JP3337016B2 - 高周波半導体パッケージ - Google Patents

高周波半導体パッケージ

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    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
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    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は高周波半導体装置に
関し、特に外部回路基板に実装する高周波半導体パッケ
ージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】高周波半導体装置の半導体パッケージと
して、ヒートシンク構造セラミックパッケージが用いら
れている。図6はこの種の半導体パッケージ10Aの一
例の外観斜視図であり、金属製のヒートシンク1上にセ
ラミックケース部2が一体に設けられ、このセラミック
ケース部内に図外の半導体素子が搭載されている。ま
た、前記セラミックケース部2には複数本のリード6B
が側方に突出形成されており、その内端部において前記
半導体素子に電気接続されている。さらに、前記セラミ
ックケース部2上にはセラミックあるいは金属等からな
るキャップ7が被せられ、前記半導体素子やリード内端
部を封止している。ここで、従来のこの種の半導体パッ
ケージにおいては、前記リード6Bとして、一部のリー
ドには、リードの極性を示す為に先端部の一辺を切り落
としたテーパ状に形成されているものがあるが、一般に
は細幅の方形をした短冊状、あるいはストリップ状に形
成されている。
【0003】このような半導体パッケージ10Aは、図
7に示すように、外部回路基板20に実装される。外部
回路基板20は、絶縁基板22の表面に導体膜を所要の
パターンに形成した基板側ストリップライン23が形成
されており、前記半導体パッケージ10Aをこの外部回
路基板20に搭載すれば、半導体パッケージ10Aの各
リード6Bがそれぞれ外部回路基板20の基板側ストリ
ップライン23上に載置されるため、半田等のソルダに
よってリード6Bと基板側ストリップライン23を接続
することにより実装が行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、外部回路基
板20を構成する絶縁基板22は、特に決められた種類
の基板が用いられる訳では無く、様々な比誘電率の基板
が用いられる。したがって、絶縁基板22上の基板側ス
トリップライン23を所定の特性インピーダンスZxに
設計したときには、絶縁基板22の厚さ、比誘電率の値
の違いにより、基板側ストリップライン23のライン幅
Wxは種々の幅寸法に設計する必要があることが予想さ
れる。そのため、場合によっては、図7に示すように、
リード6Bの幅寸法よりも基板側ストリップライン23
の幅寸法が大きい状態で実装されることがあり、同図に
斜線Xに示すように、リード6Bよりも基板側ストリッ
プライン23の幅寸法が外側に大きい領域は、外部回路
基板20において基板側ストリップライン23の実質的
な設計上の幅寸法を変えてしまう不用な部分となり、イ
ンピーダンスの不連続部分が発生する。
【0005】ここで、半導体パッケージのリードでの特
性インピーダンスをZ1、外部回路基板のストリップラ
インでの特性インピーダンスをZ2とし、これらの特性
インピーダンスZ1,Z2が一致しないときには、接続
部分においてインピーダンスの不連続部分が発生し、式
(1)に示す電圧定在波VSWRρが発生する要因とな
る。 VSWRρ=(1+|Γ1|)/(1−|Γ1|) …(1) ここで、Γ1=(Z1−Z2)/(Z1+Z2) このようなインピーダンスの不連続部分が発生すると、
リードとストリップラインとの間での想定している高周
波電力の伝送を妨げる事になり、電力の反射を生じる原
因になり、半導体パッケージ(高周波半導体装置)の高
周波特性が低下されることになる。
【0006】本発明の目的は、リードと外部回路基板の
ストリップラインとのインピーダンスの不連続部分の発
生を抑制し、高周波特性を改善した半導体パッケージを
提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも一
つのリードがパッケージ外方に向けて突出形成された高
周波半導体パッケージにおいて、前記リードは前記パッ
ケージから突出される部位である基部からリード先端部
に向けて当該リードの幅寸法が徐々に減少するくさび型
に形成されており、前記リードの基部の幅寸法は当該高
周波半導体パッケージが実装される外部回路基板に形成
された基板側ストリップラインのライン幅寸法よりも大
きく、前記リードの先端部の幅寸法は前記基板側ストリ
ップラインのライン幅寸法よりも小さくされていること
を特徴とする。ここで、前記リードの先端部の幅寸法は
零に形成される。あるいは、前記リードの先端部はリー
ドの長さ方向に垂直な方向に切り落とされており、当該
先端部の幅寸法は前記基板側ストリップラインのライン
幅寸法以下に形成される。
【0008】本発明においては、リード形状がくさび型
をしているため、リードが外部回路基板の基板側ストリ
ップラインに接続されたときには、リードと基板側スト
リップラインの幅寸法が一致される箇所が、基板側スト
リップラインの幅寸法に追従されることになり、リード
と基板側ストリップラインの幅寸法の相違が要因となる
リードと基板側ストリップラインの特性インピーダンス
の差が低減でき、両者間での特性インピーダンスの不連
続の発生を抑制し、反射電力を最小にした高周波特性に
優れた半導体パッケージが実現される。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の半導体パッケージ1
0の第1の実施形態の一部を破断した斜視図である。金
属製の板材を加工したヒートシンク1を有しており、こ
のヒートシンク1上にセラミックを矩形の枠状に形成し
たセラミックケース部2が一体に形成されている。前記
セラミックケース部2内の前記ヒートシンク1上には高
周波半導体素子3がマウントされており、また前記セラ
ミックケース部2の両側辺の表面には導体膜あるいはメ
タライズからなるパッケージ側ストリップライン4が形
成され、前記高周波半導体素子3は金属ワイヤ5により
前記パッケージ側ストリップライン4の内側端部に電気
接続されている。さらに、前記パッケージ側ストリップ
ライン4の外側端部には金属片で構成されるリード6
が、その基端部において図外のソルダ等により一体に接
続されている。前記リード6は、後述するように、先端
部に向けて幅寸法が縮小される楔型(テーパ型)に形成
されている。そして、前記セラミックケース部2の上に
はセラミック、金属等からなるキャップ7が被せられ、
セラミックケース部内を封止して半導体パッケージが構
成されている。
【0010】前記半導体パッケージ10は、図2に平面
図、図3に図2のAA線断面図をそれぞれ示すように、
外部回路基板20に実装される。前記外部回路基板20
は、ここでは接地金属板21の上に一対の絶縁基板22
が所定の間隔を置いて配置されており、各絶縁基板22
はそれぞれの表面に導体膜を所要のパターンに形成して
基板側ストリップライン23を形成している。そして、
これまでと同様に、前記半導体パッケージ10を前記絶
縁基板22間の前記接地金属板21の表面上に搭載すれ
ば、半導体パッケージ10の各リード6がそれぞれ外部
回路基板20の基板側ストリップライン23上に載置さ
れるため、半田等のソルダによって前記リード6と基板
側ストリップライン23を接続することにより実装が行
われる。
【0011】ここで、図2を参照して、前記半導体パッ
ケージ10の各パッケージ側ストリップライン4の幅寸
法W1は、外部回路基板20の基板側ストリップライン
23のライン幅W2よりも大幅に形成されている。これ
は、基板側ストリップライン4を所定の特性インピーダ
ンスZ1に設計したときには、外部回路基板20に用い
られる絶縁基板22の厚さ、比誘電率の値の違いによ
り、基板側ストリップライン23のライン幅W2は種々
の幅寸法になるため、実際に実装を行う外部回路基板を
想定して設計したときのストリップラインのライン幅に
基づき、そのライン幅よりも若干大きな幅寸法となるよ
うにパッケージ側ストリップライン4の幅寸法、換言す
ればパッケージ側ストリップライン4に接続されるリー
ド6の基部の幅寸法W1を設計するためである。そし
て、前記リード6は前記パッケージ側ストリップライン
4に接続されている基部から先端部に向けて、その一方
の辺をリードの突出方向に対して斜めになるように、し
かもリードの先端部で幅寸法が零になるようにくさび型
に形成する。なお、この実施形態では、前記半導体パッ
ケージ10の両側辺部においてそれぞれ2本のリード6
が設けられ、各リード6の内側の辺を斜めに形成してい
るが、必ずしもこのように形成する必要はない。すなわ
ち、半導体パッケージ10を外部回路基板20に実装し
たときに、各リード6の片方の辺が基板側ストリップラ
イン23の片方の辺に沿って一致し、他方の辺が斜めに
なるようにすればよい。
【0012】したがって、前記したように外部回路基板
20に半導体パッケージ10を実装したときには、各リ
ード6は片方の辺では基板側ストリップライン23の片
方の辺に沿って重なった状態となり、また各リード6の
他方の辺は基板側ストリップライン23の他方の辺に交
差した状態となり、この状態でソルダにより接続され
る。すなわち、この接続状態では各リード6において
は、リードの突出長さ方向の一部において、リード6の
幅寸法と基板側ストリップライン23の幅寸法が一致す
る部分が生じ、これよりもリード6の基端側ではリード
幅が大きく、リード6の先端側では基板側ストリップラ
イン幅が大きい状態になる。
【0013】ここで、一般的に、半導体パッケージや外
部回路基板の各ストリップライン幅をW、その下地とな
る半導体パッケージのセラミックケース部や外部回路基
板の絶縁基板の比誘電率をεr、セラミックケース部や
絶縁膜基板の厚さをtとしたとき、各ストリップライン
における特性インピーダンスZは次のように計算され
る。 W/t≦1の場合 Z=60/√(εff)・ln(8×t/W+0.25×W/
t) ここで、 εff=(εr+1)/2+ (εr−1)[(1+12×t/W)e
-1/2+0.04×(1−W/t)e2] W/t≧1の場合 Z=120 ×π/√(εff)/〔W/t+1.393 +0.667
×ln(W/t+1.444)] ここで、 εff=(εr +1)/2+(εr −1)/2×(1+12
×t/W)e-1/2
【0014】したがって、この実施形態の半導体パッケ
ージ10の2本のパッケージ側ストリップライン4、す
なわち、リード4の幅寸法W1、半導体パッケージ10
のセラミックケース部2の比誘電率εr1、同じくセラ
ミックケース部2の厚さt1から各パッケージ側ストリ
ップライン4を含むリード6の特性インピーダンスZ1
が計算される。また、外部回路基板20の基板側ストリ
ップライン23の幅寸法W2、外部回路基板の絶縁基板
22の比誘電率εr2、同絶縁基板22の厚さt2から
各基板側ストリップライン23の特性インピーダンスZ
2が計算される。なお、この実施形態では、2本のリー
ド6、基板側ストリップライン23が間隔L1,L2で
並列配置されており、特性インピーダンスを高精度に計
算する際にはこれらライン間隔を考慮することが好まし
いが、ここではライン間隔については省略している。
【0015】このように、前記した実装構造では、半導
体パッケージ10の特性インピーダンスZ1のリード6
と、外部回路基板20の特性インピーダンスZ2の基板
側ストリップライン23を接続しているため、リード6
を通して伝送されてきた高周波電力を外部回路基板20
の基板側ストリップライン23に反射無く伝送させるた
めには、Z1=Z2となるようにリード6又は基板側ス
トリップライン23の特性インピーダンスを設計する必
要がある。ここで、従来の一般的な技術では、半導体パ
ッケージのリード幅はパッケージ寸法、リード数等によ
って制約を受けるため、外部回路基板の基板側ストリッ
プラインの幅を設計することになる。例えば、外部回路
基板20の基板側ストリップライン23の幅寸法W2を
パラメータとして特性インピーダンスZ1=Z2に設計
するのが一般的である。しかしながらこのような技法で
は、半導体パッケージのリードの特性インピーダンスZ
1に対応して外部回路基板の基板側ストリップラインを
設計する必要があり、外部回路基板の設計、製造が複雑
になることは否めない。
【0016】これに対し、前記実施形態では、半導体パ
ッケージ10のリード6は、外部回路基板20の基板側
ストリップライン23の幅寸法W2よりも大きいリード
幅寸法W1から先端に向けてリード幅寸法が零になるよ
うなくさび型に形成されており、リード6の突出長さ方
向の一部において、リード6の幅寸法と基板側ストリッ
プライン23の幅寸法が一致し、これよりもリード6の
基端側ではリード幅寸法が大きく、リード6の先端側で
は基板側ストリップライン23の幅寸法が大きい構成と
されている。このため、リード6のくさび型をした形状
を一定に形成しておけば、リード6と基板側ストリップ
ライン23の両幅寸法が一致する箇所は、基板側ストリ
ップライン23の幅寸法W2に対して自己整合的に決定
されることになる。これにより、リード6の幅寸法が基
板側ストリップライン23の幅寸法よりも大きくなる領
域は、基板側ストリップライン23の幅寸法に追従変化
されることになり、図7に示したような基板側ストリッ
プライン23に対して不要な部分となるリード領域が低
減でき、結果として、リード6の特性インピーダンスZ
1と基板側ストリップライン23の特性インピーダンス
Z2の差を小さくし、あるいはZ1=Z2とすることが
可能となる。したがって、リード6と基板側ストリップ
ライン23との間での特性インピーダンスの不連続部分
の発生を解消して電圧定在波の発生を抑制し、リード6
と基板側ストリップライン23との間で伝送される信号
の反射電力を最小にするように動作する。
【0017】このように、リードをくさび型に形成する
ことで、リードの特性インピーダンスZ1と、外部回路
基板の基板側ストリップラインの特性インピーダンスZ
2を自己整合的に等しく、あるいは近似させることが可
能となるため、前記したように、半導体パッケージを構
成するセラミックケース部の比誘電率や厚み、あるいは
外部回路基板の絶縁基板の比誘電率や厚み等の相違にか
かわらず、基板側ストリップラインの設計、ないしは外
部回路基板の設計を一義的に行うことが可能になり、外
部回路基板の設計、製造を容易に行うことが可能にな
る。
【0018】図4は本発明にかかる半導体パッケージの
第2の実施形態の外観斜視図であり、図5は当該半導体
パッケージを外部回路基板に実装した状態の平面図であ
る。なお、第1の実施形態と等価な部分には同一符号を
付して詳細な説明は省略する。この実施形態では、半導
体パッケージ10のリード6Aは、基部から先端部に向
けてくさび型に形成する点では前記実施形態と同様であ
るが、リード先端部のリード幅寸法を零にするのではな
く、実装が想定される外部回路基板20の基板側ストリ
ップライン23の最小のストリップライン幅と同等、も
しくはそれ以下の幅寸法で切り落とされた形状とされて
いる。このような幅寸法で先端を切り落とした形状を有
するリード6Aにおいても、半導体パッケージ10を外
部回路基板20に実装したときには、リード6Aのくさ
び型形状によって前記実施形態と同様にリード6Aの特
性インピーダンスZ1と、外部回路基板20の基板側ス
トリップライン23の特性インピーダンスZ2の差を抑
制し、あるいは零にでき、リード6Aと基板側ストリッ
プライン23との間の反射電力を最小にすることが可能
となる。また、この実施形態では、先端を切り落とした
ことによりリード6Aの長さを短くできるため、リード
6Aにおける寄生容量が低減でき、高周波特性を改善す
る上で有利となる。
【0019】なお、前記実施形態では、半導体パッケー
ジの左右にそれぞれ2本のリードが配設した例を示して
いるが、各リードが十字型に配列されているような半導
体パッケージ、あるいは多数本のリードが配列されてい
るような半導体パッケージについても本発明を同様に適
用することが可能である。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、パッケー
ジ外方に向けて突出形成された高周波半導体パッケージ
のリードの形状として、パッケージから突出される部位
である基部からリード先端部に向けて当該リードの幅寸
法が徐々に減少するくさび型に形成され、その上で、リ
ードの基部の幅寸法は当該高周波半導体パッケージが実
装される外部回路基板に形成された基板側ストリップラ
インのライン幅寸法よりも大きく、前記リードの先端部
の幅寸法は前記基板側ストリップラインのライン幅寸法
よりも小さくされているので、リードが外部回路基板の
基板側ストリップラインに接続されたときには、リード
と基板側ストリップラインの幅寸法が一致される箇所
が、基板側ストリップラインの幅寸法に追従されること
になり、リードと基板側ストリップラインの幅寸法の相
違が要因となるリードと基板側ストリップラインの特性
インピーダンスの差が低減でき、両者間での特性インピ
ーダンスの不連続の発生を抑制し、反射電力を最小にし
た高周波特性に優れた半導体パッケージが実現される。
また、これにより、基板側ストリップラインをリードの
特性インピーダンスに一致させるための設計、製造が不
要となり、外部回路基板の設計、製造を容易に行うこと
も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体パッケージの第1の実施形態の
外観斜視図である。
【図2】図1の半導体パッケージを外部回路基板に実装
した状態の平面図である。
【図3】図2のAA線に沿う断面図である。
【図4】本発明の半導体パッケージの第2の実施形態の
外観斜視図である。
【図5】図4の半導体パッケージを外部回路基板に実装
した状態の平面図である。
【図6】従来の半導体パッケージの外観斜視図である。
【図7】図6の半導体パッケージを外部回路基板に実装
した状態の平面図である。
【符号の説明】
1 ヒートシンク 2 セラミックケース部 3 半導体素子 4 パッケージ側ストリップライン 5 金属ワイヤ 6,6A リード 7 キャップ 10 半導体パッケージ 20 外部回路基板 21 接地金属板 22 絶縁基板 23 基板側ストリップライン

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも一つのリードがパッケージ外
    方に向けて突出形成された高周波半導体パッケージにお
    いて、前記リードは前記パッケージから突出される部位
    である基部からリード先端部に向けて当該リードの幅寸
    法が徐々に減少するくさび型に形成され、前記リードの
    基部の幅寸法は当該高周波半導体パッケージが実装され
    る外部回路基板に形成された基板側ストリップラインの
    ライン幅寸法よりも大きく、前記リードの先端部の幅寸
    法は前記基板側ストリップラインのライン幅寸法よりも
    小さくされていることを特徴とする高周波半導体パッケ
    ージ。
  2. 【請求項2】 前記リードの先端部の幅寸法は零に形成
    されていることを特徴とする請求項に記載の高周波半
    導体パッケージ。
  3. 【請求項3】 前記リードの先端部はリードの長さ方向
    に垂直な方向に切り落とされており、当該先端部の幅寸
    法は前記基板側ストリップラインのライン幅寸法以下で
    あることを特徴とする請求項に記載の高周波半導体パ
    ッケージ。
  4. 【請求項4】 前記半導体パッケージは、ヒートシンク
    と、前記ヒートシンク上に形成されたセラミックケース
    部と、前記セラミックケース内に内装された半導体素子
    と、前記セラミックケース部の表面に形成されたパッケ
    ージ側ストリップラインと、前記パッケージ側ストリッ
    プラインに基部が接続されたリードと、前記セラミック
    ケースを封止するキャップとを備えて構成される請求項
    1ないし3のいずれかに記載の高周波半導体パッケー
    ジ。
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