JPH0812082B2 - 非接触式距離測定システム及び非接触式距離測定方法 - Google Patents

非接触式距離測定システム及び非接触式距離測定方法

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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、交流によって作動し、測定コイルと電子的
供給／評価回路と電気的及び／又は磁気的に伝導性の試
験対象物を有してなるセンサであって、前記測定コイル
が円筒状コイルハウジング内に収納されており、前記試
験対象物が少なくとも一部でコイルハウジングを取り囲
み且つ前記コイルハウジングの長手方向に移動できるよ
うになっている、非接触式距離測定システムに関する。
本発明は、また、この非接触式距離測定システムによっ
て、非接触で距離を測定する方法に関する。
非接触式距離測定システムには、従来から、種々のタ
イプのもの、種々の設計思想のものがある。その作動原
理によって分類すると、渦電流を利用して作動する距離
測定システムとしての伝導型及び容量型の距離測定シス
テムと、光学式又は音響式距離測定システムに分けられ
る。
本発明は、少なくとも１つのコイルを有するセンサを
具えた非接触式距離測定システム、すなわち、渦電流原
理又はインダクタンスによって作動する距離測定システ
ムに関する。
DE−A3801828には変位センサが記載されており、この
センサにおいては、永久磁石を生体上に配設して、永久
磁石の磁束の変化を生体の移動又は振動測定結果として
測定している。その第２図に示されるように、これによ
って知られた変位センサは、ハウジングと、このハンジ
ング内に挿入された非磁性体のスクリーンカプセルから
なる。また、その第３図に示されるように、スクリーン
カプセルは、誘電性の熱可塑性プラスチックである。さ
らに、種々のインダクションコイルがハウジング内に設
けられている。スクリーンカプセルは、電磁気によっ
て、処理回路や変位センサの電気部分に悪影響を及ぼさ
ないように機能する。
DE−Ｂ−1900894には、距離測定のために誘導型トラ
ンスデューサーを使用する方法が記載されている。ま
た、この文献には、一方側を金属スリーブによって取り
囲み、他方側、すなわち、測定側をエポキシ樹脂でカバ
ーしたセンサが開示されている。
さらに、従来、例えば、ピストンやバルブの変位又は
位置を測定するために、油圧式又は空圧式シリンダを使
用した、いわゆる、渦電流式長距離測定センサが存在し
ている。さらに、この種の長距離測定センサは、プレ
ス、パンチ、ロールスタンド等の変位を測定することが
できる。油圧式又は空圧式シリンダでは、センサは高圧
に耐え得るように設計されており、ハウジングはステン
レス鋼からなる。これに利用される渦電流測定原理は非
接触式である。従って、センサは物理的な摩耗を被るこ
とがない。試験対象物として使用されるのは、アルミニ
ウムパイプであり、このパイプはバーと同心でそれに接
触することなく移動できるようになっている。バーの内
部には、周囲の環境から保護されたコイルが配設されて
いる。アルミニウムパイプの渦電流のインダクタンスに
よって、コイルからエネルギーが除去される。
集積小型電子回路は、パイプ位置を、約４乃至20mAの
範囲の線形電子出力信号に変換する。センサを起動させ
るために、15乃至30ボルトの直流電圧が利用される。公
知の長距離測定センサは、試験対象物として機能するア
ルミニウムパイプがコイルと協働するバーの全長に亘っ
て押されるために、問題がある。従って、測定時にコイ
ルの全長を使用しなければならないので、アルミニウム
パイプをバーの略々全長に亘って押す必要がある。その
ため、長距離測定センサ、すなわち、距離測定システム
の全長を、バー及びアルミニウムチューブの長さ以上に
しなければならない。
さらに、この長距離測定センサの場合、測定コイルの
出力側インピーダンスが試験対象物又は試験対象物とし
て機能するアルミニウムパイプの位置に関係するという
点において問題がある。従って、この場合、それに対応
する電子システムによって非経済的な補正を行わねばな
らない。このような電子システムは、構造からして高価
であり、かなりの費用が必要となる。
従って、本発明の目的は、全長が短く且つ構造が簡易
に測定コイルを具え、試験対象物の位置と独立して作動
する非接触式距離測定システムを提供することである。
さらに、本発明の目的は、非接触式に距離の測定を行う
方法を提供することである。
本発明による非接触式距離測定システムは、独立請求
項１及び２に記載される特徴によって前記目的を達成す
る。従って、本発明の距離測定システムは、次のように
設計・構成されている。すなわち、試験対象物がコイル
ハウジングと間隔をおいてそのコイルハウジングを取り
囲むリングからなっている。さらに、測定コイルは少な
くとも２つの電圧タップを具え、その電圧タップの数に
応じて個々の電圧タップと基準電圧との間で電圧値が次
々と測定され、電子的供給／評価回路が測定された電圧
値を試験対象物の位置に関連する総電圧に（として）加
算するための電子機器を有している。
上記距離測定システムの替わりとして、本発明の距離
測定システムを次のように設計・構成することができ
る。すなわち、電圧タップの数に応じて個々の電圧が電
圧タップ同士の間で次々と測定され、電子的供給／評価
回路が測定された個々の電圧を増加する電圧値として加
算する電子機器とともに、この電圧値をさらに試験対象
物の位置に関連する総電圧として加算する電子機器を有
している。
まず第１に、本発明によれば、非接触式距離測定シス
テムの全長はかなり短縮される。特に、使用される測定
長さについてみれば、試験対象物を、コイルハウジング
と間隔をおいてそれを取り囲むリングとして構成するこ
とができる。その結果、試験対象物をほんの僅かな長さ
にすることができ、測定コイルと協働するコイルハウジ
ングを越えて押す必要がある。さらに、本発明によれ
ば、コイルが少なくとも２つ、好ましくはそれ以上の電
圧タップを具え、その電圧タップの数に応じて、個々の
電圧タップと基準電圧との間の電圧値を次々と測定する
ことができるので、試験対象物として機能するリングの
位置を正確に測定することができる。電子的供給／評価
回路は、さらに、測定された電圧値を試験対象物の位置
に関連する総電圧として加算するための電子機器を有し
ている。或いは、電圧タップ間の個々の電圧を次々に測
定するようにしてもよい。この場合、電子的供給／評価
回路は、測定された個々の電圧を増加する電圧値として
加算する電子機器を具えていなければならない。さら
に、電子的供給／評価回路は、個々の電圧として既に加
えられた電圧値をさらに試験対象物の位置に関連する総
電圧として加算する電子機器を有していなければならな
い。
上述した他の構造のものにおける本発明の距離測定シ
ステムは、測定範囲内での測定コイルのインピーダンス
がディスプレイ画面の位置に左右されないようにレイア
ウトされている。従って、測定コイルを通じて流れる電
流は、試験対象物として機能するリングがどのような位
置にあっても不変に保たれる。電圧値を加算する機器の
出力側信号は、コイルハウジング上を移動可能なリング
の位置と線形で比例することになる。
電圧タップ間で測定された個々の電圧の加算に際し
て、個々の電圧タップを測定された個々の電圧のための
差動増幅器で処理することが望ましい。電圧値を試験対
象物の位置に関連する総電圧として再び加算する他の電
子機器に、この差動増幅器の出力を接続することができ
る。或いは、その出力をこの電子機器に供給してもよ
い。
電圧値を加算する電子機器は、加算増幅器として構成
することがより望ましい。この加算増幅器に、可逆入力
（inverting input）を設けることもできる。
対象物として機能するリングを高精度に検出するに
は、リングがないときにおける個々の電圧が少なくとも
略々同じになるように、電圧タップ又は電圧タップ間を
延びるコイル部分を選択することが望ましい。このよう
にすると、当該リングが位置する電圧タップの間で、差
電圧がまさしく測定されるので、リングの位置を決定す
ることができる。
リングの位置及び総電圧への加算に基づいて、この電
圧は、加算によって形成された総電圧に加えられるの
で、総電圧からの変動が、総電圧中で変化した個々の電
圧の周波数によって生じる。
個々の電圧タップと共通の測定タップ間にレジスタを
配設することが望ましい。このレジスタは、それぞれの
電圧タップから測定タップに向う途中に接続されてい
る。従って、選択された電圧タップを測定する場合に
も、この点において個々の電圧のための接続は既になさ
れている。
リングの位置を誤りなく検出するには、レジスタが少
なくとも略々同じ定格値を持っていることが望ましい。
この定格値、すなわち、抵抗値を、コイルの出力抵抗よ
りも約２倍（two orders）大きくすることが望まし
い。抵抗及び２つの電圧タップを具えた測定コイルと
も、コイルハウジング内に配設されており、これによっ
て、きわめて小さいサイズの距離測定システム、すなわ
ち、センサを得ることができる。
試験対象物として機能するリングの位置を明確に決定
測定するには、そのリングの最大幅が、隣合う２つの電
圧タップ間の間隔に対応していることが望ましい。この
ようにすると、リングは常に２つの電圧タップ間にきち
んと配置されることになる。
２つの電圧タップ間の電圧の変化を検出するには、で
きれば２つの電圧を介して、測定コイルをブリッジ回路
に接続することが望ましい。このようにすることで、測
定された電圧に変化があったときでも、ブリッジのバラ
ンスが崩れることがない。
温度誤差を抑えるには、種々の測定手段を採用するこ
とができる。この場合、測定コイルに交流電圧源を対称
に供給し、直流電圧源をさらに供給し、これらの電圧源
を合わせた後に、出力電圧を直流電圧部分と交流電圧部
分に分けることが可能である。交流電圧部分を復調する
と、交流電圧部分はリングの位置の変化に比例するた
め、直流電圧部分が対応する伝達（transfer）係数で抽
出され、その直流電圧部分が測定のために選択される。
温度誤差の補正を行うために、リングは、直流電圧を通
じるようにその内部に配設される補正コイルを具えてい
る。この補正コイルの電流は、温度勾配に応じて変化す
る。
本発明による距離測定システムの作動原理は、基本的
には、インダクタンス、すなわち、渦電流原理による。
特に、測定コイルが磁性体のコアを具えていることが望
ましい。試験対象物として機能するリングは、低い電気
抵抗の材料、例えば、アルミニウムから構成されてい
る。
本発明の主たる目的は、請求項21及び22に記載される
特徴を持つ方法の発明によって達成される。電圧タップ
の数に応じて個々の電圧タップと基準電圧の間で電圧値
が次々と測定され、測定された電圧値が試験対象物の位
置に関連する総電圧として加算される。又は、電圧タッ
プの数に応じて、電圧タップ間の電圧を次々と測定し、
測定された電圧値が増加する電圧値として加えられると
ともに、さらに、試験対象物の位置に関連する総電圧と
して加えられる。
いずれの方法であっても、重要なことは、リングが電
圧タップ間にあるとき、個々の電圧が２つの電圧タップ
間で変化を生じるので、試験対象物として機能するリン
グの位置が正確に測定可能であるということである。全
ての個々の電圧が測定され、測定コイルの一方側からそ
の電圧が加えられて電圧値が順次増加していくので、合
計電圧内の変化する個別電圧の周波数によって、リング
を位置を把握することができる。
本発明の内容を効果的な方法で実施して改変すること
且つさらに改良する可能性がある。このためには、請求
項１及び２の従属項や、図面を参照して説明される本発
明の詳細な説明を参照されたい。添付図面を参照して説
明される本発明の好適実施例の記載に基づいて、好まし
い具体例及び発明内容の改良例が以下に説明されてい
る。
図面において、 第１図は、本発明による距離測定システムの実施例の
部分的な概略図である。
第２図は、個々の電圧タップと基準電圧の間で電圧値
を測定するための、電圧タップのブロックダイヤグラム
の内容の概略図である。
第３図は、個々の電圧を加算する増幅器を具えた第１
図の距離測定システムを示している。
第４図は、ブリッジ回路に接続された、第１図の距離
測定システムを示している。
第５図は、交流電圧源を対称に配した、第１図の距離
測定システムを示している。
第６図は、温度補正手段を具えた、請求項１の距離測
定システムを示している。
第７図は、コイルタップが存在しない、本発明の距離
測定システムの他の実施例の部分的な概略図である。
第１図には、交流によって作動するセンサ２を具えた
本発明による非接触式距離測定システムの実施例が示さ
れている。センサ２は、測定コイル１と、電子的供給／
評価回路３と、センサ２に関連する電気的及び／又は磁
気的に伝導性の試験対象物４を有してなる。測定コイル
１は、円筒状のコイルハウジング５に収納されている。
試験対象物４は、コイルハウジング５を取り囲み、そし
て、長手方向に移動できるようになっている。
本発明によると、試験対象物４は、コイルハウジング
５に対して間隔をもって取り囲むリング６として構成さ
れている。ここに示された実施例では、測定コイル１は
いくつかの電圧タップ７を具え、この数個の電圧タップ
７によって、個々の電圧タップと基準電圧値の間の電圧
値を測定できるようになっている。電子的供給／評価回
路３は、測定された電圧値を試験対象物４の位置に対応
する全電圧として加えるための電子機器である。
第２図は、ブロックダイヤグラムによって、電圧タッ
プ７間の個々の電圧U1,U2,U3,U4,U5とともに、それぞれ
の電圧U1−U5を加算した電圧値Ua,Ub,Uc,Ud,Ueの測定方
法を示している。この電圧値は、他の電子機器によっ
て、総電圧として加算される。このブロックダイヤグラ
ムの方法によって、電圧タップ７間のリング６によって
生じる電圧変化の周波数に基づいて、全トータル、すな
わち、総電圧としての対応値が定まる。この結果、リン
グ６の正確な位置を決定することができる。
第３図に特によく示されているように、電圧タップ７
は、それぞれの電圧を測定するために、差動増幅器９に
接続されている。差動増幅器９の出力側は、さらなる電
子機器10に接続されており、試験対象物４、すなわち、
リング６に位置に関連する総電圧として、その電圧を加
算するようになっている。電子機器は加算増幅器として
設計されていてもよく、可逆型（inverting）入力を具
えていることが好ましい。
第１図に戻り、それぞれの電圧タップ７と共通の測定
用タップとの間には、レジスタ12が介在されている。こ
れらのレジスタ12は、各電圧タップから測定タップ11に
向う途中に設けられている。これらのレジスタ12は、全
体として測定コイル１の出力抵抗よりも少なくとも約２
倍（two orders）大きい略々同じ定数（rating）を持っ
ている。
さらに、第１図に示されるように、レジスタ12は、測
定コイル１及び電圧タップ７とともに、コイルハウジン
グ５内に配設されている。さらに、図面に示されるよう
に、リング６は、２つの隣合う電圧タップ７間の間隔に
略々対応する幅を持っている。これよって、電圧タップ
７間におけるリング６の位置を正確に測定することがで
きる。
第４図に示されるように、本発明の距離測定システム
は、２つのレジスタ13,14を介して、ブリッジ回路に接
続されている。第５図に示されるように、測定コイル１
は、交流電圧源15から対称に通電される。第６図に示さ
れるように、直流電圧源16が測定コイル１をさらに別途
通電するように設けられている。
以下の説明は作動方法についてのものであり、特に、
本発明による距離測定システムに利用される。
差動増幅器、すなわち、加算増幅器９の出力が交流電
圧である場合、試験対象物４として機能するリング６が
ない場合には、次の式を利用することができる。
ここで、Ｕ〜は供給電圧であり、Ｋは加算増幅器10の
増幅係数であり、また、ここで、 また、Z0は測定コイルの第１段階の総電圧であり、Z1・
・・Znは、測定タップ（Z1＝Z2＝・・・Zn）間の測定コ
イル範囲の総抵抗である。
上記式によれば、それぞれのコイル部分にリング６が
重なると、抵抗値Z1,Z2,・・・Znが変化し、出力電圧、
すなわち、加算された総電圧がリング６の位置に比例す
ることになる。
従って、リング６がどのような位置にあっても、測定
コイル１を流れる総電流がそれに対応するので、出力
値、すなわち、総電圧としてリング６の位置を常に決定
することができる。リング６が変位したとき、測定コイ
ル１の総抵抗はレジスタZ1・・・Znを通じて流れる電流
に対して不変であるため、リング６の幅は２つの電圧タ
ップ７間の間隔よりも例えば約10％程度狭くてもよい。
第４図に示されるように、測定コイル１は、さらなる
レジスタ13,14によってブリッジ回路に接続されてい
る。ジススタ13,14が同じ定格値であり、リング６が測
定コイル１の中心に位置したとき、ブリッジの出力側に
生じる電圧がゼロに調節される。２方向のうち１方向に
リング６が変位すると、ブリッジバランスが崩れ、出力
信号、すなわち、出力電圧が発生して、信号に変化が現
れる。
第５図は、交流電圧源15によって測定コイルを通電し
た場合の概略図である。この実施例では、距離測定シス
テムの出力に出される電圧は、リング６が測定コイル１
の中心にあるとき、０である。
第６図に示されるように、温度勾配が生じたとき、温
度補正が測定コイル１に沿って行われる。このため、測
定コイル１は、交流電圧源15とともに直流電圧源16によ
って通電される。加算増幅器17は、この処理のために、
交流及び直流電圧機器を持っており、測定コイル１のタ
ップによってピックアップされる。増幅器17の発生出力
信号は、２つのチャンネル18,19に分配される。交流チ
ャンネル18では、信号の交流部分がさらなる増幅器20に
よって増幅される。直流チャンネル19では、増幅器17の
出力信号が低周波数フィルタ21及び交流増幅器22によっ
て増幅される。
増幅器20の出力信号は、復調機23によって復調され且
つフィルターされ、その後、差動増幅器24の可逆型入力
に供給される。そして、差動増幅器24の非可逆入力は、
直流増幅器22の信号を受ける。
温度勾配がない場合、直流増幅器22の出力側における
信号は０となり、リング６の位置による影響はなくな
る。この場合、測定コイル１の出力値は不変である。
温度勾配が測定コイル１に沿って生じたとき、電圧が
直流増幅器22の出力側に生じ、その電圧は温度勾配に比
例する。この電圧は、差動増幅器24によって復調機23の
出力信号から差し引かれる。このようにして、温度勾配
の影響が補正される。交流チャンネルにおける温度補正
に必要な係数は、距離測定システムを前以て測定するこ
とにより、直流増幅器22の増幅係数を選択して予め決定
されている。
コイルハウジング５は、熱伝導率が高く、できるかぎ
り高い抵抗値（resistivity）を具えているべきであ
る。ハウジング壁の厚みは、渦電流の浸透深さより実質
的に薄くなっているべきである。
試験対象物として機能するリング６は、感度をできる
限り高くするために、低い抵抗値を具えた材料とすべき
である。コイルハウジング５に直接配設されたレジスタ
12は、安定性を高くし、そして、10乃至20kΩの範囲に
すべきである。距離測定システムが上記ブリッジ回路に
接続されたとき、レジスタ13,14は約1kΩのレイティン
グとすべきである。
第７図には、測定コイル１に直接的タップが存在しな
いセンサの実施例が示されている。本発明による距離測
定システムの上記実施例とは異なり、本実施例では、レ
ジスタが、コイルコア26に対する測定コイル１の、いわ
ゆる、キャパシターコーティング（capacitor coatin
g）に替えられている。従って、コイルタップは本実施
例では不要である。コイルコア26は電導性材料からな
り、差動増幅器９の負側入力に接続されている。このよ
うに構成することにより、コア26又は取巻チューブに直
接巻き付けた測定コイル１それ自体が、巻き線部分によ
って、コイルコア26に対して望む限りの大きな容量を有
するので、試験対象物４、すなわち、リング６の長さを
限りなく短くすることができる。そして、そのコアの一
端は差動増幅器に接続されている。その結果、本発明の
第７図に示された距離測定システムの改変例は、最も小
さい試験対象物４、すなわち、リング６、又はディスク
形状のものでもよいものを用いて、きわめて正確な測定
をすることができる。

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】交流によって作動するセンサ（２）を有
    し、該センサ（２）が、測定コイル（１）と、電子的供
    給／評価回路（３）と、該センサ（２）に関連する電気
    的及び／又は磁気的に伝導性の試験対象物（４）を有
    し、前記測定コイル（１）が円筒状コイルハウジング
    （５）内に収納されており、前記試験対象物（４）が少
    なくとも一部で前記コイルハウジング（５）を取り囲み
    且つ前記コイルハウジング（５）の長手方向に移動でき
    るようになっている非接触式距離測定システムにおい
    て、 前記試験対象物（４）が前記コイルハウジング（５）と
    間隔をおいて該コイルハウジング（５）を取り囲むリン
    グ（６）からなり、前記測定コイル（１）は少なくとも
    ２つの電圧タップ（７）を具え、該電圧タップ（７）の
    数に応じて個々の電圧タップ（７）と基準電圧（８）と
    の間で電圧値が次々と測定され、前記電子的供給／評価
    回路（３）が測定された電圧値を前記試験対象物（４）
    の位置に関連する総電圧として加算するための電子機器
    （10）を有していることを特徴とする、 非接触式距離測定システム。
  2. 【請求項２】交流によって作動するセンサ（２）を有
    し、該センサ（２）が、測定コイル（１）と、電子的供
    給／評価回路（３）と、該センサ（２）に関連する電気
    的及び／又は磁気的に伝導性の試験対象物（４）を有
    し、前記測定コイル（１）が円筒状コイルハウジング
    （５）内に収納されており、前記試験対象物（４）が少
    なくとも一部で前記コイルハウジング（５）を取り囲み
    且つ前記コイルハウジング（５）の長手方向に移動でき
    るようになっている非接触式距離測定システムにおい
    て、 前記試験対象物（４）が前記コイルハウジング（５）と
    間隔をおいて該コイルハウジング（５）を取り囲むリン
    グ（６）からなり、前記測定コイル（１）は少なくとも
    ２つの電圧タップ（７）を具え、該電圧タップ（７）の
    数に応じて個々の電圧タップ（７）間で電圧値が次々と
    測定され、前記電子的供給／評価回路（３）が測定され
    た個々の電圧を増加する電圧値として加算する電子機器
    （９）とともに、前記電圧値をさらに前記試験対象物
    （４）の位置に関連する総電圧として加算する電子機器
    （10）を有していることを特徴とする、 非接触式距離測定システム。
  3. 【請求項３】前記電圧タップ（７）が測定された個々の
    電圧のための差動増幅器（９）に接続され、該増幅器
    （９）の出力が、前記電圧値を前記試験対象物（４）の
    位置に関連する総電圧として加算する他の電子機器（1
    0）に接続されていることを特徴とする、請求項２の距
    離測定システム。
  4. 【請求項４】前記電圧値を加算する前記電子機器（10）
    が、好ましくは可逆入力を具えた加算増幅器として設計
    ・構成されていることを特徴とする、請求項１乃至３の
    いずれか１つのの距離測定システム。
  5. 【請求項５】リング（６）がないときにおける個々の電
    圧が少なくとも略々同じになるように、前記電圧タップ
    （７）又は該電圧タップ（７）間を延びるコイル部分が
    選択されていることを特徴とする、請求項１乃至４のい
    ずれか１つの距離測定システム。
  6. 【請求項６】個々の前記電圧タップ（７）と共通の測定
    タップ（11）間にレジスタ（12）が配設され、該レジス
    タ（12）が、それぞれの前記電圧タップ（７）から前記
    測定タップ（11）に向う途中に接続されていることを特
    徴とする、請求項１乃至４のいずれか１つの距離測定シ
    ステム。
  7. 【請求項７】前記レジスタ（12）が少なくとも略々同じ
    定格値を有することを特徴とする、請求項６の距離測定
    システム。
  8. 【請求項８】前記レジスタ（12）は、前記測定コイル
    （１）の出力抵抗よりも少なくとも約２倍大きい同じ定
    格、すなわち、抵抗値を有することを特徴とする、請求
    項６又は８の距離測定システム。
  9. 【請求項９】前記レジスタ（12）が、前記測定コイル
    （１）と前記電圧タップ（７）とともに前記コイルハウ
    ジング（５）内に配設されていることを特徴とする、請
    求項６乃至８のいずれか１つの距離測定システム。
  10. 【請求項１０】前記リング（６）の最大幅が、隣合う２
    つの電圧タップ（７）間の間隔に対応していることを特
    徴とする、請求項１乃至９のいずれか１つの距離測定シ
    ステム。
  11. 【請求項１１】前記リング（６）の最大幅が、隣合う２
    つの電圧タップ（７）間の間隔に対応しており、測定コ
    イル（１）の総出力抵抗が前記リング（６）の位置によ
    って変化することがないことを特徴とする、請求項１乃
    至９のいずれか１つの距離測定システム。
  12. 【請求項１２】前記測定コイル（１）が２つのレジスタ
    （13,14）を介してブリッジ回路に接続されていること
    を特徴とする、請求項１乃至11のいずれか１つの距離測
    定システム。
  13. 【請求項１３】前記測定コイル（１）が交流電圧源（1
    5）から対称に通電されることを特徴とする、請求項１
    乃至12のいずれか１つの距離測定システム。
  14. 【請求項１４】前記測定コイル（１）がさらに直流電圧
    源（16）に接続されていることを特徴とする、請求項13
    の距離測定システム。
  15. 【請求項１５】前記リンク（６）が、その内部に配設さ
    れ且つ交流電圧源から通電される補正コイルを具えてい
    ることを特徴とする、請求項１乃至14のいずれか１つの
    距離測定システム。
  16. 【請求項１６】前記センサ（２）が、インダクタンスに
    よって作動することを特徴とする、請求項１乃至15のい
    ずれか１つの距離測定システム。
  17. 【請求項１７】前記センサ（２）が、渦電流原理によっ
    て作動することを特徴とする、請求項１乃至15のいずれ
    か１つの距離測定システム。
  18. 【請求項１８】前記測定コイル（１）が、磁性体のコア
    を有することを特徴とする、請求項１乃至17のいずれか
    １つの距離測定システム。
  19. 【請求項１９】前記リング（６）が低電気抵抗材料から
    なることを特徴とする、請求項１乃至18のいずれか１つ
    の距離測定システム。
  20. 【請求項２０】前記リング（６）がアルミニウムからな
    ることを特徴とする、請求項19の距離測定システム。
  21. 【請求項２１】請求項１乃至20のいずれか１つの距離測
    定システムによる非接触式距離測定方法において、 前記電圧タップ（７）の数に応じて個々の電圧タップ
    （７）と基準電圧（８）との間で電圧値が次々と測定さ
    れ、測定された電圧値が前記試験対象物（４）の位置に
    関連する総電圧として加算されることを特徴とする、 非接触式距離測定方法。
  22. 【請求項２２】請求項１乃至20のいずれか１つの距離測
    定システムによる非接触式距離測定方法において、 前記電圧タップ（７）の数に応じて前記電圧タップ
    （７）間で電圧が次々と測定され、測定された個々の電
    圧が増加する電圧値として加算されるとともに、前記試
    験対象物（４）の位置に関連する総電圧として加算され
    ることを特徴とする、 非接触式距離測定方法。
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