KR970063324A - 전자총 조립 장치 및 전자총 조립 방법 - Google Patents

전자총 조립 장치 및 전자총 조립 방법 Download PDF

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기타오카 다카시
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Abstract

제1전극의 제2전극쪽 밖에는 인지할 수 없기 때문에 제1전극 상면의 높이가 정확하게 검출할 수 없고 계측 오차도 생기기 쉬웠다. 또한 음극표면 위치의 계측에 있어서도 각 전극의 전자 통과구멍을 거쳐서 에어마이크로미이터에 의한 계측에서는 계측 오차를 일으키기 쉽고 정확한 GIK 간격으로서 최적인 컷 오프 전압 특성을 갖는 전자총을 조립할 수가 없었다. 음극(1)을 이동시키는 음극구동수단(12, 13)과 전자총 조립체(24) 외부의 음극표면계측 위치에 있어서 음극(1) 표면의 높이를 비접촉으로 계측하는 레이져 변위계(14)와 전자총 조립체(24)의 제1전극(3) 상면의 높이를 계측하는 전기 마이크로미이터(11)와 제2전극(4) 하면의 높이를 계측하는 전기마이크로미이터(8)등을 구비한 것이다.

Description

전자총 조립 장치 및 전자총 조립 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예 1에 의한 전자총 조립 장치의 구성 및 전자총 조립체의 유지 상태를 도시하는 개략도.
제2도는 본 발명의 실시예 1에 의한 전기마이크로미이터(8)와 전기마이크로미이터(11)의 기준치의 계측을 도시하는 개략도.
제3도는 본 발명의 실시예 1에 의한 전기마이크로미이터(11)와 레이져 변위계(14)의 기준치의 계측을 도시하는 개략도.

Claims (3)

  1. 절연 유리에 의해 지지되고 또한 소정의 간격을 두고 수직 방향으로 설치된 최 소한 제1 및 제2전극을 포함하는 전자총 조립체를 유지하는 전자총 조립체 유지기구와, 전자총 조립체에 내장된 음극을 유지하는 음극 유지 기구와, 음극을 전자총 조립체내로 내장할 때까지 이송하도록 음극 유지기구를 이동하기 위한 음극 구동 수단과, 음극 유지 기구에 의해 유지되고 전자총 조립체 외부에 있는 음극의 표면 위치를 계측하는 음극 표면 계측 수단과, 전자총 조립체 유지 기구에 의해 유지된 전자총 조립체의 제1전극의 상면의 위치를 계측하는 제1전극 상면 계측 수단과, 전자총 조립체 유지기구에 의해 유지된 전자총 조립체의 제2전극의 위치를 계측하는 제2전극 게측 수단과, 음극 구동 수단에 의해 이동되는 음극 유지 기구에 유지된 음극의 위치의 변화량을 계측하는 음극 위치 계측 수단과, 최소한 제1전극 상면 계측 수단 및 제2전극 계측 수단에 의해 얻어진 위치 정보와 미리 계측된 상술의 제1전극의 두께를 기초로 제1전극과 제2전극의 간격을 구하고, 제1전극과 제2전극의 간격에 따라 제1전극과 음극의 간격의 최적치를 연산하는 연산수단과, 음극 표면 계측 수단에 의해 계측된 음극 표면의 위치와 음극 위치 계측 수단에 의해 얻어진 음극 위치의 변화량으로부터 음극의 표면의 현재 위치를 구하고 이 음극 표면의 현재 위치와 제1전극 상면 계측 수단에 의해 얻어진 제1전극의 상면의 위치의 차가 연산 수단에 의해 연산된 최적치로 되기까지 음극을 전자총 조립체에 삽입하도록 음극 구동수단을 제어하는 제어수단과 구비하는 전자총 조립 장치.
  2. 최소한 제1 및 제2전극이 절연유리로 소정의 간격으로 수직 방향으로 지지된 전자총 조립체에 음극을 위치 결정해서 고정하는 전자총 조립 방법에 있어서, 전자총 조립체 외부의 음극 표면 계측 위치에 있어서 음극 표면의 위치를 계측하고, 전자총 조립체의 제1전극의 상면 위치를 계측하고, 전자총 조립체의 제2전극의 위치를 계측하고, 최소한 계측된 제1전극의 상면 위치 및 제2전극의 위치와 계측에 의해 상술의 제1전극의 두께를 사용해서 전자총 조립체의 제1전극과 제2전극의 간격을 구하고, 구해진 간격에 의해 제1전극과 음극의 간격의 최적치를 연산하고, 음극을 음극 표면 계측 위치에서 음극이 전자총 조립체에 내장되는 음극 조립 위치까지 이동시키고, 음극 표면 계측 위치에 있어서 음극 표면의 위치와 음극의 음극 조립 위치까지의 이동에 따르는 음극의 위치의 변화량으로부터 음극 표면의 현재 위치를 구하고, 음극 표면의 현재 위치와 제1전극의 상면의 위치와의차가 연산된 최적치로 될 때까지 음극을 전자총 조립체에 삽입하므로서 음극을 위치 결정해서 고정하는 전자총 조립 방법.
  3. 제2항에 있어서, 제1전극의 상면, 제2전극 및 음극 표면 계측 위치에 있어서 음극 표면의 위치 계측에 있어서 계측치의 관계를 구하기 위한 교정을 정기적으로 실시하는 것을 특징으로 하는 전자총 조립 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960036644A 1996-02-28 1996-08-30 전자총 조립장치 및 전자총 조립방법 KR100207166B1 (ko)

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