JP3285071B2 - フロントエレクトレット型マイクロフォン - Google Patents

フロントエレクトレット型マイクロフォン

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JP3285071B2
JP3285071B2 JP24303994A JP24303994A JP3285071B2 JP 3285071 B2 JP3285071 B2 JP 3285071B2 JP 24303994 A JP24303994 A JP 24303994A JP 24303994 A JP24303994 A JP 24303994A JP 3285071 B2 JP3285071 B2 JP 3285071B2
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護 安田
均 戸田
孝二 西川
俊朗 井土
和夫 小野
泰彦 北冨
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  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、フロントエレクトレ
ット型マイクロフォンに関し、特に、エレクトレット振
動膜と垂直方向の厚さを小さくしたフロントエレクトレ
ット型マイクロホンに関する。
【0002】
【従来の技術】エレクトレットマイクロホンの従来例を
図3を参照して説明する。図3において、11はカプセ
ルを示し、このカプセル11は金属の円筒体より成る。
カプセル11の一端面は前面板12により閉塞されてい
る。但し、前面板12の中心には中心孔13が穿設され
ており、そして中心孔13は前面板12の全面に貼着さ
れるクロス14により覆われている。
【0003】カプセル11内には、振動膜リング15に
張り付けられた振動膜16が収容され、リング15側は
前面板12に接触している。振動膜16は金属箔161
より成り、その下面には分極されたエレクトレット誘電
体膜162 が被着される。振動膜16は絶縁スペーサ1
7を介して背極板18と対向位置決めされている。背極
板18は背極ホルダー19に保持される。ホルダー19
の背後はリングクッション21を介して遮蔽板22によ
り閉塞され、遮蔽板22に対してカプセル11の後方端
部を屈曲かしめつける。この様にすることにより、振動
膜16、背極板18、背極ホルダ19、遮蔽板22はカ
プセル11内に機械的に固定されるに到る。24はイン
ピーダンス変換モジュールであり、電界効果トランジス
タ、抵抗その他の回路素子により構成される。振動膜1
6を構成する金属箔161 と背極板18はインピーダン
ス変換モジュール24に接続し、インピーダンス変換さ
れて出力端に到る。28は背室を示す。ところで、図3
に示されるエレクトレットマイクロホンは、分極された
エレクトレット誘電体膜162 が金属箔161 の下面、
即ち背後に形成されるものであるところから、バックエ
レクトレット型マイクロホンといわれている。
【0004】図4を参照して他の従来例を説明する。図
4に示されるエレクトレットマイクロホンは、振動膜1
6は、図3の実施例とは異なり分極されたエレクトレッ
ト誘電体膜162 は金属箔161 の上面に被着されてお
り、フロントエレクトレット型マイクロホンといわれて
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ここで、バックエレク
トレット型マイクロホン全体の厚さ=前面板12+振動
膜リング15+絶縁スペーサ17+背極板18+背極ホ
ルダ19+遮蔽板22、である。バックエレクトレット
型マイクロホン全体の厚さは以上の総和を下まわること
はできない。
【0006】これに対して、フロントエレクトレット型
マイクロホンは、バックエレクトレット型マイクロホン
と比較して、背極板18を特に必要とはせず、これを保
持する背極ホルダ19も不用であり、その分部品点数を
少なくすることができる。背極板18およびこれを保持
する背極ホルダ19の厚さは共にエレクトレットマイク
ロホンの構成部品の内においては比較的に厚いものであ
るので、これらを省略することができるということはマ
イクロホン全体の厚さを小さくする上において好都合な
ことである。しかし、フロントエレクトレット型マイク
ロホンにおいてもインピーダンス変換モジュール24を
カプセル11内に収容しなければならないことに変わり
なく、この厚さは背極板18と背極ホルダ19を一体化
した厚さにほぼ匹敵する。従って、背極板18と背極ホ
ルダ19を一体化した厚さを省略することができても、
この厚さに匹敵するインピーダンス変換モジュール24
をカプセル11内に適切に収容しない限り、マイクロホ
ン全体の厚さを小さくすることはできない。
【0007】この発明は、フロントエレクトレット型マ
イクロホンにおいて振動膜と垂直な方向の厚さを更に小
さくし、感度が高く安定して、音質も良好である薄形の
フロントエレクトレット型マイクロホンを提供するもの
である。
【0008】
【課題を解決するための手段】前面板12内面にエレク
トレット誘電体膜162 が形成される金属材料より成る
カプセル11を具備し、振動膜リング15に張り付けら
れる金属材料より成る振動膜16を具備し、インピーダ
ンス変換モジュール24を具備し、前面板12に対向し
て配置される遮蔽板22を具備し、振動膜16をスペー
サ17を介してエレクトレット誘電体膜162 に対向さ
せて振動膜リング15を遮蔽板22の一部と前面板12
の一部との間に配置し、遮蔽板22の他の一部と前面板
12の他の一部との間にインピーダンス変換モジュール
24を配置するフロントエレクトレット型マイクロフォ
ンを構成した。
【0009】そして、遮蔽板22の他の一部に嵌合部4
0を形成し、インピーダンス変換モジュール24を嵌合
固定するフロントエレクトレット型マイクロフォンを構
成した。また、遮蔽板22の一部に凹部28’を形成す
るフロントエレクトレット型マイクロフォンを構成し
た。
【0010】更に、振動膜リング15は遮蔽板22に平
行に連通孔151 が穿設されるものであるフロントエレ
クトレット型マイクロフォンを構成した。ここで、カプ
セルを円筒体としたフロントエレクトレット型マイクロ
フォンを構成した。そして、カプセルを四角筒体とした
フロントエレクトレット型マイクロフォンを構成した。
【0011】また、遮蔽板を導電性金属板により構成し
たフロントエレクトレット型マイクロフォンを構成し
た。
【0012】
【実施例】この発明の実施例を図1を参照して説明す
る。図1(a)はこの発明のフロントエレクトレット型
マイクロフォンの厚さ方向の断面を示す図、図1(b)
は図1(a)を上から視たところを示す図、図1(c)
は図1(a)を下から視たところを示す図、図1(d)
は水平方向の断面を示す図である。
【0013】図1において、11は金属材料より成る高
さの極く小さい薄型円筒体より成るカプセルである。1
2はカプセル11の前面板を示し、その一部には13に
より示される音孔が穿設されている。15は金属材料よ
り成る振動膜リング、16は金属材料より成る振動膜、
17はスペーサ、22は絶縁材料より成る遮蔽板であ
る。24はインピーダンス変換モジュールを示す。
【0014】エレクトレットマイクロフォンを構成する
部材はカプセル11と遮蔽板22とにより形成される領
域に収容される。この領域を形成するカプセル11の前
面板12の内側面には、エレクトレット材料を熱溶着す
ることにより分極されたエレクトレット誘電体膜162
が形成される。振動膜16は振動膜リング15に張り付
けられている。振動膜リング15は、スペーサ17を介
して振動膜16をエレクトレット誘電体膜162 に対向
させた状態においてカプセル11の前面板12と遮蔽板
22の間に組み込まれる。この振動膜リング15には、
その遮蔽板22に接合する側の一部に151 により示さ
れる連通孔が形成される。遮蔽板22には、40により
示される角孔或は切り欠き部より成る嵌合部が形成さ
れ、ここにインピーダンス変換モジュール24を嵌合
し、固定する。マイクロフォンを構成する部材をカプセ
ル11と遮蔽板22とにより形成される領域に上述の如
くして組み立て収容した後、遮蔽板22に対してカプセ
ル11の後方端部を屈曲してカシメつけてフロントエレ
クトレット型マイクロホンは完成する。28は背室であ
り、振動膜16、振動膜リング15、遮蔽板22により
形成される領域である。28’は背室28内の遮蔽板2
2に形成される凹部である。
【0015】以上のフロントエレクトレット型マイクロ
ホンにおいて、金属材料より成る振動膜16が一方の電
極を構成し、内面にエレクトレット誘電体膜162 が形
成される金属材料より成る前面板12が他方の電極を構
成する。具体的な図示説明は省略するが、一方の電極で
ある振動膜16はその金属材料より成る振動膜リング1
5が例えば極く薄いフレキシブル配線基板を介してイン
ピーダンス変換モジュール24の一方の入力端子に電気
接続される。他方の電極である前面板12は、上述のカ
プセル11のカシメつけによりインピーダンス変換モジ
ュール24の他方の入力端子に圧接状態とされ、電気接
続している。311 はインピーダンス変換モジュール2
4の一方の出力端子であり、312 は他方の出力端子で
ある接地端子である。
【0016】上述のフロントエレクトレット型マイクロ
ホンは、その動作時において他方の電極である前面板1
2を−200ボルト程度の電位にバイアスしておく。音
孔13を介して音響振動が進入すると、これに起因して
振動膜16は振動し、この振動に対応する振動膜16と
前面板12との間の電気容量変化を電気信号として出力
する。
【0017】図2を参照してこの発明の他の実施例を説
明する。図2はこの他の実施例の厚さ方向の断面を示す
図である。図2において、11は金属材料より成る高さ
の極く小さい薄型四角筒体より成るカプセルである。1
2はカプセル11の前面板を示し、その一部には13に
より示される音孔が穿設されている。15は金属材料よ
り成る四角形の振動膜リング、16は金属材料より成る
振動膜、17はスペーサ、22は真ちゅうの如き導電性
金属板より成る遮蔽板である。24はインピーダンス変
換モジュールを示す。
【0018】エレクトレットマイクロフォンを構成する
部材はカプセル11と遮蔽板22とにより形成される領
域に収容される。この領域を形成するカプセル11の前
面板12の内側面には、エレクトレット材料を熱溶着す
ることにより分極されたエレクトレット誘電体膜162
が形成される。振動膜16は振動膜リング15に張り付
けられている。振動膜リング15は、スペーサ17を介
して振動膜16をエレクトレット誘電体膜162 に対向
させた状態においてカプセル11の前面板12と遮蔽板
22の間に組み込まれる。図2の実施例においては、こ
の組み込みに際して、振動膜リング15と遮蔽板22と
の間にフレキシブル基板50を介在させる。フレキシブ
ル基板50は振動膜リング15に対応接合するところに
配線パターンが形成され、この配線パターンから更に配
線パターンが延伸してインピーダンス変換モジュール2
4の正の入力端子に接続している。そして、振動膜リン
グ15はフレキシブル基板50に載置されることにより
導電性の遮蔽板22とは電気的に絶縁される。遮蔽板2
2には、40により示される角孔或は切り欠き部より成
る嵌合部が形成され、ここにインピーダンス変換モジュ
ール24を嵌合し、固定する。この振動膜リング15に
は、その遮蔽板22に接合する側の一部に151 により
示される連通孔が形成される。マイクロフォンを構成す
る部材をカプセル11と遮蔽板22とにより形成される
領域に上述の如くして組み立て収容した後、遮蔽板22
に対してカプセル11の後方端部を屈曲してカシメつけ
てフロントエレクトレット型マイクロホンは完成する。
28は背室であり、振動膜16、振動膜リング15、遮
蔽板22により形成される領域である。28’は背室2
8内の遮蔽板22に形成される凹部である。ここで、上
述のフレキシブル基板50の内の振動膜リング15に対
応する配線パターンの内側は打ち抜かれて存在しない。
従って、背室28内と凹部28’は完全に連通してい
る。
【0019】以上のフロントエレクトレット型マイクロ
ホンにおいて、金属材料より成る振動膜16が一方の電
極を構成し、内面にエレクトレット誘電体膜162 が形
成される金属材料より成る前面板12が他方の電極を構
成する。具体的な図示説明は省略するが、一方の電極で
ある振動膜16はその金属材料より成る振動膜リング1
5は上述した通りフレキシブル基板50表面の配線パタ
ーンを介してインピーダンス変換モジュール24の一方
の入力端子に電気接続される。他方の電極である前面板
12は、導電性金属板より成る遮蔽板を介してインピー
ダンス変換モジュール24の他方の入力端子に電気接続
している。311 はインピーダンス変換モジュール24
の一方の出力端子であり、312 は他方の出力端子であ
る接地端子である。この出力端子31は図2において水
平方向に延伸しているが、モイクロフォンを電子機器に
組み込む際にこれをリフロー半田付け対応のものとする
ために、出力端子31をフォーミング屈曲させると好適
である。
【0020】上述のフロントエレクトレット型マイクロ
ホンは、その動作時において他方の電極である前面板1
2を−200ボルト程度の電位にバイアスしておく。音
孔13を介して音響振動が進入すると、これに起因して
振動膜16は振動し、この振動に対応する振動膜16と
前面板12との間の電気容量変化を電気信号として出力
する。
【0021】以上の通りのこの発明のエレクトレット型
マイクロホンは、そのタイプとしてフロントエレクトレ
ット型を採用する上に、カプセル11と遮蔽板22とに
より形成される領域の内の背室28以外の領域にインピ
ーダンス変換モジュール24を配置することにより、マ
イクロホン全体の厚さを小さくすることができる。そし
て、インピーダンス変換モジュール24の嵌合部40
を、カプセル11と遮蔽板22とにより形成される領域
の内の背室28以外の領域に形成し、ここにモジュール
を嵌合固定することにより、更に遮蔽板22の厚さの分
だけフロントエレクトレット型マイクロホン全体の厚さ
を小さくすることができる。
【0022】また、遮蔽板22の一部に凹部28’を形
成することにより背室28の容量を凹部28’の容量の
分だけ拡大することができ、それだけ振動膜16の振動
を容易としてマイクロホンの出力電圧レベルを向上する
ことができる。更に、振動膜リング15に遮蔽板22に
平行な連通孔151 を穿設して背室28を背室外に連通
せしめたことにより、マイクロホンの出力電圧レベルを
より向上することができる。図5は出力電圧レベルの周
波数特性を示す図であり、下側の線は背室容量を拡大し
ない場合の出力電圧レベルを示し、上側の線は背室容量
を拡大した場合の出力電圧レベルを示す。およそ、3d
B程度の特性の改善をすることができる。
【0023】図2に示される実施例において、カプセル
11は薄型四角筒体とされている。ここで、円筒体カプ
セルに外接する薄型四角筒体カプセルを構成した場合、
四角筒体カプセルに対応して振動膜リング15を四角形
に形成し、これに対応して振動膜16を四角形に構成す
ることができる。この場合、四角形振動膜は円筒体カプ
セルに対応する円形振動膜と比較して4隅の三角形状の
面積分だけ振動膜面積を大きくすることができる。そし
て、四角筒体カプセルに四角形振動膜を収容する方が、
円筒体カプセルに円形振動膜を収容するものと比較し
て、カプセルに対する円形振動膜のスペースファクタは
遥かに良好である。
【0024】そして、遮蔽板を導電性金属板より構成す
ることにより、絶縁材料により構成する場合と比較し
て、凹部の形成その他の加工を含めて遮蔽板自体の加工
製造を容易とすることができる。出来上りのマイクロフ
ォンの特性も安定し、耐熱性も良好であって半田付けそ
の他の処理に際して好都合である。
【0025】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明はエレク
トレットマイクロホンの型としてフロントエレクトレッ
ト型を採用し、インピーダンス変換モジュールを背室外
の配線基板に嵌合部を形成してこれに嵌合配置すること
によりフロントエレクトレット型マイクロホン全体の厚
さを大きく減少せしめることができた。マイクロホン全
体の厚さは、結局、カプセルの前面板の厚さとインピー
ダンス変換モジュールの厚さの和にほぼ等しく設計する
ことができ、実際に1mm以下の厚さのものを構成する
ことができた。そして、構成されたフロントエレクトレ
ット型マイクロホンは、実験の結果、感度が高くそして
安定であり、音質も良好なものであった。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を説明する図であり、(a)
は厚さ方向の断面を示す図、(b)は(a)を上から視
たところを示す図、(c)は(a)を下から視たところ
を示す図、(d)は水平方向の断面を示す図である。
【図2】この発明の他の実施例の断面を示す図である。
【図3】従来例を説明する図である。
【図4】他の従来例を説明する図である。
【図5】出力電圧レベルの周波数特性を示す図である。
【符号の説明】
11 カプセル 12 前面板 15 振動膜リング 16 振動膜 162 エレクトレット誘電体膜 17 スペーサ 22 遮蔽板 24 インピーダンス変換モジュール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西川 孝二 兵庫県神戸市西区高塚台4−3−1 ホ シデン株式会社 開発技術研究所内 (72)発明者 井土 俊朗 福岡県鞍手郡鞍手町大字中山3024の38 ホシデン九州株式会社内 (72)発明者 小野 和夫 福岡県鞍手郡鞍手町大字中山3024の38 ホシデン九州株式会社内 (72)発明者 北冨 泰彦 福岡県鞍手郡鞍手町大字中山3024の38 ホシデン九州株式会社内 (56)参考文献 特表 昭58−501699(JP,A) 米国特許4331840(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04R 19/04

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 前面板内面にエレクトレット誘電体膜が
    形成される金属材料より成るカプセルを具備し、振動膜
    リングに張り付けられる金属材料より成る振動膜を具備
    し、インピーダンス変換モジュールを具備し、前面板に
    対向して配置される遮蔽板を具備し、振動膜をスペーサ
    を介してエレクトレット誘電体膜に対向させて振動膜リ
    ングを遮蔽板の一部と前面板の一部との間に配置し、遮
    蔽板の他の一部と前面板の他の一部との間にインピーダ
    ンス変換モジュールを配置することを特徴とするフロン
    トエレクトレット型マイクロフォン。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載されるエレクトレット型
    マイクロフォンにおいて、遮蔽板の他の一部に嵌合部を
    形成し、インピーダンス変換モジュールを嵌合固定する
    ことを特徴とするフロントエレクトレット型マイクロフ
    ォン。
  3. 【請求項3】 請求項1および請求項2の何れかに記載
    されるエレクトレット型マイクロフォンにおいて、遮蔽
    板の一部に凹部を形成することを特徴とするフロントエ
    レクトレット型マイクロフォン。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし請求項3の内の何れかに
    記載されるエレクトレット型マイクロフォンにおいて、
    振動膜リングは遮蔽板に平行に連通孔が穿設されるもの
    であることを特徴とするフロントエレクトレット型マイ
    クロフォン。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし請求項4の内の何れかに
    記載されるエレクトレット型マイクロフォンにおいて、
    カプセルを円筒体としたことを特徴とするフロントエレ
    クトレット型マイクロフォン。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし請求項4の内の何れかに
    記載されるエレクトレット型マイクロフォンにおいて、
    カプセルを四角筒体としたことを特徴とするフロントエ
    レクトレット型マイクロフォン。
  7. 【請求項7】 請求項5に記載されるエレクトレット型
    マイクロフォンにおいて、遮蔽板を導電性金属板により
    構成したことを特徴とするフロントエレクトレット型マ
    イクロフォン。
  8. 【請求項8】 請求項6に記載されるエレクトレット型
    マイクロフォンにおいて、遮蔽板を導電性金属板により
    構成したことを特徴とするフロントエレクトレット型マ
    イクロフォン。
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