JP2003059406A - 電子銃の測定方法およびその装置、並びに電子銃の組立方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第１電極１とカソード４との間隔とともに第
１電極１の電極孔1aおよびカソード４の各中心位置を測
定できる電子銃の測定方法を提供する。 【解決手段】 レーザ変位計によって第１電極１の電極
孔1aを走査し、第１電極１の電極孔1aの中心を測定す
る。レーザ変位計によって第１電極１の電極孔1aを通じ
て第１電極１の電極孔1aに離間対向するカソード４の端
面を走査し、カソード４の中心および距離を測定する。
測定では、レーザ変位計の走査位置とこの走査位置に対
応するレーザ変位計の測定値とに基づき、第１電極１の
電極孔1aの中心、カソード４の中心および距離を求め
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、第１電極とこの第
１電極の電極孔に離間対向されるカソードとの相対位置
を測定する電子銃の測定方法およびその装置、並びに、
第１電極とこの第１電極の電極孔に離間対向されるカソ
ードとの相対位置を測定して組み立てる電子銃の組立方
法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、陰極線管に用いられる電子銃で
は、図７に示すように、第１電極１から順に複数の電極
が配列されて構成される制御電極群２を組み立てた電子
銃組立体３に対して、第１電極１各電極孔1aに規定量だ
け離間した対向状態に電子源となるカソード４を配置し
て一体化している。

【０００３】そして、電子銃を組み立てる組立工程で
は、例えば、特開平５−１９００９７号公報に記載され
ているように、第１電極１とカソード４との間隔を測定
し、その間隔を規定量に位置合わせしたうえで、第１電
極１とカソード４とを一体化している。

【０００４】この電子銃の組立工程では、まず、図８
(a)に示すように、第１電極１とカソード４との間隔の
規定量Ａと同じ深さの溝部6aが設けられたダミーカソー
ド６を第１電極１に押し当て、エアマイクロメータのエ
アマイクロノズル７を電子銃組立体３の制御電極群２内
を通じて第１電極１の電極孔1aに挿入し、エアマイクロ
ノズル７からエアを供給し、このときダミーカソード６
の溝部6aを通じて流れるエアの流量を測定する。

【０００５】続いて、図８(b)に示すように、ダミーカ
ソード６に代えてカソード４を第１電極１に接近させな
がら、エアマイクロノズル７から供給するエアの流量の
変化を測定し、この測定される値がダミーカソード６の
ときに測定したエアの流量と同等となる位置に位置合わ
せし、第１電極１とカソード４とを一体化する。これに
より、第１電極１とカソード４とを規定量Ａだけ離した
状態に一体化することになる。

【０００６】近年、電子銃のフォーカス性能の向上を図
るために、第１電極１の電極孔1aの小径化が要求されて
いる。第１電極１の電極孔1aの孔径が小径化された場
合、エアマイクロノズル７の小径化も必要になるが、小
径のエアマイクロノズル７を製作することが困難となっ
てきている。また、図９に示すように、エアマイクロメ
ータ送り量に対するエアマイクロメータ表示値の関係に
おいて、図９(a)に示す通常の径のエアマイクロノズル
７の場合に比べて、図９(b)に示す小径化されたエアマ
イクロノズル７の場合には、エアマイクロメータ送り量
に対するエアマイクロメータ表示値の立ち上がりが急激
となるため、カソード４を第１電極１に対して規定量Ａ
だけ離れた位置で停止させることが困難になってくる。
以上の２つの理由から従来のエアマイクロメータ方式で
は、第１電極１の電極孔1aの小径化に対応するのは困難
となっている。

【０００７】また、カソード４の端面が平面状の場合に
はエアの流量の変化量で位置合わせするエアマイクロメ
ータ方式で問題なかったが、電子銃の特性向上のために
カソード４の端面が球あるいは一定の２次元形状を回転
軸中心に回転してできるような凸または凹に形成されて
いる場合、カソード４と第１電極１との間隔だけでな
く、カソード４と第１電極１の円または楕円形状の電極
孔1aとの中心位置も規定範囲内に位置合わせする必要が
ある。しかし、従来のエアマイクロメータ方式では、カ
ソード４の中心および第１電極１の電極孔1aの中心とも
測定できず、カソード４と第１電極１の電極孔1aとの中
心位置の位置合わせは困難となっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、エア
マイクロメータ方式では、第１電極１の電極孔1aの小径
化に対応するのは困難であり、また、カソード４の端面
が球あるいは一定の２次元形状を回転軸中心に回転して
できるような凸または凹の構造の場合に、カソード４と
第１電極１の電極孔1aとの中心位置も規定範囲内に位置
合わせする必要があるが、カソード４の中心および第１
電極１の電極孔1aの中心とも測定できず、カソード４と
第１電極１の電極孔1aとの中心位置の位置合わせは困難
となっている。

【０００９】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、第１電極の電極孔の小径化に対応にでき、第１電
極とカソードとの間隔とともに第１電極の電極孔および
カソードの各中心位置を測定できる電子銃の測定方法お
よびその装置、並びに、第１電極の電極孔の小径化に対
応にでき、第１電極とカソードとの間隔とともに第１電
極の電極孔およびカソードの各中心位置を測定して組み
立てることができる電子銃の組立方法およびその装置を
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ変位計
により電子銃の第１電極の電極孔を走査して第１電極の
電極孔の中心を測定するとともに、レーザ変位計により
第１電極の電極孔を通じて第１電極の電極孔に離間対向
されるカソードの端面を走査してカソードの中心および
距離を測定するものである。

【００１１】そして、レーザ変位計によって電子銃の第
１電極の電極孔を走査することにより、第１電極の電極
孔の中心が測定されるとともに、レーザ変位計によって
第１電極の電極孔を通じて第１電極の電極孔に離間対向
するカソードの端面を走査することにより、カソードの
中心および距離が測定される。レーザ変位計を用いるこ
とにより、第１電極の電極孔の小径化に対応可能とさ
れ、しかも、カソードの端面が球あるいは一定の２次元
形状を回転軸中心に回転してできるような凸または凹の
場合でも、第１電極とカソードとの各中心位置が測定さ
れて、それら第１電極とカソードとの相対位置を正確に
測定可能となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面を参照して説明する。

【００１３】なお、従来の技術で説明した構成と同一構
成については同一符号を用いてその説明を省略する。

【００１４】図２に電子銃の組立装置11を示し、この組
立装置11は、電子銃組立体３を保持する電子銃保持台と
してのチャックステージ12、ダミーカソード６を保持す
るダミーカソードユニット13、カソード４を保持するカ
ソード保持台14、第１電極１とダミーカソード６または
カソード４との相対位置を測定する測定装置15を備えて
いる。

【００１５】チャックステージ12は、基台17上に配設さ
れており、ダミーカソードユニット13およびカソード保
持台14側に対向する正面位置には、これらダミーカソー
ドユニット13およびカソード保持台14側に第１電極１が
向く略水平姿勢で、電子銃組立体３を着脱可能に位置決
め保持する電子銃組立体チャック18が配設されている。

【００１６】ダミーカソードユニット13は、チャックス
テージ12の正面に対向する位置から側方にずれた位置に
設置される基台20上に配設されており、この基台20上に
はチャックステージ12の正面に対して接近移動および離
反移動させる移動機構21が配設されている。移動機構21
上には、モータ22によって回動される回動軸23にアーム
24が固定され、このアーム24の先端にダミーカソード６
を着脱可能に位置決め保持するダミーカソードチャック
25が取り付けられている。そして、モータ22の駆動によ
りアーム24が揺動され、アーム24の先端のダミーカソー
ド６が、チャックステージ12に保持された電子銃組立体
３の第１電極１の電極孔1aと同軸に対向配置される測定
位置と、第１電極１の電極孔1aに対向する位置から側方
に退避される退避位置とに移動される。

【００１７】カソード保持台14は、チャックステージ12
の正面に対向する位置に設置された基台27上に配設され
ているとともに、この基台27上に沿って移動するスライ
ダ28を介してチャックステージ12の正面に対して接近移
動および離反移動するように配設されている。カソード
保持台14のチャックステージ12に対向する対向面にはカ
ソード４を着脱可能に位置決め保持するカソードチャッ
ク29が配設されている。スライダ28上には、カソードチ
ャック29を支持し、このカソードチャック29で保持した
カソード４の中心を第１電極１の電極孔1aの中心に位置
合わせするとともにカソード４と第１電極１との間隔を
規定量Ａに位置合わせする位置合わせ手段としての位置
合わせ機構30が配設されている。

【００１８】測定装置15は、チャックステージ12の基台
17の側部に設置される基台32上に配設されており、チャ
ックステージ12に保持された電子銃組立体３の第１電極
１の電極孔1aに対向してスポット径が微小なレーザ光を
投受光して変位量を計測するレーザフォーカス変位計と
してのレーザ変位計33を有している。基台32には、レー
ザ変位計33を支持し、このレーザ変位計33を移動させて
第１電極１の電極孔1aおよびカソード４の端面を走査つ
まりスキャンする走査手段としてのスキャンステージ34
が配設されている。

【００１９】また、図１および図３に示すように、ダミ
ーカソード６の端面には、第１電極１とカソード４との
間隔の規定量Ａと同じ深さであって例えば０．１ｍｍ程
度の溝部6aが形成されている。カソード４の端面には、
電子銃の特性向上のために球あるいは一定の２次元形状
を回転軸中心に回転してできる凹部4aが形成されてい
る。

【００２０】また、測定装置15は、レーザ変位計33の走
査位置とこの走査位置に対応するレーザ変位計33の測定
値とに基づき、第１電極１の電極孔1aの中心を求めると
ともにカソード４の中心および距離を求める演算手段36
を有している。この演算手段36は、測定装置15の有する
制御部が備えていてもよいし、組立装置11による一連の
電子銃の組立工程を制御する制御部が備えていてもよ
い。

【００２１】また、測定装置15で測定された測定値を記
憶するために図示しない測定値記憶部を備えている。こ
の測定値記憶部は、測定装置15の有する制御部が備えて
いてもよいし、組立装置11による一連の電子銃の組立工
程を制御する図示しない制御部が備えていてもよい。

【００２２】次に、組立装置11による電子銃の組立手順
を説明する。

【００２３】電子銃組立体３をチャックステージ12に位
置決め保持し、ダミーカソードユニット13のダミーカソ
ード６を測定位置に回動させて電子銃組立体３の第１電
極１の電極孔1aの軸線上に位置させ、図１(a)に示すよ
うに、ダミーカソードユニット13を電子銃組立体３へ向
けて前進させ、ダミーカソード６を電子銃組立体３の第
１電極１の電極孔1aの周囲に押し当てる。

【００２４】ダミーカソード６を第１電極１に押し当て
たら、レーザ変位計33からレーザ光Ｌを発して測定を開
始する。レーザ光Ｌは、電子銃組立体３の複数の制御電
極群２の電極孔を通過し、最終的に最も孔径が小さい第
１電極１の電極孔1aを通過し、ダミーカソード６の溝部
6aに到達する。レーザ変位計33をスキャンステージ34に
より走査移動させ、第１電極１の電極孔1aおよびダミー
カソード６の溝部6aを走査し、レーザ変位計33からダミ
ーカソード６の溝部6aまでの距離に関するデータを測定
する。測定値は、測定装置15の有する制御部または組立
装置11による一連の電子銃の組立工程を制御する制御部
が備える測定値記憶部に記憶する。

【００２５】ダミーカソード６の測定後、ダミーカソー
ド６を電子銃組立体３から後退させるとともに側方の退
避位置に逃がす。

【００２６】ダミーカソード６の退避後、図１(b)に示
すように、カソード保持台14をスライダ28を介して電子
銃組立体３へ向けて前進させ、カソード４を電子銃組立
体３の第１電極１に規定量Ａだけ離れた位置に移動さ
せ、レーザ変位計33からレーザ光Ｌを発して測定を開始
する。レーザ光Ｌは、電子銃組立体３の複数の制御電極
群２の電極孔を通過し、最終的に最も孔径が小さい第１
電極１の電極孔1aを通過し、カソード４の凹部4aに到達
する。レーザ変位計33をスキャンステージ34により走査
移動させ、第１電極１の電極孔1aおよびカソード４の凹
部4aを走査し、第１電極１の電極孔1aの中心およびレー
ザ変位計33からカソード４の凹部4aまでの距離に関する
データを測定する。測定値は、測定装置15の有する制御
部または組立装置11による一連の電子銃の組立工程を制
御する制御部が備える測定値記憶部に記憶する。

【００２７】そして、測定の結果、測定値記憶部に記憶
されたダミーカソード６の場合の測定値とカソード４の
場合の測定値とを比較し、レーザ変位計33からカソード
４の凹部4aまでの距離が先に測定したレーザ変位計33か
らダミーカソード６の溝部6aまでの距離と一致するかず
れが規定内で、かつ、第１電極１の電極孔1aの中心位置
とカソード４の中心位置とが一致するかずれが規格内な
ら、カソード４を電子銃組立体３に溶接などによって一
体化する。

【００２８】距離または中心位置のいずれか一方でも規
格外なら、間隔に関してはカソード保持台14を移動さ
せ、中心位置に関してはチャックステージ12を差額分動
かし、それぞれを規格内に納め、最終的にカソード４と
電子銃組立体３とを溶接などによって一体化する。

【００２９】また、カソード４と電子銃組立体３とを溶
接などによって一体化した後、再度、測定装置15により
第１電極１とカソード４との相対位置を測定し、良否を
確認する。

【００３０】次に、第１電極１の電極孔1aの中心位置の
算出方法について説明する。

【００３１】図４(a)に示すように、レーザ変位計33か
ら発したレーザ光Ｌを、第１電極１の電極孔1aをＸ軸方
向に交互に横切るように走査するとともに、第１電極１
の電極孔1aをＹ軸方向に交互に横切るように走査し、第
１電極１の電極孔1aを格子状に走査する。

【００３２】レーザ光Ｌが電極孔1aを横切る際には電極
孔1aの縁部位置で測定値が変化し、この変位点が電極孔
1aを横切る１直線毎に変位点が２点ずつ得られる。図４
(b)には、Ｘ軸方向に走査した際の変位点を○で示し、
Ｙ軸方向に走査した際の変位点を×で示す。

【００３３】そして、取得された変位点のデータを円の
最小自乗近似式に当てはめることにより、電極孔1aの中
心位置を求めることができる。

【００３４】次に、カソード４の凹部4aの中心位置の算
出方法について説明する。

【００３５】図５(a)に示すように、第１電極１の電極
孔1aを格子状に走査する際に、カソード４の凹部4aを同
時に走査する。すなわち、レーザ変位計33から発したレ
ーザ光Ｌを、カソード４の凹部4aをＸ軸方向に交互に横
切るように走査するとともに、カソード４の凹部4aをＹ
軸方向に交互に横切るように走査し、カソード４の凹部
4aを格子状に走査する。

【００３６】レーザ光Ｌがカソード４の凹部4aを横切る
１直線毎に取得されたデータを二次多項式近似にかけ、
最も窪んだ底位置を求める。

【００３７】例えば、図５(b)に示すように、レーザ光
Ｌがカソード４の凹部4aをＸ軸方向に横切る１直線毎
に、取得されたデータを二次多項式近似にかけ、○で示
すように最も窪んだ底位置を求める。底位置の複数の値
から平均値を取ることで、底位置のｙ成分を求める。

【００３８】図６(a)に示すように、レーザ光Ｌがカソ
ード４の凹部4aをＹ軸方向に横切る１直線毎に、取得さ
れたデータを二次多項式近似にかけ、×で示すように最
も窪んだ底位置を求める。底位置の複数の値から平均値
を取ることで、底位置のｘ成分を求める。

【００３９】そして、図６(b)に示すように、求められ
た底位置のｙ成分とｘ成分とから、それらの交点である
中心ｏを求めることにより、カソード４の凹部4aの中心
位置を求めることができる。

【００４０】以上のように、測定装置15では、レーザ変
位計33によって電子銃組立体３の第１電極１の電極孔1a
を走査することにより、第１電極１の電極孔1aの中心を
測定できるとともに、レーザ変位計33によって第１電極
１の電極孔1aを通じて第１電極１の電極孔1aに離間対向
するカソード４の端面を走査することにより、カソード
４の中心および距離を測定でき、そのため、第１電極１
の電極孔1aの小径化に対応にできるとともに、カソード
４の端面が球あるいは一定の２次元形状を回転軸中心に
回転してできるような凸または凹の場合でも第１電極１
とカソード４との各中心位置を測定できてそれら第１電
極１とカソード４との相対位置を正確に測定できる。

【００４１】また、レーザ変位計33から発せられるレー
ザ光Ｌのスポット径は極微小なため、点測定のままだと
測定面の傾きや測定表面の粗さの影響を受けやすく、レ
ーザ光Ｌが測定面に当たる位置によって測定結果が大き
く異なるが、走査によって点測定ではなく面測定にする
ことで、測定表面の凹凸などの影響が少なくなり、精度
の良い測定結果が得られる。

【００４２】また、レーザ変位計33の走査位置とこの走
査位置に対応するレーザ変位計33の測定値とに基づき、
第１電極１の電極孔1aの中心を求めるとともにカソード
４の中心および距離を求めることができる。

【００４３】また、組立装置11では、測定装置15を用い
ることにより、第１電極１の電極孔1aの中心とカソード
４の中心とを確実に位置合わせできるとともに、第１電
極１とカソード４との間隔を規定値に確実に位置合わせ
でき、このように確実に位置合わせした状態でこれら第
１電極１とカソード４とを一体化できる。

【００４４】そして、第１電極１の電極孔1aの小径化が
可能となるため、電子銃のフォーカス性能が向上し、よ
り高品位の陰極線管を得ることができる。

【００４５】なお、カソード４の端面の形状は、球ある
いは一定の２次元形状を回転軸中心に回転してできる凹
の場合に限らず、球あるいは一定の２次元形状を回転軸
中心に回転してできる凸の場合でも、測定装置15によっ
て凸の頂上を求め、中心位置を測定することができる。

【００４６】なお、カソード４から第１電極１までの距
離とカソード４からレーザ変位計33まで距離との関係を
予め記憶し、この予め記憶された関係から、指定入力さ
れたカソード４から第１電極１までの距離すなわち規定
量Ａに対応するカソード４からレーザ変位計33までの距
離を設定することにより、この設定されたカソード４か
らレーザ変位計33までの距離に、レーザ変位計33で測定
されるカソード４との距離が一致するように位置合わせ
することもできる。これにより、電子銃の種類に応じて
規定量Ａの寸法が異なる場合でも、カソード４から第１
電極１までの距離すなわち規定量Ａの値を指定入力する
だけでよく、ダミーカソード６による規定量Ａの測定工
程を省略でき、製造効率を向上できる。この場合、電子
銃の組立装置としては、カソード４から第１電極１まで
の距離とカソード４からレーザ変位計33まで距離との関
係を予め記憶する記憶手段と、カソード４から第１電極
１までの距離を指定入力する入力手段と、記憶手段に記
憶された関係から、入力手段で指定入力されたカソード
４から第１電極までの距離に対応するカソード４からレ
ーザ変位計33までの距離を設定する距離設定手段と、こ
の距離設定手段で設定されたカソード４からレーザ変位
計33までの距離にレーザ変位計33で測定されるカソード
４との距離が一致するように位置合わせする位置合わせ
手段とを備える。

【００４７】

【発明の効果】本発明によれば、レーザ変位計によって
電子銃の第１電極の電極孔を走査することにより、第１
電極の電極孔の中心を測定できるとともに、レーザ変位
計によって第１電極の電極孔を通じて第１電極の電極孔
に離間対向するカソードの端面を走査することにより、
カソードの中心および距離を測定でき、そのため、第１
電極の電極孔の小径化に対応にできるとともに、カソー
ドの端面が球あるいは一定の２次元形状を回転軸中心に
回転してできるような凸または凹の場合でも第１電極と
カソードとの各中心位置を測定できてそれら第１電極と
カソードとの相対位置を正確に測定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示し、(a)は測定装置
によるダミーカソードの測定状態を示す説明図、(b)は
測定装置によるカソードの測定状態を示す説明図であ
る。

【図２】同上測定装置を適用した組立装置の構成図であ
る。

【図３】同上組立装置、(a)はダミーカソードの斜視
図、(b)はカソードの側面図である。

【図４】同上測定装置による第１電極の電極孔の中心位
置の測定方法を示し、(a)は測定装置による第１電極の
電極孔の走査を説明する説明図、(b)は走査によって変
位点を求める説明図である。

【図５】同上測定装置によるカソードの中心位置の測定
方法を示し、(a)は測定装置によるカソードの走査を説
明する説明図、(b)はＸ方向の走査によって低位置およ
びｙ成分を求める説明図である。

【図６】同上測定装置によるカソードの中心位置の測定
方法を示し、(a)はＹ方向の走査によって低位置および
ｘ成分を求める説明図、(b)はｙ成分とｘ成分とによっ
て中心位置を求める説明図である。

【図７】電子銃組立体の断面図である。

【図８】従来の測定装置を示し、(a)はダミーカソード
の測定状態を示す説明図、(b)はカソードの測定状態を
示す説明図である。

【図９】従来の測定装置におけるエアマイクロメータ送
り量に対するエアマイクロメータ表示値の関係を示し、
(a)は通常の径のエアマイクロノズルの場合のグラフ、
(b)は小径化されたエアマイクロノズル場合のグラフで
ある。

【符号の説明】

１ 第１電極 1a 電極孔 ４ カソード 11 組立装置 12 電子銃保持台としてのチャックステージ 14 カソード保持台 15 測定装置 30 位置合わせ手段としての位置合わせ機構 33 レーザ変位計 34 走査手段としてのスキャンステージ 36 演算手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 修 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２ 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 島扇 利雄 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２ 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 宮川 毅 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術センター内 Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA17 AA20 CC00 FF44 GG04 HH04 MM06 PP01 PP11 QQ17 QQ18 QQ23 QQ25 TT02 5C012 BE01

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ変位計により電子銃の第１電極の
   電極孔を走査して第１電極の電極孔の中心を測定すると
   ともに、 レーザ変位計により第１電極の電極孔を通じて第１電極
   の電極孔に離間対向されるカソードの端面を走査してカ
   ソードの中心および距離を測定することを特徴とする電
   子銃の測定方法。
2. 【請求項２】 レーザ変位計の走査位置とこの走査位置
   に対応するレーザ変位計の測定値とに基づき、第１電極
   の電極孔の中心を求めるとともにカソードの中心および
   距離を求めることを特徴とする請求項１記載の電子銃の
   測定方法。
3. 【請求項３】 電子銃の第１電極の電極孔、およびこの
   第１電極の電極孔を通じて第１電極の電極孔に離間対向
   するカソードに対向されるレーザ変位計と、 このレーザ変位計により第１電極の電極孔およびカソー
   ドの端面を走査させる走査手段とを具備していることを
   特徴とする電子銃の測定装置。
4. 【請求項４】 レーザ変位計の走査位置とこの走査位置
   に対応するレーザ変位計の測定値とに基づき、第１電極
   の電極孔の中心を求めるとともにカソードの中心および
   距離を求める演算手段を具備していることを特徴とする
   請求項３記載の電子銃の測定装置。
5. 【請求項５】 レーザ変位計により電子銃の第１電極の
   電極孔を走査して第１電極の電極孔の中心を測定し、 レーザ変位計により第１電極の電極孔を通じて第１電極
   の電極孔に離間対向されるカソードの端面を走査してカ
   ソードの中心および距離を測定し、 第１電極の電極孔の中心とカソードの中心とを位置合わ
   せするとともに第１電極とカソードとの間隔を規定値に
   位置合わせすることを特徴とする電子銃の組立方法。
6. 【請求項６】 カソードから第１電極までの距離とカソ
   ードからレーザ変位計まで距離との関係を予め記憶し、
   この前記予め記憶された関係から指定入力されたカソー
   ドから第１電極までの距離に対応するカソードからレー
   ザ変位計までの距離を設定し、 レーザ変位計により電子銃の第１電極の電極孔を走査し
   て第１電極の電極孔の中心を測定し、 レーザ変位計により第１電極の電極孔を通じて第１電極
   の電極孔に離間対向されるカソードの端面を走査してカ
   ソードの中心および距離を測定し、 第１電極の電極孔の中心とカソードの中心とを位置合わ
   せするとともに、前記設定されたカソードとレーザ変位
   計との距離にレーザ変位計で測定されるカソードとの距
   離が一致するように位置合わせすることを特徴とする電
   子銃の組立方法。
7. 【請求項７】 レーザ変位計により電子銃の第１電極の
   電極孔を通じてこの第１の電極孔に対して規定の距離位
   置に離間対向されるダミーカソードを走査して距離を測
   定し、 レーザ変位計により第１電極の電極孔を走査して第１電
   極の電極孔の中心を測定し、 レーザ変位計により第１電極の電極孔を通じてこの第１
   電極の電極孔に対しダミーカソードに代えて離間対向さ
   れるカソードの端面を走査してカソードの中心および距
   離を測定し、 第１電極の電極孔の中心とカソードの中心とを位置合わ
   せするとともに、第１電極の電極孔に対してダミーカソ
   ードが対向する状態で測定した距離を基準に、第１電極
   の電極孔に対してカソードが対向する状態で測定した距
   離が一致するように位置合わせすることを特徴とする電
   子銃の組立方法。
8. 【請求項８】 レーザ変位計の走査位置とこの走査位置
   に対応するレーザ変位計の測定値とに基づき、第１電極
   の電極孔の中心を求めるとともにカソードの中心および
   距離を求める ことを特徴とする請求項５ないし７いずれか記載の電子
   銃の組立方法。
9. 【請求項９】 電極孔を設けた第１電極を有する電子銃
   を保持する電子銃保持台と、 この電子銃保持台に保持された電子銃の第１電極の電極
   孔に対して離間対向されるカソードを保持するカソード
   保持台と、 前記第１電極の電極孔およびこの電極孔を通じてカソー
   ドに対向されるレーザ変位計を有するとともに、このレ
   ーザ変位計により第１電極の電極孔およびカソードの端
   面を走査させる走査手段を有し、第１電極の電極孔の中
   心、カソードの中心およびカソードとの距離を測定する
   測定装置と、 この測定装置による測定結果に基づき、第１電極の電極
   孔の中心とカソードの中心とを位置合わせするとともに
   第１電極とカソードとの間隔を規定値に位置合わせする
   位置合わせ手段とを具備していることを特徴とする電子
   銃の組立装置。
10. 【請求項１０】 電極孔を設けた第１電極を有する電子
    銃を保持する電子銃保持台と、 この電子銃保持台に保持された電子銃の第１電極の電極
    孔に対して離間対向されるカソードを保持するカソード
    保持台と、 前記第１電極の電極孔およびこの電極孔を通じてカソー
    ドに対向されるレーザ変位計を有するとともに、このレ
    ーザ変位計により第１電極の電極孔およびカソードの端
    面を走査させる走査手段を有し、第１電極の電極孔の中
    心、カソードの中心およびカソードとの距離を測定する
    測定装置と、 前記カソードから第１電極までの距離とカソードからレ
    ーザ変位計まで距離との関係を予め記憶する記憶手段
    と、 前記カソードと第１電極との距離を指定入力する入力手
    段と、 前記記憶手段に記憶された関係から、前記入力手段で指
    定入力されたカソードと第１電極との距離に対応するカ
    ソードとレーザ変位計との距離を設定する距離設定手段
    と、 前記測定装置による測定結果に基づき、第１電極の電極
    孔の中心とカソードの中心とを位置合わせするととも
    に、前記距離設定手段で設定されたカソードとレーザ変
    位計との距離にレーザ変位計で測定されるカソードとの
    距離が一致するように位置合わせする位置合わせ手段と
    を具備していることを特徴とする電子銃の組立装置。
11. 【請求項１１】 電極孔を設けた第１電極を有する電子
    銃を保持する電子銃保持台と、 この電子銃保持台に保持された電子銃の第１電極の電極
    孔に対して規定の距離位置に離間対向されるダミーカソ
    ードを有するダミーカソードユニットと、 前記電子銃保持台に保持された電子銃の第１電極の電極
    孔に対して離間対向されるカソードを保持するカソード
    保持台と、 前記第１電極の電極孔に対向されるレーザ変位計、およ
    びこのレーザ変位計により第１電極の電極孔を走査させ
    る走査手段を有し、第１電極の電極孔に対してダミーカ
    ソードが対向する状態でダミーカソードとの距離を測定
    した後、ダミーカソードに代えてカソードが対向する状
    態で第１電極の電極孔の中心、カソードの中心およびカ
    ソードとの距離を測定する測定装置と、 この測定装置による測定結果に基づき、第１電極の電極
    孔の中心とカソードの中心とを位置合わせするととも
    に、測定装置により第１電極の電極孔に対してダミーカ
    ソードが対向する状態で測定した距離を基準に、第１電
    極の電極孔に対してカソードが対向する状態で測定した
    距離が一致するように位置合わせする位置合わせ手段と
    を具備していることを特徴とする電子銃の組立装置。
12. 【請求項１２】 測定装置は、レーザ変位計の走査位置
    とこの走査位置に対応するレーザ変位計の測定値とに基
    づき、第１電極の電極孔の中心を求めるとともにカソー
    ドの中心および距離を求める演算手段を有していること
    を特徴とする請求項９ないし１１いずれか記載の電子銃
    の組立装置。