JP3281480B2 - 空気フィルターアセンブリ - Google Patents

空気フィルターアセンブリ

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JP3281480B2 JP09771694A JP9771694A JP3281480B2 JP 3281480 B2 JP3281480 B2 JP 3281480B2 JP 09771694 A JP09771694 A JP 09771694A JP 9771694 A JP9771694 A JP 9771694A JP 3281480 B2 JP3281480 B2 JP 3281480B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一般に微粒子用の空
気濾過媒体に関し、さらに詳細には、機械的強制的な換
気システムを用いずに使用することができる単層の非エ
ントレイン性(non-entraining) 空気濾過媒体に関す
る。
【0002】
【従来の技術】有害な微粒子を除去するための空気濾過
システムは一般的な衛生上の観点から重要であり、アレ
ルギー、喘息などの患者にとっては特に大切である。湿
気およびカーテンや家具などから漏れるフェノールなど
の空気中の化学物質を除去するためには、室内の換気も
また重要である。
【0003】微粒子およびアレルギー性の花粉は、直径
が通常15ミクロンよりも大きく、ほとんど20ミクロ
ンよりも大きい。スモッグ中の粒子は、0.01ミクロ
ンと小さい。ビル内の空気換気システムは、一般に、濾
過媒体に空気を通すための機械的ブロアーおよびその他
の大きな装置を必要とする空気フィルターを備えてい
る。これらのタイプのフィルターは、大きなゴミとダス
ト粒子だけを除去するように設計されており、上記の微
粒子を除去しない。
【0004】微粒子およびアレルギー性の花粉を効果的
に濾過するために十分小さい穴を備える物理的な空気濾
過媒体を備えることが望ましい。特に、強制的に換気を
することなく(自然の換気で)使用することができる微
粒子およびアレルギー性の花粉のための非エントレイン
性空気濾過システムを備えることが望ましい。ここで、
「強制的ではない(自然の)換気」とは、機械的ブロア
ーなどを使用しない空気の対流を意味する。
【0005】別のタイプの空気濾過システムとして、
「高効率性粒子アレスタ(High Efficiency Particulat
e Arrestor(HEPA))」がある。これらは、通常マットタ
イプ媒体で、空気を濾過媒体に通すための送風装置を必
要とする。このシステムは、一般に、室内の空気が再循
環する設備の中で使用される。通常、微粒子を除去する
ためにデザインされた空気濾過システムは、送風装置を
必要とする組み合わせたまたはブローされたマットフィ
ルターを備える。このようなシステムは、微粒子を捉え
ることにより、または組み合わされたマットフィルター
の上または中に集めることにより機能する。その結果、
濾過媒体の目が微粒子で詰まるにつれて濾過効果は低下
する。そのため、このタイプの空気フィルターは、周期
的に洗浄または交換しなければならない。空気が微粒子
でひどく汚れている場合には、このような空気フィルタ
ーは非常に頻繁に洗浄または交換しなければならない。
米国特許第570,219号、第1,056,722号、第2,478,097号
および第4,022,596号は、このタイプの空気濾過システ
ムを開示している。米国特許第2,551,175号および第2,6
15,477号は、微粒子をエントレインまたは集める液体の
濾過システムを開示している。
【0006】米国特許第4,728,349号、第4,904,288号お
よび第5,037,445号は、微粒子をエントレインまたは収
集し、空気をフィルターに通すために空気の換気装置を
使用する多層空気フィルターを開示している。また、米
国特許第4,728,349号および第4,824,451号は、織物では
ないブローされたマットタイプの濾過媒体を開示してい
るが、この装置もやはり送風装置を必要とする。
【0007】その他に、窓枠搭載用に適した空気フィル
ターがある。例えば、米国特許第3,675,402号は、多層
濾過媒体を用いるスライド窓空気濾過アセンブリ(asse
mbly)を開示している。この空気濾過アセンブリは、窓
の大きさに切断しなければならない。枠が一度切断され
ると、伸張することはできない。微粒子の侵入を防ぐた
めの、送風装置を使用しない空気濾過媒体における重要
な要素は、(1)濾過媒体中の穴が十分に小さく、微粒子
の通過が防止できることおよび(2)濾過媒体の表面領域
が十分に開口しており、濾過媒体の両側の圧力差が小さ
く、自然な非機械的な対流が促されていることである。
【0008】ミクロフィラメント織り、ミクロレーザカ
ット、化学および光学エッチング、X線リソグラフィ
ー、微孔シートの延伸などのマイクロ材料製造の新規な
方法により、微粒子の通過を防ぐための十分に小さい穴
を備え、機械的ブロアーを備えずに自然な換気を得るた
めにフィルターの両側の圧力差が小さくなるように十分
に大きい開口度を備えた、単一膜濾過媒体を製造するこ
とが可能になった。このような濾過媒体は、窓のような
開口部に選択的に設置され得る調節可能な枠に配設され
る場合、特に有用である。より小さな穴を使用する場
合、例えば穴が約0.01ミクロンまで小さくなり、自
然の換気が可能な十分な開口度を持つ膜においては、粒
子は、産業上のスモッグの中に見られる粒子などに制限
される。
【0009】この発明の目的は、粒子を濾過媒体の上ま
たは中に集めることなく、小さい粒子の通過を防止する
空気濾過手段を提供することである。この発明のもうひ
とつの目的は、自然な換気、即ち強制的な空気の換気を
必要せず、わずかな圧力差によって空気を対流させる空
気濾過手段を提供することである。
【0010】この発明のさらなる目的は、自己洗浄を行
ない、そのため短周期の交換または洗浄を不要とするま
たは実質的に不要とする空気濾過手段を提供することで
ある。この発明のまた別の目的は、窓のような開口部の
大きさを変更するために濾過媒体が選択的に調節し得
る、調節可能な枠を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】これらの目的は、この発
明の空気濾過システムによって達成される。本発明によ
れば、フレームアセンブリと織物濾過媒体を通過する
空気流の方向での断面が最大30ミクロンを有するマイ
クロフィラメントのストランド織物の単一層で形成され
た織物濾過媒体とからなり、それらのストランドは最大
20ミクロンの間隔を置いて配置され、各ストランドは
平滑な外面を有し、前記織物濾過媒体は、前記フレーム
アセンブリ中に配置されており、その濾過媒体は、非エ
ントレイン性で、目づまりが減少した空気フィルターを
あたえ、そのフィルターを通して花粉及び/又はダスト
粒子との通過を減少させ、一方、自然の換気により、か
つ機械的ブロアなしで、空気フィルターの空気の自由な
通過をさせる空気フィルターアセンブリが提供される。
【0012】また、別の観点から、a)濾過媒体の空気
流方向に実質的に一定の断面を有するマイクロフィラメ
ントストランド織物の単一層で形成された織物濾過媒体
であって、そのストランドは濾過される粒子の最小径よ
り小さい間隔で配置され、ストランドの間隔とストラン
ドの径は自然の換気により、かつ機械的ブロアーなしで
空気フィルタの空気の通過をさせる開口度を供給し、各
ストランドは平滑な外面を有し、濾過媒体は非エントレ
イン性である織物濾過媒体を用意し、b)前記織物濾過
媒体をフレームアセンブリ中に設置し、かつc)フレー
ムアセンブリと濾過媒体とを空気流中に置くことからな
る空気流から最小径を有する粒子を濾過する方法が提供
される。
【0013】さらに、a)実質的に連続な表面を有する
濾過材の1枚の単層シートを用意し、b)フィルターを
形成する濾過材のシート中に、濾過される粒子の最小径
より小さい最大径を有する複数の穴をあけて、この穴を
自然の換気により、かつ機械的ブロアーなしで空気フィ
ルターを経て空気を通過させるのに十分な開口度を供給
するため濾過材に配置させ、かつそのフィルターは非エ
ントレイン性で空気流方向に平滑な外面を持たせ、c)
そのフィルターをフレームアセンブリに配置し、かつ
d)フレームアセンブリとフィルターを空気流中に置く
ことからなる空気流から最小径を有する粒子を濾過する
方法が提供される。
【0014】また、a)濾過材からなる1枚の単層シー
トで、そのシートは濾過される粒子の最小径より小さな
最大径をそれぞれ有する複数の穴からなり、その穴は機
械的ブロアーなしで濾過材の空気流の通過をさせるのに
十分な開口度を供給するために濾過材に配置し、濾過材
は空気流方向に単層で、フィルターは非エントレイン性
であり、かつb)濾過材シートが配置されるフレームア
センブリからなる空気流から最小径の粒子を濾過するた
めのフィルターアセンブリが提供される。
【0015】本発明は、その中にフィルターを有するフ
レームからなるフィルターアセンブリである。フレーム
は、必要ならば横に調節可能である。フィルターは、最
大30ミクロンの断面高(フィルターを通過する空気流
の方向からみて)であり、それらのストランドは最大2
0ミクロンの間隔を置いて配置される。媒体の穴は制限
される粒子よりも小さく、単層は、エントレインされる
(マットマトリックスにおいて捉えられる)ことを防止
する。平滑な外面は、粒子を退ける能力を高める。マイ
クロフィラメントストランドは柱状、又はフレームに配
設される前にカレンダー仕上げ(平坦化)されている柱
状ストランドでもよい。粒子を空気流から濾過する好ま
しい方法は、織物濾過媒体をフレームアセンブリに配設
し、空気流中に載置することである。
【0016】その他の実施例として、フィルターは、そ
こにカットされた穴を有する濾過材の単一シートからな
る。各穴は、粒子がフィルターを通過することを防止す
るために濾過される粒子の最小径よりも小さい最大径を
有している。濾過材は、粒子がフィルターの目づまりを
起こすことから防止するたけに空気流に面した平滑な外
面を有することが好ましい。穴は、レーザカット、X線
リソグラフィー又は化学エッチング等の適当なカット方
法によって濾過材にカットされている。
【0017】さらに、穴は微孔プラスチックシートを延
伸させることによって形成することもできる。ポリプロ
ピレン等のプラスチックシートがフィルターを形成し、
その後2軸延伸した場合、穴は、フィルター中に形成さ
れる。このように、フィルターは開口穴を形成するため
に除去される。市販されている有用なものの1つに「To
kuso NF 」がある。
【0018】いずれの実施例の場合でも、穴のサイズ
は、捉えられる粒子径に依存する。花粉等を捉えるため
には、穴は20ミクロン以下が好ましい。スモッグ等を
捉えるためには、穴は0.01ミクロンと小さくてもよ
い。用いられるフィルターのタイプ、穴のサイズにかか
わらず、空気流に対して開口されているフィルターの割
合は、機械的送風装置の使用なしに空気流を与えるのに
十分であるべきである。そのフィルターは13%開口以
上が好ましく、1%程度でもよい。
【0019】好ましい実施例においては、フィルター
は、20ミクロンの間隔(約500ストランド/イン
チ)を有して配置する30ミクロンの直径を有し、平滑
面を有する柱状マイクロフィラメントのストランドから
形成されている。これは表面領域の約16%の穴を供給
する。これらストランドがカレンダー仕上げされた代わ
りの実施例においては、表面領域の13%が開口してい
る。
【0020】平滑濾過材のX線リソグラフィー等のエッ
チングによって、約0.01ミクロンの穴を形成するこ
とができる。これら穴は、スモッグ中の粒子を捉えるた
めに十分小さく、材料は、低い圧力差を通して空気を通
過させることができる十分な開口度を有する。濾過媒体
は、非エントレイン性のため単一層を有する。
【0021】
【実施例】図1は、本発明の窓用空気フィルターアセン
ブリ1の好ましい実施例の平面図を示す。空気フィルタ
ーアセンブリは、一般に横に調節できるフレームアセン
ブリ2及びフレームアセンブリ2中にしっかり配置され
た織物濾過媒体3とからなる。フレームアセンブリ2
は、フレームアセンブリ2のサイズを横に調節するため
の第2フレームアセンブリ5の中及び外を滑動可能な第
1フレーム部材4を包含する。フレーム部材4及び5は
C状断面を有することが好ましい。第2フレーム部材5
の水平脚5a及び5bは、それぞれ、第1フレーム部材
4の水平脚4a及び4bと、滑らかに係合している。
【0022】図2に示したように、濾過媒体固定材又は
留め具6を、第1フレーム部材4の垂直脚4cの内部で
濾過媒体3に固定する。ローラー7は、第2フレーム部
材5の第2垂直脚5cの内部に配置する。ローラー7
は、第2フレーム部材5に回転可能に結合させる。濾過
媒体3は、固定材6又はローラー7に、その端部で結合
している。フレームアセンブリ2は横に狭いか広いの
で、ローラー7は、好ましくは、濾過媒体3において、
自動的に緩みを張ったり、緩ませたりするための公知の
スプリングローラーを含む。濾過媒体3は第1及び第2
フレーム部材スロット4d、5dを通して広がってい
る。種々の大きさの開口に容易に調節しうるために、第
1フレーム部材4及び第2フレーム部材5と、横に広が
りうる濾過媒体3の留め具の滑動可能な関係は、空気フ
ィルターアセンブリ1の横の調節を許容する。もちろ
ん、フレームアセンブリ2は、種々の形及び形状で説明
することができ、記載した機能をなす。
【0023】フレームアセンブリ2は、防水材料で形成
され、すきまふさぎ13を有することが好ましい。開口
の大きさが固定している場合は、調節可能でないフレー
ムを使用することができる。図3に示したように、濾過
媒体3は、平滑表面を有するマイクロフィラメントのス
トランド8及び9の織物から形成されていることが好ま
しい。平滑表面を有するマイクロフィラメントのストラ
ンド8及び9としては、例えば、ポリエステル、ナイロ
ン、ポリプロピレン、カーボン、ファイバーグラス、セ
ラミック又は金属ストランドが挙げられる。これらのス
トランドは、必要ならば、静電処理されていてもよい。
ストランド8及び9は、所定の間隔Xを有して配置して
いる。ストランド8及び9が柱状ならば、Yは各ストラ
ンドの直径に対応している。ストランド8及び9の全て
は、同じ直径(もしストランドが柱状ならば)又は断面
高さを有しているのが好ましい。
【0024】他の実施例として、図4及び5に示されて
いるように、不織布を用いてもよい。このフィルター
は、そこに形成された複数の穴14及び15を有する好
ましいプラスチック材料の平らなシートで説明される。
図4は、例えば、以下に示すような大きさ及び間隔に作
られた材料3bの単層シート中に、レーザー又はX線リ
トグラフィーによって、穴がドリルされるか、カットさ
れた実施例を示す。図5は、穴が微孔な化学エッチン
グ、又は微孔プラスチックシートを延伸することによっ
てカットされた例を示す。
【0025】フィルターのタイプ、つまり、織物又は不
織物にかかわらず、フィルターの穴のサイズは、濾過さ
れる粒子のタイプに応じて変化させてもよい。また、フ
ィルターの表面領域は、自然換気を十分許容するように
開けるべきである。自然換気させるために許容される開
口度の程度は、フィルターが使用される粒子に依存する
であろう。一般的な適用のために、13%以上の開口度
が好ましい。しかし、開口度の低い割合でもよい。2%
及び3%より小さな開口度を有するフィルターは、換気
の許容程度を与えることができる。しかし、大きな開口
面積が好ましい。乗物のような小さな空間のため、1%
以下の開口度の割合も採用することができる。13%開
口度の織物媒体の試験において、水0.1インチの圧力
差で、35〜45立方フィート/分/平方根の空気流に
達した。これは他のタイプの空間と同様住むのに適する
ために十分である。
【0026】好ましい実施例において、濾過媒体は、最
大30ミクロンの直径を有する平滑表面を有する柱状マ
イクロフィラメントから形成されており、そのストラン
ドは、最大20マイクロの間隔を有して配置している。
他の実施例は、a)15ミクロンの外径を有し、15ミ
クロンの間隔で配置する、b)10ミクロンの外径を有
し、7ミクロンの間隔で配置する、及びc)30ミクロ
ンの外径を有し、20ミクロンの間隔で配置するものを
含む。ここで、15ミクロンのストランド外径を有し、
各ストランドの間隔が15ミクロン(約850ストラン
ド/インチ)である実施例においては、フィルターの表
面領域の約25%が開口している。
【0027】約15ミクロンの間隔(X間隔)で配置し
ているマイクロフィラメントのストランド8及び9、又
は対応する平滑プラスチックフィルター3b又は3cを
有する濾過媒体3は、ほとんどの空気で運ばれる花粉の
通過を防止する。フィルターにおける穴の大きさは、だ
んだん小さくなる粒子を制限するために、より小さく形
成してもよい。より小さな粒子でさえも濾過するため
に、より近接して配置されたストランド8及び9を有す
る濾過媒体3は、必要な開口度を保持するために、より
小さな直径を有するマイクロフィラメントのストランド
8及び9の使用を必要とする。例えば、ストランド8及
び9が1ミクロン間隔で配置されると、表面領域の11
%の開口度を達成するために、2ミクロンの直径を必要
とする。実際、織物のために市販されて用いられている
最小サイズのストランドは25ミクロンである。16%
の開口度を有する濾過媒体3のために、25ミクロン−
ストランドを最大20ミクロン間隔で配置しなければな
らない。これは、ほとんどの花粉及び他の小さい粒子成
分の上限を濾過するために十分である。
【0028】一般にマイクロフィラメントのストランド
8及び9は柱状であるが、フレーム中に配置される前
に、柱状ストランドはカレンダー仕上げ、つまり、平坦
にされてもよい。その結果物であるストランドはもはや
柱状ではなく、いづれにしろ平坦である。20ミクロン
で配置され、その後カレンダー仕上げされた25ミクロ
ン柱状ストランドのための、結果の開口度は約13%で
ある。いづれにせよ、空気がフィルターに流れる方向か
らみたストランドの断面高は30ミクロンを越えず、ス
トランド間の間隔は20ミクロンを越えない。
【0029】織物フィルターにおいて製造されうる最も
小さな穴よりも小さい粒子を濾過することが要求される
場合、フィルターの製造のためのいずれかの方法、つま
りフィルター材料のシート中に穴をカットするか、又は
微孔シートを延伸するかの方法を使用することが好まし
い。しだいに小さくなった穴はこれらの技術(X線リソ
グラフィー、レーザー、化学エッチング)を使用して得
ることができ、0.01ミクロンのスモッグ又は煙の粒
子のような非常に小さな粒子のための自然換気フィルタ
ーを達成することができる。濾過媒体は、単一層濾過媒
体において使用する場合、高圧の動き(例えば突風)に
耐えるための十分な強度を有することが好ましい。非常
に小さい穴を有するフィルターは、風のような圧迫下、
フィルターの裂けを防止するための機械的な支持が必要
かもしれない。機械的支持は、例えば、金属スクリーン
が挙げられる。
【0030】使用するフィルターのタイプにかかわら
ず、濾過材は、空気がフィルターに流れ込む方向から見
て平滑であることが好ましい。濾過媒体3のマイクロフ
ィラメントストランド8および9は、好ましくは個々の
ストランド8および9において織物およびほこりなどの
もつれやエントレインを防ぐために、平滑な外表面を備
えて形成される。濾過媒体3を形成するように織られた
平滑な表面を有するマイクロフィラメントのストランド
8および9、または穴14および15を備える平坦な表
面3bおよび3cは、濾過媒体中の微粒子をエントレイ
ンまたは収集するのではなく、反射またははねつけるこ
とによって、空気を洗浄する。この発明の非エントレイ
ン性フィルターは、濾過媒体を洗浄する間隔の有効期間
を延ばし、濾過媒体の自己洗浄を促す。所望により、濾
過媒体は、粒子をはねつけて粒子のフィルター上の目詰
まりをさらに防ぐために、静電気的に荷電されてもよ
い。
【0031】図2に示されるように、実質的に垂直な空
気の流れは矢印10で示されるが、これは、小さな粒子
12が、粒子よりも小さい濾過媒体3内のサイズが粒子
よりも小さいために、濾過媒体3にはねつけられること
を示す。それにもかかわらず、微粒子は濾過媒体3の中
に入り得る。自然の空気対流(風)が様々な角度から濾
過媒体3に当たり、図2中に11で示したような実質的
に横からの空気流が、濾過媒体3に入った微粒子を取り
除く。濾過媒体を波動させる反対方向の圧力もまた、濾
過媒体3の自己洗浄を促す。
【0032】この発明においては、特定の好ましい実施
例に関して記載したが、当業者がこの明細書を読み、理
解する際に明らかである同等な変更および改変を施すこ
とができる。この発明は、すべてのそのような変更およ
び改変を含むものであり、請求項の範囲のみに限定され
ない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の窓用空気フィルターアセンブリの斜視
図である。
【図2】窓用空気フィルターアセンブリの2−2線断面
図である。
【図3】本発明の織物濾過媒体の拡大図である。
【図4】穴がレーザ又は他の方法でカットされた本発明
の不織濾過媒体の拡大図である。
【図5】単一層を化学的エッチングによって又は微孔プ
ラスチックシートを延伸することによって穴を形成した
フィルターである不織濾過媒体の拡大図である。
【符号の説明】
1 窓用空気フィルターアセンブリ 2 フレームアセンブリ 3 織物濾過媒体 3b、3c 平滑プラスチックフィルター 4 第1フレーム部材 4a、4b 水平脚 4d、5d スロット 5 第2フレーム部材 5a、5b 水平脚 5c 第2水平脚 6 留め具 7 ローラー 8、9 ストランド 10、11 空気流 12 粒子 13 すきまふさぎ 14、15 穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 39/00 - 39/20 B01D 46/10

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フレームアセンブリと 織物濾過媒体を通過する空気流の方向での断面が最大3
    0ミクロンを有するマイクロフィラメントのストランド
    織物の単一層で形成された織物濾過媒体とからなり、 それらのストランドは最大20ミクロンの間隔を置いて
    配置され、各ストランドは平滑な外面を有し、前記織物
    濾過媒体は、前記フレームアセンブリ中に配置されてお
    り、 その濾過媒体は、非エントレイン性で、目づまりが減少
    した空気フィルターをあたえ、そのフィルターを通して
    花粉及び/又はダスト粒子との通過を減少させ、一方、
    自然の換気により、かつ機械的ブロアなしで、空気フィ
    ルターの空気の自由な通過をさせる空気フィルターアセ
    ンブリ。
  2. 【請求項2】 フレームアセンブリが横に調節できる請
    求項1記載のアセンブリ。
  3. 【請求項3】 マイクロフィラメントのストランドが静
    電帯電している請求項1記載のアセンブリ。
  4. 【請求項4】 a)濾過媒体の空気流方向に実質的に一
    定の断面を有するマイクロフィラメントストランド織物
    の単一層で形成された織物濾過媒体であって、そのスト
    ランドは濾過される粒子の最小径より小さい間隔で配置
    され、ストランドの間隔とストランドの径は自然の換気
    により、かつ機械的ブロアーなしで空気フィルタの空気
    の通過をさせる開口度を供給し、各ストランドは平滑な
    外面を有し、濾過媒体は非エントレイン性である織物濾
    過媒体を用意し、 b)前記織物濾過媒体をフレームアセンブリ中に設置
    し、かつ c)フレームアセンブリと濾過媒体とを空気流中に置く
    ことからなる空気流から最小径を有する粒子を濾過する
    方法。
  5. 【請求項5】 a)実質的に連続な表面を有する濾過材
    1枚の単層シートを用意し、 b)フィルターを形成する濾過材のシート中に、濾過さ
    れる粒子の最小径より小さい最大径を有する複数の穴を
    あけて、この穴を自然の換気により、かつ機械的ブロア
    ーなしで空気フィルターを経て空気を通過させるのに十
    分な開口度を供給するため濾過材に配置し、かつそのフ
    ィルターは非エントレイン性で空気流方向に平滑な外面
    をもたせ、c)そのフィルターをフレームアセンブリに
    配置し、かつ d)フレームアセンブリとフィルターを空気流中に置く
    ことからなる空気流から最小径を有する粒子を濾過する
    方法。
  6. 【請求項6】 穴あけ工程が、レーザカット、X線リソ
    グラフィー、化学エッチング又は微孔シートの延伸から
    なる群より選択された方法からなる請求項5記載の方
    法。
  7. 【請求項7】 a)濾過材からなる1枚の単層シート
    で、そのシートは濾過される粒子の最小径より小さな最
    大径をそれぞれ有する複数の穴からなり、その穴は機械
    的ブロアーなしで濾過材の空気流の通過をさせるのに十
    分な開口度を供給するために濾過材に配置し、濾過材は
    空気流方向に単層で、フィルターは非エントレイン性で
    あり、かつ b)濾過材シートが配置されるフレームアセンブリから
    なる空気流から最小径の粒子を濾過するためのフィルタ
    ーアセンブリ。
  8. 【請求項8】 穴あけ工程が、レーザカット、X線リソ
    グラフィー、化学エッチング又は微孔シートの延伸から
    なる群より選択された方法からなる請求項7記載の方
    法。
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