JP3330192B2 - バッチ焼成炉 - Google Patents
バッチ焼成炉Info
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- JP3330192B2 JP3330192B2 JP13714493A JP13714493A JP3330192B2 JP 3330192 B2 JP3330192 B2 JP 3330192B2 JP 13714493 A JP13714493 A JP 13714493A JP 13714493 A JP13714493 A JP 13714493A JP 3330192 B2 JP3330192 B2 JP 3330192B2
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- Japan
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- hearth
- furnace
- raising
- rotating
- shaft
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック素子等の電
子部品を均一に加熱処理するバッチ焼成炉に関する。
子部品を均一に加熱処理するバッチ焼成炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的なエレベータ形式のバッチ焼成炉
は、図８及び図９に示すように炉底部に開口部分を有す
る炉本体２０と昇降する炉床４０とからなり、炉床には
昇降装置３０が装着されている。炉内には発熱体９０を
装備し、発熱体９０は処理品によって炉内の周囲や上方
に装着される。
は、図８及び図９に示すように炉底部に開口部分を有す
る炉本体２０と昇降する炉床４０とからなり、炉床には
昇降装置３０が装着されている。炉内には発熱体９０を
装備し、発熱体９０は処理品によって炉内の周囲や上方
に装着される。
【０００３】したがって処理品８０を加熱焼成すると発
熱体近傍と炉中央部の焼成品にバラツキが生じやすかっ
た。そこで従来から炉内の温度分布を良くし、均一に焼
成する方法が各種とられている。例えば発熱体の制御回
路を細分化して制御する方法が取られている。また、特
願昭５７−１８９７３２号では発熱体を炉内の周囲だけ
でなく、空間部に上、中、下に配置し、焼成することが
提案されている。
熱体近傍と炉中央部の焼成品にバラツキが生じやすかっ
た。そこで従来から炉内の温度分布を良くし、均一に焼
成する方法が各種とられている。例えば発熱体の制御回
路を細分化して制御する方法が取られている。また、特
願昭５７−１８９７３２号では発熱体を炉内の周囲だけ
でなく、空間部に上、中、下に配置し、焼成することが
提案されている。
【０００４】さらに、特願平３−４３４５７号では、ウ
オームギアと、このウオームギアに螺合し、先端部で炉
床を支持するボールネジと、ウオームギアを回転させる
ための駆動モータとを有する炉床上下駆動機構を備えた
雰囲気焼成炉が開示されている。別の方法としては実願
昭５８−７９９０号で雰囲気ガス導入管を炉内に設置
し、雰囲気ガスを均一にする方法が提案されている。
オームギアと、このウオームギアに螺合し、先端部で炉
床を支持するボールネジと、ウオームギアを回転させる
ための駆動モータとを有する炉床上下駆動機構を備えた
雰囲気焼成炉が開示されている。別の方法としては実願
昭５８−７９９０号で雰囲気ガス導入管を炉内に設置
し、雰囲気ガスを均一にする方法が提案されている。
【０００５】いずれの方法もある程度の効果は上がって
いるが、最近のより厳しい焼成条件を満足させるには不
十分であった。
いるが、最近のより厳しい焼成条件を満足させるには不
十分であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、従来の方法
では発熱体をどんなに効果的に配置して制御回路を細分
化して制御しても、また雰囲気ガスを導入管から一定供
給しても処理品の配置場所によって焼成バラツキが出て
いた。
では発熱体をどんなに効果的に配置して制御回路を細分
化して制御しても、また雰囲気ガスを導入管から一定供
給しても処理品の配置場所によって焼成バラツキが出て
いた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、炉底に
開口部を設けた炉本体と、昇降する炉床と、炉床を昇降
させるエレベータ機構とを具備するエレベータ炉におい
て、一定速度で回転する機構と、炉床を上下に往復運動
させる機構とを昇降する炉床に具備したことを特徴とす
る。
開口部を設けた炉本体と、昇降する炉床と、炉床を昇降
させるエレベータ機構とを具備するエレベータ炉におい
て、一定速度で回転する機構と、炉床を上下に往復運動
させる機構とを昇降する炉床に具備したことを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】本発明の焼成炉によれば、炉床を回転させるこ
とによって棚板上に並べられた個々の処理品の周囲には
一定のガス流が生じ、炉の側壁から供給される新鮮なガ
スが絶えず処理品の上を流れるようになる。これまで従
来の炉では淀みがちであった処理品からの揮発物を速や
かに排出ガスとして系外へ除去放出ができ、欠陥とされ
る処理品の残留カーボンや気泡の生成を防止できる。
とによって棚板上に並べられた個々の処理品の周囲には
一定のガス流が生じ、炉の側壁から供給される新鮮なガ
スが絶えず処理品の上を流れるようになる。これまで従
来の炉では淀みがちであった処理品からの揮発物を速や
かに排出ガスとして系外へ除去放出ができ、欠陥とされ
る処理品の残留カーボンや気泡の生成を防止できる。
【０００９】
【実施例】以下に添付の図面を参照して本発明の実施例
を説明する。本発明の炉構造を図１及び図２により説明
する。バッチ焼成炉１０は、炉体２０の底部に昇降装置
３０によって昇降される炉床４０を有する。炉床４０と
昇降装置３０の間の基部５０上に、炉床４０を回転させ
る炉床回転機構６００と、炉床４０を上下に０〜１００
mmの範囲で上下に往復運動させる炉床上下機構７００と
が設置されている。炉体２０の内部には、以下に詳細に
説明する加熱焼成するための処理品８０が配置される。
又、発熱体９０が炉１０の周囲及び炉１０の中央部に配
置され、さらに炉内温度を細かく制御するため、熱電対
１００が炉１０の側壁の上下及び周囲に配置されてい
る。又、排気筒１１０が炉の天井に設置され、排出ガス
の放出を容易にするようになっている。
を説明する。本発明の炉構造を図１及び図２により説明
する。バッチ焼成炉１０は、炉体２０の底部に昇降装置
３０によって昇降される炉床４０を有する。炉床４０と
昇降装置３０の間の基部５０上に、炉床４０を回転させ
る炉床回転機構６００と、炉床４０を上下に０〜１００
mmの範囲で上下に往復運動させる炉床上下機構７００と
が設置されている。炉体２０の内部には、以下に詳細に
説明する加熱焼成するための処理品８０が配置される。
又、発熱体９０が炉１０の周囲及び炉１０の中央部に配
置され、さらに炉内温度を細かく制御するため、熱電対
１００が炉１０の側壁の上下及び周囲に配置されてい
る。又、排気筒１１０が炉の天井に設置され、排出ガス
の放出を容易にするようになっている。
【００１０】図３及び図５は、炉床回転機構６００を示
す。炉床回転機構６００は、炉床板６０１の回転用モー
タ６０２を有し、このモータ６０２の出力軸である第１
シャフト６０３の端には、互いに噛み合う一対の駆動方
向変換ギア６０４の一方が固定されている。この駆動方
向変換ギア６０４の他方は、第２シャフト６０５の一方
の端に固定され、他方の端には、ウオームギア６０６が
固定されている。このウオームギア６０６は、炉床板６
０１の下部に取り付けられた第３シャフト６０７を中心
に回転するギア６０８と噛み合う。このギア６０８の回
転は、減速機固定ベース６０９に固定された炉床板回転
用減速機６１０に伝えられるようになっている。この減
速機固定ベース６０９は、基部５０と直角な２枚の平行
板からなり、この２枚の板は互いに連結されて一体に動
くようになっている。
す。炉床回転機構６００は、炉床板６０１の回転用モー
タ６０２を有し、このモータ６０２の出力軸である第１
シャフト６０３の端には、互いに噛み合う一対の駆動方
向変換ギア６０４の一方が固定されている。この駆動方
向変換ギア６０４の他方は、第２シャフト６０５の一方
の端に固定され、他方の端には、ウオームギア６０６が
固定されている。このウオームギア６０６は、炉床板６
０１の下部に取り付けられた第３シャフト６０７を中心
に回転するギア６０８と噛み合う。このギア６０８の回
転は、減速機固定ベース６０９に固定された炉床板回転
用減速機６１０に伝えられるようになっている。この減
速機固定ベース６０９は、基部５０と直角な２枚の平行
板からなり、この２枚の板は互いに連結されて一体に動
くようになっている。
【００１１】ウオームギア６０６とギア６０８を噛み合
わせて回転軸線の回転方向を水平方向から鉛直方向に変
更することにより、回転用モータ６０２は水平に配置さ
れ、炉床４０と昇降装置３０との間の狭い上下方向スペ
ースに炉床回転機構６００を設置できるようになってい
る。又、一対の駆動方向変換ギア６０４を具備すること
により炉床板回転用モータ６０２は基部５０上で場所を
とらずに配置され、炉床回転機構６００と炉床上下機構
７００とを基部５０上に一緒に配置することができるよ
うになっている。
わせて回転軸線の回転方向を水平方向から鉛直方向に変
更することにより、回転用モータ６０２は水平に配置さ
れ、炉床４０と昇降装置３０との間の狭い上下方向スペ
ースに炉床回転機構６００を設置できるようになってい
る。又、一対の駆動方向変換ギア６０４を具備すること
により炉床板回転用モータ６０２は基部５０上で場所を
とらずに配置され、炉床回転機構６００と炉床上下機構
７００とを基部５０上に一緒に配置することができるよ
うになっている。
【００１２】図３及び図４は、炉床上下機構７００を示
す。炉床上下機構７００は、４つの偏心円板カム７０１
を備え、このカム７０１には、カム駆動軸である第４シ
ャフト７０２と第４シャフト７０２の取り付け位置から
偏心した位置に取り付けられた突起ピン７０３とが設け
られている。このカム７０１は、第４シャフト７０２を
介してカム支持板７０４により支持され、カム支持板７
０４は、基部５０から直立して基部５０に固定されてい
る。カム支持板７０４は、減速機固定ベース６０９の外
側に２枚設けられ、２枚のカム支持板７０４は平行な関
係に整列する。それぞれのカム支持板７０４は、２つの
カム７０１を支持し、２つのカムはそれぞれの第４シャ
フト７０２が平行で、基部５０から同じ高さに設置され
る。２つのカム７０１のシャフト間の距離はなるべく離
れているのが好ましい。
す。炉床上下機構７００は、４つの偏心円板カム７０１
を備え、このカム７０１には、カム駆動軸である第４シ
ャフト７０２と第４シャフト７０２の取り付け位置から
偏心した位置に取り付けられた突起ピン７０３とが設け
られている。このカム７０１は、第４シャフト７０２を
介してカム支持板７０４により支持され、カム支持板７
０４は、基部５０から直立して基部５０に固定されてい
る。カム支持板７０４は、減速機固定ベース６０９の外
側に２枚設けられ、２枚のカム支持板７０４は平行な関
係に整列する。それぞれのカム支持板７０４は、２つの
カム７０１を支持し、２つのカムはそれぞれの第４シャ
フト７０２が平行で、基部５０から同じ高さに設置され
る。２つのカム７０１のシャフト間の距離はなるべく離
れているのが好ましい。
【００１３】図６に示すように、カム７０１の従動子と
して突起ピン７０３の上下にガイドバー７０５が設けら
れ、このガイドバー７０５は、２つのカム７０１の突起
ピン７０３を同時に挟み込むようになっている。このガ
イドバー７０５は、図２に示すように減速機固定ベース
６０９に固定され、減速機固定ベース６０９に沿って基
部５０に平行に延び、カム７０１の回転により、突起ピ
ン７０３が水平方向に摺動可能に係合するような構成に
なっている。減速機固定ベース６０９は、減速機６１０
を介して炉床４０と一体に動くようになっている。
して突起ピン７０３の上下にガイドバー７０５が設けら
れ、このガイドバー７０５は、２つのカム７０１の突起
ピン７０３を同時に挟み込むようになっている。このガ
イドバー７０５は、図２に示すように減速機固定ベース
６０９に固定され、減速機固定ベース６０９に沿って基
部５０に平行に延び、カム７０１の回転により、突起ピ
ン７０３が水平方向に摺動可能に係合するような構成に
なっている。減速機固定ベース６０９は、減速機６１０
を介して炉床４０と一体に動くようになっている。
【００１４】一方、炉床上下機構７００は、上下駆動モ
ータ７０６を基部５０上に有し、このモータ７０６の出
力軸である第５シャフト７０７の端にはスプロケット７
０８が設けられている。又、それぞれのカム支持板７０
４の外側には第６シャフト７０９が備えられ、この第６
シャフト７０９はそれぞれ、一方の端にスプロケット７
１０を有する。モータ７０６の回転は、スプロケット７
０８からチェーン７１１を介してそれぞれのスプロケッ
ト７１０を経て、巻き掛け伝動により各々の第６シャフ
ト７０９に伝えられるようになっている。又、この第６
シャフト７０９はそれぞれ、カム支持板７０４の外側に
設置された駆動方向変換機７１２を介してそれぞれの第
４シャフト７０２に回転が伝達されるようになってい
る。この駆動方向変換機７１２は、周知の駆動方向変換
用ギアを組み合わせた構成である。
ータ７０６を基部５０上に有し、このモータ７０６の出
力軸である第５シャフト７０７の端にはスプロケット７
０８が設けられている。又、それぞれのカム支持板７０
４の外側には第６シャフト７０９が備えられ、この第６
シャフト７０９はそれぞれ、一方の端にスプロケット７
１０を有する。モータ７０６の回転は、スプロケット７
０８からチェーン７１１を介してそれぞれのスプロケッ
ト７１０を経て、巻き掛け伝動により各々の第６シャフ
ト７０９に伝えられるようになっている。又、この第６
シャフト７０９はそれぞれ、カム支持板７０４の外側に
設置された駆動方向変換機７１２を介してそれぞれの第
４シャフト７０２に回転が伝達されるようになってい
る。この駆動方向変換機７１２は、周知の駆動方向変換
用ギアを組み合わせた構成である。
【００１５】本発明は上記のように構成されており、以
下にその作用について説明する。炉床回転機構６００を
作動させれば、炉床板回転用モータ６０２の回転は、一
対の駆動方向変換ギア６０４により回転軸線の方向を水
平面上略直角に変換して伝えられ、ウオームギア６０６
とギア６０８により回転軸線の方向が水平方向から鉛直
方向に変換される。次いで、炉床板回転用減速機６１０
により回転速度が減速され、炉床板６０１は図５の矢印
Ａ１のように一定速度で回転する。
下にその作用について説明する。炉床回転機構６００を
作動させれば、炉床板回転用モータ６０２の回転は、一
対の駆動方向変換ギア６０４により回転軸線の方向を水
平面上略直角に変換して伝えられ、ウオームギア６０６
とギア６０８により回転軸線の方向が水平方向から鉛直
方向に変換される。次いで、炉床板回転用減速機６１０
により回転速度が減速され、炉床板６０１は図５の矢印
Ａ１のように一定速度で回転する。
【００１６】又、炉床上下機構７００を作動させれば、
上下駆動モータ７０６の回転によって、チェーン７１１
を介して各々の第６シャフト７０９は回転する。第６シ
ャフト７０９の回転は、それぞれの駆動方向変換機７１
２を介して第４シャフト７０２の各々に伝えられ、各々
の偏心カム７０１は第４シャフト７０２を中心として回
転する。このとき突起ピン７０３の回転により、突起ピ
ン７０３に係合したガイドバー７０５を備えた減速機固
定ベース６０９は図３の矢印Ａ２のように上下に運動す
る。すなわち、図３に示すように突起ピンの偏心量をｄ
とすれば、炉床の上下変位量は２ｄとなる。上下運動中
に減速機固定ベース６０９と基部５０との接触を回避す
るために、突起ピン７０３がカム７０１上で最下端にき
たとき、減速機固定ベース６０９の下端と基部５０との
間に間隔を設ける必要がある。
上下駆動モータ７０６の回転によって、チェーン７１１
を介して各々の第６シャフト７０９は回転する。第６シ
ャフト７０９の回転は、それぞれの駆動方向変換機７１
２を介して第４シャフト７０２の各々に伝えられ、各々
の偏心カム７０１は第４シャフト７０２を中心として回
転する。このとき突起ピン７０３の回転により、突起ピ
ン７０３に係合したガイドバー７０５を備えた減速機固
定ベース６０９は図３の矢印Ａ２のように上下に運動す
る。すなわち、図３に示すように突起ピンの偏心量をｄ
とすれば、炉床の上下変位量は２ｄとなる。上下運動中
に減速機固定ベース６０９と基部５０との接触を回避す
るために、突起ピン７０３がカム７０１上で最下端にき
たとき、減速機固定ベース６０９の下端と基部５０との
間に間隔を設ける必要がある。
【００１７】炉床上下機構７００及び炉床回転機構６０
０は、別個の駆動装置、すなわち炉床板回転用モータ６
０２、上下駆動用モータ７０６によりそれぞれ駆動され
るので、炉床板６０１は上下及び回転が独立に行われ
る。図７は処理品の構成を詳細に示す。図７に示すよう
に、ジルコニア質セッタ１２０の上に寸法1.４mm×2.２
mm×0.９mmのセラミック積層コンデンサの成形品１３０
を並べ、炭化珪素質の棚板１４０の上にのせる。これら
は支柱１５０をもちいて等間隔に積み上げ炉に装填され
る。
０は、別個の駆動装置、すなわち炉床板回転用モータ６
０２、上下駆動用モータ７０６によりそれぞれ駆動され
るので、炉床板６０１は上下及び回転が独立に行われ
る。図７は処理品の構成を詳細に示す。図７に示すよう
に、ジルコニア質セッタ１２０の上に寸法1.４mm×2.２
mm×0.９mmのセラミック積層コンデンサの成形品１３０
を並べ、炭化珪素質の棚板１４０の上にのせる。これら
は支柱１５０をもちいて等間隔に積み上げ炉に装填され
る。
【００１８】以下に上記構成の実施例により行った焼成
結果を示す。焼成条件は、炉内温度１３５０℃、炉床回
転速度１回転／分で２時間の焼成である。比較例とし
て、図７に示した従来型のエレベータ炉で、同じ処理
品、同量を上記と炉内温度１３５０℃で焼成し、結果を
表１に示した。その結果、本発明の炉で焼成した処理品
では、処理品内部のポアが減少し、カーボンの残留が見
られず、従来炉にくらべ、約１０％アップという大幅な
得率向上が達成できた。
結果を示す。焼成条件は、炉内温度１３５０℃、炉床回
転速度１回転／分で２時間の焼成である。比較例とし
て、図７に示した従来型のエレベータ炉で、同じ処理
品、同量を上記と炉内温度１３５０℃で焼成し、結果を
表１に示した。その結果、本発明の炉で焼成した処理品
では、処理品内部のポアが減少し、カーボンの残留が見
られず、従来炉にくらべ、約１０％アップという大幅な
得率向上が達成できた。
【００１９】また、炉の熱容量が減少し、処理温度と雰
囲気ガスの分布が均一化されたことによって焼成に要す
る時間（昇温、冷却時間を含む）が約３０％短縮され焼
成費用も低減できた。
囲気ガスの分布が均一化されたことによって焼成に要す
る時間（昇温、冷却時間を含む）が約３０％短縮され焼
成費用も低減できた。
【００２０】
【表１】 項 目 本発明による実施例 比較例 ────────────────────────────────── 焼成得率 ９５〜９８％ ８５〜９０％ 焼成時間 １１時間 １６時間 処理品の特性向上 １２０％ １００％ 本発明の実施例を例示として説明したが本発明の範囲か
ら逸脱することなく、開示した実施例に種々の変更を行
うことができるのは明らかである。例えば、処理品は、
多数のセラミック素子等の電子部品以外に、単品でもよ
い。又、炉床を回転させる機構は、処理品の大きさ、量
によって回転速度を可変できるようにしてもよい。
ら逸脱することなく、開示した実施例に種々の変更を行
うことができるのは明らかである。例えば、処理品は、
多数のセラミック素子等の電子部品以外に、単品でもよ
い。又、炉床を回転させる機構は、処理品の大きさ、量
によって回転速度を可変できるようにしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明のバッチ式焼成炉を用いれば、従
来では処理品は一定の方向からのみ受熱していたが、本
発明のように炉床と一緒に処理品を回転させることによ
ってあらゆる方向からの受熱が可能となる。すなわち、
従来のエレベータ炉では処理品の取出し口に過ぎなかっ
た炉床を焼成中に回転させることによって炉内に取り付
けた発熱体からの処理品が受ける熱量を従来に比べ飛躍
的に均一化でき、棚板上に並んだ個々の処理品の特性を
均一にできる。
来では処理品は一定の方向からのみ受熱していたが、本
発明のように炉床と一緒に処理品を回転させることによ
ってあらゆる方向からの受熱が可能となる。すなわち、
従来のエレベータ炉では処理品の取出し口に過ぎなかっ
た炉床を焼成中に回転させることによって炉内に取り付
けた発熱体からの処理品が受ける熱量を従来に比べ飛躍
的に均一化でき、棚板上に並んだ個々の処理品の特性を
均一にできる。
【００２２】又、炉床を上下に往復運動させることによ
り炉体内部が攪拌されるので、炉体内部の温度分布及び
雰囲気ガス分布を均一化され、焼成時間を短縮でき、コ
ストの低減化に寄与できる。さらに、炉床の回転及び上
下運動を同時に行うことにより、上記効果をさらに上げ
ることができる。
り炉体内部が攪拌されるので、炉体内部の温度分布及び
雰囲気ガス分布を均一化され、焼成時間を短縮でき、コ
ストの低減化に寄与できる。さらに、炉床の回転及び上
下運動を同時に行うことにより、上記効果をさらに上げ
ることができる。
【図１】本発明の実施例のバッチ式焼成炉を示す断面図
である。
である。
【図２】図１の線II-II に沿った断面図である。
【図３】本発明の実施例の炉床回転機構及び炉床上下機
構の概略を示す斜視図である。
構の概略を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施例の炉床上下機構のうち、カム支
持板より外側部分の概略を示す斜視図である。
持板より外側部分の概略を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施例の炉床回転機構の概略を示す斜
視図である。
視図である。
【図６】本発明の実施例の炉床上下機構のうち、カムと
サイドバーの部分の概略を示す斜視図である。
サイドバーの部分の概略を示す斜視図である。
【図７】処理品の構成を示す側面図である。
【図８】従来の代表的なバッチ式焼成炉を示す断面図で
ある。
ある。
【図９】図８の線IX-IX に沿った断面図である。
２０ 炉体 ３０ 昇降装置 ４０ 炉床 ６００ 炉床回転機構 ６０２ 回転用モータ ６０３ 第１シャフト ６０４ 駆動方向変換ギア ６０５ 第２シャフト ６０６ ウオームギア ６０７ 第３シャフト ６０８ ギア ７００ 炉床上下機構 ７０１ 偏心円板カム ７０２ 第２シャフト ７０３ 突起ピン ７０５ ガイドバー ７０６ 上下駆動用モータ
Claims (3)
- 【請求項１】 炉底に開口部を設けた炉本体と、昇降す
る炉床と、炉床を昇降させるエレベータ機構とを具備す
るエレベータ炉において、一定速度で回転する炉床回転
機構と、炉床を上下に往復運動させる炉床上下機構とを
昇降する炉床に具備したことを特徴とするバッチ焼成
炉。 - 【請求項２】 前記炉床回転機構は、炉床を回転させる
ための回転駆動装置と、一方が前記駆動装置の出力軸に
固定された、互いに噛み合う一対の駆動方向変換ギア
と、前記駆動方向変換ギアの他方を一端に、ウオームギ
アを他端に固定して設けたシャフトと、前記ウオームギ
アに連結された炉床板回転用減速機と、前記炉床板回転
用減速機に連結され、炉床と一体に回転するギアとから
なることを特徴とする請求項１に記載のバッチ焼成炉。 - 【請求項３】 前記炉床上下機構は、カム駆動軸と突起
ピンとを備えた偏心カムと、前記カム駆動軸を回転させ
るための回転駆動装置と、前記突起ピンに係合する、前
記炉床と一体に動く従動子バーとからなることを特徴と
する請求項１に記載のバッチ焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13714493A JP3330192B2 (ja) | 1992-07-20 | 1993-06-08 | バッチ焼成炉 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23402592 | 1992-07-20 | ||
| JP4-234025 | 1992-07-20 | ||
| JP13714493A JP3330192B2 (ja) | 1992-07-20 | 1993-06-08 | バッチ焼成炉 |
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