JP3322121B2 - セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート成形用支持体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックグリ
ーンシートの製造方法およびセラミックグリーンシート
成形用支持体に関するもので、特に、キャリアフィルム
によって裏打ちされた状態でのセラミックグリーンシー
トの製造方法およびキャリアフィルムとしての機能を有
するセラミックグリーンシート成形用支持体に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品を製造する場合、積層され
るべきセラミックグリーンシートが用意される。このよ
うなセラミックグリーンシートを成形するため、たとえ
ばポリエチレンテレフタレートからなる可撓性のキャリ
アフィルムが用意され、このキャリアフィルム上でセラ
ミックグリーンシートの成形が行なわれることがある。

【０００３】また、このようなキャリアフィルム上での
セラミックグリーンシートの成形をより能率的に進める
ため、キャリアフィルムをセラミックスラリー内に浸漬
した後、引き上げることにより、キャリアフィルムの両
面上でセラミックグリーンシートを成形することが行な
われることもある。これによれば、一挙に２枚のセラミ
ックグリーンシートが得られ、それぞれのセラミックグ
リーンシートは、通常、キャリアフィルムから剥離され
た後、以後の工程に供される。

【０００４】ところで、得ようとする積層セラミック電
子部品の小型化あるいは薄型化を図りながら、高性能化
を図るための対策の１つとして、用いられるセラミック
グリーンシートの薄層化が有効である。そのため、従
来、３０〜５０μｍの厚みであったセラミックグリーン
シートは、たとえば厚み１０μｍ程度にまで、その薄層
化が進んでいる。

【０００５】しかしながら、セラミックグリーンシート
は軟弱であるため、上述のように薄層化された場合、そ
の機械的強度を補うため、セラミックグリーンシートを
上述のキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り
扱うことも行なわれている。この場合には、セラミック
グリーンシートは、キャリアフィルム上で成形され、そ
のままの状態で以後のいくつかの工程を実施するように
される。

【０００６】したがって、キャリアフィルム上で成形さ
れたセラミックグリーンシートを、そのままキャリアフ
ィルムによって裏打ちした状態で取り扱うことを可能に
するためには、前述したようなキャリアフィルムの両面
上でセラミックグリーンシートを成形する方法を採用す
ることができず、セラミックグリーンシートはあくまで
もキャリアフィルムの片面上でのみ成形されなければな
らない。そのため、１枚のキャリアフィルムによって、
１枚のセラミックグリーンシートしか得られない。

【０００７】これらの問題を解決すべく、キャリアフィ
ルム上で成形されたセラミックグリーンシートを、その
ままキャリアフィルムによって裏打ちした状態で取り扱
うことを可能にしながら、セラミックグリーンシートの
成形にあたっては、１回の操作で２枚のセラミックグリ
ーンシートを得ることができる方法が、たとえば特開平
７−１９２９６２号公報に記載されている。図５は、こ
の公報に記載された技術を説明するためのものである。

【０００８】図５に示すように、両面に粘着剤または接
着剤１および２が付与された樹脂シート３によって与え
られる両面粘着シート４が用意され、この両面粘着シー
ト４の両面に、粘着剤または接着剤１および２を介し
て、キャリアフィルム５および６がそれぞれ貼り合わさ
れることにより、成形用支持体７が構成される。この成
形用支持体７は、たとえば、セラミックスラリー中に浸
漬された後、引き上げられる。それによって、成形用支
持体７の両面上で、セラミックグリーンシート８および
９が一挙に成形される。

【０００９】このようにして、２枚のセラミックグリー
ンシート８および９を得た後、キャリアフィルム５およ
び６を、それぞれ、両面粘着シート４から剥離すること
により、キャリアフィルム５によって裏打ちされたセラ
ミックグリーンシート８とキャリアフィルム６によって
裏打ちされたセラミックグリーンシート９とは、それぞ
れ、別に取り扱える状態となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図５に示した技術では、最終的には捨てるにもかかわら
ず、比較的高価な両面粘着シート４を用いるため、成形
用支持体７のコストが高くなるという問題がある。ま
た、捨てられた両面粘着シート４は、産業廃棄物を発生
するという問題も引き起こす。

【００１１】そこで、この発明の目的は、図５に示した
技術の利点を維持しながら、上述の問題を解決できる、
セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミック
グリーンシート成形用支持体を提供しようとすることで
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に係るセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、上述の技術的課題を解
決するため、樹脂からなる２枚のキャリアフィルムを用
意し、これら２枚のキャリアフィルムを面方向に関して
部分的に加熱接着することにより貼り合わせ、貼り合わ
された２枚のキャリアフィルムの各々の外側に向く面上
でセラミックグリーンシートをそれぞれ成形し、次い
で、加熱接着部分を除去するようにキャリアフィルムを
切断し、残された２枚のキャリアフィルムを互いに分離
する、各工程を備えることを特徴としている。

【００１３】また、この発明に係るセラミック成形用支
持体は、面方向に関して部分的に加熱接着することによ
り貼り合わされた２枚のキャリアフィルムを備え、貼り
合わされた２枚のキャリアフィルムの各々の外側に向く
面上でセラミックグリーンシートをそれぞれ成形するよ
うに用いられる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１ないし図３は、この発明の一
実施形態によるセラミックグリーンシート成形用支持体
を用いたセラミックグリーンシートの製造方法を説明す
るためのものである。

【００１５】図１に示すように、成形用支持体１１は、
典型的には長尺のテープ状であり、各々の面方向に関し
て部分的に、より特定的には、幅方向の両端部において
のみ加熱接着されることにより加熱接着部分１２が形成
され、それによって貼り合わされた樹脂からなる２枚の
キャリアフィルム１３および１４を備えている。

【００１６】次いで、これら貼り合わされた２枚のキャ
リアフィルム１３および１４の各々の外側に向く面上
で、図２に示すように、セラミックグリーンシート１５
および１６がそれぞれ成形される。

【００１７】次いで、キャリアフィルム１３および１４
が、図２に示した切断線１７に沿って切断される。この
とき、この実施形態では、加熱接着部分１２上にもセラ
ミックグリーンシート１５および１６が延びているの
で、切断線１７に沿う切断はセラミックグリーンシート
１５および１６をも切断する。このようにして、図３に
示すように、上述した加熱接着部分１２が、これを有す
るキャリアフィルム１３および１４の各一部ならびにそ
の上に乗るセラミックグリーンシート１５および１６の
各一部とともに除去される。

【００１８】次いで、上述のように切断かつ除去された
結果、残された２枚のキャリアフィルム１３および１４
は、互いに分離される。これによって、一方のキャリア
フィルム１３によって裏打ちされたセラミックグリーン
シート１５と、他方のキャリアフィルム１４によって裏
打ちされたセラミックグリーンシート１６とが、各々別
に取り扱える形態となる。

【００１９】より詳細には、図１に示すように、キャリ
アフィルム１３および１４の幅方向の両端部においての
み加熱接着部分１２を形成するため、２枚のキャリアフ
ィルム１３および１４は、幅方向に揃えられ、その状態
で加熱接着部分１２を形成するため、長手方向に送られ
ながら、連続的に加熱接着される。

【００２０】また、上述のように、キャリアフィルム１
３および１４は、各々の幅方向の両端部においてのみ加
熱接着部分１２が形成されることを可能にするため、た
とえばポリエチレンのように、加熱部分のみにおいて選
択的に接着できる性質を有する樹脂から構成される。こ
の加熱接着にあたり、キャリアフィルム１３および１４
が上述のポリエチレンのような熱可塑性樹脂から構成さ
れるとき、ヒートシール法が有利に用いられ、熱可塑性
の乏しい樹脂から構成されるときには、溶融接着法が有
利に用いられる。

【００２１】なお、２枚のキャリアフィルム１３および
１４の間に空気が残らないようにするため、たとえば、
ロールを適用するようにしてもよい。

【００２２】また、キャリアフィルム１３および１４の
各々の外側に向く面は、セラミックスラリーの成形性あ
るいは剥離性を適当なものとするため、必要に応じて、
表面処理が施されてもよい。

【００２３】図２において、セラミックグリーンシート
１５および１６の成形には、たとえば、セラミックスラ
リー中に成形用支持体１１を浸漬した後、引き上げる方
法が用いられる。この方法によれば、成形用支持体１１
の両面、すなわちキャリアフィルム１３および１４の各
々の外側に向く面上で、一挙に２枚のセラミックグリー
ンシート１５および１６を成形することが容易である。
この方法に代えて、ロールコータを用いてセラミックス
ラリーを塗布する方法、スプレーによってセラミックス
ラリーを塗布する方法、ドクターブレードによってセラ
ミックスラリーを付与する方法、等を用いることもでき
る。

【００２４】図４は、この発明の他の実施形態によるセ
ラミックグリーンシート成形用支持体を用いたセラミッ
クグリーンシートの製造方法を説明するための図２に相
当の図である。なお、図４において、図２に示した要素
に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説
明は省略する。

【００２５】図４に示した実施形態は、２枚のキャリア
フィルム１３および１４を貼り合わせて成形用支持体１
１ａを構成するために形成される加熱接着部分１２が、
テープ状のキャリアフィルム１３および１４の幅方向両
端部だけでなく、これら両端部間の少なくとも１箇所に
おいて部分的に存在していることを特徴としている。

【００２６】この図４に示した実施形態においても、前
述した実施形態の場合と同様の方法により、セラミック
グリーンシート１５および１６が成形される。その後、
前述した実施形態の場合と同様、切断線１７および１８
に沿って切断して、加熱接着部分１２を除去することに
よって、キャリアフィルム５および６を互いに分離す
る。

【００２７】なお、図示した実施形態では、加熱接着部
分１２は、テープ状のキャリアフィルム１３および１４
の長手方向に連続して付与されている。したがって、セ
ラミックスラリーが２枚のキャリアフィルム１３および
１４の間に浸入する等の問題に遭遇しない。しかしなが
ら、このような利点を望まないなら、加熱接着部分は、
長手方向に不連続な態様で分布するように付与されても
よい。

【００２８】

【発明の効果】このように、この発明によれば、２枚の
キャリアフィルムを貼り合わせた状態とするため、高価
な両面粘着シートを用いず、単に加熱接着部分を形成し
ているにすぎないので、２枚のキャリアフィルムを備え
る成形用支持体のコストを低減することができる。ま
た、捨てられる両面粘着シートによる産業廃棄物が生じ
ることもない。

【００２９】また、加熱接着部分が不所望にも変形し、
これがセラミックグリーンシートを不所望にも変形させ
ることになっても、この加熱接着部分は除去されるの
で、このような不都合に煩わされることはない。

【００３０】また、前述した図５に示す技術と同様、成
形用支持体の両面上で、それぞれ、セラミックグリーン
シートを成形でき、その後、２枚のキャリアフィルムを
互いに分離することにより、第１のキャリアフィルムに
よって裏打ちされた第１のセラミックグリーンシートと
第２のキャリアフィルムによって裏打ちされた第２のセ
ラミックグリーンシートとを、それぞれ、別に取り扱え
る状態にすることができる。したがって、薄層化された
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムの裏打ち
によって損傷させることなく取り扱うことが可能とな
り、このようなセラミックグリーンシートを用いて製造
される積層セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化
を図りながら、高性能化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による成形用支持体１１
の一部を示す断面図である。

【図２】図１に示した成形用支持体１１を用いてセラミ
ックグリーンシート１５および１６を成形した状態を示
す断面図である。

【図３】図２に示した工程の後に実施される加熱接着部
分１２の除去工程および２枚のキャリアフィルム１３お
よび１４の分離工程を説明するための断面図である。

【図４】この発明の他の実施形態を示す、図２に相当の
図である。

【図５】この発明にとって興味あるセラミックグリーン
シート８および９の製造方法を説明するための図２に相
当の図である。

【符号の説明】

１１，１１ａ 成形用支持体 １２ 加熱接着部分 １３，１４ キャリアフィルム １５，１６ セラミックグリーンシート １７，１８ 切断線

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂からなる２枚のキャリアフィルムを
   用意し、 ２枚の前記キャリアフィルムを面方向に関して部分的に
   加熱接着することにより貼り合わせ、 貼り合わされた２枚の前記キャリアフィルムの各々の外
   側に向く面上でセラミックグリーンシートをそれぞれ成
   形し、 次いで、前記加熱接着部分を除去するように前記キャリ
   アフィルムを切断し、 残された２枚の前記キャリアフィルムを互いに分離す
   る、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製造
   方法。
2. 【請求項２】 面方向に関して部分的に加熱接着するこ
   とにより貼り合わされた樹脂からなる２枚のキャリアフ
   ィルムを備え、貼り合わされた２枚の前記キャリアフィ
   ルムの各々の外側に向く面上でセラミックグリーンシー
   トをそれぞれ成形するように用いられる、セラミックグ
   リーンシート成形用支持体。