JP3338275B2 - 電子銃組立装置および電子銃組立方法 - Google Patents
電子銃組立装置および電子銃組立方法Info
- Publication number
- JP3338275B2 JP3338275B2 JP04196996A JP4196996A JP3338275B2 JP 3338275 B2 JP3338275 B2 JP 3338275B2 JP 04196996 A JP04196996 A JP 04196996A JP 4196996 A JP4196996 A JP 4196996A JP 3338275 B2 JP3338275 B2 JP 3338275B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- electron gun
- electrode
- height
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/04—Manufacture of electrodes or electrode systems of thermionic cathodes
- H01J9/06—Machines therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/18—Assembling together the component parts of the discharge tube
- H01J2209/185—Machines therefor, e.g. electron gun assembling devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は陰極線管に内装さ
れる電子銃の組立のうち、複数の電極を絶縁ガラスで支
持した電子銃組立体に対して陰極を位置決めして固定す
る電子銃組立装置および電子銃組立方法に関するもので
ある。
れる電子銃の組立のうち、複数の電極を絶縁ガラスで支
持した電子銃組立体に対して陰極を位置決めして固定す
る電子銃組立装置および電子銃組立方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】陰極線管の主要部品である電子銃は、陰
極と、陰極から放射される陰極線を加速、収束させるい
くつかの電極を絶縁ガラスで所定の間隔に支持した構造
を有する。電子銃の組立のうち、陰極と第１電極の間隔
（Ｇ１Ｋ間隔）はカットオフ電圧特性に影響するため重
要であり、特に１つの電子銃の中にＲ，Ｇ，Ｂの３つの
陰極を有するカラー管の場合、カットオフ電圧のずれは
ホワイトバランスや色純度の悪化につながるため、高精
度な組立が要求される。従って、陰極以外の各電極を組
み立てた電子銃組立体に対して陰極を位置決めして固定
する電子銃組立装置においては、陰極位置の正確な位置
決めおよび固定が要求される。
極と、陰極から放射される陰極線を加速、収束させるい
くつかの電極を絶縁ガラスで所定の間隔に支持した構造
を有する。電子銃の組立のうち、陰極と第１電極の間隔
（Ｇ１Ｋ間隔）はカットオフ電圧特性に影響するため重
要であり、特に１つの電子銃の中にＲ，Ｇ，Ｂの３つの
陰極を有するカラー管の場合、カットオフ電圧のずれは
ホワイトバランスや色純度の悪化につながるため、高精
度な組立が要求される。従って、陰極以外の各電極を組
み立てた電子銃組立体に対して陰極を位置決めして固定
する電子銃組立装置においては、陰極位置の正確な位置
決めおよび固定が要求される。
【０００３】図１３は、例えば特開平２ー２７６３５号
公報に示された従来の電子銃組立装置および電子銃組立
方法を示す概略図、図１４は電子銃組立体に陰極が取り
付けられた状態を示す断面図である。
公報に示された従来の電子銃組立装置および電子銃組立
方法を示す概略図、図１４は電子銃組立体に陰極が取り
付けられた状態を示す断面図である。
【０００４】図１４において、１は陰極、２は陰極サポ
ート、３は第１電極、４は第２電極、５は第３電極、６
は第４電極、３ａ〜６ａは各電極３〜６の電子通過孔で
あり、各電極３〜６および陰極サポート２が絶縁ガラス
７により所定の間隔に支持されて、電子銃組立体２４を
構成している。
ート、３は第１電極、４は第２電極、５は第３電極、６
は第４電極、３ａ〜６ａは各電極３〜６の電子通過孔で
あり、各電極３〜６および陰極サポート２が絶縁ガラス
７により所定の間隔に支持されて、電子銃組立体２４を
構成している。
【０００５】図１３において、３０は電子銃組立体保持
部であり、電子銃組立体２４に挿入することにより陰極
１の中心と各電極３〜６の電子通過孔３ａ〜６ａの中心
が合致するように位置決めする筒状の位置決め軸３０Ａ
と、後述のマイクロメータ１８の取付用のフランジ部３
０Ｂとからなる。３１は位置決め軸３０Ａに内挿された
ノズルであり、その先端３１ａが第２電極４の電子通過
孔４ａおよび第１電極３の電子通過孔３ａに対して入出
できるように、ノズル用の駆動装置３７を介して矢印
（ｘ１〜ｙ１）方向に移動可能に構成されている。３２
は陰極保持部、３３は陰極１を位置決めして固定する際
に陰極保持部３２を駆動する陰極用の駆動装置、３４は
マイクロメータで、電子銃組立体保持部３０のフランジ
部３０Ｂに取り付けられているとともに演算装置３５が
接続されている。３６はエアマイクロメータでノズル３
１に接続されている。
部であり、電子銃組立体２４に挿入することにより陰極
１の中心と各電極３〜６の電子通過孔３ａ〜６ａの中心
が合致するように位置決めする筒状の位置決め軸３０Ａ
と、後述のマイクロメータ１８の取付用のフランジ部３
０Ｂとからなる。３１は位置決め軸３０Ａに内挿された
ノズルであり、その先端３１ａが第２電極４の電子通過
孔４ａおよび第１電極３の電子通過孔３ａに対して入出
できるように、ノズル用の駆動装置３７を介して矢印
（ｘ１〜ｙ１）方向に移動可能に構成されている。３２
は陰極保持部、３３は陰極１を位置決めして固定する際
に陰極保持部３２を駆動する陰極用の駆動装置、３４は
マイクロメータで、電子銃組立体保持部３０のフランジ
部３０Ｂに取り付けられているとともに演算装置３５が
接続されている。３６はエアマイクロメータでノズル３
１に接続されている。
【０００６】次に動作について説明する。まず、電子銃
組立体２４に位置決め軸３０Ａを挿入することにより、
この電子銃組立体２４を電子銃組立体保持部３０に位置
決め固定保持する。この状態で、ノズル用の駆動装置３
７を介してノズル３１を矢印（ｘ１）方向に移動させ、
ノズル３１の先端３１ａを第２電極４の電子通過孔４ａ
と第１電極３の電子通過孔３ａに対して嵌挿する。
組立体２４に位置決め軸３０Ａを挿入することにより、
この電子銃組立体２４を電子銃組立体保持部３０に位置
決め固定保持する。この状態で、ノズル用の駆動装置３
７を介してノズル３１を矢印（ｘ１）方向に移動させ、
ノズル３１の先端３１ａを第２電極４の電子通過孔４ａ
と第１電極３の電子通過孔３ａに対して嵌挿する。
【０００７】第１電極３と第２電極４の隙間には光源３
８と画像処理装置３９があり、ノズル３１を電子通過孔
４ａから挿入していくと、ノズル３１の先端３１ａが第
２電極４の電子通過孔４ａから出てきた時点と、第１電
極３の電子通過孔３ａに入った時点とが、シルエットに
より認知される。
８と画像処理装置３９があり、ノズル３１を電子通過孔
４ａから挿入していくと、ノズル３１の先端３１ａが第
２電極４の電子通過孔４ａから出てきた時点と、第１電
極３の電子通過孔３ａに入った時点とが、シルエットに
より認知される。
【０００８】このときのノズル３１の移動量はマイクロ
メータ３４で電気信号に変換されて演算装置３５に送ら
れ、第１電極３と第２電極４の間隔（Ｇ１２間隔）の計
測が終了する。次に、演算装置は計測されたＧ１２間隔
とその他の部品寸法とから第１電極３と陰極１の間隔
（Ｇ１Ｋ間隔）の最適値Ｌを計算する。
メータ３４で電気信号に変換されて演算装置３５に送ら
れ、第１電極３と第２電極４の間隔（Ｇ１２間隔）の計
測が終了する。次に、演算装置は計測されたＧ１２間隔
とその他の部品寸法とから第１電極３と陰極１の間隔
（Ｇ１Ｋ間隔）の最適値Ｌを計算する。
【０００９】一方、陰極１は陰極保持部３２にセットさ
れ、陰極用の駆動装置３３によって陰極サポート２に挿
入される。ノズル３１に接続されたエアマイクロメータ
３６は陰極１との距離Ｌ１を非接触で計測しており、ノ
ズル３１の先端３１ａがノズル用の駆動装置３７によっ
て第１電極３からＬ２だけ送られた位置にあるとする
と、エアマイクロメータ３６の計測値Ｌ１がＬ−Ｌ２と
なる位置まで陰極１が陰極用の駆動装置３３によって陰
極サポート２に挿入され、最後に、溶接などの方法によ
り陰極１が陰極サポート２に固定され、組立が完了す
る。
れ、陰極用の駆動装置３３によって陰極サポート２に挿
入される。ノズル３１に接続されたエアマイクロメータ
３６は陰極１との距離Ｌ１を非接触で計測しており、ノ
ズル３１の先端３１ａがノズル用の駆動装置３７によっ
て第１電極３からＬ２だけ送られた位置にあるとする
と、エアマイクロメータ３６の計測値Ｌ１がＬ−Ｌ２と
なる位置まで陰極１が陰極用の駆動装置３３によって陰
極サポート２に挿入され、最後に、溶接などの方法によ
り陰極１が陰極サポート２に固定され、組立が完了す
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来の電子銃組立装置
および電子銃組立方法は以上のように構成されているの
で、第１電極と第２電極の間に現れるノズル先端のシル
エットを画像処理により認知しているため、第１電極の
第２電極側しか認知できないという課題があった。電子
銃のカットオフ電圧特性に大きく影響する値としては、
第１電極の陰極側の面と陰極表面との距離（Ｇ１Ｋ間
隔）と、第１電極と第２電極との間隔（Ｇ１２間隔）が
あり、その中でも特にＧ１Ｋ間隔の影響が大きいため、
組立の際のＧ１Ｋ間隔の計測はＧ１２間隔の計測よりさ
らに厳密に行う必要がある。しかし、第１電極の第２電
極側しか認知できない場合には、第１電極の板厚のばら
つき分による影響を排除して正確なＧ１Ｋ間隔とするこ
とができないため、最適なカットオフ電圧特性を有した
電子銃を安定して組み立てることが困難であるという課
題があった。
および電子銃組立方法は以上のように構成されているの
で、第１電極と第２電極の間に現れるノズル先端のシル
エットを画像処理により認知しているため、第１電極の
第２電極側しか認知できないという課題があった。電子
銃のカットオフ電圧特性に大きく影響する値としては、
第１電極の陰極側の面と陰極表面との距離（Ｇ１Ｋ間
隔）と、第１電極と第２電極との間隔（Ｇ１２間隔）が
あり、その中でも特にＧ１Ｋ間隔の影響が大きいため、
組立の際のＧ１Ｋ間隔の計測はＧ１２間隔の計測よりさ
らに厳密に行う必要がある。しかし、第１電極の第２電
極側しか認知できない場合には、第１電極の板厚のばら
つき分による影響を排除して正確なＧ１Ｋ間隔とするこ
とができないため、最適なカットオフ電圧特性を有した
電子銃を安定して組み立てることが困難であるという課
題があった。
【００１１】また、ノズルのシルエットを画像処理によ
って認知する方法では、電源電圧の変化やランプの寿命
などによる光源の明るさの変化や、ほこりの付着によっ
てできた影などにより計測誤差を生じやすく、また、計
測に時間がかかりやすい課題があった。
って認知する方法では、電源電圧の変化やランプの寿命
などによる光源の明るさの変化や、ほこりの付着によっ
てできた影などにより計測誤差を生じやすく、また、計
測に時間がかかりやすい課題があった。
【００１２】さらに、陰極表面位置の計測に関しては、
第１，第２電極の電子通過孔は数百μｍと他の電極の電
子通過孔に比べて極めて小さく設計されており、この電
子通過孔を貫通するさらに細いノズル先端を有するノズ
ルの製作は困難である上に、細いノズルにおいては、エ
アマイクロメータ用の充分な空気の流量が得られにくい
ため計測範囲が非常に狭くなり、エアマイクロメータの
応答性、安定性が極端に悪くなり、計測誤差を生じやす
いという課題があった。
第１，第２電極の電子通過孔は数百μｍと他の電極の電
子通過孔に比べて極めて小さく設計されており、この電
子通過孔を貫通するさらに細いノズル先端を有するノズ
ルの製作は困難である上に、細いノズルにおいては、エ
アマイクロメータ用の充分な空気の流量が得られにくい
ため計測範囲が非常に狭くなり、エアマイクロメータの
応答性、安定性が極端に悪くなり、計測誤差を生じやす
いという課題があった。
【００１３】さらに、陰極表面にはＲmax で２０μｍ程
度の表面粗さがあるため、ノズル径が大きい場合はほぼ
平均的な陰極表面位置を計測することができるが、ノズ
ル径が小さくなるにつれて、計測対象となる面積の減少
のために計測値にばらつきが発生し、陰極表面位置の正
確な計測が困難となる課題があった。
度の表面粗さがあるため、ノズル径が大きい場合はほぼ
平均的な陰極表面位置を計測することができるが、ノズ
ル径が小さくなるにつれて、計測対象となる面積の減少
のために計測値にばらつきが発生し、陰極表面位置の正
確な計測が困難となる課題があった。
【００１４】さらに、高解像度でフォーカス特性の優れ
た陰極線管の要求が高まるにつれて、第１，第２電極の
電子通過孔はますます小さくなる傾向にあり、極細のエ
アノズルを電極の孔に貫通させる以外の方法を用いた電
子銃組立装置が要求されているなどの課題があった。
た陰極線管の要求が高まるにつれて、第１，第２電極の
電子通過孔はますます小さくなる傾向にあり、極細のエ
アノズルを電極の孔に貫通させる以外の方法を用いた電
子銃組立装置が要求されているなどの課題があった。
【００１５】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、従来の陰極線管用電子銃はもちろ
ん、第１，第２電極の電子通過孔がさらに小さい高解像
度でフォーカス特性の優れた陰極線管用の電子銃の組立
においても、カットオフ電圧特性の安定した電子銃を迅
速に製作することができる電子銃組立装置および電子銃
組立方法を得ることを目的とする。
めになされたもので、従来の陰極線管用電子銃はもちろ
ん、第１，第２電極の電子通過孔がさらに小さい高解像
度でフォーカス特性の優れた陰極線管用の電子銃の組立
においても、カットオフ電圧特性の安定した電子銃を迅
速に製作することができる電子銃組立装置および電子銃
組立方法を得ることを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る電子銃組立装置は、陰極以外の複数の電極を絶縁ガラ
スで所定の間隔に支持した電子銃組立体を保持する電子
銃組立体保持機構と、前記陰極を保持する陰極保持機構
と、前記陰極保持機構および前記陰極を移動させる陰極
駆動手段と、前記電子銃組立体外部の陰極表面計測位置
において陰極表面の高さを非接触で計測する陰極表面計
測手段と、前記電子銃組立体保持機構により保持された
前記電子銃組立体の第１電極上面の高さを計測する第１
電極上面計測手段と、前記電子銃組立体保持機構により
保持された前記電子銃組立体の第２電極の高さを計測す
る第２電極計測手段と、前記第２電極計測手段と前記第
１電極上面計測手段および前記陰極表面計測手段の間の
較正を行う厚さが既知の基準冶具と、前記基準冶具を計
測位置と退避位置との間で移動させる基準冶具駆動手段
とを備え、前記第１電極上面計測手段と第２電極計測手
段としてプローブ先端が凸形状の曲面に形成された電気
マイクロメータを備えたものである。
る電子銃組立装置は、陰極以外の複数の電極を絶縁ガラ
スで所定の間隔に支持した電子銃組立体を保持する電子
銃組立体保持機構と、前記陰極を保持する陰極保持機構
と、前記陰極保持機構および前記陰極を移動させる陰極
駆動手段と、前記電子銃組立体外部の陰極表面計測位置
において陰極表面の高さを非接触で計測する陰極表面計
測手段と、前記電子銃組立体保持機構により保持された
前記電子銃組立体の第１電極上面の高さを計測する第１
電極上面計測手段と、前記電子銃組立体保持機構により
保持された前記電子銃組立体の第２電極の高さを計測す
る第２電極計測手段と、前記第２電極計測手段と前記第
１電極上面計測手段および前記陰極表面計測手段の間の
較正を行う厚さが既知の基準冶具と、前記基準冶具を計
測位置と退避位置との間で移動させる基準冶具駆動手段
とを備え、前記第１電極上面計測手段と第２電極計測手
段としてプローブ先端が凸形状の曲面に形成された電気
マイクロメータを備えたものである。
【００１７】請求項２記載の発明に係る電子銃組立装置
は、電気マイクロメータのプローブ先端の曲率半径を２
０ｍｍ以上とし、計測時の接触力を２０ｇ以下としたも
のである。
は、電気マイクロメータのプローブ先端の曲率半径を２
０ｍｍ以上とし、計測時の接触力を２０ｇ以下としたも
のである。
【００１８】請求項３記載の発明に係る電子銃組立装置
は、第１電極上面計測手段としての電気マイクロメータ
と陰極保持機構とが同一の支持体により支持され、この
支持体を移動させる陰極駆動手段により共通に駆動され
るようにしたものである。
は、第１電極上面計測手段としての電気マイクロメータ
と陰極保持機構とが同一の支持体により支持され、この
支持体を移動させる陰極駆動手段により共通に駆動され
るようにしたものである。
【００１９】請求項４記載の発明に係る電子銃組立装置
は、陰極表面計測手段としてレーザ変位計を備えたもの
である。
は、陰極表面計測手段としてレーザ変位計を備えたもの
である。
【００２０】請求項５記載の発明に係る電子銃組立装置
は、レーザ変位計による陰極表面の高さの計測の際に前
記陰極表面における計測位置を走査させることを可能に
陰極駆動手段または前記レーザ変位計を設けたものであ
る。
は、レーザ変位計による陰極表面の高さの計測の際に前
記陰極表面における計測位置を走査させることを可能に
陰極駆動手段または前記レーザ変位計を設けたものであ
る。
【００２１】請求項６記載の発明に係る電子銃組立装置
は、第１電極上面計測手段，第２電極計測手段，および
陰極表面計測手段の間の較正を行うための所定の厚さの
基準治具と、該基準治具を前記各計測手段の計測位置と
退避位置との間で移動させる基準治具駆動手段を備えた
ものである。
は、第１電極上面計測手段，第２電極計測手段，および
陰極表面計測手段の間の較正を行うための所定の厚さの
基準治具と、該基準治具を前記各計測手段の計測位置と
退避位置との間で移動させる基準治具駆動手段を備えた
ものである。
【００２２】請求項７記載の発明に係る電子銃組立方法
は、電子銃組立体外部の陰極表面計測位置において陰極
表面の高さをレーザ変位計で非接触で計測し、前記電子
銃組立体の第１電極上面の高さを計測し、前記電子銃組
立体の第２電極の高さを計測し、計測された前記第１電
極上面の高さおよび前記第２電極の高さと、計測により
既知の第１電極の厚さ等を用いて、前記電子銃組立体の
第１電極と第２電極の間隔を求め、求められた前記第１
電極と第２電極の間隔に対する、第１電極と陰極の間隔
の最適値を電子通過孔径等のデータを用いて演算し、前
記陰極を前記陰極表面計測位置から前記電子銃組立体の
陰極組立位置まで移動させ、前記陰極表面計測位置にお
ける陰極表面の高さに前記移動からの高さの変化量を加
算した陰極組立位置における陰極表面の高さと、前記第
１電極上面の高さとの差が、前記最適値となるまで前記
陰極を前記電子銃組立体に挿入することにより前記陰極
を位置決めして固定するものである。
は、電子銃組立体外部の陰極表面計測位置において陰極
表面の高さをレーザ変位計で非接触で計測し、前記電子
銃組立体の第１電極上面の高さを計測し、前記電子銃組
立体の第２電極の高さを計測し、計測された前記第１電
極上面の高さおよび前記第２電極の高さと、計測により
既知の第１電極の厚さ等を用いて、前記電子銃組立体の
第１電極と第２電極の間隔を求め、求められた前記第１
電極と第２電極の間隔に対する、第１電極と陰極の間隔
の最適値を電子通過孔径等のデータを用いて演算し、前
記陰極を前記陰極表面計測位置から前記電子銃組立体の
陰極組立位置まで移動させ、前記陰極表面計測位置にお
ける陰極表面の高さに前記移動からの高さの変化量を加
算した陰極組立位置における陰極表面の高さと、前記第
１電極上面の高さとの差が、前記最適値となるまで前記
陰極を前記電子銃組立体に挿入することにより前記陰極
を位置決めして固定するものである。
【００２３】請求項８記載の発明に係る電子銃組立方法
は、レーザ変位計による計測を行う際に、陰極表面上の
走査を行い、得られた計測値の集合から統計的に求めら
れる値を陰極表面の高さとするものである。
は、レーザ変位計による計測を行う際に、陰極表面上の
走査を行い、得られた計測値の集合から統計的に求めら
れる値を陰極表面の高さとするものである。
【００２４】請求項９記載の発明に係る電子銃組立方法
は、計測値の集合から統計的に求められる値として平均
値を用いるものである。
は、計測値の集合から統計的に求められる値として平均
値を用いるものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１． 図１は、この発明の実施の形態１による電子銃組立装置
の構成および電子銃組立体の保持状態を示す概略図であ
り、図において、１は陰極、２は陰極サポート、３は第
１電極（電極）、４は第２電極（電極）、５は第３電極
（電極）であり、陰極１を除く各電極３〜５等および陰
極サポート２が図示しない絶縁ガラスにより所定の間隔
に支持された状態の電子銃組立体２４として組み立てら
れ、電子銃組立装置に取り付けられている。
説明する。 実施の形態１． 図１は、この発明の実施の形態１による電子銃組立装置
の構成および電子銃組立体の保持状態を示す概略図であ
り、図において、１は陰極、２は陰極サポート、３は第
１電極（電極）、４は第２電極（電極）、５は第３電極
（電極）であり、陰極１を除く各電極３〜５等および陰
極サポート２が図示しない絶縁ガラスにより所定の間隔
に支持された状態の電子銃組立体２４として組み立てら
れ、電子銃組立装置に取り付けられている。
【００２６】 ８は第２電極４の下面位置を計測する電気
マイクロメータ（第２電極計測手段）、８ａは電気マイ
クロメータ８のプローブ、９は電子銃組立体２４を保持
する電子銃組立体保持機構、９ａは電子銃組立体保持機
構９に設けられた位置決め軸、１０は陰極１を保持する
陰極保持機構、１１は先端にプローブ１１ａを備えた電
気マイクロメータ（第１電極上面計測手段）であり、第
１電極３の上面位置を計測する。この陰極保持機構１０
および電気マイクロメータ１１は、共に同一の支持体１
５によって支持されている。１２は支持体１５を上下方
向に駆動する上下駆動機構（陰極駆動手段）、１３は上
下駆動機構１２をＸＹ方向に移動させるＸＹ駆動機構
（陰極駆動手段）であり、陰極保持機構１０および電気
マイクロメータ１１はＸＹＺ方向に移動可能に構成され
ている。１４は陰極１の表面位置を陰極１の表面に傷を
付けないように非接触で計測するレーザ変位計（陰極表
面計測手段）、１５は陰極保持機構１０および電気マイ
クロメータ１１を支持する支持体、１５ａは支持体１５
に設けられたガイドであり、上下駆動機構１２による支
持体１５の駆動はガイド１５ａの摺動案内を介して行わ
れる。
マイクロメータ（第２電極計測手段）、８ａは電気マイ
クロメータ８のプローブ、９は電子銃組立体２４を保持
する電子銃組立体保持機構、９ａは電子銃組立体保持機
構９に設けられた位置決め軸、１０は陰極１を保持する
陰極保持機構、１１は先端にプローブ１１ａを備えた電
気マイクロメータ（第１電極上面計測手段）であり、第
１電極３の上面位置を計測する。この陰極保持機構１０
および電気マイクロメータ１１は、共に同一の支持体１
５によって支持されている。１２は支持体１５を上下方
向に駆動する上下駆動機構（陰極駆動手段）、１３は上
下駆動機構１２をＸＹ方向に移動させるＸＹ駆動機構
（陰極駆動手段）であり、陰極保持機構１０および電気
マイクロメータ１１はＸＹＺ方向に移動可能に構成され
ている。１４は陰極１の表面位置を陰極１の表面に傷を
付けないように非接触で計測するレーザ変位計（陰極表
面計測手段）、１５は陰極保持機構１０および電気マイ
クロメータ１１を支持する支持体、１５ａは支持体１５
に設けられたガイドであり、上下駆動機構１２による支
持体１５の駆動はガイド１５ａの摺動案内を介して行わ
れる。
【００２７】 図２における１６はその厚さＴ0 が既知で
ある基準治具であり、再び図１において、１７はその厚
さｔ0 が既知である基準治具、１８は基準治具１７を支
持してレーザ変位計１４の位置と退避位置との間で基準
治具１７を水平方向に移動させる駆動機構（基準治具駆
動手段）である。
ある基準治具であり、再び図１において、１７はその厚
さｔ0 が既知である基準治具、１８は基準治具１７を支
持してレーザ変位計１４の位置と退避位置との間で基準
治具１７を水平方向に移動させる駆動機構（基準治具駆
動手段）である。
【００２８】 陰極１を除く各電極が組み立てられた電子
銃組立体２４において、各電極は各々の電子通過孔の中
心位置を揃えて組み立てられており、この電子銃組立体
２４は図示のように第１電極３および第２電極４を除く
各電極の電子通過孔に位置決め軸９ａが挿入された形で
電子銃組立体保持機構９により固定される。この位置決
め軸９ａの内部には電気マイクロメータ８のプローブ８
ａが配置され、電気マイクロメータ８による第２電極４
の下面位置の計測が行われるとともに、電気マイクロメ
ータ１１による第１電極３の上面位置の計測が行われ
る。この電気マイクロメータ８のプローブ８ａおよび電
気マイクロメータ１１のプローブ１１ａの先端は曲率半
径を２０ｍｍ以上に、例えば、半径３０ｍｍの球状に形
成されており、また、計測時の各電極への接触力は２０
ｇ以下となるようにして計測が行われる。プローブ先端
の曲率半径および接触力をこの範囲内とすることによ
り、各電極に対して接触式の計測を行う際の面圧を各電
極に傷が付かない範囲内とすることができ、各電極にダ
メージを与えずに接触式の位置計測を行うことができ
る。
銃組立体２４において、各電極は各々の電子通過孔の中
心位置を揃えて組み立てられており、この電子銃組立体
２４は図示のように第１電極３および第２電極４を除く
各電極の電子通過孔に位置決め軸９ａが挿入された形で
電子銃組立体保持機構９により固定される。この位置決
め軸９ａの内部には電気マイクロメータ８のプローブ８
ａが配置され、電気マイクロメータ８による第２電極４
の下面位置の計測が行われるとともに、電気マイクロメ
ータ１１による第１電極３の上面位置の計測が行われ
る。この電気マイクロメータ８のプローブ８ａおよび電
気マイクロメータ１１のプローブ１１ａの先端は曲率半
径を２０ｍｍ以上に、例えば、半径３０ｍｍの球状に形
成されており、また、計測時の各電極への接触力は２０
ｇ以下となるようにして計測が行われる。プローブ先端
の曲率半径および接触力をこの範囲内とすることによ
り、各電極に対して接触式の計測を行う際の面圧を各電
極に傷が付かない範囲内とすることができ、各電極にダ
メージを与えずに接触式の位置計測を行うことができ
る。
【００２９】 なお、この実施の形態１において行われる
各計算は、ＣＰＵ，メモリ等により構成された図示しな
い演算手段により行われ、上下駆動機構ＸＹ，駆動機構
等の制御は、ＣＰＵ，メモリ等により構成された図示し
ない制御手段により行われるものとする。この演算手段
と制御手段とは特に分けて設ける必要はなく、一体に構
成してもよいものである。また、電極の「上面」とは各
電極の陰極側の面を、「下面」とは反対側の面を指すも
のとする。
各計算は、ＣＰＵ，メモリ等により構成された図示しな
い演算手段により行われ、上下駆動機構ＸＹ，駆動機構
等の制御は、ＣＰＵ，メモリ等により構成された図示し
ない制御手段により行われるものとする。この演算手段
と制御手段とは特に分けて設ける必要はなく、一体に構
成してもよいものである。また、電極の「上面」とは各
電極の陰極側の面を、「下面」とは反対側の面を指すも
のとする。
【００３０】次に動作について説明する。まず、実際の
組立動作の説明の前に、電気マイクロメータ８，電気マ
イクロメータ１１，およびレーザ変位計１４の計測の基
準値を記憶する動作について説明する。
組立動作の説明の前に、電気マイクロメータ８，電気マ
イクロメータ１１，およびレーザ変位計１４の計測の基
準値を記憶する動作について説明する。
【００３１】 図２は、電気マイクロメータ８と電気マイ
クロメータ１１の基準値の計測を示す概略図である。厚
さＴ0 が既知の基準治具１６は、図示しない供給装置
（基準治具駆動手段）により電子銃組立体保持機構９の
位置に供給され、電子銃組立体保持機構９により保持さ
れる。この時、位置決め軸９ａ内部に配置された電気マ
イクロメータ８のプローブ８ａは基準治具１６の下面と
接触する。次に、電気マイクロメータ１１が上下駆動機
構１２およびＸＹ駆動機構１３により基準治具１６の上
に移動し、プローブ１１ａを基準治具１６の上面に接触
させる。そして、この時の電気マイクロメータ８の計測
値Ｌ0 ，電気マイクロメータ１１の計測値Ｈ0 ，および
上下駆動機構１２の位置Ｚ0 を、それぞれ図示しない演
算手段に記憶する。
クロメータ１１の基準値の計測を示す概略図である。厚
さＴ0 が既知の基準治具１６は、図示しない供給装置
（基準治具駆動手段）により電子銃組立体保持機構９の
位置に供給され、電子銃組立体保持機構９により保持さ
れる。この時、位置決め軸９ａ内部に配置された電気マ
イクロメータ８のプローブ８ａは基準治具１６の下面と
接触する。次に、電気マイクロメータ１１が上下駆動機
構１２およびＸＹ駆動機構１３により基準治具１６の上
に移動し、プローブ１１ａを基準治具１６の上面に接触
させる。そして、この時の電気マイクロメータ８の計測
値Ｌ0 ，電気マイクロメータ１１の計測値Ｈ0 ，および
上下駆動機構１２の位置Ｚ0 を、それぞれ図示しない演
算手段に記憶する。
【００３２】図３は、電気マイクロメータ１１とレーザ
変位計１４の基準値の計測を示す概略図である。水平方
向に移動可能な駆動機構１８により支持された厚さｔ0
が既知の基準治具１７は、駆動機構１８によりレーザ変
位計１４の直上に移動する。次に、電気マイクロメータ
１１が上下駆動機構１２およびＸＹ駆動機構１３により
基準治具１７の上に移動し、プローブ１１ａを基準治具
１７の上面に接触させる。そして、この時の電気マイク
ロメータ１１の計測値Ｌ0 ’，レーザ変位計１４の計測
値ｈ0 ，および上下駆動機構１２の位置Ｚ0 ’を、それ
ぞれ図示しない演算手段に記憶する。
変位計１４の基準値の計測を示す概略図である。水平方
向に移動可能な駆動機構１８により支持された厚さｔ0
が既知の基準治具１７は、駆動機構１８によりレーザ変
位計１４の直上に移動する。次に、電気マイクロメータ
１１が上下駆動機構１２およびＸＹ駆動機構１３により
基準治具１７の上に移動し、プローブ１１ａを基準治具
１７の上面に接触させる。そして、この時の電気マイク
ロメータ１１の計測値Ｌ0 ’，レーザ変位計１４の計測
値ｈ0 ，および上下駆動機構１２の位置Ｚ0 ’を、それ
ぞれ図示しない演算手段に記憶する。
【００３３】 以上の基準治具を用いた基準位置の記憶に
より、電気マイクロメータ８，電気マイクロメータ１
１，レーザ変位計１４，上下駆動機構１２の各計測手段
の各計測値間の関係が決まり、次式で表される。 Ｚ0 ＝Ｈ0 ＋Ｌ0 ＋Ｔ0 ＋α （１） Ｚ0 ’＝ｈ0 ＋Ｌ0 ’＋ｔ0 ＋β （２）
より、電気マイクロメータ８，電気マイクロメータ１
１，レーザ変位計１４，上下駆動機構１２の各計測手段
の各計測値間の関係が決まり、次式で表される。 Ｚ0 ＝Ｈ0 ＋Ｌ0 ＋Ｔ0 ＋α （１） Ｚ0 ’＝ｈ0 ＋Ｌ0 ’＋ｔ0 ＋β （２）
【００３４】 なお、図４および図５は、図２および図３
における各値の関係を図式的に示した説明図である。こ
こで、α、βは定数であるが、装置自身の発熱や環境温
度の変化から生じる熱膨張による各計測器間の相対的位
置ずれなどといった、いわゆる温度ドリフトにより変化
する。そこで、上記の各計測器の基準値を記憶する動作
は、実際に電子銃組立装置が連続的に組立動作を行って
いる時にも、定期的（例えば１時間毎など）に行って
α，βを更新し、組立精度を維持するのがよい。
における各値の関係を図式的に示した説明図である。こ
こで、α、βは定数であるが、装置自身の発熱や環境温
度の変化から生じる熱膨張による各計測器間の相対的位
置ずれなどといった、いわゆる温度ドリフトにより変化
する。そこで、上記の各計測器の基準値を記憶する動作
は、実際に電子銃組立装置が連続的に組立動作を行って
いる時にも、定期的（例えば１時間毎など）に行って
α，βを更新し、組立精度を維持するのがよい。
【００３５】 次に、実際の組立動作について説明する。
図６は第１電極３および第２電極４の計測動作を示す概
略図、図７はそのＡ部拡大図である。まず、電子銃組立
体２４が図示しない供給装置により電子銃組立体保持機
構９に供給され、電子銃組立体保持機構９により固定さ
れる。この時、図７に示すように、位置決め軸９ａ内部
に配置された電気マイクロメータ８のプローブ８ａが第
２電極４の下面に接触する。次に、電気マイクロメータ
１１が上下駆動機構１２およびＸＹ駆動機構１３により
移動して、プローブ１１ａが陰極サポート２の孔を通過
して第１電極３の上面に接触する。そして、この時の電
気マイクロメータ８の計測値Ｈ，電気マイクロメータ１
１の計測値Ｌ，および上下駆動機構１２の位置Ｚ1 を図
示しない演算手段に記憶する。
図６は第１電極３および第２電極４の計測動作を示す概
略図、図７はそのＡ部拡大図である。まず、電子銃組立
体２４が図示しない供給装置により電子銃組立体保持機
構９に供給され、電子銃組立体保持機構９により固定さ
れる。この時、図７に示すように、位置決め軸９ａ内部
に配置された電気マイクロメータ８のプローブ８ａが第
２電極４の下面に接触する。次に、電気マイクロメータ
１１が上下駆動機構１２およびＸＹ駆動機構１３により
移動して、プローブ１１ａが陰極サポート２の孔を通過
して第１電極３の上面に接触する。そして、この時の電
気マイクロメータ８の計測値Ｈ，電気マイクロメータ１
１の計測値Ｌ，および上下駆動機構１２の位置Ｚ1 を図
示しない演算手段に記憶する。
【００３６】図８は、陰極表面位置の計測動作を示す概
略図である。まず、陰極保持機構１０が上下駆動機構１
２およびＸＹ駆動機構１３により図示しない陰極供給位
置に移動し、陰極保持機構１０に陰極１が固定される。
次に、陰極１を保持した陰極保持機構１０がレーザ変位
計１４の上に移動する。なおこの時、基準治具１７は図
８に示したように陰極保持機構１０および陰極１と接触
しない位置に退避している。それから、レーザ変位計１
４による計測とＸＹ駆動機構１３の駆動による陰極１の
微小距離の移動が繰り返され、レーザ変位計１４の計測
位置の陰極１表面の走査が行われる。これにより陰極１
表面の広い範囲における高さの計測値が多数得られる。
この多数の計測値の平均値を陰極１の表面位置ｈとし、
上下駆動機構１２の位置Ｚ2 とともに図示しない演算手
段に記憶する。
略図である。まず、陰極保持機構１０が上下駆動機構１
２およびＸＹ駆動機構１３により図示しない陰極供給位
置に移動し、陰極保持機構１０に陰極１が固定される。
次に、陰極１を保持した陰極保持機構１０がレーザ変位
計１４の上に移動する。なおこの時、基準治具１７は図
８に示したように陰極保持機構１０および陰極１と接触
しない位置に退避している。それから、レーザ変位計１
４による計測とＸＹ駆動機構１３の駆動による陰極１の
微小距離の移動が繰り返され、レーザ変位計１４の計測
位置の陰極１表面の走査が行われる。これにより陰極１
表面の広い範囲における高さの計測値が多数得られる。
この多数の計測値の平均値を陰極１の表面位置ｈとし、
上下駆動機構１２の位置Ｚ2 とともに図示しない演算手
段に記憶する。
【００３７】 図６における計測結果（Ｈ，Ｌ，Ｚ1 ）と
式（１）より、第１電極３の上面から第２電極４の下面
の距離ｔＧ１２が次式（３）で求められる。なお、図９
は図６における各値とｔＧ１２の関係を図式的に示した
説明図である。 ｔＧ１２ ＝（Ｚ1 −Ｚ0 ）−（Ｌ−Ｌ0 ）−（Ｈ−Ｈ0 ）＋Ｔ0 （３）
式（１）より、第１電極３の上面から第２電極４の下面
の距離ｔＧ１２が次式（３）で求められる。なお、図９
は図６における各値とｔＧ１２の関係を図式的に示した
説明図である。 ｔＧ１２ ＝（Ｚ1 −Ｚ0 ）−（Ｌ−Ｌ0 ）−（Ｈ−Ｈ0 ）＋Ｔ0 （３）
【００３８】 第１電極３の下面と第２電極４の上面の間
隔Ｇ１２は、第１電極３の板厚ｔ1と第２電極４の板厚
ｔ2 と上記のｔＧ１２から次式（４）で求められる。な
お、ｔ1 およびｔ2 は、電子銃組立体２４が組み立てら
れる前の第１電極３および第２電極４が単体部品である
段階において計測されているものである。 Ｇ１２ ＝ ｔＧ１２−ｔ1 −ｔ2 （４）
隔Ｇ１２は、第１電極３の板厚ｔ1と第２電極４の板厚
ｔ2 と上記のｔＧ１２から次式（４）で求められる。な
お、ｔ1 およびｔ2 は、電子銃組立体２４が組み立てら
れる前の第１電極３および第２電極４が単体部品である
段階において計測されているものである。 Ｇ１２ ＝ ｔＧ１２−ｔ1 −ｔ2 （４）
【００３９】 次に、図６および図８における計測結果
（Ｌ，Ｚ1 ，ｈ）と式（２）より、陰極１の表面と第１
電極３の上面との距離Ｇ１Ｋ’が次式（５）によって求
められる。なお、図１０は図６および図８における各値
とＧ１Ｋ’の関係を図式的に示した説明図である。 Ｇ１Ｋ’＝（Ｚ0’−Ｚ1 ）−（ｈ0 −ｈ）−（Ｌ0’−Ｌ）−ｔ0 （５）
（Ｌ，Ｚ1 ，ｈ）と式（２）より、陰極１の表面と第１
電極３の上面との距離Ｇ１Ｋ’が次式（５）によって求
められる。なお、図１０は図６および図８における各値
とＧ１Ｋ’の関係を図式的に示した説明図である。 Ｇ１Ｋ’＝（Ｚ0’−Ｚ1 ）−（ｈ0 −ｈ）−（Ｌ0’−Ｌ）−ｔ0 （５）
【００４０】 次に、陰極１の表面と第１電極３の上面の
距離（Ｇ１Ｋ間隔）の最適値としての目標値Ｇ１Ｋm
が、式（４）で求めたＧ１２を用いて算出される。電子
銃のカットオフ電圧特性を最適化するためには、電子銃
組立体２４における第１電極３と第２電極４の間隔であ
るＧ１２に即してＧ１Ｋ間隔の設定がなされる必要があ
り、Ｇ１２の値から電子通過孔径等のデータを用いて最
適なＧ１Ｋ間隔を算出する所定の計算式が用いられてい
る。この計算式に式（４）で求められたＧ１２が入力さ
れることにより、目標値Ｇ１Ｋm が算出される。
距離（Ｇ１Ｋ間隔）の最適値としての目標値Ｇ１Ｋm
が、式（４）で求めたＧ１２を用いて算出される。電子
銃のカットオフ電圧特性を最適化するためには、電子銃
組立体２４における第１電極３と第２電極４の間隔であ
るＧ１２に即してＧ１Ｋ間隔の設定がなされる必要があ
り、Ｇ１２の値から電子通過孔径等のデータを用いて最
適なＧ１Ｋ間隔を算出する所定の計算式が用いられてい
る。この計算式に式（４）で求められたＧ１２が入力さ
れることにより、目標値Ｇ１Ｋm が算出される。
【００４１】 次に、この目標値Ｇ１Ｋm と、式（５）で
求めたＧ１Ｋ’から、電子銃組立体２４に陰極１を挿入
する際の上下駆動機構１２の目標位置Ｚm が次式（６）
を用いて計算される。 Ｚm ＝ Ｚ2 ＋（Ｇ１Ｋm −Ｇ１Ｋ’） （６）
求めたＧ１Ｋ’から、電子銃組立体２４に陰極１を挿入
する際の上下駆動機構１２の目標位置Ｚm が次式（６）
を用いて計算される。 Ｚm ＝ Ｚ2 ＋（Ｇ１Ｋm −Ｇ１Ｋ’） （６）
【００４２】 図１１は陰極の挿入動作を示す概略図、図
１２はそのＢ部拡大図である。その後、陰極１を保持し
た陰極保持機構１０は上下駆動機構１２およびＸＹ駆動
機構１３により、陰極１が挿入される陰極サポート２の
上に移動し、上記のようにして求めた目標位置Ｚm への
上下駆動機構１２の駆動により陰極１が最適な高さまで
陰極サポート２に挿入・位置決めされる。最後に、溶接
などの手段により陰極１が陰極サポート２に固定されて
組立動作が完了する。
１２はそのＢ部拡大図である。その後、陰極１を保持し
た陰極保持機構１０は上下駆動機構１２およびＸＹ駆動
機構１３により、陰極１が挿入される陰極サポート２の
上に移動し、上記のようにして求めた目標位置Ｚm への
上下駆動機構１２の駆動により陰極１が最適な高さまで
陰極サポート２に挿入・位置決めされる。最後に、溶接
などの手段により陰極１が陰極サポート２に固定されて
組立動作が完了する。
【００４３】 以上のように、この実施の形態によれば、
陰極１表面の高さの計測を陰極１が電子銃組立体２４に
挿入されていない状態で個別に行ってその後の陰極１表
面の高さを上下駆動機構１２による高さの変化量により
把握するとともに第１電極３の高さの計測を第１電極３
上面において行うことができるため、第１電極３の厚さ
等を計算に入れずに直接Ｇ１Ｋ間隔を計測することが可
能となる。従って、Ｇ１２間隔の計測よりさらに厳密に
行う必要があるＧ１Ｋ間隔の計測において第１電極３の
厚さのばらつき分等による影響を排除して正確なＧ１Ｋ
間隔に電子銃を組み立てることができる。また、従来の
ように陰極１表面の高さの計測において第１，第２電極
の小さな電子通過孔にエアマイクロメーターのノズルを
貫通させる必要がないため、エアマイクロメーターの小
さなノズル径による計測誤差を生じることなく陰極１表
面の高さの計測を行うことができ、第１，第２電極の電
子通過孔が極めて小さな高解像度でフォーカス特性の優
れた陰極線管用の電子銃の組立においても、正確なＧ１
Ｋ間隔に電子銃を組み立てることができる。
陰極１表面の高さの計測を陰極１が電子銃組立体２４に
挿入されていない状態で個別に行ってその後の陰極１表
面の高さを上下駆動機構１２による高さの変化量により
把握するとともに第１電極３の高さの計測を第１電極３
上面において行うことができるため、第１電極３の厚さ
等を計算に入れずに直接Ｇ１Ｋ間隔を計測することが可
能となる。従って、Ｇ１２間隔の計測よりさらに厳密に
行う必要があるＧ１Ｋ間隔の計測において第１電極３の
厚さのばらつき分等による影響を排除して正確なＧ１Ｋ
間隔に電子銃を組み立てることができる。また、従来の
ように陰極１表面の高さの計測において第１，第２電極
の小さな電子通過孔にエアマイクロメーターのノズルを
貫通させる必要がないため、エアマイクロメーターの小
さなノズル径による計測誤差を生じることなく陰極１表
面の高さの計測を行うことができ、第１，第２電極の電
子通過孔が極めて小さな高解像度でフォーカス特性の優
れた陰極線管用の電子銃の組立においても、正確なＧ１
Ｋ間隔に電子銃を組み立てることができる。
【００４４】 また、レーザ変位計１４の計測位置の走査
により陰極１表面の高さを計測し、複数の計測値の平均
値により陰極１表面の高さを決定するため、小さな第
１，第２電極の電子通過孔にノズルを貫通させて行う従
来のエアマイクロメーターによる陰極１表面の高さの計
測と比較して計測誤差を生じることなく、かつ高精度に
陰極表面の高さの計測を行うことができ、第１，第２電
極の電子通過孔が極めて小さな高解像度でフォーカス特
性の優れた陰極線管用の電子銃の組立においても、Ｇ１
Ｋ間隔を高精度に設定して組み立てることが可能であ
る。
により陰極１表面の高さを計測し、複数の計測値の平均
値により陰極１表面の高さを決定するため、小さな第
１，第２電極の電子通過孔にノズルを貫通させて行う従
来のエアマイクロメーターによる陰極１表面の高さの計
測と比較して計測誤差を生じることなく、かつ高精度に
陰極表面の高さの計測を行うことができ、第１，第２電
極の電子通過孔が極めて小さな高解像度でフォーカス特
性の優れた陰極線管用の電子銃の組立においても、Ｇ１
Ｋ間隔を高精度に設定して組み立てることが可能であ
る。
【００４５】 さらに、プローブ先端の曲率半径を２０ｍ
ｍ以上、計測時の各電極への接触力を２０ｇ以下とした
電気マイクロメータ８および１１により第１電極３と第
２電極４の高さの接触式計測を行うため、従来のノズル
のシルエットの認知による第１電極と第２電極の高さの
計測と比較して、光源の明るさの変化やほこりの影など
による計測誤差を生じることなく、正確にかつ迅速に、
また、プローブ先端により電極に傷を付けることなく各
電極の高さを計測することができる。
ｍ以上、計測時の各電極への接触力を２０ｇ以下とした
電気マイクロメータ８および１１により第１電極３と第
２電極４の高さの接触式計測を行うため、従来のノズル
のシルエットの認知による第１電極と第２電極の高さの
計測と比較して、光源の明るさの変化やほこりの影など
による計測誤差を生じることなく、正確にかつ迅速に、
また、プローブ先端により電極に傷を付けることなく各
電極の高さを計測することができる。
【００４６】 さらに、位置決め軸９ａの挿入により電子
銃組立体２４を位置決め固定した状態で電気マイクロメ
ータ８のプローブ８ａを挿通させて第２電極４の高さを
計測してこれと同時に第１電極３の上面を電気マイクロ
メータ１１により計測することができ、両電極の計測を
同時に短時間に行うことができるとともに、電子銃組立
装置を小型に構成することができる。
銃組立体２４を位置決め固定した状態で電気マイクロメ
ータ８のプローブ８ａを挿通させて第２電極４の高さを
計測してこれと同時に第１電極３の上面を電気マイクロ
メータ１１により計測することができ、両電極の計測を
同時に短時間に行うことができるとともに、電子銃組立
装置を小型に構成することができる。
【００４７】さらに、第１電極上面計測手段としての電
気マイクロメータ１１と陰極保持機構１０とを同一の支
持体１５により支持し、この支持体１５を移動させる上
下駆動機構１２により共通に駆動されるようにしてお
り、第１電極３上面と陰極１表面の計測を同一の上下駆
動機構１２の駆動により行って各計測の駆動手段の原点
を同一として単純な較正により高精度な計測を行うこと
が可能であるとともに、電子銃組立装置を小型に構成す
ることができる。
気マイクロメータ１１と陰極保持機構１０とを同一の支
持体１５により支持し、この支持体１５を移動させる上
下駆動機構１２により共通に駆動されるようにしてお
り、第１電極３上面と陰極１表面の計測を同一の上下駆
動機構１２の駆動により行って各計測の駆動手段の原点
を同一として単純な較正により高精度な計測を行うこと
が可能であるとともに、電子銃組立装置を小型に構成す
ることができる。
【００４８】 さらに、電気マイクロメータ８，電気マイ
クロメータ１１，レーザ変位計１４の各計測手段の間の
較正を行うための厚さが既知の基準治具１６，１７と基
準治具１６，１７を各計測手段の計測位置と退避位置と
の間で移動させる駆動機構１８等の基準治具駆動手段を
配置し、基準治具１６，１７を用いた較正を１時間毎な
どの定期的に行うようにしており、周囲の温度変化その
他の経時変化による各計測手段間の誤差要因を排除しな
がら高精度な計測を行い、これによりＧ１Ｋ間隔を高精
度に設定することができる。
クロメータ１１，レーザ変位計１４の各計測手段の間の
較正を行うための厚さが既知の基準治具１６，１７と基
準治具１６，１７を各計測手段の計測位置と退避位置と
の間で移動させる駆動機構１８等の基準治具駆動手段を
配置し、基準治具１６，１７を用いた較正を１時間毎な
どの定期的に行うようにしており、周囲の温度変化その
他の経時変化による各計測手段間の誤差要因を排除しな
がら高精度な計測を行い、これによりＧ１Ｋ間隔を高精
度に設定することができる。
【００４９】 従って、上記の実施の形態１によれば、コ
ンパクトな装置構成の電子銃組立装置により、電子銃組
立体２４に対して陰極１を正確なＧ１Ｋ間隔として位置
決め固定することができ、従来の陰極線管用電子銃はも
ちろん、第１，第２電極の電子通過孔がさらに小さい高
解像度でフォーカス特性の優れた陰極線管用の電子銃の
組立においても、最適なカットオフ電圧特性を有した電
子銃を迅速に製作することができる。
ンパクトな装置構成の電子銃組立装置により、電子銃組
立体２４に対して陰極１を正確なＧ１Ｋ間隔として位置
決め固定することができ、従来の陰極線管用電子銃はも
ちろん、第１，第２電極の電子通過孔がさらに小さい高
解像度でフォーカス特性の優れた陰極線管用の電子銃の
組立においても、最適なカットオフ電圧特性を有した電
子銃を迅速に製作することができる。
【００５０】 なお、上記の実施の形態１においては、走
査により得られた多数の計測値の平均値により陰極１表
面の位置ｈを決定したが、平均値の代わりに、最大値，
度数分布における最頻出値，中心値等の統計的に得られ
る値を用いてもよい。また、上記実施の形態１において
は、陰極１表面の高さの計測にレーザ変位計１４を用い
たが、陰極１表面の高さを非接触計測できるものであれ
ば、他の計測機器を陰極表面計測手段として用いてもよ
い。また、第２電極４の位置の計測において、第２電極
４の下面位置を計測したが、可能であれば上面位置を計
測してもよく、この場合は（４）式のＧ１２の計算にお
いて第２電極４の板厚の計測値ｔ2 を計算に入れる必要
がなくなる。
査により得られた多数の計測値の平均値により陰極１表
面の位置ｈを決定したが、平均値の代わりに、最大値，
度数分布における最頻出値，中心値等の統計的に得られ
る値を用いてもよい。また、上記実施の形態１において
は、陰極１表面の高さの計測にレーザ変位計１４を用い
たが、陰極１表面の高さを非接触計測できるものであれ
ば、他の計測機器を陰極表面計測手段として用いてもよ
い。また、第２電極４の位置の計測において、第２電極
４の下面位置を計測したが、可能であれば上面位置を計
測してもよく、この場合は（４）式のＧ１２の計算にお
いて第２電極４の板厚の計測値ｔ2 を計算に入れる必要
がなくなる。
【００５１】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、陰極以外の複数の電極を絶縁ガラスで所定の間隔
に支持した電子銃組立体を保持する電子銃組立体保持機
構と、前記陰極を保持する陰極保持機構と、前記陰極保
持機構および前記陰極を移動させる陰極駆動手段と、前
記電子銃組立体外部の陰極表面計測位置において陰極表
面の高さを非接触で計測する陰極表面計測手段と、前記
電子銃組立体保持機構により保持された前記電子銃組立
体の第１電極上面の高さを計測する第１電極上面計測手
段と、前記電子銃組立体保持機構により保持された前記
電子銃組立体の第２電極の高さを計測する第２電極計測
手段と、前記第２電極計測手段と前記第１電極上面計測
手段および前記陰極表面計測手段の間の較正を行う厚さ
が既知の基準冶具と、前記基準冶具を計測位置と退避位
置との間で移動させる基準冶具駆動手段とを備え、前記
第１電極上面計測手段と第２電極計測手段としてプロー
ブ先 端が凸形状の曲面に形成された電気マイクロメータ
を備えるように構成したので、周囲の温度変化その他の
経時変化による前記第２電極計測手段、前記第１電極上
面計測手段、前記陰極表面計測手段間の誤差要因を排除
しながら高精度な計測を行い、Ｇ１Ｋ間隔を高精度に設
定することができる。従って、Ｇ１Ｋ間隔の計測におい
て第1電極の厚さのばらつき分等による影響を排除して
正確なＧ１Ｋ間隔とし、最適なカットオフ電圧特性を有
した電子銃を安定して組み立てることが可能となる効果
がある。また、直接接触式で各電極の高さを計測するこ
とができるため、従来のノズルのシルエットの認知によ
る第１電極と第２電極の高さの計測と比較して、光源の
明るさの変化やほこりの影などによる計測誤差を生じる
ことなく、正確にかつ迅速に、また、プローブ先端によ
り電極に傷を付けることなく、各電極の高さを計測する
ことができる。その結果、第１、第２電極の電子通過光
が極めて小さな高解像度でフォーカス特性の優れた陰極
線管用の電子銃の組立においても、正確なＧ１Ｋ間隔と
して最適なカットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を
行なうことができる効果がある。
れば、陰極以外の複数の電極を絶縁ガラスで所定の間隔
に支持した電子銃組立体を保持する電子銃組立体保持機
構と、前記陰極を保持する陰極保持機構と、前記陰極保
持機構および前記陰極を移動させる陰極駆動手段と、前
記電子銃組立体外部の陰極表面計測位置において陰極表
面の高さを非接触で計測する陰極表面計測手段と、前記
電子銃組立体保持機構により保持された前記電子銃組立
体の第１電極上面の高さを計測する第１電極上面計測手
段と、前記電子銃組立体保持機構により保持された前記
電子銃組立体の第２電極の高さを計測する第２電極計測
手段と、前記第２電極計測手段と前記第１電極上面計測
手段および前記陰極表面計測手段の間の較正を行う厚さ
が既知の基準冶具と、前記基準冶具を計測位置と退避位
置との間で移動させる基準冶具駆動手段とを備え、前記
第１電極上面計測手段と第２電極計測手段としてプロー
ブ先 端が凸形状の曲面に形成された電気マイクロメータ
を備えるように構成したので、周囲の温度変化その他の
経時変化による前記第２電極計測手段、前記第１電極上
面計測手段、前記陰極表面計測手段間の誤差要因を排除
しながら高精度な計測を行い、Ｇ１Ｋ間隔を高精度に設
定することができる。従って、Ｇ１Ｋ間隔の計測におい
て第1電極の厚さのばらつき分等による影響を排除して
正確なＧ１Ｋ間隔とし、最適なカットオフ電圧特性を有
した電子銃を安定して組み立てることが可能となる効果
がある。また、直接接触式で各電極の高さを計測するこ
とができるため、従来のノズルのシルエットの認知によ
る第１電極と第２電極の高さの計測と比較して、光源の
明るさの変化やほこりの影などによる計測誤差を生じる
ことなく、正確にかつ迅速に、また、プローブ先端によ
り電極に傷を付けることなく、各電極の高さを計測する
ことができる。その結果、第１、第２電極の電子通過光
が極めて小さな高解像度でフォーカス特性の優れた陰極
線管用の電子銃の組立においても、正確なＧ１Ｋ間隔と
して最適なカットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を
行なうことができる効果がある。
【００５２】 請求項２記載の発明によれば、電気マイク
ロメータのプローブ先端の曲率半径を２０ｍｍ以上と
し、計測時の接触力を２０ｇ以下とするように構成した
ので、計測の際の第１電極および第２電極の変形や傷を
なくし、高精度に第１電極と第２電極の間隔を計測する
ことができる効果がある。
ロメータのプローブ先端の曲率半径を２０ｍｍ以上と
し、計測時の接触力を２０ｇ以下とするように構成した
ので、計測の際の第１電極および第２電極の変形や傷を
なくし、高精度に第１電極と第２電極の間隔を計測する
ことができる効果がある。
【００５３】 請求項３記載の発明によれば、第１電極上
面計測手段としての電気マイクロメータと陰極保持機構
とが同一の支持体により支持され、この支持体を移動さ
せる陰極駆動手段により共通に駆動されるように構成し
たので、第１電極上面と陰極表面の計測を同一の陰極駆
動手段の駆動により行うことができ、各計測の駆動手段
の原点を同一として単純な較正により高精度な計測を行
うことができるとともに、電子銃組立装置を小型に構成
することができる効果がある。
面計測手段としての電気マイクロメータと陰極保持機構
とが同一の支持体により支持され、この支持体を移動さ
せる陰極駆動手段により共通に駆動されるように構成し
たので、第１電極上面と陰極表面の計測を同一の陰極駆
動手段の駆動により行うことができ、各計測の駆動手段
の原点を同一として単純な較正により高精度な計測を行
うことができるとともに、電子銃組立装置を小型に構成
することができる効果がある。
【００５４】 請求項４記載の発明によれば、陰極表面計
測手段としてレーザ変位計を備えるように構成したの
で、小さな第１，第２電極の電子通過孔にノズルを貫通
させて行う従来のエアマイクロメーターによる陰極表面
の高さの計測と比較して計測誤差を生じることなく、か
つ極めて迅速・高精度に陰極表面の高さの計測を行うこ
とができ、第１，第２電極の電子通過孔が極めて小さな
高解像度でフォーカス特性の優れた陰極線管用の電子銃
の組立においても、Ｇ１Ｋ間隔を高精度に設定して最適
なカットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を迅速に行
うことができる効果がある。
測手段としてレーザ変位計を備えるように構成したの
で、小さな第１，第２電極の電子通過孔にノズルを貫通
させて行う従来のエアマイクロメーターによる陰極表面
の高さの計測と比較して計測誤差を生じることなく、か
つ極めて迅速・高精度に陰極表面の高さの計測を行うこ
とができ、第１，第２電極の電子通過孔が極めて小さな
高解像度でフォーカス特性の優れた陰極線管用の電子銃
の組立においても、Ｇ１Ｋ間隔を高精度に設定して最適
なカットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を迅速に行
うことができる効果がある。
【００５５】 請求項５記載の発明によれば、レーザ変位
計による陰極表面の高さの計測の際に前記陰極表面にお
ける計測位置を走査させることを可能に陰極駆動手段ま
たは前記レーザ変位計を設けるように構成したので、陰
極表面における計測位置を走査させて複数点の高さの計
測を行い、得られた複数個の計測値を用いて陰極表面の
高さを正確に決定してＧ１Ｋ間隔を高精度に設定し、最
適なカットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を行うこ
とができる効果がある。
計による陰極表面の高さの計測の際に前記陰極表面にお
ける計測位置を走査させることを可能に陰極駆動手段ま
たは前記レーザ変位計を設けるように構成したので、陰
極表面における計測位置を走査させて複数点の高さの計
測を行い、得られた複数個の計測値を用いて陰極表面の
高さを正確に決定してＧ１Ｋ間隔を高精度に設定し、最
適なカットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を行うこ
とができる効果がある。
【００５６】 請求項６記載の発明によれば、第１電極上
面計測手段，第２電極計測手段，および陰極表面計測手
段の間の較正を行うための所定の厚さの基準治具と、該
基準治具を前記各計測手段の計測位置と退避位置との間
で移動させる基準治具駆動手段を備えるように構成した
ので、基準治具を有効かつ容易に使用した較正により、
周囲の温度変化その他の原因による各計測手段間の誤差
要因を排除して高精度な計測を行い、これによりＧ１Ｋ
間隔を高精度に設定して最適なカットオフ電圧特性を有
した電子銃の製作を行うことができる効果がある。
面計測手段，第２電極計測手段，および陰極表面計測手
段の間の較正を行うための所定の厚さの基準治具と、該
基準治具を前記各計測手段の計測位置と退避位置との間
で移動させる基準治具駆動手段を備えるように構成した
ので、基準治具を有効かつ容易に使用した較正により、
周囲の温度変化その他の原因による各計測手段間の誤差
要因を排除して高精度な計測を行い、これによりＧ１Ｋ
間隔を高精度に設定して最適なカットオフ電圧特性を有
した電子銃の製作を行うことができる効果がある。
【００５７】 請求項７記載の発明によれば、電子銃組立
体外部の陰極表面計測位置において陰極表面の高さをレ
ーザ変位計で非接触で計測し、前記電子銃組立体の第１
電極上面の高さを計測し、前記電子銃組立体の第２電極
の高さを計測し、計測された前記第１電極上面の高さお
よび前記第２電極の高さと、計測により既知の第１電極
の厚さ等を用いて、前記電子銃組立体の第１電極と第２
電極の間隔を求め、求められた前記第１電極と第２電極
の間隔に対する、第１電極と陰極の間隔の最適値を電子
通過孔径等のデータを用いて演算し、前記陰極を前記陰
極表面計測位置から前記電子銃組立体の陰極組立位置ま
で移動させ、前記陰極表面計測位置における陰極表面の
高さに前記移動からの高さの変化量を加算した陰極組立
位置における陰極表面の高さと、前記第１電極上面の高
さとの差が、前記最適値となるまで前記陰極を前記電子
銃組立体に挿入することにより前記陰極を位置決めして
固定するように構成したので、小さな第１，第２電極の
電子通過孔にノズルを貫通させて行う従来のエアマイク
ロメーターによる陰極表面の高さの計測と比較して計測
誤差を生じることなく、かつ極めて迅速・高精度に陰極
表面の高さの計測を行うことができ、第１，第２電極の
電子通過孔が極めて小さな高解像度でフォーカス特性の
優れた陰極線管用の電子銃の組立においても、Ｇ１Ｋ間
隔を高精度に設定して最適なカットオフ電圧特性を有し
た電子銃の製作を迅速に行うことができる効果がある。
体外部の陰極表面計測位置において陰極表面の高さをレ
ーザ変位計で非接触で計測し、前記電子銃組立体の第１
電極上面の高さを計測し、前記電子銃組立体の第２電極
の高さを計測し、計測された前記第１電極上面の高さお
よび前記第２電極の高さと、計測により既知の第１電極
の厚さ等を用いて、前記電子銃組立体の第１電極と第２
電極の間隔を求め、求められた前記第１電極と第２電極
の間隔に対する、第１電極と陰極の間隔の最適値を電子
通過孔径等のデータを用いて演算し、前記陰極を前記陰
極表面計測位置から前記電子銃組立体の陰極組立位置ま
で移動させ、前記陰極表面計測位置における陰極表面の
高さに前記移動からの高さの変化量を加算した陰極組立
位置における陰極表面の高さと、前記第１電極上面の高
さとの差が、前記最適値となるまで前記陰極を前記電子
銃組立体に挿入することにより前記陰極を位置決めして
固定するように構成したので、小さな第１，第２電極の
電子通過孔にノズルを貫通させて行う従来のエアマイク
ロメーターによる陰極表面の高さの計測と比較して計測
誤差を生じることなく、かつ極めて迅速・高精度に陰極
表面の高さの計測を行うことができ、第１，第２電極の
電子通過孔が極めて小さな高解像度でフォーカス特性の
優れた陰極線管用の電子銃の組立においても、Ｇ１Ｋ間
隔を高精度に設定して最適なカットオフ電圧特性を有し
た電子銃の製作を迅速に行うことができる効果がある。
【００５８】 請求項８記載の発明によれば、レーザ変位
計による計測を行う際に、陰極表面上の走査を行い、得
られた計測値の集合から統計的に求められる値を陰極表
面の高さとするように構成したので、得られた計測値の
集合から統計的に求められる値を用いて陰極表面の高さ
を正確に決定してＧ１Ｋ間隔を高精度に設定し、最適な
カットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を行うことが
できる効果がある。
計による計測を行う際に、陰極表面上の走査を行い、得
られた計測値の集合から統計的に求められる値を陰極表
面の高さとするように構成したので、得られた計測値の
集合から統計的に求められる値を用いて陰極表面の高さ
を正確に決定してＧ１Ｋ間隔を高精度に設定し、最適な
カットオフ電圧特性を有した電子銃の製作を行うことが
できる効果がある。
【００５９】 請求項９記載の発明によれば、計測値の集
合から統計的に求められる値として平均値を用いるよう
に構成したので、得られた複数個の計測値の平均をとる
ことにより陰極表面の高さを正確に決定してＧ１Ｋ間隔
を高精度に設定し、最適なカットオフ電圧特性を有した
電子銃の製作を行うことができる効果がある。
合から統計的に求められる値として平均値を用いるよう
に構成したので、得られた複数個の計測値の平均をとる
ことにより陰極表面の高さを正確に決定してＧ１Ｋ間隔
を高精度に設定し、最適なカットオフ電圧特性を有した
電子銃の製作を行うことができる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１による電子銃組立装
置の構成および電子銃組立体の保持状態を示す概略図で
ある。
置の構成および電子銃組立体の保持状態を示す概略図で
ある。
【図２】 この発明の実施の形態１による電気マイクロ
メータ８と電気マイクロメータ１１の基準値の計測を示
す概略図である。
メータ８と電気マイクロメータ１１の基準値の計測を示
す概略図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による電気マイクロ
メータ１１とレーザ変位計１４の基準値の計測を示す概
略図である。
メータ１１とレーザ変位計１４の基準値の計測を示す概
略図である。
【図４】 図２における各値の関係を図式的に示した説
明図である。
明図である。
【図５】 図３における各値の関係を図式的に示した説
明図である。
明図である。
【図６】 この発明の実施の形態１による第１電極３お
よび第２電極４の計測動作を示す概略図である。
よび第２電極４の計測動作を示す概略図である。
【図７】 図６のＡ部拡大図である。
【図８】 この発明の実施の形態１による陰極表面位置
の計測動作を示す概略図である。
の計測動作を示す概略図である。
【図９】 図６における各値とｔＧ１２の関係を図式的
に示した説明図である。
に示した説明図である。
【図１０】 図６および図８における各値とＧ１Ｋ’の
関係を図式的に示した説明図である。
関係を図式的に示した説明図である。
【図１１】 この発明の実施の形態１による陰極の挿入
動作を示す概略図である。
動作を示す概略図である。
【図１２】 図１１のＢ部拡大図である。
【図１３】 特開平２ー２７６３５号公報に示された従
来の電子銃組立装置および電子銃組立方法を示す概略図
である。
来の電子銃組立装置および電子銃組立方法を示す概略図
である。
【図１４】 電子銃組立体に陰極が取り付けられた状態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１ 陰極、３ 第１電極（電極）、４ 第２電極（電
極）、５ 第３電極（電極）、８ 電気マイクロメータ
（第２電極計測手段）、８ａ，１１ａ プローブ、９
電子銃組立体保持機構、９ａ 位置決め軸、１０ 陰極
保持機構、１１電気マイクロメータ（第１電極上面計測
手段）、１２ 上下駆動機構（陰極駆動手段）、１３
ＸＹ駆動機構（陰極駆動手段）、１４ レーザ変位計
（陰極表面計測手段）、１５ 支持体、１６，１７ 基
準治具、１８ 駆動機構（基準治具駆動手段）、２４
電子銃組立体。
極）、５ 第３電極（電極）、８ 電気マイクロメータ
（第２電極計測手段）、８ａ，１１ａ プローブ、９
電子銃組立体保持機構、９ａ 位置決め軸、１０ 陰極
保持機構、１１電気マイクロメータ（第１電極上面計測
手段）、１２ 上下駆動機構（陰極駆動手段）、１３
ＸＹ駆動機構（陰極駆動手段）、１４ レーザ変位計
（陰極表面計測手段）、１５ 支持体、１６，１７ 基
準治具、１８ 駆動機構（基準治具駆動手段）、２４
電子銃組立体。
フロントページの続き (72)発明者 前薗 修一 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三菱電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−27635（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−290726（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−160633（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−338255（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/18
Claims (9)
- 【請求項１】 陰極以外の複数の電極を絶縁ガラスで所
定の間隔に支持した電子銃組立体を保持する電子銃組立
体保持機構と、前記陰極を保持する陰極保持機構と、前
記陰極保持機構および前記陰極を移動させる陰極駆動手
段と、前記電子銃組立体外部の陰極表面計測位置におい
て陰極表面の高さを非接触で計測する陰極表面計測手段
と、前記電子銃組立体保持機構により保持された前記電
子銃組立体の第１電極上面の高さを計測する第１電極上
面計測手段と、前記電子銃組立体保持機構により保持さ
れた前記電子銃組立体の第２電極の高さを計測する第２
電極計測手段と、前記第２電極計測手段と前記第１電極
上面計測手段および前記陰極表面計測手段の間の較正を
行う厚さが既知の基準冶具と、前記基準冶具を計測位置
と退避位置との間で移動させる基準冶具駆動手段とを備
え、前記第１電極上面計測手段と第２電極計測手段とし
てプローブ先端が凸形状の曲面に形成された電気マイク
ロメータを備えていることを特徴とする電子銃組立装
置。 - 【請求項２】 電気マイクロメータのプローブ先端の曲
率半径を２０ｍｍ以上とし、計測時の接触力を２０ｇ以
下としたことを特徴とする請求項１記載の電子銃組立装
置。 - 【請求項３】 第１電極上面計測手段としての電気マイ
クロメータと陰極保持機構とが同一の支持体により支持
され、該支持体を移動させる陰極駆動手段により共通に
駆動されることを特徴とする請求項２記載の電子銃組立
装置。 - 【請求項４】 陰極表面計測手段としてレーザ変位計を
備えたことを特徴とする請求項２または請求項３記載の
電子銃組立装置。 - 【請求項５】 レーザ変位計による陰極表面の高さの計
測の際に前記陰極表面における計測位置を走査させるこ
とを可能に陰極駆動手段または前記レーザ変位計を設け
たことを特徴とする請求項４記載の電子銃組立装置。 - 【請求項６】 第１電極上面計測手段，第２電極計測手
段，および陰極表面計測手段の間の較正を行うための所
定の厚さの基準治具と、該基準治具を前記各計測手段の
計測位置と退避位置との間で移動させる基準治具駆動手
段を備えたことを特徴とする請求項１から請求項５のう
ちのいずれか１項記載の電子銃組立装置。 - 【請求項７】 複数の電極を絶縁ガラスで所定の間隔に
支持した電子銃組立体に陰極を位置決めして固定する電
子銃組立方法において、前記電子銃組立体外部の陰極表
面計測位置において陰極表面の高さをレーザ変位計で非
接触で計測し、前記電子銃組立体の第１電極上面の高さ
を計測し、前記電子銃組立体の第２電極の高さを計測
し、計測された前記第１電極上面の高さおよび前記第２
電極の高さと、計測により既知の第１電極の厚さ等を用
いて、前記電子銃組立体の第１電極と第２電極の間隔を
求め、求められた前記第１電極と第２電極の間隔に対す
る、第１電極と陰極の間隔の最適値を電子通過孔径等の
データを用いて演算し、前記陰極を前記陰極表面計測位
置から前記電子銃組立体の陰極組立位置まで移動させ、
前記陰極表面計測位置における陰極表面の高さに前記移
動からの高さの変化量を加算した陰極組立位置における
陰極表面の高さと、前記第１電極上面の高さとの差が、
前記最適値となるまで前記陰極を前記電子銃組立体に挿
入することにより前記陰極を位置決めして固定すること
を特徴とする電子銃組立方法。 - 【請求項８】 レーザ変位計による計測を行う際に、陰
極表面上の走査を行い、得られた計測値の集合から統計
的に求められる値を陰極表面の高さとすることを特徴す
る請求項７記載の電子銃組立方法。 - 【請求項９】 計測値の集合から統計的に求められる値
として平均値を用いることを特徴する請求項８記載の電
子銃組立方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04196996A JP3338275B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 電子銃組立装置および電子銃組立方法 |
| US08/686,402 US5749760A (en) | 1996-02-28 | 1996-07-25 | Electron gun assembling apparatus and method of assembling electron gun |
| DE69606017T DE69606017T2 (de) | 1996-02-28 | 1996-07-26 | Elektronenkanone-Montageeinrichtung und Montageverfahren der Elektronenkanone |
| EP96112119A EP0793250B1 (en) | 1996-02-28 | 1996-07-26 | Electron gun assembling apparatus and method of assembling electron gun |
| KR1019960036644A KR100207166B1 (ko) | 1996-02-28 | 1996-08-30 | 전자총 조립장치 및 전자총 조립방법 |
| CN96112068A CN1073270C (zh) | 1996-02-28 | 1996-11-08 | 电子枪的装配设备和装配方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04196996A JP3338275B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 電子銃組立装置および電子銃組立方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09237574A JPH09237574A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3338275B2 true JP3338275B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=12623029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04196996A Expired - Fee Related JP3338275B2 (ja) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | 電子銃組立装置および電子銃組立方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5749760A (ja) |
| EP (1) | EP0793250B1 (ja) |
| JP (1) | JP3338275B2 (ja) |
| KR (1) | KR100207166B1 (ja) |
| CN (1) | CN1073270C (ja) |
| DE (1) | DE69606017T2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10188800A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-21 | Sony Corp | 電子銃の組立方法及び組立装置 |
| TW416084B (en) * | 1998-04-15 | 2000-12-21 | Koninkl Philips Electronics Nv | Method of manufacturing a cathode ray tube and device for inspecting an electron gun |
| DE19857791B4 (de) * | 1998-12-15 | 2008-07-17 | Samtel Electron Devices Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Elektronenstrahlröhre, Verfahren zur Messung der relativen Position von Elektroden eines Strahlsystems einer solchen Elektronenstrahlröhre und Anordnung zur Durchführung eines solchen Verfahrens |
| US6469433B1 (en) * | 2000-01-28 | 2002-10-22 | Extreme Devices Incorporated | Package structure for mounting a field emitting device in an electron gun |
| JP2001250476A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Sony Corp | 電子銃の組み立て方法及び組み立て装置。 |
| JP2003173736A (ja) * | 2001-12-05 | 2003-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管用電子銃の組立検査装置 |
| CN101699611B (zh) * | 2009-10-23 | 2011-06-22 | 江苏达胜加速器制造有限公司 | 一种电子枪的装配方法 |
| CN109968271B (zh) * | 2019-04-08 | 2024-01-05 | 核工业理化工程研究院 | 电子枪装配调试平台及使用方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4259610A (en) * | 1977-09-12 | 1981-03-31 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Electron gun assembly for cathode ray tubes and method of assembling the same |
| JPS60117524A (ja) * | 1983-11-29 | 1985-06-25 | Toshiba Corp | 陰極線管用電子銃の製造方法 |
| JPS60193230A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-01 | Toshiba Corp | 陰極線管の電極組立方法およびその装置 |
| FR2616268B1 (fr) * | 1987-06-05 | 1991-02-01 | Videocolor | Machine d'implantation de cathode de tube cathodique |
| FR2625837B1 (fr) * | 1988-01-13 | 1990-11-09 | Videocolor | Perfectionnement aux machines d'implantation de cathode dans un canon de tube cathodique |
| JPH01227004A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-11 | Hitachi Ltd | 電子銃の電極間隔の測定装置および測定方法 |
| JPH0828184B2 (ja) * | 1988-07-15 | 1996-03-21 | 三菱電機株式会社 | 電子銃組立装置 |
| JPH03133023A (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-06 | Hokuto Denshi Kogyo Kk | 電子銃の組立方法 |
-
1996
- 1996-02-28 JP JP04196996A patent/JP3338275B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-25 US US08/686,402 patent/US5749760A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-26 EP EP96112119A patent/EP0793250B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-26 DE DE69606017T patent/DE69606017T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-30 KR KR1019960036644A patent/KR100207166B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-11-08 CN CN96112068A patent/CN1073270C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0793250B1 (en) | 2000-01-05 |
| EP0793250A1 (en) | 1997-09-03 |
| KR100207166B1 (ko) | 1999-07-15 |
| DE69606017D1 (de) | 2000-02-10 |
| KR970063324A (ko) | 1997-09-12 |
| CN1073270C (zh) | 2001-10-17 |
| US5749760A (en) | 1998-05-12 |
| DE69606017T2 (de) | 2000-08-03 |
| JPH09237574A (ja) | 1997-09-09 |
| CN1158488A (zh) | 1997-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3338275B2 (ja) | 電子銃組立装置および電子銃組立方法 | |
| US6576902B2 (en) | Correction method of scanning electron microscope | |
| CN111487441A (zh) | 基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法 | |
| JP2986141B2 (ja) | プローブ装置 | |
| JPH11125520A (ja) | 半導体ウエハ支持用部材及び半導体ウエハの平面度測定装置 | |
| JP4901317B2 (ja) | プローバ及び平行度調整方法 | |
| JPS60254615A (ja) | 電子ビーム露光における温度測定方法 | |
| JP3753944B2 (ja) | 配列精度測定装置及びその方法 | |
| JP3516109B2 (ja) | 電子銃の製造方法およびその装置 | |
| JPS60193230A (ja) | 陰極線管の電極組立方法およびその装置 | |
| JP7340761B2 (ja) | 測定用プローブ | |
| JPH01227004A (ja) | 電子銃の電極間隔の測定装置および測定方法 | |
| JP3189510B2 (ja) | 電子銃カソード構造体の組立方法 | |
| JP2008218167A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP3409361B2 (ja) | 電子銃カソードの組立装置及びその組立方法 | |
| JPH07167620A (ja) | レーザ測定方法および測定針 | |
| JPH10233161A (ja) | 陰極構体の組立方法及び陰極と第１グリッドの平行度測定方法 | |
| CN116125102A (zh) | 原子力显微镜及其探针校准方法 | |
| JPH0225702A (ja) | 走査型トンネルマイクロスコープ並びに走査型トンネルスペクトロスコープ | |
| JP2003059406A (ja) | 電子銃の測定方法およびその装置、並びに電子銃の組立方法およびその装置 | |
| KR20030046298A (ko) | 음극선관용 전자총의 조립 및 검사를 위한 장치 | |
| KR20050001090A (ko) | 초점 보조 패턴이 형성된 실린더를 갖는 전자총 | |
| JPH0296606A (ja) | 微小寸法測定装置 | |
| JPH10125225A (ja) | 陰極構体の製造方法 | |
| JPH0783650A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の計測データ補正方法および計測角度誤差検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070809 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080809 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080809 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090809 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |