JP3287218B2 - セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート成形用支持体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックグリ
ーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート
成形用支持体に関するもので、特に、キャリアフィルム
によって裏打ちされた状態でのセラミックグリーンシー
トの製造方法およびキャリアフィルムとしての機能を有
するセラミックグリーンシート成形用支持体に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品を製造する場合、積層され
るべきセラミックグリーンシートが用意される。このよ
うなセラミックグリーンシートを成形するため、たとえ
ばポリエチレンテレフタレートからなる可撓性のキャリ
アフィルムが用意され、このキャリアフィルム上でセラ
ミックグリーンシートの成形が行なわれることがある。

【０００３】また、このようなキャリアフィルム上での
セラミックグリーンシートの成形をより能率的に進める
ため、キャリアフィルムをセラミックスラリー内に浸漬
した後、引き上げることにより、キャリアフィルムの両
面上でセラミックグリーンシートを成形することが行な
われることもある。これによれば、一挙に２枚のセラミ
ックグリーンシートが得られ、それぞれのセラミックグ
リーンシートは、通常、キャリアフィルムから剥離され
た後、以後の工程に供される。

【０００４】ところで、得ようとする積層セラミック電
子部品の小型化あるいは薄型化を図りながら、高性能化
を図るための対策の１つとして、用いられるセラミック
グリーンシートの薄層化が有効である。そのため、従
来、３０〜５０μｍの厚みであったセラミックグリーン
シートは、たとえば厚み１０μｍ程度にまで、その薄層
化が進んでいる。

【０００５】しかしながら、セラミックグリーンシート
は軟弱であるため、上述のように薄層化された場合、そ
の機械的強度を補うため、セラミックグリーンシートを
上述のキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り
扱うことも行なわれている。この場合には、セラミック
グリーンシートは、キャリアフィルム上で成形され、そ
のままの状態で以後のいくつかの工程を実施するように
される。

【０００６】したがって、キャリアフィルム上で成形さ
れたセラミックグリーンシートを、そのままキャリアフ
ィルムによって裏打ちした状態で取り扱うことを可能に
するためには、前述したようなキャリアフィルムの両面
上でセラミックグリーンシートを成形する方法を採用す
ることができず、セラミックグリーンシートはあくまで
もキャリアフィルムの片面上でのみ成形されなければな
らない。そのため、１枚のキャリアフィルムによって、
１枚のセラミックグリーンシートしか得られない。

【０００７】これらの問題を解決すべく、キャリアフィ
ルム上で成形されたセラミックグリーンシートを、その
ままキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り扱
うことを可能にしながら、セラミックグリーンシートの
成形にあたっては、１回の操作で２枚のセラミックグリ
ーンシートを得ることができる方法が、たとえば特開平
７−１９２９６２号公報に記載されている。図５は、こ
の公報に記載された技術を説明するためのものである。

【０００８】図５に示すように、両面に粘着剤または接
着剤１および２が付与された樹脂シート３によって与え
られる両面粘着シート４が用意され、この両面粘着シー
ト４の両面に、粘着剤または接着剤１および２を介し
て、キャリアフィルム５および６がそれぞれ貼り合わさ
れることにより、成形用支持体７が構成される。この成
形用支持体７は、たとえば、セラミックスラリー中に浸
漬された後、引き上げられる。それによって、成形用支
持体７の両面上で、セラミックグリーンシート８および
９が一挙に成形される。

【０００９】このようにして、２枚のセラミックグリー
ンシート８および９を得た後、キャリアフィルム５およ
び６を、それぞれ、両面粘着シート４から剥離すること
により、キャリアフィルム５によって裏打ちされたセラ
ミックグリーンシート８とキャリアフィルム６によって
裏打ちされたセラミックグリーンシート９とは、それぞ
れ、別に取り扱える状態となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図５に示した技術では、最終的には捨てるにもかかわら
ず、比較的高価な両面粘着シート４を用いるため、成形
用支持体７のコストが高くなるという問題がある。ま
た、捨てられた両面粘着シート４は、産業廃棄物を発生
するという問題も引き起こす。

【００１１】そこで、この発明の目的は、図５に示した
技術の利点を維持しながら、上述の問題を解決できる、
セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミック
グリーンシート成形用支持体を提供しようとすることで
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に係るセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、上述の技術的課題を解
決するため、樹脂フィルムからなる管状の成形用支持体
を用意し、この管状の成形用支持体を偏平状に変形さ
せ、それによって互いに接しかつ両側部が折り目を介し
て互いに連結された２枚のキャリアフィルムを形成し、
これら２枚のキャリアフィルムの各々の外側に向く面上
でセラミックグリーンシートをそれぞれ成形し、次い
で、成形用支持体を折り目に沿って切断することによ
り、２枚のキャリアフィルムを互いに分離する、各工程
を備えることを特徴としている。

【００１３】また、この発明に係るセラミックグリーン
シート成形用支持体は、樹脂フィルムからなる管状のも
のを偏平状に変形させることによって得られるものであ
って、互いに接しかつ両側部が折り目を介して互いに連
結された２枚のキャリアフィルムを備え、互いに接する
２枚のキャリアフィルムの各々の外側に向く面上でセラ
ミックグリーンシートをそれぞれ成形するように用いら
れる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１ないし図４は、この発明の一
実施形態によるセラミックグリーンシート成形用支持体
を用いたセラミックグリーンシートの製造方法を説明す
るためのものである。

【００１５】図１にその端面を示すように、管状の樹脂
フィルムからなる長尺の成形用支持体１１が用意され
る。この成形用支持体１１は、たとえば、ポリエチレン
またはポリエチレンテレフタレート等の気密性および可
塑性を有する樹脂からなる厚さ１０〜１００μｍのフィ
ルムによって構成される。また、管状の成形用支持体１
１の外側に向く面は、セラミックスラリーの成形性ある
いは剥離性を適当なものとするため、必要に応じて、表
面処理が施されてもよい。

【００１６】次いで、この管状の成形用支持体１１は、
図２に示すように、偏平状に変形される。これによっ
て、互いに接しかつ両側部が折り目１２を介して互いに
連結された２枚のキャリアフィルム１３および１４が形
成される。この工程を実施するため、たとえば、成形用
支持体１１を構成する樹脂フィルムの厚みのほぼ２倍の
クリアランスをもつ１対のロール間に成形用支持体１１
を通し、管状の成形用支持体１１の内部の空気を追い出
しながら、成形用支持体１１の直径方向に対向する２つ
の半部を互いに密着させることが行なわれる。

【００１７】次いで、これら重ね合わされた２枚のキャ
リアフィルム１３および１４の各々の外側に向く面上
で、図３に示すように、セラミックグリーンシート１５
および１６がそれぞれ成形される。これらセラミックグ
リーンシート１５および１６の成形には、たとえば、セ
ラミックスラリー中に成形用支持体１１を浸漬した後、
引き上げる方法が用いられる。この方法によれば、成形
用支持体１１の両面、すなわちキャリアフィルム１３お
よび１４の各々の外側に向く面上で、一挙に２枚のセラ
ミックグリーンシート１５および１６を成形することが
容易である。この方法に代えて、ロールコータを用いて
セラミックスラリーを塗布する方法、スプレーによって
セラミックスラリーを塗布する方法、ドクターブレード
によってセラミックスラリーを付与する方法、等を用い
ることもできる。

【００１８】次いで、図示しない刃を適用することによ
り、成形用支持体１１が、図３に１点鎖線で切断線１７
を示すように、折り目１２に沿って切断される。このと
き、この実施形態では、切断線１７に沿う切断はセラミ
ックグリーンシート１５および１６をも切断する。この
ようにして、成形用支持体１１の折り目１２の近傍部分
は、その上に乗るセラミックグリーンシート１５および
１６の各一部とともに除去される。

【００１９】なお、上述の切断線１７は、折り目１２の
近傍に位置していたが、図３において破線で示すよう
に、折り目１２上を通る切断線１８に沿って成形用支持
体１１が切断されてもよい。

【００２０】また、切断線１７または１８に沿う切断
を、切断刃の適用なしで、容易に進められるようにする
ため、ミシン目などを切断線１７または１８上を通るよ
うに予め成形用支持体１１に形成しておいてもよい。

【００２１】次いで、図４に示すように、２枚のキャリ
アフィルム１３および１４は、互いに分離される。これ
によって、一方のキャリアフィルム１３によって裏打ち
されたセラミックグリーンシート１５と、他方のキャリ
アフィルム１４によって裏打ちされたセラミックグリー
ンシート１６とが、各々別に取り扱える形態となる。

【００２２】

【発明の効果】このように、この発明によれば、２枚の
キャリアフィルムを重ね合わせた状態とするため、高価
な両面粘着シートを用いず、単に管状の成形用支持体を
偏平状に変形させているにすぎないので、２枚のキャリ
アフィルムを備える成形用支持体のコストを低減するこ
とができる。また、捨てられる両面粘着シートによる産
業廃棄物が生じることもない。

【００２３】また、２枚のキャリアフィルムは、管状の
成形用支持体を偏平状に変形させるだけで得られ、ま
た、各々の両側部が折り目を介して互いに連結された状
態であるので、互いに位置ずれすることなく、容易に重
ね合わされた状態とすることができる。

【００２４】また、前述した図５に示す技術と同様、成
形用支持体の両面上で、それぞれ、セラミックグリーン
シートを成形でき、その後、２枚のキャリアフィルムを
互いに分離することにより、第１のキャリアフィルムに
よって裏打ちされた第１のセラミックグリーンシートと
第２のキャリアフィルムによって裏打ちされた第２のセ
ラミックグリーンシートとを、それぞれ、別に取り扱え
る状態にすることができる。したがって、薄層化された
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムの裏打ち
によって損傷させることなく取り扱うことが可能とな
り、このようなセラミックグリーンシートを用いて製造
される積層セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化
を図りながら、高性能化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による成形用支持体１１
を示す端面図である。

【図２】図１に示した成形用支持体１１を偏平状に変形
させて２枚のキャリアフィルム１３および１４を形成し
た状態を示す断面図である。

【図３】図２に示した２枚のキャリアフィルム１３およ
び１４上にセラミックグリーンシート１５および１６を
成形した状態を示す断面図である。

【図４】図３に示した切断線１７に沿う切断工程の後、
２枚のキャリアフィルム１３および１４を互いに分離し
た状態を示す断面図である。

【図５】この発明にとって興味あるセラミックグリーン
シート８および９の製造方法を説明するための図２に相
当の図である。

【符号の説明】

１１ 成形用支持体 １２ 折り目 １３，１４ キャリアフィルム １５，１６ セラミックグリーンシート １７，１８ 切断線

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂フィルムからなる管状の成形用支持
   体を用意し、 管状の前記成形用支持体を偏平状に変形させ、それによ
   って互いに接しかつ両側部が折り目を介して互いに連結
   された２枚のキャリアフィルムを形成し、 ２枚の前記キャリアフィルムの各々の外側に向く面上で
   セラミックグリーンシートをそれぞれ成形し、 次いで、前記成形用支持体を前記折り目に沿って切断す
   ることにより、２枚の前記キャリアフィルムを互いに分
   離する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの
   製造方法。
2. 【請求項２】 樹脂フィルムからなる管状のものを偏平
   状に変形させることによって得られるものであって、互
   いに接しかつ両側部が折り目を介して互いに連結された
   ２枚のキャリアフィルムを備え、互いに接する２枚の前
   記キャリアフィルムの各々の外側に向く面上でセラミッ
   クグリーンシートをそれぞれ成形するように用いられ
   る、セラミックグリーンシート成形用支持体。