JP3295232B2 - フルイディックガスメータ - Google Patents
フルイディックガスメータInfo
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- JP3295232B2 JP3295232B2 JP16377394A JP16377394A JP3295232B2 JP 3295232 B2 JP3295232 B2 JP 3295232B2 JP 16377394 A JP16377394 A JP 16377394A JP 16377394 A JP16377394 A JP 16377394A JP 3295232 B2 JP3295232 B2 JP 3295232B2
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- valve
- fluidic
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フルイディックガスメ
ータに関するものである。
ータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フルイディックガスメータは、フルイデ
ィック素子により流体振動を発生させてこれを流量パル
ス信号としてとり出し、この流量パルスを基に積算流量
を演算する構成であるが、微小流量の場合にこの流体振
動が発生しにくくなるという欠点がある。そこで、フル
イディック素子のノズルの部分に熱線式のフローセンサ
を組み込み、微小流量についてはこのフローセンサで計
測する方式のものが実用化されている。
ィック素子により流体振動を発生させてこれを流量パル
ス信号としてとり出し、この流量パルスを基に積算流量
を演算する構成であるが、微小流量の場合にこの流体振
動が発生しにくくなるという欠点がある。そこで、フル
イディック素子のノズルの部分に熱線式のフローセンサ
を組み込み、微小流量についてはこのフローセンサで計
測する方式のものが実用化されている。
【０００３】図５は上記実用化されているフルイディッ
クガスメータであって、１はケース、２はガス入口、３
はガス出口、４はフルイディック素子、５はノズル、６
はノズル５部分に組み込まれたフローセンサ、７はガス
入口２からノズル５に至るガス流路、８はガス流路７内
に形成された弁座、９は緊急信号を受けて弁座８を閉塞
する緊急遮断弁、１０は主弁、１１はリセットボタン、
１２は演算回路である。
クガスメータであって、１はケース、２はガス入口、３
はガス出口、４はフルイディック素子、５はノズル、６
はノズル５部分に組み込まれたフローセンサ、７はガス
入口２からノズル５に至るガス流路、８はガス流路７内
に形成された弁座、９は緊急信号を受けて弁座８を閉塞
する緊急遮断弁、１０は主弁、１１はリセットボタン、
１２は演算回路である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記フルイデ
ィックガスメータの場合、主弁１０は全開又は全閉に作
動する構造であって、メータ内を大量にガスが通過して
いる場合にはフルイディック素子４で発生する流体振動
（流量信号）に与える影響は無視できるが、ガスの消費
量が少なく、メータ内を通過するガスの量が低下して来
た場合、主弁１０が全開の状態にあると、上流側におい
て発生した圧力変動がそのままフルイディック素子４側
まで伝播して、フルイディック素子４で発生する流体振
動或いはフローセンサ６での流量計測に誤差が発生する
原因となる。そこで、主弁１０内に絞り孔を形成し、微
小流量の場合は主弁１０を閉じ、この絞り孔を経由して
ガスを通過させることにより、圧力変動がフローセンサ
側に伝わらないようにする提案がある。しかし、この場
合、圧力変動により正流と逆流が発生した場合であっ
て、特に逆流の場合に、フローセンサは誤作動する。
ィックガスメータの場合、主弁１０は全開又は全閉に作
動する構造であって、メータ内を大量にガスが通過して
いる場合にはフルイディック素子４で発生する流体振動
（流量信号）に与える影響は無視できるが、ガスの消費
量が少なく、メータ内を通過するガスの量が低下して来
た場合、主弁１０が全開の状態にあると、上流側におい
て発生した圧力変動がそのままフルイディック素子４側
まで伝播して、フルイディック素子４で発生する流体振
動或いはフローセンサ６での流量計測に誤差が発生する
原因となる。そこで、主弁１０内に絞り孔を形成し、微
小流量の場合は主弁１０を閉じ、この絞り孔を経由して
ガスを通過させることにより、圧力変動がフローセンサ
側に伝わらないようにする提案がある。しかし、この場
合、圧力変動により正流と逆流が発生した場合であっ
て、特に逆流の場合に、フローセンサは誤作動する。
【０００５】本発明は斯る点に鑑みて提案するものであ
って、上流側で発生した圧力変動に影響されない高精度
のフルイディックガスメータを実現することが目的であ
る。
って、上流側で発生した圧力変動に影響されない高精度
のフルイディックガスメータを実現することが目的であ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るフルイディ
ックガスメータの構成は次のとおりである。
ックガスメータの構成は次のとおりである。
【０００７】１．フルイディック素子のノズルに至るガ
ス流路内に弁座を形成し、緊急信号が入力された場合に
この弁座を主弁により閉塞することによってガスを遮断
する緊急遮断弁を組み込んだフルイディックガスメータ
において、主弁内に整圧室を形成し、この整圧室の前板
と後板に絞り孔を形成すると共にこの絞り孔に逆止弁を
取り付けて成るフルイディックガスメータ。
ス流路内に弁座を形成し、緊急信号が入力された場合に
この弁座を主弁により閉塞することによってガスを遮断
する緊急遮断弁を組み込んだフルイディックガスメータ
において、主弁内に整圧室を形成し、この整圧室の前板
と後板に絞り孔を形成すると共にこの絞り孔に逆止弁を
取り付けて成るフルイディックガスメータ。
【０００８】２．前板と後板の双方の絞り孔に逆止弁を
取り付けて成る前記１記載のフルイディックガスメー
タ。
取り付けて成る前記１記載のフルイディックガスメー
タ。
【０００９】３．前板と後板の何れか一方の絞り孔に逆
止弁を取り付けて成る前記１記載のフルイディックガス
メータ。
止弁を取り付けて成る前記１記載のフルイディックガス
メータ。
【００１０】４．逆止弁を弾性材で形成して成る前記１
及び２及び３記載のフルイディックガスメータ。
及び２及び３記載のフルイディックガスメータ。
【００１１】５．逆止弁をスプリングの力で通常は閉塞
するように構成して成る前記１及び２及び３記載のフル
イディックガスメータ。
するように構成して成る前記１及び２及び３記載のフル
イディックガスメータ。
【００１２】６．逆止弁を通常は重力で閉塞するように
構成して成る前記１及び２及び３記載のフルイディック
ガスメータ。
構成して成る前記１及び２及び３記載のフルイディック
ガスメータ。
【００１３】
【作用】ある一定流量以上のガスがフルイディックガス
メータ内を通過している場合、主弁は全開している。そ
して、一定流量以下の流量に低下した場合、緊急遮断弁
の主弁が作動して弁座を閉塞し、ガスは絞り孔と整圧室
を経由してノズル（フローセンサ）側に流れる。この状
態において例えば主弁に逆方向（−）の圧力が作用した
場合、逆止弁が作動して絞り孔を閉塞し、フローセンサ
或いはフルイディック素子側に逆方向の流体作用が発生
するのを阻止する。そして逆方向の圧力が解消すると逆
止弁は開放する。主弁内の整圧室は主弁閉で絞り孔を経
由してガスが流れている際に、上流側で発生した圧力変
動を緩和する機能を有し、安定した計測を実現する。
メータ内を通過している場合、主弁は全開している。そ
して、一定流量以下の流量に低下した場合、緊急遮断弁
の主弁が作動して弁座を閉塞し、ガスは絞り孔と整圧室
を経由してノズル（フローセンサ）側に流れる。この状
態において例えば主弁に逆方向（−）の圧力が作用した
場合、逆止弁が作動して絞り孔を閉塞し、フローセンサ
或いはフルイディック素子側に逆方向の流体作用が発生
するのを阻止する。そして逆方向の圧力が解消すると逆
止弁は開放する。主弁内の整圧室は主弁閉で絞り孔を経
由してガスが流れている際に、上流側で発生した圧力変
動を緩和する機能を有し、安定した計測を実現する。
【００１４】
【実施例】図１〜図４に本発明の実施例を示す。図１は
主弁１１内に整圧室１４を形成し、この整圧室１４の前
板１５と後板１６の中央に絞り孔１７、１８を形成し、
夫々に常閉型のゴム製逆止弁１９、２０を取り付けたも
ので、主弁１１が閉じた状態において、逆止弁１９、２
０の前後の差圧が流量測定に必要な大きさになったとき
に、逆止弁１９、２０が開き、ガスを通し、通常時は閉
じている。
主弁１１内に整圧室１４を形成し、この整圧室１４の前
板１５と後板１６の中央に絞り孔１７、１８を形成し、
夫々に常閉型のゴム製逆止弁１９、２０を取り付けたも
ので、主弁１１が閉じた状態において、逆止弁１９、２
０の前後の差圧が流量測定に必要な大きさになったとき
に、逆止弁１９、２０が開き、ガスを通し、通常時は閉
じている。
【００１５】図２は主弁１１の後板１６側の絞り孔１８
にバネ２２付の逆止弁２１を取り付けて逆流が発生した
ときにバネ２２に抗して閉じる。
にバネ２２付の逆止弁２１を取り付けて逆流が発生した
ときにバネ２２に抗して閉じる。
【００１６】図３は主弁１１の前板１５側と後板１６の
絞り孔１７、１８をズラして設け、後板１６側の絞り孔
１８に自重で流れを止める逆止弁２３を組み込んだ例、
図４は前板１５側の絞り孔１７に同じような自重で流れ
を止める逆止弁２３を組み込んだ例であって、逆止弁２
３の前後の差と逆止弁２３の重量とのバランスで逆止弁
２３が作動し、逆流の時に逆止弁２３が閉じてフローセ
ンサの誤作動を防ぐ。
絞り孔１７、１８をズラして設け、後板１６側の絞り孔
１８に自重で流れを止める逆止弁２３を組み込んだ例、
図４は前板１５側の絞り孔１７に同じような自重で流れ
を止める逆止弁２３を組み込んだ例であって、逆止弁２
３の前後の差と逆止弁２３の重量とのバランスで逆止弁
２３が作動し、逆流の時に逆止弁２３が閉じてフローセ
ンサの誤作動を防ぐ。
【００１７】
【発明の効果】本発明の効果は次のとおりである。
【００１８】ａ．メータの上流側において圧力変動があ
っても誤信号を出力しないようになり、正確な計量が出
来る。
っても誤信号を出力しないようになり、正確な計量が出
来る。
【００１９】ｂ．圧力変動により、ノズル部分の流速変
化を少なくすることが出来るので、フローセンサの測定
範囲を拡大する必要がなくなる。
化を少なくすることが出来るので、フローセンサの測定
範囲を拡大する必要がなくなる。
【００２０】ｃ．メータに流量が流れていない状態にお
ける誤信号の発生を防止出来る。
ける誤信号の発生を防止出来る。
【図１】主弁にゴム製逆止弁を取り付けた実施例の説明
図。
図。
【図２】主弁にバネで作用する逆止弁を取り付けた実施
例の説明図。
例の説明図。
【図３】主弁に自重で作用する逆止弁を取り付けた実施
例の説明図。
例の説明図。
【図４】主弁に自重で作用する逆止弁を取り付けた実施
例の説明図。
例の説明図。
【図５】フルイディックガスメータの説明図。
１１ 主弁 １４ 整圧室 １７・１８ 絞り孔 １９・２０・２１・２３ 逆止弁
Claims (6)
- 【請求項１】 フルイディック素子のノズルに至るガス
流路内に弁座を形成し、緊急信号が入力された場合にこ
の弁座を主弁により閉塞することによってガスを遮断す
る緊急遮断弁を組み込んだフルイディックガスメータに
おいて、 主弁内に整圧室を形成し、この整圧室の前板と後板に絞
り孔を形成すると共にこの絞り孔に逆止弁を取り付けて
成るフルイディックガスメータ。 - 【請求項２】 前板と後板の双方の絞り孔に逆止弁を取
り付けて成る請求項１記載のフルイディックガスメー
タ。 - 【請求項３】 前板と後板の何れか一方の絞り孔に逆止
弁を取り付けて成る請求項１記載のフルイディックガス
メータ。 - 【請求項４】 逆止弁を弾性材で形成して成る請求項１
又は２又は３記載のフルイディックガスメータ。 - 【請求項５】 逆止弁をスプリングの力で通常は閉塞す
るように構成して成る請求項１又は２又は３記載のフル
イディックガスメータ。 - 【請求項６】 逆止弁を通常は重力で閉塞するように構
成して成る請求項１又は２又は３記載のフルイディック
ガスメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16377394A JP3295232B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | フルイディックガスメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16377394A JP3295232B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | フルイディックガスメータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829215A JPH0829215A (ja) | 1996-02-02 |
| JP3295232B2 true JP3295232B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=15780450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16377394A Expired - Fee Related JP3295232B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | フルイディックガスメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3295232B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7691208B2 (en) | 2005-08-31 | 2010-04-06 | Tokyo Electron Limited | Cleaning method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102491017A (zh) * | 2011-12-09 | 2012-06-13 | 三一重工股份有限公司 | 一种粉料运输车 |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16377394A patent/JP3295232B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7691208B2 (en) | 2005-08-31 | 2010-04-06 | Tokyo Electron Limited | Cleaning method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0829215A (ja) | 1996-02-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |