JP3338455B2

JP3338455B2 - 渦電流センサ

Info

Publication number: JP3338455B2
Application number: JP50358299A
Authority: JP
Inventors: メドニコフ、フェリックス; ヴィスパイントナー、カール
Original assignee: マイクロエプシロン・メステクニク・ゲーエムベーハー・アンド・カンパニー・カーゲー
Priority date: 1997-06-21
Filing date: 1998-06-22
Publication date: 2002-10-28
Anticipated expiration: 2018-06-22
Also published as: EP0990123A1; HK1029167A1; WO1998059216A9; US6462536B1; WO1998059216A1; EP0990123B1; JP2000514198A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、コイル芯体に巻かれた探りコイルを備えた
渦電流センサに関し、この渦電流センサは、２つの端子
と、交流電圧源と、電気的に導電性のある測定探針と、
評価回路を備え、測定探針が探りコイルに対して変位可
能であり、評価回路が測定探針の位置の関数として評価
信号を発生するものに関する。

この種の渦電流センサは、DE4225968A1から公知であ
る。複数の電圧タップが、測定探針の位置を評価するた
めに設けられている。電圧タップに負荷される異なる電
位が評価回路に供給される。２つの電圧タップのそれぞ
れの間に配置された測定探針は、対応するコイル部位の
部分的なインピーダンス、すなわち、電圧タップの電位
に影響する。したがって、電圧タップに対する測定対象
物の位置を評価回路によって決定することができる。し
かし、この構造は、センサの長さに対する測定範囲の比
率が電圧タップの数に依存するという問題を含んでい
る。測定探針の位置を見付けることができるような長い
測定範囲を確保するには、探りコイルの電圧タップの数
を多くすることが必要であり、これによって、測定セン
サが複雑になる。また、測定探針の長さを電圧タップの
間隔に対応させることが必要になる。

したがって、本発明の目的は、前述したタイプの渦電
流センサを改良することにあり、渦電流センサを簡単な
構造にするとともに、測定探針の位置測定に関して、セ
ンサの長さに対する測定範囲の比率を大きくすることに
ある。

本発明の他の目的は、十分な温度安定性をセンサに与
えることである。

本発明によると、この目的は、請求項１の特徴的な構
成によって達成される。まず、渦電流センサは、電気的
に接触することができる端子を備えた電極を有する。電
極は、探りコイルの巻線及び中間層とともに、分布電磁
パラメータを備えた構成要素を形成しており、その構成
要素の出力信号が測定探針の位置を決めるために使用さ
れる。

本発明によると、渦電流センサは、コンデンサ要素の
同様に、誘導性と抵抗性の両方を備えている。測定探針
はそれが覆う探りコイルの部分にのみ影響を受けるの
で、探りコイルのインピーダンス全体は、探りコイルの
位置に依存する。この点について、コイルの軸に平行な
測定探針の範囲は非常に狭く、理論的には限りなく狭く
なっている。

したがって、測定範囲とセンサの長さとの比が90％程
度と高くなり、たった２つの探りコイル端子と電極の１
つの端子のみによって、高い解像度の渦電流センサを得
ることができる。２つの端子は、交流電圧源の端子に対
して、コードを介して間接的に、又は、直接的に接続さ
れている。

渦電流センサの構造を簡素化することにより、経済的
にその渦電流センサを製造することができる。この渦電
流センサでは、電圧源と評価回路のそれぞれに接続する
３つの端子があるだけである。こうすることにより、測
定探針の幅が非常に狭くなり、探りコイルも軸方向に非
常に短くなるので、渦電流センサを極めてコンパクトに
構成することができる。さらに、測定探針のサイズは、
電圧端子によって解決するよりも、測定結果に僅かな影
響しか及ぼさない。その結果、本発明の渦電流センサ
は、小型化に非常に適している。

中間層を電極及び導電体又はプリント回路基板として
構成し、探りコイルの軸と平行に設けることが好まし
い。平行に構成すると、誘導性、容量性及びオーム抵抗
性あるインピーダンスを生じ、この構成要素は中間層と
探りコイルの巻線との間に形成されたコンデンサ要素と
して機能する。測定探針の軸方向の変位に関連して、分
布電磁パラメータある構成要素は、また、探りコイルの
軸と平行な範囲で影響を受け、評価回路で簡単に評価で
きる出力信号を生じさせる。

本発明を改良して、コイル芯体全体を電極として使用
できるようにして、そのコイル芯体を強磁性材料のよう
な電気抵抗が殆どない材料から作ることが好ましい。こ
うすることにより、コイル芯体を簡単な形状で単一の材
料から作ることができ、電極として大きな表面を確保す
ることができる。コイル芯体の形状はチューブのような
要素として設計・構成されていてもよい。

中間層は、探りコイルの巻線とコイル芯体との間に設
けられている。この中間層をコイル芯体の表面に設けて
もよい。材料の物性と中間層の配置関係により（導電率
δ、相対的なパーミタンスε、厚み）、探りコイルの巻
線と電極との間のトランジション抵抗を利用することが
できる。

この場合、探りコイルは絶縁されたワイヤ又は裸のワ
イヤから巻かれて製造されている。裸のワイヤを使用す
る場合、互いに間隔を置いて巻線を巻く必要がある。

本発明の他の改良例として、コイル芯体と電極との間
の中間層が巻線ワイヤの絶縁層として使用される。この
場合、中間層のオーム抵抗が非常に高いので、渦電流セ
ンサのコンデンサ要素が大きな影響力を持つ。

しかし、オーム抵抗Ｒが、中間層の子要素Ｃより非常
に小さく、単位長さ当りの探りコイルZ1のインピーダン
スより実質的に大きい場合、出力信号は、実質的にオー
ム抵抗Ｒに依存する。

本発明のさらなる有用な改良例として、コイル芯体は
絶縁材料であり、探りコイルを囲むケースが電極を構成
している。この構造では、ケースは、導電性はあるが、
非磁性材料、特に、ステンレス鋼から作られている。特
に、コイル芯体の内部で測定探針が延びている場合、コ
ンパクトで密閉された渦電流センサを構成できる。中間
層は、探りコイルの巻線と電極との間において、正又は
負の温度係数のトランジション抵抗を有していてもよ
い。こうすることにより、渦電流センサの出力信号が温
度の影響を受けても補正することができる。

単位長さ当りの電極の電気抵抗値を、単位長さ当りの
測定探針の抵抗値より大きくすることが好ましい。こう
することにより、電極及び測定探針の渦電流効果に好ま
しい形で影響を与えることができる。

測定探針は、探りコイルを囲む導電性のリングであ
り、軸方向で探りコイルの外表面に非接触配置されてい
る。しかし、測定探針は、コイル芯体と同軸上に延びる
通路内を変位可能に設けてもよい。測定探針は探りコイ
ルの内部で保護されるように延び、コンパクトに構成す
ることができる。こうすることにより、測定探針を測定
対象物の一部として利用でき、測定対象物自体を測定す
ることができる。後者の場合、チューブ状コイル芯体の
内部に配置された物品が測定探針となるようにして測定
することができる。

特に好適な実施の形態では、電極、中間層及びコイル
芯体は、それぞれ、探りコイルの軸と平行な長手方向軸
に整列させられていたり、測定探針の変位が探りコイル
の軸と平行に生じるように構成させられていたりする。
この構造によると、簡単な直線状構造となり、評価回路
での出力信号の評価が簡単になる。

さらに他の好適な実施の形態では、コイル芯体は無端
リングであり、必要に応じて、電極を備えており、測定
探針がリングに沿って変位可能に支持されている。こう
することにより、測定探針は、コイル芯体及び探りコイ
ルを囲むリングの形態をしており、コイル芯体の内部通
路に支持されるようにしてもよい。この形態は、測定探
針に接続された測定対象物が移動することにより生じる
周方向の変位を測定するために特に好適である。

さらに他の好適な実施の形態では、探りコイルの両方
の端子は交流電圧源に接続され、評価回路が入力を電極
の端子に接続した演算増幅器を備えている。本発明によ
れば、演算増幅器の反転入力がでの端子に接続されてい
る。渦電流センサの出力信号の変化によって、すなわ
ち、電圧の変化によって、評価回路は、探りコイルに対
する測定探針の位置又は位置変化を検出する。

本発明のさらなる改良例では、交流電圧源が電極と探
りコイルの端子との間に付加され、探りコイルの第２の
端子が評価回路の演算増幅器の入力に接続されている。
好ましくは、探りコイルの端子が演算増幅器の反転入力
に接続されている。同様に、評価回路は、出力電圧の比
較又は加算ができるような形態で、抵抗及びコンデンサ
によって接続されている。

本発明のさらなる改良では、探りコイルは、さらなる
端子を備えている。その端子は、探りコイルの中央の端
子の形態で存在している。中央端子は、ローパスフィル
タを介して演算増幅器の反転入力に接続されている。出
力信号は、渦電流センサのインピーダンスの温度勾配の
影響を補正して使用される。

最後に、電極の端子は接地されていてもよい。この場
合、探りコイルの２つの端子は、例えば、交流電圧源及
び演算増幅器の入力に接続される。

センサの総ての構成要素は、例えば、磁性抵抗構造又
は光抵抗構造として、チップ上に小型化されてもよい。

本発明のさらなる好適な実施例を請求の範囲及び明細
書に基づき説明する。本発明の種々の実施例は図面に示
されており、以下に説明される。図面において、それぞ
れの図は概略的に示され、図１は、本発明による渦電流センサの第１実施例を簡
略的に示した図；図2aは、図１の渦電流センサの評価回路のブロック
図；図2bは、探りコイルの偏位の関数として、測定電圧Ｕ
の変化を示した操作ダイアグラム；図３は、本発明による渦電流センサの第２実施例の概
略図；図４は、本発明による渦電流センサの第３実施例の概
略図；図５は、本発明による渦電流センサの第４実施例の概
略図；図６は、変位の測定の仕方を変えた、本発明による渦
電流センサの第５実施例の概略図；図7aは、第１の評価回路を備えた本発明の渦電流セン
サを示し；図7bは、第２の評価回路を備えた本発明の渦電流セン
サを示し；図7cは、第３の評価回路を備えた本発明の渦電流セン
サを示し；図7dは、第４の評価回路を備えた本発明の渦電流セン
サを示し；図８は、小型化に適した磁気抵抗性の渦電流センサを
示している。

図１は、探りコイル２及び環状測定探針３を備えた本
発明による渦電流センサ１を示している。渦電流センサ
１は、探りコイル２の軸と平行に延びる電極４と、探り
コイル２と電極４との間に配設された中間層５を備えて
いる。中間層５は、探りコイル２の軸と平行に設けられ
ており、電磁性ある絶縁材料からなり、電気的分布パラ
メータな材料からなる。探りコイル２は、電気的に接続
を可能にする２つの端子6,7を備えている。また、電極
４は、導電体として構成されており、これに接続された
端子８を備えている。端子８は、測定探針３の位置を検
出するために、評価回路にも接続されている。探りコイ
ル２は、好ましくは単層巻きのコイルであり、渦電流セ
ンサは、半導体トランジスタのような同次の３極構造に
なっている。

図２は、長さｌの同次構造の渦電流センサ１の電気的
な等価な回路ダイアグラムを示している。この接続回路
では、複素インピーダンスZ1の長さｌの同次構造及びオ
ーム抵抗Ｒと並列に接続されたコンデンサＣとして、渦
電流センサ１の誘導要素、コンデンサ要素及び抵抗要素
を示すことができる。

この構造において、それぞれのZ1は、単位長さ当りの
探りコイル２のインピーダンスであり、Ｒは中間層５、
すなわち、単位長さ当りの探りコイル２と電極４との間
のオーム抵抗であり、Ｃは単位長さ当りの探りコイル２
と電極４との間のコンデンサである。

抵抗Ｒが単位長さ当りの探りコイル２のインピーダン
スZ1よりかなり大きく、単位長さ当りのコンデンサ要素
に値1/jωＣが、単位長さ当りの探りコイル２のインピ
ーダンスZ1よりかなり大きいので、電極４の抵抗はそれ
ぞれ無視されている。

総電位Ｕ〜が端子6,7の間に負荷されたとき、電位U1
は探りコイル２に沿って直線的に変化する状態にある。
この関係は図2bに示されている。図2aに示されるよう
に、オーム抵抗要素は、同次構造のコンデンサ要素と並
列に接続されているので、探りコイル２と電極４との間
のトランジションインピーダンスの抵抗要素又はコンデ
ンサ要素は、中間層５の特性（電気的な導電率δ、相対
的なパーミタンスε、探りコイル２の巻線と電極４の間
の間隔）及び振動数を材料の関数として支配する。

探りコイル２は、絶縁性のワイヤでも裸のワイヤとし
て巻かれていてもよい。裸のワイヤを使用する場合、互
いに間隔をおいて巻線を巻かなければならない。

図３は、本発明の最も簡素な実施例を示している。こ
の実施例では、渦電流センサ31は、探りコイル２を単層
で表面に巻き、円筒状に構成されたコイル芯体32よりな
る。コイル芯体32の外表面と探りコイル２の巻線との間
には、中間層33がコイル芯体32の表面に接して設けられ
ている。コイル芯体32は、ほとんど電気抵抗のない材料
からなり、例えば、強磁性体の鋼からなる。探りコイル
２、コイル芯体32及び中間層33は、ケース34内に設けら
れている。測定探針３は、探りコイル２の軸と平行に変
位可能であり、探りコイル２の巻線に対して絶縁されて
いる。電極として機能するコイル芯体32は端子８を備え
ている。測定探針３は、電気的に導電性のある材料から
なり、内部に渦電流を生じさせるように環状に構成され
ている。ケース34は、プラスチック又は非磁性の鋼から
なる。

図４に示された渦電流センサ41は、非磁性のステンレ
ス鋼からなるコイル芯体42を備えている。コイル芯体42
はチューブ状に構成されており、その内部に円筒状の通
路43を備えている。この通路43内において、強磁性体の
コアの形状とした測定探針44が軸方向変位可能に設けら
れている。中間層33は、同様に、コイル芯体42の表面に
設けられており、探りコイル２とコイル芯体42を絶縁し
ている。

図５に示された渦電流センサ51は、非導電性、とく
に、プラスチックののコイル芯体52を備えており、その
外表面には単層の探りコイル２が巻かれている。探りコ
イル２は、中間層54によって、外側の円筒状のケース53
から離間させられている。ケース53は、導電性の非磁性
材料からなり、第１の導電性測定探針３によって環状に
取り囲まれている。改変例や追加的な構成要素として、
さらなる測定探針44が、コイル芯体52の通路43内を変位
可能に設けられていてもよい。この実施例では、ケース
53が電極として構成されている。

図６に示された渦電流センサ61は、測定探針62の周方
向の変位を検出するように構成されている。測定探針62
は、ベアリング63によって回転方向の角度が定まるよう
に支持されている。探りコイル２は、鋼性のコイル芯体
64上で単層で巻かれており、中間層65と分離されてい
る。コイル芯体64は、電極として構成され、端子８に接
続されている。渦電流センサ61は、環状測定探針62によ
って囲まれたケース66を備えている。ケース66は絶縁材
料からなっている。

図7aにおいて、渦電流センサ71は、中間層72と軸方向
に変位可能な測定探針73を備え、測定探針73の位置を検
出するために評価回路74を備えている。評価回路74は、
反転入力76を介して電極77の端子８に接続された演算増
幅器75を備えている。中間層72のトランジションインピ
ーダンスは、コイル２の誘導インピーダンスより大き
い。これによって、端子6,7の間の探りコイル２に沿っ
て電圧を直線的に変化させる。このため、探りコイル２
の端子6,7を交流電圧源70に接続することが必要であ
る。直線的に変化する誘導電圧が、加算器を介して出力
電圧Uoutに加えられる。この評価回路は、演算増幅器7
5、コンデンサ78及び抵抗Ｒからなる。評価回路74にお
いて、電圧値Ueの付加がが演算増幅器75で行われる。演
算増幅器75の反転入力76の電位は０である。これは、電
圧値U1を互いに独立して加えることができることを意味
する。

探りコイル２が、互いに補い合う２つの電圧、すなわ
ち、参照電位Urefと釣り合った電圧として供給され、測
定探針73が探りコイル２の中央にあるとき、Uout＝０で
ある。測定探針73が中央から変位したとき、出力電圧Uo
utはそれに比例して変化し、相が180゜変わる。

中間層が絶縁材料からなり（Ｒ＞＞ｊωＣ）、絶縁材
料の相対パーミッタンスεが負の温度係数を有し、測定
コイル２が正の温度係数を有するとき、出力電圧Uoutを
安定させるために温度の影響を最小限にすることができ
る。

図7bは、交流電圧源70と評価回路74への接続を異なら
せた渦電流センサ71を示している。この実施例では、探
りコイル２が出力端子７を接地させており、端子６を評
価回路に接続させている。演算増幅器75が非反転入力を
接地させ、評価信号Uoutを生じさせている。電極77の端
子８は、交流電圧源に接続されている。中間層72は絶縁
材料（Ｒ＞＞ｊεＣ）からなる。この場合、絶縁材料の
相対パーミッタンスεは、評価信号Uoutの温度影響を補
正するために正の温度係数を有する。

図7cは渦電流センサ71の他の接続回路を示している。
この実施例では、探りコイル２はその端子７を交流電圧
源に接続されており、その端子６は評価回路74に接続さ
れている。電極77の端子８及び演算増幅器75の非反転出
力は接地されている。評価信号Uoutは測定探針73に位置
に応答している。渦電流センサ71の後２者の接続回路は
所定の振動数で電流の共振を生じさせる。これによっ
て、大きな感度を得ることができ、評価信号Uoutを高精
度で解析することができる。

図7dの渦電流センサ71は、その端子6,7を交流電圧源7
0に、さらにdc電圧源80に接続されている。dc電圧源は
正負を変えることができ、接続のON・OFFできるように
することが好ましい。これによって、交流電圧源70の交
流電圧にdc電圧を付加することができる。しかし、dc電
圧源80の接続をON・OFFさせて、付加電流を発生させて
もよい。電極77は、その端子８を介して前述の評価回路
74に接続されており、演算増幅器75の非反転出力は参照
電位である。評価電圧Uoutは、演算増幅器75の出力とし
て生じさせることができる。探りコイル２は中央の端子
81を備えている。その端子８は、少なくとも１つの抵抗
83及び少なくとも１つのコンデンサ84を備えたローパス
フィルタ82を介して、評価回路86の演算増幅器85に接続
されている。演算増幅器85は、他の抵抗87を介して回路
が組まれている。演算増幅器85の評価信号Uout−（定電
圧）は、温度勾配に比例し、測定探針73の位置から独立
している。演算増幅器85の評価信号Uout−は、測定探針
73の位置変化に比例している演算増幅器75の評価信号Uo
utから減算される。減算の前において、評価信号Uout−
を対応する伝達因数によって積算してもよい。この方法
によって、温度勾配の影響を補正して、簡素化及び精度
向上ができる。

図８は、小型化に適し、磁性抵抗ある渦電流センサを
示している。渦電流センサ91は、中間層92及び電極93を
備えている。電極93は、前述のように、端子８を介して
評価回路75に接続され、出力信号Uoutを生じさせる。ま
たは、渦電流センサ91を構成する際、磁性抵抗構造に変
えて、光抵抗構造にすることもできる。この形態では、
渦電流センサをかなり小型化されたチップの形に構成で
き、極僅かなスペースでも渦電流センサ91を利用するこ
とができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ヴィスパイントナー、カールドイツ国オルテンブルクディー― 94496 グリースバッハー・ストラーセ 23 (56)参考文献特開平４−186101（ＪＰ，Ａ) 特開昭64−54301（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−177402（ＪＰ，Ａ) 特開昭55−46200（ＪＰ，Ａ) 実開昭62−115658（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 7/00 G01D 5/20

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】コイル芯体（32;42;52;64）に巻かれた探
りコイル（２）を備えた渦電流センサであって、該渦電
流センサが、２つの端子（6,7）と、交流電圧源（70）
と、電気的に導電性のある測定探針（3;44;62;73）と、
評価回路（74）を備え、前記測定探針（3;44;62;73）が
探りコイル（２）に対して変位可能であり、前記評価回
路（74）が測定探針（3;44;62;73）の位置の関数として
評価信号（Uout）を発生する渦電流センサにおいて、前記渦電流センサ（1;31;41;51;61;71;91）が、電気的
に接触することができる端子（８）を備えた電極（4;3
2;42;64;77;93）を有し、前記電極が、探りコイル
（２）の巻線及び中間層（5;33;54;65;72;92）ととも
に、分布電磁パラメータを備えた構成要素を形成してお
り、前記構成要素の出力信号が測定探針（3;44;62;73）
の位置を決めるために使用されることを特徴とする、渦電流センサ。
【請求項２】前記電極（4;32;42;64;77;93）が、導電体
又はプリント回路基板として設計及び構成され、前記探
りコイル（２）の軸と平行に配置されていることを特徴
とする、請求項１記載の渦電流センサ。
【請求項３】前記コイル芯体（32;42;64;77）全体が電
極として構成され、該コイル芯体が強磁性材料のような
電気抵抗が殆どない材料からなることを特徴とする、請
求項１記載の渦電流センサ。
【請求項４】前記中間層（5;33;54;65;72;92）が、前記
探りコイル（２）の巻線を前記電極（4;32;42;64;77;9
3）から電気的に絶縁していることを特徴とする、請求
項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の渦電流セン
サ。
【請求項５】前記中間層（5;33;54;65;72;92）が、前記
抵抗大なる材料からなることを特徴とする、請求項１乃
至請求項４のいずれか１つに記載の渦電流センサ。
【請求項６】前記中間層（5;33;54;65;72;92）が前記探
りコイル（２）の巻線の絶縁層であることを特徴とす
る、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載の渦電
流センサ。
【請求項７】前記コイル芯体（52）が絶縁材料からな
り、ケース（53）が前記探りコイル（２）を囲んでいる
ことを特徴とする、請求項１記載の渦電流センサ。
【請求項８】前記ケース（53）が、導電性の非磁性材
料、特に、ステンレス鋼からなることを特徴とする、請
求項７記載の渦電流センサ。
【請求項９】前記中間層（5;33;54;65;72;92）の電気抵
抗が、正又は負の温度勾配定数を有することを特徴とす
る、請求項１乃至請求項８のいずれか１つ記載の渦電流
センサ。
【請求項１０】前記電極（4;32;42;64;77;93）の前記電
気抵抗値が、単位長さ当りの探りコイル（２）のインピ
ーダンスより、単位長さ当りで極小であることを特徴と
する、請求項１乃至請求項９のいずれか１つに記載の渦
電流センサ。
【請求項１１】前記測定探針（3;62;72）が前記探りコ
イル（２）を囲む電気的に導電性あるリングであること
を特徴とする、請求項１乃至請求項10のいずれか１つに
記載の渦電流センサ。
【請求項１２】前記測定探針（44）が前記コイル芯体
（42;52）の内部に配置され、コイルの軸と平行に配置
された溝（43）内で変位可能であることを特徴とする、
請求項１乃至請求項11のいずれか１つに記載の渦電流セ
ンサ。
【請求項１３】前記電極（4;32;42;64;77;93）、前記中
間層（5;33;52;65;72;92）及び前記コイル芯体（32;42;
54;64;77）がそれぞれ前記探りコイル（２）の軸と平行
な長手方向軸に沿って整列させられ、及び／又は、前記
測定探針（3;44;62;73）がの変位が探りコイル（２）の
軸と平行に生じることを特徴とする、請求項１乃至請求
項12のいずれか１つに記載の渦電流センサ。
【請求項１４】前記コイル芯体（64）が無端リング状又
はチューブ状であり、前記測定探針（62）が周方向の変
位を検出するために前記リング又はチューブに沿って変
位可能に支持されていることを特徴とする、請求項１乃
至請求項13のいずれか１つに記載の渦電流センサ。
【請求項１５】前記探りコイル（２）の２つの端子（6,
7）が前記交流電圧源（70）に接続されており、前記評
価回路（74）が演算増幅器（75）を備え、該演算増幅器
の反転入力（76）が前記電極（4;32;42;64;77;93）の端
子（８）に接続されていることを特徴とする、請求項１
乃至請求項14のいずれか１つに記載の渦電流センサ。
【請求項１６】前記電極（4;32;42;64;77;93）の前記端
子（８）と前記探りコイル（２）の端子（７）との間に
交流電圧が負荷され、前記探りコイル（２）の第２端子
（６）が前記評価回路（74）の演算増幅器（75）の反転
入力（74）に接続されていることを特徴とする、請求項
１乃至請求項15のいずれか１つに記載の渦電流センサ。
【請求項１７】前記探りコイル（２）がその中央部分に
おいてさらなる中央端子（81）を備え、該端子（81）が
ローパスフィルタ（82）を介して演算増幅器（75）の反
転入力（76）に接続されていることを特徴とする、請求
項１乃至請求項16のいずれか１つに記載の渦電流セン
サ。
【請求項１８】前記電極（77）の端子（８）が接地され
ていることを特徴とする、請求項１乃至請求項17のいず
れか１つに記載の渦電流センサ。
【請求項１９】前記探りコイル（２）が互いに所定間隔
で離間して巻かれた裸のワイヤであることを特徴とす
る、請求項１乃至請求項18のいずれか１つに記載の渦電
流センサ。
【請求項２０】前記センサの総ての構成要素が磁性抵抗
構造又は光抵抗構造を備えたチップ上に小型化されてい
ることを特徴とする、請求項１乃至請求項19のいずれか
１つに記載の渦電流センサ。