のレプリカ基板40,41を貼り合わせ、図2に示す
断面構造の本発明に係る光ディスクを作成した。
【0043】(比較例1,2)本比較例では、表1の比
較例1,2の接着剤を用いて、実施形態1,2と同様な
光ディスク製造方法により、光ディスクを作成した。
【0044】(比較例3,4)本比較例では、表1の比
較例3,4の接着剤を用いて、実施形態3,4と同様な
光ディスク製造方法により、光ディスクを作成した。
【0045】(比較例5,6)本比較例では、表1の比
較例5と表2の比較例6の接着剤を用いて、実施形態
5,6と同様な光ディスク製造方法により、光ディスク
を作成した。
【0046】
【表2】
【0047】(比較例7,8)本比較例では、表2の比
較例7,8の接着剤を用いて、実施形態7と同様な光デ
ィスク製造方法により、光ディスクを作成した。
【0048】(比較例9,10)本比較例では、表3の
比較例9,10のホットメルト接着剤を用い、実施形態
1,2の図4i−1で得られた記録膜が形成されたレプ
リカ基板2枚を用意し、2枚のレプリカ基板の記録膜面
にホットメルトコータによりホットメルト接着剤を膜厚
30μmになるように塗布し、接着剤塗布面を向かい合
わせにして、2kg/cm2の荷重で貼り合わせた比較
例9の光ディスクと20kg/cm2の荷重で貼り合わ
せた比較例10の光ディスクを作成した。
【0049】
【表3】
【0050】(比較例11)本比較例では、表3の比較
例11の1液性嫌気硬化型接着剤を用い、実施形態1,
2の図4i−1で得られた記録膜が形成されたレプリカ
基板2枚を用意し、2枚のレプリカ基板の一方の記録膜
面に1液性嫌気硬化型接着剤をスピン塗布し、2枚のレ
プリカ基板を20mTorrの減圧下で貼り合わせて光
ディスクを作成した。
【0051】(比較例12)本比較例では、表3の比較
例12の2液非混合接着剤を用い、実施形態1,2の図
4i−1で得られた記録膜が形成されたレプリカ基板2
枚を用意し、2枚のレプリカ基板の一方の記録膜面に2
液性非混合接着剤のA剤を、もう一方のレプリカ基板の
記録面にB剤をそれぞれスピン塗布し、2枚のレプリカ
基板を20mTorrの減圧下で貼り合わせて光ディス
クを作成した。
【0052】以上、硬度の異なる種々の接着剤を用いて
貼り合わせた実施形態1〜7及び比較例1〜12の光デ
ィスクについて、貼り合わせ後の凹凸欠陥の発生状況
と対応する上下振れ加速度、ディスクの変形状態と対
応する傾き角、80℃の加熱雰囲気中で貼り合わせた
2枚の基板間のずれ量、及び80℃/1hの加熱処理
後のディスク傾き角,貼り合わせ後(製造時)と加熱
処理後の(使用,保管時)のディスク表面の凹凸欠陥や
反り等の不良の有無(目視観察)について検討し、表
4,5に示す。
【0053】
【表4】
【0054】
【表5】
【0055】尚、前記特性の測定方法は、下記に示す。
【0056】上下振れ加速度と傾き角の機械特性
は、光ディスク機械特性測定装置(レーザ波長:780
nm,測定回転数:2400rpm,測定位置:φ29
0mm)により測定した。
【0057】ずれ量は、ディスク片(膜厚:30μ
m,接着面積:6cm2)に500gの剪断荷重を加え
たときの変位量を測定した。
【0058】目視観察による不良の有無は、被照射物
に光を当ててその反射光を拡大投影する装置(シャドウ
グラフ)により判別した。例えば、光ディスクの表面に
凹凸や反りが生じている場合、投影物に光の明暗や投影
の大きさが異なって拡大投影される。
【0059】表4,5の結果から、図8に示す接着剤硬
度と光ディスクの傾き角,上下振れ加速度との関係が得
られた。
【0060】図8より、接着剤硬度がショアA30以上
の光ディスクの傾き角は、80℃の加熱処理後であって
も、目標の5mrad以内である。又、接着剤硬度がショア
A80以下の光ディスクの上下振れ加速度は、目標の2
G以内である。実施形態1〜7の硬度がショアA30〜
A80の接着剤で貼り合わせた光ディスクは、傾き角及
び上下振れ加速度の目標を同時に満足する。一方、比較
例の光ディスクは、どちらか一方の特性のみ満足する。
更に、目視観察による不良の有無をディスクの製造時と
加熱処理後について見ると、実施形態1〜7の光ディス
クは、製造時、熱処理後でも不良が発生していなかっ
た。それに対し、比較例の光ディスクは、比較例1〜
8,11〜12では製造時に不良が発生し、比較例9で
は加熱放置後に不良が発生し、さらに比較例10では製
造時,加熱放置後ともに不良が発生している。
【0061】更に、実施形態1〜7の光ディスクについ
て記録再生装置(680nmのレーザを光源として開口
数0.55,焦点深度約2μmの集光レンズを用いた光
ヘッド)によりディスク回転数2400rpmで記録再
生を行なった結果、記録再生不良が発生しなかった。
【0062】このことより、本発明の接着剤(ショア硬
度A30〜A80)で貼り合わせた光ディスクは、平坦
性に優れ、加熱雰囲気でも凹凸や変形の少ない高精度な
ものである。
【0063】
【発明の効果】本発明によれば、高速アクセス、高速回
転による変形、かつ保管時の経時変化による変形や剥が
れを低減し、高精度かつ高信頼性の優れた光ディスクを
実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ディスク模式図である。
【図2】本発明の光ディスク断面図である。
【図3】本発明の光ディスクのためのスタンパの製造工
程図である。
【図4】本発明の光ディスクの製造工程図である。
【図5】本発明の光ディスクの製造工程図である。
【図6】本発明の光ディスクの製造工程図である。
【図7】本発明の光ディスクの製造工程図である。
【図8】本発明及び比較例の接着剤硬度と傾き角、接着
剤硬度と上下振れ加速度の関係図である。
【符号の説明】
100 レプリカ基板 101 記録膜 102 記録膜付レプリカ基板 103 接着層 7 スタンパ 11 レプリカ基板 16 記録膜 17 記録膜付レプリカ基板 18 反応型接着剤 19 接着剤塗布記録膜付レプリカ基板 20 プライマ 21 プライマ塗布記録膜付レプリカ基板 24 紫外線照射装置 25 紫外線硬化性樹脂 26 プラスチック板 27 紫外線照射装置 28 レプリカ基板 32 記録膜 33 記録膜付レプリカ基板 34 接着剤塗布記録膜付レプリカ基板 35 プライマ塗布記録膜付レプリカ基板 36 記録膜付レプリカ基板 37 接着剤塗布記録膜付レプリカ基板 38 プライマ塗布記録膜付レプリカ基板 39 記録膜付レプリカ基板 40 接着剤塗布記録膜付レプリカ基板 41 プライマ塗布記録膜付レプリカ基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 須藤 亮一 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社 日立製作所 生産技術研究所 内 (72)発明者 田嶋 哲夫 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社 日立製作所 生産技術研究所 内 (72)発明者 小山 栄二 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立 マクセル株式会社内

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の透明基板に光照射による記録ドメ
    インの形状変化を起こさない記録膜が設けられ、硬化後
    のショア硬度がA30〜A80なる接着剤を用いて前記
    記録膜側に向かい合せて貼り合わせてなる光ディスクで
    あって、 80℃に加熱して1時間放置後における前記基板同士の
    ずれ量が19μm以下であることを特徴とする光ディス
    ク。
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