JP3318085B2 - カンチレバーチップホルダー - Google Patents
カンチレバーチップホルダーInfo
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- JP3318085B2 JP3318085B2 JP30941993A JP30941993A JP3318085B2 JP 3318085 B2 JP3318085 B2 JP 3318085B2 JP 30941993 A JP30941993 A JP 30941993A JP 30941993 A JP30941993 A JP 30941993A JP 3318085 B2 JP3318085 B2 JP 3318085B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、探針を試料に沿って走
査させて、試料表面を測定するカンチレバーチップを保
持するカンチレバーチップホルダーに関する。
査させて、試料表面を測定するカンチレバーチップを保
持するカンチレバーチップホルダーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のカンチレバーチップホル
ダーを備えた走査型プローブ顕微鏡として、例えば特開
昭６３−３０９８０３号公報に開示されたような原子間
力顕微鏡（ＡＦＭ）が知られている。
ダーを備えた走査型プローブ顕微鏡として、例えば特開
昭６３−３０９８０３号公報に開示されたような原子間
力顕微鏡（ＡＦＭ）が知られている。
【０００３】このようなＡＦＭでは、探針を走査しなが
ら、探針と試料との間に働く相互作用を検出することに
よって、試料の表面情報が測定されている。特に、ＡＣ
モードのＡＦＭには、探針を励振させながら試料に接近
させることにより、試料と探針との間に作用する力勾配
を検出する。
ら、探針と試料との間に働く相互作用を検出することに
よって、試料の表面情報が測定されている。特に、ＡＣ
モードのＡＦＭには、探針を励振させながら試料に接近
させることにより、試料と探針との間に作用する力勾配
を検出する。
【０００４】図６に示すように、上記カンチレバーチッ
プホルダーは、支持部２と、この支持部２によって基端
部が支持されたバイモルフアクチュエータ４と、このバ
イモルフアクチュエータ４の先端部に取り付けられたカ
ンチレバーチップ６とを備えている。なお、カンチレバ
ーチップ６には、その自由端に探針８を保持したカンチ
レバー１０が設けられている。
プホルダーは、支持部２と、この支持部２によって基端
部が支持されたバイモルフアクチュエータ４と、このバ
イモルフアクチュエータ４の先端部に取り付けられたカ
ンチレバーチップ６とを備えている。なお、カンチレバ
ーチップ６には、その自由端に探針８を保持したカンチ
レバー１０が設けられている。
【０００５】ここで、力勾配は、カンチレバー１０の共
振特性の変化によって検出されている。具体的には、力
勾配は、カンチレバー１０の振動振幅信号に反映されて
おり、振幅が一定になるように試料に対する探針８の位
置関係を制御することによって、試料の表面情報が測定
されている。
振特性の変化によって検出されている。具体的には、力
勾配は、カンチレバー１０の振動振幅信号に反映されて
おり、振幅が一定になるように試料に対する探針８の位
置関係を制御することによって、試料の表面情報が測定
されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カンチ
レバー１０の励振は、支持部２を介して伝達されて、Ａ
ＦＭを構成しているカンチレバー１０以外の部材を振動
させることになり、カンチレバー１０の先端の振動のみ
を高精度に検出することが困難になってしまう場合があ
る。
レバー１０の励振は、支持部２を介して伝達されて、Ａ
ＦＭを構成しているカンチレバー１０以外の部材を振動
させることになり、カンチレバー１０の先端の振動のみ
を高精度に検出することが困難になってしまう場合があ
る。
【０００７】また、カンチレバー１０の共振点を検知す
るためには、共振周波数周辺の周波数領域内において、
一様な振幅で励振させる必要がある。本発明は、このよ
うな問題点を解決するためになされており、その目的
は、カンチレバー先端の振動のみを高精度に検出するこ
とができるカンチレバーチップホルダーを提供すること
にある。
るためには、共振周波数周辺の周波数領域内において、
一様な振幅で励振させる必要がある。本発明は、このよ
うな問題点を解決するためになされており、その目的
は、カンチレバー先端の振動のみを高精度に検出するこ
とができるカンチレバーチップホルダーを提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のカンチレバーチップホルダーは、支
持部と、前記支持部によって支持された板材と、この板
材上に設けられたカンチレバーチップと、前記板材上に
設けられ、所定の電圧を印加することによって、前記板
材を所定方向に振動させる振動部材と、前記支持部と前
記板材との間に介在され、前記板材から発生した振動が
前記支持部に伝達されないように、上記振動を減衰させ
る振動減衰素材とを備える。
るために、本発明のカンチレバーチップホルダーは、支
持部と、前記支持部によって支持された板材と、この板
材上に設けられたカンチレバーチップと、前記板材上に
設けられ、所定の電圧を印加することによって、前記板
材を所定方向に振動させる振動部材と、前記支持部と前
記板材との間に介在され、前記板材から発生した振動が
前記支持部に伝達されないように、上記振動を減衰させ
る振動減衰素材とを備える。
【０００９】
【作用】振動部材を介して板材から発生した振動は、支
持部に伝達される前に、振動減衰素材によって減衰され
る。
持部に伝達される前に、振動減衰素材によって減衰され
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係るカンチレ
バーチップホルダーについて図１及び図２を参照して説
明する。図１に示すように、本実施例のカンチレバーチ
ップホルダーは、支持部１２と、その基端部が支持部１
２によって支持された板材１４と、この板材１４の先端
部下面に接着又は着脱自在に固定されたカンチレバーチ
ップ１６と、板材１４の先端部上面に設けられ、所定の
電圧を印加することによって、板材１４の先端部を所定
方向に振動させる振動部材１８と、支持部１２と板材１
４との間に介在され、板材１４の先端部で発生した振動
が支持部１２に伝達されないように、上記振動を減衰さ
せる振動減衰素材２０とを備えている。
バーチップホルダーについて図１及び図２を参照して説
明する。図１に示すように、本実施例のカンチレバーチ
ップホルダーは、支持部１２と、その基端部が支持部１
２によって支持された板材１４と、この板材１４の先端
部下面に接着又は着脱自在に固定されたカンチレバーチ
ップ１６と、板材１４の先端部上面に設けられ、所定の
電圧を印加することによって、板材１４の先端部を所定
方向に振動させる振動部材１８と、支持部１２と板材１
４との間に介在され、板材１４の先端部で発生した振動
が支持部１２に伝達されないように、上記振動を減衰さ
せる振動減衰素材２０とを備えている。
【００１１】支持部１２は、板材１４をＡＦＭ本体（図
示しない）に固定可能に構成されている。板材１４は、
例えばチタン（Ｔｉ）又はアルミナ等の固い金属（或い
はセラミック）で構成されており、シムと称される（以
下、板材をシムという）。
示しない）に固定可能に構成されている。板材１４は、
例えばチタン（Ｔｉ）又はアルミナ等の固い金属（或い
はセラミック）で構成されており、シムと称される（以
下、板材をシムという）。
【００１２】カンチレバーチップ１６には、その自由端
に尖鋭化した探針２２を保持するカンチレバー２４が設
けられている。振動部材１８は、所定の電圧を印加する
ことによって長手方向に伸縮するチタン酸ジルコン酸鉛
（ＰＺＴ）で構成されており、その両面には電極（図示
しない）が形成されている。なお、このように長手方向
に伸縮する素材（即ち、ＰＺＴ）と固い素材（即ちシム
１４）とを組み合わせた構造をユニモルフアクチュエー
タと称される。
に尖鋭化した探針２２を保持するカンチレバー２４が設
けられている。振動部材１８は、所定の電圧を印加する
ことによって長手方向に伸縮するチタン酸ジルコン酸鉛
（ＰＺＴ）で構成されており、その両面には電極（図示
しない）が形成されている。なお、このように長手方向
に伸縮する素材（即ち、ＰＺＴ）と固い素材（即ちシム
１４）とを組み合わせた構造をユニモルフアクチュエー
タと称される。
【００１３】このような振動部材１８の上部電極には、
励振用発振器２６から延出した電線２８の延出端が半田
付けされており、下部電極は、導電性のシム１４又はシ
ム１４上の導電膜（図示しない）を介してアースされて
いる。
励振用発振器２６から延出した電線２８の延出端が半田
付けされており、下部電極は、導電性のシム１４又はシ
ム１４上の導電膜（図示しない）を介してアースされて
いる。
【００１４】振動減衰素材２０は、その音響インピーダ
ンスがシム１４と異なるような、例えばゴム，アクリ
ル，金属粉又はセラミックス粉を混ぜたエポキシ樹脂等
の振動減衰の大きな板材で構成されている。
ンスがシム１４と異なるような、例えばゴム，アクリ
ル，金属粉又はセラミックス粉を混ぜたエポキシ樹脂等
の振動減衰の大きな板材で構成されている。
【００１５】このような振動減衰素材２０上には、支持
部１２に対する着脱性及び位置決め精度を向上させるよ
うに、支持部１２との間に金属部３０が介挿されてい
る。このような構成において、カンチレバー２４の振動
特性に基づいたＡＣモードのＡＦＭ測定を行う場合、ま
ず、励振用発振器２６から振動部材１８の電極に所定の
励振信号が印加される。
部１２に対する着脱性及び位置決め精度を向上させるよ
うに、支持部１２との間に金属部３０が介挿されてい
る。このような構成において、カンチレバー２４の振動
特性に基づいたＡＣモードのＡＦＭ測定を行う場合、ま
ず、励振用発振器２６から振動部材１８の電極に所定の
励振信号が印加される。
【００１６】この結果、図２（ａ），（ｂ）に示すよう
に、振動部材１８は、その長手方向に伸縮し、この振動
部材１８の伸縮に伴ってシム１４の先端部が所定方向
（図２中矢印Ｓ方向）に振動される。
に、振動部材１８は、その長手方向に伸縮し、この振動
部材１８の伸縮に伴ってシム１４の先端部が所定方向
（図２中矢印Ｓ方向）に振動される。
【００１７】このようなシム１４の振動によって、シム
１４の先端部下面に接着されたカンチレバーチップ１６
が励振される。そして、カンチレバーチップ１６を励振
させた状態でＡＦＭ測定が行われることになる。
１４の先端部下面に接着されたカンチレバーチップ１６
が励振される。そして、カンチレバーチップ１６を励振
させた状態でＡＦＭ測定が行われることになる。
【００１８】このとき、シム１４の先端部に発生してい
る振動は、シム１４を介して支持部１２に伝達される前
に、上記振動減衰素材２０によって減衰され、支持部１
２を介してＡＦＭ本体（図示しない）には伝達されな
い。
る振動は、シム１４を介して支持部１２に伝達される前
に、上記振動減衰素材２０によって減衰され、支持部１
２を介してＡＦＭ本体（図示しない）には伝達されな
い。
【００１９】即ち、上記ユニモルフアクチュエータで
は、カンチレバー２４の励振のみが行われることにな
る。このように本実施例のカンチレバーチップホルダー
には、シム１４の先端部で発生した振動が支持部１２に
伝達される前に減衰させる振動減衰素材２０が設けられ
ているため、カンチレバー先端の振動のみを高精度に検
出することが可能となる。
は、カンチレバー２４の励振のみが行われることにな
る。このように本実施例のカンチレバーチップホルダー
には、シム１４の先端部で発生した振動が支持部１２に
伝達される前に減衰させる振動減衰素材２０が設けられ
ているため、カンチレバー先端の振動のみを高精度に検
出することが可能となる。
【００２０】なお、上記金属部３０は必ずしも必要では
なく、支持部１２によって直接振動減衰素材２０を保持
することも可能である。次に、本発明の第２の実施例に
係るカンチレバーチップホルダーについて、図３ないし
図５を参照して説明する。なお、本実施例の説明に際
し、第１の実施例と同一の構成には同一符号を付して、
その説明を省略する。
なく、支持部１２によって直接振動減衰素材２０を保持
することも可能である。次に、本発明の第２の実施例に
係るカンチレバーチップホルダーについて、図３ないし
図５を参照して説明する。なお、本実施例の説明に際
し、第１の実施例と同一の構成には同一符号を付して、
その説明を省略する。
【００２１】図３には、本実施例のカンチレバーチップ
ホルダーの断面図が示されており、（ａ）にはその上面
図が、（ｂ）にはその正面図が、（ｃ）にはその側面図
が示されている。
ホルダーの断面図が示されており、（ａ）にはその上面
図が、（ｂ）にはその正面図が、（ｃ）にはその側面図
が示されている。
【００２２】図３に示すように、本実施例のカンチレバ
ーチップホルダーには、その両側が突出した矩形状ホル
ダ本体３２が設けられており、このホルダ本体３２の内
側面には、互いに対向配置された一対の振動減衰素材２
０が張り付けられている。
ーチップホルダーには、その両側が突出した矩形状ホル
ダ本体３２が設けられており、このホルダ本体３２の内
側面には、互いに対向配置された一対の振動減衰素材２
０が張り付けられている。
【００２３】これら一対の振動減衰素材２０は、両持ち
支持部としての機能を有しており、その内側面の間に
は、所定角度だけ傾斜配置されたシム１４がホルダ本体
３２の長手方向に張設支持されている。
支持部としての機能を有しており、その内側面の間に
は、所定角度だけ傾斜配置されたシム１４がホルダ本体
３２の長手方向に張設支持されている。
【００２４】このシム１４上には、ＰＺＴ製の振動部材
１８がホルダ本体３２の長手方向に張設されている。こ
れらシム１４及び振動部材１８によってユニモルフアク
チュエータが構成され、カンチレバーチップ１６は、ユ
ニモルフアクチュエータの中心に着脱自在に張り付けら
れている。具体的には、カンチレバーチップ１６は、カ
ンチレバーチップ接着板及びカンチレバー位置決め固定
板としての機能を有するシム１４の中心に張り付けられ
ている。
１８がホルダ本体３２の長手方向に張設されている。こ
れらシム１４及び振動部材１８によってユニモルフアク
チュエータが構成され、カンチレバーチップ１６は、ユ
ニモルフアクチュエータの中心に着脱自在に張り付けら
れている。具体的には、カンチレバーチップ１６は、カ
ンチレバーチップ接着板及びカンチレバー位置決め固定
板としての機能を有するシム１４の中心に張り付けられ
ている。
【００２５】このような構成によれば、振動部材１８に
所定の励振信号が印加された場合、上記ユニモルフアク
チュエータは、図４（ａ），（ｂ）に示すように、両端
を支持する振動減衰素材２０を節として且つ中心の変位
量が最大になるモードが一次のモードとして励振され
る。
所定の励振信号が印加された場合、上記ユニモルフアク
チュエータは、図４（ａ），（ｂ）に示すように、両端
を支持する振動減衰素材２０を節として且つ中心の変位
量が最大になるモードが一次のモードとして励振され
る。
【００２６】しかしながら、本実施例も第１の実施例と
同様に、ユニモルフアクチュエータから発生した振動
は、その両端に設けられた振動減衰素材２０によって減
衰されるため、上記振動がホルダ本体３２を介してＡＦ
Ｍ本体（図示しない）に伝達されることはない。
同様に、ユニモルフアクチュエータから発生した振動
は、その両端に設けられた振動減衰素材２０によって減
衰されるため、上記振動がホルダ本体３２を介してＡＦ
Ｍ本体（図示しない）に伝達されることはない。
【００２７】即ち、上記ユニモルフアクチュエータで
は、カンチレバー２４（図３参照）の励振のみが行われ
ることになる。また、図５に示すように、シム１４の面
にカンチレバーチップ１６の位置決め用の罫書線等の書
き込み又は掘り込みを施すことによって、カンチレバー
２４の変位センサ（図示しない）を位置決めする際にお
ける調整範囲を限定することが可能となる。なお、本実
施例の他の効果は、第１の実施例と同様であるため、そ
の説明は省略する。
は、カンチレバー２４（図３参照）の励振のみが行われ
ることになる。また、図５に示すように、シム１４の面
にカンチレバーチップ１６の位置決め用の罫書線等の書
き込み又は掘り込みを施すことによって、カンチレバー
２４の変位センサ（図示しない）を位置決めする際にお
ける調整範囲を限定することが可能となる。なお、本実
施例の他の効果は、第１の実施例と同様であるため、そ
の説明は省略する。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、板材から発生した振動
が支持部に伝達される前に、その振動を減衰させる振動
減衰素材が設けられているため、カンチレバー先端の振
動のみを高精度に検出することが可能となる。
が支持部に伝達される前に、その振動を減衰させる振動
減衰素材が設けられているため、カンチレバー先端の振
動のみを高精度に検出することが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例に係るカンチレバーチッ
プホルダーの構成を概略的に示す断面図。
プホルダーの構成を概略的に示す断面図。
【図２】振動部材の伸縮に伴ってシムの先端部が矢印Ｓ
方向に振動している状態を示す断面図。
方向に振動している状態を示す断面図。
【図３】本発明の第２の実施例に係るカンチレバーチッ
プホルダーの構成を概略的に示す断面図。
プホルダーの構成を概略的に示す断面図。
【図４】両端を支持する振動減衰素材を節として中心の
変位量が最大になるモードが一次のモードとして励振さ
れている状態を示す断面図。
変位量が最大になるモードが一次のモードとして励振さ
れている状態を示す断面図。
【図５】シムの面にカンチレバーチップの位置決め用の
罫書線等の書き込み又は掘り込みが施された状態を示す
平面図。
罫書線等の書き込み又は掘り込みが施された状態を示す
平面図。
【図６】従来のカンチレバーチップホルダーの構成を概
略的に示す断面図。
略的に示す断面図。
１２…支持部、１４…板材（シム）、１６…カンチレバ
ーチップ、１８…振動部材、２０…振動減衰素材。
ーチップ、１８…振動部材、２０…振動減衰素材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G12B 21/00 - 21/24 G01B 7/34 G01B 21/30 H01J 37/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (6)
- 【請求項１】 支持部と、 前記支持部によって支持された板材と、 この板材上に設けられたカンチレバーチップと、 前記板材上に設けられ、所定の電圧を印加することによ
って、前記板材を所定の方向に振動させる振動部材と、 前記支持部と前記板材との間に介在され、前記板材から
発生した振動が前記支持部に伝達されないように、上記
振動を減衰させる振動減衰素材とを備えていることを特
徴とするカンチレバーチップ。 - 【請求項２】 前記振動減衰素材はゴムであることを特
徴とする請求項１に記載のカンチレバーチップ。 - 【請求項３】 前記振動減衰素材はアクリルであること
を特徴とする請求項１に記載のカンチレバーチップ。 - 【請求項４】 前記振動減衰素材は金属を混ぜたエポキ
シ樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のカンチ
レバーチップ。 - 【請求項５】 前記振動減衰素材はセラミックを混ぜた
エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の
カンチレバーチップ。 - 【請求項６】 前記板材は前記カンチレバーチップの位
置決めをする部位置決め部を有することを特徴とする請
求項１ないし５のいずれか一つにに記載のカンチレバー
チップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30941993A JP3318085B2 (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | カンチレバーチップホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30941993A JP3318085B2 (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | カンチレバーチップホルダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159422A JPH07159422A (ja) | 1995-06-23 |
| JP3318085B2 true JP3318085B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=17992782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30941993A Expired - Fee Related JP3318085B2 (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | カンチレバーチップホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3318085B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4688643B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-05-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 加振型カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
| JP4895379B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2012-03-14 | セイコーインスツル株式会社 | レバー加振機構及び走査型プローブ顕微鏡 |
| JP5014175B2 (ja) * | 2008-01-21 | 2012-08-29 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ、及びそれを備えた走査型プローブ顕微鏡 |
| WO2011016256A1 (ja) | 2009-08-06 | 2011-02-10 | 国立大学法人 金沢大学 | カンチレバー励振装置及び走査型プローブ顕微鏡 |
-
1993
- 1993-12-09 JP JP30941993A patent/JP3318085B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07159422A (ja) | 1995-06-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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