JP2000514198A - 渦電流センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 コイル芯体（３２；４２；５２；６４）に巻かれた探りコイル（２）を備えた渦電流センサであって、この渦電流センサが、２つの端子（６，７）と、ａｃ電圧源（７０）と、電気的に導電性のある測定探針（３；４４；６２；７３）と、評価回路（７４）を備え、測定探針（３；４４；６２；７３）が探りコイル（２）に対して変位可能であり、評価回路（７４）が測定探針（３；４４；６２；７３）の位置の関数として評価信号を発生し、渦電流センサ（１；３１；４１；５１；６１；７１；９１）が、電気的に接触することができる端子（８）を備えた電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）を有し、この電極が、探りコイル（２）の巻線及び中間層（５；３３；５４；６５；７２；９２）とともに、分布電磁パラメータを備えた構成要素を形成しており、この構成要素の出力信号が測定探針（３；４４；６２；７３）の位置を決めるために使用される。

Description

【発明の詳細な説明】 渦電流センサ 本発明は、コイル芯体に巻かれた探りコイルを備えた渦電流センサに関し、こ の渦電流センサは、２つの端子と、ａｃ電圧源と、電気的に導電性のある測定探 針と、評価回路を備え、測定探針が探りコイルに対して変位可能であり、評価回 路が測定探針の位置の関数として評価信号を発生するものに関する。 この種の渦電流センサは、ＤＥ４２２５９６８Ａ１から公知である。複数の電 圧タップが、測定探針の位置を評価するために設けられている。電圧タップに負 荷される異なる電位が評価回路に供給される。２つの電圧タップのそれぞれの間 に配置された測定探針は、対応するコイル部位の部分的なインピーダンス、すな わち、電圧タップの電位に影響する。したがって、電圧タップに対する測定対象 物の位置を評価回路によって決定することができる。しかし、この構造は、セン サの長さに対する測定範囲の比率が電圧タップの数に依存するという問題を含ん でいる。測定探針の位置を見付けることができるような長い測定範囲を確保する には、探りコイルの電圧タップの数を多くすることが必要であり、これによって 、測定センサが複雑になる。また、測定探針の長さを電圧タップの間隔に対応さ せることが必要になる。 したがって、本発明の目的は、前述したタイプの渦電流センサを改良すること にあり、渦電流センサを簡単な構造にするとともに、測定探針の位置測定に関し て、センサの長さに対する測定範囲の比率を大きくすることにある。 本発明の他の目的は、十分な温度安定性をセンサに与えることである。 本発明によると、この目的は、請求項１の特徴項の特徴によって達成される。 まず、渦電流センサは、電気的に接触することができる端子を備えた電極を有す る。電極は、探りコイルの巻線及び中間層とともに、分布電磁パラメータを備え た構成要素を形成しており、その構成要素の出力信号が測定探針の位置を決める ために使用される。 本発明によると、渦電流センサは、コンデンサ要素と同様に、誘導性と抵抗性 の両方を備えている。測定探針はそれが覆う探りコイルの部分にのみ影響を受け るので、探りコイルのインピーダンス全体は、探りコイルの位置に依存する。こ の点について、コイルの軸に平行な測定探針の範囲は非常に狭く、理論的には限 りなく狭くなっている。 したがって、測定範囲とセンサの長さとの比が９０％程度と高くなり、たった ２つの探りコイル端子と電極の１つの端子のみによって、高い解像度の渦電流セ ンサを得ることができる。２つの端子は、ａｃ電圧源の端子に対して、コードを 介して間接的に、又は、直接的に接続されている。 渦電流センサの構造を簡素化することにより、経済的にその渦電流センサを製 造することができる。この渦電流センサでは、電圧源と評価回路のそれぞれに接 続する３つの端子があるだけである。こうすることにより、測定探針の幅が非常 に狭くなり、探りコイルも軸方向に非常に短くなるので、渦電流センサを極めて コンパクトに構成することができる。さらに、測定探針のサイズは、電圧端子に よって解決するよりも、測定結果に僅かな影響しか及ぼさない。その結果、本発 明の渦電流センサは、小型化に非常に適している。 中間層を電極及び導電体又はプリント回路基板として構成し、探りコイルの軸 と平行に設けることが好ましい。平行に構成すると、誘導性、容量性及びオーム 抵抗性あるインピーダンスを生じ、この構成要素は中間層と探りコイルの巻線と の間に形成されたコンデンサ要素として機能する。測定探針の軸方向の変位に関 連して、分布電磁パラメータある構成要素は、また、探りコイルの軸と平行な範 囲で影響を受け、評価回路で簡単に評価できる出力信号を生じさせる。 本発明を改良して、コイル芯体全体を電極として使用できるようにして、その コイル芯体を強磁性材料のような電気抵抗が殆どない材料から作ることが好まし い。こうすることにより、コイル芯体を簡単な形状で単一の材料から作ることが でき、電極として大きな表面を確保することができる。コイル芯体の形状はチュ ーブのような要素として設計・構成されていてもよい。 中間層は、探りコイルの巻線とコイル芯体との間に設けられている。この中間 層をコイル芯体の表面に設けてもよい。材料の物性と中間層の配置関係により( 導電率δ、相対的なパーミタンスε、厚み)、探りコイルの巻線と電極との間の トランジション抵抗を利用することができる。 この場合、探りコイルは絶縁されたワイヤ又は裸のワイヤから巻かれて製造さ れている。裸のワイヤを使用する場合、互いに間隔を巻線を巻く必要がある。 本発明の他の改良例として、コイル芯体と電極との間の中間層が巻線ワイヤの 絶縁層として使用される。この場合、中間層のオーム抵抗が非常に高いので、渦 電流センサのコンデンサ要素が大きな影響力を持つ。 しかし、オーム抵抗Ｒが、中間層の子要素Ｃより非常に小さく、単位長さ当り 的にオーム抵抗Ｒに依存する。 本発明のさらなる有用な改良例として、コイル芯体は絶縁材料であり、探りコ イルを囲むケースが電極を構成している。この構造では、ケースは、導電性はあ るが、非磁性材料、特に、ステンレス鋼から作られている。特に、コイル芯体の 内部で測定探針が延びている場合、コンパクトで密閉された渦電流センサを構成 できる。中間層は、探りコイルの巻線と電極との間において、正又は負の温度係 数のトランジション抵抗を有していてもよい。こうすることにより、渦電流セン サの出力信号が温度の影響を受けても補正することができる。 単位長さ当りの電極の電気抵抗値を、単位長さ当りの測定探針の抵抗値より大 きくすることが好ましい。こうすることにより、電極及び測定探針の渦電流効果 に好ましい形で影響を与えることができる。 測定探針は、探りコイルを囲む導電性のリングであり、軸方向で探りコイルの 外表面に非接触配置されている。しかし、測定探針は、コイル芯体と同軸上に延 びる通路内を変位可能に設けてもよい。測定探針は探りコイルの内部で保護され るように延び、コンパクトに構成することができる。こうすることにより、測定 探針を測定対象物の一部として利用でき、測定対象物自体を測定することができ る。後者の場合、チューブ状コイル芯体の内部に配置された物品が測定探針とな るようにして測定することができる。 特に好適な実施の形態では、電極、中間層及びコイル芯体は、それぞれ、探り コイルの軸と平行な長手方向軸に整列させられていたり、測定探針の変位が探り コイルの軸と平行に生じるように構成させられていたりする。この構造によると 、簡単な直線状構造となり、評価回路での出力信号の評価が簡単になる。 さらに他の好適な実施の形態では、コイル芯体は無端リングであり、必要に応 じて、電極を備えており、測定探針がリングに沿って変位可能に支持されている 。こうすることにより、測定探針は、コイル芯体及び探りコイルを囲むリングの 形態をしており、コイル芯体の内部通路に支持されるようにしてもよい。この形 態は、測定探針に接続された測定対象物が移動することにより生じる周方向の変 位を測定するために特に好適である。 さらに他の好適な実施の形態では、探りコイルの両方の端子はａｃ電圧源に接 続され、評価回路が入力を電極の端子に接続した演算増幅器を備えている。本発 明によれば、演算増幅器の反転入力がでの端子に接続されている。渦電流センサ の出力信号の変化によって、すなわち、電圧の変化によって、評価回路は、探り コイルに対する測定探針の位置又は位置変化を検出する。 本発明のさらなる改良例では、ａｃ電圧源が電極と探りコイルの端子との間に 付加され、探りコイルの第２の端子が評価回路の演算増幅器の入力に接続されて いる。好ましくは、探りコイルの端子が演算増幅器の反転入力に接続されている 。同様に、評価回路は、出力電圧の比較又は加算ができるような形態で、抵抗及 びコンデンサによって接続されている。 本発明のさらなる改良例では、探りコイルは、さらなる端子を備えている。そ の端子は、探りコイルの中央の端子の形態で存在している。中央端子は、ローパ スフィルタを介して演算増幅器の反転入力に接続されている。出力信号は、渦電 流センサのインピーダンスの温度勾配の影響を補正して使用される。 最後に、電極の端子は接地されていてもよい。この場合、探りコイルの２つの 端子は、例えば、ａｃ電圧源及び演算増幅器の入力に接続される。 センサの総ての構成要素は、例えば、磁性抵抗構造又は光抵抗構造として、チ ップ上に小型化されてもよい。 本発明のさらなる好適な実施例を請求の範囲及び明細書に基づき説明する。本 発明の種々の実施例は図面に示されており、以下に説明される。図面において、 それぞれの図は概略的に示され、 図１は、本発明による渦電流センサの第１実施例を簡略的に示した図； 図２ａは、図１の渦電流センサの評価回路のブロック図； 図２ｂは、探りコイルの偏位の関数として、測定電圧Ｕの変化を示した操作ダ イアグラム； 図３は、本発明による渦電流センサの第２実施例の概略図； 図４は、本発明による渦電流センサの第３実施例の概略図； 図５は、本発明による渦電流センサの第４実施例の概略図； 図６は、変位の測定の仕方を変えた、本発明による渦電流センサの第５実施例 の概略図； 図７ａは、第１の評価回路を備えた本発明の渦電流センサを示し； 図７ｂは、第２の評価回路を備えた本発明の渦電流センサを示し； 図７ｃは、第３の評価回路を備えた本発明の渦電流センサを示し； 図７ｄは、第４の評価回路を備えた本発明の渦電流センサを示し； 図８は、小型化に適した磁気抵抗性の渦電流センサを示している。 図１は、探りコイル２及び環状測定探針３を備えた本発明による渦電流センサ １を示している。渦電流センサ１は、探りコイル２の軸と平行に延びる電極４と 、探りコイル２と電極４との間に配設された中間層５を備えている。中間層５は 、探りコイル２の軸と平行に設けられており、電磁性ある絶縁材料からなり、電 気的分布パラメータな材料からなる。探りコイル２は、電気的な接続を可能にす る２つの端子６，７を備えている。また、電極４は、導電体として構成されてお り、これに接続された端子８を備えている。端子８は、測定探針３の位置を検出 するために、評価回路にも接続されている。探りコイル２は、好ましくは単層巻 きのコイルであり、渦電流センサは、半導体トランジスタのような同次の３極構 造になっている。 図２は、長さ１の同次構造の渦電流センサ１の電気的に等価な回路ダイアグラ造及びオーム抵抗Ｒと並列に接続されたコンデンサＣとして、渦電流センサ１の 誘導要素、コンデンサ要素及び抵抗要素を示すことができる。 ーダンスであり、Ｒは中間層５、すなわち、単位長さ当りの探りコイル２と電極 ４との間のオーム抵抗であり、Ｃは単位長さ当りの探りコイル２と電極４との間 のコンデンサである。 く、単位長さ当りのコンデンサ要素に値１／ｊωＣが、単位長さ当りの探りコイ されている。 って直線的に変化する状態にある。この関係は図２ｂに示されている。図２ａに 示されるように、オーム抵抗要素は、同次構造のコンデンサ要素と並列に接続さ れているので、探りコイル２と電極４との間のトランジションインピーダンスの 抵抗要素又はコンデンサ要素は、中間層５の特性（電気的な導電率δ、相対的な パーミタンスε、探りコイル２の巻線と電極４の聞の間隔）及び振動数を材料の 関数として支配する。 探りコイル２は、絶縁性のワイヤでも裸のワイヤとして巻かれていてもよい。 裸のワイヤを使用する場合、互いに間隔をおいて巻線を巻かなければならない。 図３は、本発明の最も簡素な実施例を示している。この実施例では、渦電流セ ンサ３１は、探りコイル２を単層で表面に巻き、円筒状に構成されたコイル芯体 ３２よりなる。コイル芯体３２の外表面と探りコイル２の巻線との間には、中間 層３３がコイル芯体３２の表面に接して設けられている。コイル芯体３２は、ほ とんど電気抵抗のない材料からなり、例えば、強磁性体の鋼からなる。探りコイ ル２、コイル芯体３２及び中間層３３は、ケース３４内に設けられている。測定 探針３は、探りコイル２の軸と平行に変位可能であり、探りコイル２の巻線に対 して絶縁されている。電極として機能するコイル芯体３２は端子８を備えている 。測定探針３は、電気的に導電性のある材料からなり、内部に渦電流を生じさせ るように環状に構成されている。ケース３４は、プラスチック又は非磁性の鋼か らなる。 図４に示された渦電流センサ４１は、非磁性のステンレス鋼からなるコイル芯 体４２を備えている。コイル芯体４２はチューブ状に構成されており、その内部 に円筒状の通路４３を備えている。この通路４３内において、強磁性体のコアの 形状とした測定探針４４が軸方向変位可能に設けられている。中間層３３は、同 様に、コイル芯体４２の表面に設けられており、探りコイル２とコイル芯体４２ を絶縁している。 図５に示された渦電流センサ５１は、非導電性、とくに、プラスチックののコ イル芯体５２を備えており、その外表面には単層の探りコイル２が巻かれている 。探りコイル２は、中間層５４によって、外側の円筒状のケース５３から離間さ せられている。ケース５３は、導電性の非磁性材料からなり、第１の導電性測定 探針３によって環状に取り囲まれている。改変例や追加的な構成要素として、さ らなる測定探針４４が、コイル芯体５２の通路４３内を変位可能に設けられてい てもよい。この実施例では、ケース５３が電極として構成されている。 図６に示された渦電流センサ６１は、測定探針６２の周方向の変位を検出する ように構成されている。測定探針６２は、ベアリング６３によって回転方向の角 度が定まるように支持されている。探りコイル２は、鋼性のコイル芯体６４上で 単層で巻かれており、中間層６５と分離されている。コイル芯体６４は、電極と して構成され、端子８に接続されている。渦電流センサ６１は、環状測定探針６ ２によって囲まれたケース６６を備えている。ケース６６は絶縁材料からなって いる。 図７ａにおいて、渦電流センサ７１は、中間層７２と軸方向に変位可能な測定 探針７３を備え、測定探針７３の位置を検出するために評価回路７４を備えてい る。評価回路７４は、反転入力７６を回して電極７７の端子８に接続された演算 増幅器７５を備えている。中間層７２のトランジションインピーダンスは、コイ ル２の誘導インピーダンスより大きい。これによって、端子６，７の間の探りコ イル２に沿って電圧を直線的に変化させる。このため、探りコイル２の端子６， ７をａｃ電圧源７０に接続することが必要である。直線的に変化する誘導電圧が 、 加算器を介して出力電圧Ｕｏｕｔに加えられる。この評価回路は、演算増幅器７ ５、コンデンサ７８及び抵抗Ｒからなる。評価回路７４において、電圧値Ｕｅの 付加がが演算増幅器７５で行われる。演算増幅器７５の反転入力７６の電位は０ である。これは、電圧値Ｕ１を互いに独立して加えることができることを意味す る。 探りコイル２が、互いに補い合う２つの電圧、すなわち、参照電位Ｕｒｅｆと 釣り合った電圧として供給され、測定探針７３が探りコイル２の中央にあるとき 、Ｕｏｕｔ＝０である。測定探針７３が中央から変位したとき、出力電圧Ｕｏｕ ｔはそれに比例して変化し、相が１８０°変わる。 中間層が絶縁材料からなり(Ｒ＞＞ｊωＣ)、絶縁材料の相対パーミッタンスε が負の温度係数を有し、測定コイル２が正の温度係数を有するとき、出力電圧Ｕ ｏｕｔを安定させるために温度の影響を最小限にすることができる。 図７ｂは、ａｃ電圧源７０と評価回路７４への接続を異ならせた渦電流センサ ７１を示している。この実施例では、探りコイル２が出力端子７を接地させてお り、端子６を評価回路に接続させている。演算増幅器７５が非反転入力を接地さ せ、評価信号Ｕｏｕｔを生じさせている。電極７７の端子８は、ａｃ電圧源に接 続されている。中間層７２は絶縁材料（Ｒ＞＞ｊωＣ）からなる。この場合、絶 縁材料の相対パーミッタンスεは、評価信号Ｕｏｕｔの温度影響を補正するため に正の温度係数を有する。 図７ｃは渦電流センサ７１の他の接続回路を示している。この実施例では、探 りコイル２はその端子７をａｃ電圧源に接続されており、その端子６は評価回路 ７４に接続されている。電極７７の端子８及び演算増幅器７５の非反転出力は接 地されている。評価信号Ｕｏｕｔは測定探針７３に位置に応答している。渦電流 センサ７１の後２者の接続回路は所定の振動数で電流の共振を生じさせる。これ によって、大きな感度を得ることができ、評価信号Ｕｏｕｔを高精度で解析する ことができる。 図７ｄの渦電流センサ７１は、その端子６，７をａｃ電圧源７０に、さらにｄ ｃ電圧源８０に接続されている。ｄｃ電圧源は正負を変えることができ、接続の ＯＮ・ＯＦＦできるようにすることが好ましい。これによって、ａｃ電圧源７０ のａｃ電圧にｄｃ電圧を付加することができる。しかし、ｄｃ電圧源８０の接続 をＯＮ・ＯＦＦさせて、付加電流を発生させてもよい。電極７７は、その端子８ を介して前述の評価回路７４に接続されており、演算増幅器７５の非反転出力は 参照電位である。評価電圧Ｕｏｕｔは、演算増幅器７５の出力として生じさせる ことができる。探りコイル２は中央の端子８１を備えている。その端子８は、少 なくとも１つの抵抗８３及び少なくとも１つのコンデンサ８４を備えたローパス フィルタ８２を介して、評価回路８６の演算増幅器８５に接続されている。演算 増幅器８５は、他の抵抗８７を介して回路が組まれている。演算増幅器８５の評 価信号Ｕｏｕｔ−（定電圧）は、温度勾配に比例し、測定探針７３の位置から独 立している。演算増幅器８５の評価信号Ｕｏｕｔ−は、測定探針７３の位置変化 に比例している演算増幅器７５の評価信号Ｕｏｕｔから減算される。減算の前に おいて、評価信号Ｕｏｕｔ−を対応する伝達因数によって積算してもよい。この 方法によって、温度勾配の影響を補正して、簡素化及び精度向上ができる。 図８は、小型化に適し、磁性抵抗ある渦電流センサを示している。渦電流セン サ９１は、中聞層９２及び電極９３を備えている。電極９３は、前述のように、 端子８を介して評価回路７５に接続され、出力信号Ｕｏｕｔを生じさせる。また は、渦電流センサ９１を構成する際、磁性抵抗構造に変えて、光抵抗構造にする こともできる。この形態では、渦電流センサをかなり小型化されたチップの形に 構成でき、極僅かなスペースでも渦電流センサ９１を利用することができる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年７月３０日（１９９９．７．３０） 【補正内容】 請求の範囲 1. コイル芯体（３２；４２；５２；６４）に巻かれた探りコイル（２）を備 えた渦電流センサであって、該渦電流センサが、２つの端子（６，７）と、ａｃ 電圧源（７０）と、電気的に導電性のある測定探針（３；４４；６２；７３）と 、評価回路（７４）を備え、前記測定探針（３；４４；６２；７３）が探りコイ ル（２）に対して変位可能であり、前記評価回路（７４）が測定探針（３；４４ ；６２；７３）の位置の関数として評価信号（Ｕｏｕｔ）を発生する渦電流セン サにおいて、 前記渦電流センサ（１；３１；４１；５１；６１；７１；９１）が、電気的に 接触することができる端子（８）を備えた電極（４；３２；４２；６４；７７； ９３）を有し、前記電極が、探りコイル（２）の巻線及び中間層（５；３３；５ ４；６５；７２；９２）とともに、複素インピーダンスを備えた構成要素を形成 しており、前記構成要素の出力信号が測定探針（３；４４；６２；７３）の位置 を決めるために使用されることを特徴とする、 渦電流センサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＵＳ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1. コイル芯体（３２；４２；５２；６４）に巻かれた探りコイル（２）を備 えた渦電流センサであって、該渦電流センサが、２つの端子（６，７）と、ａｃ 電圧源（７０）と、電気的に導電性のある測定探針（３；４４；６２；７３）と 、評価回路（７４）を備え、前記測定探針（３；４４；６２；７３）が探りコイ ル（２）に対して変位可能であり、前記評価回路（７４）が測定探針（３；４４ ；６２；７３）の位置の関数として評価信号（Ｕｏｕｔ）を発生する渦電流セン サにおいて、 前記渦電流センサ（１；３１；４１；５１；６１；７１；９１）が、電気的に 接触することができる端子（８）を備えた電極（４；３２；４２；６４；７７； ９３）を有し、前記電極が、探りコイル（２）の巻線及び中間層（５；３３；５ ４；６５；７２；９２）とともに、分布電磁パラメータを備えた構成要素を形成 しており、前記構成要素の出力信号が測定探針（３；４４；６２；７３）の位置 を決めるために使用されることを特徴とする、 渦電流センサ。 2. 前記電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）が、導電体又はプリント 回路基板として設計及び構成され、前記探りコイル（２）の軸と平行に配置され ていることを特徴とする、請求項１記載の渦電流センサ。 3. 前記コイル芯体（３２；４２；６４；７７）全体が電極として構成され、 該コイル芯体が強磁性材料のような電気抵抗が殆どない材料からなることを特徴 とする、請求項１記載の渦電流センサ。 4. 前記中間層（５；３３；５４；６５；７２；９２）が、前記探りコイル（ ２）の巻線を前記電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）から電気的に絶縁 していることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の渦電 流センサ。 5. 前記中間層（５；３３；５４；６５；７２；９２）が、電気抵抗大なる材 料からなることを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の渦 電流センサ。 6. 前記中間層（５；３３；５４；６５；７２；９２）が前記探りコイル（２ ）の巻線の絶縁層であることを特徴とする、請求項１乃至請求項５のいずれか１ つに記載の渦電流センサ。 7. 前記コイル芯体（５２）が絶縁材料からなり、ケース（５３）が前記探り コイル（２）を囲んでいることを特徴とする、請求項１記載の渦電流センサ。 8. 前記ケース（５３）が、導電性の非磁性材料、特に、ステンレス鋼からな ることを特徴とする、請求項７記載の渦電流センサ。 9. 前記中間層（５；３３；５４；６５；７２；９２）の電気抵抗が、正又は 負の温度勾配定数を有することを特徴とする、請求項１乃至請求項８のいずれか １つに記載の渦電流センサ。 10．前記電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）の前記電気抵抗値が、単 位長さ当りの探りコイル（２）のインピーダンスより、単位長さ当りで極小であ ることを特徴とする、請求項１乃至請求項９のいずれか１つに記載の渦電流セン サ。 11．前記測定探針（３；６２；７３）が前記探りコイル（２）を囲む電気的に 導電性あるリングであることを特徴とする、請求項１乃至請求項１０のいずれか １つに記載の渦電流センサ。 12.前記測定探針（４４）が前記コイル芯体（４２；５２）の内部に配置され 、 コイルの軸と平行に配置された溝（４３）内で変位可能であることを特徴とする 、請求項１乃至請求項１１のいずれか１つに記載の渦電流センサ。 13．前記電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）、前記中間層（５；３３ ；５２；６５；７２；９２）及び前記コイル芯体（３２；４２；５４；６４；７ ７）がそれぞれ前記探りコイル（２）の軸と平行な長手方向軸に沿って整列させ られ、及び／又は、前記測定探針（３；４４；６２；７３）がの変位が探りコイ ル（２）の軸と平行に生じることを特徴とする、請求項１乃至請求項１２のいず れか１つに記載の渦電流センサ。 14．前記コイル芯体（６４）が無端リング状又はチューブ状であり、前記測定 探針（６２）が周方向の変位を検出するために前記リング又はチューブに沿って 変位可能に支持されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項１３のいずれ か１つに記載の渦電流センサ。 15．前記探りコイル（２）の２つの端子（６，７）が前記ａｃ電圧源（７０） に接続されており、前記評価回路（７４）が演算増幅器（７５）を備え、該演算 増幅器の反転入力（７６）が前記電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）の 端子（８）に接続されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項１４のいず れか１つに記載の渦電流センサ。 16．前記電極（４；３２；４２；６４；７７；９３）の前記端子（８）と前記 探りコイル（２）の端子（７）との間にａｃ電圧が負荷され、前記探りコイル（ ２）の第２端子（６）が前記評価回路（７４）の演算増幅器（７５）の反転入力 （７４）に接続されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項１５のいずれ か１つに記載の渦電流センサ。 17．前記探りコイル（２）がその中央部分においてさらなる中央端子（８１） を備え、該端子（８１）がローパスフィルタ（８２）を介して演算増幅器（７５ ） の反転入力（７６）に接続されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項１ ６のいずれか１つに記載の渦電流センサ。 18．前記電極（７７）の端子（８）が接地されていることを特徴とする、請求 項１乃至請求項１７のいずれか１つに記載の渦電流センサ。 19．前記探りコイル（２）が互い所定間隔で離間して巻かれた裸のワイヤであ ることを特徴とする、請求項１乃至請求項１８のいずれか1つに記載の渦電流セ ンサ。 20．前記センサの総ての構成要素が磁性抵抗構造又は光抵抗構造を備えたチッ プ上に小型化されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項１９のいずれか １つに記載の渦電流センサ。