JP2001250476A - 電子銃の組み立て方法及び組み立て装置。 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第1制御電極の各ビーム通過孔とこれに対応
する陰極のビーム出射面との距離を均一化する。 【解決手段】 第1制御電極６を第1の保持部１５で保持
する一方、第1制御電極６と対向する状態で陰極構体３
を第２の保持部１６で保持する。この保持状態のもと
で、回転用モータ１７により陰極構体３を軸周りに回転
させつつ、第1制御電極６の各ビーム通過孔８Ａ，８Ｂ
と陰極１のビーム出射面１Ａとの距離を測定手段（１
２、１４）で測定する。さらに、その測定結果に基づい
て、各ビーム通過孔８Ａ，８Ｂとビーム出射面１Ａとの
距離の差が最小となる陰極構体３の回転角度を抽出し、
該抽出した回転角度に合わせて陰極構体３の回転位置を
設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一つの陰極に対し
て複数のビーム通過孔を有する第1制御電極と電子ビー
ムの出射源となる陰極を有する陰極構体とを組み付ける
際に用いて好適な電子銃の組み立て方法及び組み立て装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インライン形の電子銃は、水平方向にイ
ンライン状に配列される複数の電子ビームを出射するた
めの陰極（カソード）と、この陰極と対向する位置にビ
ーム通過孔を有する第1制御電極（第1グリッド電極）と
を備えている。図１０（Ａ），（Ｂ）に電子銃の部分的
な構造を示す。図示のように電子銃の陰極１は、該陰極
１を先端部で保持しかつ該陰極１を加熱する発熱体（ヒ
ータ）が内装される筒状体（以下、スリーブという）２
とともに陰極構体３を構成している。この陰極構体３は
スリーブホルダー４に保持されている。また、スリーブ
ホルダー４はホルダー固定部材（絶縁物）５に固定さ
れ、このホルダー固定部材５を介して陰極構体３が第1
制御電極６に組み付けられる構成になっている。第1制
御電極６は、これに隣接する第２制御電極７や図示せぬ
他の制御電極とともにビードガラスに一体に固着される
ものである。

【０００３】一般に、カラー陰極線管の電子銃では、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）といった光の３原色に対応
する陰極構体３を各色毎に備えている。また、図１０
（Ｂ）に示すように、電子銃の第1制御電極６のビーム
通過孔（電子ビームが通過する孔）８は、一つの陰極１
に対して一つだけ設けられている。

【０００４】しかし一方では、単一の陰極の電子放射能
力を超えることなく高電流密度の電子ビームを形成し、
かつ陰極の駆動電圧を低減するために、単一の陰極に対
して複数のビーム通過孔を有する第1制御電極を採用
し、これによって単一の陰極から複数の電子ビームを取
り出すタイプの電子銃も知られている。

【０００５】この種の電子銃の場合は、第1制御電極の
各ビーム通過孔とこれに対応する陰極のビーム出射面と
の距離が、カットオフ特性、ドライブ特性、電子ビーム
のクロスオーバ等に大きな影響を与える。そのため、電
子銃を組み立てる際には、第1制御電極の各ビーム通過
孔と陰極のビーム出射面との距離をできるだけ均一に設
定する必要がある。

【０００６】現状の電子銃の組み立て工程では、陰極構
体を保持する陰極保持部材（スリーブホルダー、ホルダ
ー固定部材等）を予め第1制御電極に組み付けた状態
で、組み立ての完了した陰極構体を陰極保持部材に挿入
し、溶接等により固定している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、陰極構
体の組み立て時には、陰極自体の寸法誤差やスリーブの
寸法誤差などにより、陰極が傾いた状態で取り付けられ
ることがある。また、陰極保持部材に陰極構体を挿入す
る場合、両者の間（嵌合部分）に所定のクリアランスを
確保する必要があるため、陰極構体が傾いた状態で挿入
されることがある。

【０００８】そうした場合、第1制御電極と陰極構体の
組み付け時において、第1制御電極と陰極との平行度が
悪化してしまう。その結果、単一の陰極とこれに対応す
る第1制御電極の各ビーム通過孔との距離が不均一にな
り、先述した電子銃の動作特性（カットオフ特性、ドラ
イブ特性等）が劣化してしまう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る電子銃の組
み立て方法は、一つの陰極に対して複数のビーム通過孔
を有する第1制御電極と電子ビームの出射源となる陰極
を有する陰極構体とを組み付ける際に、第1制御電極と
陰極構体とを対向させた状態で該陰極構体を軸周りに回
転させるとともに、該陰極構体の回転中において第1制
御電極の各ビーム通過孔と陰極のビーム出射面との距離
を測定する第1のステップと、この第１のステップにお
ける測定結果に基づいて陰極構体の回転位置を設定する
第２のステップとを有するものである。

【００１０】この電子銃の組み立て方法においては、陰
極構体を軸周りに回転させつつ、第1制御電極の各ビー
ム通過孔と陰極のビーム出射面との距離を測定すること
により、その測定結果に基づいて、各ビーム通過孔とビ
ーム出射面との距離の差が最小となる陰極構体の回転角
度（最適角度）を抽出することができる。したがって、
抽出した回転角度に合わせて陰極構体の回転位置を設定
（最適化）することにより、各ビーム通過孔とビーム出
射面との距離を均一化することが可能となる。

【００１１】また本発明は、一つの陰極に対して複数の
ビーム通過孔を有する第1制御電極と電子ビームの出射
源となる陰極を有する陰極構体とを組み付ける際に用い
られる電子銃の組み立て装置として、第1制御電極を保
持する第1の保持手段と、この第1の保持手段に保持され
た第1制御電極に対向する状態で陰極構体を保持する第
２の保持手段と、この第２の保持手段に保持された陰極
構体を軸周りに回転させる回転手段と、この回転手段に
よる陰極構体の回転中において第1制御電極の各ビーム
通過孔と陰極のビーム出射面との距離を測定する測定手
段と、この測定手段による測定結果に基づいて陰極構体
の回転位置を設定する設定手段とを備えた構成を採用し
ている。

【００１２】この電子銃の組み立て装置においては、第
1制御電極を第1の保持手段で保持する一方、該第1制御
電極と対向する状態で陰極構体を第２の保持手段で保持
する。そして、その保持状態のもとで、回転手段により
陰極構体を軸周りに回転させつつ、第1制御電極の各ビ
ーム通過孔と陰極のビーム出射面との距離を測定手段で
測定することにより、その測定結果に基づいて、各ビー
ム通過孔とビーム出射面との距離の差が最小となる陰極
構体の回転角度（最適角度）を抽出することができる。
したがって、抽出した回転角度に合わせて陰極構体の回
転位置を設定手段で設定（最適化）することにより、各
ビーム通過孔とビーム出射面との距離を均一化すること
が可能となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本実施形態
においては、上記従来技術で挙げた構成要素と同様の部
分に同じ符合を付して説明することとする。

【００１４】図１は本発明の実施形態に係る電子銃の組
み立て装置を示す概略図である。図１においては、距離
測定機構部１０とワーク保持機構部１１とが上下に対向
する状態で配置されている。距離測定機構部１０は、主
として、レーザオートフォーカスユニット（以下、レー
ザユニットと略称する）１２、昇降用モータ１３及び測
長器１４を備えて構成されている。ワーク保持機構部１
１は、第1の保持部１５、第２の保持部１６、回転用モ
ータ１７及び昇降用モータ１８を備えて構成されてい
る。

【００１５】制御部１９は、予め設定された制御プログ
ラムにしたがって装置全体の動作を制御するものであ
る。この制御部１９には、上述したレーザユニット１
２、昇降用モータ１３、測長器１４、回転用モータ１７
及び昇降用モータ１８が電気的に接続されている。

【００１６】レーザユニット１２及び測長器１４は、本
発明における測定手段を構成するものである。このう
ち、レーザユニット１２は、図示せぬ支持機構によって
上下方向（Ｚ方向）に移動可能に支持されるとともに、
昇降用モータ１３によって昇降可能に支持されている。
また、レーザユニット１２のレーザ発光部及びレーザ受
光部は図示せぬＸ−Ｙ駆動ステージによって水平２軸方
向（Ｘ，Ｙ方向）に移動調整可能に支持されている。

【００１７】上記レーザユニット１２においては、所定
の対象物（本形態では第1制御電極６と陰極１）にレー
ザ光を照射するとともに、該対象物からの反射光に基づ
いて、自身のオートフォーカス機能により、制御部１９
を介して、あるいは直接に、昇降用モータ１３を駆動し
て昇降動作することにより、レーザ光を対象物のレーザ
照射面に合焦させるものである。測長器１４は、上述の
ようにレーザ光が照射される対象物までの距離を測定す
るためのもので、レーザユニット１４の近傍に取り付け
られている。この測長器１４による測定結果は制御部１
９に送られる。

【００１８】なお、レーザ光を用いた距離の測定方式
(測距方式）としては、測定器自身から対象物（標的）
にパルスレーザを照射して、そのレーザ光が対象物に当
たって戻ってきたときの時間から、両者間の距離を測定
するものであってもよい。この測定方式には、レーザ距
離計と呼ばれる測定器が用いられる。

【００１９】第1の保持部１５は、第1制御電極６を保持
するもので、本発明における第1の保持手段を構成する
ものである。第1の保持部１５は、例えば開閉式のクラ
ンパにより、スリーブホルダー４とホルダー固定部材５
とともに第1制御電極６を水平状態に保持するものであ
る。スリーブホルダー４とホルダー固定部材５は予め第
1制御電極６に組み付けられ、これによって得られたア
センブリ部品が第1の保持部１５によって保持される構
成になっている。

【００２０】第２の保持部１６は、陰極１及びスリーブ
２からなる陰極構体３を保持するもので、本発明におけ
る第２の保持手段を構成するものである。第２の保持部
１６には、その先端部（上端部）で陰極構体３のスリー
ブ２を受ける棒状のワーク受け部材２０が設けられてい
る。ワーク受け部材２０は図示せぬ支持機構によって上
下方向に移動可能に支持されている。

【００２１】ワーク受け部材２０の断面形状はスリーブ
２の断面形状に合わせて円形となっている。また、ワー
ク受け部材２０の外径寸法は、スリーブ２の後端側（陰
極１の取り付け部位と反対側）の内径寸法より僅かに小
さく設定され、これによってワーク受け部材２０の先端
部がスリーブ２に抜き差し可能に構成されている。

【００２２】回転用モータ１７は、図示せぬ動力変換機
構（例えば、ベルト伝達、歯車伝達機構等）を介してワ
ーク受け部材２０をθ方向に回転動作させるもので、上
記動力変換機構とともに本発明における回転手段を構成
するものである。また昇降用モータ１８は、図示せぬ支
持機構によって上下方向に移動可能に支持されたワーク
受け部材２０を昇降させることにより、第1制御電極６
と陰極構体３との対向距離を可変（調整）するものであ
る。

【００２３】続いて、制御部１９からの制御指令に基づ
く電子銃の組み立て装置の動作機能につき、図２のフロ
ーチャートを参照しつつ説明する。なお、組み立ての対
象となる電子銃の構成としては、図１及び図３に示すよ
うに一つの陰極１に対して、該陰極１の中心から等距離
の位置に水平方向（Ｘ方向）に沿って明けられた２つの
ビーム通過孔８Ａ，８Ｂを有する第1制御電極６を採用
した場合を例に挙げて説明する。また、図１において
は、一体型のスリーブ２を有する陰極構体３を例示して
いるが、これ以外にも、例えば内外一対をなす二体型の
スリーブを有する陰極構体を採用したものでも同様に適
用可能である。

【００２４】先ず、スリーブホルダー４、ホルダ固定部
材５及び第1制御電極６からなるアセンブリ部品(ワー
ク）を第1の保持部１５で保持するとともに、ワーク受
け台２０の先端部にスリーブ２の後端部を挿入して陰極
構体３（ワーク）を第２の保持部１６で保持する（ステ
ップＳ１）。このとき、ワーク受け台２０にセットされ
た陰極構体３は、第1の保持部１５による上記アセンブ
リ部品の保持位置よりも下方に退避した状態となってい
る。

【００２５】次に、制御部１９からの制御指令に基づく
昇降用モータ１８の駆動により、ワーク受け台２０が上
昇し、これによって図１のように陰極構体３がスリーブ
ホルダー４内に挿入される（ステップＳ２）。このと
き、上下方向における陰極１の位置（高さ）は、該陰極
１と第1制御電極６との間の距離が予め設定された基準
距離よりも大きくなるように調整される。

【００２６】次いで、後述する距離測定のための基準出
し（ゼロ点出し）を行う（ステップＳ３）。この基準出
しは、第1制御電極６に設けられた２つのビーム通過孔
８Ａ，８Ｂのうち、例えば一方のビーム通過孔８Ａを測
定対象として図４に示すようにビーム通過孔８Ａの近傍
で第1制御電極６の上面にレーザユニット１２からのレ
ーザ光を照射し、そこからの反射光に基づく昇降用モー
タ１３の駆動により、レーザ光の焦点が第1制御電極６
の上面に合った状態（合焦した状態）で、測長器１４の
測定値をリセットすることにより行われる。

【００２７】次いで、制御部１９からの制御指令に基づ
く回転用モータ１７の駆動により、ワーク受け台２０が
θ方向に回転するとともに、この回転中において第1制
御電極６のビーム通過孔８Ａと陰極１のビーム出射面と
の距離をレーザユニット１２を用いて測定する（ステッ
プＳ４）。このとき、ワーク受け台２０の回転により、
該ワーク受け台２０と一体に陰極構体３が軸周りに回転
させられる。

【００２８】陰極構体３の回転中においては、これに先
立つＸ−Ｙ駆動ステージ（不図示）の駆動によりレーザ
光の照射位置がビーム通過孔８Ａの孔位置に合うように
調整され、これによって回転開始時にはレーザユニット
１２からのレーザ光が図４に示すようにビーム通過孔８
Ａを通して陰極１のビーム出射面１Ａに照射される。そ
して、レーザユニット１２のオートフォーカス機能によ
り、陰極１のビーム出射面１Ａまでの距離が測長器１４
で測定される。

【００２９】こうして得られる測定距離は、先の図４に
おける２箇所のレーザ照射位置間の距離、すなわちビー
ム通過孔８Ａ近傍の第1制御部６上面と陰極１のビーム
出射面１Ａとの間の距離（実質的にビーム通過孔８Ａと
ビーム出射面１Ａ間の距離）となり、この測定距離デー
タが測長器１４から制御部１９へと送られる。

【００３０】ここで、回転用モータ１７がパルスモータ
あるいはエンコーダ付きのモータである場合は、これを
駆動する駆動パルスあるいはエンコーダからのパルス信
号を制御部１９でカウントすることにより、θ方向にお
ける陰極構体３の回転角度を把握することができる。こ
れにより制御部１９においては、上述のように測長器１
４から送られる測定データを、陰極構体３の回転角度情
報と対応付けてメモリ等に格納する。

【００３１】図５（Ａ）は制御部１９に格納された測定
情報の一例をグラフ形式で表わすもので、ここでは縦軸
に測長器１４によって得られる測定距離、横軸に陰極回
転角度をとっている。図から明らかなように、測長器１
４による測定距離のデータは、所定の回転角度位置を基
準（ゼロ）として陰極構体３（陰極１）の１回転分（３
６０°回転分）にわたって連続的に、あるいは所定の回
転角度ピッチで取り込まれる。

【００３２】その後、他方のビーム通過孔８Ｂについて
も、上記同様の手順（ステップＳ３、Ｓ４）により、該
ビーム通過孔８Ｂを対象とした距離の測定が行われる。
その測定結果の一例を図５（Ｂ）に示す。このとき、寸
法上の狂いがない理想状態のもとでは、前回の測定結果
（図５（Ａ））と今回の測定結果（図５（Ｂ））とは互
いに位相が１８０°ずれたものとなる。

【００３３】ただし、ワーク受け台２０の回転中心軸と
陰極構体３（陰極１）の中心軸との軸ずれや、陰極１及
び第1制御電極６の平面度、あるいは第1，第２の保持部
１５，１６によるワーク保持の位置精度など要因で、両
者の測定結果は必ずしも１８０度位相がずれたものとは
ならない。

【００３４】続いて、制御部１９においては、先に得ら
れた測定結果に基づいて、陰極１を含めた陰極構体３の
回転位置を設定する（ステップＳ５）。この位置設定
は、第1制御電極６の各ビーム通過孔８Ａ，８Ｂと陰極
１のビーム出射面１Ａとの距離の差分が最小となる条件
で行われる。具体的には、次のような考え方に基づいて
行われる。

【００３５】先ず、先の２回の測定結果において、双方
の測定データを重ね合わせると図５（Ｃ）のようにな
る。このとき、いずれかの陰極回転角度において両者の
測定距離が一致する条件を満たすことが理想的（距離の
差分がゼロ）となる。したがって、図５（Ｃ）の例で
は、設定すべき回転位置として、２つの陰極回転角度θ
１，θ２のうちの一方が制御部１９によって抽出され
る。そして、抽出された陰極回転角度θ１又はθ２に基
づいて制御部１９が回転用モータ１７を駆動することに
より、上記条件にて陰極１を含めた陰極構体３の回転位
置が設定（調整）される。

【００３６】図６は陰極構体３の回転位置の設定前後の
ワーク配置状態を示すもので、図中左側が設定前、右側
が設定後のワーク配置状態を示している。図示のように
陰極構体３の回転位置を設定する前は、ビーム通過孔８
Ａ，８Ｂの配列に沿ったＸ方向断面において各ビーム通
過孔８Ａ，８Ｂとビーム出射面１Ａとの距離Ｌ１，Ｌ２
に差が生じている。これに対して、陰極構体３の回転位
置を設定した後は、Ｘ方向断面において各ビーム通過孔
８Ａ，８Ｂとビーム出射面１Ａとの距離Ｌ１，Ｌ２がほ
ぼ同じになるように陰極１の回転位置が最適化されてい
る。

【００３７】次いで、制御部１９は、上記陰極回転角度
θ１又はθ２に対応する測定距離のデータに基づいて昇
降用モータ１８を駆動することにより、第1制御電極６
のビーム通過孔８Ａ，８Ｂと陰極１のビーム出射面１Ａ
との距離が、既述の基準距離に一致するように陰極１の
位置（高さ）を調整（照合）する（ステップＳ６）。な
お、陰極１と第1制御電極６間の距離は予め上記基準距
離よりも大きめに設定されているため、ここでは陰極構
体３を第1制御電極６に近づける方向で位置調整が行わ
れることになる。

【００３８】その後、ワーク保持部材２で陰極構体３を
保持したままの状態で、スリーブ３をレーザ溶接等の固
着手段によりスリーブホルダー４に固定する（ステップ
Ｓ７)。これにより、第1制御電極６と陰極１との位置関
係が固定される。

【００３９】このような組み立て手法を用いることにお
り、一つの陰極１に対して２つのビーム通過孔８Ａ，８
Ｂを有する第1制御電極６を採用する場合に、各々のビ
ーム通過孔８Ａ，８Ｂとこれに対向する陰極１のビーム
出射面１Ａとの距離を均一化（この場合は同一に）する
ことができる。これにより、電子銃においては、その動
作特性を劣化させることなく、高電流密度の電子ビーム
を形成し、かつ陰極の駆動電圧を低減することが可能と
なる。

【００４０】ちなみに、一つの陰極１に対して２つのビ
ーム通過孔８Ａ，８Ｂを有する第1制御電極６の場合
は、陰極構体３を１回転（３６０°回転）させる間に、
各々のビーム通過孔８Ａ，８Ｂと陰極１のビーム出射面
１Ａとの距離の差分が最小となる理想的な回転位置がほ
ぼ１８０°間隔で２つ存在することになる。したがっ
て、距離測定に際しては、陰極構体３の半回転分（１８
０°回転分）の測定データを取得するだけで、上記２つ
の陰極回転角度θ１，θ２のうちの一方を抽出すること
が可能となる。

【００４１】また、上記実施形態においては、一つの陰
極１に対して２つのビーム通過孔８Ａ，８Ｂを有する第
1制御電極６を用いた電子銃の組み立て事例を説明した
が、本発明はこれに限らず、例えば図７（Ａ）に示すよ
うに一つの陰極１に対して３つのビーム通過孔８Ａ，８
Ｂ，８Ｃを有する第1制御電極６を用いたものや、図７
（Ｂ）に示すように一つの陰極１に対して４つのビーム
通過孔８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，８Ｄを有する第1制御電極６
を用いたもの、あるいは同じ個数のビーム通過孔でもそ
の配置が異なるものや、４つ以上のビーム通過孔を有す
る第1制御電極を用いたものなど、一つの陰極に対して
複数のビーム通過孔を有する第1制御電極を用いた電子
銃を組み立てる際に広く適用可能である。

【００４２】図８は一つの陰極１に対して４つのビーム
通過孔８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，８Ｄを有する第1制御電極６
を用いた場合の距離測定の概念図である。図８において
は、第1制御電極６の各ビーム通過孔８Ａ，８Ｂ，８
Ｃ，８Ｄにつき、それぞれ孔位置近傍の電極上面を基準
にして、陰極１を軸周り（θ方向）に回転させながら、
そのビーム出射面１Ａの各測定ポイントＰＡ，ＰＢ，Ｐ
Ｃ，ＰＤ（レーザ光が照射されるポイント面）までの距
離を測定する。

【００４３】これにより、図９に示すような測定結果が
得られる。図９において、ＬＡ曲線はビーム通過孔８Ａ
を介してビーム出射面１Ａ（測定ポイントＰＡ）までの
距離を測定して得られたデータであり、ＬＢ曲線はビー
ム通過孔８Ｂを介してビーム出射面（測定ポイントＰ
Ｂ）までの距離を測定して得られたデータである。ま
た、ＬＣ曲線はビーム通過孔８Ｃを介してビーム出射面
１Ａ（測定ポイントＰＣ）までの距離を測定して得られ
たデータであり、ＬＤ曲線はビーム通過孔８Ｄを介して
ビーム出射面１Ａ（測定ポイントＰＤ）までの距離を測
定して得られたデータである。

【００４４】上記図９に示す測定結果においては、陰極
回転角度がθ３のときに各測定距離（ＬＡ，ＬＢ，Ｌ
Ｃ，ＬＤ）の差ΔＬが最小となっていることから、この
陰極回転角度θ３に合うように陰極構体３の回転位置を
設定することにより、各ビーム通過孔８Ａ，８Ｂ，８
Ｃ，８Ｄとこれに対向するビーム出射面１Ａとの距離を
均一化することができる。

【００４５】なお、上記実施形態においては、測定手段
として、レーザ光を利用した光学的測定手段を採用した
が、本発明はこれに限らず、例えば測定対象となるワー
ク間（陰極１と第1制御電極６間）に空気を流してその
空気流の微小変化を検出することによりワーク間の距離
を測定するもの、あるいはワーク間での静電容量の微小
変化を検出することによりワーク間の距離を測定するも
のであってもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、一
つの陰極に対して複数のビーム通過孔を有する第1制御
電極と電子ビームの出射源となる陰極を有する陰極構体
とを組み付けるにあたって、陰極構体を軸周りに回転さ
せつつ、第1制御電極の各ビーム通過孔と陰極のビーム
出射面との距離を測定し、その測定結果に基づいて、各
ビーム通過孔とビーム出射面との距離の差が最小となる
条件で陰極構体の回転位置を設定することにより、第1
制御電極の各ビーム通過孔と陰極のビーム出射面との距
離を均一化することができる。これにより、電子銃の動
作特性（カットオフ特性、ドライブ特性等）を極力劣化
させることなく、高電流密度の電子ビームを形成し、か
つ陰極の駆動電圧を低減することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る電子銃の組み立て装置
を示す概略図である。

【図２】本発明の実施形態に係る電子銃の組み立て方法
を示すフローチャートである。

【図３】陰極と第1制御電極の配置状態を示す平面図で
ある。

【図４】距離測定の具体的な手法を説明する図である。

【図５】測定手段による測定結果の一例を示す図であ
る。

【図６】陰極回転位置の設定前後のワーク配置状態を示
す図である。

【図７】第1制御電極におけるビーム通過孔の配置例を
示す図である。

【図８】一つの陰極に対して４つのビーム通過孔を有す
る第1制御電極を用いた場合の距離測定の概念図であ
る。

【図９】測定対象となるビーム通過孔が４つの場合の測
定結果を示す図である。

【図１０】電子銃の部分的な構造を示す図である。

【符号の説明】

１…陰極、１Ａ…ビーム出射面、２…スリーブ、３…陰
極構体、４…スリーブホルダー、５…ホルダー固定部
材、６…第1制御電極、８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，８Ｄ…ビー
ム通過孔、１０…距離測定機構部、１１…ワーク保持機
構部、１２…レーザユニット、１３…昇降用モータ、１
４…測長器、１５…第1の保持部、１６…第２の保持
部、１７…回転用モータ、１８…昇降用モータ、１９…
制御部、２０…ワーク受け部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一つの陰極に対して複数のビーム通過孔
   を有する第1制御電極と電子ビームの出射源となる陰極
   を有する陰極構体とを組み付ける際に、 前記第1制御電極と前記陰極構体とを対向させた状態で
   該陰極構体を軸周りに回転させるとともに、該陰極構体
   の回転中において前記第1制御電極の各ビーム通過孔と
   前記陰極のビーム出射面との距離を測定する第1のステ
   ップと、 前記第１のステップにおける測定結果に基づいて前記陰
   極構体の回転位置を設定する第２のステップとを有する
   ことを特徴とする電子銃の組み立て方法。
2. 【請求項２】 第２のステップにおいては、前記第1制
   御電極の各ビーム通過孔と前記陰極のビーム出射面との
   距離の差分が最小となる条件で前記陰極構体の回転位置
   を設定することを特徴とする請求項１記載の電子銃の組
   み立て方法。
3. 【請求項３】 一つの陰極に対して複数のビーム通過孔
   を有する第1制御電極と電子ビームの出射源となる陰極
   を有する陰極構体とを組み付ける際に用いられる電子銃
   の組み立て装置であって、 前記第1制御電極を保持する第1の保持手段と、 前記第1の保持手段に保持された前記第1制御電極に対向
   する状態で前記陰極構体を保持する第２の保持手段と、 前記第２の保持手段に保持された前記陰極構体を軸周り
   に回転させる回転手段と、 前記回転手段による前記陰極構体の回転中において前記
   第1制御電極の各ビーム通過孔と前記陰極のビーム出射
   面との距離を測定する測定手段と、 前記測定手段による測定結果に基づいて前記陰極構体の
   回転位置を設定する設定手段とを備えることを特徴とす
   る電子銃の組み立て装置。
4. 【請求項４】 前記設定手段は、前記第1制御電極の各
   ビーム通過孔と前記陰極のビーム出射面との距離の差分
   が最小となる条件で前記陰極構体の回転位置を設定する
   ことを特徴とする請求項３記載の電子銃の組み立て装
   置。