JP2005227139A - 原子間力顕微鏡用カンチレバー - Google Patents
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Abstract
【課題】 原子間力顕微鏡AFMの容量などの物性値の検出感度を向上すること。
【解決手段】 たとえばダイナミックモードAFMにおいて、シリコン単結晶を切削加工して製造された扁平な短冊状の直方体のカンチレバー2の長さ方向の途中に、幅方向に延びる溝64を形成する。これによってカンチレバー2の1次共振角周波数ω1に対する2次共振角周波数ω2の比(ω2/ω1)を、6.3未満の値、たとえば2.8に小さくすることができる。したがって光てこ法によってカンチレバー2の変位または角度を検出する構成におけるフォトダイオード5の検出可能な周波数帯域400kHz以下で、ω1,ω2をできるだけ大きくし、感度を向上させることができる。しかも構成上の制約が緩やかにすることができ、物性計測を利用する2次共振における等価ばね定数を小さくし、またダイナミックモードAFMにおいて、探針1・試料3間の距離制御に利用する1次共振のばね定数を適切な値に保つことにより、探針1と試料3との間の分子間力による凝着を防ぎ、安定した測定が可能となる。
【選択図】 図1
Description
り探針・試料間距離制御が不安定になりやすいという新たな問題が生じる。この凝着を避けるため、試料と探針の平均距離を近づけることができず、探針と試料のそれぞれの広い範囲で積分した相互作用で距離制御を行うことになり、結果として高分解能観察が困難となる。
Fad = (4πRγcosθ)・(1+D/d) …(2)
と表される(A.W.Adamson,“Physical Chemistry of Surface”,3rd Ed.,Wiely(1976))。Rは探針先端の曲率半径、Dは探針先端と試料表面の距離、γは液体における自由エネルギー変化を表す。ダイナミックモードAFMで試料表面との吸着を回避するためには、
Fad < kAOSC …(3)
を満たせばよい。ここでAOSCはカンチレバーの振動振幅を表す。つまり、AOSCを小さくして試料と探針の平均距離を近づけて高分解能観察を行うためには、kを大きくする必要があることが判る。
dV1 = −ρAdyd2Z/d2t
が成り立ち、したがって
Z(y,t)=Z(y)〔cos(ωmt+φ)〕 …(7)
とする。mは自然数である。
χ4 m=ωm 2ρA/EI …(8)
と置くと、yの方程式は、
先端部76では、y=L1であり、
χm・L1 = 1.875、4.694、および7.855、… …(11)
が導かれる。
したがって
前記透孔の長さ方向に延びる一対の透孔部分103,111間のビーム部105,113に、探針寄りに、長さ方向に交差する方向に延びる溝116,119が形成されることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバーである。この溝116,119に代えて、厚み方向に貫通した透孔または切欠きなどの質量軽減部が形成されてもよい。
前記透孔の長さ方向に延びる一対の透孔部分間のビーム部105,113の探針とは反対側の基端部寄りに、探針直上のビーム部の変位または角度を検出するための光反射領域67が設けられることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバーである。
また本発明は、前述の原子間力顕微鏡用カンチレバーと、
このカンチレバーの先端部に設けられる探針と試料との間に、交番電圧を印加して角周波数ωで振動する発振ループと、
前記カンチレバーの変位または角度を検出する検出手段と、
検出手段の出力に含まれる複数n(nは2以上の自然数)次の角周波数n・ωの高調波成分によって、物性値を測定する測定手段とを含むことを特徴とする原子間力顕微鏡である。
カンチレバーに光を照射する光源と、
前記光源からの光がカンチレバーによって反射された反射光を受光し、カンチレバーの振動による反射光の変位量を検出する受光素子とを含む光てこ法による検出手段であることを特徴とする。
V = Vdc+Vaccosωt …(14)
この電圧Vを印加すると、
Vcpd+Vdc = 0 …(22)
となるような電圧Vdcを調節することが可能である。このとき、
Vdc = −Vcpd …(23)
となり、探針1と試料3の仕事関数の差を打ち消しながら、それに必要となる電圧を画像化することで、表面電位像36を得ることができる。こうしてタッピングモードKFMが実現される。
2,97,101,115,118,121,171 カンチレバー
3 試料
4 レーザーダイオード
5 フォトダイオード
62 先端部
63 基端部
64,116,119 溝
67 光反射領域
102 透孔
105 ビーム部
108 透孔
113 ビーム部
127 歪みセンサ
131 ピエゾ抵抗カンチレバー
172 切欠き
Claims (11)
- 長さ方向の途中に薄肉部、透孔、切欠きなどの質量軽減部が形成されることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。
- 長さ方向の途中に、薄肉部、透孔または切欠きの少なくともいずれかが形成されることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。
- 1次共振角周波数ω1に対する2次共振角周波数ω2の比(ω2/ω1)が、6.3未満であることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。
- 長さ方向に交差する方向に延びる溝が形成されることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。
- 探針に向って開放して長さ方向に延びるU字状透孔102,108が形成され、
前記透孔の長さ方向に延びる一対の透孔部分103,111間のビーム部105,113に、探針寄りに、長さ方向に交差する方向に延びる溝116,119が形成されることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。 - 長さ方向に沿って、ビーム部の探針とは反対側の基端部寄りに、探針直上のビーム部の変位または角度を検出するための光反射領域67が設けられることを特徴とする請求項5記載の原子間力顕微鏡用カンチレバー。
- 探針に向って開放して長さ方向に延びるU字状透孔102,108が形成され、
前記透孔の長さ方向に延びる一対の透孔部分間のビーム部105,113の探針とは反対側の基端部寄りに、ビーム部の変位または角度を検出するための光反射領域67が設けられることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。 - 全体の外形が、偏平な直方体、または探針に向って先細に形成されることを特徴とする請求項1〜7のうちの1つに記載の原子間力顕微鏡用カンチレバー。
- 請求項1〜8のうちの1つに記載の原子間力顕微鏡用カンチレバーを備える原子間力顕微鏡。
- 請求項1〜8のうちの1つに記載の原子間力顕微鏡用カンチレバーと、
このカンチレバーの先端部に設けられる探針と試料との間に、交番電圧を印加して角周波数ωで振動する発振ループと、
前記カンチレバーの変位または角度を検出する検出手段と、
検出手段の出力に含まれる複数n(nは2以上の自然数)次の角周波数n・ωの高調波成分によって、物性値を測定する測定手段とを含むことを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 前記検出手段は、
カンチレバーに光を照射する光源と、
前記光源からの光がカンチレバーによって反射された反射光を受光し、カンチレバーの振動による反射光の変位量を検出する受光素子とを含む光てこ法による検出手段であることを特徴とする請求項10記載の原子間力顕微鏡。
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