JP3289929B2 - 走査機構及びこれを用いた走査型顕微鏡及び記録再生装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走査機構及びこれを用
いた走査型顕微鏡及び記録再生装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、導体の表面原子の電子構造を直接
観察できる走査型トンネル顕微鏡（以下、ＳＴＭと云
う）が開発され［G.Binning et al.Phys.Rev.Lett,49,5
7(1982)]、単結晶、非晶質を問わず実空間像の高い分解
機能の測定ができるようになり、しかも試料に電流によ
る損傷を与えずに低電力で観測できる利点も有し、更に
大気中でも作動し、種々の材料に対して用いることがで
きるため広範囲な応用が期待されている。

【０００３】ＳＴＭは金属製の探針から成るプローブ電
極と導電性物質間に電圧を加えて１ｎｍ程度の距離まで
近付けると、トンネル電流が流れることを利用してい
る。この電流は両者の距離変化に非常に敏感であり、ト
ンネル電流を一定に保つように探針を走査することによ
り、実空間の全電子雲に関する種々の情報をも読取るこ
とができる。このとき、面内方向の分解能は０．１ｎｍ
程度である。

【０００４】また、ＳＴＭの原理を応用してサブｎｍの
原子オーダでの高密度記録再生を行うことも可能であ
る。例えば、特開昭６１−８０５３６号に開示されてい
る記録再生装置では、電子ビーム等によって媒体表面に
吸着した原子粒子を取り除いて書き込みを行い、ＳＴＭ
によりこのデータを再生している。

【０００５】記録層として電圧電流のスイッチンング特
性に対してメモリ効果を持つ材料、例えばπ電子系有機
化合物やカルコゲン化合物類の薄膜層を用いて、記録・
再生をＳＴＭにより行う方法が、例えば特開昭６３−１
６１５５２号公報、特開昭６３−１６１５５３号公報に
提案されている。この方法によれば、記録のビットサイ
ズを１０ｎｍとすれば、１０¹²ビット／ｃｍ² もの大容
量の記録再生が可能である。

【０００６】ところで、実際の装置として走査型トンネ
ル顕微鏡或いは記録再生装置を構成する場合に、試料と
プローブ電極或いは記録層とプローブ電極との間の間隔
をトンネル電流が流れる距離に維持し、プローブ電極を
走査する機構が必要である。従来からプローブ電極の走
査機構として、平行板ばねと積層型ピエゾ素子で構成し
たステージや、分割電極を有した円筒型のピエゾ素子等
が用いられている。

【０００７】一方、最近では走査周波数の高速化が要求
されている。即ち、ＳＴＭにおいては短時間で像観察を
行ってステージ温度ドリフトの影響による像歪を除去し
たり、試料の表面状態の反応現象をリアルタイムで高速
に観察するなどの要求があり、記録再生装置においては
データの記録再生速度を高速化する上で必要である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の走
査機構を用いて、そのまま走査周波数を上げると走査機
構が持つ共振点での共振現象の影響が無視できなくな
る。特に、ＸＹ方向二次元走査を行う場合に、走査周波
数の高いＸ軸方向の往復走査の折り返して生ずる高次の
周波数成分が走査機構の共振を引き起こし、この振動が
走査変位を変調してＳＴＭ像を乱したり、記録再生エラ
ーを発生したりする。

【０００９】例えば、平行ばねと積層ピエゾ素子を用い
た走査機構では、共振周波数は通常のＳＴＭで用いられ
ている構成で１〜８ｋHz程度の値を持っている。このと
き、ＳＴＭの画像に共振点の影響なく動作できる最大の
走査周波数は約１０Hz程度である。また、可動部分を軽
量化できる円筒型ピエゾ素子を用いた走査機構では、共
振周波数は１０〜５０ｋHzであり、このときのＳＴＭに
おける最大走査周波数は１００Hz程度である。

【００１０】一方、リアルタイムでＳＴＭ像を観察する
場合には、試料の反応現象等の時間変化を測定する要求
から、走査周波数は１ｋHz以上は必要とされる。また、
記録再生装置に応用する場合は、応用する製品により異
なるが１Ｍbps のビットレートを得るためには５ｋHz以
上の走査周波数が必要である。

【００１１】この問題点を解決するため、走査機構を小
型化及び軽量化して剛性を高くすることにより、共振周
波数を上げることが行われている。また、往復走査の折
り返しで生ずる高次の周波数成分を無くするため、折り
返し点で滑らかな走査をすることが行われている。

【００１２】しかし、上述の走査速度を得るためには、
走査機構の共振点の近傍の周波数で駆動することにな
り、このような状況では走査駆動波形の僅かな歪でも共
振周波数での不整振動を起こすことになる。即ち、非常
に歪率の小さい正弦波で駆動を行っても、ピエゾ素子の
ヒステリシス或いはクリープ現象のため完全な正弦波駆
動は行えず走査に乱れが生ずる。

【００１３】更に、外部から混入する振動性の雑音が走
査機構の共振点での振動を引き起こすため、走査機構の
共振周波数近傍において特に減衰の大きい除震機構が必
要となる。

【００１４】本発明の目的は、振動体が安定な共振振動
を行い、走査機構の装置構成及び構成部材の特性から得
られる最高の周波数で走査し得る走査機構及びこれを用
いた走査型顕微鏡及び記録再生装置を提供することにあ
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの請求項１に係る発明は、一軸方向に運動を拘束した
振動体と、該振動体の運動方向の変位又は速度を検出す
る検出手段と、該検出手段の検出信号を増幅し前記振動
体を加振する手段とから成り、該加振する手段が前記振
動体をその共振周波数でかつ一定振幅で振動させるよう
にフィードバック制御を行うことを特徴とする走査機構
である。

【００１６】また、請求項２に係る発明は、試料表面を
プローブを用いて走査機構により相対的にＸＹ走査し、
前記試料表面と前記プローブとの間の物理的相互作用に
より前記試料表面の形状或いは又は電子状態を検知する
走査型顕微鏡において、前記ＸＹ走査の少なくとも一方
の軸の走査機構を請求項1に記載の走査機構により構成
したことを特徴とする走査型顕微鏡である。

【００１７】

【課題を解決するための手段】また、請求項３に係る発
明は、記録媒体の表面をプローブを用いて走査機構によ
り相対的にＸＹ走査し、前記記録媒体と前記プローブと
の間の物理的相互作用により前記記録媒体上にデータを
記録及び／又は再生する記録再生装置において、前記Ｘ
Ｙ走査の少なくとも一方の軸の走査機構を請求項1に記
載の走査機構により構成したことを特徴とする記録再生
装置である。

【００１８】

【作用】上述の構成を有する走査機構及びこれを用いた
走査型顕微鏡及び記録再生装置は、振動体を用いて、走
査機構が持つ固有振動数を利用して高速な走査を行う。

【００１９】

【実施例】本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明
する。本発明に係る走査機構は共振Ｑ値の高い振動体
と、該振動体の共振振動に位相同期した発振器とで構成
している。この構成により、振動体が安定な共振振動を
行い、走査機構の装置構成及び構成部材の特性から得ら
れる最高の周波数で走査することができる。

【００２０】図１は走査機構の構成図を示し、支持部材
１に支持されＸ方向のみ運動が許されるように、運動方
向が拘束されていて共振Ｑ値が高くなるように構成され
た振動体２の先端に、プローブ電極３が先端を振動方向
と直交する方向に向けて固定されている。発振器４は振
動体２の共振周波数近傍の周波数の発振を行い、この発
振エネルギを振動体２に伝達し駆動する。検出器５は振
動体２のＸ方向の変位又は速度を検出し、発振器４の駆
動波形と位相の比較を行い、発振器４の発振周波数と振
動体２の共振周波数との偏差を計測する。この装置の外
容器６は、除震機構７を介して内部の構成部品を支持し
ている。なお、８は外来振動の雑音源である。

【００２１】振動体２は発振器４から送られるエネルギ
により振動を起こす。検出器５は振動の変位又は速度を
検知し、発振周波数と振動体２の共振周波数の偏差を零
とするように発振器４の発振周波数を調整することによ
り、振動体２は自己の固有振動数で最大振幅の振動を起
こす。このとき、発振器４が振動体２に注入するエネル
ギに対するプローブ電極３の変位量つまり走査振幅の比
が最大であり、最も駆動効率の高い状態となる。

【００２２】上記の一連の動作は個別の機能ブロックを
構成して実現することができる。また、振動体２を回路
ループに含ませ、振動体２、発振器４、検出器５が１つ
の共振回路となるように構成してもよい。

【００２３】外容器６に対しこれらの構成部品を支持す
る除震機構７は、振動体２のＱ値の分だけ見掛け上の除
震利得を向上する。即ち、外来雑音源８の発生する雑音
のうち、問題となるのは振動体２の共振周波数以下の周
波数であり、更に振動体２がこの雑音により摂動を受け
る感度は走査周波数での感度の１／Ｑである。

【００２４】図２、図３及び図４は第２の実施例による
走査機構を示している。図２はＸＹステージのＸ方向の
駆動機構部分の平面図を表し、図３は図２のＡ−Ａ’に
沿った断面図である。試料を設置する試料台１０は、支
持部材１１に一端を固定された平行ヒンジ１２により運
動方向を拘束された振動体であるステージ１３上に固定
され、ステージ１３に振動エネルギを与えるピエゾ素子
１４を介して錘１５ａに結合され、ステージ１３の変位
を検知するピエゾ素子１６を介して錘１５ｂに結合され
ている。

【００２５】ステージ１３はピエゾ素子１４が伸張と収
縮を反復することにより振動する。錘１５ａはステージ
１３よりも大きな慣性質量を持っており、ピエゾ素子１
４の伸張・収縮振動のエネルギは殆どステージ１３に伝
達する。また、ステージ１３の振動は同時にピエゾ素子
１６に伝えられる。ピエゾ素子１６も一端を錘１５ｂで
支持されているので、慣性質量の大きな差によりこのス
テージ１３の振動は殆どピエゾ素子１６を伸張・収縮さ
せることに使用される。

【００２６】この走査機構を最初に起動する時は錘１５
ａ、１５ｂは静止している。ピエゾ素子１４に発振電圧
を加えると、上述したようにステージ１３が振動を始め
る。ピエゾ素子１６を用いてステージ１３の振動状態を
検出し、ピエゾ素子１４の駆動位相とピエゾ素子１６の
検出位相の位相差が振動体ステージ１３の共振条件とな
るように駆動の発振周波数を制御する。この走査機構が
共振動作状態になると錘１５ａ、１５ｂも振動を始め、
ステージ１３と錘１５ａ、１５ｂは殆ど同相で変位する
ようになる。このときの振動は非常に安定で、ピエゾ素
子１４から供給される振動エネルギは最小となる。

【００２７】図４はこの走査機構を制御する回路のブロ
ック構成図を示し、図示しないピエゾ素子１６の出力は
検出増幅器２０に入力され、検出増幅器２０の出力は位
相調節器２１の入力に接続されている。位相調節器２１
の出力は位相検波器２２に入力され、その出力はローパ
スフィルタ２３を介して電圧制御型発振器２４の発振周
波数制御入力端に接続されている。発振出力調整回路２
５には検出増幅器２０の出力がダイオードＤ、抵抗Ｒ、
コンデンサＣで構成された整流回路２６を介して接続さ
れ、発振器２４の出力側に接続された可変抵抗２７を調
節するようになっている。また、発振器２４の出力は可
変抵抗２７を介してドライバ２８に入力され、ドライバ
２８の出力はピエゾ素子１４と位相検波器２２の他方の
入力に接続されている。

【００２８】ここで、発振器２４で発振した出力は可変
抵抗２７でレベル調整された後に、ドライバ２８を介し
てピエゾ素子１４を駆動する。一方、ピエゾ素子１６で
検出された電圧は検出増幅器２０で増幅された後に、位
相調節器２１において共振条件となる位相差が得られる
ように移相する。移相された信号は位相検波器２２によ
りピエゾ素子１４の駆動信号の位相とで位相検波が行わ
れ、検波出力はローパスフィルタ２３を介して発振器２
４の発振周波数制御端に入力する。

【００２９】このような回路ループにより発振器２４は
走査機構の振動体の共振条件となるように、ピエゾ素子
１４、１６の駆動／検出の位相差を検知して、振動体で
あるステージ１３の共振周波数に同期した発振を行う。
更に、ステージ１３の振動の振幅を安定させるために振
動振幅安定化回路が構成されている。つまり、ピエゾ素
子１６で検出した振動電圧は整流回路２６によりステー
ジ１３の振動振幅に変換される。この振動振幅を表す電
圧を基準電圧Vstdと比較し、これらの差がなくなるよう
に発振調整回路２５を用いて可変抵抗２７を変化させ
る。

【００３０】本実施例の構成によると、次のような効果
が生ずる。 (1) ピエゾ素子１４が運動エネルギを蓄積する錘１５ａ
と弾性体であるヒンジ付きステージ１３との間に挟持さ
れているため、振動の位相制御が正確に行える。 (2) 錘１５ａに蓄積された運動エネルギと平行ヒンジ１
２に蓄えられたポテンシャルエネルギとの間のエネルギ
交換の損失が小さい。従って、共振動作状態では駆動ピ
エゾ素子１４に供給する電力は小さくて済む。 (3) 駆動／検出素子を取り付けてもステージ１３のＱ値
が下がらない。

【００３１】図５、図６及び図７は第３の実施例による
走査機構を示し、図５はプローブ電極をＸ方向に往復走
査する機構の平面図、図６は図５のＢ−Ｂ’に沿った断
面図である。プローブ電極３は一端が支持部材３０に固
定支持されてＸ方向に振動ができるような片持ち梁３１
の先端に取り付けられている。片持ち梁３１の先端近傍
に永久磁石３２が取り付けられており、その磁極近傍で
検出コイル３３が支持部材１１に固定され、振動体であ
る片持ち梁３１が変位すると検出コイル３３の磁界が変
化する。また、同様にこの永久磁石３２は駆動コイル３
４のコアにもなっており、駆動コイル３４に電流を流す
ことによって片持ち梁３１に運動エネルギを与えること
ができる。

【００３２】この走査機構を駆動するには、検出コイル
３３に発生する電流を増幅してその出力を駆動コイル３
４に戻す閉回路を用いる。閉回路の増幅の位相遅れ及び
時定数を片持ち梁３１の共振周波数での発振条件とする
ことで安定な発振が行える。

【００３３】図７は図５の走査機構を駆動する回路を示
し、正電圧Vcc は駆動コイル３４のセンタタップに接続
され、駆動コイル３４の両端はそれぞれエミッタ接地さ
れたトランジスタQ1、Q2のコレクタに、また検出コイル
３３の両端はそれぞれベースに接続され、検出コイル３
３のセンタタップはバイアス用の抵抗Ｒを介して正電圧
Vcc に接続されている。この回路は所謂ロイヤーの回路
とほぼ同じ構成になっているが、違いは発振トランスの
コアが振動体となっていることである。

【００３４】このトランスのコアは永久磁石３２であ
り、駆動コイル３４に電流を流すことによって永久磁石
３２を変位させると、その変位量により検出コイル３３
に起電力が発生する。この起電力により、トランジスタ
Q1、Q2のうち起電力の極性で決まる何れか一方にベース
電流が流れ、それが増幅されて駆動コイル３４に電流が
流れる。永久磁石３２は片持ち梁３１の固有振動数で動
くので、この回路を用いることにより片持ち梁３１の共
振周波数に同期した発振をさせることができる。

【００３５】発振の周波数を決定しているのは片持ち梁
３１の共振周波数であり、駆動コイル３４のコアは振動
する永久磁石３２であるため、一度安定な発振状態にな
るとこの回路は殆ど電力を消費しなくなる。

【００３６】本実施例によると、次のような効果があ
る。 (1) 簡単な回路構成及び機構により構成されているので
小型にできる。 (2) 振動体の機構が単純であるので、共振点を高く設計
することが容易である。 (3) 電力を殆ど消費しない。

【００３７】図８は第２の実施例の走査機構を用いたＳ
ＴＭの実施例を示す。バイアス電源Vbが接続されている
試料４０は第１の実施例と同等の構成のＸ軸方向の走査
ステージ４１に取り付けられ、走査ステージ４１にはＸ
走査回路４２が接続されている。走査ステージ４１を支
持しＹ軸方向に走査するＹ走査機構４３はＹ走査回路４
４により駆動される。これらの走査手段はプローブ電極
３と試料４０をＸＹ面内で相対的に二次元走査させるた
めに用いられる。

【００３８】アクチュエータ４６にＺ方向に移動自在に
支持され、試料４０に対向したプローブ電極３に、電流
増幅器４７の入力端が接続され、電流増幅器４７の出力
にはローパスフィルタ４８を介してコンパレータ４９の
正入力が接続されている。コンパレータ４９の負入力に
は基準電圧Vrefの正極が接続され、コンパレータ４９の
出力は位相補償用のＲＣ回路５０及びドライバ５１を介
してアクチュエータ４６に入力されている。Ｘ走査回路
４２及びＹ走査回路４４の出力は画像表示装置５２にも
入力され、画像表示装置５２にはまたスイッチSWを介し
て電流増幅器４７又はＲＣ回路５０の出力が接続されて
いる。

【００３９】Ｚ位置制御はプローブ電極３が検出するト
ンネル電流の平均値が一定値となるように以下の手順で
行われる。即ち、プローブ電極３が試料４０の表面にｎ
ｍオーダまで近付くと、バイアス電源Vbにより試料４０
の表面とプローブ電極３との間にトンネル電流が流れ
る。このトンネル電流を電流増幅器４７で増幅し電圧に
変換する。更に、この電圧からローパスフィルタ４８で
低域信号を抽出し、コンパレータ４９において基準電圧
Vrefと比較する。トンネル電流値が基準電圧Vrefを越え
た場合には、プローブ電極３が試料４０の表面から離れ
る方向にアクチュエータ４６が駆動される。トンネル電
流が基準電圧Vrefより減少した場合には、プローブ電極
３が試料４０表面に接近する方向にアクチュエータ４６
が駆動される。このとき、コンパレータ４９の出力側に
あるＲＣ回路５０はフィードバックの位相を補償する。

【００４０】画像表示装置５２はＸ方向走査ステージ４
１及びＹ走査機構４３により試料４０を二次元走査した
とき、トンネル電流像と呼ばれるトンネル電流の変化、
或いはプローブ電極３のＺ方向の変位量を示すトポグラ
フ像の何れかを二次元画像として表示する。何れの情報
を表示するかは切換スイッチSWにより選択する。

【００４１】本発明による高速走査機構はトンネル電流
像の観察を行う場合のＳＴＭに特に有用である。即ち、
平滑な試料の原子配列状態を高速で観察することがで
き、表面の吸着の過程、結晶成長過程などの観察に適し
ている。

【００４２】本実施例のＳＴＭは次のような長所を有す
る。 (1) 高速な走査を行い、かつ広い走査領域を観察するこ
とができる。 (2) ＸＹＺ各軸の走査機構に高速走査による寄生振動を
発生することがないので、鮮明な観察画像が得られる。 (3) プローブ電極３の折返し走査が正確な正弦波となる
ので、折返し点におけるノイズ等によるフィールドバッ
クの乱れから生ずる観察像の歪がない。

【００４３】図９は第３の実施例の走査機構をＸ軸走査
機構６０及びＸ走査回路６１に用いた記録再生装置の実
施例を示し、Ｘ軸走査機構６０にはＺ軸方向の駆動アク
チュエータ４６を介してプローブ電極３が取り付けられ
ている。記録媒体６２上には複数個のトラッキングパタ
ーン６３が形成されており、それぞれトラック番号によ
り識別されるようになっている。記録媒体６２をＹ軸方
向に走査するＹ走査機構６４に支持されたステージ６５
は、プローブ電極３とトラッキングパターン６３とのＸ
方向の相対位置を制御する。つまり、トラッキング位置
を補正する。ステージ６５に支持された基台６６により
記録媒体６２が支持されている。Ｙ走査機構６４はＹ走
査回路４４の出力により駆動される。

【００４４】Ｘ走査回路６１の出力はＸ軸走査機構６０
及びステージ６５を駆動するトラッキング制御回路６７
に接続されている。電流増幅器４７の出力はデータ読出
し回路６８、コンパレータ６９の正入力にも接続され、
コンパレータ６９の負入力は基準電圧Vtに接続されてお
り、コンパレータ６９の出力はトラッキング制御回路６
７及びデータ読出し回路６８、データ書込み回路７０に
入力されている。また、データ書込み回路７０の出力は
書込み変調器７１及びコンデンサCiを介してプローブ電
極３に出力する。

【００４５】プローブ電極３と記録媒体６２の表面との
間の間隔制御は第４の実施例のＳＴＭと同様に行う。即
ち、電流増幅器４７、ローパスフィルタ４８、コンパレ
ータ４９、ＲＣ回路５０及びドライバ５１で形成される
フィードバック回路により、プローブ電極３と記録媒体
６２間に流れるトンネル電流の平均値が一定となるよう
な制御が行われる。

【００４６】データの記録再生は記録媒体６２上のトラ
ッキングパターン６３を基準にして行われる。プローブ
電極３で検出され、電流増幅器４７で電圧に変換された
トンネル電流信号はコンパレータ６９により基準電圧Vt
と比較される。プローブ電極３がトラッキングパターン
６３上を走査すると基準電圧Vtよりも小さいトンネル電
流信号を発生するため、コンパレータ６９の出力からプ
ローブ電極３がトラッキングパターン６３を通過したと
きのタイミングが検知される。このタイミング信号とト
ンネル電流信号とからデータ読出し動作を行い、このタ
イミング信号を基準にデータの書込み動作を行う。ま
た、このタイミング信号を用いてトラッキング制御回路
６７により、プローブ電極３の記録媒体６２上のＸ走査
領域が正しくトラッキングパターン６３上を追跡するよ
うに制御する。

【００４７】図１０は記録媒体６２上のプローブ走査の
軌跡を示し、トラッキングパターン６３はＹ軸に平行に
直線状に形成され、プローブ電極３の軌跡TrはＸ軸方向
の振動の端部近くでトラッキングパターン６３上を通っ
ている。軌跡Tr上に複数のデータビットDbが形成されて
いる。プローブ電極３は記録媒体６２上に形成されたト
ラッキングパターン６３に沿ってＸ方向に往復走査しな
がらＹ方向に走査してゆく。即ち、Ｘ走査の左端がトラ
ッキングパターン６３となるように、ステージ６５を制
御しながらＹ方向に進み記録再生を行う。

【００４８】本実施例の記録再生装置によると、次のよ
うな効果がある。 (1) Ｘ方向の高速走査によりデータの記録再生のビット
レートが向上する。 (2) 正弦波駆動となるためＸ走査の折返し点でのノイズ
の発生がなくなり、トラッキングパターンの追跡動作が
容易となる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、歪
無く高速にプローブと記録媒体又は試料を相対的に走査
することができ、また走査機構が持つ固有振動数を利用
するので極めて高速な走査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の走査機構の構成図である。

【図２】第２の実施例の走査機構の平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ’断面図である。

【図４】図２の走査機構を駆動する回路のブロック回路
構成図である。

【図５】第３の実施例の走査機構の平面図である。

【図６】図５のＢ−Ｂ’断面図である。

【図７】図５の走査機構を駆動する回路の回路図であ
る。

【図８】第２の実施例の走査機構を用いたＳＴＭ装置の
ブロック回路構成図である。

【図９】第３の実施例の走査機構を用いた記録再生装置
のブロック回路構成図である。

【図１０】図９における記録媒体上のプローブ電極の軌
道を表す説明図である。

【符号の説明】

２ 振動体 ３ プローブ電極 ４ 発振器 ５ 検出器 １０ 試料台 １３、６５ ステージ １４、１６ ピエゾ素子 １５ａ、１５ｂ 錘 ３１ 片持ち梁 ３２ 永久磁石 ３３ 検出コイル ３４ 駆動コイル ４０ 試料 ６２ 記録媒体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山野 明彦 東京都大田区下丸子三丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 紫藤 俊一 東京都大田区下丸子三丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−148007（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−161552（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−161553（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−285203（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−142048（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−263101（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−309803（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G02B 26/00 - 26/12 G11B 9/00 - 9/14 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一軸方向に運動を拘束した振動体と、該
   振動体の運動方向の変位又は速度を検出する検出手段
   と、該検出手段の検出信号を増幅し前記振動体を加振す
   る手段とから成り、該加振する手段が前記振動体をその
   共振周波数でかつ一定振幅で振動させるようにフィード
   バック制御を行うことを特徴とする走査機構。
2. 【請求項２】 試料表面をプローブを用いて走査機構に
   より相対的にＸＹ走査し、前記試料表面と前記プローブ
   との間の物理的相互作用により前記試料表面の形状或い
   は電子状態を検知する走査型顕微鏡において、前記ＸＹ
   走査の少なくとも一方の軸の走査機構を請求項1に記載
   の走査機構により構成したことを特徴とする走査型顕微
   鏡。
3. 【請求項３】 記録媒体の表面をプローブを用いて走査
   機構により相対的にＸＹ走査し、前記記録媒体と前記プ
   ローブとの間の物理的相互作用により前記記録媒体上に
   データを記録及び／又は再生する記録再生装置におい
   て、前記ＸＹ走査の少なくとも一方の軸の走査機構を請
   求項1に記載の走査機構により構成したことを特徴とす
   る記録再生装置。