JP2978157B2 - 直線状変位測定装置 - Google Patents
直線状変位測定装置Info
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- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は測定技術に関し、特
に直線状変位を測定する装置に関するものである。本発
明は構造を試験し、技術的プロセスを制御する機械工
学、及びその他の分野において使用されることができ
る。
に直線状変位を測定する装置に関するものである。本発
明は構造を試験し、技術的プロセスを制御する機械工
学、及びその他の分野において使用されることができ
る。
【０００２】
【従来の技術】誘導形および変圧器形の直線状変位装置
（変換装置）の多数の設計が現在の技術状態として知ら
れており、これらは種々の機器および測定情報システム
に広範囲に使用されている。知られている直線状変位変
換装置のたいていのものは、測定の結果に誤差があるこ
とにより特徴づけられ、この誤差は外的要因によるいわ
ゆる付加的誤差である。知られている変換装置の設計の
改善の多くは、この付加誤差を最小にすることにより測
定の精度を増大することに向けられているが、この問題
は依然として緊急なものとして残っている。
（変換装置）の多数の設計が現在の技術状態として知ら
れており、これらは種々の機器および測定情報システム
に広範囲に使用されている。知られている直線状変位変
換装置のたいていのものは、測定の結果に誤差があるこ
とにより特徴づけられ、この誤差は外的要因によるいわ
ゆる付加的誤差である。知られている変換装置の設計の
改善の多くは、この付加誤差を最小にすることにより測
定の精度を増大することに向けられているが、この問題
は依然として緊急なものとして残っている。
【０００３】誘導位置送量装置は公知（米国特許５３３
１２７７）であり、これは誘導形の分割装置の範疇に属
するものであって、インダクタンス・コイルを含み、こ
のコイルは、相互に接続されて交流電圧と接地間に挿入
された定抵抗と可変抵抗と有し、規定される関係にした
がって変化する出力信号を整形する分割装置を構成す
る。
１２７７）であり、これは誘導形の分割装置の範疇に属
するものであって、インダクタンス・コイルを含み、こ
のコイルは、相互に接続されて交流電圧と接地間に挿入
された定抵抗と可変抵抗と有し、規定される関係にした
がって変化する出力信号を整形する分割装置を構成す
る。
【０００４】知られている装置の出力電圧は、式Ｕout
＝ＶＺ1 ／（Ｚ1 ＋Ｚ2 ）から決定され、ここに、Ｖは
電源電圧、Ｚ1 及びＺ2 は可変及び不変インダクタンス
をそれぞれ有する巻線のインピ−ダンスである。これら
巻線はその範囲が異なる。第１のものはその長さ方向に
分布され、第２のものは小領域に集中されるからであ
る。このことは種々の周囲条件の下では巻線のインピ−
ダンスの相異なる変動を生じさせ、出力信号の値に誤差
を生じさせる。可変インダクタンスを有する巻線は複数
の区分からなり、巻回数は一定の法則に従い選択され
る。前記の区分は長さにしたがって配分されるが、該区
分におけるアクティブ抵抗対リアクティブ抵抗の比は相
異なる。その結果、これら区分のインピ−ダンスは相異
なる規模で変化し、このことは巻線のインダクタンスの
変動についての規定される規則への違反をみちびき、し
たがって誤差をみちびく。
＝ＶＺ1 ／（Ｚ1 ＋Ｚ2 ）から決定され、ここに、Ｖは
電源電圧、Ｚ1 及びＺ2 は可変及び不変インダクタンス
をそれぞれ有する巻線のインピ−ダンスである。これら
巻線はその範囲が異なる。第１のものはその長さ方向に
分布され、第２のものは小領域に集中されるからであ
る。このことは種々の周囲条件の下では巻線のインピ−
ダンスの相異なる変動を生じさせ、出力信号の値に誤差
を生じさせる。可変インダクタンスを有する巻線は複数
の区分からなり、巻回数は一定の法則に従い選択され
る。前記の区分は長さにしたがって配分されるが、該区
分におけるアクティブ抵抗対リアクティブ抵抗の比は相
異なる。その結果、これら区分のインピ−ダンスは相異
なる規模で変化し、このことは巻線のインダクタンスの
変動についての規定される規則への違反をみちびき、し
たがって誤差をみちびく。
【０００５】本発明に最も近い先行技術は誘導型の線変
位測定装置（D.I. Ageikin et alの「制御及び調整変換
器」、Mashinostroenie, Moscow, 1965, p.126 (ロシア
語））であり、これは一次検波器と測定増幅器を含み、
一次検出器は中心の円筒状コア、これに同心状の外側の
円筒状コア、これに同軸状に装着された可動部材、及び
相互に電気的に接続された測定用巻線及び追加巻線を含
み、これら巻線の第１のものが中心コアの長さに沿って
配置されその巻回が中心コアを横断する方向に包囲し、
測定用増幅器がこれら測定用巻線と追加巻線に電気的に
接続されている。
位測定装置（D.I. Ageikin et alの「制御及び調整変換
器」、Mashinostroenie, Moscow, 1965, p.126 (ロシア
語））であり、これは一次検波器と測定増幅器を含み、
一次検出器は中心の円筒状コア、これに同心状の外側の
円筒状コア、これに同軸状に装着された可動部材、及び
相互に電気的に接続された測定用巻線及び追加巻線を含
み、これら巻線の第１のものが中心コアの長さに沿って
配置されその巻回が中心コアを横断する方向に包囲し、
測定用増幅器がこれら測定用巻線と追加巻線に電気的に
接続されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この公知の装置におい
ては、可動部材は非磁性材料で金属チューブとして形成
されて中心コアを囲み、測定用巻線は中心コアと外側コ
アとの間でフレーム上に配置され、追加巻線はスロット
ル形状とされて測定用巻線と共に音声周波数のa-c 電圧
が供給されるブリッジ回路に挿入される。このブリッジ
回路の出力は張力計増幅器に接続される。この装置は主
として大きな直線状変位（１００m まで）を測定するた
めのものである。この装置の動作は、測定用巻線に誘起
されるうず電流の減磁作用の下で導電性可動部材が測定
用巻線に接近する時の測定用巻線のトータル抵抗の変化
に基くものである。
ては、可動部材は非磁性材料で金属チューブとして形成
されて中心コアを囲み、測定用巻線は中心コアと外側コ
アとの間でフレーム上に配置され、追加巻線はスロット
ル形状とされて測定用巻線と共に音声周波数のa-c 電圧
が供給されるブリッジ回路に挿入される。このブリッジ
回路の出力は張力計増幅器に接続される。この装置は主
として大きな直線状変位（１００m まで）を測定するた
めのものである。この装置の動作は、測定用巻線に誘起
されるうず電流の減磁作用の下で導電性可動部材が測定
用巻線に接近する時の測定用巻線のトータル抵抗の変化
に基くものである。
【０００７】この装置の設計は測定用巻線と追加巻線が
相異なる物理的条件の下に置かれるようにすることであ
る。検出される付加的誤差は外部因子の影響に起因す
る。測定用巻線と追加巻線はブリッジ回路に挿入されて
いるので、測定用巻線にまたがる定電圧は保証されず、
これがその出力信号に付加的誤差を生ずることとなる。
即ち、一次検波器の感度の変化による誤差として理解さ
れる重複誤差因子である。周囲条件の変化は測定用巻線
の抵抗に変化をもたらす。これが可動部材の初期位置に
対応して出力信号の初期値の変化による誤差として理解
される付加的成分の外観を生じさせる。この公知の装置
における一次検出器の設計は、機能の潜在可能性を制限
し、サービス条件への適応（例えば、可動部材を測定対
象物と結合すること）を複雑化する。
相異なる物理的条件の下に置かれるようにすることであ
る。検出される付加的誤差は外部因子の影響に起因す
る。測定用巻線と追加巻線はブリッジ回路に挿入されて
いるので、測定用巻線にまたがる定電圧は保証されず、
これがその出力信号に付加的誤差を生ずることとなる。
即ち、一次検波器の感度の変化による誤差として理解さ
れる重複誤差因子である。周囲条件の変化は測定用巻線
の抵抗に変化をもたらす。これが可動部材の初期位置に
対応して出力信号の初期値の変化による誤差として理解
される付加的成分の外観を生じさせる。この公知の装置
における一次検出器の設計は、機能の潜在可能性を制限
し、サービス条件への適応（例えば、可動部材を測定対
象物と結合すること）を複雑化する。
【０００８】本発明の主たる目的は直線状移動を測定す
るための装置を提供することであり、特に外部因子に起
因する付加的誤差を追加巻線の特別な設計と配置によ
り、また測定用巻線との特別な接続によりなくすことで
ある。
るための装置を提供することであり、特に外部因子に起
因する付加的誤差を追加巻線の特別な設計と配置によ
り、また測定用巻線との特別な接続によりなくすことで
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的は次のような手
法で達成される。即ち、直線状変位を測定するための装
置に一次検出器と測定用増幅器を設け、一次検出器は中
心の円筒状コアと該コアに関して同軸状に配置された外
側の円筒状コアとこれらのコアに同軸状に配置されて測
定の対象に接続することができる可動部材とを含み、更
に相互に電気的に接続した測定用巻線と追加巻線を設
け、これら巻線のうちの第１のものを前記中心コアの長
さに沿って配置してその巻回がこの中心コアを横断する
方向に包囲するようにし、前記測定用増幅器を前記測定
用巻線と追加巻線に、電気的に接続し入力において交流
電圧を供給し、出力において測定の主体の直線状変位に
関する情報を担持する信号を整形するようにすることで
ある。本発明においては、追加巻線は測定用巻線と共通
の電気的接続点を有し前記コアの１つ上に配置されてそ
の巻回がそのコアを長手方向に包囲するとともに対応す
るコアの中心軸方向の開口を貫通するようになってい
る。
法で達成される。即ち、直線状変位を測定するための装
置に一次検出器と測定用増幅器を設け、一次検出器は中
心の円筒状コアと該コアに関して同軸状に配置された外
側の円筒状コアとこれらのコアに同軸状に配置されて測
定の対象に接続することができる可動部材とを含み、更
に相互に電気的に接続した測定用巻線と追加巻線を設
け、これら巻線のうちの第１のものを前記中心コアの長
さに沿って配置してその巻回がこの中心コアを横断する
方向に包囲するようにし、前記測定用増幅器を前記測定
用巻線と追加巻線に、電気的に接続し入力において交流
電圧を供給し、出力において測定の主体の直線状変位に
関する情報を担持する信号を整形するようにすることで
ある。本発明においては、追加巻線は測定用巻線と共通
の電気的接続点を有し前記コアの１つ上に配置されてそ
の巻回がそのコアを長手方向に包囲するとともに対応す
るコアの中心軸方向の開口を貫通するようになってい
る。
【００１０】一次検出器の動作原理は、導電性可動部材
における測定用巻線の電磁界により誘起されるうず電流
の減磁作用に基づいている。その結果、測定用巻線のイ
ンピ−ダンス、詳細には、可動部材に包囲される測定用
巻線の部分のインピ−ダンスは相当に減少する。この部
分の長さは可動部材が移動するにつれて変化し、その場
合に測定用巻線のインピ−ダンス、従って、出力信号が
それに比例して変化する。同時に、追加巻線の抵抗は可
動部材の位置に依存しないのであり、その理由は、追加
巻線の巻回は可動部材の軸に平行であり、従って追加巻
線の電磁界は可動部材の軸に直角であるからである。こ
の故に、うず電流は可動部材において誘起されることは
なく、本発明により設計された追加巻線は可動部材がど
の位置にあっても外部因子に起因する誤差を補償するこ
とができる。
における測定用巻線の電磁界により誘起されるうず電流
の減磁作用に基づいている。その結果、測定用巻線のイ
ンピ−ダンス、詳細には、可動部材に包囲される測定用
巻線の部分のインピ−ダンスは相当に減少する。この部
分の長さは可動部材が移動するにつれて変化し、その場
合に測定用巻線のインピ−ダンス、従って、出力信号が
それに比例して変化する。同時に、追加巻線の抵抗は可
動部材の位置に依存しないのであり、その理由は、追加
巻線の巻回は可動部材の軸に平行であり、従って追加巻
線の電磁界は可動部材の軸に直角であるからである。こ
の故に、うず電流は可動部材において誘起されることは
なく、本発明により設計された追加巻線は可動部材がど
の位置にあっても外部因子に起因する誤差を補償するこ
とができる。
【００１１】測定用増幅器は３つの演算増幅器を含むこ
とが好ましく、これら増幅器の第１及び第２のものの出
力は第３の演算増幅器の反転入力に接続され、この第３
の増幅器の出力がこの測定用増幅器の出力であり、その
入力は前記第１及び第２の演算増幅器の非反転入力であ
り、これに交流電圧が逆位相で供給される。３つの演算
増幅器の周囲に構築される測定用増幅器は、十分に簡単
な電気回路を用い高い測定精度を達成することを可能に
する。
とが好ましく、これら増幅器の第１及び第２のものの出
力は第３の演算増幅器の反転入力に接続され、この第３
の増幅器の出力がこの測定用増幅器の出力であり、その
入力は前記第１及び第２の演算増幅器の非反転入力であ
り、これに交流電圧が逆位相で供給される。３つの演算
増幅器の周囲に構築される測定用増幅器は、十分に簡単
な電気回路を用い高い測定精度を達成することを可能に
する。
【００１２】測定用巻線と追加巻線は共通点を有するの
であるが、これら巻線の第１の出力は第１の演算増幅器
の反転入力に接続され、測定用巻線の第２の出力は第１
の演算増幅器の出力に接続され、追加巻線の第２の出力
は第２の演算増幅器の反転入力に接続されるのが好まし
い。この場合、第１及び第２の演算増幅器は測定用巻線
及び追加巻線と共に「電圧−電流」変換器を形成し、そ
の結果、測定用巻線は電流源から電力を得るが、このこ
との利点は当該技術の熟達者には明らかなことである。
であるが、これら巻線の第１の出力は第１の演算増幅器
の反転入力に接続され、測定用巻線の第２の出力は第１
の演算増幅器の出力に接続され、追加巻線の第２の出力
は第２の演算増幅器の反転入力に接続されるのが好まし
い。この場合、第１及び第２の演算増幅器は測定用巻線
及び追加巻線と共に「電圧−電流」変換器を形成し、そ
の結果、測定用巻線は電流源から電力を得るが、このこ
との利点は当該技術の熟達者には明らかなことである。
【００１３】追加巻線は共通の電気的接続点を有する２
つの区分で構成し、この第１のセクションの出力と測定
用巻線の第１の出力が共通点を形成して第１の演算増幅
器の反転入力に接続されて、追加巻線の両区分がこれら
の共通点により第２の演算増幅器の反転入力に接続さ
れ、追加巻線の第２の区分の出力が第２の演算増幅器の
出力に接続され、そして測定用巻線の第２の出力が第１
の演算増幅器の出力に接続されるのが合理的である。
つの区分で構成し、この第１のセクションの出力と測定
用巻線の第１の出力が共通点を形成して第１の演算増幅
器の反転入力に接続されて、追加巻線の両区分がこれら
の共通点により第２の演算増幅器の反転入力に接続さ
れ、追加巻線の第２の区分の出力が第２の演算増幅器の
出力に接続され、そして測定用巻線の第２の出力が第１
の演算増幅器の出力に接続されるのが合理的である。
【００１４】追加巻線の第１の区分を測定用増幅器と測
定用巻線に接続することは測定用巻線を実際に電流源か
ら励磁（電力供給）することである。この場合、この第
１の区分は電流設定部材として作用し測定用巻線の端子
間電圧の一定性を確実化する。一次検出器と測定用増幅
器の間に連絡のラインが存在することにより、前記の電
流供給回路は、連絡のラインのパラメータの装置の計測
特性への影響を除去することを可能にする（そのような
電流供給回路の利点は当該技術の熟達者にはよく知られ
ている。したがって、追加巻線の第１の区分およびその
結合は外的因子により生ずる誤差の多重の成分を補償す
る。
定用巻線に接続することは測定用巻線を実際に電流源か
ら励磁（電力供給）することである。この場合、この第
１の区分は電流設定部材として作用し測定用巻線の端子
間電圧の一定性を確実化する。一次検出器と測定用増幅
器の間に連絡のラインが存在することにより、前記の電
流供給回路は、連絡のラインのパラメータの装置の計測
特性への影響を除去することを可能にする（そのような
電流供給回路の利点は当該技術の熟達者にはよく知られ
ている。したがって、追加巻線の第１の区分およびその
結合は外的因子により生ずる誤差の多重の成分を補償す
る。
【００１５】追加巻線の第２の区分と、これと測定用巻
線と測定用増幅器との接続は測定用巻線の初期抵抗を補
償し、従って、外部因子、即ち、付加的誤差の変動に起
因する初期抵抗の変化に基く誤差を補償する。したがっ
て、追加巻線を２つの区分に分割することは、付加的誤
差の性質をより識別的に決定することを可能にする。
線と測定用増幅器との接続は測定用巻線の初期抵抗を補
償し、従って、外部因子、即ち、付加的誤差の変動に起
因する初期抵抗の変化に基く誤差を補償する。したがっ
て、追加巻線を２つの区分に分割することは、付加的誤
差の性質をより識別的に決定することを可能にする。
【００１６】追加巻線の区分は低導電率の強磁性体で作
られた中心コア上に配置し、可動部材は高導電率の材料
で管体として作り、外方コアは可動部材よりも導電率が
相当に低い非磁性材料で作るのが構造上有利である。追
加巻線を中心に配置する実施例の１つにおいては、可動
部材は外方コアを囲み、別の実施例においては、可動部
材は外方コアと中心コアとの間に配置される。
られた中心コア上に配置し、可動部材は高導電率の材料
で管体として作り、外方コアは可動部材よりも導電率が
相当に低い非磁性材料で作るのが構造上有利である。追
加巻線を中心に配置する実施例の１つにおいては、可動
部材は外方コアを囲み、別の実施例においては、可動部
材は外方コアと中心コアとの間に配置される。
【００１７】追加巻線の区分のこのような配置は、一次
検出器の最もコンパクトな設計を提供する。その場合に
これらの区分はフレームなしで中心コアに装着され、中
心コアの直径は、外方コアと可動部材の直径をそれぞれ
縮小することにより、最小にされることができる。
検出器の最もコンパクトな設計を提供する。その場合に
これらの区分はフレームなしで中心コアに装着され、中
心コアの直径は、外方コアと可動部材の直径をそれぞれ
縮小することにより、最小にされることができる。
【００１８】この装置をサービス条件に適応させるに
は、低導電率の強磁性体で作られた外方コア上に区分を
配置し、可動部材をチューブ状又はロッド状として中心
コアの内方に配置するのが有効である。中心コアは低導
電率の強磁性体又は低導電率の非磁性体で作ることがで
き、また可動部材は高導電率の材料又は強磁性体で作る
ことができる。
は、低導電率の強磁性体で作られた外方コア上に区分を
配置し、可動部材をチューブ状又はロッド状として中心
コアの内方に配置するのが有効である。中心コアは低導
電率の強磁性体又は低導電率の非磁性体で作ることがで
き、また可動部材は高導電率の材料又は強磁性体で作る
ことができる。
【００１９】一次検出器の他の１つの具体例として、追
加巻線の区分を低導電率の強磁性体で作られる外方コア
上に配置する場合には、可動部材は強磁性体でチューブ
状として外側コアと中心コアとの間に配置すると構造上
好ましく、この場合中心コアは低導電率の非磁性体で作
る。上記すべての構造上の実施例においては、一次検出
器の部材が作られる材料は、可動部材と巻線の効果的な
相互作用が得られ出力信号のレベルが向上するよう選択
される。
加巻線の区分を低導電率の強磁性体で作られる外方コア
上に配置する場合には、可動部材は強磁性体でチューブ
状として外側コアと中心コアとの間に配置すると構造上
好ましく、この場合中心コアは低導電率の非磁性体で作
る。上記すべての構造上の実施例においては、一次検出
器の部材が作られる材料は、可動部材と巻線の効果的な
相互作用が得られ出力信号のレベルが向上するよう選択
される。
【００２０】温度誤差を補償するには、測定用増幅器は
積算増幅器をさらに含むものとし、その反転入力を第２
の演算増幅器の出力に接続するのが好ましい。他の実施
例においては、前記の積算増幅器はその反転入力が第１
の演算増幅器の出力に接続されている。そのような結合
回路は一次検出器の特定の具体例にしたがって選択され
るべきである。
積算増幅器をさらに含むものとし、その反転入力を第２
の演算増幅器の出力に接続するのが好ましい。他の実施
例においては、前記の積算増幅器はその反転入力が第１
の演算増幅器の出力に接続されている。そのような結合
回路は一次検出器の特定の具体例にしたがって選択され
るべきである。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明が、添付の図面を参照しつ
つ、特定の実施例の記述により説明される。直線状変位
測定装置は一次検出器１（図１）を具備し、この一次検
出器は同軸状に配置された中心のコアの外側のコア（図
示せず）、および測定の対象物との接続に適合し前記の
コアと同軸状に配置される可動の部材２を具備する。一
次検出器１はまた測定用巻線３と追加巻線４を含み、測
定用巻線３は、中心コア上に長手方向に配置されその巻
線が中心コアを横断方向において中心コアを包囲し、追
加巻線４は測定用巻線３と共通の電気接続点を有する。
つ、特定の実施例の記述により説明される。直線状変位
測定装置は一次検出器１（図１）を具備し、この一次検
出器は同軸状に配置された中心のコアの外側のコア（図
示せず）、および測定の対象物との接続に適合し前記の
コアと同軸状に配置される可動の部材２を具備する。一
次検出器１はまた測定用巻線３と追加巻線４を含み、測
定用巻線３は、中心コア上に長手方向に配置されその巻
線が中心コアを横断方向において中心コアを包囲し、追
加巻線４は測定用巻線３と共通の電気接続点を有する。
【００２２】追加巻線４は前記コアの１つ上に配置され
その巻回はこのコアを長手方向において包囲し、対応す
る中心軸方向の開口を通過している。このことは測定用
巻線３と追加巻線４の巻きかたに根本的な相違を生じさ
せる。巻線３、４の配置は従来形のものとして図１に示
されており、後続の図においてより詳細に示されてい
る。可動部材２は、従来形のものとして巻線３、４を包
囲するよう示されているが、可動部材２の軸が追加巻線
４の巻回および測定用巻線３の巻回に平行であることは
重要なことである。
その巻回はこのコアを長手方向において包囲し、対応す
る中心軸方向の開口を通過している。このことは測定用
巻線３と追加巻線４の巻きかたに根本的な相違を生じさ
せる。巻線３、４の配置は従来形のものとして図１に示
されており、後続の図においてより詳細に示されてい
る。可動部材２は、従来形のものとして巻線３、４を包
囲するよう示されているが、可動部材２の軸が追加巻線
４の巻回および測定用巻線３の巻回に平行であることは
重要なことである。
【００２３】このような配置において、測定用巻線３と
追加巻線４はほぼ同じ長さであって同じ物理的条件の下
にあり、この事実のために外的要因例えば温度、湿度等
により生ずる追加の誤差を相当に減少させることが可能
になる。この装置は測定用増幅器５を含み、該測定用増
幅器は交流電圧源（図示せず）に接続される入力端子
と、測定用巻線３と追加巻線４の出力端子への電気的接
続用の入力端子を備えている。この測定用増幅器の出力
において、測定の対象物の変位に関する情報を担持する
信号が整形される。
追加巻線４はほぼ同じ長さであって同じ物理的条件の下
にあり、この事実のために外的要因例えば温度、湿度等
により生ずる追加の誤差を相当に減少させることが可能
になる。この装置は測定用増幅器５を含み、該測定用増
幅器は交流電圧源（図示せず）に接続される入力端子
と、測定用巻線３と追加巻線４の出力端子への電気的接
続用の入力端子を備えている。この測定用増幅器の出力
において、測定の対象物の変位に関する情報を担持する
信号が整形される。
【００２４】ここに記述される本発明の実施例において
は、測定用増幅器は３つの演算増幅器６、７及び８を含
む。該演算増幅器の最初の２つものの出力は第３の演算
増幅器８の反転入力に接続され、該第３の演算増幅器８
の出力は測定用増幅器５の出力である。演算増幅器６、
７の入力９、１０は測定用増幅器５の入力であり、これ
には対応する電圧源から交流電圧が逆位相で供給され
る。測定用巻線３は第１の演算増幅器６に負性結合フィ
ードバック抵抗として接続されて、測定用巻線３の出力
が演算増幅器６の反転入力１１と出力に接続されるよう
にする。追加巻線４は測定用巻線３と同様、演算増幅器
６の反転入力に接続され、この巻線４の第２の出力は演
算増幅器７の反転入力に接続される。
は、測定用増幅器は３つの演算増幅器６、７及び８を含
む。該演算増幅器の最初の２つものの出力は第３の演算
増幅器８の反転入力に接続され、該第３の演算増幅器８
の出力は測定用増幅器５の出力である。演算増幅器６、
７の入力９、１０は測定用増幅器５の入力であり、これ
には対応する電圧源から交流電圧が逆位相で供給され
る。測定用巻線３は第１の演算増幅器６に負性結合フィ
ードバック抵抗として接続されて、測定用巻線３の出力
が演算増幅器６の反転入力１１と出力に接続されるよう
にする。追加巻線４は測定用巻線３と同様、演算増幅器
６の反転入力に接続され、この巻線４の第２の出力は演
算増幅器７の反転入力に接続される。
【００２５】ここに記述される本発明の実施例において
は、この測定用増幅器は積分演算増幅器１３（簡単にす
るため以後積分器１３と称する）を包含することが可能
であり、この積分器の反転入力は演算増幅器７の出力に
接続される。積分器１３の出力信号は温度誤差を補償す
るために使用され、演算増幅器６、７に供給される交流
電圧は一定の成分を包含する。
は、この測定用増幅器は積分演算増幅器１３（簡単にす
るため以後積分器１３と称する）を包含することが可能
であり、この積分器の反転入力は演算増幅器７の出力に
接続される。積分器１３の出力信号は温度誤差を補償す
るために使用され、演算増幅器６、７に供給される交流
電圧は一定の成分を包含する。
【００２６】図２に示される本発明の他の実施例におい
て、追加の巻線４は共通の電気接続点１６を有する２つ
の区分１４、１５で作られている。この測定用増幅器の
ブロック線図は図１に示される実施例の場合と同じであ
るが、相違は、追加の巻線４の結合にあり、第１の区分
１４の出力は演算増幅器８の反転入力１１に、共通点１
６は演算増幅器７の反転入力１２に、第２の区分１５の
出力は演算増幅器７の出力に、それぞれ接続されてい
る。前記の本発明の実施例の場合のように、この測定用
増幅器は積算装置１３を具備することが可能であり、該
積分装置は類似の機能を発揮するが相異なる態様で結合
され、すなわち演算増幅器６の出力に接続される。
て、追加の巻線４は共通の電気接続点１６を有する２つ
の区分１４、１５で作られている。この測定用増幅器の
ブロック線図は図１に示される実施例の場合と同じであ
るが、相違は、追加の巻線４の結合にあり、第１の区分
１４の出力は演算増幅器８の反転入力１１に、共通点１
６は演算増幅器７の反転入力１２に、第２の区分１５の
出力は演算増幅器７の出力に、それぞれ接続されてい
る。前記の本発明の実施例の場合のように、この測定用
増幅器は積算装置１３を具備することが可能であり、該
積分装置は類似の機能を発揮するが相異なる態様で結合
され、すなわち演算増幅器６の出力に接続される。
【００２７】図３〜図６は一次検出器１の構成部材の実
施例と配置の幾つかの変形を示すものである。これらの
図はすべて磁気回路を示すものであって、この回路は中
心コア１７、外側コア１８、可動部材２、測定用巻線３
及び追加巻線４で構成され、付加巻線４は２つのセクシ
ョン１４、１５で構成される。図３、４に示す実施例の
第１の群においては、追加巻線４は中心コア上に配置さ
れ、図５、６に示す実施例の第２の群においては、追加
巻線は外側コア１８上に配置されている。同様の実施例
が、追加巻線４セクション無しの設計について使用され
て成功を収めることができる。
施例と配置の幾つかの変形を示すものである。これらの
図はすべて磁気回路を示すものであって、この回路は中
心コア１７、外側コア１８、可動部材２、測定用巻線３
及び追加巻線４で構成され、付加巻線４は２つのセクシ
ョン１４、１５で構成される。図３、４に示す実施例の
第１の群においては、追加巻線４は中心コア上に配置さ
れ、図５、６に示す実施例の第２の群においては、追加
巻線は外側コア１８上に配置されている。同様の実施例
が、追加巻線４セクション無しの設計について使用され
て成功を収めることができる。
【００２８】例えば、図３に示される実施例において
は、追加巻線４は低導電率の強磁性体で作られた中心コ
ア上に配置され、可動部材２は高導電率の材料でチュー
ブ形状に作られて外側コア１８を囲み、外方コア１８は
非磁性体で作られてその導電率は可動部材２のそれより
もかなり低いものである。
は、追加巻線４は低導電率の強磁性体で作られた中心コ
ア上に配置され、可動部材２は高導電率の材料でチュー
ブ形状に作られて外側コア１８を囲み、外方コア１８は
非磁性体で作られてその導電率は可動部材２のそれより
もかなり低いものである。
【００２９】図３に示される一次検出器の特定の具体例
の一例が以下に説明される。この中心コアは直径が８mm
で炭質鋼で形成され、外側コアは直径が１２mmでステン
レス鋼で作られ、これらコアの長さは２４５mmで測定範
囲は２００mmである。可動部材は直径が１８mmでジュラ
ルミンで形成される。測定用巻線は直径０．２mmの銅線
で形成され中心コアに巻回され、追加巻線は直径０．８
mm電線を用い測定用フレーム上にフレームなしで巻回さ
れる。追加巻線の各区分は１６巻回を有する。電源は５
Ｖ、５kHz である。温度範囲−４０℃〜＋８０℃におけ
る温度誤差は０．１５％／１０℃を超過しない。
の一例が以下に説明される。この中心コアは直径が８mm
で炭質鋼で形成され、外側コアは直径が１２mmでステン
レス鋼で作られ、これらコアの長さは２４５mmで測定範
囲は２００mmである。可動部材は直径が１８mmでジュラ
ルミンで形成される。測定用巻線は直径０．２mmの銅線
で形成され中心コアに巻回され、追加巻線は直径０．８
mm電線を用い測定用フレーム上にフレームなしで巻回さ
れる。追加巻線の各区分は１６巻回を有する。電源は５
Ｖ、５kHz である。温度範囲−４０℃〜＋８０℃におけ
る温度誤差は０．１５％／１０℃を超過しない。
【００３０】図４に示す一次検出器１の設計も本質的に
は同じであるが、その違いは可動部材２が中心コア１７
と外方コア１８との間に配置されることである。
は同じであるが、その違いは可動部材２が中心コア１７
と外方コア１８との間に配置されることである。
【００３１】このような具体例において、この検出器１
の横断面積を最も効果的に減少させることができるので
あり、その理由は巻線３、４の両者は中心コア１７上に
フレームなしで配置され、該中心コアの直径は外側コア
１８と可動部材２の寸法を減少させることにより最小に
することができるからである。この可動部材は、外側コ
ア１８上を間隙なく滑動しハウジングとして機能するこ
と、または、コアの内部で滑動し案内として機能するこ
と、ができる。前記の一次検出器１の具体例は、巻線
３、４を中心コア１７と共に閉的に封入することがで
き、それにより、装置は、浸食的な媒質、高い圧力、お
よびその他の条件下において使用されることができる。
の横断面積を最も効果的に減少させることができるので
あり、その理由は巻線３、４の両者は中心コア１７上に
フレームなしで配置され、該中心コアの直径は外側コア
１８と可動部材２の寸法を減少させることにより最小に
することができるからである。この可動部材は、外側コ
ア１８上を間隙なく滑動しハウジングとして機能するこ
と、または、コアの内部で滑動し案内として機能するこ
と、ができる。前記の一次検出器１の具体例は、巻線
３、４を中心コア１７と共に閉的に封入することがで
き、それにより、装置は、浸食的な媒質、高い圧力、お
よびその他の条件下において使用されることができる。
【００３２】図５は一つの具体例を示し、この具体例に
おいては、追加巻線４は低導電率の強磁性体で作られた
外側コア１８上に配置され、可動部材２は高導電率の材
料で管体または棒体として作られ、低導電率の強磁性体
から作られた中心コア１７の内部に配置されている。
おいては、追加巻線４は低導電率の強磁性体で作られた
外側コア１８上に配置され、可動部材２は高導電率の材
料で管体または棒体として作られ、低導電率の強磁性体
から作られた中心コア１７の内部に配置されている。
【００３３】図５に示す一次検出器１の設計は本質的に
は前出の実施例と同じである。相違は、中心コア１７が
低導電率の非磁性体で作られ、可動部材２が強磁性体で
作られていることである。
は前出の実施例と同じである。相違は、中心コア１７が
低導電率の非磁性体で作られ、可動部材２が強磁性体で
作られていることである。
【００３４】図６に示す実施例においては、追加巻線４
は低導電率の強磁性体で作られた外側コア上に配置さ
れ、可動部材２は強磁性体で作られ外側コア１８と中心
コア１７との間に配置され、該中心コアは低導電率の非
磁性体で作られている。
は低導電率の強磁性体で作られた外側コア上に配置さ
れ、可動部材２は強磁性体で作られ外側コア１８と中心
コア１７との間に配置され、該中心コアは低導電率の非
磁性体で作られている。
【００３５】一次検出器の具体例のすべてについて、下
記の概念が用いられる。すなわち、「高導電率」とは、
例えば、アルミニウム合金の特性でおよそ２−３・１０
-5（Ωｍ）-1の導電率であり、「低導電率」とは大きさ
で１オーダー小なるもの（低下して絶縁体に至る）であ
り、例えば、およそ１０-6（Ωｍ）-1の導電率のステン
レス鋼であり、「強磁性体」とは相対的透磁率が１００
０およびそれより大である材料である。このような関係
は、可動部材２と巻線３、４が効果的に相互作用し、高
いレベルの出力信号が実現するために必要である。
記の概念が用いられる。すなわち、「高導電率」とは、
例えば、アルミニウム合金の特性でおよそ２−３・１０
-5（Ωｍ）-1の導電率であり、「低導電率」とは大きさ
で１オーダー小なるもの（低下して絶縁体に至る）であ
り、例えば、およそ１０-6（Ωｍ）-1の導電率のステン
レス鋼であり、「強磁性体」とは相対的透磁率が１００
０およびそれより大である材料である。このような関係
は、可動部材２と巻線３、４が効果的に相互作用し、高
いレベルの出力信号が実現するために必要である。
【００３６】以上説明した一次検出器の前述した構造の
具体例は、装置の機能の潜在能力を相当に拡大するもの
であり、サービスの条件及び測定の対象の性質に従って
可動部材を選択し、および必要に応じて一次検出器の断
面積を最小にすることを可能にする。或る場合には、使
用される材料に対する要求に適合することを条件とし
て、測定の対象物を可動部材として用いることができ
る。
具体例は、装置の機能の潜在能力を相当に拡大するもの
であり、サービスの条件及び測定の対象の性質に従って
可動部材を選択し、および必要に応じて一次検出器の断
面積を最小にすることを可能にする。或る場合には、使
用される材料に対する要求に適合することを条件とし
て、測定の対象物を可動部材として用いることができ
る。
【００３７】本発明の直線状変位の測定装置は下記の態
様で作動する。一次検出器１の動作原理は具体例のすべ
てについて共通であり、導電性の可動部材２における測
定用巻線３の電磁界により誘起されるうず電流の減磁効
果に基づいている（この配置の変形は特に詳述されぬ限
り重要でない）。その結果として、測定用巻線３のイン
ピ−ダンス、より正確には、可動部材２により包囲され
る測定用巻線の部分のインピ−ダンスは、相当に減少す
る。この部分の長さは可動部材２が移動するにつれ変化
し、測定用巻線３のインピ−ダンスを比例的に変化さ
せ、その結果、出力信号を変化させる。
様で作動する。一次検出器１の動作原理は具体例のすべ
てについて共通であり、導電性の可動部材２における測
定用巻線３の電磁界により誘起されるうず電流の減磁効
果に基づいている（この配置の変形は特に詳述されぬ限
り重要でない）。その結果として、測定用巻線３のイン
ピ−ダンス、より正確には、可動部材２により包囲され
る測定用巻線の部分のインピ−ダンスは、相当に減少す
る。この部分の長さは可動部材２が移動するにつれ変化
し、測定用巻線３のインピ−ダンスを比例的に変化さ
せ、その結果、出力信号を変化させる。
【００３８】同時に、追加巻線４の抵抗は可動部材２の
位置に依存しないが、その理由は、該巻線４の巻回は可
動部材２の軸に平行であり、該巻線の磁界は可動部材２
の軸線に直角であるからであり、従って、可動部材２に
うず電流は誘起されないからである。したがって、追加
巻線４の補償作用は、可動部材がどのような位置にあっ
ても維持される。
位置に依存しないが、その理由は、該巻線４の巻回は可
動部材２の軸に平行であり、該巻線の磁界は可動部材２
の軸線に直角であるからであり、従って、可動部材２に
うず電流は誘起されないからである。したがって、追加
巻線４の補償作用は、可動部材がどのような位置にあっ
ても維持される。
【００３９】可動部材２が強磁性体で作られる具体例に
おいては、一次検出器１は、本質的に前記のように機能
する。相違点は、強磁性体の存在が可動部材２により包
囲される測定用巻線３の部分のインピ−ダンスを増大さ
せることにより測定用巻線３の磁界を強化することであ
る（事情は可動部材２が巻線３の内側に配置される場合
と同じである）。この場合、追加巻線４の抵抗は可動部
材２の位置とはほとんど独立しており、その理由は、巻
線の磁界の磁力線は、主として巻線４が配置されるコア
１７または１８の周囲をとりまいて閉じているからであ
る。
おいては、一次検出器１は、本質的に前記のように機能
する。相違点は、強磁性体の存在が可動部材２により包
囲される測定用巻線３の部分のインピ−ダンスを増大さ
せることにより測定用巻線３の磁界を強化することであ
る（事情は可動部材２が巻線３の内側に配置される場合
と同じである）。この場合、追加巻線４の抵抗は可動部
材２の位置とはほとんど独立しており、その理由は、巻
線の磁界の磁力線は、主として巻線４が配置されるコア
１７または１８の周囲をとりまいて閉じているからであ
る。
【００４０】まず、図１に示されるが、積算装置１３が
ない装置の作動を考慮しよう。安定化振幅Ｕを有する交
流電圧が演算増幅器６、７の非反転入力９、１０に供給
されるとき、該第１及び第２の演算増幅器の出力には、
それぞれ電圧、 Ｕ1 ＝（１＋（ＺU ／Ｚ1 ））Ｕ （１） Ｕ2 ＝（１＋（Ｒfb／Ｚ1 ））Ｕ （２） が発生する。ここに、Ｚu は測定用抵抗３の複合抵抗、
Ｚ1 は追加巻線４の抵抗、Ｒfbは演算増幅器７の帰還回
路の抵抗である。
ない装置の作動を考慮しよう。安定化振幅Ｕを有する交
流電圧が演算増幅器６、７の非反転入力９、１０に供給
されるとき、該第１及び第２の演算増幅器の出力には、
それぞれ電圧、 Ｕ1 ＝（１＋（ＺU ／Ｚ1 ））Ｕ （１） Ｕ2 ＝（１＋（Ｒfb／Ｚ1 ））Ｕ （２） が発生する。ここに、Ｚu は測定用抵抗３の複合抵抗、
Ｚ1 は追加巻線４の抵抗、Ｒfbは演算増幅器７の帰還回
路の抵抗である。
【００４１】演算増幅器６、７の入力９、１０における
信号は逆位相であるから、演算増幅器８の出力、すなわ
ち、測定用増幅器５の出力における電圧Ｕout は、 Ｕout ＝Ｋ1 Ｕ1 −Ｋ2 Ｕ2 （３） で表わされることができる。ここに、Ｋ1 及びＫ2 はそ
れぞれ、演算増幅器６及び７に接続される演算増幅器８
の入力に関する利得である。
信号は逆位相であるから、演算増幅器８の出力、すなわ
ち、測定用増幅器５の出力における電圧Ｕout は、 Ｕout ＝Ｋ1 Ｕ1 −Ｋ2 Ｕ2 （３） で表わされることができる。ここに、Ｋ1 及びＫ2 はそ
れぞれ、演算増幅器６及び７に接続される演算増幅器８
の入力に関する利得である。
【００４２】Ｋ1 ＝１と仮定すると、式（１）及び式
（２）を考慮し式（３）から、 Ｕout ＝Ｕ1 −Ｋ2 Ｕ2 ＝〔ｋ1 −ｋ2 ＋（ｋ1 ＺU −ｋ2 Ｒfb）／Ｚ1 〕Ｖ （４） が得られる。
（２）を考慮し式（３）から、 Ｕout ＝Ｕ1 −Ｋ2 Ｕ2 ＝〔ｋ1 −ｋ2 ＋（ｋ1 ＺU −ｋ2 Ｒfb）／Ｚ1 〕Ｖ （４） が得られる。
【００４３】測定用巻線３の複合抵抗Ｚu はＺu ＝Ｚ0
＋△Ｚとしてあらわされることができ、ここにＺ0 は、
可動部材２が極限の位置の１つにあるとき（例えば、一
次検出器１から完全にひき出されたとき）の巻線３の初
期のインピ−ダンスであり、△Ｚは可動部材２の位置の
変化による測定用抵抗３の抵抗の変化である。
＋△Ｚとしてあらわされることができ、ここにＺ0 は、
可動部材２が極限の位置の１つにあるとき（例えば、一
次検出器１から完全にひき出されたとき）の巻線３の初
期のインピ−ダンスであり、△Ｚは可動部材２の位置の
変化による測定用抵抗３の抵抗の変化である。
【００４４】可動部材２の位置（変位）を、固定の点か
らの（例えば、コアの終端からの）軸に沿って読取られ
る座標ｘにより特徴づけると、測定用巻線３の抵抗の変
化はｘの関数であり、式、 Ｚ（ｘ）＝ｃｘ （５） に近い線型のものであり、ここにｃは比例計数であり、
主として可動部材２に包囲される測定用巻線３の初期の
インピ−ダンスにより決定されるものであり、Ｚ（０）
＝０であるものである。
らの（例えば、コアの終端からの）軸に沿って読取られ
る座標ｘにより特徴づけると、測定用巻線３の抵抗の変
化はｘの関数であり、式、 Ｚ（ｘ）＝ｃｘ （５） に近い線型のものであり、ここにｃは比例計数であり、
主として可動部材２に包囲される測定用巻線３の初期の
インピ−ダンスにより決定されるものであり、Ｚ（０）
＝０であるものである。
【００４５】この場合、式（４）は下記の形式、 Ｕout （ｘ）＝〔ｋ1 −ｋ2 ＋（ｋ1 （Ｚ0 ＋cx) −ｋ2 Ｒfb）／Ｚ1 〕Ｖ＝ Ｓｘ＋Ｖ0 （６） をとる。
【００４６】利得Ｋ1 及びＫ2 の値は、Ｋ1 Ｒ0 ≫Ｋ2
Ｒfb、すなわち、Ｋ1 Ｒ0 −Ｋ2 Ｒfb≒Ｋ1 Ｒ0 となる
ように選択され、ここに、Ｒ0 は初期の状態における測
定用巻線３のアクティブの抵抗である。追加巻線４の線
の直径と巻数はそのＱの値が、初期の状態における測定
用巻線３のＱの値、 Ｑ＝Ｘ0 ／Ｒ0 ＝Ｘ1 ／Ｒ1 （７） に等しいよう選択され、ここに、Ｒ0 、Ｘ0 、およびＲ
1 、Ｘ1 はそれぞれ、測定用巻線３と追加巻線４のアク
ティブ、リアクティブの抵抗である。
Ｒfb、すなわち、Ｋ1 Ｒ0 −Ｋ2 Ｒfb≒Ｋ1 Ｒ0 となる
ように選択され、ここに、Ｒ0 は初期の状態における測
定用巻線３のアクティブの抵抗である。追加巻線４の線
の直径と巻数はそのＱの値が、初期の状態における測定
用巻線３のＱの値、 Ｑ＝Ｘ0 ／Ｒ0 ＝Ｘ1 ／Ｒ1 （７） に等しいよう選択され、ここに、Ｒ0 、Ｘ0 、およびＲ
1 、Ｘ1 はそれぞれ、測定用巻線３と追加巻線４のアク
ティブ、リアクティブの抵抗である。
【００４７】この場合、初期の出力電圧Ｕの表現は、 Ｕ0 ＝〔ｋ1 −ｋ2 ＋（（ｋ1 Ｚ0 −ｋ2 Ｒfb）／Ｚ1 ）〕Ｖ≒〔ｋ1 −ｋ2 ＋ｋ1 Ｚ0 ／Ｚ1 〕Ｖ＝〔ｋ1 −ｋ2 ＋ｋ1 Ｒ0 ／Ｒ1 〕Ｖ （８） である。
【００４８】知られているように、温度は、付加的な誤
差の値に影響を及ぼす主要な因子である。アクティブな
抵抗の温度ｔへの依存性は下記の形式、 Ｒ（ｔ）＝Ｒ（ｔ0 ）（１＋αｔ） （９） を有し、ここに、αは電線の電気抵抗の温度係数、Ｒ0
（ｔ）は定格温度における（通常ｔ＝２０℃における）
抵抗である。
差の値に影響を及ぼす主要な因子である。アクティブな
抵抗の温度ｔへの依存性は下記の形式、 Ｒ（ｔ）＝Ｒ（ｔ0 ）（１＋αｔ） （９） を有し、ここに、αは電線の電気抵抗の温度係数、Ｒ0
（ｔ）は定格温度における（通常ｔ＝２０℃における）
抵抗である。
【００４９】両方の巻線３、４の温度が同じであると仮
定し（この条件は両方の巻線が１つのコア１７上に配置
される場合には明らかに真である）、式（８）へ式
（９）を代入すると、 Ｖ0 ＝〔１−ｋ2 ＋Ｒ0 （ｔ0 ）／Ｒ1 （ｔ1 ）〕Ｖ （１０） が得られる。
定し（この条件は両方の巻線が１つのコア１７上に配置
される場合には明らかに真である）、式（８）へ式
（９）を代入すると、 Ｖ0 ＝〔１−ｋ2 ＋Ｒ0 （ｔ0 ）／Ｒ1 （ｔ1 ）〕Ｖ （１０） が得られる。
【００５０】式（１０）において、Ｒ0 （ｔ0 ）および
Ｒ1 （ｔ1 ）は予め知られた一定の値であるから、電圧
Ｕ0 は、外的因子の影響の支配下にあって、一次検出器
１のパラメータには依存しない。従って、条件（７）が
守られれば、値Ｕ0 は安定なものであり、すなわち、出
力信号には付加的な誤差成分は存在しない。
Ｒ1 （ｔ1 ）は予め知られた一定の値であるから、電圧
Ｕ0 は、外的因子の影響の支配下にあって、一次検出器
１のパラメータには依存しない。従って、条件（７）が
守られれば、値Ｕ0 は安定なものであり、すなわち、出
力信号には付加的な誤差成分は存在しない。
【００５１】感度Ｓ＝ｃＶ／Ｚ1 の表現において、値 c
及びＺ1 は、同じ性質であり、外的因子の影響の下に類
似の態様で変化する。このことは、値Ｓの安定性に貢献
するのであり、多重的な要素について相当程度の補償が
行われる。したがって、追加巻線４とその結合の提案さ
れる具体例は、付加的な誤差を減少させることにより出
力信号の正確さの増大を提供する。
及びＺ1 は、同じ性質であり、外的因子の影響の下に類
似の態様で変化する。このことは、値Ｓの安定性に貢献
するのであり、多重的な要素について相当程度の補償が
行われる。したがって、追加巻線４とその結合の提案さ
れる具体例は、付加的な誤差を減少させることにより出
力信号の正確さの増大を提供する。
【００５２】追加巻線４が２つの区分１４、１５（図
２）からなる装置は、基本的には前記と同様な態様で作
動する。電圧Ｕ1 、Ｕ2 、およびＵout 、それぞれにつ
いての等式（１）、（２）、および（４）において、演
算増幅器６、７および８の出力電圧の等式に追加巻線４
の区分１４、１５の抵抗値Ｚ1 、Ｚ2 があらわれる。
２）からなる装置は、基本的には前記と同様な態様で作
動する。電圧Ｕ1 、Ｕ2 、およびＵout 、それぞれにつ
いての等式（１）、（２）、および（４）において、演
算増幅器６、７および８の出力電圧の等式に追加巻線４
の区分１４、１５の抵抗値Ｚ1 、Ｚ2 があらわれる。
【００５３】便宜のために、図１の追加巻線４について
採用される表現を、この具体例においては、追加巻線４
の第１の区分１４に適用するものと仮定すると下記の等
式が得られる。 Ｕ1 ＝〔１＋（ＺU ／Ｚ1 ）〕Ｕ （１’） Ｕ2 ＝〔１＋（Ｚ2 ／Ｚ1 ）〕Ｕ （２’） Ｕout ＝Ｕ1 −ｋ2 Ｕ2 ＝〔１＋（ＺU ／Ｚ1 ）−ｋ2 〔１＋（Ｚ2 ／Ｚ1 ） 〕〕Ｕ ＝〔１−ｋ2 ＋（ＺU −ｋ2 Ｚ2 ）／Ｚ1 〕Ｕ （４’） となる。
採用される表現を、この具体例においては、追加巻線４
の第１の区分１４に適用するものと仮定すると下記の等
式が得られる。 Ｕ1 ＝〔１＋（ＺU ／Ｚ1 ）〕Ｕ （１’） Ｕ2 ＝〔１＋（Ｚ2 ／Ｚ1 ）〕Ｕ （２’） Ｕout ＝Ｕ1 −ｋ2 Ｕ2 ＝〔１＋（ＺU ／Ｚ1 ）−ｋ2 〔１＋（Ｚ2 ／Ｚ1 ） 〕〕Ｕ ＝〔１−ｋ2 ＋（ＺU −ｋ2 Ｚ2 ）／Ｚ1 〕Ｕ （４’） となる。
【００５４】追加巻線４の巻回数と電線の断面積が、追
加巻線の区分１４、１５が初期状態の測定用巻線３と同
じＱの値を有するように選択されるから、下記の等式が
得られる。 Ｘ0 ／Ｒ0 ＝Ｘ2 ／Ｒ2 ＝Ｑ，又はＲ0 ／Ｒ2 ＝Ｘ0 ／Ｘ2 ＝q （１１） ここに、Ｒ0 、Ｘ0 、およびＲ2 、Ｘ2 は、それぞれ測
定用巻線３と追加巻線４の第２の区分１５のアクティブ
抵抗とリアクティブ抵抗である。
加巻線の区分１４、１５が初期状態の測定用巻線３と同
じＱの値を有するように選択されるから、下記の等式が
得られる。 Ｘ0 ／Ｒ0 ＝Ｘ2 ／Ｒ2 ＝Ｑ，又はＲ0 ／Ｒ2 ＝Ｘ0 ／Ｘ2 ＝q （１１） ここに、Ｒ0 、Ｘ0 、およびＲ2 、Ｘ2 は、それぞれ測
定用巻線３と追加巻線４の第２の区分１５のアクティブ
抵抗とリアクティブ抵抗である。
【００５５】ｋ2 ＝q を選択すると、等式（１１）から
下記の等式が得られる。 Ｒ0 ＝Ｋ2 Ｒ2 、Ｘ0 ＝Ｋ2 Ｘ2 、Ｚ0 ＝Ｋ2 Ｚ2 （１２）
下記の等式が得られる。 Ｒ0 ＝Ｋ2 Ｒ2 、Ｘ0 ＝Ｋ2 Ｘ2 、Ｚ0 ＝Ｋ2 Ｚ2 （１２）
【００５６】式（１２）にもとづき、出力電圧は下記の
等式であらわされる。 Ｕout ＝〔１−ｋ2 ＋（ΔＺ／Ｚ1 ）〕Ｕ （１３） すなわち、測定巻線３の初期の抵抗に依存しないのであ
り、このことは測定誤差の追加の成分を補償することと
等価である。
等式であらわされる。 Ｕout ＝〔１−ｋ2 ＋（ΔＺ／Ｚ1 ）〕Ｕ （１３） すなわち、測定巻線３の初期の抵抗に依存しないのであ
り、このことは測定誤差の追加の成分を補償することと
等価である。
【００５７】測定用巻線３と追加巻線４は巻線の抵抗に
ついて相等しい規模で変動をあらわす同一の物理的条件
の下にあるから、関係式（１２）および（１３）は、周
囲条件の変化（例えば、温度の変動）についても真であ
ることを維持する。
ついて相等しい規模で変動をあらわす同一の物理的条件
の下にあるから、関係式（１２）および（１３）は、周
囲条件の変化（例えば、温度の変動）についても真であ
ることを維持する。
【００５８】測定用巻線３と追加巻線４の第１の区分１
４の交差磁界の結合により生ずる等式（１３）における
ΔＺ／Ｚ1 の比は、付加的な測定誤差の多重の要素につ
いて相当程度に補償を行うことを可能にする。
４の交差磁界の結合により生ずる等式（１３）における
ΔＺ／Ｚ1 の比は、付加的な測定誤差の多重の要素につ
いて相当程度に補償を行うことを可能にする。
【００５９】巻線３、４のＱの値に関する前記の条件
（７）および（１１）は、下記の態様で実現されること
ができる。巻線のインダクタンスは式Ｌ＝Ｗ2 Ｇから計
算することができることは知られており、ここに、Ｗは
巻回数、Ｇは巻線の電流により作られる磁束についての
磁気コンダクタンスであり、この磁気コンダクタンスは
巻線が配置される磁気回路の材料、寸法、および形状に
よりきまる。
（７）および（１１）は、下記の態様で実現されること
ができる。巻線のインダクタンスは式Ｌ＝Ｗ2 Ｇから計
算することができることは知られており、ここに、Ｗは
巻回数、Ｇは巻線の電流により作られる磁束についての
磁気コンダクタンスであり、この磁気コンダクタンスは
巻線が配置される磁気回路の材料、寸法、および形状に
よりきまる。
【００６０】巻線のアクティブ抵抗はＲ＝Ｗｒであり、
ここに、１巻回の抵抗ｒは電線の直径（面積又は周長）
により決定される（電源電圧の規定される周波数ωにお
いて）。そのとき、巻線のＱの値は、 Ｑ＝Ｘ／Ｒ＝ωＬ／Ｒ＝ωＷ2 Ｇ／Ｗr ＝ωＷＧ／ r （１４） である。
ここに、１巻回の抵抗ｒは電線の直径（面積又は周長）
により決定される（電源電圧の規定される周波数ωにお
いて）。そのとき、巻線のＱの値は、 Ｑ＝Ｘ／Ｒ＝ωＬ／Ｒ＝ωＷ2 Ｇ／Ｗr ＝ωＷＧ／ r （１４） である。
【００６１】電源周波数及び磁気回路が選択されると仮
定すると、要求されるＱの値は、巻線の巻回数と電線直
径を適切に選択しそれにより条件（７）および（１１）
を満足させることにより得ることができる。
定すると、要求されるＱの値は、巻線の巻回数と電線直
径を適切に選択しそれにより条件（７）および（１１）
を満足させることにより得ることができる。
【００６２】さて図１に示される積算装置１３を備える
装置の動作を考察しよう。知られているように、電源電
圧は任意の可変の信号のようにＵ＝Ｕｃ＋Ｕｖで表わさ
れることができ、ここに、Ｕｖは信号の可変の、Ｕｃは
一定の成分である。同時に、Ｕｃは電圧の期間における
平均の値である。測定増幅器５および巻線３、４が線型
の電気回路を作ると仮定すると、装置の動作を、重畳の
原理により、電源電圧Ｕｃ（直流）についてのみ、およ
び電源電圧Ｕｖ（交流）についてのみ、独立的および別
個に考え、次いで結果を加算するものと考えることがで
きる。交流についての装置の動作は前記されている。
装置の動作を考察しよう。知られているように、電源電
圧は任意の可変の信号のようにＵ＝Ｕｃ＋Ｕｖで表わさ
れることができ、ここに、Ｕｖは信号の可変の、Ｕｃは
一定の成分である。同時に、Ｕｃは電圧の期間における
平均の値である。測定増幅器５および巻線３、４が線型
の電気回路を作ると仮定すると、装置の動作を、重畳の
原理により、電源電圧Ｕｃ（直流）についてのみ、およ
び電源電圧Ｕｖ（交流）についてのみ、独立的および別
個に考え、次いで結果を加算するものと考えることがで
きる。交流についての装置の動作は前記されている。
【００６３】直流（第２の演算増幅器７の入力１０にお
けるＵｃ電圧について）の場合には下記の等式が得られ
る。 Ｕ2c＝〔１＋（Ｒfb／Ｒ0 ）〕Ｕc （１５） その理由は、直流の場合には巻線３、４の誘導性の抵抗
は零であり、Ｚu ＝Ｒ0，Ｚ1 ＝Ｒ1 であり、すなわ
ち、全抵抗はアクティブ抵抗に等しいからである。
けるＵｃ電圧について）の場合には下記の等式が得られ
る。 Ｕ2c＝〔１＋（Ｒfb／Ｒ0 ）〕Ｕc （１５） その理由は、直流の場合には巻線３、４の誘導性の抵抗
は零であり、Ｚu ＝Ｒ0，Ｚ1 ＝Ｒ1 であり、すなわ
ち、全抵抗はアクティブ抵抗に等しいからである。
【００６４】第２の演算増幅器７の出力、従って、積算
装置１３の入力、における全電圧は下記の関係から決定
される。 Ｕ2 ＝Ｕ2c＋Ｕ2v （１６） 積算装置１３は可変の成分Ｕ2vを濾過するから、利得ｋ
4 についての出力電圧は、 Ｕ4 ＝−ｋ4 Ｕ2C＝〔１＋（Ｒfb／Ｒ1 ）〕Ｕｃ （１７） であるか、または、式（９）により、 Ｕ4 ＝−ｋ4 〔１＋Ｒfb／（Ｒ1 （ｔ0 ）（１＋αｔ））〕Ｕｃ （１８） の形式を有し、それにより温度は下記により決定され、 ｔ＝−１／α〔Ｒfb／（Ｒ1 （ｔ0 ）（Ｕ4 ／Ｒ4 Ｖｃ−１））〕 （１９） ここに、右辺の値のすべてを知ることができる。
装置１３の入力、における全電圧は下記の関係から決定
される。 Ｕ2 ＝Ｕ2c＋Ｕ2v （１６） 積算装置１３は可変の成分Ｕ2vを濾過するから、利得ｋ
4 についての出力電圧は、 Ｕ4 ＝−ｋ4 Ｕ2C＝〔１＋（Ｒfb／Ｒ1 ）〕Ｕｃ （１７） であるか、または、式（９）により、 Ｕ4 ＝−ｋ4 〔１＋Ｒfb／（Ｒ1 （ｔ0 ）（１＋αｔ））〕Ｕｃ （１８） の形式を有し、それにより温度は下記により決定され、 ｔ＝−１／α〔Ｒfb／（Ｒ1 （ｔ0 ）（Ｕ4 ／Ｒ4 Ｖｃ−１））〕 （１９） ここに、右辺の値のすべてを知ることができる。
【００６５】その結果、追加巻線４と測定用巻線３が一
つのコア１７上にあるか、または一次検出器１の区分に
おいて温度勾配が存在しないと、積算増幅装置１３の出
力電圧から、追加巻線４の温度、従って測定用巻線３の
温度を決定することが可能である。次いで、得られた情
報は、温度誤差についての殆んど完全な補償のために用
いることができる。この作動は、例えば、プログラム可
能なマイクロプロセッサの助けをかりて自動化されるこ
とができ、該マイクロプロセッサの記憶装置へは一次検
出器の温度特性を入力することができる。
つのコア１７上にあるか、または一次検出器１の区分に
おいて温度勾配が存在しないと、積算増幅装置１３の出
力電圧から、追加巻線４の温度、従って測定用巻線３の
温度を決定することが可能である。次いで、得られた情
報は、温度誤差についての殆んど完全な補償のために用
いることができる。この作動は、例えば、プログラム可
能なマイクロプロセッサの助けをかりて自動化されるこ
とができ、該マイクロプロセッサの記憶装置へは一次検
出器の温度特性を入力することができる。
【００６６】装置のこれらの具体例においては、追加巻
線４が外方のコア１８（図５、６）上に配置されている
が、温度誤差についての補償は十分には適切でない可能
性がありその理由は、巻線３、４の温度が一次検出器１
の断面にまたがって存在する可能性がある温度勾配のた
めに全くは同じでないからである。制御された温度の容
器における試験は、一次検出器１が６０℃加熱された
（冷却された）後に、一次検出器の設計及び寸法に依存
して、断面にわたり温度は３０ないし４０分水平にな
る。巻線３、４の温度の情報が知られるから、温度勾配
に対する消極的な効果は装置の回路に積算装置１３を使
用することにより中和されることができる。
線４が外方のコア１８（図５、６）上に配置されている
が、温度誤差についての補償は十分には適切でない可能
性がありその理由は、巻線３、４の温度が一次検出器１
の断面にまたがって存在する可能性がある温度勾配のた
めに全くは同じでないからである。制御された温度の容
器における試験は、一次検出器１が６０℃加熱された
（冷却された）後に、一次検出器の設計及び寸法に依存
して、断面にわたり温度は３０ないし４０分水平にな
る。巻線３、４の温度の情報が知られるから、温度勾配
に対する消極的な効果は装置の回路に積算装置１３を使
用することにより中和されることができる。
【００６７】直流入力電圧Ｕを有する第１の演算増幅器
６の出力に接続される積算装置１３の出力電圧は下記の
式から決定される。 Ｕ4 ＝−ｋ4 Ｕ1C＝ｋ4 〔１＋（Ｒ0 ／Ｒ1 ）〕Ｕｃ （２０）
６の出力に接続される積算装置１３の出力電圧は下記の
式から決定される。 Ｕ4 ＝−ｋ4 Ｕ1C＝ｋ4 〔１＋（Ｒ0 ／Ｒ1 ）〕Ｕｃ （２０）
【００６８】巻線４の第１の区分１４の温度がｔ、測定
用巻線３の温度がｔ＋△ｔであると仮定すると、式（２
０）ないし式（９）により、 Ｕ4 ＝ｋ4 Ｕｃ〔１＋Ｒ0 （ｔ0 ）（１＋α（ｔ＋Δｔ）／（Ｒ1 （ｔ0 ）（ １＋αｔ））〕＝Ｖ40＋ｋΔｔ／Ｒ1 （２１） が得られ、ここに、ｋ4 は積算装置１３の利得である。
用巻線３の温度がｔ＋△ｔであると仮定すると、式（２
０）ないし式（９）により、 Ｕ4 ＝ｋ4 Ｕｃ〔１＋Ｒ0 （ｔ0 ）（１＋α（ｔ＋Δｔ）／（Ｒ1 （ｔ0 ）（ １＋αｔ））〕＝Ｖ40＋ｋΔｔ／Ｒ1 （２１） が得られ、ここに、ｋ4 は積算装置１３の利得である。
【００６９】巻線３、４の温度が同じ、すなわち、△ｔ
＝０であると、Ｕ4 ＝Ｕ40であり、ここに、Ｕ40は前も
って知られた一定の値である。△ｔ≠０である、すなわ
ち、測定用巻線３の温度が追加巻線４の温度よりも高い
または低いと、Ｕ4 の値は平衡の値Ｕ40から同じ方向に
偏位する。従って、積算装置１３の出力からの電圧は、
一次検出器１の断面にわたる温度勾配を考慮しつつ、測
定の結果の補正用に用いることができる。更に、信号の
処理は、図１に示される実施例について記述されるよう
に実行されることができる。
＝０であると、Ｕ4 ＝Ｕ40であり、ここに、Ｕ40は前も
って知られた一定の値である。△ｔ≠０である、すなわ
ち、測定用巻線３の温度が追加巻線４の温度よりも高い
または低いと、Ｕ4 の値は平衡の値Ｕ40から同じ方向に
偏位する。従って、積算装置１３の出力からの電圧は、
一次検出器１の断面にわたる温度勾配を考慮しつつ、測
定の結果の補正用に用いることができる。更に、信号の
処理は、図１に示される実施例について記述されるよう
に実行されることができる。
【００７０】したがって、提案される本発明は外的な因
子に起因する付加的な誤差の減少により、測定の精度を
増加させる。提案される装置の種々の具体例により、機
能の潜在可能性は拡大され、サービス条件への適応は改
善される。
子に起因する付加的な誤差の減少により、測定の精度を
増加させる。提案される装置の種々の具体例により、機
能の潜在可能性は拡大され、サービス条件への適応は改
善される。
【図１】本発明による直線状変位測定装置を示すブロッ
ク線図。
ク線図。
【図２】本発明による、２つの区分からなる追加巻線を
有する、図１と同様の装置を示すブロック線図。
有する、図１と同様の装置を示すブロック線図。
【図３】本発明の一実施例としての装置を示し、中心コ
ア上に配置される追加巻線と外方コアを包囲する可動部
材を有するもの。
ア上に配置される追加巻線と外方コアを包囲する可動部
材を有するもの。
【図４】本発明による、中心コアを包囲する可動部材を
有する、図３と同様の装置を示す図。
有する、図３と同様の装置を示す図。
【図５】本発明の一実施例としての装置を示し、外方コ
ア上に配置される追加巻線と中心コアの内方に配置され
る可動部材を有するもの。
ア上に配置される追加巻線と中心コアの内方に配置され
る可動部材を有するもの。
【図６】本発明の一実施例としての装置を示し、２つの
コア間に配置される可動部材を有するもの。
コア間に配置される可動部材を有するもの。
１…一次検出器 ２…可動部材 ３…測定用巻線 ４…追加巻線 ５…測定用増幅器 ６…第１演算増幅器 ７…第２演算増幅器 ８…第３演算増幅器 ９…演算増幅器６の非反転入力 １０…演算増幅器７の非反転入力 １１…演算増幅器６の反転入力 １２…演算増幅器７の反転入力 １３…積算増幅器 １４…追加巻線４の第１の区分 １５…追加巻線４の第２の区分 １６…区分１４、１５の共通の電気的接続点 １７…内方コア １８…外方コア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーク ラザレビチ ネチャエフスキー ロシア国，443064 サマラ，ウリツァ ノボサドバヤ，デー．30，クバルチーラ 362 (56)参考文献 特開 平10−153274（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−24401（ＪＰ，Ａ) 特公 昭53−27625（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34
Claims (14)
- 【請求項１】 測定対象に結合され交流電源に接続され
るとき、前記対象の直線状変位に関する情報を担持する
出力信号を整形する直線状変位測定装置であって、一次
検出器（１）と測定用増幅器（５）を含み、前記一次検
出器（１）は長手軸に沿って同軸状に配置された中心及
び外側の円筒状コア（１７、１８）と、測定対象に接続
される可動コア（２）と、第１の出力と第２の出力を有
して前記中心コア１７上にその軸に沿って配置されて巻
線が前記中心コア１７を横断方向に包囲する測定用巻線
３と、第１の出力と第２の出力を有し第１の出力により
前記測定用巻線３の第１の出力に接続され前記コア（１
７、１８）の１つ上に配置されそれにより巻回が前記コ
ア（１７、１８）を長手方向に包囲し対応する中央軸の
開口を貫通する追加巻線（４）を含み、前記測定用増幅
器（５）は電源から交流電圧を供給される２つの入力と
前記測定用及び追加巻線（３、４）の第１の出力と第２
の出力に接続する一組の入力と出力を有することを特徴
とする直線状変位測定装置。 - 【請求項２】 前記測定用増幅器（５）はこれの第１の
入力として機能する非反転入力（９）と反転入力（１
１）と出力とを有する第１の演算増幅器（６）と、第２
の入力として機能する非反転入力（１０）と反転入力
（１２）と出力とを有する第２の演算増幅器（７）と、
前記第１及び第２の演算増幅器（６、７）の出力に接続
する反転入力と前記測定用増幅器（５）の出力として機
能する出力を有する第３の演算増幅器（８）とを含み、
前記第１及び第２の演算増幅器（６、７）の非反転入力
（９、１０）は交流電圧が供給される、請求項１に記載
の装置。 - 【請求項３】 前記測定用及び追加巻線（３、４）の第
１の出力は前記第１の演算増幅器（６）の反転入力
（９）と、前記測定用巻線（３）の第２の出力が接続さ
れている出力と、前記追加巻線４の第２の出力が接続さ
れている前記第２の演算増幅器（７）の反転入力（１
２）とに接続される、請求項１または２に記載の装置。 - 【請求項４】 前記追加巻線（４）は共通の電気的接続
点（１６）を有する２つの区分（１４、１５）で構成さ
れ、前記追加巻線（４）の第１の出力は前記第１の区分
（１４）の出力であり、前記第２の出力は前記第２の区
分（１５）の出力である、請求項１または２に記載の装
置。 - 【請求項５】 前記追加巻線（４）の第１の区分（１
４）の出力と前記測定用巻線（３）の第１の出力は前記
第１の演算増幅器（６）の反転入力（１１）に接続さ
れ、前記両区分（１４、１５）は前記共通点（１６）に
より前記第２の演算増幅器（７）の反転入力（１２）と
前記追加巻線（４）の第２の区分（１５）が接続される
出力に接続され、前記測定用巻線（３）の第２の出力は
前記第１の演算増幅器（６）の出力に接続される、請求
項１または２に記載の装置。 - 【請求項６】 前記追加巻線（４）は低導電率の強磁性
体で作られた中心コア（１７）上に配置され、前記可動
部材（２）は高導電率の材料で管状に作られ、前記外方
コア（１８）は前記可動部材（２）の導電率よりも相当
に低い導電率の材料で作られる、請求項１乃至５のいず
れかに記載の装置。 - 【請求項７】 前記可動部材（２）は前記外方コア（１
８）を包囲する、請求項６に記載の装置。 - 【請求項８】 前記可動部材（２）は前記外方コア（１
８）と中心コア（１７）の間に配置される、請求項６に
記載の装置。 - 【請求項９】 前記追加巻線（４）は低導電率の強磁性
体で作られた前記外方コア（１８）上に配置され、前記
可動部材（２）は管状または棒状に作られて前記中心コ
ア（１７）の内部に配置される、請求項１乃至５のいず
れかに記載の装置。 - 【請求項１０】 前記中心コア（１７）は低導電率の強
磁性体で形成され、前記可動部材（２）は高導電率の材
料で作られる、請求項９に記載の装置。 - 【請求項１１】 前記中心コア（１７）は低導電率の非
磁性体で作られ、前記可動部材（２）は強磁性体で作ら
れる、請求項９に記載の装置。 - 【請求項１２】 前記追加巻線（４）は低導電率の強磁
性体で作られた前記外方コア（１８）上に配置され、前
記可動部材（２）は強磁性体で管状に作られて前記外方
コア（１８）と中心コア（１７）の間に配置され、前記
中心コアは低 導電率の非磁性体で作られる、請求項１乃
至５のいずれかに記載の装置。 - 【請求項１３】 前記測定用増幅器（５）は更に積算増
幅器（１３）を含み、その反転入力は前記第２の演算増
幅器（７）の出力に接続され、その出力信号は追加誤差
を補償するために使用され、一定の成分を包含する前記
第１及び第２の演算増幅器（６、７）の非反転入力
（９、１０）には交流電圧が逆位相で供給される、請求
項３、６乃至１２のいずれかに記載の装置。 - 【請求項１４】 前記測定用増幅器（５）は積算増幅器
（１３）をさらに含み、その反転入力は前記第２の演算
増幅器（７）の出力に接続され、その出力信号は付加的
な誤差を補償するために使用され、一定の成分を包含す
る前記第１及び第２の演算増幅器（６、７）の非反転入
力（９、１０）には交流電圧が逆位相で供給される、請
求項３、９乃至１２のいずれかに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97112278 | 1997-07-24 | ||
| RU97112278/28A RU2127865C1 (ru) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | Устройство для измерения линейных перемещений (варианты) |
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|---|---|
| JPH1194508A JPH1194508A (ja) | 1999-04-09 |
| JP2978157B2 true JP2978157B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=20195419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10209874A Expired - Fee Related JP2978157B2 (ja) | 1997-07-24 | 1998-07-24 | 直線状変位測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6191575B1 (ja) |
| JP (1) | JP2978157B2 (ja) |
| DE (1) | DE19832854C2 (ja) |
| RU (1) | RU2127865C1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| DE20011223U1 (de) * | 2000-06-26 | 2000-10-05 | Kindler Ulrich | Vorrichtung zur berührungslosen Wegmessung, insbesondere zur Stellungs- und Bewegungserfassung |
| DE10354375A1 (de) | 2003-11-20 | 2005-06-30 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg | Berührungslos arbeitendes Wegmesssystem |
| GB2435518B (en) * | 2006-02-28 | 2009-11-18 | Alexy Davison Karenowska | Position sensor |
| JP4960767B2 (ja) * | 2007-05-25 | 2012-06-27 | パナソニック株式会社 | 変位センサ |
| WO2009149426A2 (en) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | Qualcomm Incorporated | Ferrite antennas for wireless power transfer |
| DE202011000405U1 (de) * | 2011-02-22 | 2012-05-23 | Rollax Gmbh & Co. Kg | Induktive Wegmesseinrichtung |
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