JP3476375B2 - 一体型複合エレクトレットコンデンサマイクロフォン - Google Patents
一体型複合エレクトレットコンデンサマイクロフォンInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、一体型複合エレ
クトレットコンデンサマイクロフォン（以下の図示説明
において、エレクトレットコンデンサマイクロフォン
を、ＥＣＭ、と略記する）に関し、特に、１対のＥＣＭ
ユニットを金属材料より成る共通のカプセルに互いに左
右対称に収容し、遮蔽板により封止した一体型複合ＥＣ
Ｍに関する。
クトレットコンデンサマイクロフォン（以下の図示説明
において、エレクトレットコンデンサマイクロフォン
を、ＥＣＭ、と略記する）に関し、特に、１対のＥＣＭ
ユニットを金属材料より成る共通のカプセルに互いに左
右対称に収容し、遮蔽板により封止した一体型複合ＥＣ
Ｍに関する。
【０００２】
【従来の技術】図８を参照して一般的なＥＣＭについて
説明する。１１はカプセルを示し、このカプセル１１は
金属の円筒体より成る。カプセル１１の一端面は前面板
１２により閉塞されている。但し、前面板１２の中心に
は音孔１３が形成されている。カプセル１１内には、振
動膜リング１５に張り付けられた振動膜１６が収容さ
れ、リング１５は前面板１２内面に接触している。振動
膜１６は金属膜１６1 より成り、その下面には分極され
たエレクトレツト誘電体膜２０が被着されている。振動
膜１６はスペーサ１７を介して背極板１８と対向位置決
めされている。背極板１８は背極ホルダ１９に保持され
る。ホルダ１９の背後はリングクッション２１を介して
遮蔽板２２により閉塞され、遮蔽板２２に対してカプセ
ル１１の後方端部を屈曲してかしめつける。これにより
振動膜１６、背極板１８、背極ホルダ１９、リングクッ
ション２１、遮蔽板２２はカプセル１１内に機械的に固
定されるに到る。２４はインピーダンス変換回路であ
り、電界効果トランジスタ、抵抗その他の回路素子によ
り構成される。振動膜１６を構成する金属膜１６1 と背
極板１８はインピーダンス変換回路２４に接続し、イン
ピーダンス変換されて出力端に到る。音孔１３を介して
進入する音響により振動膜１６が振動し、背極板１８と
の間に形成される容量変化が音響信号に変換される。な
お、このＥＣＭの外形寸法は、直径：４ｍｍ未満、厚
さ：１ｍｍのオーダーの極く微小のものである。なお、
以上の従来例はホイルＥＣＭの例である。
説明する。１１はカプセルを示し、このカプセル１１は
金属の円筒体より成る。カプセル１１の一端面は前面板
１２により閉塞されている。但し、前面板１２の中心に
は音孔１３が形成されている。カプセル１１内には、振
動膜リング１５に張り付けられた振動膜１６が収容さ
れ、リング１５は前面板１２内面に接触している。振動
膜１６は金属膜１６1 より成り、その下面には分極され
たエレクトレツト誘電体膜２０が被着されている。振動
膜１６はスペーサ１７を介して背極板１８と対向位置決
めされている。背極板１８は背極ホルダ１９に保持され
る。ホルダ１９の背後はリングクッション２１を介して
遮蔽板２２により閉塞され、遮蔽板２２に対してカプセ
ル１１の後方端部を屈曲してかしめつける。これにより
振動膜１６、背極板１８、背極ホルダ１９、リングクッ
ション２１、遮蔽板２２はカプセル１１内に機械的に固
定されるに到る。２４はインピーダンス変換回路であ
り、電界効果トランジスタ、抵抗その他の回路素子によ
り構成される。振動膜１６を構成する金属膜１６1 と背
極板１８はインピーダンス変換回路２４に接続し、イン
ピーダンス変換されて出力端に到る。音孔１３を介して
進入する音響により振動膜１６が振動し、背極板１８と
の間に形成される容量変化が音響信号に変換される。な
お、このＥＣＭの外形寸法は、直径：４ｍｍ未満、厚
さ：１ｍｍのオーダーの極く微小のものである。なお、
以上の従来例はホイルＥＣＭの例である。
【０００３】ところで、極く微小なＥＣＭのユニット
は、本来、製品間に音響特性のばらつきが比較的に発生
し易いものである。複合ＥＣＭを構成する上において、
左ＥＣＭユニットの音響特性と右ＥＣＭユニットの音響
特性の間に差異が存在することは好ましくはないので、
各ＥＣＭユニットの音響特性を測定し、音響特性の近似
したＥＣＭユニット同志を２個選択して組み合わせて、
複合ＥＣＭを構成している。
は、本来、製品間に音響特性のばらつきが比較的に発生
し易いものである。複合ＥＣＭを構成する上において、
左ＥＣＭユニットの音響特性と右ＥＣＭユニットの音響
特性の間に差異が存在することは好ましくはないので、
各ＥＣＭユニットの音響特性を測定し、音響特性の近似
したＥＣＭユニット同志を２個選択して組み合わせて、
複合ＥＣＭを構成している。
【０００４】そして、この極く微小なＥＣＭのユニット
を使用して複合ＥＣＭを構成する場合、ＥＣＭのユニッ
トを左ＥＣＭユニットおよび右ＥＣＭユニットとしてゴ
ム弾性を有するホルダにこれらユニットを並列に嵌合保
持することにより構成していた。
を使用して複合ＥＣＭを構成する場合、ＥＣＭのユニッ
トを左ＥＣＭユニットおよび右ＥＣＭユニットとしてゴ
ム弾性を有するホルダにこれらユニットを並列に嵌合保
持することにより構成していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】複合ＥＣＭを構成する
に際して、以上の通り、各ＥＣＭユニットの音響特性を
予め測定する工程、音響特性の近似したＥＣＭユニット
同志を選択する工程はＥＣＭユニット間にばらつきが存
在しなければ本来は不必要な工程であり、この工程の加
わる分だけ複合ＥＣＭの製造コストの上昇につながる。
に際して、以上の通り、各ＥＣＭユニットの音響特性を
予め測定する工程、音響特性の近似したＥＣＭユニット
同志を選択する工程はＥＣＭユニット間にばらつきが存
在しなければ本来は不必要な工程であり、この工程の加
わる分だけ複合ＥＣＭの製造コストの上昇につながる。
【０００６】そして、各別のＥＣＭユニットを独立に構
成してホルダに並列に嵌合保持する構成は複合ＥＣＭと
しての外形寸法を大きくする原因となる。即ち、これら
ユニットを各別に独立して構成するということは、金属
の円筒体より成るカプセル１１はユニットそれぞれに必
要とされ、カプセル１１内に収容される各マイクロフォ
ン構成部材もそれぞれ独立して形成されているというこ
とである。ＥＣＭユニットを並列に嵌合保持した複合Ｅ
ＣＭの縦方向断面についてみると、同様のカプセル１１
が２個存在することにより、カプセル１１の側壁は合計
４枚存在する。カプセル１１内に収容されるマイクロフ
ォン構成部材についてみても、振動膜１６、スペーサ１
７、背極板１８を保持する背極ホルダ１９は各別に存在
する。各ＥＣＭユニットの外形寸法は、上述した通り、
直径：４ｍｍ未満、厚さ：１ｍｍのオーダーの極く微小
のものであるので、構成部材の極く僅かな重複重なり
が、組み立てられた複合ＥＣＭの外形寸法の増大に大き
く影響する。
成してホルダに並列に嵌合保持する構成は複合ＥＣＭと
しての外形寸法を大きくする原因となる。即ち、これら
ユニットを各別に独立して構成するということは、金属
の円筒体より成るカプセル１１はユニットそれぞれに必
要とされ、カプセル１１内に収容される各マイクロフォ
ン構成部材もそれぞれ独立して形成されているというこ
とである。ＥＣＭユニットを並列に嵌合保持した複合Ｅ
ＣＭの縦方向断面についてみると、同様のカプセル１１
が２個存在することにより、カプセル１１の側壁は合計
４枚存在する。カプセル１１内に収容されるマイクロフ
ォン構成部材についてみても、振動膜１６、スペーサ１
７、背極板１８を保持する背極ホルダ１９は各別に存在
する。各ＥＣＭユニットの外形寸法は、上述した通り、
直径：４ｍｍ未満、厚さ：１ｍｍのオーダーの極く微小
のものであるので、構成部材の極く僅かな重複重なり
が、組み立てられた複合ＥＣＭの外形寸法の増大に大き
く影響する。
【０００７】この発明は、上述の問題を解消した複合Ｅ
ＣＭを提供するものである。
ＣＭを提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１：１対のＥＣＭ
ユニットを金属材料より成る共通のカプセル１１に互に
左右対称に収容し、遮蔽板２２により封止した一体型複
合ＥＣＭを構成した。そして、請求項２：請求項１に記
載される一体型複合ＥＣＭにおいて、左右両側部に振動
膜円孔１５1 を形成し、振動膜円孔１５1 の裏面に振動
膜１６を張り付けた振動膜リング１５を具備し、左右両
側部に背極ホルダ円孔１９1 を形成してここに表面にエ
レクトレット誘電体膜２０が形成される背極板１８を固
定した背極ホルダ１９を具備し、振動膜リング１５と背
極ホルダ１９をスペーサ１７を介在させてカプセル１１
に収容した一体型複合ＥＣＭを構成した。
ユニットを金属材料より成る共通のカプセル１１に互に
左右対称に収容し、遮蔽板２２により封止した一体型複
合ＥＣＭを構成した。そして、請求項２：請求項１に記
載される一体型複合ＥＣＭにおいて、左右両側部に振動
膜円孔１５1 を形成し、振動膜円孔１５1 の裏面に振動
膜１６を張り付けた振動膜リング１５を具備し、左右両
側部に背極ホルダ円孔１９1 を形成してここに表面にエ
レクトレット誘電体膜２０が形成される背極板１８を固
定した背極ホルダ１９を具備し、振動膜リング１５と背
極ホルダ１９をスペーサ１７を介在させてカプセル１１
に収容した一体型複合ＥＣＭを構成した。
【０００９】また、請求項３：請求項１に記載される一
体型複合ＥＣＭにおいて、左右両側部に振動膜円孔１５
1 を形成し、振動膜円孔１５1 の裏面にはエレクトレッ
ト誘電体膜２０に金属蒸着した振動膜１６を張り付けた
振動膜リング１５を具備し、左右両側部に背極ホルダ円
孔１９1 を形成してここに背極板１８を固定した背極ホ
ルダ１９を具備し、振動膜リング１５と背極ホルダ１９
をスペーサ１７を介在させてカプセル１１に収容した一
体型複合ＥＣＭを構成した。
体型複合ＥＣＭにおいて、左右両側部に振動膜円孔１５
1 を形成し、振動膜円孔１５1 の裏面にはエレクトレッ
ト誘電体膜２０に金属蒸着した振動膜１６を張り付けた
振動膜リング１５を具備し、左右両側部に背極ホルダ円
孔１９1 を形成してここに背極板１８を固定した背極ホ
ルダ１９を具備し、振動膜リング１５と背極ホルダ１９
をスペーサ１７を介在させてカプセル１１に収容した一
体型複合ＥＣＭを構成した。
【００１０】ここで、請求項４：請求項２および請求項
３の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおい
て、振動膜リング１５に張り付けられる振動膜１６は共
通の１枚の振動膜より成るものである一体型複合ＥＣＭ
を構成した。更に、請求項５：請求項２および請求項４
の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、
２枚の背極板１８同志は元は機械的に一体のものであ
り、一体の状態において電圧を印加して分極後に切断加
工したものより成る一体型複合ＥＣＭを構成した。
３の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおい
て、振動膜リング１５に張り付けられる振動膜１６は共
通の１枚の振動膜より成るものである一体型複合ＥＣＭ
を構成した。更に、請求項５：請求項２および請求項４
の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、
２枚の背極板１８同志は元は機械的に一体のものであ
り、一体の状態において電圧を印加して分極後に切断加
工したものより成る一体型複合ＥＣＭを構成した。
【００１１】そして、請求項６：請求項２ないし請求項
５の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおい
て、遮蔽板２２はその両面に配線パターン３１および端
子３２が左右対称に形成されると共に、インピーダンス
変換用素子を同一シリコン基板に互いに対称的に形成し
たインピーダンス変換回路２４が形成されるものである
一体型複合ＥＣＭを構成した。
５の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおい
て、遮蔽板２２はその両面に配線パターン３１および端
子３２が左右対称に形成されると共に、インピーダンス
変換用素子を同一シリコン基板に互いに対称的に形成し
たインピーダンス変換回路２４が形成されるものである
一体型複合ＥＣＭを構成した。
【００１２】また、請求項７：請求項６に記載される一
体型複合ＥＣＭにおいて、インピーダンス変換回路２４
には、更に、増幅、ステレオ作用をさせる回路素子も互
いに対称的に形成されるものである一体型複合ＥＣＭを
構成した。更に、請求項８：請求項２ないし請求項７の
内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、振
動膜リング１５、振動膜１６、スペーサ１７、背極ホル
ダ１９、および遮蔽板２２はカプセル１１の外形と相似
形の円形、楕円形、或は四角形に形成した一体型複合Ｅ
ＣＭを構成した。
体型複合ＥＣＭにおいて、インピーダンス変換回路２４
には、更に、増幅、ステレオ作用をさせる回路素子も互
いに対称的に形成されるものである一体型複合ＥＣＭを
構成した。更に、請求項８：請求項２ないし請求項７の
内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、振
動膜リング１５、振動膜１６、スペーサ１７、背極ホル
ダ１９、および遮蔽板２２はカプセル１１の外形と相似
形の円形、楕円形、或は四角形に形成した一体型複合Ｅ
ＣＭを構成した。
【００１３】また、請求項９：請求項１ないし請求項８
の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、
左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニットＲの中心軸
方向を交差させて角度を付与した一体型複合ＥＣＭを構
成した。
の内の何れかに記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、
左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニットＲの中心軸
方向を交差させて角度を付与した一体型複合ＥＣＭを構
成した。
【００１４】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、先ず、
図１を参照して説明する。１１はカプセルを示し、高さ
の極く低い金属筒体より成る。この金属筒体の外形は円
形、楕円形、或いは四角形に構成され、その一端面は前
面板１２により閉塞されている。図１の実施例の金属筒
体外形は楕円或いは小判形とされている。そして、前面
板１２には、左右に構成される左ＥＣＭユニットＬおよ
び右ＥＣＭユニットＲに対応して音孔１３が形成されて
いる。以下、カプセル１１に収容される各部材を図２以
降を参照して順次に説明する。
図１を参照して説明する。１１はカプセルを示し、高さ
の極く低い金属筒体より成る。この金属筒体の外形は円
形、楕円形、或いは四角形に構成され、その一端面は前
面板１２により閉塞されている。図１の実施例の金属筒
体外形は楕円或いは小判形とされている。そして、前面
板１２には、左右に構成される左ＥＣＭユニットＬおよ
び右ＥＣＭユニットＲに対応して音孔１３が形成されて
いる。以下、カプセル１１に収容される各部材を図２以
降を参照して順次に説明する。
【００１５】図２を参照するに、１５は振動膜リングで
ある。この振動膜リング１５は金属薄板をカプセル１１
の外形と相似形の円形、楕円形、或は四角形に形成し、
その左右両側部には左右に構成される左ＥＣＭユニット
Ｌおよび右ＥＣＭユニットＲに対応して振動膜円孔１５
1 を形成している。１６は振動膜である。振動膜１６
は、その外形を振動膜リング１５と相似形の円形、楕円
形、或は四角形に構成されると共に、寸法も同一に構成
されている。この振動膜１６は振動膜リング１５の下面
に張り付けられ、共通の１枚の振動膜１６が左右のＥＣ
Ｍの振動膜を構成していることになる。この振動膜１６
は振動膜リング１５の振動膜円孔１５1 により振動する
余地を与えられている。振動膜１６は合成樹脂薄膜に金
属膜１６1 を蒸着した振動膜とすることができる。
ある。この振動膜リング１５は金属薄板をカプセル１１
の外形と相似形の円形、楕円形、或は四角形に形成し、
その左右両側部には左右に構成される左ＥＣＭユニット
Ｌおよび右ＥＣＭユニットＲに対応して振動膜円孔１５
1 を形成している。１６は振動膜である。振動膜１６
は、その外形を振動膜リング１５と相似形の円形、楕円
形、或は四角形に構成されると共に、寸法も同一に構成
されている。この振動膜１６は振動膜リング１５の下面
に張り付けられ、共通の１枚の振動膜１６が左右のＥＣ
Ｍの振動膜を構成していることになる。この振動膜１６
は振動膜リング１５の振動膜円孔１５1 により振動する
余地を与えられている。振動膜１６は合成樹脂薄膜に金
属膜１６1 を蒸着した振動膜とすることができる。
【００１６】図３を参照するに、１７は絶縁材料薄板よ
り成るスペーサである。スペーサ１７もその外周をカプ
セル１１と相似形の円形、楕円形、或は四角形に形成さ
れ、その左右両側部に振動膜円孔１５1 に対応して２個
のスペーサ円孔１７1 が形成されている。図４を参照す
るに、１８は背極板である。この２枚の背極板１８は振
動膜１６に対向し、独立してコンデンサを形成する電極
を構成する。背極板１８の表面にはエレクトレット誘電
体膜２０が形成されている。これら２枚の背極板１８同
志は元は機械的に一体のものであり、一体の状態におい
て電圧を印加して分極させる。分極が終了したところで
切断され、これにより各背極板１８の間の分極電圧のば
らつきを完全になしにすることができる。
り成るスペーサである。スペーサ１７もその外周をカプ
セル１１と相似形の円形、楕円形、或は四角形に形成さ
れ、その左右両側部に振動膜円孔１５1 に対応して２個
のスペーサ円孔１７1 が形成されている。図４を参照す
るに、１８は背極板である。この２枚の背極板１８は振
動膜１６に対向し、独立してコンデンサを形成する電極
を構成する。背極板１８の表面にはエレクトレット誘電
体膜２０が形成されている。これら２枚の背極板１８同
志は元は機械的に一体のものであり、一体の状態におい
て電圧を印加して分極させる。分極が終了したところで
切断され、これにより各背極板１８の間の分極電圧のば
らつきを完全になしにすることができる。
【００１７】１９は背極ホルダである。この背極ホルダ
１９も外形はカプセル１１と相似形である円形、楕円
形、或いは四角形に構成され、その左右両側部にスペー
サ円孔１７1 に対応して背極ホルダ円孔１９1 を形成し
ている。背極ホルダ円孔１９1の上端周縁部には環状段
部１９2 が形成され、ここに背極板１８を嵌合固定させ
る。背極ホルダ１９の中央部下面には変換回路収容部１
９3 が構成されている。
１９も外形はカプセル１１と相似形である円形、楕円
形、或いは四角形に構成され、その左右両側部にスペー
サ円孔１７1 に対応して背極ホルダ円孔１９1 を形成し
ている。背極ホルダ円孔１９1の上端周縁部には環状段
部１９2 が形成され、ここに背極板１８を嵌合固定させ
る。背極ホルダ１９の中央部下面には変換回路収容部１
９3 が構成されている。
【００１８】図５を参照するに、２２はカプセル１１の
下端開口を封止する遮蔽板である。遮蔽板２２も外形は
カプセル１１と相似形である円形、楕円形、或いは四角
形に構成される。遮蔽板２２の両面には配線パターン３
１が形成されると共に、外面に突出する端子３２が形成
される。これら配線パターン３および端子３２は互いに
左右対称に形成される。
下端開口を封止する遮蔽板である。遮蔽板２２も外形は
カプセル１１と相似形である円形、楕円形、或いは四角
形に構成される。遮蔽板２２の両面には配線パターン３
１が形成されると共に、外面に突出する端子３２が形成
される。これら配線パターン３および端子３２は互いに
左右対称に形成される。
【００１９】２４は左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭ
ユニットＲそれぞれのインピーダンス変換用素子を同一
シリコン基板に互いに対称的に形成したインピーダンス
変換回路である。このインピーダンス変換回路２４に
は、更に、増幅、ステレオ作用をさせる回路素子も互い
に対称的に形成される。ここで、振動膜リング１５の下
面に張り付けられた振動膜１６をその振動膜リング１５
をカプセル１１の前面板１２側にしてカプセル１１内に
収容する。次いで、スペーサ１７を収容する。ここで、
表面にエレクトレット誘電体膜２０が形成される背極板
１８を環状段部１９2 に嵌合固定した背極ホルダ１９を
背極板１８をスペーサ１７側にして収容する。カプセル
１１の開口を遮蔽板２２により遮蔽したところで、カプ
セル１１の開口端部を遮蔽板２２にカシメ付けることに
よりカプセル１１は封止され、複合ＥＣＭの組み立ては
終了する。なお、エレクトレットコンデンサの一方の電
極を構成する振動膜１６と他方の電極を構成する背極板
１８は、カプセル１１、配線パターン３１、インピーダ
ンス変換回路２４を介して端子３２に電気接続されるの
であるが、その詳細な説明は省略する。
ユニットＲそれぞれのインピーダンス変換用素子を同一
シリコン基板に互いに対称的に形成したインピーダンス
変換回路である。このインピーダンス変換回路２４に
は、更に、増幅、ステレオ作用をさせる回路素子も互い
に対称的に形成される。ここで、振動膜リング１５の下
面に張り付けられた振動膜１６をその振動膜リング１５
をカプセル１１の前面板１２側にしてカプセル１１内に
収容する。次いで、スペーサ１７を収容する。ここで、
表面にエレクトレット誘電体膜２０が形成される背極板
１８を環状段部１９2 に嵌合固定した背極ホルダ１９を
背極板１８をスペーサ１７側にして収容する。カプセル
１１の開口を遮蔽板２２により遮蔽したところで、カプ
セル１１の開口端部を遮蔽板２２にカシメ付けることに
よりカプセル１１は封止され、複合ＥＣＭの組み立ては
終了する。なお、エレクトレットコンデンサの一方の電
極を構成する振動膜１６と他方の電極を構成する背極板
１８は、カプセル１１、配線パターン３１、インピーダ
ンス変換回路２４を介して端子３２に電気接続されるの
であるが、その詳細な説明は省略する。
【００２０】以上の実施例は背極板１８表面側にエレク
トレット誘電体膜２０を形成したバックＥＣＭの例であ
るが、この発明は、エレクトレット誘電体膜２０を背極
板１８表面側にではなくして、エレクトレット誘電体膜
２０に金属膜１６1 を蒸着の如き成膜技術により形成
し、振動膜リング１５に張り付けてたホイルＥＣＭにも
適用することができる。図６を参照するに、振動膜リン
グ１５は金属薄板をカプセル１１の外形と相似形の円
形、楕円形、或いは四角形に形成し、その左右両側部に
は左右に構成される左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭ
ユニットＲに対応して振動膜円孔１５1 を形成してい
る。振動膜１６は、その外形を振動膜リング１５と相似
形の円形、楕円形、或は四角形に構成されると共に、寸
法も同一に構成されている。この振動膜１６は振動膜リ
ング１５の下面に張り付けられ、共通の１枚の振動膜１
６が左右のＥＣＭの振動膜を構成していることになる。
金属膜１６1 は、エレクトレット誘電体膜２０の上面に
形成される。
トレット誘電体膜２０を形成したバックＥＣＭの例であ
るが、この発明は、エレクトレット誘電体膜２０を背極
板１８表面側にではなくして、エレクトレット誘電体膜
２０に金属膜１６1 を蒸着の如き成膜技術により形成
し、振動膜リング１５に張り付けてたホイルＥＣＭにも
適用することができる。図６を参照するに、振動膜リン
グ１５は金属薄板をカプセル１１の外形と相似形の円
形、楕円形、或いは四角形に形成し、その左右両側部に
は左右に構成される左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭ
ユニットＲに対応して振動膜円孔１５1 を形成してい
る。振動膜１６は、その外形を振動膜リング１５と相似
形の円形、楕円形、或は四角形に構成されると共に、寸
法も同一に構成されている。この振動膜１６は振動膜リ
ング１５の下面に張り付けられ、共通の１枚の振動膜１
６が左右のＥＣＭの振動膜を構成していることになる。
金属膜１６1 は、エレクトレット誘電体膜２０の上面に
形成される。
【００２１】図７を参照するに、複合ＥＣＭを構成する
左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニットＲの中心軸
方向を交差させて僅かに角度を付与した複合ＥＣＭを示
す。複合ＥＣＭはこれをステレオＥＣＭとして使用する
場合、左右に広がりを持って集音したい訳であるが、ス
テレオＥＣＭを小型化すると左右両ＥＣＭ相互間の距離
が接近して左右に広がりの小さい音を集音することにな
る。ここで、左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニッ
トＲの中心軸方向を交差させて僅かに角度を付与するこ
とにより、左右に広がりの大きい音を集音するステレオ
ＥＣＭとすることができる。
左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニットＲの中心軸
方向を交差させて僅かに角度を付与した複合ＥＣＭを示
す。複合ＥＣＭはこれをステレオＥＣＭとして使用する
場合、左右に広がりを持って集音したい訳であるが、ス
テレオＥＣＭを小型化すると左右両ＥＣＭ相互間の距離
が接近して左右に広がりの小さい音を集音することにな
る。ここで、左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニッ
トＲの中心軸方向を交差させて僅かに角度を付与するこ
とにより、左右に広がりの大きい音を集音するステレオ
ＥＣＭとすることができる。
【００２２】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、２個
のＥＣＭユニットを一体化して一体型複合ＥＣＭを構成
するものであり、これによりＥＣＭユニットの特性のば
らつきを減少し、製品の外形寸法を小さくすると共に、
製造コストも低減することができる。そして、左ＥＣＭ
ユニットの中心軸と右ＥＣＭユニットの中心軸との間に
或る角度を付与して組み立てることにより、左右に広が
りの大きい音を集音する一体型複合ＥＣＭを構成するこ
とができる。
のＥＣＭユニットを一体化して一体型複合ＥＣＭを構成
するものであり、これによりＥＣＭユニットの特性のば
らつきを減少し、製品の外形寸法を小さくすると共に、
製造コストも低減することができる。そして、左ＥＣＭ
ユニットの中心軸と右ＥＣＭユニットの中心軸との間に
或る角度を付与して組み立てることにより、左右に広が
りの大きい音を集音する一体型複合ＥＣＭを構成するこ
とができる。
【００２３】特に、複合ＥＣＭを構成する部材を左右対
称に構成することによりＥＣＭユニットの特性のばらつ
きを減少することができる。即ち、振動膜リング、振動
膜、スペーサ、背極ホルダ、遮蔽板はカプセルの外形と
相似形の円形、楕円形、或いは四角形に形成する。そし
て、２枚の背極板同志は元は機械的に一体のものであ
り、一体の状態において電圧を印加して分極後に切断加
工することにより、両背極板の間に分極の偏りは生じな
い。また、遮蔽板に対して配線パターンおよび端子を左
右対称に形成すると共にインピーダンス変換用素子を同
一シリコン基板に互いに対称的に形成したインピーダン
ス変換回路とすることにより、ＥＣＭユニットの特性の
ばらつきを減少する。
称に構成することによりＥＣＭユニットの特性のばらつ
きを減少することができる。即ち、振動膜リング、振動
膜、スペーサ、背極ホルダ、遮蔽板はカプセルの外形と
相似形の円形、楕円形、或いは四角形に形成する。そし
て、２枚の背極板同志は元は機械的に一体のものであ
り、一体の状態において電圧を印加して分極後に切断加
工することにより、両背極板の間に分極の偏りは生じな
い。また、遮蔽板に対して配線パターンおよび端子を左
右対称に形成すると共にインピーダンス変換用素子を同
一シリコン基板に互いに対称的に形成したインピーダン
ス変換回路とすることにより、ＥＣＭユニットの特性の
ばらつきを減少する。
【図１】実施例を説明する図。
【図２】振動膜および振動膜リングを説明する図。
【図３】スペーサを説明する図。
【図４】背極板および背極ホルダを説明する図。
【図５】遮蔽板を説明する図。
【図６】他の実施例を説明する図。
【図７】ステレオＥＣＭを説明する図。
【図８】従来例を説明する図。
１１ カプセル
１２ 前面板
１３ 音孔
１５ 振動膜リング
１５1 振動膜リング円孔
１６ 振動膜
１６1 金属膜
１７ スペーサ
１７1 スペーサ円孔
１８ 背極板
１８1 貫通孔
１９ 背極ホルダ
１９1 背極ホルダ円孔
１９2 環状段部
１９3 変換回路収容部
２０ エレクトレツト誘電体膜
２１ リングクッション
２２ 遮蔽板
２４ インピーダンス変換回路
３１ 配線パターン
３２ 端子
Ｌ ＥＣＭユニット
Ｒ 右ＥＣＭユニット
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H04R 19/01
Claims (9)
- 【請求項１】 １対のＥＣＭユニットを金属材料より成
る共通のカプセルに互に左右対称に収容し、遮蔽板によ
り封止したことを特徴とする一体型複合ＥＣＭ。 - 【請求項２】 請求項１に記載される一体型複合ＥＣＭ
において、 左右両側部に振動膜円孔を形成し、振動膜円孔の裏面に
振動膜を張り付けた振動膜リングを具備し、左右両側部
に背極ホルダ円孔を形成してここに表面にエレクトレッ
ト誘電体膜が形成される背極板を固定した背極ホルダを
具備し、振動膜リングと背極ホルダをスペーサを介在さ
せてカプセルに収容したことを特徴とする一体型複合Ｅ
ＣＭ。 - 【請求項３】 請求項１に記載される一体型複合ＥＣＭ
において、 左右両側部に振動膜円孔を形成し、振動膜円孔の裏面に
はエレクトレット誘電体膜に金属蒸着した振動膜を張り
付けた振動膜リングを具備し、左右両側部に背極ホルダ
円孔を形成しここに背極板を固定した背極ホルダを具備
し、振動膜リングと背極ホルダをスペーサを介在させて
カプセル１１に収容したことを特徴とする一体型複合Ｅ
ＣＭ。 - 【請求項４】 請求項２および請求項３の内の何れかに
記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、 振動膜リングに張り付けられる振動膜は共通の１枚の振
動膜より成るものであることを特徴とする一体型複合Ｅ
ＣＭ。 - 【請求項５】 請求項２および請求項４の内の何れかに
記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、 ２枚の背極板同志は元は機械的に一体のものであり、一
体の状態において電圧を印加して分極後に切断加工した
ものより成ることを特徴とする一体型複合ＥＣＭ。 - 【請求項６】 請求項２ないし請求項５の内の何れかに
記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、 遮蔽板はその両面に配線パターンおよび端子が左右対称
に形成されると共に、インピーダンス変換用素子を同一
シリコン基板に互いに対称的に形成したインピーダンス
変換回路が形成されるものであることを特徴とする一体
型複合ＥＣＭ。 - 【請求項７】 請求項６に記載される一体型複合ＥＣＭ
において、 インピーダンス変換回路には、更に、増幅、ステレオ作
用をさせる回路素子も互いに対称的に形成されるもので
あることを特徴とする一体型複合ＥＣＭ。 - 【請求項８】 請求項２ないし請求項７の内の何れかに
記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、 振動膜リング、振動膜、スペーサ、背極ホルダ、および
遮蔽板はカプセルの外形と相似形の円形、楕円形、或は
四角形に形成したことを特徴とする一体型複合ＥＣＭ。 - 【請求項９】 請求項１ないし請求項８の内の何れかに
記載される一体型複合ＥＣＭにおいて、 左ＥＣＭユニットＬおよび右ＥＣＭユニットＲの中心軸
方向を交差させて角度を付与したことを特徴とする一体
型複合ＥＣＭ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33133798A JP3476375B2 (ja) | 1998-11-20 | 1998-11-20 | 一体型複合エレクトレットコンデンサマイクロフォン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33133798A JP3476375B2 (ja) | 1998-11-20 | 1998-11-20 | 一体型複合エレクトレットコンデンサマイクロフォン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000165998A JP2000165998A (ja) | 2000-06-16 |
| JP3476375B2 true JP3476375B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=18242563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33133798A Expired - Fee Related JP3476375B2 (ja) | 1998-11-20 | 1998-11-20 | 一体型複合エレクトレットコンデンサマイクロフォン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3476375B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004056438A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロフォン |
| KR100556685B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2006-03-10 | 주식회사 비에스이 | 지향성 콘덴서 마이크로폰용 홀더 키트 |
| JP5088950B2 (ja) | 2006-11-22 | 2012-12-05 | 株式会社船井電機新応用技術研究所 | 集積回路装置及び音声入力装置、並びに、情報処理システム |
| JP4893380B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2012-03-07 | ヤマハ株式会社 | コンデンサマイク装置 |
| JP5097603B2 (ja) | 2008-04-15 | 2012-12-12 | 株式会社船井電機新応用技術研究所 | マイクロホンユニット |
| JP2010136406A (ja) * | 2010-01-06 | 2010-06-17 | Panasonic Corp | マイクロホン装置 |
-
1998
- 1998-11-20 JP JP33133798A patent/JP3476375B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000165998A (ja) | 2000-06-16 |
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